KR100978858B1 - Apparatus for and method of scribing panel - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따르면, 모 기판을 지지하는 지지부재; 상기 지지부재의 상측에 배치되어, 모 기판의 상면에 스크라이브(scribe) 라인을 형성하는 제1스크라이버; 및 상기 지지부재의 하측에 배치되어, 모 기판의 하면에 스크라이브 라인을 형성하는 제2스크라이버를 구비하되, 상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상하로 대향되는 위치에서 어긋나게 배치된 스크라이빙 장치 및 방법이 제공된다.

이와 같은 본 발명에 따르면, 모 기판을 면접촉으로 고정하는 고정부재를 이용한 스크라이빙 방식이므로 스크라이빙 라인 주위에 고른 응력이 분포된다.

Figure R1020080085710

스크라이버, 모 기판, 면접촉

According to the present invention, a support member for supporting a parent substrate; A first scriber disposed above the support member to form a scribe line on an upper surface of the parent substrate; And a second scriber disposed under the support member to form a scribe line on a lower surface of the parent substrate, wherein the first scriber and the second scriber are disposed to be offset from each other in a position facing up and down. Crying apparatus and method are provided.

According to the present invention as described above, since the scribing method using the fixing member for fixing the parent substrate in surface contact, even stress is distributed around the scribing line.

Figure R1020080085710

Scriber, Mother Board, Surface Contact

Description

스크라이빙 장치 및 방법 {Apparatus for and method of scribing panel}Scribing device and method {Apparatus for and method of scribing panel}

본 발명은 기판 제조에 사용되는 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 복수의 단위 기판들이 형성된 기판을 스크라이빙 하는 장치 및 방법에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus and method for use in manufacturing a substrate, and more particularly, to an apparatus and method for scribing a substrate on which a plurality of unit substrates are formed.

일반적으로, 평판 디스플레이 등에 사용되는 기판은 보통 취성 기판을 이용하여 제작되며, 기판은 한 장으로 구성된 단판 기판이나 2장의 기판이 접합된 접합 기판으로 대별된다.In general, a substrate used for a flat panel display or the like is usually produced using a brittle substrate, and the substrate is roughly classified into a single-plate substrate composed of one sheet or a bonded substrate bonded to two substrates.

접합 기판은 휴대 전화의 액정 표시기용의 패널과 같이 소형인 것부터 TV나 디스플레이 등의 패널과 같은 대형의 다양한 크기로 가공되어 사용되기 때문에, 대형의 모 기판으로부터 소정 크기의 단위 기판으로 절단되어 각각의 패널로 이용된다.Since the bonded substrate is processed into small and various sizes, such as a panel for a liquid crystal display of a mobile phone, to a large size such as a panel such as a TV or a display, the bonded substrate is cut into a unit substrate having a predetermined size from a large parent substrate, Used as a panel.

모 기판을 절단하는 방법으로는, 레이저빔을 이용하여 절단하는 방법 또는 미세한 다이아몬드가 박혀있는 스크라이빙 휠(Scribing Wheel)을 이용하여 절단하는 방법 등이 있다. 스크라이빙 휠을 이용하여 모 기판을 절단하는 방법은 스크라이빙 휠을 모 기판의 절단 예정선에 접촉한 후 절단 예정선을 따라 소정 깊이의 스 크라이브 라인(Scribe Line)을 형성하는 스크라이빙 공정과, 모 기판에 물리적인 충격을 가하여 스크라이브 라인을 따라 크랙(Crack)이 전파되도록 함으로써 모 기판을 단위 기판으로 절단하는 브레이킹 공정으로 이루어진다.As a method of cutting a mother substrate, there is a method of cutting using a laser beam, or a method of cutting using a scribing wheel embedded with fine diamond. A method of cutting a mother substrate using a scribing wheel is performed by contacting the scribing wheel with a cutting line of the mother substrate and forming a scribe line having a predetermined depth along the cutting line. An ice process and a breaking process of cutting a mother substrate into a unit substrate by applying a physical shock to the mother substrate to allow cracks to propagate along the scribe line.

도 1은 종래의 양면 스크라이빙 장치의 단면도이다. 그 중에서 스크라이빙 공정에 사용되는 스크라이빙 장치는, 도 1에 도시된 것처럼, 단위 기판들이 형성된 모 기판상에 단위 기판들의 배열 방향을 따라 스크라이브 라인을 형성하기 위한 것으로, 이송 부재들(10)과 스크라이버들(20)을 포함한다.1 is a cross-sectional view of a conventional double-sided scribing apparatus. Among them, the scribing apparatus used in the scribing process is to form a scribe line along the arrangement direction of the unit substrates on the mother substrate on which the unit substrates are formed, as shown in FIG. ) And scribers 20.

이송 부재들(10)은 모 기판을 일 방향을 따라 이동시키고, 스크라이버들(20)은 모 기판의 상면과 하면에 동시에 스크라이브 라인을 형성하게 된다. 이송 부재들(10)은 모 기판(S)의 이송 방향을 따라 서로 이격 배치된 제1 이송부재(10a)와 제2이송부재(10b)를 포함한다. 제1 및 제2 이송부재(10a,10b)는 모 기판(S)을 지지하고, 모 기판을 일 방향으로 이송시킨다.The transfer members 10 move the mother substrate in one direction, and the scribers 20 form scribe lines on the upper and lower surfaces of the mother substrate at the same time. The transfer members 10 include a first transfer member 10a and a second transfer member 10b spaced apart from each other along the transfer direction of the parent substrate S. The first and second transfer members 10a and 10b support the mother substrate S and transfer the mother substrate in one direction.

일반적으로, 제1 및 제2 이송부재(10a,10b)는 복수의 샤프트들로 구성되어 있다. 복수의 샤프트는 모 기판의 이송 방향에 수직한 방향으로 서로 평행을 이루도록 복수 개가 나란하게 배치된다.In general, the first and second transfer members 10a and 10b are composed of a plurality of shafts. The plurality of shafts are arranged side by side so as to be parallel to each other in a direction perpendicular to the transfer direction of the parent substrate.

