KR100949327B1

KR100949327B1 - 가변 인덕터 및 그 인덕턴스 조정 방법

Info

Publication number: KR100949327B1
Application number: KR1020030061450A
Authority: KR
Inventors: 가즈야 마스; 아키라 시모코베; 세이이치 하타; 사토요시오; 야마기시후미오
Original assignee: 후지쯔 가부시끼가이샤; 세이이치 하타; 가즈야 마스; 아키라 시모코베
Priority date: 2002-09-13
Filing date: 2003-09-03
Publication date: 2010-03-23
Also published as: EP1398802A2; CN1259674C; DE60322312D1; KR20040024467A; JP2004111452A; CN1489158A; EP1398802A3; US7071806B2; JP3754406B2; US20040090298A1; EP1398802B1

Abstract

본 발명은 인덕턴스를 가역적, 또한, 연속적으로 변화시킬 수 있는 가변 인덕터를 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명의 가변 인덕터는 절연성 기판(1)과, 이 절연성 기판(1) 위에 설치되고, 가열에 의해 연화되는 소용돌이형 코일(2)과, 상기 코일(2)의 양단에 전기적으로 접속된 한쌍의 입출력 단자(3, 4)를 포함한다. 상기 코일(2)은 과냉각 액체역에서 연화되는 비정질 박막 금속 유리로 이루어지는 것이 바람직하다.

리프트 오프용 마스크 패턴, 유리 플레이트, 감광성 폴리이미드 수지

Description

가변 인덕터 및 그 인덕턴스 조정 방법{VARIABLE INDUCTOR AND ITS INDUCTANCE ADJUSTMENT METHOD}

도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 인덕턴스 조정 전의 가변 인덕터를 나타내는 사시도.

도 2는 도 1의 II-II선에 따른 단면도.

도 3은 인덕턴스 조정 후의 상기 가변 인덕터를 나타내는 사시도.

도 4의 (a)∼(d)는 도 1에 도시되는 가변 인덕터를 제조하기 위한 순차 공정을 나타내는 도 2와 동일한 단면도.

도 5의 (a)∼(d)는 도 4에 도시되는 공정에 연속되는 가변 인덕터 제조 공정을 나타내는 단면도.

도 6의 (a)∼(d)는 실시예 1에서 가변 인덕터에서의 인덕턴스 조정 공정을 나타내는 단면도.

도 7은 실시예 1에서 인덕턴스와 코일 높이의 관계를 나타내는 그래프.

도 8은 실시예 1에서 인덕턴스의 재조정 방법을 나타내는 사시도.

도 9는 실시예 2에 따른 가변 인덕터를 나타내는 개략 사시도.

도 10은 실시예 3에 따른 가변 인덕터의 요부(要部)를 나타내는 개략 평면도.

도 11은 실시예 4에 따른 가변 인덕터의 요부를 나타내는 개략 평면도.

도 12는 실시예 5에 따른 가변 인덕터의 요부를 나타내는 개략 평면도.

도 13은 실시예 6에 따른 가변 인덕터의 요부를 나타내는 개략 정면도.

도 14는 실시예 6의 가변 인덕터에 사용되는 압전 액추에이터의 구성 예를 나타내는 도면.

도 15는 실시예 7에 따른 가변 인덕터의 요부를 나타내는 개략 정면도.

도 16은 실시예 8에 따른 가변 인덕터를 나타내는 개략 사시도.

도 17은 실시예 9에 따른 가변 인덕터를 나타내는 것으로서, (a)는 개략 평면도, (b)는 정면도.

도 18은 실시예 10에 따른 가변 인덕터를 나타내는 개략 평면도.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

1, 21, 31, 41, 51 : 절연성 기판

2, 22, 32, 42, 52 : 소용돌이형 코일

3, 23, 43, 53 : 제 1 접속 단자

4, 24, 44, 54 : 제 2 접속 단자

5 : 절연층

6 : 희생층(犧牲層)

7 : 리프트 오프용 마스크 패턴

9 : 유리 플레이트

10 : 감광성 폴리이미드 수지

11 : 수지

25, 45, 56 : 구동용 전극

26 : 슬릿

33 : 누름 부재

34 : 압전 액추에이터

35 : 지지 부재

46 : 절연층

47 : 도통판(導通板)

55 : 압전성 재료

본 발명은 가변 인덕터에 관한 것이며, 특히 이동체 통신 기기 등에 사용되는 가변 인덕터 소자에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 가변 인덕터의 인덕턴스 조정 방법에 관한 것이다.

전자 기기의 소형화 및 고주파화가 진행되고, 그것에 따라 인덕터 등의 수동 소자도 소형화 및 고주파화가 요구되고 있다. 인덕터는 (1) 코일 형상의 제작이 다른 수동 소자에 비하여 곤란하고, (2) 기판과의 기생 용량에 의해 고주파화가 곤란하다는 문제점이 있었다. 또한, 인덕턴스를 가변할 수 있는 인덕터로서는, 코일에 설치한 트리밍(trimming) 배선을 레이저 등으로 절제(切除)(트리밍)함으로써 인 덕턴스를 조정하는 구성의 것이 알려져 있다(예를 들어, 일본국 특개평11-26876호 공보(제2-4페이지, 도 1-3) 참조).

그러나, 상기 일본국 특개평11-26876호 공보에 개시된 방법에서는, 트리밍 배선을 레이저 등으로 절제함으로써 인덕턴스를 조정하기 때문에, 일단 절제한 트리밍 배선을 복원할 수 없어, 인덕턴스를 가역적으로 조정하는 것은 불가능하다는 문제가 있었다. 또한, 트리밍 배선의 절제에 의한 인덕턴스 조정은 단계적인 인덕턴스의 변경이 가능할 뿐이며, 인덕턴스를 소정의 범위 내에서 연속적으로 조정하는 것은 불가능하다.

그래서, 본 발명의 주요한 과제는, 인덕턴스를 가역적, 또한, 연속적으로 변화시킬 수 있는 가변 인덕터를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 과제는, 이러한 가변 인덕터에서의 인덕턴스의 조정 방법을 제공함에 있다.

상기 주요한 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 제 1 측면에 의하면, 절연성 기판과, 이 절연성 기판 위에 설치되고, 가열에 의해 연화(軟化)되는 소용돌이형 코일과, 상기 코일의 양단에 전기적으로 접속된 한쌍의 입출력 단자를 포함하는 가변 인덕터가 제공된다.

