KR100947747B1 - 고체원료 공급장치와 단결정 성장장치의 연결장치 - Google Patents

고체원료 공급장치와 단결정 성장장치의 연결장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100947747B1
KR100947747B1 KR1020070138248A KR20070138248A KR100947747B1 KR 100947747 B1 KR100947747 B1 KR 100947747B1 KR 1020070138248 A KR1020070138248 A KR 1020070138248A KR 20070138248 A KR20070138248 A KR 20070138248A KR 100947747 B1 KR100947747 B1 KR 100947747B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
chuck
connecting ring
fixing pin
sides
single crystal
Prior art date
Application number
KR1020070138248A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20090070288A (ko
Inventor
이성영
이홍우
Original Assignee
주식회사 실트론
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 실트론 filed Critical 주식회사 실트론
Priority to KR1020070138248A priority Critical patent/KR100947747B1/ko
Publication of KR20090070288A publication Critical patent/KR20090070288A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100947747B1 publication Critical patent/KR100947747B1/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B35/00—Apparatus not otherwise provided for, specially adapted for the growth, production or after-treatment of single crystals or of a homogeneous polycrystalline material with defined structure
    • C30B35/007—Apparatus for preparing, pre-treating the source material to be used for crystal growth
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B1/00—Single-crystal growth directly from the solid state
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/32—Seed holders, e.g. chucks

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

본 발명은 고체원료 공급장치와 단결정 성장장치의 연결장치에 관한 것이다. 본 발명은 고체원료 공급장치를 단결정 성장장치에 연결하기 위한 연결장치로서, 상기 단결정 성장장치의 상부에 위치된 샤프트에 탈착가능하게 결합되고, 그 하단 양측에 수직 하방으로 돌출된 격벽을 포함하여 그 단면이 하방으로 개방된 'ㄷ'자 형상을 이루는 상부 척; 상기 고체원료 공급장치와 연결된 금속 와이어에 탈착가능하게 결합되고, 그 상단 양측에 수직 상방으로 돌출된 격벽을 포함하여 그 단면이 상방으로 개방된 'ㄷ'자 형상을 이루는 하부 척; 중공 링 형상으로 형성된 연결고리; 상기 연결고리의 중공부를 관통하여 상기 상부 척 하단 양측의 격벽에 상기 연결고리를 결합하는 상부 고정핀; 및 상기 연결고리의 중공부를 관통하여 상기 하부 척 상단 양측의 격벽에 상기 연결고리를 결합하는 하부 고정핀;을 포함한다. 본 발명에 따르면, 고체원료 공급장치를 성장장치의 중심에 용이하게 위치시킬 수 있다.
상부 척, 하부 척, 연결고리, 고정핀, 샤프트

