KR101016064B1

KR101016064B1 - Heater

Info

Publication number: KR101016064B1
Application number: KR1020080110813A
Authority: KR
Inventors: 강호영
Original assignee: 주식회사 테라세미콘
Priority date: 2008-11-10
Filing date: 2008-11-10
Publication date: 2011-02-23
Also published as: KR20100051976A

Abstract

복수개의 기판을 챔버에 로딩한 후 동시에 열처리할 수 있는 배치형 열처리 장치에 설치되어 기판에 인가되는 열을 공급하는 히터가 개시된다. 본 발명에 따른 히터(100)는 제1 관(110); 제1 관(110)의 외주면에 감기면서 설치되는 열선(140); 제1 관(110)과의 사이에 공간을 가지면서 제1 관(110)을 둘러싸는 제2 관(120); 및 제2 관(120)과의 사이에 공간을 가지면서 제2 관(120)을 둘러싸는 제3 관(130); 을 포함하고, 제3 관(130)의 양단에는 제3 관(130)을 냉각시키는 냉각수가 흐르도록 하는 제1 냉각부(200)가 설치되는 것을 특징으로 한다. Disclosed is a heater installed in a batch heat treatment apparatus capable of simultaneously heat treating a plurality of substrates in a chamber and supplying heat applied to the substrate. The heater 100 according to the present invention includes a first pipe 110; Hot wire 140 is installed while wound around the outer circumferential surface of the first tube (110); A second tube 120 surrounding the first tube 110 while having a space between the first tube 110; And a third tube 130 surrounding the second tube 120 while having a space between the second tube 120 and the second tube 120. It includes, and both ends of the third tube 130 is characterized in that the first cooling unit 200 for flowing the cooling water for cooling the third tube 130 is installed.

배치식 열처리 장치, 기판, 히터, 냉각 Batch Heat Treater, Substrate, Heater, Cooling

Description

Heater {Heater}

본 발명은 히터에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 복수개의 기판을 챔버에 로딩한 후 동시에 열처리할 수 있는 배치형 열처리 장치에 설치되어 기판에 인가되는 열을 공급하는 히터로서, 열처리 공정이 완료된 후에는 냉각용 가스를 이용하여 챔버 내부를 신속하게 냉각시킬 수 있는 히터에 관한 것이다.The present invention relates to a heater. More specifically, the heater is installed in a batch heat treatment apparatus capable of simultaneously heat treatment after loading a plurality of substrates in the chamber, and supplies a heat applied to the substrate, after the heat treatment process is completed using a gas for cooling It relates to a heater that can cool the inside quickly.

평판 디스플레이 및 태양전지 제조에 사용되는 어닐링(annealing) 장치는 글래스와 같은 기판 상에 증착되어 있는 소정의 박막에 대하여 결정화, 상 변화 등의 공정을 위하여 필수적인 열처리 단계를 담당하는 장치이다. The annealing apparatus used in the manufacture of flat panel displays and solar cells is a device in charge of heat treatment steps necessary for processes such as crystallization and phase change for a predetermined thin film deposited on a substrate such as glass.

대표적인 어닐링 장치로는 액정 디스플레이 또는 박막형 결정질 실리콘 태양전지를 제조하는 경우 글래스 기판 상에 증착된 비정질 실리콘을 폴리 실리콘으로 결정화시키는 실리콘 결정화 장치가 있다. Representative annealing apparatus is a silicon crystallization apparatus for crystallizing amorphous silicon deposited on a glass substrate with polysilicon when manufacturing a liquid crystal display or thin film crystalline silicon solar cell.

이와 같은 결정화 공정(열처리 공정)을 수행하기 위해서는 소정의 박막이 형성되어 있는 기판의 히팅이 가능한 열처리 장치가 있어야 한다. 예를 들어, 비정질 실리콘의 결정화를 위해서는 최소한 550 내지 600℃의 온도가 필요하다.In order to perform such a crystallization process (heat treatment process), a heat treatment apparatus capable of heating a substrate on which a predetermined thin film is formed should be provided. For example, at least 550 to 600 ° C. temperature is required for the crystallization of amorphous silicon.

통상적으로 열처리 장치에는 하나의 기판에 대하여 열처리를 수행할 수 있는 매엽식과 복수개의 기판에 대하여 열처리를 수행할 수 있는 배치식이 있다. 매엽식은 장치의 구성이 간단한 이점이 있으나 생산성이 떨어지는 단점이 있어서 최근의 대량 생산용으로는 배치식이 각광을 받고 있다. Typically, the heat treatment apparatus includes a sheet type that can perform heat treatment on one substrate and a batch type that can perform heat treatment on a plurality of substrates. Single leaf type has the advantage of simple configuration of the device, but the disadvantage of low productivity has been in the spotlight for the recent mass production.

최근 평판 디스플레이 및 태양전지용 글래스 기판의 사이즈가 점차 대면적화 되고 있다. 예를 들어, LCD의 경우 5.5 세대용 글래스 기판의 사이즈는 1,120mm X 1,220mm에 이르고 있다.In recent years, the size of flat panel displays and glass substrates for solar cells has gradually increased. For example, in the case of LCD, the 5.5 generation glass substrate is 1,120mm x 1,220mm.

그러나, 종래의 열처리 장치는 열처리 공정을 종료한 후 글래스 기판을 열처리 장치에서 언로딩하는 단계에서 많은 시간이 소요되어 열처리 공정의 생산성을 저하시키는 문제점이 있었다. 이와 같은 생산성이 저하되는 현상은 열 충격에 의한 글래스 기판의 손상을 방지하기 위하여 열처리 공정이 끝나고 챔버 내부를 일정 온도 미만으로 냉각시킨 후 글래스 기판을 언로딩시켜야 하는 관계로 챔버 내부의 온도를 떨어뜨리는 과정에서 시간이 많이 걸리기 때문에 발생한다. However, the conventional heat treatment apparatus takes a lot of time in the step of unloading the glass substrate in the heat treatment apparatus after finishing the heat treatment process has a problem of lowering the productivity of the heat treatment process. This decrease in productivity is due to the need to unload the glass substrate after the heat treatment process and to cool the inside of the chamber below a certain temperature in order to prevent damage to the glass substrate due to thermal shocks to lower the temperature inside the chamber This occurs because the process takes a lot of time.