스크라이버들(20)은 모 기판의 상면에 스크라이브 라인을 형성하는 상부 스크라이버(20a)와, 모 기판의 하면에 스크라이브 라인을 형성하는 하부 스크라이버(20b)를 포함한다. 상부 스크라이버(20a)와 하부 스크라이버(20b)는 제1이송부재(10a)와 제2이송부재(10b)의 사이에 위치하며, 상부 스크라이버(20a)의 스크라이빙 휠(21a) 원주 면과 하부 스크라이버(20b)의 스크라이빙 휠(21b) 원주 면이 서로 마주보도록 연직선 상에 일렬로 정렬된다. 그리고, 상부 및 하부 스크라이버(20a, 20b)는 모 기판의 평면상에서 모 기판의 이송 방향에 수직한 방향으로 직선 이동하면서, 모 기판상에 스크라이브 라인을 형성한다. The scribers 20 include an upper scriber 20a for forming a scribe line on the upper surface of the mother substrate, and a lower scriber 20b for forming a scribe line on the lower surface of the mother substrate. The upper scriber 20a and the lower scriber 20b are positioned between the first transfer member 10a and the second transfer member 10b, and the circumference of the scribing wheel 21a of the upper scriber 20a. The surface and the circumferential surfaces of the scribing wheel 21b of the lower scriber 20b are aligned in a line on the vertical line so as to face each other. The upper and lower scribers 20a and 20b form a scribe line on the mother substrate while linearly moving in a direction perpendicular to the transfer direction of the mother substrate on the plane of the mother substrate.

이러한 모 기판의 양면에 스크라이브 라인을 형성하는 장치는 각 스크라이빙 휠(21a, 21b) 사이에 모 기판이 위치하고, 모 기판은 각각의 스크라이빙 휠(21a, 21b)이 지지하거나 롤러인 이송부재(10a, 10b)가 지지하는 방식이다.In the apparatus for forming a scribe line on both sides of the mother substrate, the mother substrate is positioned between the scribing wheels 21a and 21b, and the mother substrate is transferred or supported by the respective scribing wheels 21a and 21b. This is the method supported by the members 10a and 10b.

이렇게, 모 기판의 상/하면을 스크라이빙 휠(21a, 21b)에 의한 점접촉 지지 방식으로 스크라이빙 하게 되면, 지지점 주위에 상하 유동이 발생할 우려가 있다. In this way, when the upper and lower surfaces of the mother substrate are scribed by the point contact support method by the scribing wheels 21a and 21b, there is a possibility that up and down flow occurs around the support point.

또한, 상하 스크라이빙 휠(21a, 21b)이 점접촉 커팅 방식이므로, 응력 집중에 의해 커팅 품질이 저하될 수 있다.In addition, since the upper and lower scribing wheels 21a and 21b are point-contact cutting methods, cutting quality may be deteriorated by stress concentration.

또한, 스크라이빙 면의 압력 조절이 곤란하여, 점접촉으로 인한 뒤틀림이 발생할 우려가 있고, 지지 면적이 적어서 스크라이빙 시 휨이 발생할 수도 있다.In addition, it is difficult to adjust the pressure of the scribing surface, there is a fear that distortion due to the point contact occurs, there is also a small support area may cause bending during scribing.

본 발명은 효율적으로 스크라이빙 공정을 수행할 수 있는 스크라이빙 장치 및 방법을 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide a scribing apparatus and method capable of efficiently performing a scribing process.

또한, 본 발명은 양면 스크라이빙을 할 때, 스크라이빙 라인 주위에 고른 응력이 분포될 수 있는 스크라이빙 장치 및 방법을 제공하고자 한다.In addition, the present invention is to provide a scribing apparatus and method in which even stress is distributed around the scribing line when double-sided scribing.

또한, 본 발명은 양면 스크라이빙을 할 때, 모 기판의 휨을 방지하여 안정된 스크라이빙이 가능한 스크라이빙 장치 및 방법을 제공하는 데 목적이 있다.In addition, an object of the present invention is to provide a scribing apparatus and method capable of stable scribing by preventing warpage of a mother substrate when double-sided scribing.

본 발명에 따른 스크라이빙 장치는 모 기판을 지지하는 지지부재; 상기 지지부재의 상측에 배치되어, 모 기판의 상면에 스크라이브(scribe) 라인을 형성하는 제1스크라이버; 및 상기 지지부재의 하측에 배치되어, 모 기판의 하면에 스크라이브 라인을 형성하는 제2스크라이버를 구비하되, 상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상하로 대향되는 위치에서 어긋나게 배치된다.The scribing apparatus according to the present invention includes a support member for supporting a mother substrate; A first scriber disposed above the support member to form a scribe line on an upper surface of the parent substrate; And a second scriber disposed under the support member to form a scribe line on a lower surface of the parent substrate, wherein the first scriber and the second scriber are disposed to be offset from each other in an up and down position.

여기서, 상기 제1스크라이버와 대응되는 반대쪽에서 상기 제1스크라이버와 마주보도록 위치하여 모 기판을 고정하는 제1고정부재; 및 상기 제2스크라이버와 대응되는 반대쪽에서 상기 제2스크라이버와 마주보도록 위치하여 모 기판을 고정하는 제2고정부재를 포함할 수 있다.Here, the first fixing member which is positioned to face the first scriber from the opposite side corresponding to the first scriber to fix the mother substrate; And a second fixing member positioned to face the second scriber on the opposite side corresponding to the second scriber to fix the mother substrate.

아울러, 상기 고정부재들은 모 기판과 면접촉하도록 제공될 수 있다.In addition, the fixing members may be provided to be in surface contact with the parent substrate.

게다가, 상기 고정부재는 벨트-컨베이어 타입일 수 있다.In addition, the fixing member may be a belt conveyor type.

더욱이, 상기 고정부재는 한 쌍의 롤러와, 상기 한 쌍의 롤러의 외주면을 감싸는 벨트를 구비할 수 있다.Furthermore, the fixing member may include a pair of rollers and a belt surrounding the outer circumferential surface of the pair of rollers.

