KR101035360B1 - 레이저 결정화 장치 및 레이저 결정화 방법 - Google Patents

레이저 결정화 장치 및 레이저 결정화 방법 Download PDF

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Abstract

화질 특성이 향상된 평판 표시 장치를 용이하게 제조할 수 있도록 본 발명은 기판상의 박막을 결정화하는 레이저 결정화 장치에 관한 것으로서, 레이저 빔을 상기 기판에 대하여 일 방향으로 스캔하는 레이저 빔 조사부, 상기 기판을 배치하는 스테이지, 상기 기판의 일 모서리와 대응되도록 상기 스테이지상에 형성되는 고정부 및 상기 스테이지의 영역 중 상기 고정부가 배치된 영역이 내려가도록 상기 스테이지의 일 영역을 들어올려 상기 기판이 중력에 의하여 이동하여 상기 고정부에 안착되도록 하는 구동부를 포함하는 레이저 결정화 장치 및 레이저 결정화 방법을 제공한다.

Description

레이저 결정화 장치 및 레이저 결정화 방법{Laser crystallization apparatus and laser crystallization method}
본 발명은 레이저 결정화 장치 및 레이저 결정화 방법에 관한 것으로 더 상세하게는 화질 특성이 향상된 평판 표시 장치를 용이하게 제조할 수 있는 레이저 결정화 장치 및 레이저 결정화 방법에 관한 것이다.
근래에 표시 장치는 휴대가 가능한 박형의 평판 표시 장치로 대체되는 추세이다. 이러한 평판 표시 장치 중 액정 표시 장치 또는 유기 발광 표시 장치는 복수의 화소들을 구동하도록 박막 트랜지스터를 포함하는 경우가 많다. 그리고 이러한 박막 트랜지스터는 고속 동작을 위하여 폴리 실리콘을 함유하는 활성층을 구비하는 경우가 대부분이다.
폴리 실리콘으로 활성층을 형성하기 위해서는 먼저 기판상에 비정질 실리콘층을 형성하고 나서 레이저 빔을 이용하여 비정질 실리콘층을 결정화한다.
이 때 레이저 빔의 크기로 인하여 레이저 빔의 패턴 형상이 기판상에 남게 된다. 이러한 레이저 빔 패턴은 각 화소를 이루는 게이트 라인과 데이터 라인이 교차하는 격자무늬와 반복적으로 중첩되거나 평행하게 배치되면서 평판 표시 장치의 영상을 구현할 때 모아레를 발생하고 이를 통하여 화질 특성이 저하된다.
본 발명은 화질 특성이 향상된 평판 표시 장치를 용이하게 제조할 수 있는 레이저 결정화 장치 및 레이저 결정화 방법을 제공할 수 있다.
본 발명은 기판상의 박막을 결정화하는 레이저 결정화 장치에 관한 것으로서, 레이저 빔을 상기 기판에 대하여 일 방향으로 스캔하는 레이저 빔 조사부, 상기 기판을 배치하는 스테이지, 상기 기판의 일 모서리와 대응되도록 상기 스테이지상에 형성되는 고정부 및 상기 스테이지의 영역 중 상기 고정부가 배치된 영역이 내려가도록 상기 스테이지의 일 영역을 들어올려 상기 기판이 중력에 의하여 이동하여 상기 고정부에 안착되도록 하는 구동부를 포함하는 레이저 결정화 장치를 개시한다.
본 발명에 있어서 상기 일 방향은 상기 기판이 상기 고정부에 안착된 상태에서 상기 기판의 일축 방향과 경사를 이룰 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 고정부는 상기 기판의 일 모서리와 밀착하도록 형성된 제1 면 및 제2 면을 구비할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 면의 연장선 및 상기 제2 면의 연장선은 상기 일 방향과 수직하거나 평행하지 않고 소정의 각도로 경사지도록 형성될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 면 및 상기 제2 면은 서로 접촉할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 면 및 상기 제2 면이 서로 접촉하는 점은 상기 스테이지의 중심과 상기 구동부의 위치를 연결한 직선상에 위치할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 면 및 상기 제2 면은 서로 이격될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 면의 연장선 및 상기 제2 면의 연장선이 서로 접촉하는 점은 상기 스테이지의 중심과 상기 구동부의 위치를 연결한 선의 연장선에 위치할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 구동부는 상기 스테이지의 면 중 상기 레이저 빔 조사부의 반대 방향으로 배치되고 왕복 운동하도록 형성된 레이저 결정화 장치.