이에 본 발명은 상술한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 열처리 공정의 종료 후에 챔버 내부를 신속하게 냉각시켜서 평판 디스플레이 또는 태양전지 등의 제조에 필요한 열처리 공정의 생산성을 획기적으로 향상시킬 수 있는 히터를 제공하는 데에 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the problems of the prior art as described above, by rapidly cooling the interior of the chamber after the end of the heat treatment process to significantly improve the productivity of the heat treatment process required for manufacturing flat panel display or solar cell, etc. It is an object to provide a heater that can be made.

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 히터는, 복수개의 기판을 챔버에 로딩한 후 동시에 열처리할 수 있는 배치형 열처리 장치에 설치되어 상기 기판에 인가되는 열을 공급하는 히터로서, 상기 히터는 제1 관; 상기 제1 관의 외주면에 감기면서 설치되는 열선; 상기 제1 관과의 사이에 공간을 가지면서 상기 제1 관을 둘러싸는 제2 관; 및 상기 제2 관과의 사이에 공간을 가지면서 상기 제2 관을 둘러싸는 제3 관을 포함하고, 상기 제3 관의 양단에는 상기 제3 관을 냉각시키는 냉각수가 흐르도록 하는 제1 냉각부가 설치되는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the heater according to the present invention is a heater that is installed in a batch heat treatment apparatus that can be heat-treated at the same time after loading a plurality of substrates in a chamber, the heater to supply the heat applied to the substrate, The first tube; A heating wire wound around the outer circumferential surface of the first tube; A second tube surrounding the first tube with a space between the first tube; And a third tube surrounding the second tube while having a space between the second tube, and a first cooling unit configured to allow a coolant for cooling the third tube to flow through both ends of the third tube. It is characterized by being installed.

상기 제3 관의 양단에는 상기 제2 관과 상기 제3 관 사이의 공간을 통하여 냉각용 가스가 흐르도록 하는 제2 냉각부가 더 설치될 수 있다. Both ends of the third tube may further be provided with a second cooling unit for the cooling gas flows through the space between the second tube and the third tube.

상기 제1 관 및 상기 제2 관 중 적어도 하나는 상기 제3 관으로부터 분리 할 수 있다.At least one of the first tube and the second tube may be separated from the third tube.

상기 제2 관은 상기 제3 관과 접촉되어 지지될 수 있다. The second tube may be in contact with and supported by the third tube.

상기 제1 냉각부는 내부에 공간이 형성되는 제1 본체; 상기 제1 본체의 내부 공간으로 냉각수가 유입되도록 하는 냉각수 유입관; 및 상기 제1 본체의 내부 공간에 유입된 냉각수가 유출되도록 하는 냉각수 유출관을 포함할 수 있다. The first cooling unit may include a first body having a space formed therein; A coolant inflow pipe configured to allow coolant to flow into an internal space of the first body; And a coolant outlet pipe configured to allow the coolant introduced into the inner space of the first body to flow out.

상기 제2 냉각부는 내부에 공간이 형성되는 제2 본체; 및 상기 제2 본체의 내부 공간으로 연결되는 가스관을 포함하고, 상기 제2 본체의 내부 공간은 상기 제2 관과 상기 제3 관 사이의 공간과 연결될 수 있다. The second cooling unit includes a second body having a space formed therein; And a gas pipe connected to an inner space of the second body, and the inner space of the second body may be connected to a space between the second pipe and the third pipe.

상기 제3 관의 일단에 설치된 제2 냉각부의 가스관이 냉각용 가스 공급관이면 상기 제3 관의 타단에 설치된 제2 냉각부의 가스관은 냉각용 가스 배기관일 수 있다. If the gas pipe of the second cooling unit provided at one end of the third pipe is a cooling gas supply pipe, the gas pipe of the second cooling unit installed at the other end of the third pipe may be a cooling gas exhaust pipe.

상기 제1 냉각부는 플랜지를 통하여 배치형 열처리 장치의 챔버 벽에 고정 설치될 수 있다. The first cooling unit may be fixedly installed on the chamber wall of the batch heat treatment apparatus through a flange.

본 발명에 따르면, 히터 내부에 냉각용 가스가 흐를 수 있는 공간이 마련되어 열처리 공정이 종료된 후 열처리 장치의 챔버 내부를 신속하게 냉각시킬 수 있음으로써 기판의 언로딩 과정에 소요되는 시간이 단축되어 평판 디스플레이 또는 태양전지 등의 제조에 필요한 열처리 공정의 생산성을 획기적으로 향상시키는 효과가 있다.According to the present invention, a space in which a cooling gas flows is provided inside the heater to quickly cool the inside of the chamber of the heat treatment apparatus after the heat treatment process is completed, thereby reducing the time required for the unloading process of the substrate. There is an effect to dramatically improve the productivity of the heat treatment process required for the manufacture of a display or a solar cell.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세하게 설명하도록 한다.Hereinafter, the configuration of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 히터가 설치되는 배치식 열처리 장치의 챔버를 나타내는 사시도이다. 1 is a perspective view illustrating a chamber of a batch heat treatment apparatus in which a heater is installed according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 히터의 구성을 나타내는 단면도이다. 2 is a cross-sectional view showing the configuration of a heater according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 히터가 챔버에 설치된 상태를 나타내는 측면도이다.3 is a side view showing a state in which the heater according to an embodiment of the present invention is installed in the chamber.

도 4는 도 3의 a 부분의 상세도면으로서, 히터의 단부에 제1 및 제2 냉각부가 설치된 상태를 나타내는 도면이다. 도 4에서는 도면의 이해를 용이하게 하기 위해 열선(140)의 도시를 생략하였다. FIG. 4 is a detailed view of a portion of FIG. 3 and illustrates a state in which first and second cooling units are installed at ends of the heaters. In FIG. 4, the illustration of the hot wire 140 is omitted to facilitate understanding of the drawing.

도 5는 제1 및 제2 냉각부의 분해 사시도이다.5 is an exploded perspective view of the first and second cooling units.

