KR101057593B1 - 필름타입 프로브 유닛과 그의 제조방법 및 피검사체의 검사방법 - Google Patents

필름타입 프로브 유닛과 그의 제조방법 및 피검사체의 검사방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 필름타입 프로브유닛과 그의 제조방법 및 피검사체의 검사방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 미세피치인 구동IC의 배선 중 서로 다른 시그널이 인가되는 배선들 사이에 마진을 형성하여 피검사체의 전극에 정확한 시그널을 인가할 수 있는 필름타입 프로브유닛과 그의 제조방법 및 피검사체의 검사방법에 관한 것이다.
본 발명에 의한 피검사체를 구동시키는 구동IC에 형성된 배선들을 상기 피검사체의 전극들에 접촉시켜 검사하는 필름타입 프로브유닛은 상기 배선들 중 적어도 어느 하나는 상기 전극에 전기적으로 비접촉되는 더미인 것을 특징으로 한다.

Description

필름타입 프로브 유닛과 그의 제조방법 및 피검사체의 검사방법{FILM TYPE PROBE UNIT AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME, INSPECTION METHOD USING THE SAME OF WORK}
본 발명은 필름타입 프로브유닛과 그의 제조방법 및 피검사체의 검사방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 미세피치인 구동IC의 배선 중 서로 다른 시그널이 인가되는 배선들 사이에 마진을 형성하여 피검사체의 전극에 정확한 시그널을 인가할 수 있는 필름타입 프로브유닛과 그의 제조방법 및 피검사체의 검사방법에 관한 것이다.
일반적으로 평판표시소자나 반도체(이하, '피검사체'라고 한다) 등의 제조공정에서는 수차례의 전기적 검사를 한다.
예를 들어 액정패널은 TFT기판과 칼라필터기판 사이에 액정을 주입하는 셀공정과, 상기 셀에 구동IC가 구비된 집적회로 필름부를 부착하는 모듈공정과, 상기 모듈에 프레임을 장착하는 세트공정으로 이루어지는데, 모듈공정 전에 셀의 전기적 검사를 수행하게 된다.
보다 구체적으로 설명하면, 셀의 패드에 구동IC를 부착하기 전에 패드에 형성된 전극과 구동IC를 전기적으로 연결한 상태에서 신호를 인가하여 검사를 수행한 후, 이상이 없는 셀에 대하여 모듈공정을 진행하는 것이다.
이러한 전기적 검사를 수행하기 위하여 프로브유닛이 이용된다. 종래에는 블레이드타입의 프로브유닛이 널리 이용되었다. 블레이드타입 프로브유닛은 프로브 블록과, PCB와, 상기 PCB에 연결되는 FPC와, 상기 FPC에 연결되는 구동IC와, 상기 구동IC의 배선들과 셀(피검사체)의 전극들을 전기적으로 연결하는 블레이드를 포함한다.
즉, 블레이드타입 프로브유닛은 궁극적으로 연결되어야 하는 피검사체의 전극과 구동IC 사이에 임시적으로 블레이드를 개재하여 시그널을 인가하여 검사하는 것이다. 이로 인해 시그널의 로스, 즉, 인가된 시그널이 피검사체의 전극으로 정확하게 전달되지 못할 가능성이 있다. 또한 블레이드를 별도로 제작해야 하고, 이를 미세피치로 배열해야 한다는 제작상의 문제점도 있다.
따라서 이러한 문제점을 극복하기 위하여 본 출원인은 이미 특허 제720378호를 발명한 바 있다. 도 1을 참조하면, 개선된 종래의 프로브 유닛(1)은 필름타입 프로브유닛으로서, 프로브 블록(10)과, 구동IC(20)와, FPC(40)를 포함한다. 상기 구동IC(20)의 일면에는 가압부재(30)가 부착된다. 상기 FPC(40)의 타단에는 PCB(미도시)가 전기적으로 연결된다. 즉, 개선된 종래의 프로브 유닛(1)은 블레이드가 구비되지 않고 구동IC(20)가 피검사체의 패드에 직접 접촉하는 방식을 채택한 것이다. 이로 인해 위에서 지적한 문제점은 극복할 수 있다. 도 4를 참조하면, 상기 구동IC(20)는 절연기판(21)상에 칩(22)이 실장되어 있고, 상기 칩의 양측에는 피검사체의 패드(130)의 전극에 접촉하는 배선(23)들이 형성되고, 타측에는 FPC에 전기적으로 연결되는 배선(24)들이 형성된다. 특히, 상기 구동IC의 배선(23)들은 제조당시 피검사체의 전극보다 작은 피치로 형성된다. 따라서 배선들의 피치를 전극들의 피치와 같도록 확장시키는 공정이 요구된다.