이상의 구성에 있어서, 가열에 의해 연화되는 코일은, 외력을 가함으로써 탄성 변형된 상태에서, 재료가 연화되는 온도까지 가열함으로써 탄성 변형에 의해 생 긴 응력이 완화되고, 냉각 후에 외력을 제거하여도, 그 형상을 유지한다. 따라서, 코일의 높이를 변화시킴으로써, 자속(磁束)의 상태 및 코일 밀도가 변화하고, 인덕턴스를 변화시킬 수 있다. 또한, 코일은 가열에 의해 연화될 수 있기 때문에, 일단 인덕턴스를 변화시킨 후에도, 코일을 다시 탄성 변형시킨 상태에서, 가열 연화시키면 인덕턴스를 재조정하는 것이 가능해진다.

상기 코일은 가열에 의해 연화되는 도전성 재료, 도전성 재료의 코팅이 실시되고, 가열에 의해 연화되는 비도전성 재료, 및 다른 도전성 재료의 코팅이 실시되고, 가열에 의해 연화되는 도전성 재료(바람직하게는, 가열에 의해 연화되는 도전성 재료에 그것보다도 전기 저항률이 낮은 다른 도전성 재료를 코팅한 것)로 이루어지는 그룹에서 선택된 어느 하나의 재료로 형성할 수 있다.

특히, 과(過)냉각 액체역(液體域)에서 연화되는 비정질 박막인 금속 유리로 코일을 형성하는 것이 바람직하다. 「금속 유리」는, 실온에서는 기계적 특성이 우수한 비정질의 고체이고, 온도가 상승함에 따라, 반(半)고체 상태(점도가 10¹³∼10⁸㎩·s인 액체)인 과냉각 액체 상태(유리 전이점 Tg에서 변화), 결정질의 고체 상태(결정화 개시 온도 Tx에서 변화), 액체 상태(융점 Tm에서 변화)의 순서로 변화한다. 이들 상태 변화 중, 비정질의 고체 상태와 과냉각 액체 상태 사이의 변화는 가역적이며, 과냉각 액체 상태를 유지하는 온도 범위(과냉각 액체역: 유리 전이점 Tg와 결정화 개시 온도 Tx의 사이)는 비교적 넓어, 과냉각 액체 상태로 가열하는 것은 용이하게 행할 수 있다. 따라서, 비정질 박막 금속 유리로 형성된 코일 을 탄성 변형시킨 상태에서 과냉각 액체역으로 가열하면, 탄성 변형에 의해 내부에 생긴 응력을 유도 어닐링(stimulated-annealing) 효과에 의해 완전히 제거할 수 있고, 냉각시킴으로써 원래의 비정질의 고체 상태로 복원할 수 있다. 또한, 이 상변화는 가역적이기 때문에, 탄성 변형과 가열 연화를 반복함으로써 몇 번이라도 코일의 높이를 변화시킬 수 있고, 인덕턴스의 재조정도 용이하게 행할 수 있다. 또한, 비정질 박막 금속 유리로서는, Pd기(基) 박막 금속 유리(Pd₇₆Cu₇Si₁₇)나 Zr기(基) 박막 금속 유리(Zr₇₅Cu₁₉Al₆)가 예시된다.

가변 인덕터의 제조 방법으로서는, 절연 기판 위에 박막 금속 유리 등의 가열에 의해 연화되는 박막 재료를 사용한 평면적 코일을 우선 제작한다. 이 평면적 코일의 소정 부분을 외력에 의해 들어 올림으로써 원뿔형 또는 각뿔형 코일로 탄성 변형시키고, 이 상태에서 코일을 형성하는 박막 재료가 연화되는 온도까지 가열함으로써, 코일 내부의 탄성 응력을 완화시킨다. 그 후, 코일을 냉각시키면, 목적으로 하는 가변 인덕터를 얻을 수 있다. 코일의 높이 조정에는 높이 조정 지그나 높이 조정 부재를 사용하고, 가열에는 적외선 조사나 레이저 조사 등 공지의 가열 수단을 사용할 수 있다.

본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 코일의 아래쪽에 절연층을 통하여 상기 기판 위에 구동용 전극이 더 설치되어 있고, 이 구동용 전극과 상기 코일 사이에 전압을 인가함으로써 정전적으로 코일을 흡인하여 그 높이를 변경할 수 있도록 하고 있다. 이 구성에 의하면, 코일의 인덕턴스를 동적(動的)으로 변화시킬 수 있으며, 인가한 전압을 해제함으로써, 코일은 그 탄성에 의해 원래로 되돌아가고, 인덕턴스도 원래로 되돌아간다.

바람직하게는, 상기 구동용 전극은 상기 코일에 대향하여 복수개 설치되어 있으며, 각 구동용 전극마다 개별적으로 전압을 인가하기 위한 접속 단자를 구비하고 있다. 이것에 의해, 복수의 구동용 전극을 적절히 선택하여 전압을 인가함으로써, 코일의 인덕턴스를 비교적 넓은 범위에서 스텝 제어할 수 있다.

바람직하게는, 상기 구동용 전극은 상기 코일의 둘레 방향으로 연장됨에 따라 폭이 변화하는 소용돌이형 슬릿을 구비하고 있다. 이것 대신에, 상기 구동용 전극 자체가 상기 코일의 둘레 방향으로 연장됨에 따라 폭이 변화하는 테이퍼(taper) 소용돌이형일 수도 있다. 구동용 전극 자체나 슬릿의 형상이나 장소를 적절히 선택함으로써, 코일의 개소에 따라 이상적인 정전 흡인력을 발생시킬 수 있고, 인덕턴스 조정을 연속적으로 행할 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 의하면, 상기 코일에 맞닿는 누름 부재와, 이 누름 부재를 상기 코일의 높이 방향으로 구동하는 액추에이터 또는 조정 기구를 더 구비한다. 이 구성에 의해서도 코일의 인덕턴스를 동적으로 변화시켜, 다시 원래대로 복원할 수 있다.

상기 액추에이터는 상기 코일의 반대 측으로부터 상기 누름 부재를 지지할 수도 있고, 상기 코일의 동일 측으로부터 상기 누름 부재를 지지할 수도 있다.

본 발명의 또 다른 바람직한 실시예에 의하면, 상기 코일 위에 압전성 박막과 구동용 전극을 형성하는 동시에, 상기 절연성 기판 위에 상기 구동용 전극에 접 속된 접속 단자를 설치하고 있다. 이 구성에 의해, 압전성 박막의 변형에 의해 코일을 직접 탄성 변형시키고, 인덕턴스를 조정하는 것이다.