먼저, 배치식 열처리 장치에 로딩되는 기판(1)의 재질은 특별히 제한되지 않으며 글래스, 플라스틱, 폴리머, 실리콘 웨이퍼, 스테인레스 스틸 등 다양한 재질의 기판(1)이 로딩될 수 있다. 이하에서는 LCD나 OLED와 같은 평판 디스플레이나 박막형 실리콘 태양전지 분야에 가장 일반적으로 사용되는 직사각형 형상의 글래스 기판을 상정하여 설명한다.First, the material of the substrate 1 loaded in the batch heat treatment apparatus is not particularly limited, and the substrate 1 of various materials such as glass, plastic, polymer, silicon wafer, stainless steel, and the like may be loaded. Hereinafter, a description will be given assuming a rectangular glass substrate that is most commonly used in the field of flat panel displays such as LCDs and OLEDs or thin film silicon solar cells.

배치식 열처리 장치는 열처리 공간을 제공하는 직육면체 형상의 챔버(10)를 주요 구성 요소로 한다. 챔버(10)의 재질은 스테인레스 스틸인 것이 바람직하나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 챔버(10)는 스테인레스 스틸 재질의 프레임에 의해 지지될 수 있다. The batch heat treatment apparatus has a rectangular parallelepiped chamber 10 which provides a heat treatment space as a main component. The material of the chamber 10 is preferably stainless steel, but is not necessarily limited thereto. The chamber 10 may be supported by a frame made of stainless steel.

챔버(10)의 일측에는 챔버(10)에 기판(1)을 로딩하기 위하여 제1 개구(12)가 형성될 수 있고, 제1 개구(12)에는 상하 방향으로 개폐되는 도어가 설치될 수 있다. 트랜스퍼 암과 같은 기판 로딩 장치(미도시)를 이용하여 제1 개구(12)를 통해 기판(1)을 챔버(10)로 로딩할 수 있다. 한편, 열처리가 종료된 후 제1 개구(12)를 통하여 챔버(10)로부터 기판(1)을 언로딩할 수도 있다. The first opening 12 may be formed at one side of the chamber 10 to load the substrate 1 in the chamber 10, and the door opening and closing in the vertical direction may be installed at the first opening 12. . A substrate loading device (not shown), such as a transfer arm, may be used to load the substrate 1 into the chamber 10 through the first opening 12. Meanwhile, after the heat treatment is completed, the substrate 1 may be unloaded from the chamber 10 through the first opening 12.

챔버(10)의 상측에는 챔버(10)의 내부에 설치되는, 예를 들어 보트, 가스 공급관 및 가스 배출관 등의 수리 및 교체를 위하여 제2 개구(14)가 설치되고, 제2 개구(14)에는 개폐 가능한 커버가 설치될 수 있다. On the upper side of the chamber 10, a second opening 14 is provided for repairing or replacing a boat, a gas supply pipe, a gas discharge pipe, and the like installed inside the chamber 10, and the second opening 14 is provided. The cover may be installed to open and close.

챔버(10)의 내부에는 기판(1)을 가열하기 위하여 복수개의 히터(100)가 일정한 간격으로 설치될 수 있다. In the chamber 10, a plurality of heaters 100 may be installed at regular intervals to heat the substrate 1.

히터(100)는 소정의 길이를 갖는 제1 관(110), 제1 관(110)의 외주면에 일정한 간격으로 감겨서 설치되는 코일형 열선(140), 소정의 길이를 가지면서 제1 관(110)의 외부를 둘러싸는 제2 관(120), 소정의 길이를 가지면서 제2 관(120)의 외부를 둘러싸는 제3 관(130)을 포함하여 구성된다.The heater 100 includes a first tube 110 having a predetermined length, a coiled heating wire 140 wound around the outer circumferential surface of the first tube 110 at a predetermined interval, and a first tube having a predetermined length ( It comprises a second tube 120 surrounding the outside of the 110, a third tube 130 having a predetermined length surrounding the outside of the second tube (120).

제1 관(110), 제2 관(120) 및 제3 관(130)의 재질은 제1 관(110), 제2 관(120) 및 제3 관(130) 모두 열처리 장치에 적용되기 때문에 융점이 높은 재질, 예를 들어 석영인 것이 바람직하다.Since the materials of the first tube 110, the second tube 120, and the third tube 130 are all applied to the heat treatment apparatus, the first tube 110, the second tube 120, and the third tube 130 are all applied. It is preferable that it is a material with high melting point, for example, quartz.

제1 관(110)은 외경이 대략 10mm, 내경은 대략 6mm, 두께는 2mm 정도인 것이 바람직하다. 제1 관(110)은 그 자체로 중앙에 빈 공간(112)을 갖는다. The first tube 110 preferably has an outer diameter of about 10 mm, an inner diameter of about 6 mm, and a thickness of about 2 mm. The first tube 110 itself has an empty space 112 in the center.

제1 관(110)의 단부는 후술하는 고정캡의 중앙을 통과하여 외부로 연장되고, 연장된 부분의 외주면에는 나사산이 형성되어 외부의 전원을 연결할 수 있도록 하는 단자부(160)가 설치될 수 있도록 한다. The end of the first tube 110 extends to the outside through the center of the fixing cap to be described later, a screw thread is formed on the outer circumferential surface of the extended portion so that the terminal portion 160 to connect the external power source can be installed. do.

제1 관(110)의 외주면에는 열선(140)이 코일 형태로 감겨져 있다. 열선(140)의 재질은 니크롬 또는 칸탈(Kanthal) 중 어느 하나인 것이 바람직하다. 열선(150)의 직경은 1.0mm 내지 1.4mm의 범위를 갖는 것이 바람직하고, 직경이 1.2mm 인 더 바람직하다.The heating wire 140 is wound in the form of a coil on the outer circumferential surface of the first tube 110. The material of the hot wire 140 is preferably any one of nichrome and Kanthal. The diameter of the hot wire 150 preferably has a range of 1.0 mm to 1.4 mm, more preferably 1.2 mm in diameter.

열선(140)을 제1 관(110) 상에 감을 때 열선(140)의 피치는 발열량과 관계가 있다. 즉, 열선(140)의 피치가 작은 영역은 피치가 큰 영역과 비교할 때 발열량이 크다. 따라서, 기판을 균일하게 가열하기 위해서는 히터(100)의 전 면적에 걸쳐서 발열량이 일정해야 하며 이를 위해서는 제1 관(110) 상의 위치에 관계없이 열선(140)의 피치는 동일한 것이 좋다. 다만, 필요에 따라서는 열선(140)의 피치를 제1 관(110) 상의 위치에 따라 변경할 수도 있다. When the heating wire 140 is wound on the first tube 110, the pitch of the heating wire 140 is related to the amount of heat generated. That is, the area of the pitch of the heating wire 140 has a large amount of heat generation as compared to the area of the pitch of the large. Therefore, in order to uniformly heat the substrate, the heat generation amount must be constant over the entire area of the heater 100. For this purpose, the pitch of the heating wire 140 may be the same regardless of the position on the first tube 110. However, if necessary, the pitch of the heating wire 140 may be changed according to the position on the first pipe 110.

