KR100942064B1 - 프로브 카드 오픈검사장치 및 그 제공방법 - Google Patents

프로브 카드 오픈검사장치 및 그 제공방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 프로브 카드 오픈검사장치에 관한 것으로, 본 발명의 일 측면에 따르면 프로브 카드 오픈검사장치에 있어서, 프로브 카드의 각 프로브와 전류측정부의 연결을 온/오프 시키는 릴레이 스위치; 주제어부와 오픈검사 제어부의 제어에 따라 상기 릴레이 스위치의 구동을 제어하여 프로브 카드의 프로브와의 접속을 온/오프하는 릴레이 제어부; 사용자의 조작에 따라 측정대상 프로브에 접속되어 측정대상 프로브로부터 출력되는 전류를 입력받아 전류측정부의 전류 입력단자로 출력하는 오픈검사도구; 사용자의 조작에 따라 상기 릴레이 제어부를 제어하여 상기 전류측정부의 기준전압 출력단자와 측정대상 프로브를 연결시키는 오픈검사 제어부; 상기 릴레이 스위치를 통해 기준전압 출력단자가 프로브 카드의 각 프로브에 접속되며, 상기 릴레이 스위치를 통해 연결된 측정대상 프로브에 기준전압을 출력하고, 상기 오픈검사도구를 통해 연결된 측정대상 프로브로부터 출력되어 전류 입력단자로 입력되는 전류를 측정하여 주제어부로 출력하는 전류측정부; 및 사용자의 입력에 따라 검사대상 프로브 카드 데이터를 로드하고, 검사설정값을 입력받아 상기 프로브 카드 데이터와 상기 오픈검사 제어부의 조작에 따라 상기 릴레이 스위치, 상기 릴레이 제어부 및 상기 전류측정부를 제어하여 프로브 카드의 각 프로브의 오픈여부를 검사하고 측정된 데이터를 출력하는 주제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 오픈검사장치가 제공된다.
프로브 카드, 오픈검사, 크로스 검사, 크로스 채널, 오픈채널

Description

프로브 카드 오픈검사장치 및 그 제공방법{Inspection apparatus of a probe card and Method thereof}
본 발명은 프로브 카드 오픈검사장치 및 그 제공방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 칩의 주요 검사 장치인 프로브 카드의 각 프로브의 오픈검사가 가능한 프로브 카드 오픈검사장치에 관한 것이다.
프로브 카드(Probe card)는 특정 반도체 제조 공정(FAB)이 완료된 웨이퍼(Wafer) 상에 있는 각각의 칩(Chip)들을 검사하기 위한 것으로, PCB 위에 에폭시(Epoxy)로 고정시킨 니들을 이용하여 각각의 테스트하려는 칩의 패드(Pad)에 접촉시킨 후 테스트 시스템의 전기적 신호를 칩 상에 전달하여 웨이퍼의 양품과 불량품을 구분하는데 사용되는 핵심 장치이다.
종래에는 현미경이 준비된 단순한 테이블 위에 프로브 카드를 올려놓은 상태에서 작업자가 검사 위치를 수동적으로 설정해 가면서 검사하게 되므로 정확한 검 사를 실시하지 못하였다.
전술한 문제점을 해결하기 위하여, 검사회로를 이용하여 프로브 카드를 검사하는 기술이 개발되었으나, 오픈검사를 수행함에 있어 다수의 인력이 필요하며, 크로스된 채널을 정확하게 찾아낼 수 없다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출 된 것으로, 본 발명의 일 실시예는 프로브 카드의 오픈검사장치와 관련된다.
상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따르면 프로브 카드 오픈검사장치에 있어서, 프로브 카드의 각 프로브와 전류측정부의 연결을 온/오프 시키는 릴레이 스위치; 주제어부와 오픈검사 제어부의 제어에 따라 상기 릴레이 스위치의 구동을 제어하여 프로브 카드의 프로브와의 접속을 온/오프하는 릴레이 제어부; 사용자의 조작에 따라 측정대상 프로브에 접속되어 측정대상 프로브로부터 출력되는 전류를 입력받아 전류측정부의 전류 입력단자로 출력하는 오픈검사도구; 사용자의 조작에 따라 상기 릴레이 제어부를 제어하여 상기 전류측정부의 기준전압 출력단자와 측정대상 프로브를 연결시키는 오픈검사 제어부; 상기 릴레이 스위치를 통해 기준전압 출력단자가 프로브 카드의 각 프로브에 접속되며, 상기 릴레이 스위치를 통해 연결된 측정대상 프로브에 기준전압을 출력하고, 상기 오픈검사도구를 통해 연결된 측정대상 프로브로부터 출력되어 전류 입력단자로 입력되는 전류를 측정하여 주제어부로 출력하는 전류측정부; 및 사용자의 입력에 따라 검사대상 프로브 카드 데이터를 로드하고, 검사설정값을 입력받아 상기 프로브 카드 데이터와 상기 오픈검사 제어부의 조작에 따라 상기 릴레이 스위치, 상 기 릴레이 제어부 및 상기 전류측정부를 제어하여 프로브 카드의 각 프로브의 오픈여부를 검사하고 측정된 데이터를 출력하는 주제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 오픈검사장치.
여기서 상술한 프로브 카드 오픈검사장치는 프로브 카드 데이터와 상기 오픈검사 제어부의 조작에 따라 오픈여부 검사시 사용자가 상기 오픈검사도구를 접속시켜야 하는 프로브명을 음성출력하고, 측정대상 프로브의 저항값이 유효저항값 이내인 경우 효과음을 출력하는 음성출력부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상술한 오픈검사 제어부는 오픈검사 중 사용자의 조작에 따라 상기 오픈검사도구와 접속된 프로브 번호를 스캔하기 위한 스캔제어신호를 출력하는 스캔버튼을 더 포함하고, 상기 프로브 카드 오픈검사장치는 상기 릴레이 스위치를 통해 프로브 카드의 각 프로브에 신호입력단자가 일 대 일로 접속되며, 상기 오픈검사도구를 통해 연결된 프로브로 기준전압을 출력한 후 상기 신호입력단자를 통해 입력되는 전류을 이용해 현재 접속된 프로브 번호를 판단하여 출력하는 테스트 로직 회로부를 더 포함하며, 상기 주제어부는 상기 오픈검사 제어부로부터 스캔제어신호가 입력되는 경우 상기 테스트 로직 회로부를 구동하여 현재 접속된 프로브 번호를 판단하여 출력하도록 구성될 수 있다.