또한, 모 기판의 이동방향을 기준으로 상기 고정부재들의 전방에는 모 기판의 휨을 방지하도록 제1휨방지부재가 더 구비되고, 상기 고정부재들의 후방에는 제2휨방지부재가 더 구비될 수 있다.In addition, a first warpage preventing member may be further provided at the front of the fixing members based on a moving direction of the parent substrate, and a second warpage preventing member may be further provided at the rear of the fixing members.

나아가, 상기 휨방지부재들은 모 기판과 면접촉하도록 제공될 수 있다.Furthermore, the bending preventing members may be provided to be in surface contact with the parent substrate.

아울러, 상기 지지부재는 복수의 샤프트를 구비하고, 상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상기 샤프트들의 사이에 제공될 수 있다.In addition, the support member may include a plurality of shafts, and the first scriber and the second scriber may be provided between the shafts.

더욱이, 상기 제1 및 제2스크라이버는, 각각을 모 기판의 면과 수직한 방향으로 이동시키는 수직 구동부재와, 모 기판의 면에 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부재를 더 포함하고, 상기 제1고정부재는 상기 제2스크라이버에 고정되고, 상기 제2고정부재는 상기 제1스크라이버에 고정될 수 있다.Further, the first and second scribers further include a vertical drive member for moving each in a direction perpendicular to the plane of the parent substrate, and a horizontal drive member for moving in the horizontal direction to the plane of the parent substrate. The first fixing member may be fixed to the second scriber, and the second fixing member may be fixed to the first scriber.

또한, 본 발명에 따른 스크라이빙 방법은 모 기판의 상부에서 상기 모 기판의 상면에 제1스크라이버에 의해 스크라이브 라인을 형성하고, 상기 모 기판의 하부에서 상기 모 기판의 하면에 제2스크라이버에 의해 스크라이브 라인을 형성하되, 상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상하로 대향되는 위치에서 어긋나게 스크라이브 라인을 형성한다.In addition, the scribing method according to the present invention forms a scribe line on the upper surface of the mother substrate by the first scriber on the upper side of the mother substrate, and a second scriber on the lower surface of the mother substrate on the lower side of the mother substrate. By forming a scribe line, the first scriber and the second scriber to form a scribe line shifted in a position facing up and down.

여기서, 상기 모 기판을 중심으로 상기 제1스크라이버와 대응되는 반대쪽에서 상기 제1스크라이버를 마주보는 제1고정부재; 및 상기 제2스크라이버와 대응되는 반대쪽에서 상기 제2스크라이버를 마주보는 제2고정부재의 면접촉에 의해 상기 모 기판을 고정할 수 있다.Here, a first fixing member facing the first scriber from the opposite side corresponding to the first scriber with respect to the mother substrate; And the mother substrate by surface contact of the second fixing member facing the second scriber on the opposite side corresponding to the second scriber.

아울러, 상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상기 모 기판에 표시된 단위 기판의 외곽 라인에 맞춰 이격될 수 있다.In addition, the first scriber and the second scriber may be spaced apart from the outer line of the unit substrate displayed on the mother substrate.

나아가, 상기 모 기판의 이동방향을 기준으로 상기 고정부재들의 전방에 제공된 제1휨방지부재와, 상기 고정부재들의 후방에 제공된 제2휨방지부재에 의해 상기 모 기판의 휨을 방지할 수 있다.Furthermore, bending of the mother substrate may be prevented by the first bending preventing member provided in front of the fixing members and the second bending preventing member provided at the rear of the fixing members with respect to the moving direction of the mother substrate.

게다가, 상기 휨방지부재는 상기 모 기판과 면접촉할 수 있다.In addition, the bending preventing member may be in surface contact with the parent substrate.

더욱이, 상기 휨방지부재는 상기 모 기판에 표시된 단위 기판의 중앙에 접촉 할 수 있다.Furthermore, the bending preventing member may contact the center of the unit substrate displayed on the mother substrate.

또한, 상기 모기판은 복수의 샤프트에 의해 지지되고, 상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상기 샤프트들의 사이에 위치할 수 있다.The mother substrate may be supported by a plurality of shafts, and the first scriber and the second scriber may be positioned between the shafts.

아울러, 상기 제1고정부재는 상기 제2스크라이버와 고정되고, 상기 제2고정부재는 상기 제1스크라이버와 고정되어, 각각은 상기 모 기판의 면에 대해 수직방향 및 수평방향으로 동시에 이동가능할 수 있다.In addition, the first fixing member is fixed with the second scriber, the second fixing member is fixed with the first scriber, each of which can be moved simultaneously in the vertical and horizontal directions with respect to the surface of the mother substrate. Can be.

상술한 본 발명에 따르면, 모 기판을 면접촉으로 고정하는 고정부재를 이용한 스크라이빙 방식이므로 스크라이빙 라인 주위에 고른 응력이 분포된다.According to the present invention described above, since the scribing method using a fixing member for fixing the parent substrate in surface contact, an even stress is distributed around the scribing line.

또한, 본 발명에 따르면 스크라이버 전후의 휨방지부재로 기판의 휨을 방지하여 안정된 스크라이빙이 가능한 효과가 있다.In addition, according to the present invention there is an effect that can be stable scribing by preventing the warpage of the substrate with the warp member before and after the scriber.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 2 내지 도 4를 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 2 to 4. The embodiments of the present invention can be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the following embodiments. The shape of the elements in the figures has been exaggerated to highlight more clearly.

이하, 도면을 참고하여 본 발명에 따른 스크라이빙 장치에 대해 설명한다.Hereinafter, a scribing apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings.

도 2는 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 단면도, 도 3은 본 발명에 따른 고정부재의 사시도이다.2 is a cross-sectional view of the scribing apparatus according to the present invention, Figure 3 is a perspective view of a fixing member according to the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명의 스크라이빙 장치(10)는 단위 기판들이 형성된 모 기판상에 단위 기판들의 배열 방향을 따라 스크라이브 라인을 형성하기 위한 것으로, 지지부재, 스크라이버, 고정부재, 휨방지부재 등을 포함한다.Referring to FIG. 2, the scribing apparatus 10 of the present invention is for forming a scribe line along the arrangement direction of the unit substrates on the mother substrate on which the unit substrates are formed. The support member, the scriber, the fixing member, and the bending Prevention members and the like.