제2 관(120)은 제1 관(110)과 일정한 간격을 가지면서 제1 관(110)을 둘러싸는 형태로 설치된다. 제2 관(120)은 외경이 대략 18mm, 내경은 대략 14mm, 두께는 2mm 정도인 것이 바람직하다.The second tube 120 is installed in a form surrounding the first tube 110 while having a predetermined distance from the first tube 110. The second tube 120 has an outer diameter of about 18 mm, an inner diameter of about 14 mm, and a thickness of about 2 mm.

제3 관(130)은 제2 관(120)과 일정한 간격을 가지면서 제2 관(120)을 둘러싸는 형태로 설치된다. 제3 관(130)은 외경이 대략 30mm, 내경은 대략 22mm, 두께는 4mm 정도로 구성되는 것이 바람직하다. 제2 관(120)과 제3 관(130) 사이에는 대략 2mm 정도의 간격을 갖는 빈 공간(122)이 형성된다.The third tube 130 is installed in a form surrounding the second tube 120 while having a predetermined distance from the second tube 120. The third tube 130 is preferably configured to have an outer diameter of about 30 mm, an inner diameter of about 22 mm, and a thickness of about 4 mm. An empty space 122 having an interval of about 2 mm is formed between the second tube 120 and the third tube 130.

히터의 수리 등을 위해 제1 관(110)과 제2 관(120)은 제3 관(130)으로부터 각각 분리될 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다. For repair of the heater, the first tube 110 and the second tube 120 is preferably configured to be separated from the third tube 130, respectively.

한편, 제2 관(120)의 양 단부에는 제1 관(110)의 외주면에 감겨있는 열선(140)이 빠져 나오는 것을 방지하기 위해 고정캡(150)이 설치될 수 있다. Meanwhile, fixing caps 150 may be installed at both ends of the second tube 120 to prevent the heating wire 140 wound around the outer circumferential surface of the first tube 110 from coming out.

고정캡(150)은 소정의 길이를 갖는 원통형으로 형성되고, 일단으로는 제2 관(120)이 내측으로 삽입된 후 밀착될 수 있도록 형성되고, 타단으로는 제1 관(110)과 제2 관(120) 사이에 형성된 공간(112)을 폐쇄할 수 있을 정도의 크기를 갖는 링 형태로 형성한다. 고정캡(150)을 제2 관(120)의 단부에 설치하였을 때 제1 관(110)의 외주면에 감겨있는 열선(140)의 일단이 고정캡(150)에 접촉하며 이동이 방지되어 제1 관(110)과 제2 관(120)의 사이에서 외부로 이탈하지 못하도록 하는 것이 바람직하다. Fixing cap 150 is formed in a cylindrical shape having a predetermined length, one end is formed to be in close contact with the second tube 120 is inserted inward, the other end of the first tube 110 and the second The space 112 formed between the pipes 120 is formed in a ring shape having a size sufficient to close the space 112. When the fixing cap 150 is installed at the end of the second tube 120, one end of the heating wire 140 wound around the outer circumferential surface of the first tube 110 contacts the fixing cap 150 and is prevented from moving. It is preferable to prevent the departure between the tube 110 and the second tube 120 to the outside.

그리고, 고정캡(150)은 SUS 재질로 형성하여 외부에서 인가되는 전원을 고정캡(150)에 접촉하는 열선(140)으로 인가할 수 있도록 하는 것이 바람직하다. In addition, the fixing cap 150 is preferably made of SUS material so that the power applied from the outside may be applied to the heating wire 140 in contact with the fixing cap 150.

제1 관(110)은 고정캡(150)의 중앙을 통과하여 외부로 연장되고, 연장된 부분의 외주에는 나사산이 형성되어 후술하는 단자부(160)와의 연결을 용이하게 한다. The first tube 110 extends to the outside through the center of the fixing cap 150, the thread is formed on the outer periphery of the extended portion to facilitate the connection with the terminal portion 160 to be described later.

히터(100)를 구성하는 제1, 제2 및 제3 관(110, 120, 130)의 중심축은 일치되도록 구성될 수도 있지만, 히터(100)의 동작 도중에 제1 및 제2 관(110, 120)의 처짐이 발생할 수 있고 처짐 정도에 따라서는 제1 관(110) 또는 제2 관(120)이 파손될 수 있으므로, 이를 방지하기 위해 제2 관(120)을 제3 관(130)의 중심보다 하부에 위치되도록 하여 동작 도중 처짐이 발생되면 제3 관(130)과 접촉되어 지지될 수 있도록 하는 것이 바람직하다. Although the central axes of the first, second and third pipes 110, 120, 130 constituting the heater 100 may be configured to coincide, the first and second pipes 110, 120 may be in operation during the operation of the heater 100. ) May occur and depending on the degree of deflection, the first tube 110 or the second tube 120 may be damaged, so that the second tube 120 may be lower than the center of the third tube 130 to prevent this. If the deflection occurs during the operation to be located in the lower portion is preferably to be in contact with the third tube (130) to be supported.

제1 관(110)의 단부에는 제1 관(110)의 외주면에 감겨있는 열선(140)으로 인가되는 전원을 외부에서 공급받을 수 있고 한편으로는 외부 환경에 대하여 절연 기능도 담당할 수 있는 단자부(160)가 설치된다. 단자부(160)는 후술하는 제2 냉각 부(300)의 제2 본체(310)와 고정캡(150)을 통하여 열선(140)과 연결된다. 단자부(160) 구성은 열선(140)과 외부 전원(미도시)을 연결시킬 수 있으면 특별하게 제한되지 않고 공지의 구성을 채용할 수 있으므로 상세한 설명은 생략한다. An end portion of the first tube 110 may receive power supplied from the outside to the heating wire 140 wound around the outer circumferential surface of the first tube 110 from the outside, and on the other hand, the terminal part may also be insulated from the external environment. 160 is installed. The terminal unit 160 is connected to the heating wire 140 through the second body 310 and the fixing cap 150 of the second cooling unit 300 to be described later. The configuration of the terminal unit 160 is not particularly limited as long as it can connect the hot wire 140 and an external power source (not shown), and thus a well-known configuration may be employed, and thus detailed description thereof will be omitted.