Description

고체원료 공급장치와 단결정 성장장치의 연결장치{Apparatus for connecting solid raw material supply apparatus to single crystal grower}
본 발명은 연결장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 고체원료 공급장치를 단결정 성장장치 상에 위치된 샤프트에 용이하게 연결할 수 있는 고체원료 공급장치와 단결정 성장장치의 연결장치에 관한 것이다.
일반적으로, 단결정 잉곳(ingot)을 성장시키는 성장장치에는 단결정 잉곳을 성장시키기 위해 고체원료를 공급하는 고체원료 공급장치가 장착된다.
상기 성장장치는 단결정 잉곳이 인상되는 통로인 원통 형상의 상부 챔버와 고체원료를 가열하여 용융시키는 도가니가 마련된 하부 챔버로 구성되며, 상기 도가니로 고체원료를 공급하는 고체원료 공급장치가 상부 챔버 내에 위치되도록 장착되어 사용되고 있다. 이와 같은 성장장치 및 공급장치에 관해서는 일본 공개특허공보 제2004-244236호, 대한민국 공개특허공보 제10-2007-29047호 등에 개시되어 있다.
한편, 상기와 같은 고체원료 공급장치를 단결정 성장장치에 연결하는 방법은 단결정 잉곳을 인상하는 기구의 유형에 따라 달라진다. 즉, 단결정 잉곳을 인상하 는 기구는 케이블 타입(cable type)과 샤프트 타입(shaft type)으로 구분된다(도 1 및 도 2 참조). 케이블 타입은 케이블(C)과 결합된 시드(seed) 척(12)에 고체원료 공급장치(10)의 내부를 관통한 금속와이어(W)를 연결하고, 고체원료 공급장치(10)를 단결정 성장장치(11) 내의 중심에 위치시키게 된다. 그리고, 샤프트 타입은 강성을 갖는 샤프트(S)와 결합된 시드 척(22)에 고체원료 공급장치(20)의 내부를 관통한 금속와이어(W)를 연결하고, 고체원료 공급장치(20)를 단결정 성장장치(21) 내의 중심에 위치시키게 된다. 상기 고체원료 공급장치를 단결정 성장장치 내의 중심에 위치시키는 것은 단결정 성장장치의 하부 챔버(미도시) 내에 설치된 도가니(미도시)로 고체원료를 공급하기 위한 것으로서, 고체원료 공급장치가 단결정 성장장치의 중앙에 위치되어야 한다.
그런데, 종래의 단결정 성장장치에 고체원료 공급장치를 연결하는 연결방법은 대체로 케이블 타입의 단결정 성장장치에만 적용할 수 있도록 설계되어 있어 샤프트 타입의 단결정 성장장치(21)에 적용할 경우 시드 척(22)에 고체원료 공급장치(20)를 연결하기가 어렵다는 문제점이 있다. 또한, 단결정 성장장치(21) 내의 중앙에 고체원료 공급장치(20)를 위치시키는데 불편하다는 문제점이 있다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 케이블 타입의 경우, 전후좌우로 유동가능한 케이블(C)과 결합된 시드 척(12)을 이동하여 고체원료 공급장치(10)와의 연결 및 공급장치(10)를 단결정 성장장치(11)의 내부 중앙에 위치시키는데 용이한 반면, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 샤프트 타입의 경우, 강성을 갖는 샤프트(S)와 결합된 시드 척(22)이 고정된 샤프트(S)에 의해 고체원료 공급장치(20)에의 연결이 어려우며, 수십kg에 이르는 고체원료가 충전되어 무거운 고체원료 공급장치(20)를 움직여야하므로 한번에 단결정 성장장치(21)의 내부 중앙에 위치시키기 불편하다는 문제점이 있다. 아울러, 고체원료 공급장치를 단결정 성장장치의 내부 중앙에 위치시키기 위해 고체원료 공급장치를 움직여야 하므로 작업자의 큰 힘이 요구되고, 이에 고체원료 공급장치가 단결정 성장장치에 부딪쳐서 고체원료 공급장치의 손상 및 파손이 발생할 우려가 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 샤프트 타입의 단결정 성장장치에 고체원료 공급장치를 용이하게 연결하고, 단결정 성장장치의 내부 중앙에 고체원료 공급장치를 용이하게 위치시킬 수 있는 연결장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 