한편, 도 2를 참조하여 일반적인 액정패널(100)의 구조를 설명한다. 도시된 바와 같이 액정패널(100)은 TFT기판(110)과 칼라필터기판(120) 사이에 액정이 주입된 구조이며, 프로브유닛이 접촉되는 패드(130)가 구비된다.
도 3을 참조하여 상기 패드(130)를 구체적으로 설명하면, 상기 패드(130)는 컬러입력부(채널부)(132)와, 상기 컬러입력부(132)의 양측에 형성된 전원입력부(몽블랑패드)(134)로 구성된다. 상기 컬러입력부(132)는 각각 R, G, B 특성을 갖는 복수의 전극이 형성되어 있고, 상기 전원입력부(134)는 각각 서로 다른 시그널이 인가되는 복수의 전극(a~l)이 형성된다.
도 4는 필름타입 프로브유닛을 이용하여 액정패널을 검사하는 것을 도시한 것이다. 도시된 바와 같이, 구동IC(20)의 배선(23)들을 전원입력부(134)의 제1 내지 제12전극(a~l)들에 접촉시킨다. 이 상태에서 상기 제1 내지 제12전극들(a~l)에 각각 서로 다른 시그널을 인가하여 액정패널을 전기적으로 검사하는 것이다. 즉, 하나의 전극는 동일한 시그널들이 인가되고, 이웃하는 전극에는 다른 시그널이 인가되는 것이다.
또한 도시된 바와 같이, 경우에 따라서는 하나의 전극에 복수의 배선들이 접촉되는 경우가 있다. 예를 들어 제6전극(f)에는 6개의 배선(23a)들이 접촉하는 것이다. 그러나 하나의 전극에 접촉되는 복수의 배선들은 모두 동일한 시그널이 인가된다.
그런데, 전극(a~l) 및 배선들은 미세한 피치로 형성되어 마진이 거의 없어 서로 대응되는 전극끼리만 접촉해야 함에도 불구하고, 시그널의 경계면에서 이웃하는 전극에도 접촉하는 경우가 종종 발생된다.
예를 들면, 6개의 배선(23a)은 모두 제6전극(f)에만 접촉해야 하지만, 배선(23a)들 중 가장 좌측에 위치하는 배선(23a')이 제6전극(f)의 좌측에 위치하는 제5전극(e)에 접촉되는 것이다. 또한 배선(23a) 중 가장 우측에 위치하는 배선(23a'')이 제6전극(f)의 우측에 위치하는 제7전극(g)에 접촉되는 것이다.
이 경우, 제6전극(f)에 인가되어야 하는 시그널이 제5전극(e) 또는 제7전극(g)에도 인가되는 문제점이 있다. 이와 같이 시그널이 잘못 인가되면 프로브유닛이나 패널에 심각한 손상을 야기하게 된다. 또는 서로 다른 시그널들이 중첩되어 쇼트(Short)가 발생될 수 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 미세피치인 구동IC의 배선 중 서로 다른 시그널이 인가되는 배선들 사이에 마진을 형성하여 피검사체의 전극에 정확한 시그널을 인가할 수 있는 필름타입 프로브유닛과 그의 제조방법 및 피검사체의 검사방법을 제공함에 있다.
위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 피검사체를 구동시키는 구동IC에 형성된 배선들을 상기 피검사체의 전극들에 접촉시켜 검사하는 필름타입 프로브유닛은 상기 배선들 중 적어도 어느 하나는 상기 전극에 전기적으로 비접촉되는 더미인 것을 특징으로 한다.
