KR101005488B1 - 워크 클램프 및 와이어 본딩 장치 - Google Patents

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Abstract

산화 방지 가스의 사용량을 적게 해도 본딩 에어리어의 산화를 충분히 억제할 수 있는 워크 클램프 및 와이어 본딩 장치를 제공한다. 본 발명에 의한 워크 클램프는 산화 방지 가스의 분위기로 하는 내부 중공부(10)와, 상기 내부 중공부 아래에 형성되어 상기 내부 중공부에 상기 본딩 에어리어를 삽입하기 위한 하부 개구부(11a)와, 상기 내부 중공부상에 형성되어 상기 본딩 에어리어를 노출시키는 상부 개구부(11)와, 상기 내부 중공부를 커버링하고, 또한 상기 상부 개구부의 개구 면적보다 넓은 면적을 가진 캐버티(13)와, 상기 캐버티에 형성되어 상기 캐버티에 상기 산화 방지 가스가 도입되는 가스 도입구(14a, 14b)와, 상기 캐버티의 하방에 연결되어 상기 가스 도입구로부터 도입된 상기 산화 방지 가스를 상기 워크의 본딩 에어리어 이외의 부분에 분사하는 구멍(21)을 구비한 것을 특징으로 한다.
Figure R1020087019612
워크 클램프, 와이어 본딩 장치

Description

워크 클램프 및 와이어 본딩 장치{WORK CLAMP AND WIRE BONDING APPARATUS}
본 발명은 워크 클램프 및 그것을 사용한 와이어 본딩 장치에 관한 것이고, 특히 산화 방지 가스의 사용량을 적게 해도 본딩 에어리어의 산화를 충분히 억제할 수 있는 워크 클램프 및 와이어 본딩 장치에 관한 것이다.
도 5는 종래의 와이어 본딩 장치의 워크 클램프를 나타낸 단면도이다. 이 워크 클램프는 본딩 대상물이 베어 코퍼 리드 프레임(bare copper lead frame)일 경우 또는 본딩 와이어가 동(銅)일 경우에 동의 산화를 방지하는 기구를 구비한 것이다. 이 기구는 본딩 에어리어에 통하는 개구(17)에 질소 가스 등의 불활성 가스를 도입하는 것이다.
다이(18)를 유지하는 리드 프레임(12) 형태의 반도체 디바이스가 와이어 본딩 장치의 플랫폼 또는 상부 플레이트(29)에 배치된다. 상부 플레이트(29)는 리드 프레임(12)의 온도를 상승시키기 위한 가열 기구를 구비한다. 윈드 클램프(16)는 상부 플레이트(29)상에 리드 프레임(12)을 고정하기 위한 것이다. 윈드 클램프(16)의 개구(17)는 와이어 본딩 작업에 의한 본딩 에어리어로의 억세스를 부여하도록 리드 프레임(12)상에 배치된다. 즉, 다이(18)와 리드 프레임(12)의 일부를 포함하는 본딩 에어리어는 개구(17)에 의해 노출된다.
윈드 클램프(wind clamp)(16)는 개구(17)에 결합되는 캐버티(cavity)(22)를 구비하고 있다. 커버(20)가 윈드 클램프(16)의 상면에 배치되어 캐버티(22)를 커버하고, 산소를 포함한 대기에 캐버티가 노출되는 것을 제한한다. 또한, 윈드 클램프(16)는 그 내측에 질소 가스를 캐버티(22)를 향해서 방향 전환하는 도관(24)을 구비한다. 도관(24)은 질소 가스가 캐버티(22)를 통과한 후에 개구(17)로 보내지도록 배치된다. 질소 가스는 윈드 클램프(16)의 가스 입구(26)로부터 도입된다. 가스 입구(26), 캐버티(22), 및 개구(17)는 서로 유통 연통한다. 이 구조에서는 도관(24)으로부터 캐버티(22)에 도입되는 질소 가스의 압력에 비해 캐버티(22)로부터 개구(17)로 도입되는 질소 가스의 압력을 저감시키기 위해서 캐버티(22)는 도관(24)보다도 큰 단면적을 갖는다.