본 발명의 다른 바람직한 실시예에 의하면, 가변 인덕터는 상기 코일의 일단(一端)에 접속되고, 상기 코일이 높이 감소 방향으로 탄성 변형한 경우에 상기 일단 이외의 일부가 접촉하여 상기 코일의 실질 권수(卷數)를 감소시키며, 반대로 상기 코일이 높이 증가 방향으로 탄성 변형한 경우에는, 상기 코일의 실질 권수를 증가시키기 위한 도통판을 더 구비하고 있다. 이러한 구성에 의하면, 코일의 높이가 변화하는 것과 더불어, 코일의 실질적인 권수도 변화하기 때문에, 인덕턴스의 변화율을 크게 할 수 있다.

바람직하게는, 상기 도통판은 도넛 형상이고, 둘레 방향으로 간격을 둔 복수의 슬릿을 구비하고 있을 수도 있다. 이들 슬릿은 자속(磁束)을 통과하기 쉽게 하는 효과가 있다.

본 발명의 제 2 측면에 의하면, 절연성 기판과, 이 절연성 기판 위에 설치되고, 가열에 의해 가역적으로 연화되는 소용돌이형 코일과, 상기 코일의 양단에 전기적으로 접속된 한쌍의 입출력 단자를 포함하는 가변 인덕터의 인덕턴스 조정 방법으로서, 상기 코일을 누르거나 신장(伸長)시켜 높이를 변화시키는 스텝과, 이와 같이 높이가 변화한 상기 코일을 연화 온도까지 가열한 후에 냉각시켜, 상기 코일의 초기 높이를 설정하는 스텝을 적어도 포함하는 가변 인덕터의 인덕턴스 조정 방법이 제공된다. 이 방법에 의한 작용 효과는, 가변 인덕터의 구성과의 관계에서 설명한 것과 동일하다.

또한, 인덕턴스 조정 방법은, 상기 코일을 수지로 싸는 것에 의해 상기 코일의 설정된 초기 높이를 고정시키는 스텝을 더 포함하고 있을 수도 있다. 이것에 의해, 적절히 조정된 인덕턴스가 부주의하게 변화하지 않도록 할 수 있다.

또는 이것 대신에, 초기 높이가 설정된 상기 코일을 정전적 또는 압전적으로 누르거나 신장시켜 높이를 동적으로 변화시키는 스텝을 더 포함하고 있을 수도 있다.

본 발명의 제 3 측면에 의하면, 절연성 기판과, 이 절연성 기판 위에 설치된 소용돌이형 코일과, 상기 코일의 양단에 전기적으로 접속된 한쌍의 입출력 단자를 포함하는 가변 인덕터의 인덕턴스 조정 방법으로서, 상기 코일을 누르거나 신장시켜 높이를 변화시키는 스텝과, 이와 같이 높이가 변화한 상기 코일을 연화 온도까지 가열한 후에 냉각시켜, 상기 코일의 초기 높이를 설정하는 스텝과, 상기 코일을 수지로 싸는 것에 의해 상기 코일의 설정된 초기 높이를 고정시키는 스텝을 적어도 포함하는 가변 인덕터의 인덕턴스 조정 방법이 제공된다.

본 발명의 다양한 특징 및 이점은, 이하에 첨부 도면에 의거하여 행하는 실시예의 설명으로부터 명확히 알 수 있다.

이하, 첨부 도면에 도시된 실시예에 의거하여, 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다.

[실시예 1]

도 1 내지 도 3은 본 발명의 실시예 1에 따른 가변 인덕터를 나타낸다. 이 중에서 도 1은 인덕턴스 조정 전의 가변 인덕터의 상태를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1의 II-II선에 따른 단면도이다. 또한, 도 3은 인덕턴스 조정 후의 가변 인덕터의 상태를 나타내는 사시도이다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시예에 따른 가변 인덕터는, 절연성 기판(1) 위에 후술하는 제조 프로세스에 의해 소용돌이형 코일(2)과 한쌍의 입출력 단자(3, 4)를 패터닝 형성한 구성을 갖는다. 절연성 기판(1)으로서는, 석영, 유리 세라믹스, 알루미나, 페라이트 등의 전체가 절연성을 갖는 재료를 사용할 수 있다. 또한, 전체가 절연성인 재료 이외에, 표면에 산화실리콘 또는 질화실리콘을 성막한 실리콘 등의 반도체 재료를 기판(1)의 형성 재료로서 사용할 수도 있다.

각 입출력 단자(3, 4)는, 예를 들어, Pt으로 구성되어 있고, 예를 들어, 공지의 리프트 오프법에 의해 패터닝 형성된다. 한쪽 단자(3)(이하, 「제 1 단자」라고 함)는 외단(外端)(3a)과, 이 외단(3a)으로부터 기판(1)의 대략 중앙을 향하여 연장되는 연장 돌출부(3b)와, 기판(1)의 대략 중앙에서 이 연장 돌출부(3b)에 접속된 내단(內端)(3c)을 갖고 있다. 다른쪽 단자(4)(이하, 「제 2 단자」라고 함)는 외단(4a)과, 이 외단(4a)으로부터 소용돌이형 코일(2)의 외주를 향하여 연장되는 연장 돌출부(4b)를 갖고 있다. 각 단자(3, 4)에는, 필요에 따라 전기 저항을 저감시키기 위해, 알루미늄, 금, 구리 등을 도금법, 스퍼터링법, 증착법 등의 공지의 방법에 의해 추가적으로 성막할 수도 있다.

도 2로부터 알 수 있듯이, 소용돌이형 코일(2)은 그 내단(2a)에서 제 1 단자(3)에 직접 전기적으로 도통 접속되어 있다. 마찬가지로, 소용돌이형 코일(2)의 외단(2b)은 제 2 단자(4)에 직접 전기적으로 도통 접속되어 있다. 그러나, 상 기 내단(2a)과 외단(2b) 이외의 개소에서는, 소용돌이형 코일(2)은 기판(1)으로부터 부유(浮遊) 이동 가능해지도록 약간(예를 들어, 약 1㎛) 분리되어 있다. 따라서, 상기 내단(2a)과 외단(2b) 사이에 형성된 소용돌이형 코일(2)의 고리 형상 중간부(2c)를 들어 올림으로써, 코일(2)의 높이를 변화시켜 인덕턴스를 변화시킬 수 있다(구체적인 방법은 후술함). 또한, 전기적 도통을 취할 필요가 있는 외단(3a, 4a) 및 내단(3b, 4b)을 제외하고, 각 단자(3, 4)는 산화실리콘 등의 절연막(5)(도 1 및 도 3에서는 도시의 편의를 위해 생략하고 있음)에 의해 덮여 있다. 이것에 의해, 코일(2)의 일부가 자중(自重)에 의해 늘어져도 제 1 단자(3)의 연장 돌출부(3b)와 도통하지 않도록 하고 있다.