히터(100)는 히터(100)의 내부에 냉각용 가스가 흐를 수 있도록 하는 공간이 형성되어 있다. 상기 공간은 제1 관(110)의 중앙 공간(112)과 제2 관(120)과 제3 관(130) 사이의 공간(122)을 포함하며, 2개의 공간(112, 122) 중 최소한 어느 하나의 공간을 통하여 냉각용 가스가 흐르게 된다. The heater 100 has a space for allowing a cooling gas to flow in the heater 100. The space includes a central space 112 of the first pipe 110 and a space 122 between the second pipe 120 and the third pipe 130, and at least any of the two spaces 112 and 122. Cooling gas flows through one space.

냉각용 가스로는 공기, 헬륨, 질소, 아르곤을 사용할 수 있다. 냉각용 가스의 온도는 대략 상온인 것이 바람직하나 필요에 따라서는 상온 미만의 온도로 냉각된 가스를 사용할 수도 있다.As the cooling gas, air, helium, nitrogen, argon may be used. The temperature of the gas for cooling is preferably about room temperature, but if necessary, a gas cooled to a temperature below room temperature may be used.

또한, 냉각수를 이용하여 제3 관(130)의 단부를 냉각시킴으로써 제3 관(130)이 열손상을 입는 것을 방지할 수 있다. In addition, by cooling the end of the third tube 130 by using the cooling water, it is possible to prevent the third tube 130 from being damaged.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 히터(100)의 제3 관(130)의 양단으로는 히터(100) 단부를 냉각하는 제1 냉각부(200)가 설치되고, 히터(100)를 구성하는 제1 관(110)과 제2 관(120) 사이에 형성된 공간으로 냉각 가스를 유입시킬 수 있는 제2 냉각부(300)가 설치될 수 있다. Therefore, according to one embodiment of the present invention, both ends of the third tube 130 of the heater 100, the first cooling unit 200 for cooling the end of the heater 100 is provided, the heater 100 A second cooling unit 300 may be installed to allow a cooling gas to flow into a space formed between the first pipe 110 and the second pipe 120.

제1 및 제2 냉각부(200, 300)는 히터(100)를 구성하는 제3 관(130)의 양단에 동일하게 설치될 수 있다. The first and second cooling units 200 and 300 may be equally installed at both ends of the third tube 130 constituting the heater 100.

제1 냉각부(200)의 구성을 살펴보기로 한다. The configuration of the first cooling unit 200 will be described.

히터(100)를 구성하는 제3 관(130)의 양 단부에는 외부에서 공급받은 냉각수 를 이용하여 제3 관(130)의 단부를 냉각할 수 있는 제1 냉각부(200)를 설치한다. Both ends of the third tube 130 constituting the heater 100 are installed with a first cooling unit 200 that can cool the end of the third tube 130 by using the coolant supplied from the outside.

제1 냉각부(200)는 내부를 따라 소정의 공간이 형성되어 있는 링 형태의 제1 본체(210)와 제1 본체(210)의 일측으로 설치되는 냉각수 유입관(220) 및 냉각수 유출관(230)으로 구성될 수 있다. The first cooling unit 200 is a cooling water inlet tube 220 and the cooling water outlet tube installed at one side of the first body 210 and the first body 210 of a ring form a predetermined space is formed along the inside ( 230).

제1 냉각부(200)의 제1 본체(210)는 후술하는 플랜지(240)에 의해 챔버(10)에 고정될 수 있도록 외주 직경은 플랜지(240)의 내주 직경에 해당하는 정도로 형성되고, 제1 본체(210)의 내주 직경은 제3 관(130)의 외주 직경에 해당하는 수준으로 형성될 수 있다. The first main body 210 of the first cooling unit 200 is formed so that the outer circumference diameter corresponds to the inner circumference diameter of the flange 240 so that it can be fixed to the chamber 10 by the flange 240 to be described later, 1 The inner circumference of the body 210 may be formed at a level corresponding to the outer circumference of the third tube (130).

그리고, 제1 본체(210)의 일단은 챔버(10)의 외벽에 밀착되므로, 챔버(10)에 밀착되는 면에 오 링(212)을 배치하여 가스 누출 등이 방지될 수 있도록 하는 것이 바람직하다. And, since one end of the first body 210 is in close contact with the outer wall of the chamber 10, it is preferable to arrange the o-ring 212 on the surface in close contact with the chamber 10 to prevent gas leakage and the like. .

냉각수 유입관(220) 및 냉각수 유출관(230)은 제1 본체(210) 내부의 공간으로 냉각수를 유입 및 유출이 가능하게 하여 제3 관(130)의 단부를 냉각할 수 있다. The coolant inlet pipe 220 and the coolant outlet pipe 230 may cool the end of the third pipe 130 by allowing the coolant to flow into and out of the space inside the first body 210.

냉각수 유입관(220) 및 냉각수 유출관(230)은 제1 본체(210)의 중심축에 대하여 소정의 각거리를 두고 이격되어 설치될 수 있다. The coolant inlet pipe 220 and the coolant outlet pipe 230 may be spaced apart from each other at a predetermined angular distance with respect to the central axis of the first body 210.

제1 냉각부(200)가 설치되어 있는 히터(100)의 양 단부에는 히터(100)의 제2 관(120)과 제3 관(130) 사이의 공간으로 냉각용 가스가 흐르도록 하는 제2 냉각부(300)가 설치될 수 있다. A second gas through which cooling gas flows into spaces between the second tube 120 and the third tube 130 of the heater 100 at both ends of the heater 100 in which the first cooling unit 200 is installed. The cooling unit 300 may be installed.

제2 냉각부(300)의 구성을 살펴보기로 한다. The configuration of the second cooling unit 300 will be described.

