KR100992903B1 - 기판의 리페어방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명에서는 기판상의 페이스트 패턴에 결함이 발생된 리페어구간에 대해서만 리페어를 수행함으로써, 결함부위를 정확하게 리페어할 수 있는 기판의 리페어방법이 제시된다.
페이스트, 디스펜서, 기판, 리페어

Description

기판의 리페어방법 {METHOD FOR REPAIRING SUBSTRATE}
본 발명은 기판상의 페이스트 패턴의 결함을 리페어하는 리페어방법에 관한 것이다.
페이스트 디스펜서는 각종 평판디스플레이(FPD, Flat Panel Display)의 제조에 있어서 기판들의 접착 또는 씰링을 위하여 기판에 소정의 패턴으로 페이스트를 도포하는 장치이다.
이와 같은 페이스트 디스펜서는, 기판이 탑재되는 스테이지와, 페이스트가 토출되는 노즐이 장착된 헤드유닛과, 헤드유닛이 지지되는 헤드지지대와, 헤드유닛과 헤드지지대의 사이에 개재되어 헤드유닛을 헤드지지대가 연장되는 방향(X축방향)으로 이동시키는 X축구동부를 포함하여 구성된다. 페이스트 디스펜서에는 대면적의 기판에 다수의 페이스트 패턴을 동시에 형성하여 생산성을 향상시킬 수 있도록 다수개의 헤드유닛이 구비된다.
이러한 페이스트 디스펜서는 노즐과 기판 사이의 갭을 조절하면서 기판에 페이스트 패턴을 형성하는데, 이를 위하여 헤드유닛에는 노즐과 기판 사이의 갭데이터를 측정하는 레이저변위센서와, 노즐 및 레이저변위센서를 Z축방향(상하측방향) 으로 이동시키는 Z축구동부가 구비된다.
레이저변위센서는 레이저를 발광되는 발광부와, 발광부와 소정의 간격으로 이격되어 레이저가 수광되는 수광부로 구성되며, 발광부에서 발광되어 기판에 반사된 레이저의 결상위치에 따른 전기신호를 제어부로 출력하여 기판과 노즐 사이의 갭데이터를 계측하는 역할을 수행한다.
이러한 페이스트 디스펜서는 기판과 노즐의 상대위치 관계를 변화시켜 가면서 기판에 소정 형상의 페이스트 패턴을 형성하게 된다. 즉, 헤드유닛은 헤드지지대에 장착된 상태에서 X축방향 및 Y축방향으로 수평으로 이동하면서 기판에 페이스트를 토출한다. 이때, 레이저변위센서는 페이스트가 도포되는 과정에서 노즐과 기판 사이의 갭데이터를 측정한다.
그리고, 레이저변위센서에 의하여 측정된 갭데이터를 이용하여 헤드유닛에 장착된 노즐을 Z축방향으로 이동시켜 노즐과 기판 사이의 갭을 일정하게 제어하면서 노즐로부터 페이스트를 기판상에 토출시켜 페이스트 패턴을 형성한다.
이와 같은 페이스트 패턴의 형성이 완료되면, 페이스트가 도포된 기판을 검사공정으로 이송시켜 페이스트 패턴의 두께가 설정된 범위 내에 있는지 여부와 페이스트 패턴이 단선되었는지 여부를 검사하게 된다. 이와 같이 기판의 페이스트 패턴의 불량여부를 판단하기 위해서는 기판의 전체의 면을 레이저센서로 스캔하여 도포된 페이스트의 단면적을 측정하거나, 페이스트 패턴을 카메라로 촬영하여 페이스트 패턴의 단선여부를 판단하는 과정으로 이루어진다.
이와 같이, 종래의 경우에는 페이스트 패턴의 불량여부를 판단하기 위하여 페이스트 패턴이 형성된 기판을 검사공정으로 이송하여야 하였으며, 또한, 추가적인 검사장비를 이용하여 페이스트 패턴의 단선여부 및 두께의 불량여부를 판단하여야 하였으므로, 페이스트 패턴의 검사공정이 복잡하고 신속하게 진행할 수 없다는 문제점이 있었다.
