KR970011879A - 반도체 소자 테스트용 탐침 카드 검사 방법 - Google Patents

반도체 소자 테스트용 탐침 카드 검사 방법 Download PDF

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KR970011879A
KR970011879A KR1019950025420A KR19950025420A KR970011879A KR 970011879 A KR970011879 A KR 970011879A KR 1019950025420 A KR1019950025420 A KR 1019950025420A KR 19950025420 A KR19950025420 A KR 19950025420A KR 970011879 A KR970011879 A KR 970011879A
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김선규
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김주용
현대전자산업 주식회사
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Abstract

1. 청구 범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
고집적 반도체 소자 테스트 장치.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
반도체 소자 테스트에 필수적으로 이용되는 소모품 자재인 탐침 카드로써는 하나의 침만을 접속한여 테스트하는 단일 탐침 카드와, 2개의 칩을 동시에 접속하여 테스트하는 이중 탐침 카드가 주로 사용되어 왔는데, 이와 같은 탐침 카드는 그 구성이 비교적 간단하여 엔지니어가 수동으로 검사하는 것이 가능하지만 현재에는 테스트 시스템이 발전함에 따라 3침, 8침, 16침 등을 동시에 접속하여 테스트할 수 있게 됨에 따라 탐침카드의 구성이 매우 복잡해져 수동으로 검사하기에는 많은 어려움이 있음.
3. 발명의 해결방법의 요지
탐침 카드의 여러 가지 기능적 특성을 자동으로 검사하여 불량여부를 판별할 수 있는 탐침카드 검사 방법을 제공하고자 함.
4. 발명의 중요한 용도.
반도체 소다 테스트용 탐침 카드의 검사에 이용됨.

Description

반도체 소자 테스트용 탐침 카드 검사 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 탐침 카드 검사 방법이 적용되는 탐침 검사 시스템의 구성도,
제2도는 본 발명의 탐침 카드 검사 방법에 따른 흐름도.

Claims (1)

  1. 반도체 소자의 테스트에 이용되는 탐침 카드를 검사하기 위한 방법에 있어서, 반도체 소자에 접속하기 위한 탐침 카드의 다수의 핀과 핀사이의 오픈 및 쇼트 상태와, 테스트 시스템의 신호 채녈에 접속하기 위한 다수의 패턴과 패턴사이의 오픈 및 쇼트 상태에 대한 검사를 수행하는 제1단계와, 상기 제1단계에서 불량판정을 받은 핀 및 패턴에 대한 리페어를 실시하는 제2단계와, 입출력 핀에 대한 기능 검사를 수행하는 제3단계와, 상기 제3단계에서 불량 판정을 받은 입출력 핀에대한 리페어를 실시하는 제4단계와, 탐침 카드의 기판 및 핀에 대한 노이즈 검사를 수행하는 제5단계와, 상기 제5단계에서 불량 판정을 받은 기판 및 핀에 대한 리페어를 실시하는 제6단계와, 탐침 카드 기판의 공급전압 마진 검사와, 핀과핀 사이의 간섭 현상 및 패턴과 패턴 사이의 간섭 현상에 대한 검사와, 탐침카드상의 기생 캐패시턴스의 저항 성분에 대한 검사를 수행하는 제7단계 및, 상기 제7단계에서 불량판정을 받은 기판 및 핀에 대한 리페어를 실시하는 제8단계를 포함해서 이루어진 탐침 카드 검사 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950025420A 1995-08-18 1995-08-18 반도체 소자 테스트용 탐침 카드 검사 방법 KR970011879A (ko)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100457332B1 (ko) * 1997-08-19 2005-08-17 삼성전자주식회사 테스트 시스템을 교정검사하기 위한 기준 패키지
KR100739883B1 (ko) * 2006-11-07 2007-07-16 (주)피엘텍 프로브카드 신호채널의 검사장치 및 방법
KR100762687B1 (ko) * 2006-04-26 2007-10-01 삼성에스디아이 주식회사 유기발광표시장치 및 그의 제조방법
KR100942064B1 (ko) * 2008-01-04 2010-02-11 주식회사 에스디에이 프로브 카드 오픈검사장치 및 그 제공방법

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