윈드 클램프(16) 및 상부 플레이트(29) 또는 플랫폼간의 윈드 클램프(16)의 저면에는 중공 스페이스(28)도 있다. 스페이스(28)는 가스 입구(26)로부터 질소 가스를 받고, 도관(24)을 통해 캐버티(22)를 향해서 질소 가스를 통과시키는 역할을 한다. 또한, 스페이스(28)는 리드 프레임(12)을 산화로부터 보호하기 위해서 리드 프레임(12)에 질소 가스를 분배하는 것이다. 본딩 에어리어(17)로부터 먼 스페이스(28)의 단부에서는 대기가 스페이스(28)에 직접 통하고 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
특허문헌 1 : US 2005/0161488(도 4)
상술한 바와 같이, 종래의 워크 클램프에 있어서의 질소 가스의 흐름은 다음과 같다. 가스 입구(26)로부터 도입된 질소 가스가 한번 중공 스페이스(28)에 방출되고, 이 중공 스페이스(28)로부터 도관(24)을 통과하여 캐버티(22)로 인입되고, 이 캐버티(22)에서 유속을 낮추어서 본딩 에어리어인 개구(17)에 유입된다. 이와 같이, 가스 입구(26)로부터 질소 가스를 유입시켜서 외기가 본딩 에어리어에 혼입되는 것을 방지하고 있다. 이에 따라, 중공 스페이스(28)에서는 리드 프레임(12)의 산화를 방지하고, 개구(17)에서는 본딩 에어리어의 산화를 방지하고 있다.
그러나, 상기 종래의 워크 클램프에서는 가스 입구(26)로부터 도입된 질소 가스를 한번 중공 스페이스(28)로 방출하고, 이 중공 스페이스(28)로부터 도관(24)을 통해서 캐버티(22)에 도입하고 있기 때문에 본딩 에어리어의 산화를 방지하는데 충분한 양의 질소 가스를 캐버티(22)에 도입할 수 없다. 즉, 중공 스페이스(28)의 단부는 대기에 연결되어 있기 때문에 중공 스페이스(28)에 유입된 질소 가스의 대부분은 단부로부터 대기로 방출되므로 도관(24)을 통과하여 캐버티(22)에 도입되는 질소 가스의 양이 불충분하게 된다. 그 결과, 본딩 에어리어의 산화를 충분히 억제할 수 없다.
또한, 중공 스페이스(28)에 있어서 한번 리드 프레임(12)에 분사된 질소 가스를 도관(24), 캐버티(22) 및 개구(17)로 유입시켜서 본딩 에어리어의 산화 방지에 사용하기 때문에 질소 가스의 사용량이 많아지고, 본딩 가격이 증대하게 된다. 또한, 상기 종래의 워크 클램프에서는 질소 가스의 사용량을 많게 해도 본딩 에어리어의 산화를 충분히 억제할 수 없다.