또한, 페이스트 패턴의 검사공정에서 페이스트 패턴의 불량이 판단된 경우에 불량한 페이스트 패턴이 도포된 기판을 다시 페이스트 디스펜서를 이용한 도포공정으로 이송하여 기판에 대한 리페어를 수행하였기 때문에 불량한 페이스트 패턴이 도포된 기판에 대하여 신속하게 리페어를 수행할 수 없는 문제점이 있었다.
따라서, 종래의 경우에는 불량한 페이스트 패턴을 검사하는 공정 및 리페어공정이 복잡하고 장시간이 소요되었으므로 제품의 양산성이 저하되고 생산비용이 증가되는 되는 문제점이 있었다.
또한, 종래의 리페어공정은 페이스트 패턴의 형성 후 일부 구간에만 결함(단선, 두께불량 등)이 발생하더라도 페이스트 패턴이 형성된 전구간을 재도포하는 과정으로 진행되었으므로, 결함부위가 정확히 리페어되지 않을 수 있고, 페이스트의 중복도포에 따른 또 다른 결함부위가 발생될 수 있는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 기판상의 페이스트 패턴에 결함이 있는 구간에 대해서만 리페어를 수행함으로써, 결함부위를 정확하게 리페어할 수 있고, 또 다른 결함부위의 발생을 최소화할 수 있는 기판의 리페어방법을 제공하는 데에 있다.
상기한 과제를 수행하기 위한 본 발명에 따른 기판의 리페어방법은, 기판상의 페이스트 패턴에 대한 리페어구간을 설정하는 제1단계와, 제1단계에서 설정한 리페어구간에 페이스트를 도포하는 제2단계를 포함하여 구성될 수 있다.
여기에서, 제2단계는, (a) 기판과 노즐 사이의 갭데이터를 측정하는 단계와, (b) (a)단계에서 측정된 기판과 노즐 사이의 갭데이터에 따라 기판과 노즐 사이의 갭을 일정하게 조절하면서 페이스트를 도포하는 단계를 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 제2단계는, (a) 제1단계에서 설정한 리페어구간에 인접한 구간에서의 기판과 노즐 사이의 갭데이터를 측정하는 단계와, (b) (a)단계에서 측정된 기판과 노즐 사이의 갭데이터에 따라 리페어구간에서 기판과 노즐 사이의 갭을 일정하게 조절하면서 페이스트를 도포하는 단계를 포함하여 구성될 수 있다. 여기에서, (a)단계는 제1단계에서 설정한 리페어구간과 평행한 라인상의 기판과 노즐 사이의 갭데이터를 측정하는 것으로 이루어질 수 있다.
한편, 제2단계는, 제1단계에서 측정된 리페어구간이 복수이고, 복수의 리페어구간 사이의 간격이 설정된 간격 이내인 경우에는, 복수의 리페어구간에 연속적으로 페이스트를 도포하는 것으로 이루어질 수 있다.