또한, 상술한 주제어부는, 맥주소, 하드디스크 정보, CPU 아이디를 포함하는 인증정보를 이용하여 시스템의 인증여부를 판단하고, 인증된 시스템인 경우 인증정보에 포함된 채널수, 평탄도 옵션정보를 변수로 설정하며, 인증에 실패하는 경우 프로그램을 종료하는 시스템 인증모듈; 상기 인증정보에 포함된 채널변수를 로드하 고, 저장된 채널변수가 5200 채널인 경우 확장채널의 사용을 허가하고, 저장된 채널변수가 2600 채널인 경우 확장채널의 사용을 금지하는 채널데이터 로드모듈; 사용자의 입력에 따라 특정 마더보드의 정보를 입력받고, 상기 마더보드가 2600 채널을 초과하는 채널을 사용하는 경우 확장채널로 맵핑하여 마더보드의 정보를 데이터베이스에 등록/수정하며, 상기 마더보드가 2600 채널 이하의 채널을 사용하는 경우 일반채널로 맵핑하여 마더보드의 정보를 데이터베이스에 등록/수정하는 마더보드 데이터 생성모듈; 사용자의 입력에 따라 등록/수정하고자 하는 프로브 카드에 대응되는 특정 마더보드 정보를 상기 데이터베이스로부터 로드하고, 사용자의 입력에 따라 프로브 카드 데이터를 입력받아 상기 마더보드 정보를 참조하여 채널맵핑을 수행한 후, 사용자의 입력에 따라 검사 파라메터 정보를 입력받아 상기 프로브 카드 데이터, 채널맵핑 정보와 함께 프로브 카드 데이터로 데이터베이스에 등록/수정하는 프로브 카드 데이터 생성모듈; 및 사용자의 입력에 따라 검사대상 프로브 카드 데이터를 로드하고, 검사설정값을 입력받아 상기 프로브 카드 데이터와 상기 오픈검사 제어부의 조작에 따라 상기 릴레이 스위치, 상기 릴레이 제어부 및 상기 전류측정부를 제어하여 프로브 카드의 각 프로브의 오픈여부를 검사하고 측정된 데이터를 출력하는 오픈검사모듈을 포함하며, 상기 프로브 카드 오픈검사장치는 상기 인증정보, 상기 마더보드 정보, 상기 프로브 카드 데이터를 구조화하여 저장하는 데이터베이스를 포함하도록 구성될 수 있다.
한편, 상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 다른 바람직한 일 실시예에 따르면, 프로브 카드 오픈검사방법에 있어서, (a) 마더보드의 정보를 입력받고, 마더보드가 2600 채널을 초과하는 채널을 사용하는 경우 확장채널로 맵핑하여 마더보드의 정보를 데이터베이스에 등록하며, 마더보드가 2600 채널 이하의 채널을 사용하는 경우 일반채널로 맵핑하여 마더보드의 정보를 데이터베이스에 등록하는 단계; (b) 등록하고자 하는 프로브 카드에 대응되는 마더보드 데이터를 로드하고, 프로브 카드 데이터를 입력한 후 상기 마더보드 데이터를 참조하여 맵핑 데이터를 생성하며, 검사 파라메터를 입력한 후 상기 프로브 카드 데이터, 맵핑 데이터 및 검사 파라메터를 이용해 프로브 카드 데이터를 데이터베이스에 등록하는 단계; 및 (c) 사용자가 오픈검사를 선택하는 경우, 검사대상 프로브 카드 데이터를 로드하고 사용자의 검사설정값을 입력받아 저장하며, 사용자의 조작에 따라 오픈검사도구를 측정대상 프로브에 접속시키고, 릴레이 스위치를 통해 전류측정부의 기준전압 출력단자와 측정대상 채널을 연결시킨 후, 측정대상 채널에 기준전압을 출력하여 측정대상 채널로부터 상기 오픈검사도구를 통해 전류측정부의 전류 입력단자로 입력되는 전류를 이용해 측정대상 채널의 오픈여부를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 프로브 카드 오픈검사방법이 제공된다.
여기서, 상술한 (c) 단계는, (c1) 사용자가 오픈검사를 선택하는 경우 측정대상 프로브 카드 데이터를 로드하는 단계; (c2) 검사유효 저항값, 검사속도, 음성멘트 재성을 설정하는 단계; (c3) 측정대상 채널명을 음성출력한 후, 사용자의 조작에 따라 오픈검사도구를 측정대상 프로브에 접속시키고, 릴레이 스위치를 통해 전류측정부의 기준전압 출력단자와 측정대상 채널을 연결시키는 단계; (c4) 측정대상 채널에 기준전압을 출력하고, 측정대상 채널로부터 상기 오픈검사도구를 통해 전류측정부의 전류 입력단자로 입력되는 전류를 이용해 측정대상 채널의 오픈여부를 판단하는 단계; (c5) 상기 (c4) 단계에서 측정대상 채널의 저항값이 유효저항값 이내인 경우(오픈되지 않은 경우) 측정대상 채널을 변경한 후 상기 (c3) 단계로 돌아가며, 측정대상 채널의 저항값이 유효저항값 이상인 경우(오픈된 경우) 오픈검사 제어부로부터 출력되는 제어신호를 입력받는 단계; (c6) 상기 오픈검사 제어부로부터 다음채널 또는 이전채널 검사제어신호가 출력되는 경우 검사제어신호에 따라 측정대상 채널을 변경한 후 상기 (c3) 단계로 돌아가며, 별도의 제어신호가 출력되지 않는 경우 상기 (c4) 단계로 돌아가 측정대상 채널의 오픈여부를 다시 판단하는 단계; 및 (c7) 검사종료여부를 판단하여 검사가 종료되지 않은 경우 상기 (c4) 단계로 돌아가며, 검사가 종료된 경우 검사과정을 종료하는 단계를 더 포함하도록 구성될 수 있다.
또한, 상술한 (c6) 단계는 상기 오픈검사 제어부로부터 스캔제어신호가 출력되는 경우, 상기 오픈검사도구를 통해 연결된 측정대상 프로브로 기준전압을 출력한 후 테스트 로직 회로부의 신호입력단자로 입력되는 전류을 이용해 현재 접속된 프로브의 채널번호를 판단하여 출력/저장한 후, 다음채널 또는 이전채널 검사제어신호의 출력여부를 판단하도록 구성될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 일 실시예에 따르면 1명의 사용자가 정확하고 용이하게 프로브 카드의 오픈검사를 수행할 수 있다는 장점이 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 오픈검사시 간단한 조작으로 크로스된 채널을 확인하여 저장할 수 있다는 장점이 있다.
먼저, 첨부된 도 1 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 프로브 카드 오픈검사장치의 장치적 구성에 대하여 간략하게 살펴본다.
도 1 은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 카드 오픈검사장치를 도시한 사시도이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 프로브 카드 오픈검사장치(1)는 마더보드가 안착되며 프로브 카드(90)의 평탄도를 측정하는 메인프레임 어셈블리(10)와, 상기 마더보드(80)와 테스터랙(61a)을 연결하는 인터페이스 포고 어셈블리(62)가 수납되는 테스터프레임 어셈블리(60)와, 마더보드(80)에 고정된 프로브 카드(90)를 검사하는 마이크로스코프(73b)와 화면표시수단(72)이 구비된 스코프프레임 어셈블리(70)를 포함한다.
도 2 는 도 1에 도시된 프로브 카드 오픈검사장치에 채용된 메인프레임 어셈블리를 도시한 사시도이고, 도 3 은 도 1에 도시된 프로브 카드 오픈검사장치에 채용된 마더보드 고정부의 하중균형모듈을 도시한 사시도이고, 도 4 는 도 1에 도시된 프로브 카드 오픈검사장치에 채용된 평탄도 측정부를 도시한 사시도이다.
본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 메인프레임 어셈블리(10)는 메인프레 임(20), 마더보드 고정부(30), 평탄도 측정부(40), 진공포트(50)를 구비한다.
메인프레임(20)은 도 2에 도시된 바와 같이 바람직하게는 직육면체 형상으로 전면과 측면에는 후술할 테스터프레임 어셈블리(60), 스코프프레임 어셈블리(70)와 연결되는 연결핀(21)이 다수 형성된다. 또한, 그 바닥에는 편리하게 이동되도록 하는 바퀴(22)와 정해진 위치에 고정되도록 하는 고정부재(23)가 다수 결합 된다. 나아가, 그 상측에는 마우스와 키보드가 놓여 지는 작업플레이트(24)가 볼트 결합 되고, 이 작업플레이트(24)의 상측에는 후술할 진공포트(50) 등을 작동하는 조작패널(25)이 고정된다.