본 실시예에서는 지지부재는 복수의 샤프트(111)를 구비한다. 스크라이버는 제1스크라이버(121)와 제2스크라이버(122)를 구비한다. 또한, 고정부재는 제1고정부재(131)와 제2고정부재(132)를, 휨방지부재는 제1휨방지부재(141)와 제2휨방지부재(142)를 포함한다.In the present embodiment, the support member includes a plurality of shafts 111. The scriber includes a first scriber 121 and a second scriber 122. In addition, the fixing member includes a first fixing member 131 and a second fixing member 132, and the bending preventing member includes a first bending preventing member 141 and a second bending preventing member 142.

지지부재는 모 기판(S)을 지지한다. 도 2를 참조한 실시예에 의하면, 지지부재는 복수의 샤프트(111)를 구비한다. 복수의 샤프트(111)는 모 기판(S)의 이송방향을 따라 나란히 복수가 배치된다. 또한, 샤프트(111)는 모 기판(S)을 중심으로 아래쪽에만 배치될 수도 있고, 도시된 것처럼 모 기판(S)의 상하에 동시에 제공될 수도 있다. 이렇게, 지지부재(110)가 샤프트(111)인 경우에는 모 기판(S)을 지지함과 동시에, 모 기판을 일 방향으로 이송시킨다.The support member supports the mother substrate (S). According to the embodiment with reference to FIG. 2, the support member has a plurality of shafts 111. A plurality of shafts 111 are arranged side by side along the transport direction of the parent substrate (S). In addition, the shaft 111 may be disposed only below the mother substrate S, or may be simultaneously provided above and below the mother substrate S as shown. Thus, when the support member 110 is the shaft 111, while supporting the mother substrate (S), the mother substrate is transferred in one direction.

또한, 제1스크라이버(121)와 제2스크라이버(122)는 샤프트(111)들의 사이에 제공된다. 제1스크라이버(121)는 샤프트(111)의 상측에 배치되어, 모 기판(S)의 상면에 스크라이브(scribe) 라인을 형성하고, 제2스크라이버(122)는 샤프트(111)의 하측에 배치되어, 모 기판(S)의 하면에 스크라이브 라인을 형성한다. 이때, 제1스크라이버(121)와 제2스크라이버(122)는 상하로 대향되는 위치에서 어긋나게 배치된다.In addition, the first scriber 121 and the second scriber 122 are provided between the shafts 111. The first scriber 121 is disposed above the shaft 111 to form a scribe line on the upper surface of the parent substrate S, and the second scriber 122 is located below the shaft 111. It arrange | positions and forms a scribe line in the lower surface of the mother substrate S. FIG. At this time, the first scriber 121 and the second scriber 122 are disposed to be offset from each other in a position facing up and down.

이렇게 제1스크라이버(121)와 제2스크라이버(122)는 상하로 대향되는 위치에서 어긋나게 배치되고, 그 반대쪽에는 고정부재가 구비된다. 즉, 제1고정부재(131) 가 제1스크라이버(121)와 대응되는 반대쪽에서 제1스크라이버(121)와 마주보도록 위치한다. 공정 진행시 제1고정부재(131)는 모 기판(S)과 접촉하여 모 기판(S)을 고정할 수 있도록 제공된다. 마찬가지로, 제2고정부재(132)는 제2스크라이버(132)와 대응되는 반대쪽에서 제2스크라이버(122)와 마주보도록 위치하며, 공정 진행시 모 기판(S)을 고정한다. In this way, the first scriber 121 and the second scriber 122 are disposed to be offset from each other in a position facing up and down, and the fixing member is provided on the opposite side. That is, the first fixing member 131 is positioned to face the first scriber 121 on the opposite side corresponding to the first scriber 121. During the process, the first fixing member 131 is provided to be in contact with the mother substrate S to fix the mother substrate S. Similarly, the second fixing member 132 is positioned to face the second scriber 122 on the opposite side corresponding to the second scriber 132, and fixes the mother substrate S during the process.

즉, 이렇게 제1스크라이버(121)와 제2스크라이버(122)가 어긋나게 배치되고, 그 반대쪽에 제1고정부재(131)와 제2고정부재(132)가 위치하면, 스크라이빙 휠만의 점접촉 지지방식에서 벗어나, 제1고정부재(131)와 제2고정부재(132)의 선접촉 내지 면접촉 지지가 가능하게 된다.That is, when the first scriber 121 and the second scriber 122 are disposed to be offset, and the first fixing member 131 and the second fixing member 132 are located opposite to each other, only the scribing wheel Apart from the point contact support method, line contact or surface contact support of the first fixing member 131 and the second fixing member 132 is possible.

만약, 제1고정부재(131)와 제2고정부재(132)가 샤프트 타입인 경우는 모 기판(S)과 선접촉 지지가 가능하고, 제1고정부재(131)와 제2고정부재(132)가 벨트-컨베이어 타입인 경우는 모 기판(S)과 면접촉 지지가 가능해진다. 아울러, 모 기판(S)을 고정할 뿐만 아니라, 회전에 의해 모 기판(S)의 이송도 보조할 수 있다.If the first fixing member 131 and the second fixing member 132 are of the shaft type, line contact with the mother substrate S is possible, and the first fixing member 131 and the second fixing member 132 are supported. ) Is a belt conveyor type, the surface contact support with the mother substrate (S) is possible. In addition, not only the mother substrate S is fixed but also the transfer of the mother substrate S can be assisted by rotation.