한편, 제1단계는 기판에 페이스트를 도포하는 동시에 측정된 노즐과 기판 사이의 갭데이터가 기준범위를 벗어나는지를 판단하고, 측정된 갭데이터가 기준범위를 벗어나는 구간을 리페어구간으로 설정하는 것으로 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 기판의 리페어방법은 기판상의 페이스트 패턴에 결함이 발생된 구간에 대해서만 리페어를 수행함으로써, 결함부위를 정확하게 리페어할 수 있고, 페이스트의 중복도포에 따른 또 다른 결함부위의 발생을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 리페어구간 설정방법의 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서가 도시된 사시도이고, 도 2는 도 1의 페이스트 디스펜서의 헤드유닛이 도시된 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서는, 베이스프레임(10)과, 베이스프레임(10)에 고정되어 기판(20)이 안착되는 스테이지(30)와, 스테이지(30)의 양측에 Y축방향으로 설치되는 한 쌍의 LM가이드(40)와, 한 쌍의 LM가이드(40)에 각각 지지되도록 설치되며 X축방향으로 연장되는 헤드지지대(50)와, 헤드지지대(50)에 설치되는 복수의 헤드유닛(60)과, 헤드유닛(60)을 헤드지지대(50)에 설치함과 아울러 헤드유닛(60)을 X축방향으로 수평 이동시키는 X축구동부(70)와, 헤드유닛(60) 및 X축구동부(70)의 동작을 제어하는 제어부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
베이스프레임(10)에는 스테이지(30)를 베이스프레임(10)의 전후방향(Y축방향)으로 이동시키는 제1구동장치(미도시)가 구비될 수 있으며, 헤드지지대(50)에는 헤드지지대(50)를 LM가이드(40)를 따라 이동시키는 제2구동장치(59)가 구비될 수 있다. 헤드지지대(50)는 기판(20)이 대면적으로 이루어지는 경우에 페이스트 패턴을 형성하는 공정의 효율을 향상시킬 수 있도록 복수로 설치될 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 헤드유닛(60)은, 페이스트가 충진되는 시린지(61)와, 시린지(61)와 연통되며 페이스트가 토출되는 노즐(62)과, 노즐(62)에 인접되게 배치되어 노즐(62)과 기판(20) 사이의 갭데이터를 측정하는 레이저변위센서(63)와, 노즐(62) 및 레이저변위센서(63)를 Y축방향으로 이동시키는 Y축구동부(64)와, 노즐(62) 및 레이저변위센서(63)를 Z축방향으로 이동시키는 Z축구동부(65)를 포함하여 구성될 수 있다.
레이저변위센서(63)는 레이저를 발광하는 발광부(631)와, 발광부(631)와 소정의 간격으로 이격되며 기판(20)에서 반사된 레이저가 수광되는 수광부(632)로 구성되며, 발광부(631)에서 발광되어 기판(20)에 반사된 레이저의 결상위치에 따른 전기신호를 제어부로 출력하여 기판(20)과 노즐(62) 사이의 갭데이터를 계측하는 역할을 수행한다.
또한, 헤드유닛(60)에는 기판에 도포된 페이스트 패턴(P)의 단면적을 측정하는 단면적센서(66)가 설치될 수 있다. 이와 같은 단면적센서(66)는 기판(20)으로 레이저를 연속적으로 방출하여 페이스트 패턴(P)을 스캔하는 것을 통하여 페이스트 패턴(P)의 단면적을 측정한다. 단면적센서(66)으로부터 측정된 페이스트 패턴(P)의 단면적 데이터는 페이스트 패턴(P)의 불량여부를 판단하는 데에 이용된다.
이하, 도 3 내지 도 7을 참조하여, 상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 페 이스트 디스펜서에서, 기판에 도포된 페이스트 패턴에 결함이 발생된 경우, 기판의 리페어방법에 대하여 설명한다.
도 3은 페이스트 디스펜서의 레이저변위센서에 의하여 측정된 노즐과 기판과의 사이의 갭데이터가 파형의 형태로 도시한 그래프이고, 도 4는 페이스트 패턴이 형성된 기판의 리페어구간의 설정을 설명하기 위한 그래프이고, 도 5는 페이스트 패턴이 형성된 기판의 리페어구간을 설정하는 방법이 도시된 순서도이며, 도 6은 기판의 리페어를 위하여 기판과 노즐 사이의 갭데이터를 측정하기 위한 위치가 도시된 개략도이다.
본 발명에 따른 기판의 리페어방법은 기판(20)상의 페이스트 패턴에 대한 리페어구간을 설정하고, 설정된 리페어구간에 페이스트를 다시 도포하는 과정으로 이루어진다.
여기에서, 결함이 있는 페이스트 패턴이 형성된 기판(20)에 대하여 리페어구간을 설정하는 방법으로 하나의 실시예로서 페이스트의 도포과정 중에 측정한 기판(20)과 노즐(62) 사이의 갭데이터를 이용한 방법을 제시한다.