마더보드 고정부(30)는 도 2에 도시된 바와 같이 상기 메인프레임(20)의 상측에 힌지 결합되며 일측에 후크(31a)가 형성되고 중앙 부분에 큰 홀이 형성된 마더보드 고정플레이트(31)와, 상기 마더보드 고정플레이트(31)와 축 연결되어 마더보드 고정플레이트(31)가 부드럽게 180° 회전되도록 하는 하중균형모듈(32)을 구비한다.
상기 하중균형모듈(32)은 도 3에 도시된 바와 같이 마더보드 고정플레이트(31)와 축 연결되는 메인베이스(32a)와, 상기 메인베이스(32a)의 일측에 이동가능하도록 결합 되는 균형추(32b)와, 상기 메인베이스(32a)의 타측에 결합 되어 균형추(32b)를 상하로 이동시키는 균형추 구동모터(32c)와, 상기 메인베이스(32a)에 결합 되어 전원을 온(ON) 시켰을 경우 균형추 구동모터(32c)의 회전 위치를 파악하는 리미트 센서(32d)와 전원을 온/오프(ON/OFF) 시켰을 경우 균형추(32b)의 위치를 파악하는 홈센서(32e)와, 메인베이스(32a)를 스코프프레임(71)에 볼트 고정하도록 하는 브래킷(32f)을 구비한다. 상기 균형추 구동모터(32c)는 바람직하게는 스텝핑 모터를 사용한다.
상기 메인베이스(32a)는 도 3에 도시된 바와 같이 바람직하게는 긴 직육면체 형상으로 일측에는 마더보드 고정플레이트(31)와 축 연결되는 연결로커(32aa)가 볼트 결합되고, 내부에는 리드스크류(32ab)에 의해 상하 이동되는 이동블록(32ac)이 설치되고, 상·하측에는 균형추(32b)를 안내하는 가이드레일(32ad)이 설치된다. 이 메인베이스(32a)의 전·후면에는 이동블록(32ac)과 균형추(32b)가 연결되도록 하는 슬롯(32ae)이 형성된다.
이하에서 하중균형모듈(32)의 작동 원리를 설명한다. 마더보드 고정플레이트(31)는 메인프레임(20)에 힌지 결합 된 상태에서 연결로커(32aa)와 축 연결되어 있고, 연결로커(32aa)는 메인베이스(32a)에 탈착 가능하도록 볼트 결합 되어 있고, 균형추(32b)는 메인베이스(32a)에 결합 되어 있으므로, 균형추(32b)는 지렛대의 원리에 의해 마더보드(80)가 장착된 마더보드 고정플레이트(31)를 지지한다. 이때, 균형추(32b)는 균형추 구동모터(32c)에 의해 마더보드(80)가 장착된 마더보드 고정플레이트(31)와 동일한 무게를 같도록 특정 위치에 미리 세팅된다.
평탄도 측정부(40)는 프로브 카드(90) 탐침의 평탄도를 측정하는 것으로 도 2에 도시된 바와 같이 메인프레임(20)의 중앙 부분에 설치되며 내설 된 볼스크류(41ba)를 갖는 Z축 스테이지(41)와, 상기 Z축 스테이지(41)의 일측에 결합되어 볼스크류(41ba)를 구동하는 볼스크류 구동모터(42)와, 상기 Z축 스테이지(41)에 고정되어 볼스크류 구동모터(42)를 정밀 제어하는 선형 엔코더(43)와, 상기 Z축 스테 이지(41)의 상측에 고정되어 프로브 카드(90)의 탐침 평편도를 측정하는 평탄플레이트부(44)를 구비한다. 상기 볼스크류 구동모터(42)는 바람직하게는 스텝핑 모터를 사용한다.
상기 Z축 스테이지(41)는 평탄플레이트부(44)를 상하 이동시키는 것으로 메인프레임(20)의 일측에 고정되는 베이스플레이트(41a)와, 볼스크류 구동모터(42)와 볼스크류(41ba)로 연결되어 베이스플레이트(41a) 내에서 전후 이동되는 슬라이딩부(41b)와, 상기 슬라이딩부(41b)와 리니어 베어링에 의해 면 접촉되어 마찰력에 의해 상하 이동되는 피슬라이딩부(41c)로 구성된다.
상기 평탄플레이트부(44)는 상기 피슬라이딩부(41c)의 상측에 결합 되며 일측에 연결포트(44aa)가 형성된 에폭시공간블록(44a)과, 상기 에폭시공간블록(44a)의 상측에 볼트 고정되며 상측에 연결용 PCB(44ba)가 결합 된 평탄플레이트(44b)로 구성된다.
이하에서 프로브 카드(90)의 탐침 평탄도 측정 원리를 설명한다. 먼저 후술할 테스터랙(61a)에 프로브 카드의 테이터, 유효 평탄값, 마더보드 높이, 프로브 카드의 높이를 입력한 후 평탄플레이트부(44)를 Z축 스테이지(41)를 이용하여 맨 아래로 이동한다. 다음으로, 평탄플레이트부(44)를 일정 위치로 상향이동한다. 계속해서 상승중에 50k ohm 이하의 저항이 검출되면 탐침이 평탄플레이트(44b)에 닿은 것으로 간주하여 접촉된 탐침의 수를 측정한다. 계속해서 평탄플레이트(44b)를 1μm 상향 이동시킨다. 이때, 평탄플레이트(44b)가 그 거리만큼 이동하면 평탄플레이트(44b)를 맨 아래로 이동시켜 작업을 마무리한다. 마지막으로, 평균 평탄도와 측정데이터를 출력하여 작업을 마무리한다. 만약, 입력된 거리 만큼 이동하지 않으면 접촉한 탐침수를 측정하는 단계로 돌아가서 전술한 측정단계를 반복한다.
진공포트(50)는 도 2에 도시된 바와 같이 메인프레임(20)의 일측에 바람직하게는 한 쌍이 이격 형성되며, 진공장치(미도시)에 의해 발생 되는 공압에 의해 마더보드 고정플레이트(31)를 진공 흡착한다.
도 5 는 도 1에 도시된 프로브 카드 오픈검사장치에 채용된 테스터프레임 어셈블리를 도시한 사시도이다.
테스터프레임 어셈블리(60)는 도 5에 도시된 바와 같이 바람직하게는 직육면체 형상이며 내부에 테스터랙(61a,제어부)이 설치되고 상측에 포고어셈블리 수납부(61b)가 형성된 테스터프레임(61)과, 상기 포고어셈블리 수납부(61b)에 수납되며 테스터랙(61a)과 마더보드(80)를 연결하는 인터페이스 포고 어셈블리(62)와, 상기 테스터프레임(61)의 일측에 설치되어 진공장치(미도시)에 의해 발생 되는 공압에 의해 마더보드 고정플레이트(31)를 진공 흡착하는 역진공포트(63)와, 상기 테스터프레임(61)의 상측에 설치되어 마더보드 고정플레이트(31)의 후크(31a)와 맞물리는 역로커(64)를 구비한다.
상기 테스터프레임(61)의 측면에는 메인프레임(20)의 연결핀(21)과 연결되는 테스터프레임 연결핀(61c)이 다수 형성되고, 그 바닥에는 편리하게 이동되도록 하는 바퀴(61d)와 정해진 위치에 고정되도록 하는 고정부재(61e)가 다수 결합 된다
상기 역로커(64)는 테스터프레임(61)의 상측에 고정되는 역로커몸체(64a)와, 이 역로커몸체(64a)에 탄성 지지 되는 고정후크(64b)로 구성되며, 180° 회전된 마더보드 고정플레이트(31)를 고정되도록 한다.
도 6 는 도 1에 도시된 프로브 카드 오픈검사장치에 채용된 스코프프레임 어셈블리를 도시한 사시도이다.