본 발명에 있어서 상기 구동부에 상기 기판이 안착된 후 상기 구동부는 상기 스테이지의 일 영역을 원상태로 내려놓을 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 구동부가 상기 스테이지의 일 영역을 원상태로 내려놓은 후 상기 레이저 빔 조사부에서 레이저 빔을 조사하기 전에 상기 고정부는 상기 스테이지 내부로 삽입되는 레이저 결정화 장치.
본 발명에 있어서 상기 스테이지를 지지하는 복수의 지지부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 구동부는 상기 복수의 지지부 중 일 지지부 역할을 겸할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 기판 또는 상기 스테이지가 상기 일 방향으로 운동할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면 레이저 빔 조사부, 스테이지, 상기 스테이지에 배치된 고정부 및 구동부를 구비하는 레이저 결정화 장치를 이용하는 레이저 결정화 방법에 관한 것으로서, 기판을 상기 스테이지에 배치하는 단계, 상기 구동부를 이용하여 상기 스테이지의 일 영역을 들어올려 상기 기판이 중력에 의하여 이동하여 상기 고정부에 안착되도록 하는 단계 및 상기 레이저 빔 조사부를 상기 기판에 대하여 일 방향으로 스캔하면서 상기 기판을 결정화하는 레이저 결정화 방법을 개시한다.
본 발명에 있어서 상기 일 방향은 상기 기판이 상기 고정부에 안착된 상태에서 상기 기판의 일축 방향과 경사를 이룰 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 고정부는 상기 기판의 일 모서리와 밀착하도록 제1 면 및 제2 면을 구비하도록 형성될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 면의 연장선 및 상기 제2 면의 연장선은 상기 일 방향과 수직하거나 평행하지 않고 소정의 각도로 경사지도록 형성될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 면 및 상기 제2 면은 서로 접촉할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 면 및 상기 제2 면이 서로 접촉하는 점은 상기 스테이지의 중심과 상기 구동부의 위치를 연결한 직선상에 위치할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 면 및 상기 제2 면은 서로 이격될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 제1 면의 연장선 및 상기 제2 면의 연장선이 서로 접촉하는 점은 상기 스테이지의 중심과 상기 구동부의 위치를 연결한 선의 연장선에 위치하는 레이저 결정화 방법.
본 발명에 있어서 상기 구동부는 상기 스테이지의 면 중 상기 레이저 빔 조사부의 반대 방향으로 배치되고 왕복 운동하도록 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 구동부에 상기 기판이 안착된후 상기 기판을 결정화하기 전에 상기 구동부가 상기 스테이지의 일 영역을 원상태로 내려놓는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 구동부가 상기 스테이지의 일 영역을 원상태로 내려놓은 후 상기 레이저 빔 조사부에서 레이저 빔을 조사하기 전에 상기 고정부를 상기 스테이지 내부로 삽입할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 레이저 빔 조사부를 상기 기판에 대하여 스캔하는 공정은 상기 기판 또는 상기 스테이지가 상기 일 방향으로 운동하면서 진행될 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 일 방향은 상기 기판을 결정화한 후에 형성되는 복수의 화소들을 이루는 격자 무늬와 직교 또는 평행하도록 배치되지 않고 소정의 각도로 경사질 수 있다.
본 발명에 관한 레이저 결정화 장치 및 레이저 결정화 방법은 화질 특성이 향상된 평판 표시 장치를 용이하게 제조할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 레이저 결정화 장치를 도시한 개략적인 사시도이다.
도 2는 도 1의 레이저 결정화 장치에서 기판이 고정부에 안착된 것을 도시한 개략적인 사시도이다.
도 3은 도 1의 고정부를 확대한 평면도이다.
도 4는 도 1의 고정부의 변형예를 도시한 평면도이다.
도 5a 내지 도 5f는 도 1의 레이저 결정화 장치를 이용하여 레이저 결정화 하는 방법을 순차적으로 도시한 평면도들이다.
도 6은 도 5a 내지 도 5f에 도시된 방법을 이용하여 결정화한 기판을 도시한 평면도이다.