즉, 도 3에 도시된 바와 같이, 헤드유닛(60)이 X축방향 및 Y축방향으로 이동하면서 기판(20)상에 페이스트를 도포하는 경우, 페이스트 도포의 진행방향에 대한 레이저변위센서(63)에 의하여 측정된 갭데이터는 소정의 파형을 그리게 되는데, 이와 같이 측정된 갭데이터를 미리 설정된 기준범위와 비교하고 기판(20)과 노즐(62) 사이의 갭데이터가 기준범위를 벗어나는지를 판단할 수 있다(S12).
여기에서, 기준범위(R)는 페이스트가 정확이 도포되지 아니하고 단선되는 현 상 또는 도포된 페이스트의 두께가 기준치에 미달되는 현상이 일어난 경우에 레이저변위센서(63)에 의하여 측정된 기판(20)과 노즐(62) 사이의 갭데이터로부터 실험적으로 구할 수 있다. 즉, 기판(20)과 노즐(62)의 사이의 갭데이터의 변화에 따라 페이스트 패턴의 형상의 변화를 분석하고 페이스트 패턴에 결함이 발생되는 경우의 기판(20)과 노즐(62) 사이의 갭데이터를 구함으로써 기준범위(R)를 설정할 수 있다.
그리고, 도 4에 도시된 바와 같이, 기판(20)과 노즐(62) 사이의 갭데이터가 기준범위(R)를 벗어나는 구간을 기판에 대한 리페어가 요구되는 구간인 리페어구간(S)으로 설정할 수 있다(S13). 이때, 레이저변위센서(63)에서 측정된 갭데이터가 기준범위(R)를 벗어나는 점을 구간의 시작점(Pi)으로 하고, 측정된 갭데이터가 기준범위(R)를 벗어나는 상태를 유지하다가 기준범위(R) 내로 다시 들어오는 점을 구간의 종료점(Pf)으로 할 때, 리페어구간(S)을 구간의 시작점(Pi)으로부터 구간의 종료점(Pf)까지의 구간으로 설정할 수 있다. 이러한 리페어구간(S)은 시작점(Pi)의 좌표(Xi, Yi) 및 종료점(Pf)의 좌표(Xf, Yf)를 구하는 과정을 통하여 설정될 수 있다.
한편, 리페어구간(S)이 설정되면 해당 리페어구간(S)에 페이스트를 재도포하는 리페어과정이 진행되는데, 이와 같은 리페어과정은 헤드유닛(60)이 X축방향 및 Y축방향으로 수평으로 이동하면서 노즐(62)이 리페어구간의 시작점(Pi)에 도달하게 되면 페이스트를 토출하여 페이스트의 도포를 진행하다가 노즐(62)이 리페어구간(S)의 종료점(Pf)에 도달하게 되면 페이스트의 토출을 종료하는 과정을 통하여 진행된다.
여기에서, 노즐(62)이 리페어구간(S)의 시작점(Pi)에 도달하는 즉시 페이스트가 토출되는 경우에는 헤드유닛(60)의 이동속도와 페이스트가 노즐(62)을 통하여 토출되는 속도의 차이로 인하여 페이스트가 리페어구간(S)의 시작점(Pi)에서 바로 도포되지 못하고, 시작점(Pi)의 이후에서 비로소 도포되는 문제점이 발생할 수 있다. 따라서, 노즐(62)이 시작점(Pi)으로부터 소정의 거리에 위치한 위치를 토출시작점으로 정하고, 토출시작점에 도달하는 순간에 페이스트가 토출되도록 제어하는 것이 바람직하다. 이와 같은 토출시작점은 노즐(62)의 이동방향을 기준으로 리페어구간(S)의 시작점(Pi)의 이전위치가 될 수 있으나, 경우에 따라서는 시작점(Pi)의 이후의 위치가 될 수 있다.