스코프프레임 어셈블리(70)는 도 6에 도시된 바와 같이 바람직하게는 직육면체 형상이며 상측에 형성된 X축 이동레일(71a)과 상기 이동레일에 결합 된 슬라이딩부재(71b)를 갖는 스코프프레임(71)과, 상기 슬라이딩부재(71b)의 일측에 고정되는 화면표시수단(72)과, 상기 슬라이딩부재(71b)의 타측에 고정되는 마이크로스코프부(73)를 구비한다.
상기 스코프프레임(71)의 전면에는 테스터프레임 어셈블리(60)의 연결핀(21)과 연결되는 스코프프레임 연결핀(71c)이 다수 형성되고, 그 바닥에는 편리하게 이동되도록 하는 바퀴(71d)와 정해진 위치에 고정되도록 하는 고정부재(71e)가 다수 결합 된다.
상기 마이크로스코프부(73)는 슬라이딩부재(71b)의 하면에 전후 이동가능하도록 고정되는 Y축 이동레일(73a)과, 이 Y축 이동레일(73a)과 스코프 연결부재(73c)에 의해 연결되는 마이크로스코프(73b)로 구성된다. 상기 스코프 연결부재(73c)는 마이크로스코프(73b)가 정해지 위치에 고정되도록 락핸들을 사용하는 것이 바람직하다.
이하에서는 첨부된 도 7 내지 도 11을 참조하여 상술한 바와 같은 장치적 특징을 가지는 프로브 카드 오픈검사장치의 회로적 구성과 기능 및 프로브 카드 검사방법에 대하여 상세하게 설명하도록 한다.
도 7은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 프로브 카드 오픈검사장치의 회로적 구성을 도시한 블록도이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 프로브 카드 오픈검사장치(이하 도면부호 '100')은 주제어부(102), 릴레이 제어부(110), 릴레이 스위치(112), 오프검사 제어부(120), 오픈검사도구(122), 음성출력부(124), 전류측정부(130)를 포함할 수 있다.
릴레이 스위치(112)는 프로브 카드의 각 프로브와 전류측정부(130)의 연결을 온/오프 시키게 되며, 릴레이 제어부(110)는 주제어부(102)와 오픈검사 제어부(120)의 제어에 따라 릴레이 스위치(112)의 구동을 제어하여 프로브 카드의 프로브와의 접속을 온/오프하게 된다.
오픈검사도구(122)는 오픈검사시 사용자의 조작에 따라 측정대상 프로브에 접속되어 측정대상 프로브로부터 출력되는 전류를 입력받아 전류측정부(130)의 전류 입력단자로 출력하며, 오픈검사 중 핀서치 모드에서는 테스트 로직 회로에 연결되어 출력되는 기준전압을 측정대상 프로브로 출력하게 된다.
오프검사 제어부(120)는 다수의 버튼이 구비되어 사용자의 조작에 따른 제어신호를 출력하는 장치로서, 다음채널 또는 이전채널 검사신호를 출력하여 릴레이 제어부를 통해 릴레이 스위치(112)를 제어하여 전류측정부(130)의 기준전압 출력단 자와 측정대상 프로브를 연결시키게 되며, 스캔제어신호를 출력하여 오픈검사 중 핀서치를 수행하도록 한다.
음성출력부(124)는 프로브 카드 데이터와 오픈검사 제어부의 조작에 따라 오픈여부 검사시 사용자가 오픈검사도구(122)를 접속시켜야 하는 프로브명을 음성출력하고, 측정대상 프로브의 저항값이 유효저항값 이내인 경우 효과음을 출력하게 된다.
전류측정부(130)는 릴레이 스위치(112)를 통해 기준전압 출력단자가 프로브 카드의 각 프로브에 접속되며, 릴레이 스위치(112)를 통해 연결된 측정대상 프로브에 기준전압을 출력하고, 오픈검사도구(122)를 통해 연결된 측정대상 프로브로부터 출력되어 전류 입력단자로 입력되는 전류를 측정하여 주제어부로 출력하게 된다.
주제어부(102)는 사용자의 입력에 따라 검사대상 프로브 카드 데이터를 로드하고, 검사설정값을 입력받아 프로브 카드 데이터와 오픈검사 제어부(120)의 조작에 따라 릴레이 스위치(112), 릴레이 제어부(110) 및 전류측정부(130)를 제어하여 프로브 카드의 각 프로브의 오픈여부를 검사하고 측정된 데이터를 출력하게 된다.
한편, 본 발명에 따른 프로브 카드 오픈검사장치(100)는 LCR측정부(150), 테스트 로직 회로부(160), 테스트 척 구동부(170) 및 테스트 척(평탄플레이트부, 이하 '테스트 척'이라 함)(44)을 더 포함하여 프로브 카드 통합검사장치로서 이용될 수 있도록 구성될 수 있다. 통합검사장치로 이용되는 경우 구성각부의 구성 및 기능 간략하게 설명하면 아래와 같다.
릴레이 스위치(112)는 본 발명에 따른 검사모드에 따라 전류측정부(130)와 프로브 카드(90)의 프로브(채널)의 연결, 또는, 테스트 로직 회로부(160)와 프로브 카드(90)의 프로브(채널)의 연결, 또는 LCR측정부(150)와 프로브 카드(90)의 프로브(채널, 탐침)의 연결을 온/오프하게 된다. 릴레이 제어부(110)는 주제어부(102)의 제어에 따라 릴레이 스위치(112)의 구동을 제어하게 된다. 상술한 바와 같은 릴레이 스위치(112)와 릴레이 제어부(110)는 별개로 구성될 수도 있으며, 하나의 장치로 구현될 수도 있다.
전류측정부(130)는 일종의 전류측정장치로서, 기준전압을 생성하여 프로브로 출력하는 기준전압 출력단자와 기준전압 인가에 따라 프로브로부터 출력되는 전류가 입력되는 입력단자가 구비되며, 쇼트검사, 누설전류검사, 오픈검사시 이용된다.
LCR측정부(150)는 캐패시터 측정을 위한 장치로서, 테스트신호를 프로브로 출력하는 출력단자와 출력된 테스트신호가 프로브를 거쳐 귀환되는 입력단자가 구비되어 캐패시터검사시 이용된다.
테스트 로직 회로부(160)는 기준전압을 생성하여 오픈검사도구(122) 또는 테스트 척(44)을 통해 프로브로 출력하고, 신호입력단자를 통해 기준전압의 인가에 따라 특정 프로브로부터 출력되는 전류를 입력받아 데이터를 처리하는 장치로서, 오픈검사 중 핀서치, 평탄도검사시 이용된다.
오픈검사도구(122)는 오픈검사시 사용자의 조작에 따라 측정대상 프로브에 접속되어 측정대상 프로브로부터 출력되는 전류를 입력받아 전류측정부(130)의 전류 입력단자로 출력하며, 오픈검사 중 핀서치 모드에서는 테스트 로직 회로에 연결 되어 출력되는 기준전압을 측정대상 프로브로 출력하게 된다.
오프검사 제어부(120)는 다수의 버튼이 구비되어 사용자의 조작에 따른 제어신호를 출력하는 장치로서, 다음채널 또는 이전채널 검사신호를 출력하여 릴레이 제어부를 통해 릴레이 스위치(112)를 제어하여 전류측정부(130)의 기준전압 출력단자와 측정대상 프로브를 연결시키게 되며, 스캔제어신호를 출력하여 오픈검사 중 핀서치를 수행하도록 한다.