본 발명은 상기한 바와 같은 사정을 고려하여 이루어진 것이며, 그 목적은 산화 방지 가스의 사용량을 적게 해도 본딩 에어리어의 산화를 충분히 억제할 수 있는 워크 클램프 및 와이어 본딩 장치를 제공하는 것에 있다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 의한 워크 클램프는 와이어 본딩 장치에 있어서 사용되는 워크 클램프로서,
워크의 본딩 에어리어에 대하여 본딩을 행할 때에 산화 방지 가스의 분위기로 하는 내부 중공부와,
상기 내부 중공부 아래에 형성되어 상기 내부 중공부에 상기 본딩 에어리어를 삽입하기 위한 하부 개구부와,
상기 내부 중공부상에 형성되어 상기 본딩 에어리어를 노출시키는 상부 개구부와,
상기 내부 중공부를 커버링하고, 또한 상기 상부 개구부의 개구 면적보다 넓은 면적을 가진 캐버티와,
상기 캐버티에 형성되어 상기 캐버티에 상기 산화 방지 가스가 도입되는 가스 도입구와,
상기 캐버티의 하방에 연결되어 상기 가스 도입구로부터 도입된 상기 산화 방지 가스를 상기 워크의 본딩 에어리어 이외의 부분에 분사하는 구멍을 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 워크 클램프에 의하면, 와이어 본딩을 행할 때에 워크 클램프의 가스 도입구로부터 캐버티, 내부 중공부를 통해서 상부 개구부에 산화 방지 가스를 유입시켜서 본딩 에어리어를 산화 방지 가스의 분위기로 한다. 이에 따라, 산화 방지 가스의 사용량을 적게 해도 본딩 에어리어의 산화를 충분히 억제할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 워크 클램프에 있어서, 상기 워크의 본딩 에어리어에 대하여 본딩을 행할 때에 상기 산화 방지 가스는 상기 가스 도입구로부터 상기 캐버티에 도입되고, 상기 캐버티로부터 상기 내부 중공부에 유입됨과 아울러 상기 캐버티로부터 상기 구멍을 통해서 상기 본딩 에어리어 이외의 부분에 분사할 수 있어 상기 내부 중공부로부터 상기 상부 개구부를 통해서 외부로 방출되는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 의한 워크 클램프에 있어서, 상기 구멍은 상기 내부 중공부의 주위에 배치되는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 의한 워크 클램프에 있어서, 상기 가스 도입구는 상기 상부 개구부로부터 가장 먼 측에 위치하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의한 와이어 본딩 장치는 워크의 본딩 에어리어에 대하여 와이어 본딩을 행하는 장치로서,
상기 워크를 탑재한 스테이지와,
상기 워크를 상기 스테이지상에 고정하는 워크 클램프와,
상기 워크에 대하여 본딩을 행하는 본딩 툴을 구비하고,
상기 워크 클램프는,
상기 워크의 본딩 에어리어가 배치되는 내부 중공부와,
상기 내부 중공부상에 형성되어 상기 본딩 에어리어를 노출시키는 상부 개구부와,
상기 내부 중공부를 커버링하고, 또한 상기 상부 개구부의 개구 면적보다 넓은 면적을 가진 캐버티와,
상기 캐버티에 형성되어 상기 캐버티에 산화 방지 가스가 도입되는 가스 도입구와,
상기 캐버티에 연결되고, 상기 스테이지상에 탑재된 상기 워크에 있어서의 본딩 에어리어 이외의 부분의 상방에 위치하는 구멍을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 의한 와이어 본딩 장치에 있어서, 상기 구멍과 상기 본딩 에어리어 이외의 부분 사이에 형성된 스페이스를 구비하고, 상기 산화 방지 가스를 상기 가스 도입구로부터 상기 캐버티에 도입하고, 상기 캐버티로부터 상기 내부 중공부에 유입시킴과 아울러 상기 캐버티로부터 상기 구멍을 통해서 상기 스페이스에 유입시키고, 상기 내부 중공부로부터 상기 상부 개구부를 통해서 외부에 방출하면서 본딩을 행하는 것도 가능하다.
[발명의 효과]
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 산화 방지 가스의 사용량을 적게 해도 본딩 에어리어의 산화를 충분히 억제할 수 있는 워크 클램프 및 와이어 본딩 장치를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 의한 와이어 본딩 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 워크 클램프의 상면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 워크 클램프에 의해 워크를 스테이지상에 유지해서 본 딩을 행하는 상태를 나타낸 단면도이다.
도 4(A)는 도 2에 도시된 워크 클램프를 가스 경로를 따른 면으로 절단한 단면도이며, 도 4(B)는 실시형태에 의한 워크 클램프의 변형예 1을 나타낸 단면도이며, 도 4(C)는 실시형태에 의한 워크 클램프의 변형예 2를 나타낸 단면도이다.