또한, 노즐(62)이 리페어구간의 종료점(Pf)에 도달하는 즉시 페이스트의 토출이 종료되는 경우에는 헤드유닛(60)의 이동속도와 페이스트가 노즐(62)을 통하여 토출되는 속도의 차이로 인하여 페이스트의 토출이 리페어구간(S)의 종료점(Pf)에서 바로 종료되지 못하고, 종료점(Pf)의 이후에서 비로소 페이스트의 토출이 종료되는 문제점이 발생할 수 있다. 따라서, 노즐(62)이 종료점(Pf)으로부터 소정의 거리에 위치한 위치를 토출종료점으로 정하고, 토출종료점에 도달하는 순간에 페이스트가 토출되도록 제어하는 것이 바람직하다. 이와 같은 토출종료점은 노즐(62)의 이동방향을 기준으로 리페어구간(S)의 종료점(Pf)의 이전위치가 될 수 있으나, 경우에 따라서는 종료점(Pf)의 이후의 위치가 될 수 있다.
한편, 페이스트 패턴 상에 리페어구간(S)이 복수로 존재하는 경우가 발생할 수 있는데, 복수의 리페어구간(S)의 사이의 간격(D)이 좁은 경우에는 복수의 리페어구간(S)의 사이에서도 페이스트의 단선이나 두께 불량 등이 발생할 소지가 크다. 또한, 복수의 리페어구간(S)의 사이의 간격(D)이 좁은 경우에는 이전의 리페어구간(S)에서의 토출종료점과 다음의 리페어구간(S)에서의 토출시작점과의 사이의 시간적 간격이 짧기 때문에, 페이스트의 토출이 종료 후 바로 시작되는 과정에서 오차가 발생될 소지가 있으며, 이와 같은 오차에 의하여 리페어과정이, 즉, 페이스트의 재도포과정이 원활하게 진행되지 못하는 문제가 발생할 수 있다.
따라서, 복수의 리페어구간(S) 사이의 간격이 좁은 경우, 즉, 이전의 리페어구간(S)에서의 토출종료점과 다음의 리페어구간(S)에서의 토출시작점과의 사이의 간격이 미리 설정된 범위 내에 해당되는 경우에는 이전의 리페어구간(S)과 다음의 리페어구간(S)은 하나의 리페어구간(S)으로 설정하는 것이 바람직하다.
한편, 측정된 갭데이터는 외부환경에 의한 노이즈로 인하여 기준범위를 벗어나는 경우가 발생될 수 있으며, 이때, 갭데이터는 비교적 좁은 간격 내에서 적은 횟수의 변동파형을 그리게 된다. 이와 같은 노이즈에 의한 갭데이터의 변동구간을 리페어구간으로 설정하는 경우에는 실제 페이스트 패턴에 불량이 발생하지 않은 구간에 페이스트를 재도포하는 문제를 야기하므로, 이에 따라 페이스트가 불필요하게 소모되거나 재도포에 의하여 오히려 또 다른 불량을 야기하는 문제가 있다. 따라서, 미리 설정된 간격(예를 들면, 약 10mm) 내에서 기준범위(R)를 벗어나는 갭데이터의 변동파형이 소정의 횟수(예를 들면, 약 3~4회)의 이하 인 경우, 이를 노이즈에 의한 변동이라고 보고 측정된 갭데이터가 기준범위를 벗어나지 않는 것으로 판 단하여 리페어구간(S)으로 설정하지 않을 수 있다.
한편, 본 발명은 기판(20)의 리페어를 위한 리페어구간(S)의 설정하는 데에 있어서, 상기한 바와 같이 기판(20)과 노즐(62) 사이의 갭데이터를 이용하는 데에 한정하지 아니하고, 단면적센서, 레이저센서나 카메라 등의 다른 수단을 사용하여 페이스트 패턴의 단선 또는 페이스트 패턴의 두께불량 등의 결함이 있는 부분을 판단하고 이에 대하여 리페어구간(S)을 설정할 수 있다.