음성출력부(124)는 프로브 카드 데이터와 오픈검사 제어부의 조작에 따라 오픈여부 검사시 사용자가 오픈검사도구(122)를 접속시켜야 하는 프로브명을 음성출력하고, 측정대상 프로브의 저항값이 유효저항값 이내인 경우 효과음을 출력하게 된다. 상술한 오픈검사도구(122), 오프검사 제어부(120) 및 음성출력부(124)는 오픈검사시 이용된다.
테스트 척(44)은 테스트 로직 회로부(160)의 기준전압 출력단자에 연결되고, 테스트 척 구동부(170)의 제어에 따라 Z축 방향으로 이동되어 적어도 하나 이상의 프로브에 접속되며, 테스트 로직 회로부(160)로부터 입력되는 기준전압을 접속된 프로브로 출력하게 되며, 테스트 척 구동부(170)는 주제어부(평탄도 검사모듈)의 제어에 따라 테스트 척을 Z축 방향으로 이동시키게 된다. 상술한 테스트 척(44)과 테스트 척 구동부(170)는 평탄도검사시 이용된다.
본 발명에 따른 프로브 카드 오픈검사장치(100)는 오픈검사부, 쇼트검사부 등을 별도로 구비하지 않고, 검사모드에 따라 상술한 구성요소의 연결과 동작을 제어하여 검사모드에 따른 검사를 수행하게 된다. 따라서 상술한 릴레이 제어 부(110), 릴레이 스위치(112), 오프검사 제어부(120), 오픈검사도구(122), 음성출력부(124), 전류측정부(130), LCR측정부(150), 테스트 로직 회로부(160), 테스트 척 구동부(170), 테스트 척(44)에 대해서는 각 검사모드에 따른 검사회로와 검사방법을 설명하면서 그 구성과 기능에 대해서 보다 더 상세하게 설명하도록 한다.
도 8은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 프로브 카드 오픈검사장치를 구동하기 위한 프로그램의 구성 블록도이다. 본 발명에 따른 프로브 카드 오픈검사장치 구동 프로그램은 주제어부(102)에 탑재되어 해당되는 기능을 수행하게 된다. 이하에서 논리적으로 구성된 프로그램을 기준으로 설명하나 이에 한정되는 것은 아니다.
도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 주제어부(102)는 시스템 인증모듈(200), 채널데이터 로드모듈(202), 마더보드 데이터 생성모듈(204), 프로브 카드 데이터 생성모듈(206), 오픈검사모듈(208), 쇼트검사모듈(210), 누설전류검사모듈(212), 평탄도검사모듈(214) 및 캐패시터검사모듈(216)을 포함할 수 있다.
시스템 인증모듈(200)은 시스템의 보안기능을 수행하는 모듈로서, 하드디스크 등의 저장장치에 저장된 인증정보(맥주소, 하드디스크 정보, CPU 아이디 등)를 이용하여 시스템의 인증여부를 판단하고, 인증된 시스템인 경우 인증정보에 포함된 채널수, 평탄도 옵션정보를 변수로 설정하며, 인증에 실패하는 경우 프로그램을 종료하는 기능을 수행하게 된다. 이때 이용되는 인증정보는 프로그램이 최초로 설치될 때 관리자의 조작에 따라 생성되며, 암호화되어 저장장치에 저장된다.
채널데이터 로드모듈(202)은 전술한 인증정보에 포함된 채널변수를 로드하고, 저장된 채널변수가 5200 채널인 경우 확장채널의 사용을 허가하고, 저장된 채널변수가 2600 채널인 경우 확장채널의 사용을 금지하게 된다. 프로브 카드의 경우 2600 채널 이하로 구성된 프로브 카드가 많이 사용되나, 경우에 따라서 2600 채널 이상으로 구성된 프로브 카드가 사용될 수 있다. 본 발명에 따른 오픈검사장치(100)는 2600 채널용 검사장비를 듀얼로 구성하여 2600 채널 이상을 사용하는 프로브 카드를 검사할 수 있도록 구성되었다. 5200 채널지원기능이 기본적으로 제공되는 경우 상술한 채널데이터 로드모듈(202)은 필요하지 않으나, 5200 채널지원기능이 옵션기능으로 제공되는 경우 옵션기능을 구매한 사용자에 한해 5200 채널지원기능을 이용할 수 있도록 채널데이터 로드모듈(202)이 인증정보에 포함된 채널변수에 따라 확장채널의 사용여부를 제어하게 된다.
도 9a는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 마더보드 데이터 생성모듈의 동작과정을 도시한 순서도이고, 도 9b는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 마더보드 데이터 등록화면의 예시도이다.
마더보드 데이터 생성모듈(204)은 사용자의 입력에 따라 특정 마더보드의 정보를 입력받아 데이터베이스(220)에 등록하거나 수정하는 기능을 수행한다. 이러한 마더보드 데이터 생성모듈은 타사에서 제작된 마더보드와의 호환을 위해 안출된 기능이다. 즉, 타사에서 제작된 마더보드의 채널명과 본 발명에 따른 검사장치에서 이용되는 채널명이 다르게 구성될 수 있으므로, 채널맵핑을 통해 상호 대응되는 채널정보를 저장/이용함으로써 타사에서 제작된 마더보드를 이용해 프로브 카드를 검 사할 수 있게 된다.
사용자는 도 9b에 도시된 등록화면(등록 인터페이스)를 통해 마더보드의 정보를 입력하여 마더보드 데이터를 데이터베이스(220)에 등록하게 된다. 먼저 사용자는 마더보드정보 입력창을 통해 마더보드정보를 입력하고 마더보드의 채널수를 등록한다(S900). 이때, 5200 채널지원기능은 옵션으로 선택한 사용자의 경우 확장채널모드 체크박스를 체크하면 마더보드의 채널이 5200까지 확장된다. 마더보드 데이터 생성모듈(204)은 마더보드가 2600 이상의 채널을 사용하는지 판단하고(S902), 마더보드가 2600 채널을 초과하는 채널을 사용하는 경우 확장채널로 맵핑하여 마더보드의 정보를 데이터베이스(220)에 등록/수정하며(S906, S908), 상기 마더보드가 2600 채널 이하의 채널을 사용하는 경우 일반채널로 맵핑하여 마더보드의 정보를 데이터베이스(220)에 등록/수정한다(S904, S908). 마더보드 등록화면 상의 '작업창 열기'를 선택하면, 채널맵핑시에 해당되는 채널이 채널매핑 테이블의 좌측 공백면에 표시되며, 사용자가 저장버튼을 누르면 화면의 내용이 데이터베이스와 액셀파일로 저장되게 된다.
도 10a는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 프로브 카드 데이터 생성모듈의 동작과정을 도시한 순서도이고, 도 10b는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 프로브 카드 데이터 등록화면의 예시도이다.
사용자는 도 10b에 도시된 바와 같이 구성되는 등록화면을 통해 프로브 카드를 데이터베이스(220)에 등록하게 된다. 프로브 카드의 등록은 해당 마더보드를 선택한 상태에서만 가능하며, 사용자가 프로브 카드 등록을 실행하면 해당 마더보드 정보를 로드하고, 아래 오른쪽 창에 프로브 카드 데이터를 입력하고 데이터 생성/적용 버튼을 누르면 왼쪽창에 맵핑된 데이터가 출력된다. 마지막으로 프로브 카드를 검사할 때 필요한 파라메터를 등록하고 저장을 누르면, 프로브 카드 관련정보가 데이터베이스에 등록되어 해당 프로브 카드를 검사할 때 이용된다.