소용돌이형 코일(2)은 가열에 의해 연화되나, 연화 후에도 형상 유지 가능한 도전성 재료로 이루어진다. 본 실시예에서는, 소용돌이형 코일(2)은 Pd기 박막 금속 유리(Pd₇₆Cu₇Si₁₇, 첨자는 원자%)를 스퍼터링법에 의해, 예를 들어, 5㎛ 두께로 성막하고, 이것을 리프트 오프법에 의해 패터닝함으로써 형성되어 있다(상세한 것은 후술함). Pd기 박막 금속 유리는 비정질이고, 과냉각 액체역을 가지며, 과냉각 액체역에 대응하는 온도까지 가열함으로써 연화되나, 반고체 상태를 유지한다. 따라서, Pd기 박막 금속 유리로 형성된 소용돌이형 코일(2)은, 인덕턴스 조정의 목적으로 탄성 변형시킨 후, 가열함으로써 변형 후의 형상을 유지하면서, 탄성 변형에 의해 생긴 응력을 완화시키는 동시에, 내부에 존재하는 보이드 등의 결함을 소멸시킬 수 있는 것이다. 또한, Pd기 박막 금속 유리는 일단 연화시킨 후에 냉각시키 면, 원래의 비정질 고체로 가역적으로 복귀한다. 따라서, 가열 냉각을 반복함으로써 몇 번이라도 소용돌이형 코일(2)의 인덕턴스를 재조정할 수 있는 것이다. 코일(2)에는, 필요에 따라 전기 저항을 저감시키기 위해, 알루미늄, 금, 구리 등을 도금법, 스퍼터링법, 증착법 등의 공지의 방법에 의해 추가적으로 성막할 수도 있다.

Pd기 박막 금속 유리 대신에, Zr기 박막 금속 유리(Zr₇₅Cu₁₉Al₆)를 사용할 수도 있다. 가열에 의해 연화되는 도전성 재료로서, 이들 비정질의 박막 금속 유리 이외에, 연화점을 갖는 한, 도전성 고분자 재료(예를 들어, 폴리아세틸렌, 폴리피롤, 폴리티오펜 등), 금속, 도전성 유리(ITO: Indium Tin Oxide), 도전성 재료를 증착시킨 절연성 고분자 재료, 도전성 재료를 증착시킨 절연성 유리 등을 이용할 수 있다.

다음으로, 상기와 같은 구성을 갖는 가변 인덕터의 제조 방법 및 인덕턴스의 조정 방법에 대해서, 도 4 내지 도 6에 의거하여 설명한다.

우선, 도 4의 (a)에 나타낸 바와 같이, 절연성 기판(1) 위에 공지의 리프트 오프법에 의해, 예를 들어, Pt의 박막을 소정 형상(도 1 참조)으로 패터닝 형성하여, 입출력 단자(3, 4)를 형성한다.

다음으로, 도 4의 (b)에 나타낸 바와 같이, 외단(3a, 4a, 3c, 4b)을 제외하고, 입출력 단자(3, 4)를 덮도록 절연막(5)을 공지의 방법에 의해 패터닝 형성한다. 예를 들면, 산화실리콘을 스퍼터링법에 의해 기판(1)의 전면(全面)에 성막하 고, 형성된 산화실리콘막을 소정 형상으로 에칭하는 것이 좋다.

다음으로, 도 4의 (c)에 나타낸 바와 같이, 소용돌이형 코일(2)을 기판(1)으로부터 부유 분리시켜야 할 개소에 희생층(6)을 패터닝 형성한다. 구체적으로는, 희생층(6)의 재료로서의, 예를 들어, 크롬(Cr)을 스퍼터링법에 의해 기판(1)의 전면에 성막하고, 형성된 크롬막을 소정 형상으로 에칭하는 것이 좋다.

다음으로, 도 4의 (d)에 나타낸 바와 같이, 소용돌이형 코일(2)을 리프트 오프법에 의해 형성하기 위한 마스크 패턴(7)을 형성한다. 구체적으로는, 예를 들어, 폴리이미드 수지를 기판(1)의 전면에 성막하고, 이것을, 예를 들어, 반응성 이온 에칭(RIE: Reactive Ion Etching)에 의해 패터닝한다.

다음으로, 도 5의 (a)에 나타낸 바와 같이, 마스크 패턴(7)을 통하여 소용돌이형 코일(2)을 형성해야 할 재료를 스퍼터링법에 의해 증착시킨다. 구체적으로는, Pd기 박막 금속 유리(Pd₇₆Cu₇Si₁₇)를 스퍼터링법에 의해, 예를 들어, 5㎛ 두께로 성막한다. 그 결과, Pd기 박막 금속 유리는 입출력 단자(3, 4) 및 희생층(5)의 노출 부분뿐만 아니라, 마스크 패턴(7) 위에도 부착된다.

다음으로, 도 5의 (b)에 나타낸 바와 같이, 마스크 패턴(7)을 에칭액에 의해 제거한다. 그 결과, 마스크 패턴(7)뿐만 아니라, 그 위에 잔존하고 있던 Pd기 박막 금속 유리도 제거된다. 이 때의 에칭액으로서는, 예를 들어, TMAH(수산화테트라메틸암모늄)나 수산화칼륨이 이용된다.

다음으로, 도 5의 (c)에 나타낸 바와 같이, 집광(集光)한 적외선 IR을 형성 된 소용돌이형 코일(2)에 조사하여 가열한다. 구체적으로는, 소정의 진공도(예를 들어, 10^-4㎩)까지 감압된 진공 가열로에 기판(1)을 넣고, 적외선 조사에 의해 Pd기 박막 금속 유리가 연화되는 온도(예를 들어, 639K)에서 소정 시간(예를 들어, 30초) 가열한다. 그 결과, Pd기 박막 금속 유리를 스퍼터링법에 의해 형성할 때에 소용돌이형 코일(2)의 내부에 축적된 응력이 가열 연화의 유도 어닐링 작용에 의해 완화된다. 또한, 가열은 적외선 IR의 조사 대신에, 레이저광을 조사하여 행할 수도 있다.

