KR101015602B1 - 프로브 스테이션 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 웨이퍼 상에 형성된 반도체 칩들을 검사하는 검사 공간이 형성된 스테이지 유닛;상기 스테이지 유닛으로 상기 웨이퍼를 로딩시키는 로딩 유닛;상기 스테이지 유닛의 전방인 일측면에 배치되어 필터링된 제1 공기를 상기 검사 공간의 내부에 공급하는 제1 공기 공급 유닛; 및상기 제1 공기 공급부에 대응되도록 상기 스테이지 유닛의 타측면에 배치되며, 상기 검사 공간 내부의 파티클이 혼입된 제2 공기를 배출하는 제1 공기 배출 유닛를 포함하는 프로브 스테이션.
- 제1항에 있어서, 상기 타측면에는 제1 개구가 형성되고,상기 제1 공기 배출 유닛은 상기 제1 공기 공급 유닛에 대응되도록 상기 제1 개구의 양 내측면들에 고정되며 상기 제2 공기를 하방으로 유도하기 위하여 상호 평행하게 배치된 복수의 유도 바들을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
- 제1항에 있어서, 상기 타측면에는 제1 개구가 형성되고,상기 제1 공기 배출 유닛은 상기 제1 개구를 커버하고 상기 제2 공기를 상기 제1 개구를 통과하여 하방으로 배출하도록 하부에 제2 개구가 형성된 제1 커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
- 제3항에 있어서, 상기 제1 공기 배출 유닛은 상기 제2 개구를 개폐하는 제1 셔터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
- 제3항에 있어서, 상기 제1 공기 배출 유닛은 상기 제2 개구에 대응하여 배치되며, 상기 제2 공기를 강제 배출시키는 팬(fan)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
- 제3항에 있어서, 상기 제1 커버는 C자 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
- 제2항에 있어서, 상기 제1 개구는 상기 타측면의 하부에 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
- 제1항에 있어서, 상기 스테이지 유닛은,상기 웨이퍼를 지지하는 척;상기 척의 하부에 배치되어 상기 척을 이동하도록 구성된 스테이지; 및상기 스테이지의 측면들을 커버하며, 상기 스테이지 유닛의 내부로 유입된 공기의 흐름을 원활하게 하기 위하여 유선형으로 이루어진 제2 커버를 포함하는 것 을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
- 제1항에 있어서,상기 스테이지 유닛에 안착된 상기 웨이퍼에 형성된 칩의 위치를 광학적으로 검출하는 촬상부;상기 촬상부와 연결되며, 상기 스테이지의 유닛의 측부에 인접하고 상기 제2 공기의 흐름 방향으로 연장된 상기 촬상부를 구동하는 구동부; 및상기 구동부를 상기 검사 공간으로부터 격리시키기 위하여 상기 제2 공기의 흐름 방향으로 연장되도록 배치된 실링 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
- 제1항에 있어서, 상기 로딩 유닛은,상기 웨이퍼를 수납한 카세트를 적재하는 로드 포트;상기 로더 포트로부터 상기 웨이퍼를 상기 스테이지 유닛으로 이동시키는 이송부; 및상기 이송부를 중심으로 상기 로더 포트에 대향하도록 배치되고, 상기 이송부 및 상기 로더 포트를 제어하는 제어부를 포함하고,상기 이송부 상에 배치되고, 상기 이송부의 내부로 제3 공기를 공급하는 제2 공기 공급 유닛; 및상기 이송부 내부의 파티클이 혼입된 제4 공기를 하방으로 배출하는 제2 공기 배출 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
- 제10항에 있어서, 상기 로딩 유닛은 상기 로더 포트의 하부에 배치되고 상기 웨이퍼를 예비 얼라인하는 예비 얼라인부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
- 제10항에 있어서, 상기 로딩 유닛은 상기 제어부를 덮고 상기 제2 공기 공급 유닛으로부터 공급된 상기 제3 공기를 상기 이송부로 유도하도록 유선형 구조를 갖는 제3 커버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
- 제12항에 있어서, 상기 로딩 유닛은상기 제어부 아래에 배치되며 프로브 카드의 팁들을 연마하는 연마용 웨이퍼를 수용하는 버퍼부;상기 버퍼부 및 상기 이송부 사이에 배치되며, 상기 버퍼부를 상기 이송부로부터 격리시켜서 상기 버퍼부에 잔류하는 파티클이 상기 이송부로 인입되는 것을 억제하는 제4 커버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
- 제1항에 있어서, 상기 로딩 유닛은,상기 웨이퍼를 수납한 카세트를 적재하는 로더 포트;상기 로더 포트로부터 상기 웨이퍼를 상기 스테이지 유닛으로 이동시키는 이 송부; 및상기 로더 포트 및 상기 이송부 사이를 개폐하여 상기 카세트 내에 잔류하는 파티클이 상기 이송부로 유입되는 것을 억제하는 제2 셔터를 포함하는 것을 특징으로 프로브 스테이션.
- 제14항에 있어서, 상기 제2 셔터는 알루미늄 또는 알루미늄 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
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