즉, 본 발명에 따른 프로브 카드 데이터 생성모듈(206)은 사용자의 입력에 따라 등록/수정하고자 하는 프로브 카드에 대응되는 특정 마더보드 정보를 데이터베이스(220)로부터 로드하고(S1000), 사용자의 입력에 따라 프로브 카드 데이터를 입력받아 마더보드 정보를 참조하여 채널맵핑을 수행한 후(S1002), 사용자의 입력에 따라 검사 파라메터 정보를 입력받아(S1004) 프로브 카드 데이터, 채널맵핑 정보와 함께 프로브 카드 데이터로 데이터베이스(220)에 등록/수정하게 된다(S1006).
한편, 상술한 오픈검사모듈(208), 쇼트검사모듈(210), 누설전류검사모듈(212), 평탄도검사모듈(214) 및 캐패시터검사모듈(216)는 오픈검사장치(100)의 구성각부를 제어하여 해당되는 검사를 수행하도록 구성된다. 이러한 검사모듈에 대해서는 각 검사모드에 따른 검사회로와 검사방법과 함께 후술하기로 한다.
도 11a는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 오픈검사회로의 구성블록도이고, 도 11b는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 핀서치회로의 구성블록도이며, 도 11c는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 오픈검사 제어부의 사시도이고, 도 11d는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 오픈검사도구의 사시도이며, 도 11e는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 오픈검사모듈의 동작과정을 도시한 순서도이고, 도 11f는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 오픈검사를 위한 설정정보 입력화면의 예시도이다. 도 11a 내지 도 11f를 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 오픈검사회로의 구성 및 오픈검사방법에 대해 이하에서 설명한다.
종래기술에 따른 오픈검사방식은 한사람은 테스터를 찍어야할 이름을 불러주고, 다른 한사람은 멀티미터의 한 라인을 작업자가 불러준 위치를 프로브 카드의 외각 영역에서 찾아 접촉하며, 또 다른 한 사람은 현미경을 통해서 프로브 카드의 탐침(needle)영역 중 대상이되는 탐침을 확인하여 작업자가 멀티미터의 다른 라인을 대상 탐침 끝에 접촉시키면 멀티미터로부처 출력되는 소리를 듣고 오픈여부 또는 크로스연결 여부를 검사하는 방식으로 수행되어 총 3명의 인원이 필요하다.
상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해, 본 발명에 따른 프로브 카드 오픈검사장치(100)는 프로브 카드를 장비에 체결한 후 위치를 불러주는 부분을 음성출력부(124)를 통한 TTS(Text To Speech)를 이용하였고, 사용자가 마이크로스코프(73b)를 통해 측정대상이되는 탐침을 확인하고 도 11d에 도시된 바와 같은 오픈검사도구(122)를 측정대상 탐침에 접속시킨 후 '삑'소리가 나면 다음 핀으로 이동하면서 하나씩 검사해 나가도록 구성된다. 만일 오픈검사도구(122)를 접속시켜도 소리가 나지 않는 경우, 사용자가 도 11c에 도시된 바와 같은 오프검사 제어부(120)의 다음버튼을 누르는 경우 다음 핀을 검사하는 과정이 수행되며, 사용자가 오프검사 제어부(120)의 스캔버튼을 누르는 경우 현재 측정대상 프로브가 연결된 채널번호를 출력하고 만일 다른채널로 잘못연결 되어 있으면 연결된 채널번호가 화 면에 출력되며 데이터로 저장된다. 상술한 바와 같은 과정을 통해 한명의 사용자만으로 오픈검사가 가능하며, 크로스된 채널이 있는 경우 스캔기능을 이용하여 크로스 채널의 확인이 가능하게 된다.
상술한 바와 같은 기능을 수행하기 위해 본 발명에 따른 오픈검사회로는 오픈검사도구(122), 오프검사 제어부(120), 음성출력부(124), 릴레이 스위치(112), 릴레이 제어부(110), 전류측정부(130), 오픈검사모듈(208)을 포함할 수 있다.
오픈검사도구(122)와 오프검사 제어부(120)는 본 발명에 따른 오픈검사장치(100)에 연결 케이블을 통해 연결된다. 따라서 사용자는 오프검사 제어부(120)를 작업위치와 근접한 곳에 두고 편리하게 오픈검사를 진행할 수 있다. 오픈검사도구(122)는 사용자의 조작에 따라 측정대상 프로브에 접속되어 측정대상 프로브로부터 출력되는 전류를 입력받아 전류측정부(130)의 전류 입력단자로 출력하게 된다.
오프검사 제어부(120)는 사용자의 조작에 따라 릴레이 제어부(110)를 제어하여 전류측정부(130)의 기준전압 출력단자와 측정대상 프로브를 연결시켜, 기준전압이 측정대상 프로브로 인가될 수 있도록 한다. 사용자가 오프검사 제어부(120)의 다음버튼 또는 이전버튼을 누르는 경우 측정대상 프로브가 다음 프로브 또는 이전 프로브로 변경되므로, 릴레이 제어부(110)는 릴레이 스위치(112)를 제어하여 해당되는 프로브와 전류측정부(130)를 연결시키게 된다.
음성출력부(124)는 TTS 기능이 지원되는 범용 사운드카드로 구성될 수 있으며, 프로브 카드 데이터와 오픈검사 제어부의 조작에 따라 오픈검사시 사용자가 오픈검사도구(122)를 접속시켜야 하는 프로브명을 음성출력하고, 측정대상 프로브의 저항값이 유효저항값 이내인 경우 효과음을 출력하게 된다.
오픈검사모듈(208)은 사용자의 입력에 따라 검사대상 프로브 카드 데이터를 데이터베이스(220)로부터 로드하고, 검사설정값(측정모드, 측정지연시간, 허용저항)을 입력받아 프로브 카드 데이터와 오픈검사 제어부의 조작에 따라 릴레이 스위치(112), 릴레이 제어부(110), 전류측정부(130)를 제어하여 프로브 카드의 각 프로브의 오픈여부를 검사하고 측정된 데이터를 출력하게 된다.
도 11a에서 릴레이 스위치1~릴레이 스위치2600의 릴레이들은 오프상태에서 모두 동일한 클로즈 접점상태로 접속되어 있으며, 측정대상 프로브가 프로브2인 경우 오픈검사모듈(208)은 릴레이 제어부(110)를 제어하여 프로브2에 연결된 릴레이를 동작시켜 전류측정부(130)의 기준전압 출력단자로부터 출력되는 기준전압이 프로브2에 인가될 수 있도록 한다. 이 상태에서 사용자가 오픈검사도구(122)를 프로브 2에 접속시키면 전기적이 회로가 형성되어 프로브 2로부터 출력되는 전류가 전류측정부(130)의 전류 입력단자로 입력된다. 오픈검사모듈(208)은 기준전압과 측정된 전류값을 이용하여 프로브 2의 저항값을 산출하고, 산출된 저항값과 허용저항값을 비교하여 프로브 2의 오픈여부를 판단하여 출력하게 된다.
한편, 본 발명에 따른 오프검사 제어부(120)는 오픈검사 중 사용자의 조작에 따라 오픈검사도구(122)와 접속된 프로브에 대한 채널번호를 스캔하기 위한 스캔제어신호를 출력하는 스캔버튼을 더 포함할 수 있다. 즉, 오픈검사결과 해당 프로브가 오픈된 것으로 판단되는 경우, 사용자는 오픈검사도구(122)의 스캔버튼을 눌러 측정대상 프로브가 실제 연결된 채널번호를 검색할 수 있다.