연결장치는 고체원료 공급장치를 단결정 성장장치에 연결하기 위한 연결장치로서, 상기 단결정 성장장치의 상부에 위치된 샤프트에 탈착가능하게 결합되고, 그 하단 양측에 수직 하방으로 돌출된 격벽을 포함하여 그 단면이 하방으로 개방된 'ㄷ'자 형상을 이루는 상부 척; 상기 고체원료 공급장치와 연결된 금속 와이어에 탈착가능하게 결합되고, 그 상단 양측에 수직 상방으로 돌출된 격벽을 포함하여 그 단면이 상방으로 개방된 'ㄷ'자 형상을 이루는 하부 척; 중공 링 형상으로 형성된 연결고리; 상기 연결고리의 중공부를 관통하여 상기 상부 척 하단 양측의 격벽에 상기 연결고리를 결합하는 상부 고정핀; 및 상기 연결고리의 중공부를 관통하여 상기 하부 척 상단 양측의 격벽에 상기 연결고리를 결합하는 하부 고정핀;을 포함한다.
상기 상부 척의 측벽에는 상기 상부 고정핀이 관통되는 관통공이 형성되어 있고, 상기 상부 고정핀의 일단에는 작업자가 파지가능한 손잡이가 형성되어 있고, 타단에는 상기 상부 고정핀이 상기 관통공으로부터 빠지지 않도록 체결하는 체결수 단이 결합된다.
상기 하부 척의 측벽에는 상기 하부 고정핀이 관통되는 관통공이 형성되어 있고, 상기 하부 고정핀의 일단에는 작업자가 파지가능한 손잡이가 형성되어 있고, 타단에는 상기 하부 고정핀이 상기 관통공으로부터 빠지지 않도록 체결하는 체결수단이 결합된다.
이때, 상기 상부 또는 하부 고정핀의 타단에는 나사산이 형성되어 있고, 상기 체결수단은 상기 나사산에 나사결합되는 너트인 것이 바람직하다.
한편, 상기 연결고리는 상부 척의 격벽 사이와 하부 척의 격벽 사이에서 이동 이동가능하도록 결합된다.
상기 상부 척, 하부 척, 연결고리 및 상·하부 고정핀은 몰리브덴 및 텅스텐을 포함하는 고융점 금속 또는 그 합금으로 이루어진 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 고체원료 공급장치와 단결정 성장장치의 연결장치는 상부 척과 하부 척의 격벽 사이에서 이동가능한 연결고리를 이용함으로써 고체원료 공급장치와 단결정 성장장치 상부에 위치한 샤프트의 연결이 용이함은 물론, 작업자가 적은 힘으로 고체원료 공급장치를 단결정 성장장치 내부의 중앙에 위치시키기 용이하다. 이에, 고체원료 공급장치를 단결정 성장장치에 체결시 고체원료 공급장치가 단결정 성장장치에 부딪쳐 발생되는 고체원료 공급장치의 손상 및 파손 위험이 줄어든다.
이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 연결장치를 나타내는 분해 사시도이고, 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 연결장치의 사용 상태를 나타내는 정면도이며, 도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 연결장치의 사용 상태를 나타내는 측면도이다.
도 4 내지 도 6을 참조하면, 상기 연결장치(100)는 단결정 성장장치(21) 상부에 위치된 샤프트(S)에 탈착가능하게 결합되는 상부 척(110), 고체원료 공급장치(20)와 연결된 금속와이어(W)에 탈착가능하게 결합되는 하부 척(120), 중공 링 형상으로 형성된 연결고리(130), 상기 상부 척(110)의 격벽(111),(112)에 상기 연결고리(130)를 결합하는 상부 고정핀(140) 및 상기 하부 척(120)의 격벽(121),(122)에 상기 연결고리(130)를 결합하는 하부 고정핀(150)을 구비한다.
상기 상부 척(110)은 단결정 성장장치(21) 상부에 위치된 샤프트(S)에 탈착 가능하게 결합되고, 그 하단 양측에 수직 하방으로 돌출된 격벽(111),(112)을 포함하여 그 단면이 하방으로 개방된 'ㄷ'자 형상으로 이루어진다. 이때, 상기 상부 척(110)의 측벽에는, 즉 격벽(111),(112)의 측면 수평 방향으로 관통된 관통공(114)이 형성된다.
상기 하부 척(120)은 고체원료 공급장치(20)와 연결된 금속 와이어(W)에 탈착가능하게 결합되고, 그 상단 양측에 수직 상방으로 돌출된 격벽(121),(122)을 포함하여 그 단면이 상방으로 개방된 'ㄷ'자 형상으로 이루어진다. 이때, 상기 하부 척(120)의 측벽에는, 즉 격벽(121),(122)의 측면 수평 방향으로 관통된 관통공(124)이 형성된다.