도 2에는 제1고정부재(131)와 제2고정부재(132)가 벨트-컨베이어 타입인 경우를 예로 들었고, 그 예시적인 도면인 도 3에는 제1고정부재(131)가 한 쌍의 롤러(131a)와, 그 한 쌍의 롤러(131a)의 외주면을 감싸는 벨트(131b)를 구비한 것이 도시되어 있다. 벨트(131b)는 길이 방향이 모 기판(S)의 이송 방향을 향하도록 배치되고, 벨트(131b)는 모 기판의 이송 방향을 따라 서로 이격 배치된 롤러들(131a)에 감긴다. 경우에 따라 이러한 롤러들(131a)은 별도의 구동부를 구비하여 모 기판(S)의 이동을 보조할 수도 있다. 또한, 벨트-컨베이어 타입이 아닌 캐터필 러(caterpillar) 타입의 고정부재가 사용될 수도 있다.In FIG. 2, the first fixing member 131 and the second fixing member 132 have a belt-conveyor type. For example, the first fixing member 131 is a pair of rollers. 131a and a belt 131b surrounding the outer circumferential surface of the pair of rollers 131a are shown. The belt 131b is disposed such that the longitudinal direction thereof faces the conveying direction of the mother substrate S, and the belt 131b is wound around the rollers 131a spaced apart from each other along the conveying direction of the mother substrate. In some cases, the rollers 131a may have a separate driving part to assist the movement of the mother substrate S. FIG. In addition, a caterpillar type fixing member other than the belt conveyor type may be used.

또한, 제1휨방지부재(141)는 모 기판(S)의 이동방향을 기준으로 고정부재들(131, 132)의 전방에 구비된다. 또한, 모 기판(S)의 휨을 방지하도록 고정부재들(131, 132)의 후방에는 제2휨방지부재(142)가 구비된다.In addition, the first bending preventing member 141 is provided in front of the fixing members 131 and 132 based on the moving direction of the parent substrate S. In addition, a second bending preventing member 142 is provided at the rear of the fixing members 131 and 132 to prevent bending of the mother substrate S.

이러한 휨방지부재들(141, 142)의 역할은 고정부재들(131, 132)과 달리 모 기판(S)의 휨을 방지는 것이지만, 그 형태가 고정부재들(131, 132)처럼 샤프트 타입인 경우는 모 기판(S)과 선접촉 지지가 가능하고, 벨트-컨베이어 타입인 경우는 모 기판(S)과 면접촉 지지가 가능해진다. 물론, 벨트-컨베이어 타입이 아닌 캐터필러(caterpillar) 타입의 휨방지부재가 사용될 수도 있다.Unlike the fixing members 131 and 132, the bending preventing members 141 and 142 serve to prevent bending of the mother substrate S, but the shape of the bending preventing members 141 and 142 is a shaft type like the fixing members 131 and 132. It is possible to support linear contact with the mother substrate S, and in the case of a belt conveyor type, surface contact support with the mother substrate S becomes possible. Of course, a caterpillar type deflection prevention member other than the belt conveyor type may be used.

나아가, 도 2에 도시된 것처럼 스크라이빙 장치(100)에는 X축방향 구동부(180)와 Y축방향 구동부(190)가 구비된다. X축방향 구동부(180)는 도 2에서 스크라이버들(121, 122)의 수평방향 이동을 가능하게 하며, Y축방향 구동부(190)은 스크라이버들(121, 122)의 수직방향 이동을 가능하게 한다.In addition, as shown in FIG. 2, the scribing apparatus 100 includes an X-axis driver 180 and a Y-axis driver 190. The X-axis driver 180 enables horizontal movement of the scribers 121 and 122 in FIG. 2, and the Y-axis driver 190 enables vertical movement of the scribers 121 and 122. Let's do it.

이때, 제1스크라이버(121)와 제2고정부재(132)는 모 기판(S)을 중심으로 동일한 방향에 설치되므로, 제2고정부재(132)는 제1스크라이버(121)에 고정되면, 이러한 하나의 X축방향 구동부(121)와 Y축방향 구동부(132)가 제1스크라이버(121)와 제2고정부재(132)를 동시에 구동할 수 있다. 더불어, 제1스크라이버(121)와 제2고정부재(132)의 옆에는 제2휨방지부재(142)가 함께 구비되므로, 제1스크라이버(121)에 제2고정부재(132) 및 제2휨방지부재(142)가 함께 고정된 경우에는 하나의 X축방향 구동부(121)와 Y축방향 구동부(132)에 의해 제1스크라이버(121)에 제2고정부 재(132) 및 제2휨방지부재(142)가 동시에 구동될 수도 있다. 제1스크라이버(121), 제2고정부재(132) 및 제2휨방지부재(142)가 개별적으로 구동될 수 있음은 물론이다.In this case, since the first scriber 121 and the second fixing member 132 are installed in the same direction with respect to the mother substrate S, the second fixing member 132 is fixed to the first scriber 121. In addition, the one X-axis driver 121 and the Y-axis driver 132 may drive the first scriber 121 and the second fixing member 132 simultaneously. In addition, since the second bending preventing member 142 is provided along the side of the first scriber 121 and the second fixing member 132, the second fixing member 132 and the first fixing member 132 are formed on the first scriber 121. 2 When the bending preventing member 142 is fixed together, the second fixing member 132 and the first fixing member 121 are formed on the first scriber 121 by one X-axis driving unit 121 and Y-axis driving unit 132. The two bending preventing members 142 may be driven at the same time. Of course, the first scriber 121, the second fixing member 132 and the second bending preventing member 142 may be driven separately.

위의 설명은 제1스크라이버(121), 제2고정부재(132) 및 제2휨방지부재(142)의 반대편에 있는 제2스크라이버(122), 제1고정부재(131) 및 제1휨방지부재(141)에도 동일하게 적용되므로 반복적인 설명은 생략한다.The above description is about the second scriber 122, the first fixing member 131, and the first opposite to the first scriber 121, the second fixing member 132, and the second bending preventing member 142. Since the same applies to the bending preventing member 141, repeated description thereof will be omitted.

이하, 도면을 참고하여 본 발명에 따른 스크라이빙 방법에 대해 설명한다.Hereinafter, a scribing method according to the present invention will be described with reference to the drawings.