이러한 핀서치 기능을 수행하기 위하여 본 발명은 도 11b에 도시된 바와 같이 구성되는 핀서치회로를 제공한다. 핀서치회로의 테스트 로직 회로부(160)의 신호입력단자는 릴레이 스위치(112)를 통해 프로브 카드의 각 프로브에 일 대 일로 접속되있으며, 테스트 로직 회로부(160)의 기준전압 출력단자는 오픈검사도구(122)에 연결되어 있다. 오픈검사모듈(208)은 오프검사 제어부(120)로부터 스캔제어신호가 입력되는 경우 테스트 로직 회로부(160)를 제어하여 현재 오픈검사도구(122)와 접속되어 있는 프로브로 기준전압을 출력한 후, 테스트 로직 회로부(160)의 신호입력단자를 통해 입력되는 전류을 이용해 현재 접속된 프로브에 대한 채널번호를 판단하여 출력하게 된다.
도 11b에서 릴레이 스위치1~릴레이 스위치2600의 릴레이는 모두 동작하고, 테스트 로직 회로부(160)에서 기준전압이 출력되어 오픈검사도구(122)를 통해 프로브 2로 입력된다. 오픈검사모듈(208)은 프로브2에 공급된 전압을 통하여 테스트 로직 회로부(160)의 CH2로 입력된 값을 이용하여 프로브2가 연결된 채널번호를 판단하여 출력/저장하게 된다.
상술한 바와 같이 구성되는 오픈검사회로가 구동되는 과정을 도 11e를 참조하여 설명하면 아래와 같다.
사용자가 오픈검사를 선택하는 경우 오픈검사모듈(208)은 측정대상 프로브 카드 데이터를 데이터베이스(220)로부터 로드하고(S1100), 사용자의 입력에 따라 검사유효 저항값, 검사속도, 음성멘트 재성을 설정한다(S1102, S1104, S1106). 검사설정값 입력단계에서 도 11f와 같은 인터페이스가 사용자에게 제공되며, 사용자 는 제공되는 인터페이스를 통해 측정모드,측정지연시간, 허용저항을 설정한 후 검사를 시작한다.
검사가 시작되면 오픈검사모듈(208)은 측정대상 프로브명을 음성출력한다(S1108). 사용자는 음성출력된 프로브명을 듣고, 오픈검사도구(122)를 측정대상 프로브에 접속시키고, 오픈검사모듈(208)은 릴레이 스위치를 통해 전류측정부(130)의 기준전압 출력단자와 측정대상 채널을 연결시킨다(S1110).
다음으로 오픈검사모듈(208)은 측정대상 채널에 기준전압을 출력하고, 측정대상 채널로부터 오픈검사도구(122)를 통해 전류측정부(130)의 전류 입력단자로 입력되는 전류를 이용해 측정대상 프로브의 오픈여부를 판단한다(S1112).
오픈검사모듈(208)은 S1112 단계에서 측정대상 채널의 저항값이 유효저항값 이내인 경우(오픈되지 않은 경우) 측정대상 채널을 변경한 후 S1110 단계로 돌아가며, 측정대상 채널의 저항값이 유효저항값 이상인 경우(오픈된 경우) 오프검사 제어부(120)로부터 출력되는 제어신호를 입력받아 해당되는 기능을 수행한다(S1114).
오프검사 제어부(120)로부터 다음채널 또는 이전채널 검사제어신호가 출력되는 경우 오픈검사모듈(208)은 검사제어신호에 따라 측정대상 채널을 변경한 후 S1110 단계로 돌아가며, 별도의 제어신호가 출력되지 않는 경우 S1112 단계로 돌아가 측정대상 채널의 오픈여부를 다시 판단한다(S1116).
한편, S1116 단계에서 오프검사 제어부(120)로부터 스캔제어신호가 출력되는 경우, 오픈검사모듈(208)은 오픈검사도구(122)를 통해 연결된 측정대상 프로브로 기준전압을 출력한 후 테스트 로직 회로부(160)의 신호입력단자로 입력되는 전류을 이용해 현재 접속된 측정대상 프로브의 채널번호를 판단하여 출력/저장한다.
또한, 오픈검사모듈(208)은 검사종료여부를 판단하여 검사가 종료되지 않은 경우 S1112 단계로 돌아가며, 검사가 종료된 경우 검사과정을 종료한다(S1118).
상기한 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대해 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경 및 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.
도 1 은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 카드 오픈검사장치를 도시한 사시도.
도 2 는 도 1에 도시된 프로브 카드 오픈검사장치에 채용된 메인프레임 어셈블리를 도시한 사시도.
도 3 은 도 1에 도시된 프로브 카드 오픈검사장치에 채용된 마더보드 고정부의 하중균형모듈을 도시한 사시도.
도 4 는 도 1에 도시된 프로브 카드 오픈검사장치에 채용된 평탄도 측정부를 도시한 사시도.
도 5 는 도 1에 도시된 프로브 카드 오픈검사장치에 채용된 테스터프레임 어셈블리를 도시한 사시도.
도 6 는 도 1에 도시된 프로브 카드 오픈검사장치에 채용된 스코프프레임 어셈블리를 도시한 사시도.
도 7은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 프로브 카드 오픈검사장치의 회로적 구성을 도시한 블록도.
도 8은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 프로브 카드 오픈검사장치를 구동하기 위한 프로그램의 구성 블록도.
도 9a는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 마더보드 데이터 생성모듈의 동작과정을 도시한 순서도.
도 9b는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 마더보드 데이터 등록화면의 예시도.
도 10a는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 프로브 카드 데이터 생성모듈의 동작과정을 도시한 순서도.
도 10b는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 프로브 카드 데이터 등록화면의 예시도.
도 11a는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 오픈검사회로의 구성블록도.
도 11b는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 핀서치회로의 구성블록도.
도 11c는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 오픈검사 제어부의 사시도.
도 11d는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 오픈검사도구의 사시도.
도 11e는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 오픈검사모듈의 동작과정을 도시한 순서도.