다음으로, 도 5의 (d)에 나타낸 바와 같이, 크롬으로 이루어지는 희생층(6)을 에칭액에 의해 제거한다. 그 결과, 소용돌이형 코일(2)의 내단(2a) 및 외단(2b)을 제외한 부분이 기판(1)으로부터 부유 분리된다. 이 때의 에칭액으로서는, 예를 들어, 질산제이세륨암모늄과 과염소산의 혼합액이 이용된다. 또한, 도 5의 (d)에 나타낸 구성은 도 2와 완전히 동일하다.

이상과 같이 제작된 가변 인덕터에서의 인덕턴스 조정은 다음과 같이 행한다. 즉, 도 6의 (a)에 나타낸 바와 같이, 유리 플레이트(9)와 기판(1)(소용돌이형 코일(2) 측) 사이에, 예를 들어, 감광성 폴리이미드 수지(10)를 충전하고, 유리 플레이트(9) 측으로부터 소용돌이형 코일(2)의 고리 형상 중간부(2c)에 선택적으로 자외선 UV를 조사한다. 그 결과, 충전된 감광성 폴리이미드 수지(10) 중의 소용돌이형 코일(2)의 고리 형상 중간부(2c)에 대응하는 부분만이 경화(硬化)된다.

다음으로, 도 6의 (b)에 나타낸 바와 같이, 에칭액에 의해 감광성 폴리이미 드 수지(10)의 미(未)경화 부분을 제거한다. 그 결과, 감광성 폴리이미드 수지(10)의 경화 부분이 접착층(10a)으로서 남아, 유리 플레이트(9)를 소용돌이형 코일(2)의 고리 형상 중간부(2c)에 접합시킨 상태로 된다. 미경화의 감광성 폴리이미드 수지(10)를 제거하기 위한 에칭액으로서는, 예를 들어, TMAH가 이용된다.

다음으로, 도 6의 (c)에 나타낸 바와 같이, 유리 플레이트(9)를 상승 이동시키고, 소용돌이형 코일(2)을 잡아당겨서 원뿔형으로 탄성 변형시킨다. 코일(2)의 높이는 유리 플레이트(9)에 의해 들어올리는 높이를 지그(도시 생략) 등으로 조정함으로써 용이하게 설정할 수 있다. 또한, 제작할 수 있는 코일(2)의 높이는 권수나 사용 재료에도 의존하나, 본 실시예에서 사용한 Pd기 박막 금속 유리는 탄성이 우수하여, 대략 코일 외경(外徑)의 반분 정도까지 가능하다. 본 실시예에서는 코일(2)이 대략 원형 소용돌이형이기 때문에, 탄성 변형에 의해 원뿔형으로 되나, 사각형 소용돌이형의 코일을 탄성 변형시킨 경우에는 각뿔형으로 된다. 다만, 본 발명에서는, 코일로서 작용할 수 있는 한, 그 구체적인 형상은 문제삼지 않는다.

다음으로, 동일하게 도 6의 (c)에 나타낸 바와 같이, 집광한 적외선 IR을 탄성 변형된 소용돌이형 코일(2)에 조사하여 가열한다. 구체적으로는, 소정의 진공도(예를 들어, 10^-4㎩)까지 감압된 진공 가열로에 기판(1)을 넣고, 적외선 조사에 의해 Pd기 박막 금속 유리가 연화되는 온도(예를 들어, 639K)에서 소정 시간(예를 들어, 30초) 가열한다. 그 결과, 탄성 변형에 의해 소용돌이형 코일(2)의 내부에 발생한 응력이 가열 연화의 유도 어닐링 작용에 의해 완화된다. 또한, 가열은 적 외선 IR의 조사 대신에, 레이저광을 조사하여 행할 수도 있다.

마지막으로, 도 6의 (d)에 나타낸 바와 같이, 잔존하는 접착층(10a)을 에칭액에 의해 용해시켜, 유리 플레이트(9)를 떼어낸다. 그 결과, 도 3에 나타낸 바와 같은 가변 인덕터(인덕턴스 조정 완료의 것)를 얻을 수 있다. 본 실시예에 따라 실제로 제작한 가변 인덕터에서의 소용돌이형 코일(2)의 직경은 855㎛였다.

도 7은 이상과 같이 제작한 가변 인덕터의 높이를 변화시킨 경우의 인덕턴스의 변화를 나타내는 그래프이다. 상기 그래프로부터 알 수 있듯이, 소용돌이형 코일(2)의 높이를 50㎛로부터 150㎛로 변화시킴으로써, 인덕턴스를 최대값의 약 3% 변화시킬 수 있다.

도 6의 (c) 및 (d)에 나타낸 공정에서, 가변 인덕터의 인덕턴스가 이미 목표값일 경우에는, 그 인덕턴스가 변화하지 않도록, 단자(3, 4)의 외단(3a, 4a)을 피하여, 유리 플레이트(9)에 대하여 고착(固着)하지 않는 수지(예를 들어, 에폭시나 폴리우레탄)를 기판(1)과 유리 플레이트(9) 사이에 충전할 수도 있다(도 6의 (c) 및 (d)에서 가상선(11)을 참조). 그리고, 그 수지(11)의 경화 후(또는 고화(固化) 후)에 유리 플레이트(9)를 떼어내는 것이다.

한편, 한 번 조정한 인덕턴스를 재조정할 경우에는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 가변 인덕터에서의 소용돌이형 코일(2)을 유리 플레이트(9)에 의해 눌러 탄성 변형시킨다. 그리고, 이 상태에서 진공 중 또는 불활성 가스 분위기 중(예를 들어, 희유 가스나 질소 가스)에서 집광한 적외선 IR을 소용돌이형 코일(2)에 조사하여 Pd기 박막 금속 유리가 연화되는 온도(예를 들어, 639K)에서 소정 시간(예를 들 어, 30초) 가열한다. 그 결과, 가변 인덕터의 인덕턴스를 소용돌이형 코일(2)의 탄성 변형에 의해 재조정할 수 있는 동시에, 탄성 변형에 의해 소용돌이형 코일(2)의 내부에 발생한 응력이 가열 연화의 유도 어닐링 작용에 의해 완화된다. 인덕턴스의 재조정 후에 유리 플레이트(9)에 접착하지 않는 수지로 가변 인덕터의 주위를 충전하고, 경화시킨 후에 유리 플레이트(9)를 제거하여, 재조정 후의 소용돌이형 코일(2)을 고정시킬 수도 있다.

[실시예 2]

도 9는 본 발명의 실시예 2에 따른 가변 인덕터를 나타내는 개략 사시도이다.