도 5는 종래의 와이어 본딩 장치의 워크 클램프를 나타낸 단면도이다.
[부호의 설명]
1 : 와이어 본딩 장치 2 : 본딩 헤드
4 : 레일 5 : 본딩 칩
6 : 리드 프레임 7 : 히터
8 : 본딩 툴[캐필러리(capillary)] 9 : 워크 클램프
10 : 내부 중공부 11 : 상부 개구부
11a : 하부 개구부 12 : 리드 프레임
13 : 캐버티 14a∼14d : 가스 도입구
15a∼15d : 가스 경로 16 : 윈드 클램프
17 : 개구 18 : 다이
19a∼19d : 가스 입구 20 : 커버
21 : 구멍 22 : 캐버티
23 : 뚜껑부 24 : 도관
25 : 스페이스 26 : 가스 입구
27 : 본딩 스테이지 28 : 중공 스페이스
29 : 상부 플레이트
이하, 도면을 참조해서 본 발명의 실시형태에 대해서 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 의한 와이어 본딩 장치를 나타낸 사시도이다. 도 2는 도 1에 도시된 워크 클램프의 상면도이다. 도 3은 도 2에 도시된 워크 클램프에 의해 워크를 스테이지상에 유지해서 본딩을 행하는 상태를 나타낸 단면도이며, 도 2에 도시된 화살표 3-3을 따른 워크 클램프의 단면에 상당하는 부분을 나타내고 있다. 도 4(A)는 도 2에 도시된 워크 클램프를 가스 경로를 따른 면으로 절단한 단면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 와이어 본딩 장치(1)는 본딩 헤드(2), 워크 클램프(9), 레일(4)을 구비하고 있다. 워크 클램프(9) 아래에는 본딩 스테이지가 배치되어 있다. 도 3에 도시된 본딩 칩(5)이 탑재된 리드 프레임(6)이 본딩 대상의 워크이다. 이 워크가 복수 나열된 것이 레일(4)상을 이동하고, 워크의 본딩 에어리어(즉, 본딩 칩 및 그 주변의 리드 부분)를 본딩 헤드(2)의 하방에 위치시켜서 본딩 헤드(2)의 본딩 툴[캐필러리(capillary)](8)에 의해 상기 본딩 에어리어에 와이어 본딩을 행한다. 하나의 본딩 에어리어에 본딩을 행한 후 레일(4)상에서 워크를 이동시키고, 그것의 인접한 워크의 본딩 에어리어를 본딩 헤드(2)의 하방에 위치시켜서 와이어 본딩을 행하는 작업이 반복된다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본딩 스테이지(27) 아래에는 히터(7)가 설치되어 있다. 이 히터(7)는 본딩 스테이지(27)상에 워크를 탑재해서 본딩을 행할 때에 워 크를 30∼500℃ 정도로 가열하기 위한 것이다. 이와 같이 워크를 가열해서 본딩을 행하기 때문에 워크나 본딩 와이어가 동(銅)일 경우에 동의 산화가 문제가 된다. 따라서, 워크를 본딩 스테이지(27)상에 유지하는 도 2에 도시된 워크 클램프(9)에는 산화를 억제하는 기구가 설치되어 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 와이어 본딩을 행할 때에는 본딩 스테이지 히터(7)상에 본딩 대상 워크인 리드 프레임(6)이 워크 클램프(9)에 의해 유지된다. 즉, 본딩 스테이지(27)상에 리드 프레임(6)이 탑재되고, 이 리드 프레임(6)은 워크 클램프(9)에 의해 본딩 스테이지(27)에 가압되어 유지된다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 워크 클램프(9)는 본딩을 행할 때에 워크의 본딩 에어리어인 본딩 칩(5)과 그 주위의 리드 프레임(6)에 대하여 산화 방지 가스의 분위기로 하는 내부 중공부(10)를 구비하고 있다. 이 내부 중공부(10) 아래에는 내부 중공부(10)에 본딩 칩(5)을 삽입하기 위한 하부 개구부(11a)가 형성되어 있다. 이 하부 개구부(11a)는 리드 프레임(6)을 가압하는 가압부(9a)의 선단에 의해 형성되어 있다. 이 가압부(9a)의 선단은 리드 프레임(6)의 본딩 에어리어를 둘러싸면서 가압하는 것이다. 가압부(9a)에 있어서의 내부 중공부(10)측 및 외측 각각은 경사면을 구비하고 있고, 가압부(9a)에 의해 리드 프레임(6)을 가압한 때는 리드 프레임(6)과 워크 클램프(9)의 사이에 스페이스(25)가 형성된다.