도 11f는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 오픈검사를 위한 설정정보 입력화면의 예시도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
1 : 프로브 카드 오픈검사장치 40 : 평탄도 측정부
44 : 평탄플레이트부 80 : 마더보드
90 : 프로브 카드 100 : 프로브 카드 오픈검사장치
102 : 주제어부 110 : 릴레이 제어부
112 : 릴레이 스위치 120 : 오픈검사 제어부
122 : 오픈검사도구 124 : 음성출력부
130 : 전류측정부 150 : LCR 측정부
160 : 테스트 로직 회로부 170 : 테스트 척 구동부

Claims (7)

  1. 프로브 카드 오픈검사장치에 있어서,
    프로브 카드의 각 프로브와 전류측정부의 연결을 온/오프 시키는 릴레이 스위치;
    오픈검사 제어부의 제어에 따라 상기 릴레이 스위치의 구동을 제어하여 프로브 카드의 프로브와의 접속을 온/오프하는 릴레이 제어부;
    사용자의 조작에 따라 측정대상 프로브에 접속되어 측정대상 프로브로부터 출력되는 전류를 입력받아 전류측정부의 전류 입력단자로 출력하는 오픈검사도구;
    사용자의 조작에 따라 상기 릴레이 제어부를 제어하여 상기 전류측정부의 기준전압 출력단자와 측정대상 프로브를 연결시키는 오픈검사 제어부;
    상기 릴레이 스위치를 통해 기준전압 출력단자가 프로브 카드의 각 프로브에 접속되며, 상기 릴레이 스위치를 통해 연결된 측정대상 프로브에 기준전압을 출력하고, 상기 오픈검사도구를 통해 연결된 측정대상 프로브로부터 출력되어 전류 입력단자로 입력되는 전류를 측정하여 주제어부로 출력하는 전류측정부; 및
    사용자의 입력에 따라 검사대상 프로브 카드 데이터를 로드하고, 검사설정값을 입력받아 상기 프로브 카드 데이터와 상기 오픈검사 제어부의 조작에 따라 상기 릴레이 스위치, 상기 릴레이 제어부 및 상기 전류측정부를 제어하여 프로브 카드의 각 프로브의 오픈여부를 검사하고 측정된 데이터를 출력하는 주제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 오픈검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 프로브 카드 오픈검사장치는 프로브 카드 데이터와 상기 오픈검사 제어부의 조작에 따라 오픈여부 검사시 사용자가 상기 오픈검사도구를 접속시켜야 하는 프로브명을 음성출력하고, 측정대상 프로브의 저항값이 유효저항값 이내인 경우 효과음을 출력하는 음성출력부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 오픈검사장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 오픈검사 제어부는 오픈검사 중 사용자의 조작에 따라 상기 오픈검사도구와 접속된 프로브 번호를 스캔하기 위한 스캔제어신호를 출력하는 스캔버튼을 더 포함하고,
    상기 프로브 카드 오픈검사장치는 상기 릴레이 스위치를 통해 프로브 카드의 각 프로브에 신호입력단자가 일 대 일로 접속되며, 상기 오픈검사도구를 통해 연결된 프로브로 기준전압을 출력한 후 상기 신호입력단자를 통해 입력되는 전류을 이용해 현재 접속된 프로브 번호를 판단하여 출력하는 테스트 로직 회로부를 더 포함하며,
    상기 주제어부는 상기 오픈검사 제어부로부터 스캔제어신호가 입력되는 경우 상기 테스트 로직 회로부를 구동하여 현재 접속된 프로브 번호를 판단하여 출력하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 오픈검사장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 주제어부는,
    맥주소, 하드디스크 정보, CPU 아이디를 포함하는 인증정보를 이용하여 시스템의 인증여부를 판단하고, 인증된 시스템인 경우 인증정보에 포함된 채널수, 평탄도 옵션정보를 변수로 설정하며, 인증에 실패하는 경우 프로그램을 종료하는 시스템 인증모듈;
    상기 인증정보에 포함된 채널변수를 로드하고, 저장된 채널변수가 5200 채널인 경우 확장채널의 사용을 허가하고, 저장된 채널변수가 2600 채널인 경우 확장채널의 사용을 금지하는 채널데이터 로드모듈;
    사용자의 입력에 따라 특정 마더보드의 정보를 입력받고, 상기 마더보드가 2600 채널을 초과하는 채널을 사용하는 경우 확장채널로 맵핑하여 마더보드의 정보를 데이터베이스에 등록/수정하며, 상기 마더보드가 2600 채널 이하의 채널을 사용하는 경우 일반채널로 맵핑하여 마더보드의 정보를 데이터베이스에 등록/수정하는 마더보드 데이터 생성모듈;
    사용자의 입력에 따라 등록/수정하고자 하는 프로브 카드에 대응되는 특정 마더보드 정보를 상기 데이터베이스로부터 로드하고, 사용자의 입력에 따라 프로브 카드 데이터를 입력받아 상기 마더보드 정보를 참조하여 채널맵핑을 수행한 후, 사용자의 입력에 따라 검사 파라메터 정보를 입력받아 상기 프로브 카드 데이터, 채널맵핑 정보와 함께 프로브 카드 데이터로 데이터베이스에 등록/수정하는 프로브 카드 데이터 생성모듈; 및
    사용자의 입력에 따라 검사대상 프로브 카드 데이터를 로드하고, 검사설정값을 입력받아 상기 프로브 카드 데이터와 상기 오픈검사 제어부의 조작에 따라 상기 릴레이 스위치, 상기 릴레이 제어부 및 상기 전류측정부를 제어하여 프로브 카드의 각 프로브의 오픈여부를 검사하고 측정된 데이터를 출력하는 오픈검사모듈을 포함하며,
    상기 프로브 카드 오픈검사장치는 상기 인증정보, 상기 마더보드 정보, 상기 프로브 카드 데이터를 구조화하여 저장하는 데이터베이스를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 오픈검사장치.
  5. 프로브 카드 오픈검사방법에 있어서,
    (a) 마더보드의 정보를 입력받고, 마더보드가 2600 채널을 초과하는 채널을 사용하는 경우 확장채널로 맵핑하여 마더보드의 정보를 데이터베이스에 등록하며, 마더보드가 2600 채널 이하의 채널을 사용하는 경우 일반채널로 맵핑하여 마더보드의 정보를 데이터베이스에 등록하는 단계;
    (b) 등록하고자 하는 프로브 카드에 대응되는 마더보드 데이터를 로드하고, 프로브 카드 데이터를 입력한 후 상기 마더보드 데이터를 참조하여 맵핑 데이터를 생성하며, 검사 파라메터를 입력한 후 상기 프로브 카드 데이터, 맵핑 데이터 및 검사 파라메터를 이용해 프로브 카드 데이터를 데이터베이스에 등록하는 단계; 및
    (c) 사용자가 오픈검사를 선택하는 경우, 검사대상 프로브 카드 데이터를 로드하고 사용자의 검사설정값을 입력받아 저장하며, 사용자의 조작에 따라 오픈검사도구를 측정대상 프로브에 접속시키고, 릴레이 스위치를 통해 전류측정부의 기준전압 출력단자와 측정대상 채널을 연결시킨 후, 측정대상 채널에 기준전압을 출력하여 측정대상 채널로부터 상기 오픈검사도구를 통해 전류측정부의 전류 입력단자로 입력되는 전류를 이용해 측정대상 채널의 오픈여부를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 프로브 카드 오픈검사방법.
  6. (c1) 사용자가 오픈검사를 선택하는 경우 측정대상 프로브 카드 데이터를 로드하는 단계;
    (c2) 검사유효 저항값, 검사속도, 음성멘트 재성을 설정하는 단계;
    (c3) 측정대상 채널명을 음성출력한 후, 사용자의 조작에 따라 오픈검사도구를 측정대상 프로브에 접속시키고, 릴레이 스위치를 통해 전류측정부의 기준전압 출력단자와 측정대상 채널을 연결시키는 단계;
    (c4) 측정대상 채널에 기준전압을 출력하고, 측정대상 채널로부터 상기 오픈검사도구를 통해 전류측정부의 전류 입력단자로 입력되는 전류를 이용해 측정대상 채널의 오픈여부를 판단하는 단계;
    (c5) 상기 (c4) 단계에서 측정대상 채널의 저항값이 유효저항값 이내인 경우(오픈되지 않은 경우) 측정대상 채널을 변경한 후 상기 (c3) 단계로 돌아가며, 측정대상 채널의 저항값이 유효저항값 이상인 경우(오픈된 경우) 오픈검사 제어부로부터 출력되는 제어신호를 입력받는 단계;
    (c6) 상기 오픈검사 제어부로부터 다음채널 또는 이전채널 검사제어신호가 출력되는 경우 검사제어신호에 따라 측정대상 채널을 변경한 후 상기 (c3) 단계로 돌아가며, 별도의 제어신호가 출력되지 않는 경우 상기 (c4) 단계로 돌아가 측정대상 채널의 오픈여부를 다시 판단하는 단계; 및
    (c7) 검사종료여부를 판단하여 검사가 종료되지 않은 경우 상기 (c4) 단계로 돌아가며, 검사가 종료된 경우 검사과정을 종료하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 오픈검사방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 (c6) 단계는 상기 오픈검사 제어부로부터 스캔제어신호가 출력되는 경우, 상기 오픈검사도구를 통해 연결된 측정대상 프로브로 기준전압을 출력한 후 테스트 로직 회로부의 신호입력단자로 입력되는 전류을 이용해 현재 접속된 프로브의 채널번호를 판단하여 출력/저장한 후, 다음채널 또는 이전채널 검사제어신호의 출력여부를 판단하는 것을 특징으로 프로브 카드 오픈검사방법.
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