본 실시예의 가변 인덕터는, 예를 들어, 두께 300㎛이며 결정 방위 100면인 단결정 실리콘 표면에 두께 1㎛의 열산화막(도시 생략)을 갖는 웨이퍼를 기판(21)으로 하고, 그 위에 리프트 오프용의 마스크 패턴을 형성한 후에 Pt을 스퍼터링법에 의해 두께 2㎛로 성막하며, 마스크 패턴을 제거하여 대략 도넛 형상의 구동용 전극(25)을 형성했다. 구동용 전극(25)은 접속 단자(25a)에 연결되어 있다.

구동용 전극(25) 중의 접속 단자(25a)를 제외한 부분에는, CVD법에 의해, 예를 들어, 1㎛의 산화실리콘이 절연층(도시 생략)으로서 성막되어 있다. 이 절연층 내지 기판(21)의 표면에, 실시예 1과 동일한 프로세스(도 4 및 도 5 참조)에 의해, Pd기 박막 금속 유리로 이루어지는 소용돌이형 코일(22)과 입출력 단자(23, 24)가 형성되어 있다. 또한, 코일(22)은, 실시예 1과 동일한 프로세스(도 6 참조)에 의해, 원뿔형으로 들어 올려져 인덕턴스가 조정되고 있다.

구동용 전극(25)에 코일(22)의 신호 전압보다 높은 전압을 인가하면, 코일(22)과 구동용 전극(25) 사이에 정전력이 작용하여, 코일(22)이 기판(21) 측에 흡착되어 높이가 변화하고, 인덕턴스가 변화한다. 또한, 구동용 전극(25)에 인가하는 전압에 의해 높이 변화의 정도를 변경할 수 있기 때문에, 인덕턴스를 동적(dynamically), 또한, 연속적으로 조정할 수 있다. 동적 변화의 기준으로 되는 초기 인덕턴스(코일에 흡착력을 가하지 않은 상태에서의 인덕턴스)는 실시예 1에서 설명한 바와 같이 적절히 설정할 수 있으며, 재조정이 가능하다.

[실시예 3]

도 10은 본 발명의 실시예 3에 따른 가변 인덕터의 요부를 나타내는 개략 평면도이다. 도 10에서 도 9에 도시된 것과 동일 또는 유사한 요소에 대해서는 동일한 부호를 첨부하고 있다. 또한, 도 10에서 소용돌이형 코일(22)과 입출력 단자(23, 24)는 파선으로 나타내고 있다. 또한, 이들 사항은 후술하는 도 11 및 도 12에 대해서도 동일하다.

본 실시예에 따른 가변 인덕터는 실시예 2에 따른 가변 인덕터(도 9)와 기본 구성은 동일하며, 복수의 분할된 구동용 전극(25)을 갖고, 각각이 접속 단자(25a)에 연결되어 있는 점에서 실시예 2의 것과 다르다.

도 9에 나타낸 실시예 2의 가변 인덕터에서는, 구동용 전극(25)의 전체에 걸쳐 거의 균일한 전위가 인가되기 때문에, 정전적인 흡인력은 장소에 따라 변화시킬 수 없다. 이러한 구성에서는, 소정의 흡착 임계값(예를 들어, 160V)까지는 구동용 전극(25)에 인가되는 전위를 높게 할수록 소용돌이형 코일(22)의 높이가 연속적으 로 감소하지만, 그 임계값을 초과하면 갑자기 소용돌이형 코일(22) 전체가 구동용 전극(25) 측에 완전히 흡착하게 되어, 다음에 소정의 해제 임계값(예를 들어, 70V)으로 전압을 감소시킬 때까지는, 완전 흡착 상태를 유지함을 알 수 있다. 그 결과, 인덕턴스의 동적인 조정 폭을 크게 할 경우에는 부적합하다.

본 실시예에서는, 도 10에 나타낸 바와 같이, 분할된 복수의 구동용 전극(25)을 적절히 선택하여, 전압을 인가함으로써 스텝 형상으로 소용돌이형 코일(22)의 높이(인덕턴스)를 변화시킬 수 있다. 예를 들면, 1개 또는 2개 또는 3개의 구동용 전극(25)을 다양한 조합으로 선택하여 전압을 인가하는 것이다. 이것에 의해, 소용돌이형 코일(22)의 구동용 전극(25) 측으로의 완전 흡착을 일으키기 어렵게 하여, 인덕턴스의 동적인 조정 폭을 크게 할 수 있도록 하고 있다.

[실시예 4]

도 11은 본 발명의 실시예 4에 따른 가변 인덕터의 요부를 나타내는 개략 평면도이다.

본 실시예에 따른 가변 인덕터는 실시예 2에 따른 가변 인덕터(도 9)와 기본 구성은 동일하고, 구동용 전극(25)이 폭이 서서히 좁아지는 소용돌이형 슬릿(27)을 구비하고 있는 점에서 실시예 2의 것과 다르다. 이러한 구성에 의해, 구동용 전극(25)과 소용돌이형 코일(22) 사이에 생기는 정전력을 장소에 따라 변화시키고, 코일(22) 전체가 구동용 전극(25) 측에 완전히 흡착되기 어렵게 하고 있다. 그 결과, 인덕턴스의 동적, 또한, 연속적인 조정 폭을 크게 할 수 있도록 하고 있다.

[실시예 5]

도 12는 본 발명의 실시예 5에 따른 가변 인덕터의 요부를 나타내는 개략 평면도이다.

본 실시예에 따른 가변 인덕터도 실시예 2에 따른 가변 인덕터(도 9)와 기본 구성은 동일하고, 구동용 전극(25) 자체의 폭이 서서히 좁아지는 소용돌이형으로 형성되어 있는 점에서 실시예 2의 것과 다르다. 이러한 구성에 의해, 구동용 전극(25)과 소용돌이형 코일(22) 사이에 생기는 정전력을 장소에 따라 변화시키고, 코일(22) 전체가 구동용 전극(25) 측에 완전히 흡착되기 어렵게 하고 있다. 그 결과, 인덕턴스의 동적, 또한, 연속적인 조정 폭을 크게 할 수 있도록 하고 있다.

[실시예 6]

도 13 및 도 14는 본 발명의 실시예 6에 따른 가변 인덕터를 나타낸다.

본 실시예에서는, 예를 들어, 두께 150㎛의 석영 기판(31) 위에, 실시예 1과 동일한 프로세스에 의해, 소용돌이형 코일(32)을 그것에 전기적으로 접속되는 입출력 단자(도 13에는 도시되어 있지 않음)와 함께 제작한다. 이 코일(32)의 상면에 절연성 누름 부재(33)를 맞닿게 하고, 이 누름 부재(33)를 압전 액추에이터(34)와 지지 부재(35)를 통하여 기판(31) 위에 부착시킨다. 누름 부재(33)는, 예를 들어, 유전율이 1에 가까운 폴리테트라플루오르에틸렌으로 이루어진다.