내부 중공부(10) 위에는 본딩 에어리어인 본딩 칩(5) 및 그 주위에 리드 프레임(6)을 노출시키는 상부 개구부(11)가 형성되어 있다. 이 상부 개구부(11)는 본딩을 행할 때에 본딩 칩(5) 및 리드 프레임(6)상에서 캐필러리(8)를 작동하기 위한 것이다. 상부 개구부(11)는 뚜껑부(23)에 형성되어 있다.
또한, 워크 클램프(9)는 캐버티(13)를 구비하고 있고, 이 캐버티(13)는 내부 중공부(10)의 주위를 커버링하고, 또한 상부 개구부(11)의 개구 면적보다 넓은 면적을 가지고 있다. 즉, 캐버티(13)와 내부 중공부(10)는 공간적으로 연결되어 있고, 캐버티의 평면 형상의 면적은 상부 개구부의 개구 면적보다 넓은 면적을 가지고 있다. 또한, 캐버티(13)는 뚜껑부(23) 아래에 위치하고 있다.
캐버티(13)에는 가스 도입구(14a∼14d)[도 2, 도 3, 도 4(A) 참조]가 형성되어 있고, 가스 도입구(14a∼14d)는 캐버티(13)내에 산화 방지 가스인 불활성 가스나 환원 가스(예를 들면, N2 가스나 N2 혼합 가스, Ar 가스)를 도입하기 위한 것이다. 가스 도입구(14a∼14d) 각각은 관상의 가스 경로(15a∼15d)에 의해 가스 입구(19a, 19b)에 연결되어 있다. 즉, 가스 경로(15a, 15b) 각각의 일단에는 가스 입구(19a, 19b)가 형성되어 있고, 가스 경로(15a, 15b) 각각의 타단에는 가스 도입구(14a, 14b)가 형성되어 있다. 또한, 가스 도입구(14a∼14d)는, 도 4(A)에 도시된 바와 같이, 상부 개구부로부터 거의 가장 먼 측(될 수 있는 한 먼 위치)에 배치되어 있다. 본 실시형태에서는 상부 개구부(11)가 워크 클램프(9)의 센터에 있지 않기 때문에 가스 도입구가 캐버티의 일방측으로 치우쳐서 배치되어 있다.
또한, 워크 클램프(9)는 복수의 구멍(또는 도관)(21)을 구비하고 있다. 복수의 구멍(21)은 캐버티(13)의 하방으로 연결되어 있고, 가스 도입구(14a∼14d)로부터 도입된 상기 산화 방지 가스를 워크의 본딩 에어리어 이외의 부분[즉, 본딩 에 어리어 주위의 리드 프레임(6)]에 분사하기 위한 것이다. 구멍(21)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 내부 중공부(10)의 주위에 배치된다.