상기 연결고리(130)는 중공 링 형상으로 형성된다. 이와 같은 연결고리(130)는 후술할 상부 고정핀(140)과 하부 고정핀(150)에 의하여 상부 척(110)의 격벽(111),(112)과 하부 척(120)의 격벽(121),(122)에 결합된다. 이때, 상기 연결고리(130)는 강성의 재질로 소정 두께를 갖도록 이루어진다. 여기서, 연결고리(130)의 재질과 소정 두께의 의미는, 고체원료 공급장치(20)의 중량에 의해 끊어지지 않으며, 상부 척(110)의 격벽(111)과 격벽(112) 및 하부 척(120)의 격벽(121)과 격벽(122) 사이에서 이동가능한 두께를 의미하는 것으로 이해되어야 한다.
상기 상부 고정핀(140)은 연결고리(130)의 중공부 및 상기 상부 척(110) 하단 양측의 격벽(111),(112)에 형성된 관통공(114)에 삽입되어 상기 상부 척(110)과 연결고리(130)를 결합한다. 이와 같은 상부 고정핀(140)의 일단에는 작업자가 파지가능한 손잡이(145)가 형성되어 있고, 타단에는 상기 상부 고정핀(140)이 상기 관 통공(114)으로부터 빠지지 않도록 체결하는 체결수단(141)이 결합된다.
상기 체결수단(141)은 상기 상부 고정핀(140)의 타단에 나사산이 형성되어 상기 나사산에 나사결합되는 너트(141)인 것이 바람직하다.
상기 하부 고정핀(150)은 연결고리(130)의 중공부 및 상기 하부 척(120) 상단 양측의 격벽(121),(122)에 형성된 관통공(124)에 삽입되어 상기 하부 척(120)과 연결고리(130)를 결합한다. 이와 같은 하부 고정핀(150)의 일단에는 작업자가 파지가능한 손잡이(155)가 형성되어 있고, 타단에는 상기 하부 고정핀(150)이 상기 관통공(124)으로부터 빠지지 않도록 체결하는 체결수단(151)이 결합된다.
상기 체결수단(151)은 상기 하부 고정핀(150)의 타단에 나사산이 형성되어 상기 나사산에 나사결합되는 너트(151)인 것이 바람직하다.
한편, 본 명세서에서는 상기 체결수단(141),(151)을 나사 결합되는 너트인 것으로 도시하고, 표현하였으나, 이에 한정되지 않으며, 상기 상·하부 고정핀(140),(150)이 상부 척(110) 또는 하부 척(120)의 관통공(114),(124)에 삽입되어 연결고리(130)를 결합한 뒤 상기 관통공(114),(124)으로부터 빠지지 않는 구조로 이루어진다면 어떠한 형상 및 구조로 이루어지더라도 채용할 수 있다.
부가적으로, 연결고리(130)와 접촉되는 상부 고정핀(140)과 하부 고정핀(150)의 몸체에는 나사산이 형성되지 않도록 이루어져 마모가 방지된다.
한편, 상술한 상부 고정핀(140) 및 하부 고정핀(150)은 고체원료 공급장치(20)의 하중에 견딜 수 있도록 소정의 두께와 강성을 갖도록 이루어져야 한다. 이러한 점을 고려하여, 연결장치(100)의 상부 척(110), 하부 척(120), 연결고 리(130), 상부 고정핀(140) 및 하부 고정핀(150)은 고내열성 및 고강도를 갖도록 몰리브덴 및 텅스텐을 포함하는 고융점 금속 또는 그 합금으로 이루어진다.
결과적으로, 상기 상부 고정핀(140) 및 하부 고정핀(150)에 의해 상부 척(110)과 하부 척(120)의 연결시, 도 5에 도시된 바와 같이, 연결고리(130)가 상부 척(110)의 격벽(111),(112) 및 하부 척(120)의 격벽(121),(122) 사이에서 각각 좌우 방향으로 이동하거나, 도 6에 도시된 바와 같이, 연결고리(130)가 전후 방향으로 이동할 수 있다. 따라서, 고체원료 공급장치(20)와 샤프트(S)의 중심이 일치하지 않더라도 큰 힘을 들이지 않고 용이하게 고체원료 공급장치(20)와 샤프트(S)를 연결하여 고체원료 공급장치(20)를 이동할 수 있다.
그러면, 상기와 같은 구조를 가진 연결장치를 이용하여 고체원료 공급장치와 단결정 성장장치의 연결 방법에 대하여 설명하기로 한다.
먼저, 단결정 성장장치(21)의 상부에 위치한 샤프트(S)에 상부 척(110)을 결합한다.