상기한 바와 같이, 기판(20)의 리페어구간(S)이 설정되면 해당 리페어구간(S)에 대하여 페이스트를 재도포하는 리페어과정이 진행된다. 이때, 리페어구간(S) 사이의 간격(D)이 설정된 간격 이내인 경우에는 복수의 리페어구간(S)에는 페이스트가 연속적으로 도포되는 과정을 통하여 리페어가 수행될 수 있다.
이와 같은 기판상의 리페어구간(S)에 대한 페이스트의 도포를 수행하는 데에 있어서, 기판(20)과 노즐(62) 사이의 갭데이터의 측정을 하지 않고 페이스트를 도포할 수 있다. 그러나, 리페어공정 후의 페이스트 패턴의 불량이 다시 발생되는 것을 방지하기 위하여, 레이저변위센서(63)를 이용하여 기판(20)과 노즐(62) 사이의 갭데이터를 측정하고, 이와 같이 측정된 기판(20)과 노즐(62) 사이의 갭데이터에 따라 기판(20)과 노즐(62) 사이의 갭을 일정하게 조절하면서 페이스트를 도포하는 것이 바람직하다.
여기에서, 리페어구간(S)에서 페이스트 패턴의 단선이 있는 경우에는 기판(20)상에 페이스트가 도포되지 않았거나, 그 도포량이 그다지 많지 않으므로, 리페어전의 최초에 기판(20)에 페이스트 패턴을 형성하는 공정과 같이, 리페어구 간(S)에서 기판(20)과 노즐(62) 사이의 갭데이터를 측정하고, 측정된 갭데이터를 이용하여 기판(20)과 노즐(62) 사이의 갭을 일정하게 조절하면서 페이스트를 리페어구간(S)에 재도포하는 과정으로 리페어가 수행될 수 있다.
다만, 리페어구간(S)에서 페이스트 패턴의 두께가 불량한 경우에는 이미 페이스트가 기판상에 도포된 상태이므로, 레이저변위센서(63)를 이용한 기판(20)과 노즐(62) 사이의 갭데이터의 측정이 원활하지 않을 수 있으며, 측정의 정확도가 저하될 수 있다.
따라서, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 기판(20)상의 페이스트 패턴의 결함부위에 대하여 리페어구간(S)이 설정되면(S21), 기판(20)에 대한 리페어를 수행하기 이전, 즉, 리페어구간(S)에서 기판(20)상에 페이스트를 도포하기 이전에, 리페어구간(S)에 인접한 구간에서 기판(20)과 노즐(62) 사이의 갭데이터를 측정하고(S22), 이와 같이 측정된 갭데이터를 기준으로 리페어구간(S)에서 기판(20)과 노즐(62) 사이의 갭을 일정하게 조절하면서 페이스트를 도포(S23)하는 것이 바람직하다. 여기에서, 리페어구간(S)에 인접한 구간은 리페어구간(S)과 평행한 라인상에 위치되는 것이 기판(20)과 노즐(62) 사이의 갭데이터의 측정의 정확도를 크게 하는 데에 바람직하다.
본 발명에 따른 페이스트 디스펜서의 리페어구간 설정방법은 기판(20)에 페이스트를 도포하는 동시에 측정되는 기판(20)과 노즐(62) 사이의 갭데이터를 이용하므로, 리페어구간을 신속하게 설정할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서의 기판의 리페어방법은 기판(20)상 의 페이스트 패턴(P)에 결함이 발생된 리페어구간(S)에 대해서만 리페어를 수행함으로써, 결함부위를 정확하게 리페어할 수 있고, 페이스트의 중복도포에 따른 또 다른 결함부위의 발생을 최소화할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서는 기판의 리페어방법은 리페어구간(S)에서 기판(20)과 노즐(62) 사이의 갭데이터를 측정하고, 측정된 갭데이터를 이용하여 기판(20)과 노즐(62) 사이의 갭을 일정하게 조절하면서 페이스트를 리페어구간(S)에 재도포하는 과정으로 리페어가 수행되므로, 기판(20)의 리페어를 정확하게 수행할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서의 기판의 리페어방법은 리페어구간(S)에 인접한 구간에서 기판(20)과 노즐(62) 사이의 갭데이터를 측정하고, 이와 같이 측정된 갭데이터를 기준으로 리페어구간(S)에서 기판(20)과 노즐(62) 사이의 갭을 일정하게 조절하면서 페이스트를 도포하는 것으로 기판의 리페어를 수행할 수 있으므로, 기판(20)의 리페어를 더욱 정확하게 수행할 수 있다.