특히, 상기 더미는 동일한 시그널을 인가하는 배선들 중 어느 하나인 것이 바람직하다.
또한 동일한 시그널을 인가하는 배선이 2개인 경우, 한 쌍의 배선 중 어느 하나를 더미로 형성하고, 동일한 시그널을 인가하는 배선이 3개 이상인 경우, 3개 이상의 배선 중 양측 가장자리에 있는 배선들 중 적어도 하나 이상을 더미로 형성하는 것이 바람직하다.
또한 상기 더미는 상기 배선을 제거하여 형성하는 것이 바람직하다.
또한 상기 더미는 상기 배선의 상부에 절연막을 코팅하여 형성하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의한 피검사체를 구동시키는 구동IC에 형성된 배선들을 상기 피검사체의 전극들에 접촉시켜 검사하는 필름타입 프로브유닛을 제조하는 방법은 상기 배선들 중 적어도 어느 하나는 상기 피검사체의 전극에 전기적으로 비접촉하도록 더미를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
특히, 상기 더미는 동일한 시그널을 인가하는 배선들 중 어느 하나에 형성하는 것이 바람직하다.
또한 동일한 시그널을 인가하는 배선이 2개인 경우, 한 쌍의 배선 중 어느 하나를 더미로 형성하고, 동일한 시그널을 인가하는 배선이 3개 이상인 경우, 3개 이상의 배선 중 양측 가장자리에 있는 배선들 중 적어도 하나 이상을 더미로 형성하는 것이 바람직하다.
또한 상기 더미는 상기 배선을 제거하여 형성하는 것이 바람직하다.
또한 상기 더미는 상기 배선을 긁어서 제거하는 것이 바람직하다.
또한 상기 더미는 상기 배선에 레이저를 조사하여 제거하는 것이 바람직하다.
또한 상기 더미는 상기 배선의 상부에 절연막을 코팅하여 형성하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의한 피검사체를 구동시키는 구동IC에 형성된 배선들을 상기 피검사체의 전극들에 접촉시켜 검사하는 방법에 있어서, 동일한 시그널을 인가하는 복수의 배선들 중 적어도 어느 하나는 상기 전극들과 전기적으로 비접촉상태에서 시그널을 인가하는 것을 특징으로 한다.
또한 동일한 시그널을 인가하는 복수의 배선들이 2개인 경우, 한 쌍의 배선 중 어느 하나를 더미로 형성하여 상기 전극과 비접촉시킨 상태에서 시그널을 인가하고, 동일한 시그널을 인가하는 복수의 배선들이 3개 이상인 경우, 3개 이상의 배선 중 양측 가장자리에 있는 배선들 중 적어도 하나 이상을 더미로 형성하여 상기 전극과 비접촉시킨 상태에서 시그널을 인가하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 미세피치인 구동IC의 배선 중 서로 다른 시그널이 인가되는 배선들 사이에 마진이 형성되어 피검사체의 전극에 정확한 시그널을 인가할 수 있는 효과가 있다.
이로 인해 피검사체의 전극에 시그널이 잘못 인가되거나 서로 다른 시그널들이 중첩되어 일어나는 쇼트(Short)발생을 억제할 수 있다.
도 1은 종래 프로브유닛을 도시한 것이다.
도 2는 일반적인 액정패널을 나타낸 것이다.
도 3은 도 2에 도시된 액정패널의 패드를 나타낸 것이다.
도 4는 도 1에 도시된 프로브 유닛의 사용상태를 나타낸 것이다.
도 5는 본 발명에 의한 프로브유닛의 사용상태를 나타낸 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시예의 구성 및 작용을 설명한다.
본 발명에 의한 필름타입 프로브유닛의 일실시예는 프로브 블록과 FPC를 포함한다. 도 1에 도시된 종래기술과 동일하므로 중복설명은 피한다.
피검사체의 전극에 접촉하는 배선들 중 적어도 어느 하나는 상기 전극에 전기적으로 비접촉되는 더미(dummy)로 형성된다는 특징이 있다.