이어서, 워크 클램프(9)의 산화를 억제하는 기구에 대해서 설명한다. 워크를 히터(7)에 의해 가열해서 본딩을 행할 때 본딩 와이어, 본딩 칩(5) 및 리드 프레임(6)의 산화를 방지하기 위해서 내부 중공부(10)에 산화 방지 가스를 도입해서 산화 방지 가스의 분위기로 한다. 상세하게는, 우선 가스 입구(19a∼19d)로부터 산화 방지 가스를 가스 경로(15a∼15d)에 도입하고, 그 산화 방지 가스를 가스 도입구(14a∼14d)로부터 캐버티(13)에 도입하고, 그 산화 방지 가스를 캐버티(13)로부터 내부 중공부(10)로 유입시킴과 아울러 캐버티(13)로부터 복수의 구멍(21)을 통해서 스페이스(25)에 도입해서 리드 프레임(6)에 분사하고, 내부 중공부(10)로부터 상부 개구부(11)를 통해서 워크 클램프의 외부로 산화 방지 가스를 방출하고, 스페이스(25)의 본딩 에어리어로부터 먼 측의 단부로부터 외부로 산화 방지 가스를 방출한다.
상기 실시형태에 의하면, 워크 클램프(9)에 산화 방지 가스를 유입시켜서 내부 중공부(10)에 산화 방지 가스를 공급함으로써 본딩 에어리어인 동의 본딩 와이어 및 베어 코퍼 리드 프레임의 산화를 방지할 수 있다.
상세하게는, 가스 입구(19a∼19d)로부터 산화 방지 가스를 유입시킴으로써 외기(대기)가 워크 클램프(9)내에 혼입되는 것을 억제하고, 복수의 구멍(21)으로부터 리드 프레임(6)에 산화 방지 가스를 분사함으로써 리드 프레임의 산화를 억제하고, 캐버티(13) 및 내부 중공부(10)에 산화 방지 가스를 도입함으로써 본딩 에어리 어의 산화를 억제할 수 있다. 가스 경로(15a∼15d)를 통하여 가스 도입구(14a∼14d)로부터 캐버티(13)에 산화 방지 가스가 인입된다. 그리고, 캐버티(13)에 충만한 산화 방지 가스는 내부 중공부(10)의 본딩 에어리어와 구멍(21)을 통과해서 워크 클램프의 외부로 방출된다. 구멍(21)은 복수로 있고, 본딩 대상의 워크에 의해 구멍(21)의 수나 사이즈를 변경함으로써 리드 프레임의 산화를 효과적으로 억제하는 것이 가능하다.
또한, 캐버티(13)를 형성함으로써 본딩 에어리어상의 상부 개구부(11)로부터 방출되는 가스의 유속을 지연시킬 수 있다. 또한, 가스 도입구를 복수개(본 실시형태에서는 4개) 형성함으로써 상부 개구부(11)에서의 산화 방지 가스의 대류 속도를 지연시킬 수 있다. 그 결과, 상부 개구부(11)로부터의 대기의 인입이 적어지기 때문에 본딩 에어리어의 산화를 억제할 수 있고, 또한 상부 개구부(11)를 크게 하는 것이 가능하게 된다. 즉, 상부 개구부(11)는 본딩 에어리어를 노출시키는 것이기 때문에 본딩 에어리어의 크기에 맞춘 개구부를 형성할 필요가 있다. 이에 따라, 상부 개구부(11)의 크기를 본딩 에어리어보다 작게 할 수 없다. 이러한 상부 개구부에서는 내부 중공부(10)의 본딩 에어리어에 상부 개구부로부터의 대기를 인입하기 쉽고, 종래 기술에서는 상부 개구부로부터의 대기의 인입을 적게 할 수 없는 것에 대해 본 실시형태에서는 상부 개구부로부터의 대기의 인입을 적게 할 수 있다. 따라서, 본딩 에어리어의 산화를 충분히 억제할 수 있다.
또한, 가스 도입구를 복수개 형성하는 이유는 가스 도입구를 하나로 하면 캐버티에 공급하는 산화 방지 가스의 유량을 충분히 확보하기 위해서 가스 도입구로 부터 유입되는 산화 방지 가스의 유속을 빠르게 할 필요가 있고, 그 유속이 빠르면 상부 개구부로부터 대기를 인입하기 쉽고, 본딩 에어리어의 산화를 충분히 억제할 수 없어지기 때문이다.
