KR100960815B1

KR100960815B1 - 정렬 보정 기능을 갖는 칼라필터 패턴 검사기

Info

Publication number: KR100960815B1
Application number: KR1020060065438A
Authority: KR
Inventors: 김민석
Original assignee: 엘아이지에이디피 주식회사
Priority date: 2006-07-12
Filing date: 2006-07-12
Publication date: 2010-06-07
Also published as: KR20080006341A

Abstract

본 발명은 칼라 필터 기판을 이송시키기 위한 구비된 롤러 사이에 정렬 보정수단을 마련하여 기판이 공기에 의해 부양되면서 이송될 때 배면에 발생되는 스크래치현상을 감소시키거나 클램프할 때 기판 어택(glass attack) 현상을 줄일 수 있도록 하는 정렬 보정 기능을 갖는 칼라필터 패턴 검사기에 관한 것으로, 그 상부면에 칼라 필터 기판을 위치시킨 후 그 칼라 필터 기판을 일정한 속도로 수평 방향으로 이동시키는 에어 슬라이더가 구비되어 있는 칼라 필터 패턴 검사기에 있어서, 상기 에어 슬라이더의 좌우 양측에 소정 간격으로 복수개 배열되어 있으며, 상기 에어 슬라이더로 진입한 칼라 필터 기판이 소정 범위 내에서 수평 방향으로 이동할 수 있도록 가이드 하는 정렬 보정 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

칼라 필터 기판, 검사, 정렬, 보정, 스프링, 샤프트

Description

정렬 보정 기능을 갖는 칼라필터 패턴 검사기{Apparatus for inspecting color filter pattern with the function of alignment correction}

도 1은 종래의 칼라필터 패턴 검사기를 설명하기 위한 도면,

도 2는 본 발명에 따른 정렬 보정 기능을 갖는 칼라필터 패턴 검사기의 부분 사시도,

도 3은 도 2의 단면도이다.

*** 도면의 주요부분에 대한 부호 설명 ***

100 : 칼라 필터 기판

200 : 에어 슬라이더

300 : 정렬 보정 수단

400 : 실린더

410 : 샤프트

420 : 스프링

본 발명은 정렬 보정 기능을 갖는 칼라필터 패턴 검사기에 관한 것이다.

보다 상세하게는, 칼라 필터 기판을 이송시키기 위한 구비된 롤러 사이에 정렬 보정수단을 마련하여 기판이 공기에 의해 부양되면서 이송될 때 배면에 발생되는 스크래치현상을 감소시키거나 클램프할 때 기판 어택(glass attack) 현상을 줄일 수 있도록 하는 정렬 보정 기능을 갖는 칼라필터 패턴 검사기에 관한 것이다.

최근 컴퓨터, 텔레비전, 핸드폰 등 전자기기의 수요가 폭발적으로 증가함에 따라 이러한 전자기기에 필수적으로 사용되는 평판표시소자에 대한 수요도 함께 증가하고 있다. 이러한 평판표시소자(Flat Panel Display)로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display) 등이 있으며, 그 중에서 고화질 구현이 가능하고, 이미 양산 기술이 구현되어 있는 LCD가 가장 각광받고 있다.

LCD는 액정의 굴절률 이방성을 이용하여 화면에 정보를 표시하는 표시장치이다. LCD는 상부기판과 하부기판 및 양 기판 사이에 형성된 액정으로 이루어진다. 일반적으로 하부기판은 구동소자 어레이(Array)기판이며, 상부기판은 칼라 필터(Color Filter) 기판이다. 구동소자 어레이 기판에는 다수개의 화소가 형성되어 있으며, 각 화소에는 박막트랜지스터(Thin Film Transistor)와 같은 구동 소자가 형성되어 있고, 칼라 필터 기판에는 칼라를 구현하기 위한 칼라 필터 층이 형성되 어 있으며, 화소전극, 공통전극 및 액정분자를 배향하기 위한 배향막이 도포되어 있다.

그리고 상부 기판과 하부 기판 사이에는 양 기판 사이의 간격을 유지하기 위하여 소정 두께를 가지는 스페이서(spacer)가 배치된다. 이때 스페이서는 양 기판 사이의 전 영역에 골고루 배치되어야 양 기판의 모든 영역에 대하여, 양 기판이 일정한 간격을 유지하도록 할 수 있다. 이러한 스페이서로는 유리나 플라스틱 등의 재질로 이루어진 구 형상의 볼 스페이서(ball spacer)가 많이 사용되었으나, 볼 스페이서는 기판 상에 균일하게 산포하기가 어려울 뿐만 아니라, 산포된 볼 스페이서도 기판 상에서 뭉치게 되어 액정 패널의 셀 갭(Cell gap) 불량의 원인이 된다. 따라서 상술한 볼 스페이서는 점차 칼럼 스페이서(column spacer)로 대체되고 있다.