다음으로, 고체원료 공급장치(20)와 연결된 금속 와이어(W)와 하부 척(120)을 결합한다.
이어서, 상기 하부 척(120)이 결합된 고체원료 공급장치(20)를 단결정 성장장치(21)로 이동시킨 후 상부 척(110)이 결합된 샤프트(S)를 고체원료 공급장치(20)와 연결 가능한 위치까지 하강시킨다.
마지막으로, 상기 고체원료 공급장치(20)에 장착된 하부 척(120)의 격벽(121)과 격벽(122)사이 및 상부 척(110)의 격벽(111)과 격벽(112)사이에 연결고 리(130)가 위치하도록 하여 상부 고정핀(140)과 하부 고정핀(150)으로 결합한다. 즉, 상부 고정핀(140)은 상부 척(110)의 측벽에 형성된 관통공(114) 및 연결고리(130)의 중공부를 관통하여 결합되고, 하부 고정핀(150)은 하부 척(120)의 측벽에 형성된 관통공(124) 및 연결고리(130)의 중공부를 관통하여 결합된다. 따라서, 연결고리(130)는 상부 척(110)과 하부 척(120)을 연결하며, 상부 척(110)의 격벽(111)과 격벽(112)사이 및 하부 척(120)의 격벽(121)과 격벽(122)사이에서 이동가능하게 된다.
한편, 상기 상부 및 하부 고정핀(140),(150)의 타측에는 나사산이 형성되며, 상기 고정핀(140),(150)이 관통공(114),(124)으로부터 빠지지 않도록 너트(141),(151)에 의해 각각 결합된다.
상기와 같이 연결고리(130)가 연결되면, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 연결고리(130)를 전후좌우 방향으로 이동시켜 고체원료 공급장치(20)를 단결정 성장장치(21)의 중앙에 위치시킨다.
이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.
예를 들어, 상술한 실시예에서 상·하부 고정핀(140),(150)은 그 형상과 구조가 동일한 것으로 도시되고 설명되었으나, 각각 상·하부 척(110),(120)과 연결고리(130)를 결합할 수 있는 한, 서로 다른 형상 또는 구조를 가질 수 있다. 나아 가, 상·하부 척(110),(120) 중 어느 일방은 연결고리(130)와 상·하부 고정핀(140),(150) 중 어느 일방이 미리 결합된 상태로 제공되어, 작업자가 상·하부 척(110),(120)의 타방과 연결고리(130)를 결합하는 것으로 연결작업을 마치도록 구성될 수도 있다.
또한, 상술한 실시예에서, 연결고리(130)는 타원형의 링 형상으로 도시되고 설명되었으나, 원형이나 직사각형 등 다각형의 링 형상으로 이루어질 수도 있다. 나아가, 도 7에 도시된 바와 같이, 연결고리(130')는 소정의 두께를 가진 핀상으로 형성되고 각각 상·하부 고정핀(140),(150)이 관통되는 두 개의 중공부(131),(132)를 가지는 구조일 수도 있다.
도 1은 종래의 케이블 타입 단결정 성장장치에 연결된 고체원료 공급장치가 단결정 성장장치의 중앙에 위치되는 상태를 나타내는 도면.
도 2는 종래의 샤프트 타입 단결정 성장장치에 연결된 고체원료 공급장치가 단결정 성장장치의 중앙에 위치되는 상태를 나타내는 도면.
도 3은 도 2의 고체원료 공급장치가 샤프트의 시드 척에 연결되도록 이동되는 상태를 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 연결장치를 나타내는 분해 사시도.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 연결장치의 사용 상태를 나타내는 정면도.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 연결장치의 사용 상태를 나타내는 측면도.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 연결장치에서 연결고리의 변형예를 나타내는 정면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
샤프트 : S 금속와이어 : W
연결장치 : 100 상부 척 : 110
하부 척 : 120 연결고리 : 130
상부 고정핀 : 140 하부 고정핀 : 150

