KR101007936B1 - 반도체 소자 픽업 유닛의 높이 설정 방법 - Google Patents
반도체 소자 픽업 유닛의 높이 설정 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR101007936B1 KR101007936B1 KR1020080129870A KR20080129870A KR101007936B1 KR 101007936 B1 KR101007936 B1 KR 101007936B1 KR 1020080129870 A KR1020080129870 A KR 1020080129870A KR 20080129870 A KR20080129870 A KR 20080129870A KR 101007936 B1 KR101007936 B1 KR 101007936B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- vacuum pressure
- pickup unit
- height
- unit
- pick
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
Claims (3)
- 소잉 공정을 통해 개별화된 반도체 소자들을 픽업하기 위한 픽업 유닛을 펠릿 테이블 상부 표면을 향하여 하강시키면서 상기 하강하는 픽업 유닛에 진공압을 제공하고 상기 픽업 유닛 내부의 진공압을 측정하는 단계;상기 측정되는 진공압이 변화한 후 일정하게 되는 지점에서 상기 픽업 유닛을 정지시키는 단계; 및상기 진공압이 일정하게 되는 지점에서의 높이를 반도체 소자의 픽업 및 플레이싱 높이로 설정하는 단계를 포함하는 픽업 유닛의 높이 설정 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 픽업 유닛을 펠릿 테이블 상부 표면을 향하여 하강시키면서 상기 하강하는 픽업 유닛에 진공압을 제공하고 상기 픽업 유닛 내부의 진공압을 측정하는 단계는상기 측정되는 진공압이 일정한 제1 하강 구간;상기 측정되는 진공압이 변화하는 구간을 포함하는 제2 하강 구간; 및상기 측정되는 진공압이 일정한 제3 하강 구간을 거치는 것을 특징으로하는 픽업 유닛의 높이 설정 방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 픽업 및 플레이싱 높이로 설정하는 단계는상기 정지시킨 픽업 유닛을 수직 방향으로 기 설정된 높이로 상승시키는 단 계;상기 상승된 픽업 유닛 내부의 진공압을 측정하는 단계;상기 픽업 유닛을 기 설정된 간격만큼 하강시키는 단계;상기 하강된 픽업 유닛 내부의 진공압을 측정하는 단계; 및상기 픽업 유닛의 하강 단계와 상기 진공압 측정 단계를 반복적으로 수행하는 단계를 포함하며,상기 측정된 진공압들 중 최대 진공압이 측정된 높이를 상기 픽업 및 플레이싱 높이로 설정하는 것을 특징으로 하는 픽업 유닛의 높이 설정 방법.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080129870A KR101007936B1 (ko) | 2008-12-19 | 2008-12-19 | 반도체 소자 픽업 유닛의 높이 설정 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080129870A KR101007936B1 (ko) | 2008-12-19 | 2008-12-19 | 반도체 소자 픽업 유닛의 높이 설정 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20100071231A KR20100071231A (ko) | 2010-06-29 |
KR101007936B1 true KR101007936B1 (ko) | 2011-01-14 |
Family
ID=42368757
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020080129870A KR101007936B1 (ko) | 2008-12-19 | 2008-12-19 | 반도체 소자 픽업 유닛의 높이 설정 방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101007936B1 (ko) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR19990061279A (ko) * | 1997-12-31 | 1999-07-26 | 윤종용 | 공압을 이용한 거리측정장치 |
KR20010111713A (ko) * | 2000-06-13 | 2001-12-20 | 서정길 | 웨이퍼 이송장치 |
KR20030073800A (ko) * | 2002-03-13 | 2003-09-19 | 미래산업 주식회사 | 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송장치의 작업 높이인식장치 및 이를 이용한 작업 높이 인식방법 |
KR20050041735A (ko) * | 2003-10-31 | 2005-05-04 | 미래산업 주식회사 | 마이크로칩 감지 시스템 |
-
2008
- 2008-12-19 KR KR1020080129870A patent/KR101007936B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR19990061279A (ko) * | 1997-12-31 | 1999-07-26 | 윤종용 | 공압을 이용한 거리측정장치 |
KR20010111713A (ko) * | 2000-06-13 | 2001-12-20 | 서정길 | 웨이퍼 이송장치 |
KR20030073800A (ko) * | 2002-03-13 | 2003-09-19 | 미래산업 주식회사 | 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송장치의 작업 높이인식장치 및 이를 이용한 작업 높이 인식방법 |
KR20050041735A (ko) * | 2003-10-31 | 2005-05-04 | 미래산업 주식회사 | 마이크로칩 감지 시스템 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20100071231A (ko) | 2010-06-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101332982B1 (ko) | 다이본더의 픽업 방법 및 다이본더 | |
US8092645B2 (en) | Control and monitoring system for thin die detachment and pick-up | |
KR102329117B1 (ko) | 반도체 제조 장치, 및 반도체 장치의 제조 방법 | |
WO2016129151A1 (ja) | 実装装置及び実装装置の制御方法 | |
KR101266662B1 (ko) | 반도체 칩 검사시스템 | |
JP5065969B2 (ja) | 部品実装装置 | |
KR101007936B1 (ko) | 반도체 소자 픽업 유닛의 높이 설정 방법 | |
CN112368818A (zh) | 半导体裸片的拾取系统 | |
JP4914648B2 (ja) | 半導体装置用クランプ装置 | |
CN111530772A (zh) | 一种用于pcb的检测设备 | |
KR102573339B1 (ko) | 반도체 소자 픽업 장치 및 이의 동작 제어 방법 | |
JP6916097B2 (ja) | ボンディング装置およびボンディング方法 | |
JP7185271B2 (ja) | ワーク積み上げ装置及びワーク積み上げ方法 | |
JP6914815B2 (ja) | 半導体装置の製造装置および半導体装置の製造方法 | |
KR102096567B1 (ko) | 반도체 소자 픽업 장치 | |
JPH06132698A (ja) | 電子部品装着装置 | |
JP2021086971A (ja) | ワーク移載装置、ワーク移載方法、移載体の製造方法、半導体装置の製造方法、及びダイボンダ | |
KR20200055485A (ko) | 반도체 소자 픽업 방법 및 이를 수행하기 위한 장치 | |
KR102312864B1 (ko) | 커스터머 트레이 언로딩 유닛 | |
CN212349507U (zh) | 一种用于pcb的检测设备 | |
JP4861690B2 (ja) | チップの実装装置 | |
KR20200048995A (ko) | 다이 이젝터의 높이 설정 방법 | |
TWI841001B (zh) | 半導體元件拾取裝置及其工作控制方法 | |
JP2014041873A (ja) | 基板支持装置およびその方法、並びに実装装置およびその方法 | |
US20190176345A1 (en) | Pick-and-place device having force measurement capability |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140106 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150106 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151230 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161229 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180104 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190104 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20200106 Year of fee payment: 10 |