제2 냉각부(300)는 내부에 공간이 형성되어 있는 링 형태의 제2 본체(310)와 제1 본체(210)의 일측으로 설치되어 제2 본체(310)의 내부에 형성되는 공간과 연결되는 가스관(320)으로 구성된다. The second cooling unit 300 is installed at one side of the ring-shaped second main body 310 and the first main body 210 having a space formed therein, and is connected to the space formed inside the second main body 310. It consists of a gas pipe 320 to be.

제2 본체(310)의 외주 직경은 제3 관(130)의 외주 직경에 해당하는 정도로 형성되고, 제2 본체(310)의 내주 직경은 제2 관(120)의 외주 직경에 해당하는 수준으로 형성되며, 제2 본체(310)의 일단은 제2 관(120)과 제3 관(130)의 사이에 형성된 공간과 유통할 수 있도록 개방되어 있다. The outer circumferential diameter of the second body 310 is formed to correspond to the outer circumferential diameter of the third tube 130, and the inner circumferential diameter of the second body 310 is at a level corresponding to the outer circumferential diameter of the second tube 120. It is formed, one end of the second main body 310 is open so as to flow with the space formed between the second tube 120 and the third tube (130).

따라서, 가스관(320)을 통해 유입된 냉각용 가스가 제2 본체(310)를 통해 제2 관(120)과 제3 관(130)의 사이에 형성된 공간으로 유입될 수 있고, 냉각 후에는 다시 제2 본체(310)를 통해 외부로 배출될 수 있다. Therefore, the cooling gas introduced through the gas pipe 320 may be introduced into the space formed between the second pipe 120 and the third pipe 130 through the second body 310, and again after cooling. It may be discharged to the outside through the second body 310.

제2 냉각부(300)는 제3 관(130)의 양단에 각각 설치되므로, 일단의 제2 냉각부(300)의 가스관(320)을 통해 냉각용 가스가 공급된다면, 냉각용 가스는 제2 관(120)과 제3 관(130)의 사이에 형성된 공간을 통과한 후, 타단의 제2 냉각부(300)의 가스관(320)을 통해 배기될 수 있다.Since the second cooling unit 300 is installed at both ends of the third pipe 130, respectively, if the cooling gas is supplied through the gas pipe 320 of the second cooling unit 300, the cooling gas may be a second gas. After passing through the space formed between the pipe 120 and the third pipe 130, it may be exhausted through the gas pipe 320 of the second cooling unit 300 of the other end.

제1 및 제2 냉각부(200, 300)의 설치에 대하여 살펴보기로 한다. The installation of the first and second cooling units 200 and 300 will be described.

제1 냉각부(200)는 플랜지(240)에 의해 챔버(10)의 외부면에 밀착되어 고정될 수 있다. The first cooling unit 200 may be fixed to the outer surface of the chamber 10 by the flange 240.

이때, 플랜지(240)에 의해 제1 냉각부(200)의 고정이 용이할 수 있도록 플랜지(240)의 일단과 제1 본체(210)의 일단은 서로 걸릴 수 있도록 함으로써, 제1 냉각부(200)가 챔버(10)에 용이하게 고정될 수 있도록 하는 것이 바람직하다. In this case, one end of the flange 240 and one end of the first main body 210 may be caught by each other so that the first cooling unit 200 may be easily fixed by the flange 240, and thus, the first cooling unit 200 may be caught. ) May be easily fixed to the chamber 10.

플랜지(240)는 챔버(10)의 외벽에 밀착된 상태에서 챔버(10)의 외벽에 볼트 고정할 수 있다. 제1 냉각부(200)가 챔버(10)의 외부에 견고하게 고정될 수 있다면, 플랜지(240)와 챔버(10)의 고정 방식은 볼트 고정 방식 이외에도 다양한 방법으로 고정될 수 있다. The flange 240 may be bolted to the outer wall of the chamber 10 in a state in close contact with the outer wall of the chamber 10. If the first cooling unit 200 may be firmly fixed to the outside of the chamber 10, the fixing method of the flange 240 and the chamber 10 may be fixed in various ways in addition to the bolt fixing method.

제1 냉각부(200)가 플랜지(240)에 의해 챔버(10)에 고정된 상태에서 제1 냉각부(200)와 제3 관(130)의 고정 상태를 견고히 하기 위해, 제1 본체(210)와 제3 관(130)의 사이에 형성된 공간으로는 칼라(collar)(250) 및 칼라(250)의 양단으로 배치되는 오 링(252)이 설치될 수 있고, 칼라(250)의 일단으로는 히터 커버(260)를 위치될 수 있다. 히터 커버(260)를 제1 본체(210)에 볼트 고정시킴으로써, 제3 관(130)과 제1 본체(210)의 고정을 견고히 할 수 있다. 고정 상태를 견고히 하기 위해 칼라(250)와 히터 커버(260)의 외주 직경은 제1 본체(210)의 내주면에 밀착되는 정도로 형성되는 것이 바람직하다. In order to secure the fixed state of the first cooling unit 200 and the third tube 130 in a state where the first cooling unit 200 is fixed to the chamber 10 by the flange 240, the first main body 210 is fixed. ) And the o-ring 252 disposed at both ends of the collar 250 and the collar 250 may be installed as a space formed between the third tube 130 and one end of the collar 250. The heater cover 260 may be located. By fixing the heater cover 260 to the first main body 210, the fixing of the third tube 130 and the first main body 210 can be secured. In order to secure the fixed state, the outer circumferential diameters of the collar 250 and the heater cover 260 are preferably formed to be in close contact with the inner circumferential surface of the first body 210.

또한, 제1 본체(210)와 제3 관(130)의 사이에 설치되는 칼라(250) 및 오 링(252)은 제1 본체(210)와 제3 관(130)의 발생될 수 있는 틈새를 밀폐시킴으로써 챔버(10) 내부로의 가스의 유입을 방지할 수 있으므로, 챔버(10) 내부의 진공 유지를 용이하게 할 수 있다. In addition, the collar 250 and the o-ring 252 installed between the first body 210 and the third tube 130 may have a possible gap between the first body 210 and the third tube 130. By sealing the gas, the inflow of gas into the chamber 10 can be prevented, so that the vacuum in the chamber 10 can be easily maintained.