앞서 설명한 것처럼, 본 발명의 스크라이빙 방법은 모 기판(S)의 상부에서 모 기판(S)의 상면에 제1스크라이버(121)에 의해 스크라이브 라인을 형성하고, 모 기판(S)의 하부에서 모 기판(S)의 하면에 제2스크라이버(122)에 의해 스크라이브 라인을 형성한다. 이때, 제1스크라이버(121)와 제2스크라이버(122)는 상하로 대향되는 위치에서 어긋나게 스크라이브 라인을 형성한다.As described above, in the scribing method of the present invention, a scribe line is formed on the upper surface of the mother substrate S by the first scriber 121 on the upper portion of the mother substrate S, and the lower portion of the mother substrate S is formed. The scribe line is formed on the lower surface of the mother substrate S by the second scriber 122. At this time, the first scriber 121 and the second scriber 122 form a scribe line at a position opposite to each other up and down.

모 기판(S)은 복수의 샤프트(111)에 의해 지지되고, 제1스크라이버(121)와 제2스크라이버(122)는 샤프트들(111)의 사이에 위치한다.The mother substrate S is supported by the plurality of shafts 111, and the first scriber 121 and the second scriber 122 are positioned between the shafts 111.

또한, 제1고정부재(131)는 모 기판(S)을 중심으로 제1스크라이버(121)와 대응되는 반대쪽에서 제1스크라이버(121)를 마주보고, 제2고정부재(132)는 제2스크라이버(122)와 대응되는 반대쪽에서 제2스크라이버(122)를 마주본다. 이러한 제1 및 제2고정부재(131, 132)의 면접촉에 의해 모 기판(S)을 고정한다.In addition, the first fixing member 131 faces the first scriber 121 on the opposite side corresponding to the first scriber 121 with respect to the parent substrate S, and the second fixing member 132 is formed of the first fixing member 132. The second scriber 122 faces the opposite side of the second scriber 122. The mother substrate S is fixed by the surface contact of the first and second fixing members 131 and 132.

아울러, 제1휨방지부재(141)는 모 기판(S)의 이동방향을 기준으로 고정부재 들(131, 132)의 전방에 제공되고, 제2휨방지부재(142)는 고정부재들(131, 132)의 후방에 제공된다. 제1 및 제2 휨방지부재(141, 142)에 의해 모 기판(S)의 휨을 방지한다. 휨방지부재들(141, 142)은 모 기판(S)과 면접촉하게 된다.In addition, the first bending preventing member 141 is provided in front of the fixing members 131 and 132 based on the moving direction of the parent substrate S, and the second bending preventing member 142 is the fixing members 131. 132 is provided at the rear. The first and second bending preventing members 141 and 142 prevent the mother substrate S from bending. The bending preventing members 141 and 142 are in surface contact with the parent substrate S.

또한, 제1고정부재(131)는 제2스크라이버(122)에 고정되고, 제2고정부재(132)는 제1스크라이버(121)와 고정되어, 각각이 상기 모 기판의 면에 대해 수직방향 및 수평방향으로 동시에 이동가능할 수도 있다.In addition, the first fixing member 131 is fixed to the second scriber 122, the second fixing member 132 is fixed to the first scriber 121, each of which is perpendicular to the surface of the mother substrate It may be movable simultaneously in the direction and the horizontal direction.

도 4는 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 유닛 위치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다. 도 4를 참조하여 앞선 스크라이버들(121, 122), 고정부재들(131, 132) 및 휨방지부재들(141, 142)의 위치에 대해 설명하면 다음과 같다.4 is a schematic view for explaining a unit position of the scribing apparatus according to the present invention. Referring to FIG. 4, the positions of the scribers 121 and 122, the fixing members 131 and 132, and the bending preventing members 141 and 142 will be described below.

도 4에는 기판의 진행방향이라는 화살표가 표시되어 있지만, 모 기판(S)과 스크라이빙 장치(100)의 상대적인 이동을 의미하므로, 모 기판(S)이 이동할 수도 있고, 스크라이버들(121, 122)이 이동할 수도 있다. 화살표 SD의 방향은 스크라이버들(121, 122)이 스크라이빙할 때, 이동하는 방향을 표시한다. In FIG. 4, an arrow indicating a traveling direction of the substrate is indicated. However, since the arrow indicates relative movement between the mother substrate S and the scribing apparatus 100, the mother substrate S may move, and the scribers 121, 122) may move. The direction of the arrow SD indicates the direction of movement when the scribers 121 and 122 scribe.

도 4의 화살표 D1은 제1스크라이버(121)의 위치를 나타내고, 화살표 D2, D2'는 제2스크라이버의 위치를 나타낸다. 또한, 화살표 B1은 제1휨방지부재(141)의 위치를 나타내고, 화살표 B2, B2'는 제2휨방지부재(142)의 위치를 나타낸다.Arrow D1 of FIG. 4 indicates the position of the first scriber 121, and arrows D2 and D2 'indicate positions of the second scriber. In addition, arrow B1 shows the position of the 1st bending prevention member 141, and arrow B2, B2 'shows the position of the 2nd bending prevention member 142. As shown in FIG.

제1고정부재(131)와 제2고정부재(132)는 모 기판(S)을 중심으로 제1스크라이버(121)와 제2스크라이버(122)의 반대편에 위치하므로 별도의 화살표로 표시하지는 않았다.Since the first fixing member 131 and the second fixing member 132 are located opposite to the first scriber 121 and the second scriber 122 with respect to the mother substrate S, the first fixing member 131 and the second fixing member 132 are not indicated by separate arrows. Did.

먼저, 제1스크라이버(121)와 제2스크라이버(122)는 모 기판(S)에 표시된 단 위 기판(S1)의 외곽 라인(L)에 맞춰 이격된다. 즉, 제1스크라이버(121)가 단위 기판(S1) 외곽 라인(L) 상의 D1의 위치에 있으면, 제2스크라이버(122)는 단위 기판(S1) 외곽 라인(L) 상의 D2에 위치할 수도 있고, D2'에 위치할 수도 있다.First, the first scriber 121 and the second scriber 122 are spaced apart from the outer line L of the unit substrate S1 displayed on the mother substrate S. That is, when the first scriber 121 is located at the position D1 on the outer line L of the unit substrate S1, the second scriber 122 may be positioned at D2 on the outer line L of the unit substrate S1. Or may be located at D2 '.