이하 첨부된 도면들에 도시된 본 발명에 관한 실시예를 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 레이저 결정화 장치를 도시한 개략적인 사시도이고, 도 2는 도 1의 레이저 결정화 장치에서 기판이 고정부에 안착된 것을 도시한 개략적인 사시도이다. 도 3은 도 1의 고정부를 확대한 평면도이고, 도 4는 도 1의 고정부의 변형예를 도시한 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면 레이저 결정화 장치(100)는 기판(105)을 결정화하도록 레이저 빔을 조사하는 레이저 빔 조사부(110), 스테이지(120), 고정부(130) 및 구동부(111)를 포함한다.
구체적으로 기판(105)은 박막 트랜지스터를 형성하기 위한 것일 수 있는데 비정질 실리콘층이 형성되어 있다. 기판(105)은 SiO2를 주성분으로 하는 투명한 유리 재질로 이루어질 수 있다. 기판(105)은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 투명한 플라스틱 재질로 형성할 수도 있다. 또한 기판(105)은 금속 박막으로 형성될 수 있다.
레이저 빔 조사부(110)는 기판(105)에 레이저 빔을 조사할 수 있도록 레이저 광원, 광학계등을 포함할 수 있다. 레이저 빔 조사부(110)는 일 방향(S)으로 스캔할 수 있도록 형성된다. 즉 레이저 빔 조사부(110)와 기판(105)이 상대적으로 일 방향(S)으로 이동한다. 이를 위하여 레이저 빔 조사부(110)가 일 방향(S)으로 이동할 수 있고, 기판(105)이 배치되는 스테이지(110)가 이동할 수도 있다.
레이저 빔 조사부(110)는 엑시머 레이저 어닐링(excimer laser annealing:ELA)장치 또는 순차적 측면 고상화(sequential lateral solidification:SLS)장치에 적용되도록 구성된다. 그러나 본 발명은 이에 한정되지 않고 레이저 빔 조사부(110)는 레이저 빔을 이용하는 다양한 결정화 장치에 적용된다.
기판(105)은 스테이지(120)에 배치된다. 스테이지(120)는 기판(105)과 밀착되도록 평탄하게 형성하는 것이 바람직하다. 또한 기판(105)의 효과적인 밀착을 위하여 스테이지(120)의 표면에 흡입부(미도시)가 형성될 수도 있다.
스테이지(120)상에는 고정부(130)가 형성되어 있다. 고정부(130)는 기판(105)의 일 모서리(105a)와 대응되는 형태를 갖는다. 고정부(130)는 구체적으로 기판(105)의 모서리(105a)에 대응하는 제1 면(131) 및 제2 면(132)을 구비한다.
도 1에 도시한 것과 같이 스테이지(120)상에 배치된 기판(105)은 구동부(150)의 운동을 통하여 고정부(130)에 안착되는데 도 2에 도시한 것과 같이 기판(105a)의 일 모서리(105a)가 고정부(130)와 밀착한다. 도 3을 참조하면 기판(105)이 고정부(130)에 안착된 후 제1 면(131)과 제2 면(132)이 접촉하는 지점(130a)은 기판(105)의 일 모서리(105a)의 꼭지점에 대응한다.
고정부(130)의 형태는 도 3에 도시한 것과 같이 제1 면(131)과 제2 면(132)이 접촉될 수 있다. 그러나 본 발명은 이에 한정되지 않고 도 4에 도시한 것과 같이 제1 면(131)과 제2 면(132)이 이격될 수도 있다. 기판(105)이 고정부(130)에 안착된 후 제1 면(131)의 연장선과 제2 면(132)의 연장선이 접촉하는 지점(130a)은 기판(105)의 일 모서리(105a)의 꼭지점에 대응한다. 고정부(130)의 보다 구체적인 구성은 결정화 방법에 대한 도면들을 참조하면서 후술하기로 한다.
구동부(150)는 스테이지(120)의 하부의 일 지점에 배치된다. 스테이지(120)에 기판(105)이 배치되면 구동부(150)는 일 방향으로 구동하여 스테이지(120)의 일 영역을 들어올린다. 즉 구동부(150)는 중력이 작용하는 방향과 반대방향으로 운동한다. 이를 통하여 스테이지(120)의 영역 중 고정부(130)가 배치되는 영역이 내려가도록 한다.
구동부(130)에 의하여 스테이지(120)가 수평하지 않고 기울어져 있으므로 기판(105)은 중력에 의하여 자연스럽게 고정부(130)방향으로 움직인다. 그리고 기판(105)은 고정부(130)에 걸려서 안착된다. 이에 대한 보다 구체적인 내용은 후술한다.