도 5는 본 발명에 의한 프로브 유닛의 구동IC(200)를 나타내고 있다. 도시된 바와 같이, 본 실시예에서 구동IC(200)는 절연기판(210)상에 칩(220)이 실장되어 있고, 상기 칩(220)의 양측에는 피검사체의 패드(130)의 전극에 접촉하는 배선(230)들이 형성되고, 타측에는 FPC에 전기적으로 연결되는 배선(240)들이 형성된다. 피검사체의 전극에 접촉하는 배선(230) 중에는 더미(234a~234k)가 복수개 형성된다는 것을 알 수 있다. 도 5의 부분확대도에서 더미를 제외한 배선(230)은 피검사체의 전극에 접촉하여 시그널을 인가한다. 즉, 시그널의 경계면에 있는 배선들을 더미로 형성한 것을 알 수 있다.
예를 들어, 도 5에서는 패드(130)의 전원입력부에 형성된 제6전극(f)에 접촉하는 배선(234'')의 좌측 가장자리에 위치하는 배선(234e)과, 우측 가장자리에 위치하는 배선(234f)을 더미로 형성한 것이다.
이로 인해 제6전극(f)에 접촉되어야 할 배선(234'')들이 제5전극(e)이나 제7전극(g)에 접촉되는 것을 방지할 수 있다. 따라서 제6전극(234'')에 인가되어야 하는 시그널이 제5전극(e)나 제7전극(g)에 인가되는 것을 방지할 수 있다.
이와 마찬가지로 제7전극(g)에 접촉하는 배선(234''')의 좌측 가장자리에 위치하는 배선(234g)과, 우측 가장자리에 위치하는 배선(234h)을 더미로 형성하였다. 이로 인해 제7전극(g)에 접촉되어야 할 배선(234''')이 제6전극(f)이나 제8전극(h)에 접촉되어 잘못된 신호를 인가하는 것이 방지되는 것이다.
이외에도 제1 내지 제12전극(a~l)들의 경계면에 접촉하는 배선들을 더미(234a~234k)로 형성한 것을 알 수 있다. 이러한 구성으로 인해, 각각의 배선들이 서로 대응되는 전극 이외에 이웃하는 전극에 잘못 접촉되는 것이 방지되는 것이다. 이와 같이 신호가 잘못 인가되는 것을 방지하기 위하여 더미를 형성한 상태에서 시그널을 인가하여 피검사체의 전기적 검사를 보다 정확하고 안전하게 수행할 수 있다.
이러한 목적을 달성하기 위하여 예를 들어 제1전극(a)과 같이 동일한 시그널을 인가하는 배선이 2개인 경우, 이 중 어느 하나를 더미로 형성한다.
이와 달리 예를 들어 제6전극(f)과 같이 동일한 시그널을 인가하는 배선이 3개 이상인 경우 이들 중 양측 가장자리에 있는 배선들을 모두 더미로 형성하거나 또는 양측 가장자리에 있는 배선 중 어느 한 쪽에 있는 배선만을 더미로 형성할 수도 있다. 또한 동일한 시그널을 인가하는 배선이 더욱 많은 경우, 좌우 양측에서 각각 2개 이상의 배선들을 더미로 형성할 수도 있을 것이다.
한편, 상술한 바와 같이 배선들의 일부를 더미로 형성하는 방법은 여러가지가 있을 수 있는데, 예를 들어 식각액을 이용하여 화학적으로 애칭함으로써 더미를 형성할 수 있다.
또는 단단한 부재를 이용하여 배선의 일부를 긁어서 제거할 수도 있고, 레이저를 조사하여 제거할 수도 있을 것이다.
또한 더미로 형성할 배선의 상부에 절연막을 코팅하여 전극과 전기적으로 접촉되지 못하도록 할 수 있다. 이외에도 기타 공지의 수단과 방법으로도 배선을 더미로 형성할 수 있는 것은 당연하다.
이와 같이 구성되고 제조된 필름타입 프로브유닛을 이용하여 피검사체를 검사하는 방법을 설명하면, 복수의 배선들을 피검사체의 전극에 접촉하되, 하나의 전극에 복수의 배선이 접촉하는 경우, 이들 중 일부를 전기적으로 접촉되지 못하도록 더미로 형성하여 배선들 사이에 마진을 충분히 형성한 상태에서 시그널을 인가하여 검사하는 것이다.