만일, 제2스크라이버(122)가 D2의 위치에 있는 경우는 모 기판(S)의 상하에 평면상 동일한 스크라이브 라인을 형성하게 되고, 제2스크라이버(122)가 D2'의 위치에 있는 경우는 모 기판(S)의 상하에는 평면상 어긋난 스크라이브 라인이 형성된다.If the second scriber 122 is in the position of D2, the same scribe line is formed on the top and bottom of the parent substrate S, and the second scriber 122 is in the position of D2 '. In the upper and lower sides of the mother substrate S, scribe lines shifted in a plane are formed.

이때, 휨방지부재(141, 142)는 모 기판(S)에 표시된 단위 기판(S1)의 중앙에 접촉한다. 제1휨방지부재(141)는 제1스크라이버(121)의 바깥쪽 단위 기판(S1)의 중앙인 B1에 위치하게 된다. 또한, 제2스크라이버(122)가 D2의 위치에 있는 경우는 제2휨방지부재(142)는 제1휨방지부재(141)의 반대쪽 단위 기판(S1)의 중앙인 B2에 위치한다. 제2스크라이버(122)가 D2'의 위치에 있는 경우는 제2휨방지부재(142)는 제1휨방지부재(141)의 반대쪽 단위 기판(S1)의 중앙인 B2'에 위치한다.At this time, the bending preventing members 141 and 142 contact the center of the unit substrate S1 indicated on the mother substrate S. The first bending preventing member 141 is positioned at B1, which is the center of the outer unit substrate S1 of the first scriber 121. In addition, when the second scriber 122 is located at the position of D2, the second bending preventing member 142 is positioned at B2, which is the center of the unit substrate S1 opposite to the first bending preventing member 141. When the second scriber 122 is located at the position of D2 ′, the second bending preventing member 142 is positioned at B2 ′ which is the center of the unit substrate S1 opposite to the first bending preventing member 141.

물론, 휨방지부재들(141, 142)이 반드시 인접한 단위 기판(S1)의 중앙에 위치해야 하는 것은 아니며, 필요에 따라 더 먼 쪽의 단위 기판(S1)의 중앙에 위치할 수도 있다. 또한, 예시된 기판의 스크라이브 라인과 다른 형태의 라인에도 동일한 원리가 적용될 수 있다.Of course, the bending preventing members 141 and 142 are not necessarily located at the center of the adjacent unit substrate S1, and may be located at the center of the unit substrate S1 on the far side if necessary. In addition, the same principle may be applied to the scribe lines of the illustrated substrate and other types of lines.

이렇게 본 발명에 따르면, 면접촉으로 모 기판을 고정하는 고정부재들(131, 132)을 이용한 스크라이빙 방식이므로 스크라이빙 라인 주위에 고른 응력이 분포된다. 스크라이버(121, 122) 전후의 휨방지부재들(141, 142)로 기판의 휨을 방지하여 안정된 스크라이빙이 가능한 효과가 있다.Thus, according to the present invention, since the scribing method using the fixing members (131, 132) for fixing the mother substrate in surface contact evenly distributed stress around the scribing line. The bending prevention members 141 and 142 before and after the scribers 121 and 122 prevent the bending of the substrate and thus have a stable scribing effect.

이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described with reference to the embodiments above, those skilled in the art will understand that the present invention can be variously modified and changed without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. Could be.

도 1은 종래의 양면 스크라이빙 장치의 단면도,1 is a cross-sectional view of a conventional double-sided scribing apparatus,

도 2는 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 단면도,2 is a cross-sectional view of the scribing apparatus according to the present invention;

도 3은 본 발명에 따른 고정부재의 사시도,3 is a perspective view of a fixing member according to the present invention;

도 4는 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 유닛 위치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.4 is a schematic view for explaining a unit position of the scribing apparatus according to the present invention.

<도면의 간단한 설명><Brief Description of Drawings>

100...스크라이빙 장치 111, 112...지지부재100 ... scribing device 111, 112 ... support member

121, 122...스크라이버 131, 132...고정부재121, 122 ... scriber 131, 132 ... fixing member

141, 142...휨방지부재141, 142.Anti-bending member

Claims (17)