기판(105)이 고정부(130)에 안착되면 구동부(150)는 스테이지(120)를 원상태로 움직일 수 있도록 중력이 작용하는 방향으로 운동한다. 이를 통하여 스테이지(120)는 다시 원상태의 수평한 상태가 된다. 그리고 나서 레이저 빔 조사부(110)를 이용하여 기판(105)을 결정화하는데 이 때 고정부(130)는 스테이지(120)내부로 삽입될 수 있는 구조로 형성되는 것이 바람직하다. 기판(105)이 배치된 스테이지(120)를 구동부(150)를 이용하여 일 영역을 기준으로 들어올렸기 때문에 기판(105)은 스캔 방향(S)과는 경사를 이룬다. 이에 대한 자세한 내용은 후술한다.
도 5a 내지 도 5f는 도 1의 레이저 결정화 장치를 이용하여 레이저 결정화 하는 방법을 순차적으로 도시한 평면도들이다.
도 5a를 참조하면 스테이지(120)상에 기판(105)을 배치한다. 도 5b는 도 5a의 고정부(130)를 확대한 평면도이고, 도 5c는 도 5a의 고정부(130)의 변형예를 도시하는 평면도이다. 방향(S)은 레이저 빔이 스캔하는 일 방향이다.
기판(105)의 일 모서리(105a)는 고정부(130)와 근접하도록 배치된다. 도면에는 구동부(150)는 도시되어 있지 않고 구동부(150)의 위치(150')만이 도시되어 있다. 스테이지(120)상에 표시된 점(O)은 스테이지의 중심에 해당하는 위치이다. 구동부의 위치(150')와 점(O)을 연결한 직선(L)상에 고정부(130)의 제1 면(131) 및 제2 면(132)의 접촉점(130a)이 위치한다.
고정부(130)의 제1 면(131)은 레이저 빔 조사부(110)가 스캔하는 일 방향(S)과 직각을 이루지 않고 소정의 각(k)을 이룬다. 또한 고정부(130)의 제2 면(132)은 일 방향(S)과 평행하지 않고 소정의 각(m)을 이룬다. 이를 통하여 고정부(130)에 기판(105)의 일모서리(105a)가 밀착되도록 기판(105)이 안착되면 기판(105)의 장축 또는 단축 방향은 일 방향(S)과 직각을 이루거나 평행하지 않고 소정의 각(k 또는 m)을 이루게 된다.
도 5c는 도 5b에 도시한 고정부(130)의 변형예를 도시하고 있다. 도 5c를 참조하면 고정부(130)의 제1 면(131)과 제2 면(132)이 이격된다. 직선(L)상에 제1 면(131)의 연장선과 제2 면(132)의 연장선이 만나는 지점(130a)이 위치한다. 또한 고정부(130)의 제1 면(131)은 레이저 빔이 스캔하는 일 방향(S)과 직각을 이루지 않고 소정의 각(k)을 이룬다. 또한 고정부(130)의 제2 면(132)은 일 방향(S)과 평행하지 않고 소정의 각(m)을 이룬다.
그리고 나서 도 5d를 참조하면 위치(150')에 배치된 구동부(150)를 구동하여 스테이지(120)의 일 영역을 들어올리고 고정부(130)가 배치된 영역이 내려가도록 한다. 이를 통하여 스테이지(120)가 기울어지고 스테이지(120)상에 배치된 기판(105)이 움직인다. 구체적으로 기판(105)은 중력에 의하여 고정부(130)를 향하여 자연스럽게 움직인다. 도 5d에 도시된 화살표는 기판(105)이 이동하는 방향을 구체적으로 도시한다.
그리고 나서 도 5e를 참조하면 기판(105)이 이동하여 최종적으로 고정부(130)에 안착된다. 구체적으로 기판(105)의 일 모서리(105a)가 고정부(130)의 제1 면(131)과 제2 면(132)에 밀착된다. 도시하지 않았으나 기판(105)을 고정부(130)에 안착한 상태에서 스테이지(120)를 원상태로 복구한다. 즉 기판(105)을 고정부(130)에 안착한 후에 구동부(150)를 이용하여 스테이지(120)의 영역 중 들어올려져 있던 일 영역을 내려서 스테이지(120)가 수평하도록 한다. 이 때 고정부(130)에 안착된 기판(105)은 운동하지 않는다.