이상에서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 본 발명의 보호범위는 상기 실시 예에 한정되는 것이 아니며, 해당 기술분야의 통상의 지식을 갖는 자라면 본 발명의 사상 및 기술영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
200: 구동IC 210: 절연기판
220: 칩 230, 240: 배선

Claims (17)

  1. 피검사체를 구동시키는 구동IC에 형성된 배선들을 상기 피검사체의 전극들에 접촉시켜 검사하는 필름타입 프로브유닛에 있어서,
    동일한 시그널을 인가하는 배선들 중 적어도 어느 하나는 상기 전극에 전기적으로 비접촉되는 더미인 것을 특징으로 하는 필름타입 프로브유닛.


  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    동일한 시그널을 인가하는 배선이 2개인 경우, 한 쌍의 배선 중 어느 하나를 더미로 형성하는 것을 특징으로 하는 필름타입 프로브유닛.
  4. 제1항에 있어서,
    동일한 시그널을 인가하는 배선이 3개 이상인 경우, 3개 이상의 배선 중 양측 가장자리에 있는 배선들 중 적어도 하나 이상을 더미로 형성하는 것을 특징으로 하는 필름타입 프로브유닛.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 더미는 상기 배선을 제거하여 형성하는 것을 특징으로 하는 필름타입 프로브유닛.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 더미는 상기 배선의 상부에 절연막을 코팅하여 형성하는 것을 특징으로 하는 필름타입 프로브유닛.
  7. 피검사체를 구동시키는 구동IC에 형성된 배선들을 상기 피검사체의 전극들에 접촉시켜 검사하는 필름타입 프로브유닛을 제조하는 방법에 있어서,
    동일한 시그널을 인가하는 배선들 중 적어도 어느 하나는 상기 피검사체의 전극에 전기적으로 비접촉하도록 더미를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름타입 프로브유닛 제조방법.

  8. 삭제
  9. 제7항에 있어서,
    동일한 시그널을 인가하는 배선이 2개인 경우, 한 쌍의 배선 중 어느 하나를 더미로 형성하는 것을 특징으로 하는 필름타입 프로브유닛 제조방법.
  10. 제7항에 있어서,
    동일한 시그널을 인가하는 배선이 3개 이상인 경우, 3개 이상의 배선 중 양측 가장자리에 있는 배선들 중 적어도 하나 이상을 더미로 형성하는 것을 특징으로 하는 필름타입 프로브유닛 제조방법.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 더미는 상기 배선을 제거하여 형성하는 것을 특징으로 하는 필름타입 프로브유닛 제조방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 더미는 상기 배선을 긁어서 제거하는 것을 특징으로 하는 필름타입 프로브유닛 제조방법.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 더미는 상기 배선에 레이저를 조사하여 제거하는 것을 특징으로 하는 필름타입 프로브유닛 제조방법.
  14. 제7항에 있어서,
    상기 더미는 상기 배선의 상부에 절연막을 코팅하여 형성하는 것을 특징으로 하는 필름타입 프로브유닛 제조방법.
  15. 피검사체를 구동시키는 구동IC에 형성된 배선들을 상기 피검사체의 전극들에 접촉시켜 검사하는 방법에 있어서,
    동일한 시그널을 인가하는 복수의 배선들 중 적어도 어느 하나는 상기 전극들과 전기적으로 비접촉상태에서 시그널을 인가하는 것을 특징으로 하는 피검사체의 검사방법.
  16. 제15항에 있어서,
    동일한 시그널을 인가하는 복수의 배선들이 2개인 경우, 한 쌍의 배선 중 어느 하나를 더미로 형성하여 상기 전극과 비접촉시킨 상태에서 시그널을 인가하는 것을 특징으로 하는 피검사체의 검사방법.
  17. 제15항에 있어서,
    동일한 시그널을 인가하는 복수의 배선들이 3개 이상인 경우, 3개 이상의 배선 중 양측 가장자리에 있는 배선들 중 적어도 하나 이상을 더미로 형성하여 상기 전극과 비접촉시킨 상태에서 시그널을 인가하는 것을 특징으로 하는 피검사체의 검사방법.
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