본 발명의 실시예에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서가 도시된 사시도이다.
도 2는 도 1의 페이스트 디스펜서의 헤드유닛이 도시된 사시도이다.
도 3은 도 1의 페이스트 디스펜서의 레이저변위센서에 의하여 측정된 노즐과 기판과의 사이의 갭데이터가 파형의 형태로 도시된 그래프이다.
도 4는 기판의 리페어구간의 설정을 설명하기 위한 그래프이다.
도 5는 기판의 리페어구간을 설정하는 방법이 도시된 순서도이다.
도 6은 기판의 리페어를 위하여 기판과 노즐 사이의 갭데이터를 측정하기 위한 위치가 도시된 개략도이다.
도 7은 본 발명에 따른 기판의 리페어방법이 순차적으로 도시된 순서도이다.
*** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ***
50: 헤드지지대 60: 헤드유닛
62: 노즐 63: 레이저변위센서
64: Y축구동부 65: Z축구동부
70: X축구동부 631: 발광부
632: 수광부 641: 리니어모터
R: 기준범위 S: 리페어구간

Claims (6)

  1. 기판상의 페이스트 패턴에 대한 리페어구간을 설정하는 제1단계; 및
    상기 제1단계에서 설정된 리페어구간에 페이스트를 도포하는 제2단계를 포함하며,
    상기 제2단계는,
    (a) 상기 제1단계에서 설정한 리페어구간에 인접한 구간에서의 상기 기판과 노즐 사이의 갭데이터를 측정하는 단계; 및
    (b) 상기 (a)단계에서 측정된 상기 기판과 상기 노즐 사이의 갭데이터에 따라 상기 기판과 상기 노즐 사이의 갭을 조절하면서 상기 리페어구간에 페이스트를 도포하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 리페어방법.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 (a)단계는 상기 제1단계에서 설정한 리페어구간과 평행한 라인상에서 상기 기판과 상기 노즐 사이의 갭데이터를 측정하는 것을 특징으로 하는 기판의 리페어방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제2단계는, 상기 제1단계에서 측정된 리페어구간이 복수이고, 복수의 리페어구간 사이의 간격이 설정된 간격 이내인 경우에는, 복수의 리페어구간에 연속적으로 페이스트를 도포하는 것을 특징으로 하는 기판의 리페어방법.
  6. 제1항, 제4항 또는 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1단계는,
    상기 기판에 페이스트를 도포하는 동시에 측정된 노즐과 상기 기판 사이의 갭데이터가 기준범위를 벗어나는지를 판단하고, 측정된 갭데이터가 기준범위를 벗어나는 구간을 리페어구간으로 설정하는 것을 특징으로 하는 기판의 리페어방법.
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CN106733489B (zh) * 2017-01-13 2018-12-11 京东方科技集团股份有限公司 一种涂胶系统及其涂胶修复方法
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CN113731737A (zh) * 2021-09-07 2021-12-03 律致新能源科技(上海)有限公司 一种涂胶方法、控制器、涂胶系统及存储介质

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004163950A (ja) 2002-11-13 2004-06-10 Lg Philips Lcd Co Ltd 液晶表示パネルのシールディスペンサ及びこれを利用したシールパターンの断線検出方法
JP2007038202A (ja) 2005-02-25 2007-02-15 Ntn Corp パターン修正方法およびパターン修正装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004163950A (ja) 2002-11-13 2004-06-10 Lg Philips Lcd Co Ltd 液晶表示パネルのシールディスペンサ及びこれを利用したシールパターンの断線検出方法
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