그리고 나서 도 5f를 참조하면 레이저 빔(115)을 일 방향(S)으로 스캔하면서 기판(105)을 결정화한다. 이 때 기판(105)은 일 방향(S)과 평행하거나 수직으로 배치되지 않고 단축 방향으로 소정의 각(k)을 이루고, 장축 방향으로 소정의 각(m)을 이루도록 배치된다. 즉 일 방향(S)과 고정부(130)의 제1 면(131) 및 제2 면(132)이 이루는 각과 동일한 각도로 기판(105)과 일 방향(S)이 경사지도록 배치된다.
레이저 빔(115)은 도 1에 도시된 레이저 빔 조사부(110)에서 도시된 라인 빔 형태이다. 도 5f에는 기판(105)의 일 변을 모두 덮을 수 있을 정도의 길이의 레이저 빔(115)이 도시되어 있으나 본 발명은 이에 한정되지 않고 보다 작은 길이의 레이저 빔(115)이 적용될 수도 있다. 그러한 경우 레이저 빔(115)을 일 방향(S)으로 복수회 스캔하면서 기판(105)을 결정화할 수 있다.
또한 도 5f에는 고정부(130)가 점선으로 도시되어 있는데 이는 기판(105)이 일 방향(S)과 경사지도록 고정부(130)에 의하여 배치된 후에 결정화 공정을 진행하기 전에 레이저 빔이 고정부(130)에 조사되지 않도록 고정부(130)가 스테이지(120)의 내부로 삽입된 것을 도시한다.
도 6은 도 5a 내지 도 5f에 도시된 방법을 이용하여 결정화한 기판을 도시한 평면도이다.
기판(105)에는 본 발명의 레이저 결정화 장치(100)를 이용한 결정화 공정 후에 다수의 박막 형성 공정이 진행되어 복수의 화소들이 형성되어 있다. 그리고 이러한 화소들은 격자무늬(109)를 이루고 있다. 또한 기판(105)에는 레이저 빔(115)의 스캔을 통하여 결정화 공정 시 형성된 돌기 패턴(107)이 형성되어 있다. 돌기 패턴(107)과 격자무늬(109)는 평행하거나 수직으로 교차하지 않고 각(m)을 이루도록 교차한다.
돌기 패턴(107)과 화소들의 격자무늬(109)가 평행 또는 수직으로 반복적으로 교차하는 경우 모아레(moire)가 발생하여 디스플레이 장치의 화질 특성이 저하되나 본 발명은 돌기 패턴(107)이 격자무늬(109)가 각(m)을 갖도록 교차하여 모아레 발생을 효과적으로 방지한다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
100: 레이저 결정화 장치 105: 기판
110: 레이저 빔 조사부 120: 스테이지
130: 고정부 140: 지지부
150: 구동부 S: 스캔 방향

Claims (27)

  1. 기판상의 박막을 결정화하는 레이저 결정화 장치에 관한 것으로서,
    레이저 빔을 상기 기판에 대하여 일 방향으로 스캔하는 레이저 빔 조사부;
    상기 기판을 배치하는 스테이지;
    상기 기판의 일 모서리와 대응되도록 상기 스테이지상에 형성되는 고정부 및 상기 스테이지의 영역 중 상기 고정부가 배치된 영역이 내려가도록 상기 스테이지의 일 영역을 들어올려 상기 기판이 중력에 의하여 이동하여 상기 고정부에 안착되도록 하는 구동부를 포함하는 레이저 결정화 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 일 방향은 상기 기판이 상기 고정부에 안착된 상태에서 상기 기판의 일축 방향과 경사를 이루는 레이저 결정화 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 고정부는 상기 기판의 일 모서리와 밀착하도록 형성된 제1 면 및 제2 면을 구비하는 레이저 결정화 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 면의 연장선 및 상기 제2 면의 연장선은 상기 일 방향과 수직하거나 평행하지 않고 소정의 각도로 경사지도록 형성된 레이저 결정화 장치.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 면 및 상기 제2 면은 서로 접촉하는 레이저 결정화 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 제1 면 및 상기 제2 면이 서로 접촉하는 점은 상기 스테이지의 중심과 상기 구동부의 위치를 연결한 직선상에 위치하는 레이저 결정화 장치.