압전 액추에이터(34)는, 예를 들어, 도 14에 나타낸 바와 같은 구성을 갖고 있다. 구체적으로는, 압전 액추에이터(34)는 빗살 형상의 제 1 전극(34a)과 마찬가지로 빗살 형상의 제 2 전극(34b) 사이에 압전체(34c)를 개재시킨 구성이다. 본 실시예에서는 제 1 전극(34a)이 지지 부재(35)에 고정되어 있고, 제 2 전극(34b)이 누름 부재(33)에 고정되어 있다. 양 전극(34a, 34b)에서의 빗살 사이의 간격은, 예를 들어, 25∼100㎛이고, 압전체(34c)의 층 수는, 예를 들어, 100층이다.

이상의 구성의 가변 인덕터에 있어서, 압전 액추에이터(34)의 양 전극(34a, 34b) 사이에 전압을 인가하면 압전체(34c)가 변형하여, 누름 부재(33)를 통하여 코일(32)을 기판(31) 측에 누르게 된다. 그 결과, 코일(32)의 높이가 변화함으로써 인덕턴스가 변화한다.

또한, 압전 액추에이터(34)와 코일(32)의 절연에 문제가 없고, 또한, 압전 액추에이터(34)의 유전율에 의해 코일(32)의 인덕턴스 변화에 악영향을 주지 않는 것이라면, 누름 부재(33)는 생략할 수도 있다. 또한, 압전 액추에이터(34) 대신에, 공지의 정전 액추에이터를 사용할 수도 있다. 또한, 이러한 액추에이터 대신에, 이송 나사 기구에 의해 코일(32)을 누르는 등, 수동으로 코일(32)의 높이를 조정할 수도 있다.

[실시예 7]

도 15는 본 발명의 실시예 7에 따른 가변 인덕터를 나타낸다. 도 15에서 도 13 및 도 14에 도시된 것과 동일 또는 유사한 요소에 대해서는 동일한 부호를 첨부하고 있다.

본 실시예에 따른 가변 인덕터는, 동작 원리에서 실시예 6에 따른 것과 동일하나, 복수의 압전 액추에이터(34)가 기판(31)과 누름 부재(33) 사이에 개재되어 있는 점에서 그것과는 다르다. 또한, 각 압전 액추에이터(34)의 구성은 도 14에 도시된 바와 같은 것이다. 그러나, 실시예 7에서는 인가되는 전압의 극성이 실시 예 6의 경우와 반대로 되고, 압전 액추에이터(34)가 수축하도록 구동한다.

[실시예 8]

도 16은 본 발명의 실시예 8에 따른 가변 인덕터를 개략적으로 나타내는 사시도이다.

도 16에 나타낸 바와 같이, 실시예 2와 동일하게, 예를 들어, 두께 300㎛이며 결정 방위 100면인 단결정 실리콘 표면에 두께 1㎛의 열산화막(도시 생략)을 갖는 웨이퍼를 기판(51)으로 하고, 그 위에 실시예 1과 동일한 프로세스에 의해, Pd기 박막 금속 유리로 이루어지는 소용돌이형 코일(52)과 입출력 단자(53, 54)를 형성한다. 또한, 코일(52)을 원뿔형으로 되도록 들어 올리기 전에, 코일(52)의 내단부로부터 최고부로 되어야 할 부분에 압전 박막(PZT)(55)과 보조 전극(Pt)(56)을 공지의 스퍼터링과 에칭에 의해 패터닝하여 적층했다. 보조 전극(56)에는 구동용 단자(56a)가 접속되어 있다.

본 실시예에서는, 구동용 단자(56a)로부터 보조 전극(56)에 코일(52)의 신호 전압보다 높은 전압을 인가하면, 코일(52)과 보조 전극(56) 사이에 끼워진 압전 박막(55)이 횡압전 효과에 의해 수축하고, 압전 박막(55)의 일정 부분이 기판(51)으로부터 들어 올리는 방향으로 변위하여, 코일(52)의 높이가 변화한다. 그 결과, 코일(52)의 인덕턴스를 동적으로 변화시킬 수 있다.

본 실시예에서는, 압전 박막(55)은 코일(52)의 내단으로부터 최고부에 이르는 부분까지 형성했으나, 코일(52)의 외주부로부터 최고부에 이르는 부분, 또는 코일(52)의 전면에 성막할 수도 있다.

[실시예 9]

도 17은 본 발명의 실시예 9에 따른 가변 인덕터를 개략적으로 나타내고 있다. 도 17의 (a)는 상기 가변 인덕터의 평면도이고, 도 17의 (b)는 가변 인덕터의 측면도이다.

도 17에 나타낸 바와 같이, 실시예 2와 동일하게, 예를 들어, 두께 300㎛이며 결정 방위 100면인 단결정 실리콘 표면에 두께 1㎛의 열산화막(도시 생략)을 갖는 웨이퍼를 기판(41)으로 하고, 그 위에 리프트 오프용의 마스크 패턴을 형성한 후에 Pt을 스퍼터링법에 의해 두께 2㎛로 성막하며, 마스크 패턴을 제거하여 접속 단자(45a)에 연결되는 테이퍼 소용돌이형의 구동용 전극(45)을 형성했다. 구동용 전극(45) 중의 접속 단자(45a)를 제외한 부분에는 CVD법에 의해, 예를 들어, 1㎛의 산화실리콘이 절연층(46)으로서 성막되어 있다. 절연층(46) 위에 도넛 형상의 도통판(47)을 Pt에 의해 형성한다. 다음으로, 실시예 1과 동일한 프로세스에 의해, Pd기 박막 금속 유리로 이루어지는 소용돌이형 코일(42)과 입출력 단자(43, 44)를 형성한 상태에서, 소정의 초기 인덕턴스로 되도록 조정을 행한다. 또한, 도통판(47)과 코일(42)은 도 17 중의 A부에서 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 도 17에서도 소용돌이형 코일(42)과 입출력 단자(43, 44)를 파선으로 도시하고 있다.