또한, 본 실시형태에서는 베어 코퍼 리드 프레임의 산화를 방지할 수 있기 때문에 리드 표면을 도금 처리할 필요가 없어지고, 도금 공정에 걸리는 시간, 비용을 삭감할 수 있다.
또한, 워크 클램프내에 산화 방지 가스를 유입시킴으로써 내부 중공부(10)의 본딩 에어리어상의 공간의 열을 효율적으로 방출시킬 수 있다. 이에 따라, 본딩 와이어의 선단에 볼(ball)을 형성할 때의 열과 바람의 영향을 저감할 수 있고, 안정된 와이어 본딩을 행하는 것이 가능하게 된다. 또한, 본딩 에어리어 주변 온도의 상승을 억제할 수 있기 때문에 와이어 본딩 장치의 폰, 카메라 등의 팽창을 억제할 수 있고, 그 결과, 본딩의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되지 않고, 본 발명의 주지를 일탈하지 않는 범위내에서 다양하게 변경해서 실시하는 것이 가능하다. 예를 들면, 본 실시형태에서는 본딩 칩(5)이 탑재된 리드 프레임(6)을 본딩 대상의 워크로 하고 있지만, 이것에 한정되는 것이 아니고, 워크로서 테이프상의 것을 이용하는 것도 가능하다.
도 4(B)는 본 실시형태에 의한 워크 클램프의 변형예 1을 나타낸 것이며, 도 4(A)와 마찬가지 부분을 절단한 단면도이다. 도 4(B)에 있어서, 도 4(A)와 동일 부분에는 동일 부호를 붙이고 다른 부분에 대해서만 설명한다.
도 4(B)에 도시된 바와 같이, 상부 개구부(11)가 워크 클램프(9)의 센터에 배치되어 있다. 이에 따라, 가스 도입구(14a∼14d)를 상부 개구부(11)로부터 될 수 있는 한 먼 위치인 캐버티(13)의 네 모서리에 배치하고 있다. 이에 따라, 캐버티 전체에 산화 방지 가스를 거의 균등하게 널리 퍼지게 할 수 있다.
상기 변형예 1에 있어서도 상기 실시형태와 마찬가지 효과를 얻을 수 있다.
도 4(C)는 본 실시형태에 의한 워크 클램프의 변형예 2를 나타낸 것이며, 도 4(A)와 마찬가지 부분을 절단한 단면도이다. 도 4(C)에 있어서, 도 4(A)와 동일 부분에는 동일 부호를 붙이고, 다른 부분에 대해서만 설명한다.
도 4(C)에 도시된 바와 같이, 상부 개구부(11)의 개구 면적이 상기 실시형태에 비해 크게 형성되어 있다. 이와 함께, 상부 개구부(11)가 워크 클램프(9)의 센터에 배치되어 있다. 이에 따라, 캐버티(13)의 면적을 상기 실시형태보다 크게 하고, 이에 따라 본딩 에어리어에서의 산화 방지 가스의 유속을 지연시킴과 아울러 캐버티 가스 도입구(14a∼14d)를 상부 개구부(11)로부터 될 수 있는 한 먼 위치인 캐버티(13)의 네 모서리에 배치하고 있다.
상기 변형예 2에 있어서도 상기 실시형태와 마찬가지 효과를 얻을 수 있다.

Claims (7)

  1. 와이어 본딩 장치(1)에 있어서 사용되는 워크 클램프(9)로서:
    워크의 본딩 에어리어(5)가 배치되고, 상기 워크의 본딩 에어리어(5)에 대하여 본딩을 행할 때에 산화 방지 가스의 분위기가 형성되는 내부 중공부(10)와,
    상기 내부 중공부(10) 아래에 형성되어 상기 내부 중공부(10)에 상기 본딩 에어리어(5)를 삽입하기 위한 하부 개구부(11a)와,
    상기 내부 중공부(10)상에 형성되어 상기 본딩 에어리어(5)를 노출시키는 상부 개구부(11)와,
    상기 내부 중공부(10)와 공간적으로 연결되어 상기 내부 중공부(10)를 커버링하고, 또한 상기 상부 개구부(11)의 개구 면적보다 넓은 면적을 가진 캐버티(13)와,
    상기 캐버티(13)에 형성되어 상기 캐버티(13)에 상기 산화 방지 가스가 도입되는 가스 도입구(14a~14d)와,
    상기 캐버티(13)의 하방에 연결되어 상기 가스 도입구(14a~14d)로부터 도입된 상기 산화 방지 가스를 상기 워크의 본딩 에어리어(5) 이외의 부분에 분사하는 구멍(21)을 구비한 것을 특징으로 하는 워크 클램프(9).