Claims (6)

  1. 삭제
  2. 고체원료 공급장치를 단결정 성장장치에 연결하기 위한 연결장치로서,
    상기 단결정 성장장치의 상부에 위치된 샤프트에 탈착가능하게 결합되고, 그 하단 양측에 수직 하방으로 돌출된 격벽을 포함하여 그 단면이 하방으로 개방된 'ㄷ'자 형상을 이루는 상부 척;
    상기 고체원료 공급장치와 연결된 금속 와이어에 탈착가능하게 결합되고, 그 상단 양측에 수직 상방으로 돌출된 격벽을 포함하여 그 단면이 상방으로 개방된 'ㄷ'자 형상을 이루는 하부 척;
    중공 링 형상으로 형성된 연결고리;
    상기 연결고리의 중공부를 관통하여 상기 상부 척 하단 양측의 격벽에 상기 연결고리를 결합하는 상부 고정핀; 및
    상기 연결고리의 중공부를 관통하여 상기 하부 척 상단 양측의 격벽에 상기 연결고리를 결합하는 하부 고정핀;을 포함하고,
    상기 상부 척의 측벽에는 상기 상부 고정핀이 관통되는 관통공이 형성되어 있고,
    상기 상부 고정핀의 일단에는 작업자가 파지가능한 손잡이가 형성되어 있고, 타단에는 상기 상부 고정핀이 상기 관통공으로부터 빠지지 않도록 체결하는 체결수단이 결합되는 것을 특징으로 하는 연결장치.
  3. 고체원료 공급장치를 단결정 성장장치에 연결하기 위한 연결장치로서,
    상기 단결정 성장장치의 상부에 위치된 샤프트에 탈착가능하게 결합되고, 그 하단 양측에 수직 하방으로 돌출된 격벽을 포함하여 그 단면이 하방으로 개방된 'ㄷ'자 형상을 이루는 상부 척;
    상기 고체원료 공급장치와 연결된 금속 와이어에 탈착가능하게 결합되고, 그 상단 양측에 수직 상방으로 돌출된 격벽을 포함하여 그 단면이 상방으로 개방된 'ㄷ'자 형상을 이루는 하부 척;
    중공 링 형상으로 형성된 연결고리;
    상기 연결고리의 중공부를 관통하여 상기 상부 척 하단 양측의 격벽에 상기 연결고리를 결합하는 상부 고정핀; 및
    상기 연결고리의 중공부를 관통하여 상기 하부 척 상단 양측의 격벽에 상기 연결고리를 결합하는 하부 고정핀;을 포함하고,
    상기 하부 척의 측벽에는 상기 하부 고정핀이 관통되는 관통공이 형성되어 있고,
    상기 하부 고정핀의 일단에는 작업자가 파지가능한 손잡이가 형성되어 있고, 타단에는 상기 하부 고정핀이 상기 관통공으로부터 빠지지 않도록 체결하는 체결수단이 결합되는 것을 특징으로 하는 연결장치.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 상부 또는 하부 고정핀의 타단에는 나사산이 형성되어 있고, 상기 체결수단은 상기 나사산에 나사결합되는 너트인 것을 특징으로 하는 연결장치.
  5. 고체원료 공급장치를 단결정 성장장치에 연결하기 위한 연결장치로서,
    상기 단결정 성장장치의 상부에 위치된 샤프트에 탈착가능하게 결합되고, 그 하단 양측에 수직 하방으로 돌출된 격벽을 포함하여 그 단면이 하방으로 개방된 'ㄷ'자 형상을 이루는 상부 척;
    상기 고체원료 공급장치와 연결된 금속 와이어에 탈착가능하게 결합되고, 그 상단 양측에 수직 상방으로 돌출된 격벽을 포함하여 그 단면이 상방으로 개방된 'ㄷ'자 형상을 이루는 하부 척;
    중공 링 형상으로 형성된 연결고리;
    상기 연결고리의 중공부를 관통하여 상기 상부 척 하단 양측의 격벽에 상기 연결고리를 결합하는 상부 고정핀; 및
    상기 연결고리의 중공부를 관통하여 상기 하부 척 상단 양측의 격벽에 상기 연결고리를 결합하는 하부 고정핀;을 포함하고,
    상기 연결고리는 상부 척의 격벽 사이와 하부 척의 격벽 사이에서 이동 이동가능하도록 결합되는 것을 특징으로 하는 연결장치.
  6. 고체원료 공급장치를 단결정 성장장치에 연결하기 위한 연결장치로서,
    상기 단결정 성장장치의 상부에 위치된 샤프트에 탈착가능하게 결합되고, 그 하단 양측에 수직 하방으로 돌출된 격벽을 포함하여 그 단면이 하방으로 개방된 'ㄷ'자 형상을 이루는 상부 척;
    상기 고체원료 공급장치와 연결된 금속 와이어에 탈착가능하게 결합되고, 그 상단 양측에 수직 상방으로 돌출된 격벽을 포함하여 그 단면이 상방으로 개방된 'ㄷ'자 형상을 이루는 하부 척;
    중공 링 형상으로 형성된 연결고리;
    상기 연결고리의 중공부를 관통하여 상기 상부 척 하단 양측의 격벽에 상기 연결고리를 결합하는 상부 고정핀; 및
    상기 연결고리의 중공부를 관통하여 상기 하부 척 상단 양측의 격벽에 상기 연결고리를 결합하는 하부 고정핀;을 포함하고,
    상기 상부 척, 하부 척, 연결고리 및 상·하부 고정핀은 몰리브덴 및 텅스텐을 포함하는 고융점 금속 또는 그 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 연결장치.
KR1020070138248A 2007-12-27 2007-12-27 고체원료 공급장치와 단결정 성장장치의 연결장치 KR100947747B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070138248A KR100947747B1 (ko) 2007-12-27 2007-12-27 고체원료 공급장치와 단결정 성장장치의 연결장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070138248A KR100947747B1 (ko) 2007-12-27 2007-12-27 고체원료 공급장치와 단결정 성장장치의 연결장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090070288A KR20090070288A (ko) 2009-07-01
KR100947747B1 true KR100947747B1 (ko) 2010-03-17