  7. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 면 및 상기 제2 면은 서로 이격되는 레이저 결정화 장치.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 제1 면의 연장선 및 상기 제2 면의 연장선이 서로 접촉하는 점은 상기 스테이지의 중심과 상기 구동부의 위치를 연결한 선의 연장선에 위치하는 레이저 결정화 장치.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 스테이지의 면 중 상기 레이저 빔 조사부의 반대 방향으로 배치되고 왕복 운동하도록 형성된 레이저 결정화 장치.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 구동부에 상기 기판이 안착된 후 상기 구동부는 상기 스테이지의 일 영역을 원상태로 내려놓는 레이저 결정화 장치.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 구동부가 상기 스테이지의 일 영역을 원상태로 내려놓은 후 상기 레이저 빔 조사부에서 레이저 빔을 조사하기 전에 상기 고정부는 상기 스테이지 내부로 삽입되는 레이저 결정화 장치.
  12. 제1 항에 있어서,
    상기 스테이지를 지지하는 복수의 지지부를 더 포함하는 레이저 결정화 장치.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 복수의 지지부 중 일 지지부 역할을 겸하는 레이저 결정화 장치.
  14. 제1 항에 있어서,
    상기 기판 또는 상기 스테이지가 상기 일 방향으로 운동하는 레이저 결정화 장치.
  15. 레이저 빔 조사부, 스테이지, 상기 스테이지에 배치된 고정부 및 구동부를 구비하는 레이저 결정화 장치를 이용하는 레이저 결정화 방법에 관한 것으로서,
    기판을 상기 스테이지에 배치하는 단계;
    상기 구동부를 이용하여 상기 스테이지의 일 영역을 들어올려 상기 기판이 중력에 의하여 이동하여 상기 고정부에 안착되도록 하는 단계; 및
    상기 레이저 빔 조사부를 상기 기판에 대하여 일 방향으로 스캔하면서 상기 기판을 결정화하는 레이저 결정화 방법.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 일 방향은 상기 기판이 상기 고정부에 안착된 상태에서 상기 기판의 일축 방향과 경사를 이루는 레이저 결정화 방법.
  17. 제15 항에 있어서,
    상기 고정부는 상기 기판의 일 모서리와 밀착하도록 제1 면 및 제2 면을 구비하도록 형성된 레이저 결정화 방법.
  18. 제17 항에 있어서,
    상기 제1 면의 연장선 및 상기 제2 면의 연장선은 상기 일 방향과 수직하거나 평행하지 않고 소정의 각도로 경사지도록 형성된 레이저 결정화 방법.
  19. 제17 항에 있어서,
    상기 제1 면 및 상기 제2 면은 서로 접촉하는 레이저 결정화 방법.
  20. 제19 항에 있어서,
    상기 제1 면 및 상기 제2 면이 서로 접촉하는 점은 상기 스테이지의 중심과 상기 구동부의 위치를 연결한 직선상에 위치하는 레이저 결정화 방법.
  21. 제17 항에 있어서,
    상기 제1 면 및 상기 제2 면은 서로 이격되는 레이저 결정화 방법.
  22. 제21 항에 있어서,
    상기 제1 면의 연장선 및 상기 제2 면의 연장선이 서로 접촉하는 점은 상기 스테이지의 중심과 상기 구동부의 위치를 연결한 선의 연장선에 위치하는 레이저 결정화 방법.
  23. 제15 항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 스테이지의 면 중 상기 레이저 빔 조사부의 반대 방향으로 배치되고 왕복 운동하도록 형성된 레이저 결정화 방법.
  24. 제15 항에 있어서,
    상기 구동부에 상기 기판이 안착된후 상기 기판을 결정화하기 전에 상기 구동부가 상기 스테이지의 일 영역을 원상태로 내려놓는 단계를 포함하는 레이저 결정화 방법.
  25. 제24 항에 있어서,
    상기 구동부가 상기 스테이지의 일 영역을 원상태로 내려놓은 후 상기 레이저 빔 조사부에서 레이저 빔을 조사하기 전에 상기 고정부를 상기 스테이지 내부로 삽입하는 레이저 결정화 방법.
  26. 제15 항에 있어서,
    상기 레이저 빔 조사부를 상기 기판에 대하여 스캔하는 공정은 상기 기판 또는 상기 스테이지가 상기 일 방향으로 운동하면서 진행되는 레이저 결정화 방법.
  27. 제15 항에 있어서,
    상기 일 방향은 상기 기판을 결정화한 후에 형성되는 복수의 화소들을 이루는 격자 무늬와 직교 또는 평행하도록 배치되지 않고 소정의 각도로 경사지는 레이저 결정화 방법.
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