본 실시예에서는, 구동용 전극(45)에 코일(42)의 신호 전압보다 높은 전압을 인가하면, 코일(42)과 구동용 전극(45) 사이에 정전력이 작용하여, 코일(42)이 기판(41) 측에 흡착되어 코일(42)의 높이가 탄성적으로 변화한다. 구동용 전극(45) 이 테이퍼 소용돌이형이기 때문에, 전계 강도는 균일하지 않아, 코일(42)은 한 번에 흡착하지 않고 인가하는 전압에 대략 비례하여 높이가 변화한다. 코일(42)의 외주부가 기판(41) 측에 흡착됨에 따라, 코일(42)의 중심부로부터 차례로 기판(41) 측에 근접하여 도통판(47)에 접촉한다. 도통판(47)은 A부에서 코일(42)과 전기적으로 접속되어 있기 때문에, 접촉한 길이만큼 실질적으로 코일(42)의 권수가 감소하게 되고, 코일(42)의 높이 변화와 맞추어, 상술한 실시예에 비하여, 보다 크게 인덕턴스를 변화시킬 수 있다. 또한, 코일(42)의 외주부는, 도통판(47)의 외측에 있고 그것에 대향하지 않기 때문에, 기판(41) 측에 흡착되어도 도통판(47)에 접촉하지는 않는다.

본 실시예에서는 구동용 전극(45)의 형태를 실시예 5(도 12)와 동일하게 테이퍼 소용돌이형으로 했으나, 실시예 3(도 10) 또는 실시예 4(도 11)와 동일한 형태일 수도 있다. 또한, 구동용 전극(45)을 사용한 정전 인력을 이용하는 것은 필수가 아니라, 실시예 6(도 13 및 도 14) 또는 실시예 7(도 15), 또는 실시예 8(도 16)과 같이 압전 액추에이터(34), 또는 압전 박막(55)을 이용한 구동 방식에 도통판(47)을 채용할 수도 있다. 또한, 본 실시예에서는 코일(42)이 기판(41) 방향으로 변형(흡착 또는 누름)되어, 도통판(47)이 접촉하고, 코일(42)의 실질 권수가 감소함으로써 인덕턴스를 변화시키고 있으나, 반대로 초기 상태에서 코일(42)이 도통판(47)에 접촉하고 있으며, 기판(41)의 면외(面外) 방향으로 변형(신장)함으로써, 도통판(47)으로부터 멀어짐으로써, 실질 권수를 증가시켜 인덕턴스를 변화시킬 수도 있다.

[실시예 10]

도 18은 본 발명의 실시예 10에 따른 가변 인덕터를 개략적으로 나타내고 있다. 도 18에서 도 17에 도시되는 것과 동일 또는 유사한 요소에 대해서는 동일한 부호를 첨부하고 있다.

본 실시예의 가변 인덕터는 기본적 구조에서 실시예 9의 가변 인덕터와 동일하나, 도통판(47)이 둘레 방향으로 간격을 둔 복수의 슬릿(47a)을 구비하고 있는 점에서 그것과는 다르다. 이 구성에 의해, 자속이 코일(42)을 통과하기 쉬워져, 손실이 적어진다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 인덕턴스를 반고정 또는 능동적으로 변화시킬 수 있고, 이동체 통신 장치 등에 적용 가능한 소형의 가변 인덕터를 제공할 수 있다.

Claims

기판과, 이 기판 위에 설치되고, 가열에 의해 연화(軟化)되는 소용돌이형 코일과, 상기 코일의 양단에 전기적으로 접속된 한쌍의 입출력 단자를 포함하고,

상기 코일은, 과(過)냉각 액체역(液體域)에서 연화되는 비정질 박막 금속 유리, 도전성 고분자 재료, 도전성 유리, 도전성 재료를 증착시킨 절연성 고분자 재료, 도전성 재료를 증착시킨 절연성 유리 중 하나를 포함하는 가변 인덕터.
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제 1 항에 있어서,

상기 코일의 아래쪽에 절연층을 통하여 상기 기판 위에 구동용 전극이 더 설치되어 있고, 이 구동용 전극과 상기 코일 사이에 전압을 인가함으로써 정전(靜電)적으로 상기 코일의 높이를 변경할 수 있도록 한 가변 인덕터.
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제 1 항에 있어서,

상기 코일에 맞닿는 누름 부재와, 이 누름 부재를 상기 코일의 높이 방향으로 구동하는 액추에이터 또는 조정 기구를 더 구비하는 가변 인덕터.
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제 1 항에 있어서,

상기 코일 위에 압전(押電)성 박막과 구동용 전극을 형성하는 동시에, 상기 기판 위에 상기 구동용 전극에 접속된 접속 단자를 설치하고 있는 가변 인덕터.
기판과, 이 기판 위에 설치되고, 가열에 의해 연화되는 소용돌이형 코일과, 상기 코일의 양단에 전기적으로 접속된 한쌍의 입출력 단자를 포함하고,

상기 코일의 아래쪽에 절연층을 통하여 상기 기판 위에 구동용 전극이 더 설치되어 있고, 이 구동용 전극과 상기 코일 사이에 전압을 인가함으로써 정전적으로 상기 코일의 높이를 변경할 수 있고,

상기 코일의 일단(一端)에 접속되고, 상기 코일이 높이 감소 방향으로 탄성 변형한 경우에 상기 일단 이외의 일부가 접촉하여 상기 코일의 실질 권수(卷數)를 감소시키며, 반대로 상기 코일이 높이 증가 방향으로 탄성 변형한 경우에는, 상기 코일의 실질 권수를 증가시키기 위한 도통판을 더 구비하고 있는 가변 인덕터.
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절연성 기판과, 이 절연성 기판 위에 설치되고, 가열에 의해 연화되는 소용돌이형 코일과, 상기 코일의 양단에 전기적으로 접속된 한쌍의 입출력 단자를 포함하는 가변 인덕터의 인덕턴스 조정 방법으로서,

상기 코일을 누르거나 신장(伸長)시켜 높이를 변화시키는 스텝과,

이와 같이 높이가 변화한 상기 코일을 연화 온도까지 가열한 후에 냉각시켜, 상기 코일의 초기 높이를 설정하는 스텝을 적어도 포함하는 가변 인덕터의 인덕턴스 조정 방법.
제 15 항에 있어서,

상기 코일을 수지로 싸는 것에 의해 상기 코일의 설정된 초기 높이를 고정시키는 스텝을 더 포함하는 인덕턴스 조정 방법.
제 15 항에 있어서,

초기 높이가 설정된 상기 코일을 정전적 또는 압전적으로 누르거나 신장시켜 높이를 동적으로 변화시키는 스텝을 더 포함하는 인덕턴스 조정 방법.
제 15 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 코일은 과냉각 액체역에서 연화되는 비정질 박막 금속 유리로 이루어지는 인덕턴스 조정 방법.