KR20090070288A - 고체원료 공급장치와 단결정 성장장치의 연결장치 - Google Patents
고체원료 공급장치와 단결정 성장장치의 연결장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (6)
- 고체원료 공급장치를 단결정 성장장치에 연결하기 위한 연결장치로서,상기 단결정 성장장치의 상부에 위치된 샤프트에 탈착가능하게 결합되고, 그 하단 양측에 수직 하방으로 돌출된 격벽을 포함하여 그 단면이 하방으로 개방된 'ㄷ'자 형상을 이루는 상부 척;상기 고체원료 공급장치와 연결된 금속 와이어에 탈착가능하게 결합되고, 그 상단 양측에 수직 상방으로 돌출된 격벽을 포함하여 그 단면이 상방으로 개방된 'ㄷ'자 형상을 이루는 하부 척;중공 링 형상으로 형성된 연결고리;상기 연결고리의 중공부를 관통하여 상기 상부 척 하단 양측의 격벽에 상기 연결고리를 결합하는 상부 고정핀; 및상기 연결고리의 중공부를 관통하여 상기 하부 척 상단 양측의 격벽에 상기 연결고리를 결합하는 하부 고정핀;을 포함하는 것을 특징으로 하는 연결장치.
- 제1항에 있어서,상기 상부 척의 측벽에는 상기 상부 고정핀이 관통되는 관통공이 형성되어 있고,상기 상부 고정핀의 일단에는 작업자가 파지가능한 손잡이가 형성되어 있고, 타단에는 상기 상부 고정핀이 상기 관통공으로부터 빠지지 않도록 체결하는 체결수 단이 결합되는 것을 특징으로 하는 연결장치.
- 제1항에 있어서,상기 하부 척의 측벽에는 상기 하부 고정핀이 관통되는 관통공이 형성되어 있고,상기 하부 고정핀의 일단에는 작업자가 파지가능한 손잡이가 형성되어 있고, 타단에는 상기 하부 고정핀이 상기 관통공으로부터 빠지지 않도록 체결하는 체결수단이 결합되는 것을 특징으로 하는 연결장치.
- 제2항 또는 제3항에 있어서,상기 상부 또는 하부 고정핀의 타단에는 나사산이 형성되어 있고, 상기 체결수단은 상기 나사산에 나사결합되는 너트인 것을 특징으로 하는 연결장치.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 연결고리는 상부 척의 격벽 사이와 하부 척의 격벽 사이에서 이동 이동가능하도록 결합되는 것을 특징으로 하는 연결장치.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 상부 척, 하부 척, 연결고리 및 상·하부 고정핀은 몰리브덴 및 텅스텐을 포함하는 고융점 금속 또는 그 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 연결장 치.
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2007
- 2007-12-27 KR KR1020070138248A patent/KR100947747B1/ko active IP Right Grant
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