삭제delete 모 기판을 지지하는 지지부재;A support member for supporting the mother substrate; 상기 지지부재의 상측에 배치되어, 모 기판의 상면에 스크라이브(scribe) 라인을 형성하는 제1스크라이버; A first scriber disposed above the support member to form a scribe line on an upper surface of the parent substrate; 상기 지지부재의 하측에 배치되고, 상기 제1스크라이버와 상하로 대향되는 위치에서 상기 제1스크라이버와 어긋나게 배치되며, 모 기판의 하면에 스크라이브 라인을 형성하는 제2스크라이버;A second scriber disposed under the support member, disposed to be offset from the first scriber at a position facing up and down with the first scriber, and forming a scribe line on a lower surface of the mother substrate; 상기 제1스크라이버와 대응되는 반대쪽에서 상기 제1스크라이버와 마주보도록 위치하여 모 기판을 고정하는 제1고정부재; 및A first fixing member positioned to face the first scriber on the opposite side corresponding to the first scriber to fix the mother substrate; And 상기 제2스크라이버와 대응되는 반대쪽에서 상기 제2스크라이버와 마주보도록 위치하여 모 기판을 고정하는 제2고정부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.And a second fixing member positioned to face the second scriber on the opposite side corresponding to the second scriber to fix the mother substrate. 제 2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 고정부재들은 모 기판과 면접촉하도록 제공된 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.And the fixing members are provided in surface contact with the parent substrate. 제 2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 고정부재는 벨트-컨베이어 타입인 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.And said fixing member is of a belt conveyor type. 제 2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 고정부재는 한 쌍의 롤러와, 상기 한 쌍의 롤러의 외주면을 감싸는 벨트를 구비하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.And the fixing member has a pair of rollers and a belt surrounding the outer circumferential surface of the pair of rollers. 제 2항에 있어서,3. The method of claim 2, 모 기판의 이동방향을 기준으로 상기 고정부재들의 전방에는 모 기판의 휨을 방지하도록 제1휨방지부재가 더 구비되고, 상기 고정부재들의 후방에는 제2휨방지부재가 더 구비된 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.The first bending preventing member is further provided at the front of the fixing members based on the moving direction of the mother substrate to prevent the bending of the mother substrate, and the second bending preventing member is further provided at the rear of the fixing members. Crying Device. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 휨방지부재들은 모 기판과 면접촉하도록 제공된 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.And the bending preventing members are provided in surface contact with the parent substrate. 모 기판을 지지하는 지지부재;A support member for supporting the mother substrate; 상기 지지부재의 상측에 배치되어, 모 기판의 상면에 스크라이브(scribe) 라인을 형성하는 제1스크라이버; 및A first scriber disposed above the support member to form a scribe line on an upper surface of the parent substrate; And 상기 지지부재의 하측에 배치되어, 모 기판의 하면에 스크라이브 라인을 형성하는 제2스크라이버를 구비하되,A second scriber disposed under the support member to form a scribe line on a lower surface of the parent substrate, 상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상하로 대향되는 위치에서 어긋나게 배치되고,The first scriber and the second scriber are disposed to be offset from the position facing up and down, 상기 지지부재는 복수의 샤프트를 구비하고, 상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상기 샤프트들의 사이에 제공된 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.And said support member has a plurality of shafts, said first scriber and said second scriber being provided between said shafts. 제 2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 제1 및 제2스크라이버는, 각각을 모 기판의 면과 수직한 방향으로 이동시키는 수직 구동부재와, 모 기판의 면에 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부재를 더 포함하고,The first and second scribers further comprise a vertical drive member for moving each in a direction perpendicular to the surface of the mother substrate, and a horizontal drive member for moving in the horizontal direction on the surface of the mother substrate, 상기 제1고정부재는 상기 제2스크라이버에 고정되고, 상기 제2고정부재는 상기 제1스크라이버에 고정된 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.And the first fixing member is fixed to the second scriber, and the second fixing member is fixed to the first scriber. 삭제delete 모 기판의 상부에서 상기 모 기판의 상면에 제1스크라이버에 의해 스크라이브 라인을 형성하고,A scribe line is formed on the upper surface of the mother substrate by the first scriber on the mother substrate, 상기 모 기판의 하부에서 상기 모 기판의 하면에 제2스크라이버에 의해 스크라이브 라인을 형성하되,In the lower portion of the mother substrate to form a scribe line on the lower surface of the mother substrate by a second scriber, 상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상하로 대향되는 위치에서 어긋나게 스크라이브 라인을 형성하고,The first scriber and the second scriber form a scribe line shifted in a position facing up and down, 상기 모 기판은 상기 모 기판을 중심으로 상기 제1스크라이버와 대응되는 반대쪽에서 상기 제1스크라이버에 마주보는 제1고정부재와의 면접촉 및 상기 제2스크라이버와 대응되는 반대쪽에서 상기 제2스크라이버에 마주보는 제2고정부재와의 면접촉에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.The mother substrate has a surface contact with the first fixing member facing the first scriber on the opposite side corresponding to the first scriber with respect to the mother substrate, and the second substrate on the opposite side corresponding to the second scriber. A scribing method, characterized in that fixed by the surface contact with the second fixing member facing the scriber. 모 기판의 상부에서 상기 모 기판의 상면에 제1스크라이버에 의해 스크라이브 라인을 형성하고,A scribe line is formed on the upper surface of the mother substrate by the first scriber on the mother substrate, 상기 모 기판의 하부에서 상기 모 기판의 하면에 제2스크라이버에 의해 스크라이브 라인을 형성하되,In the lower portion of the mother substrate to form a scribe line on the lower surface of the mother substrate by a second scriber, 상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상하로 대향되는 위치에서 어긋나게 스크라이브 라인을 형성하고,The first scriber and the second scriber form a scribe line shifted in a position facing up and down, 상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상기 모 기판에 표시된 단위 기판의 외곽 라인에 맞춰 이격된 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.And the first scriber and the second scriber are spaced apart from each other according to an outer line of the unit substrate displayed on the mother substrate. 제 11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 모 기판의 이동방향을 기준으로 상기 고정부재들의 전방에 제공된 제1휨방지부재와, 상기 고정부재들의 후방에 제공된 제2휨방지부재에 의해 상기 모 기판의 휨을 방지하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.The first bending preventing member provided in front of the fixing member and the second bending preventing member provided at the rear of the fixing member with respect to the direction of movement of the mother substrate to prevent bending of the mother substrate Bing way. 제 13항에 있어서,The method of claim 13, 상기 휨방지부재는 상기 모 기판과 면접촉하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.And the bending preventing member is in surface contact with the mother substrate. 제 13항에 있어서,The method of claim 13, 상기 휨방지부재는 상기 모 기판에 표시된 단위 기판의 중앙에 접촉하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.And the bending preventing member is in contact with the center of the unit substrate displayed on the mother substrate. 모 기판의 상부에서 상기 모 기판의 상면에 제1스크라이버에 의해 스크라이브 라인을 형성하고,A scribe line is formed on the upper surface of the mother substrate by the first scriber on the mother substrate, 상기 모 기판의 하부에서 상기 모 기판의 하면에 제2스크라이버에 의해 스크라이브 라인을 형성하되,In the lower portion of the mother substrate to form a scribe line on the lower surface of the mother substrate by a second scriber, 상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상하로 대향되는 위치에서 어긋나게 스크라이브 라인을 형성하고,The first scriber and the second scriber form a scribe line shifted in a position facing up and down, 상기 모 기판은 복수의 샤프트에 의해 지지되고, 상기 제1스크라이버와 상기 제2스크라이버는 상기 샤프트들의 사이에 위치한 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.And the parent substrate is supported by a plurality of shafts, wherein the first scriber and the second scriber are located between the shafts. 제 11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 제1고정부재는 상기 제2스크라이버와 고정되고, 상기 제2고정부재는 상기 제1스크라이버와 고정되어,The first fixing member is fixed to the second scriber, the second fixing member is fixed to the first scriber, 각각은 상기 모 기판의 면에 대해 수직방향 및 수평방향으로 동시에 이동가능한 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.And each of which is simultaneously movable in a vertical direction and a horizontal direction with respect to the surface of the parent substrate.
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