제1 냉각부(200)의 설치가 완료된 후, 고정캡(10)을 통해 연장되어 있는 제1 관(110)의 단부에 제2 본체(310)를 설치하고, 제1 관(110)의 단부로는 단자부(160)를 나사 연결하며, 연결된 단자부(160)는 제2 본체(320)의 일단에 밀착시킴으로써, 제2 냉각부(300)가 고정되도록 한다. 제2 냉각부(300)의 고정을 위해 히터 커버(260)와 제2 본체(310)도 볼트 결합되는 것이 바람직하다.After the installation of the first cooling unit 200 is completed, the second body 310 is installed at the end of the first tube 110 extending through the fixing cap 10, and the end of the first tube 110 is installed. The furnace screw-connects the terminal unit 160, and the connected terminal unit 160 is in close contact with one end of the second body 320, so that the second cooling unit 300 is fixed. In order to fix the second cooling unit 300, the heater cover 260 and the second body 310 may also be bolted together.

상기와 같이 구성된 본 발명은 다음과 같이 작동할 수 있다. The present invention configured as described above can operate as follows.

챔버(10)의 일측에는 제1 개구(12)가 형성되어 챔버(320)에 기판을 로딩하기 위하여 소정의 방향으로 슬라이딩 하면서 개폐되는 도어(미도시)가 설치될 수 있고, 도어가 개방된 상태에서 트랜스퍼 암과 같은 기판 로딩 장치(미도시)를 이용하여 기판(1)을 챔버(320)로 로딩할 수 있다. 한편, 열처리가 종료된 후 도어를 통하여 챔버(10)로부터 기판(1)을 언로딩할 수도 있다.A door (not shown) may be installed at one side of the chamber 10 to open and close while sliding in a predetermined direction in order to load a substrate into the chamber 320, and the door is open. The substrate 1 may be loaded into the chamber 320 using a substrate loading device (not shown) such as a transfer arm. Meanwhile, after the heat treatment is completed, the substrate 1 may be unloaded from the chamber 10 through the door.

챔버(10)의 상측으로 형성된 제2 개구(14)를 통해 챔버(10)의 내부에 설치되는 다양한 구성요소의 수리 및 교체를 할 수 있다.The second opening 14 formed above the chamber 10 allows for repair and replacement of various components installed in the chamber 10.

챔버(10)의 내부에는 기판(1)에 열을 인가하기 위해 소정의 길이를 갖는 복수개의 히터(100)가 설치된다. 도 1을 참조하면, 본 실시예에서는 챔버(10) 내부에 14개의 히터로 구성되는 히터 유닛이 4개가 설치된다. 이때, 1개의 히터 유닛을 구성하는 14개의 히터(100)는 기판(1)의 장변 방향으로 일정한 간격을 가지면서 배치되고, 4개의 히터 유닛은 기판(1)의 적층 방향으로 일정한 간격을 가지면서 배치된다. 1개의 히터 유닛을 구성하는 히터(100)의 개수 및 챔버(10) 내부에 배치되는 히터 유닛의 개수는 챔버(10)에 로딩되는 기판(1)의 크기 및 개수에 따라 다양하게 변경될 수 있다. A plurality of heaters 100 having a predetermined length are installed in the chamber 10 to apply heat to the substrate 1. Referring to FIG. 1, four heater units including 14 heaters are installed in the chamber 10. At this time, the 14 heaters 100 constituting one heater unit are arranged at regular intervals in the long side direction of the substrate 1, and the four heater units have a constant interval in the stacking direction of the substrate 1 Is placed. The number of heaters 100 constituting one heater unit and the number of heater units disposed in the chamber 10 may be variously changed according to the size and number of substrates 1 loaded in the chamber 10. .

이때, 히터(100)의 양단에 설치된 제1 냉각부(200)를 이용하여 히터(100)의 양단으로 냉각수를 유입시켜 히터(100)의 단부를 냉각시킬 수 있다.At this time, the cooling water may be introduced into both ends of the heater 100 by using the first cooling units 200 installed at both ends of the heater 100 to cool the end of the heater 100.

또한, 열처리 공정이 종료된 후에, 히터(100)의 양단에 설치된 제2 냉각부(300)를 이용하여 히터(100) 내의 공간(122)을 통하여 냉각용 가스를 흘려 주면 히터(100) 자체의 온도를 신속하게 떨어뜨리고 나아가 챔버(10) 내부의 온도를 신속하게 떨어뜨릴 수 있다. In addition, after the heat treatment process is completed, the cooling gas flows through the space 122 in the heater 100 using the second cooling units 300 provided at both ends of the heater 100. It is possible to quickly drop the temperature and further to quickly drop the temperature inside the chamber 10.

따라서, 본 발명의 히터(100)는 열처리 공정 종료 후에 기판(1)의 언로딩을 위하여 챔버(10) 내부의 온도를 소정의 온도 미만으로 떨어뜨리는 데에 걸리는 시간을 단축할 수가 있어서 평판 디스플레이 및 태양전지의 제조에 필요한 열처리 공정의 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.Therefore, the heater 100 of the present invention can shorten the time taken to lower the temperature inside the chamber 10 to less than a predetermined temperature for the unloading of the substrate 1 after the end of the heat treatment process. Productivity of the heat treatment process required for manufacturing the solar cell can be greatly improved.

한편, 히터(100)의 계속적인 사용에 의해 제1 관(110), 제2 관(120) 또는 제3 관(130) 중 어느 하나의 관에 손상이 발생될 수 있다. On the other hand, damage to any one of the first tube 110, the second tube 120 or the third tube 130 may be caused by the continuous use of the heater (100).

열처리의 진행을 계속 하기 위해서는 손상된 관의 교체가 필요하고 다음과 같은 과정을 거쳐서 교체하도록 한다. In order to continue the heat treatment, the damaged tube needs to be replaced.

제1 관(110)과 제2 관(120)을 교체하는 경우에는 다음과 같다. When the first tube 110 and the second tube 120 is replaced as follows.