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 워크의 본딩 에어리어(5)에 대하여 본딩을 행할 때에 상기 산화 방지 가스는 상기 가스 도입구(14a~14d)로부터 상기 캐버티(13)에 도입되고, 상기 캐버티(13)로부터 상기 내부 중공부(10)에 유입됨과 아울러 상기 캐버티(13)로부터 상기 구멍(21)을 통해서 상기 본딩 에어리어(5) 이외의 부분에 분사될 수 있고, 상기 내부 중공부(10)로부터 상기 상부 개구부(11)를 통해서 외부로 방출되는 것을 특징으로 하는 워크 클램프(9).
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 구멍(21)은 상기 내부 중공부(10)의 주위에 배치되는 것을 특징으로 하는 워크 클램프(9).
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 가스 도입구(14a~14d)는 상기 상부 개구부(11)로부터 가장 먼 측에 위치하는 것을 특징으로 하는 워크 클램프(9).
  5. 워크의 본딩 에어리어(5)에 대하여 와이어 본딩을 행하는 장치로서:
    상기 워크를 탑재한 스테이지(25)와,
    상기 워크를 상기 스테이지(25)상에 고정하는 워크 클램프(9)와,
    상기 워크에 대하여 본딩을 행하는 본딩 툴(8)을 구비하고;
    상기 워크 클램프(9)는,
    상기 워크의 본딩 에어리어(5)가 배치되고, 상기 워크의 본딩 에어리어(5)에 대하여 본딩을 행할 때에 산화 방지 가스의 분위기가 형성되는 내부 중공부(10)와,
    상기 내부 중공부(10)상에 형성되어 상기 본딩 에어리어(5)를 노출시키는 상부 개구부(11)와,
    상기 내부 중공부(10)와 공간적으로 연결되어 상기 내부 중공부(10)를 커버링하고, 또한 상기 상부 개구부(11)의 개구 면적보다 넓은 면적을 가진 캐버티(13)와,
    상기 캐버티(13)에 형성되어 상기 캐버티(13)에 산화 방지 가스가 도입되는 가스 도입구(14a~14d)와,
    상기 캐버티(13)에 연결되고, 상기 스테이지(25)상에 탑재된 상기 워크에 있어서의 본딩 에어리어(5) 이외의 부분의 상방에 위치하는 구멍(21)을 구비한 것을 특징으로 하는 와이어 본딩 장치(1).
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 구멍(21)과 상기 본딩 에어리어(5) 이외의 부분 사이에 형성된 스페이스(25)를 구비하고, 상기 산화 방지 가스를 상기 가스 도입구(14a~14d)로부터 상기 캐버티(13)에 도입하고, 상기 캐버티(13)로부터 상기 내부 중공부(10)에 유입시킴과 아울러 상기 캐버티(13)로부터 상기 구멍(21)을 통해서 상기 스페이스(25)에 유입시키고, 상기 내부 중공부(10)로부터 상기 상부 개구부(11)를 통해서 외부에 방출하면서 본딩을 행하는 것을 특징으로 하는 와이어 본딩 장치(1).
  7. 제 3 항에 있어서,
    상기 가스 도입구(14a~14d)는 상기 상부 개구부(11)로부터 가장 먼 측에 위치하는 것을 특징으로 하는 워크 클램프(9).
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