칼럼 스페이서는 노광에 의하여 형성되므로 기둥 모양이며, 원하는 위치에 형성시킬 수 있어서 정교한 간격 및 두께 조절이 가능한 장점이 있다. 상술한 칼럼 스페이서는 칼라 필터 기판 상의 각 픽셀(pixel) 마다 한 개씩 형성된다. 따라서 최근에는 볼 스페이서 보다는 칼럼 스페이서가 널리 사용되고 있는 것이다.

칼라 필터 기판에 컬러 필터 층, 배향막, 컬럼 스페이서 등이 모두 형성되고 나면, 칼라 필터에 결함이 없는지 여부를 검사한 후 결함이 없는 경우 구동소자 어레이 기판과 합착한다.

이러한 칼라 필터 기판의 결함 검사에는 도 1에 도시된 바와 같은 칼라 필터 결함 검사 장치가 이용된다.

칼라 필터 결함 검사 장치는 에어 슬라이더(10), 광원 조사부(20), 반사 검 사용 카메라(30), 제어부(도면에 미도시)로 구성된다.

먼저 에어 슬라이더(10)는, 그 상부면에 칼라 필터 기판(12)을 위치시킨 후 그 칼라 필터 기판(12)을 일정한 속도로 수평 방향으로 이동시킨다. 그리고 광원 조사부(20)는, 칼라 필터 결함 검사 장치의 상측 소정 부분에 마련되며, 칼라 필터 기판(12) 표면에 검사용 광원을 조사한다. 또한 반사 검사용 카메라(30)는, 칼라 필터 결함 검사 장치의 상측 소정 부분에 마련되며, 광원 조사부(30)에 의하여 조사된 광원이 칼라 필터 기판(12)에 의하여 반사된 것을 촬영한다.

그리고 제어부는, 에어 슬라이더(10)를 제어하여 칼라 필터 기판(12)을 일정한 속도로 이동하게 하며, 반사 검사용 카메라(30)가 연속하여 칼라 필터 기판(12)의 일정 영역을 촬영하도록 제어하며, 반사 검사용 카메라(30)에 의하여 촬영된 정보를 받아 칼라 필터 기판(12)의 양불을 판단한다.

이때 상술한 에어 슬라이더(10)에는 소정 간격으로 공기 분사 노즐이 형성되어 그 분사 노즐에 의하여 분사되는 공기의 부양력으로 기판을 들어 올리고 이송할 수도 있으며, 소정 간격으로 롤러가 형성되어 있고, 그 롤러의 회전에 의하여 기판을 이송할 수도 있다. 그 밖에 다양한 방법에 의하여 칼라 필터 기판을 이송시킬 수 있다.

상기와 같이 공기에 의해 기판이 자유로운 상태로 이송되도록 한 후 클램프를 이용하여 기판을 정렬시킨다.

이때 에어 슬라이더와 클램프 간격이 넓어서 기판 정렬시 기판 어택(glass attack) 현상이 발생하거나 배면이 스크래치 되는 스크래치 현상이 발생되는 문제 점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 칼라 필터 기판을 이송시키기 위한 구비된 롤러 사이에 정렬 보정수단을 마련하여 기판이 공기에 의해 부양되면서 이송될 때 배면에 발생되는 스크래치현상을 감소시키거나 클램프할 때 기판 어택(glass attack) 현상을 줄일 수 있도록 하는 정렬 보정 기능을 갖는 칼라필터 패턴 검사기를 제공함에 있다.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명의 일 실시예는, 그 상부면에 칼라 필터 기판을 위치시킨 후 그 칼라 필터 기판을 일정한 속도로 수평 방향으로 이동시키는 에어 슬라이더가 구비되어 있는 칼라 필터 패턴 검사기에 있어서, 상기 에어 슬라이더의 좌우 양측에 소정 간격으로 복수개 배열되어 있으며, 상기 에어 슬라이더로 진입한 칼라 필터 기판이 소정 범위 내에서 수평 방향으로 이동할 수 있도록 가이드 하는 정렬 보정 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 정렬 보정수단은, 핀 형상인 것이 바람직하다.

상기 칼라 필터 패턴 검사기는, 전진 구동 또는 후진 구동하는 샤프트와, 상 기 샤프트의 외주면에 결합되는 스프링을 포함하는 실린더가 구비된다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 정렬 보정 기능을 갖는 칼라필터 패턴 검사기에 대해 상세하게 설명한다.