제1 관(110)의 단부에 설치된 단자부(160)는 제1 관(110)과 나사 연결되어 있으므로, 제1 관(110) 양단의 단자부(160)를 제거하여 제1 관(110)에 대한 고정을 해제한 후, 제1 관(110)을 교체할 수 있도록 한다. 이후, 고정캡(150)과 제2 냉각부(300)를 해체하면 제2 관(120)을 분리할 수 있다. 이와 같이 제1 관(110) 또는 제2 관(120) 중 교체가 필요한 관을 새로운 관으로 교환한 후, 상기한 해체의 역순으로 조립하도록 한다. Since the terminal unit 160 installed at the end of the first tube 110 is screwed to the first tube 110, the terminal unit 160 at both ends of the first tube 110 may be removed to remove the terminal portion 160. After releasing the fixing, it is possible to replace the first tube (110). Thereafter, when the fixing cap 150 and the second cooling unit 300 are dismantled, the second pipe 120 may be separated. As such, after replacing the tube requiring replacement of the first tube 110 or the second tube 120 with a new tube, it is assembled in the reverse order of dismantling.

제3 관(130)을 교체하는 경우에는 다음과 같다. When replacing the third tube 130 is as follows.

우선, 제1 관(110)과 제2 관(120)의 교체를 위해 단자부(160) 및 제2 냉각부(300)를 제거하는 것은 상기와 동일하므로 상세한 설명은 생략한다. First, the removal of the terminal unit 160 and the second cooling unit 300 in order to replace the first tube 110 and the second tube 120 is the same as above, and a detailed description thereof will be omitted.

단자부(160) 및 제2 냉각부(300)가 제거된 상태에서는 제3 관(130)의 단부에 대한 고정도 해제되므로, 이 상태에서 칼라(250), 오 링(252) 및 히터 커버(260)를 해체하면 제3 관(130)을 새로운 것으로 교체할 수 있다. 제3 관(130)의 교체 작업시, 제1 본체(210)를 챔버(10)에 고정하는 플랜지(240)를 해체하는 방법도 사용될 수 있으나, 플랜지(240)를 챔버(10) 양단에 재 설치할 때 플랜지(240)를 일직선상에 서로 정렬하는 작업에는 많은 시간이 소요되는 관계로 플랜지(240)는 해체하지 않는 것이 바람직하다. In the state in which the terminal unit 160 and the second cooling unit 300 are removed, the fixing of the end of the third tube 130 is also released, and thus the collar 250, the o-ring 252, and the heater cover 260 in this state. Dismantling) can replace the third tube 130 with a new one. In the replacement of the third tube 130, a method of dismantling the flange 240 that fixes the first body 210 to the chamber 10 may be used, but the flange 240 may be replaced at both ends of the chamber 10. Since the installation of the flanges 240 takes a long time to align the flanges with each other in a straight line, the flanges 240 are preferably not disassembled.

제3 관(130)을 새로운 것으로 교체한 후에는 상기한 해체 순서의 역순으로 조립하여 히터(100)를 완성한다.After replacing the third tube 130 with a new one, the heater 100 is completed by assembling in the reverse order of dismantling.

따라서, 본 발명의 히터(100)는 히터(100)를 구성하는 관 중 어느 하나가 손상을 입었을 경우에는 손상을 입을 관 하나만을 교체할 수 있으므로 히터의 수리 및 관리가 용이해지는 효과가 있다. Therefore, when the heater 100 of the present invention is damaged in any one of the tubes constituting the heater 100 can be replaced only one tube to be damaged there is an effect that the repair and management of the heater is easy.

본 발명은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러한 변형예 및 변경예는 본 발명과 첨부된 특허청구범위의 범위 내에 속하는 것으로 보아야 한다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken in conjunction with the present invention. Variations and changes are possible. Such modifications and variations are intended to fall within the scope of the invention and the appended claims.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 히터가 설치되는 배치식 열처리 장치의 챔버를 나타내는 사시도. 1 is a perspective view showing a chamber of a batch heat treatment apparatus is installed a heater according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 히터의 구성을 나타내는 단면도.2 is a cross-sectional view showing the configuration of a heater according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 히터가 챔버에 설치된 상태를 나타내는 측면도.Figure 3 is a side view showing a state in which the heater is installed in the chamber according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3의 a 부분의 상세도면으로서, 히터의 단부에 제1 및 제2 냉각부가 설치된 상태를 나타내는 도면. FIG. 4 is a detailed view of a portion of FIG. 3, illustrating a state in which first and second cooling units are installed at ends of the heaters. FIG.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1: 기판1: substrate

10: 챔버10: chamber

100: 히터100: heater

110: 제1 관110: first tube

120: 제2 관120: the second tube

130: 제3 관130: third tube

140: 열선140: heating wire

150: 고정캡150: fixed cap

160: 단자부160: terminal portion

200: 제1 냉각부200: first cooling unit

210: 제1 본체210: first body

220: 냉각수 유입관220: cooling water inlet pipe

230: 냉각수 유출관230: coolant outlet pipe

240: 플랜지240: flange

300: 제2 냉각부300: second cooling unit

310: 제2 본체310: second body

320: 가스관320: gas pipe

Claims

A heater for supplying heat applied to the substrate is installed in a batch heat treatment apparatus that can be heat-treated at the same time after loading a plurality of substrates in the chamber,

The heater

First tube;

A heating wire wound around the outer circumferential surface of the first tube;

A second tube surrounding the first tube with a space between the first tube; And

A third tube surrounding the second tube with a space between the second tube and the second tube

Including,

Both ends of the third tube is provided with a first cooling unit for allowing a cooling water to cool the third tube flows,

Heaters, characterized in that the second cooling unit is further provided at both ends of the third tube to allow the cooling gas to flow through the space between the second tube and the third tube.

delete

The method of claim 1,

At least one of the first tube and the second tube is characterized in that the heater is detachable from the third tube.

The method of claim 1,

And the second tube is supported in contact with the third tube.

The method of claim 1,

The first cooling unit

A first body having a space formed therein;

A coolant inflow pipe configured to allow coolant to flow into an internal space of the first body; And

Cooling water outlet pipe to allow the cooling water introduced into the internal space of the first body to flow out

Heater comprising a.

The method of claim 1,

The second cooling unit

A second body having a space formed therein; And

Gas pipe connected to the inner space of the second body

Including,

The inner space of the second body is characterized in that connected to the space between the second tube and the third tube.

The method of claim 6,

And if the gas pipe of the second cooling unit provided at one end of the third pipe is a gas supply pipe for cooling, the gas pipe of the second cooling unit provided at the other end of the third pipe is a cooling gas exhaust pipe.

The method of claim 1,

And the first cooling unit is fixed to the chamber wall of the batch heat treatment apparatus through a flange.