Family

ID=41321850

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070138248A KR100947747B1 (ko) 2007-12-27 2007-12-27 고체원료 공급장치와 단결정 성장장치의 연결장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100947747B1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101115203B1 (ko) * 2010-01-19 2012-02-24 주식회사 엘지실트론 단결정 성장장치의 케이블과 튜브를 연결하는 연결구조
KR101402839B1 (ko) * 2012-01-03 2014-06-03 주식회사 엘지실트론 실리콘 공급 유닛 및 이를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳의 성장 장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5961277U (ja) 1982-10-15 1984-04-21 日本電気株式会社 結晶引上法に用いる種結晶支持具
JPH09208383A (ja) * 1996-01-26 1997-08-12 Sumitomo Sitix Corp 単結晶育成装置
KR19980079894A (ko) * 1997-03-31 1998-11-25 모리 레이자로 단결정 인상장치 및 단결정 지지기구 및 단결정 인상방법
JPH11130586A (ja) * 1997-10-23 1999-05-18 Komatsu Electron Metals Co Ltd 結晶体引上げ装置の結晶体把持機構

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5961277U (ja) 1982-10-15 1984-04-21 日本電気株式会社 結晶引上法に用いる種結晶支持具
JPH09208383A (ja) * 1996-01-26 1997-08-12 Sumitomo Sitix Corp 単結晶育成装置
KR19980079894A (ko) * 1997-03-31 1998-11-25 모리 레이자로 단결정 인상장치 및 단결정 지지기구 및 단결정 인상방법
JPH11130586A (ja) * 1997-10-23 1999-05-18 Komatsu Electron Metals Co Ltd 結晶体引上げ装置の結晶体把持機構

Also Published As

Publication number Publication date
KR20090070288A (ko) 2009-07-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100947747B1 (ko) 고체원료 공급장치와 단결정 성장장치의 연결장치
KR102064272B1 (ko) 지중배전선 지지용 행거장치
US2242783A (en) Elevator link and handle
JP3198314U (ja) 引留クランプ把持具
US10464790B1 (en) Fiber pulling winch attachment for an excavator bucket
EP1067248B1 (en) Anchoring device for building components made of concrete or the like with easy-to-apply element for anchoring to the component
CN216156014U (zh) 拉晶夹具及拉晶炉
CN205673799U (zh) 多功能无码脚斜拉杆组件
JP2007225039A (ja) 接続具
CN210684796U (zh) 一种可调式防沉降式井盖
CN105356361B (zh) 简易吊线支撑架
KR200323920Y1 (ko) 전복 양식장치
JP4626291B2 (ja) 単結晶引上げ装置
JP3206951U (ja) 多結晶シリコンの連接構造
CN213002397U (zh) 一种用于猕猴桃种植的铁丝定位装置
CN218116135U (zh) 一种桥梁防撞墙模板组件
JP2020103114A (ja) 畝立装置
KR102136557B1 (ko) 무전해 도금용 지그
BRPI1000340A2 (pt) método e adaptador de gancho para transferência de submarinos
JP7198472B2 (ja) 鉄筋工事用干渉防止部材および鉄筋工事用干渉防止方法
CN214193512U (zh) 重锤装置和用于晶棒生长的提拉机构
CN218346167U (zh) 一种笼式套管支架及笼式套管组件
KR200443629Y1 (ko) 낚싯대 받침 뒤꽂이
KR200288677Y1 (ko) 내구성을 갖는 파이프 커플링용 인장봉
JP2002298671A (ja) ワイヤハーネス用電線保持具および該保持具を用いた分岐部の組立方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130111

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131223

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141223

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151223

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161227

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171222

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181226

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191219

Year of fee payment: 11