본 발명에 따른 정렬 보정 기능을 갖는 칼라필터 패턴 검사기는 첨부 도면 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 그 상부면에 칼라 필터 기판(100)을 위치시킨 후 그 칼라 필터 기판(100)을 일정한 속도로 수평 방향으로 이동시키는 에어 슬라이더(200)와, 상기 에어 슬라이더(200)의 좌우 양측에 소정 간격으로 복수개 배열되어 있으며, 상기 에어 슬라이더(200)로 진입한 칼라 필터 기판(100)이 소정 범위 내에서 수평 방향으로 이동할 수 있도록 가이드 하는 정렬 보정 수단(300)과, 전진 구동 또는 후진 구동하는 샤프트(410)와, 상기 샤프트(410)의 외주면에 결합되는 스프링을 포함하는 실린더(400)를 포함하여 구성된다.

상기 정렬 보정수단(300)은 핀 형상인 것이 바람직하며, 상기 정렬 보정수단(300)의 재질은 칼라 필터 기판(100)의 측면에 닿을 때 칼라 필터 기판(100)에 영향을 주지 않는 재질로 이루어지는 것이 바람직할 것이다.

상기와 같은 구조를 갖는 정렬 보정 기능을 갖는 칼라필터 패턴 검사기의 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.

먼저 로더(Loader)의 로봇(Robot)이 칼라 필터 기판(100)을 검사 초기 위치 에 올려놓게 되면, 상기 칼라 필터 기판(100)은 에어 슬라이더(200)로부터 분사되는 에어(air)에 의해 자유 상태로 수평방향으로 이동하게 된다.

이때, 첨부 도면 도 2에 도시된 바와 같이 상기 에어 슬라이더(200)의 좌우 양측에 핀 형상의 정렬 보정 수단(300)이 구비되어 있어, 에어에 의해 자유 상태로 이동하고 있는 칼라 필터 기판(100)이 현재의 위치를 벗어나는 경우 그 위치를 보정해준다.

또한, 상기 정렬 보정 수단(300)들 사이에 실린더(400)가 구비되어 있어, 상기 정렬 보정 수단(300)의 기능을 보강해 준다. 즉, 상기 칼라 필터 기판(100)이 에어 슬라이더(200) 상부에서 에어에 의해 이동 중에 있다가 현재의 위치를 이탈하게 되는 경우 이탈된 칼라 필터 기판(100)의 소정 부위가 실린더(400)의 샤프트(410)에 부딪치게 되고, 실린더(400)의 샤프트(410)는 외부로부터 가압되는 힘에 의해 후진 구동된 후 다시 상기 샤프트(410)의 외주면에 결합된 스프링(420)의 복원력에 의해 전진 구동되면서 칼라 필터 기판(100)을 밀어 원래의 자리로 이동되도록 한다.

이상의 본 발명은 상기 실시예들에 의해 한정되지 않고, 당업자에 의해 다양한 변형 및 변경을 가져올 수 있으며, 이는 첨부된 청구항에서 포함되는 본 발명의 취지와 범위에 포함된다.

상기와 같은 구성 및 작용 그리고 바람직한 실시예를 가지는 본 발명은 칼라 필터 기판을 이송시키기 위한 구비된 롤러 사이에 정렬 보정수단을 마련하여 기판이 공기에 의해 부양되면서 이송될 때 배면에 발생되는 스크래치현상을 감소시키거나 클램프할 때 기판 어택(glass attack) 현상을 줄일 수 있도록 하는 효과가 있다.

Claims

그 상부면에 칼라 필터 기판을 위치시킨 후 그 칼라 필터 기판을 일정한 속도로 수평 방향으로 이동시키는 에어 슬라이더가 구비되어 있는 칼라 필터 패턴 검사기에 있어서,

상기 에어 슬라이더의 좌우 양측에 소정 간격으로 복수개 배열되어 있으며, 상기 에어 슬라이더로 진입한 칼라 필터 기판이 소정 범위 내에서 수평 방향으로 이동할 수 있도록 가이드 하는 핀 형상의 정렬 보정 수단

을 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬 보정 기능을 갖는 칼라필터 패턴 검사기.
삭제
제 1 항에 있어서, 상기 칼라 필터 패턴 검사기는,

전진 구동 또는 후진 구동하는 샤프트와, 상기 샤프트의 외주면에 결합되는 스프링를 포함하는 실린더,

가 구비되는 것을 특징으로 하는 정렬 보정 기능을 갖는 칼라필터 패턴 검사기.