KR19990048279A - 전압측정에 의한 누설전류 검사방법 및 장치 - Google Patents

전압측정에 의한 누설전류 검사방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

개시된 내용은 반도체칩 및 전자전기회로의 누설전류 검사방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명의 전압측정에 의한 누설전류 검사방법 및 장치는, 직렬연결된 저항성분의 비율로 결정된 연결단자의 전압을, 누설전류를 검사하고자 하는 해당 핀(단자)에 인가하고, 연결부의 전압을 측정하여 저항성분비로 정해진 전압과 비교하여 누설전류를 파악하는, 누설전류 검사방법 및 장치이다. 따라서, 본 발명은 반도체칩이나 복잡한 전자전기적인 회로의 누설전류를 정확하게 검사하므로써, 검사의 효율성을 향상시키는 효과를 제공한다.

Description

전압측정에 의한 누설전류 검사방법 및 장치
본 발명은 반도체칩 및 전자전기적인 회로의 누설전류 검사방법 및 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 누설전류를 직접 측정하던 종래의 방법과 달리, 전압을 측정하여 측정된 전압에 의해 누설전류를 검사하는 방법 및 장치에 관한 것이다.
일반적으로 누설전류검사는 완성된 반도체칩 및 전자전기회로의 중요한 특성 및 성능검사 중의 하나이다. 이러한 종래의 누설전류 검사방법 및 장치에 대해 도 1에 도시하였다.
도 1은 종래의 반도체칩 및 전자전기회로의 누설전류검사를 위한 회로구성도이다. 도시한 바와 같이, 종래의 누설전류 검사장치(1)는 누설검사과정을 입력 및 제어하는 입력제어부(11)를 구비하고 있다. 입력제어부(11)의 지시를 받아 직류전압을 공급하고 전류를 측정하는 전원부(12)가 입력제어부(11)에 연결된다. 그리고, 전원부(12)는 다수의 전압공급전류측정단(121,122,123)을 구비하고 있다.
이러한 종래의 누설전류검사장치(1)의 동작을 좀더 자세히 설명한다. 입력제어부(11)는 누설전류 측정여부 등을 입력하고 검사시작을 명령한다. 전압공급전류측정단(121,122,123)은 입력제어부(11)의 명령을 받아, 누설전류를 검사할 반도체칩 및 전자전기회로(3)의 핀(또는 단자. P1)에 직류전압을 공급한다. 해당 핀(P1, 단자)이 누설전류를 검사해야 하는 핀(P1,단자)이라면 누설전류여부를 측정하고, 직류전압을 인가해야 할 핀(P2,P3)이라면 직류전압만을 공급한다.
누설전류란 어떤 핀(단자)에 전류가 흐르지 않아야 하는 데도 불구하고, 흐르는 전류를 가리킨다. 따라서 누설전류가 흐르지 않아야 할 해당 핀(단자)에 대한 검사는 전류여부를 파악하면 되므로, 먼저 해당 핀(단자)에 직류전압을 공급하면서 전류가 흐르는 지를 검사한다.
핀(단자) P2 및 P3는, P1이 누설전류를 잘 흐르는 상황(worst case)을 만들기 위해 직류전압을 인가하는 핀(단자)이다. 핀(단자) P1은, 핀(단자) P2 및 P3에 어떤 직류전압이 인가되더라도 누설전류가 흐르지 않아야 한다. 다수의 전압공급전류측정단(121,122,123)은 직류전압도 공급하고 누설전류도 측정할 수 있지만, 누설전류의 측정은 공급할 직류전압에 큰 영향을 주지 않으므로 직류전압만을 공급할 수 있다.
하지만, 위와 같은 종래의 누설전류 검사장치는 매우 적은 양의 누설전류(수 ㎂)를 측정해야 하므로, 측정시 큰 오차가 발생하는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 전술한 문제점을 해결할 수 있도록 전압을 측정하여, 측정된 전압으로 누설전류를 파악하는 전압측정에 의한 누설전류 검사방법 및 장치를 제공함에 있다.
도 1은 종래의 반도체칩 및 전자전기회로의 누설전류검사를 위한 회로구성도.
도 2는 본 발명에 따른 전압측정에 의한 누설전류 검사장치의 블록도 및 구성도.
※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1,5 : 누설전류 검사장치
11,51 : 입력제어부 12,52 : 전원부
121,122,123 : 전압공급전류측정단
3 : 반도체칩 또는 전자전기회로
521a,521b : 전압공급측정단 522a,522b : 전압공급단
P1∼P30 : 반도체칩/전자전기회로의 핀 또는 단자
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른, 전압측정에 의한 누설전류 검사방법 및 장치는, 누설전류를 검사할 해당 핀(단자)에, 직렬연결된 저항성분의 비율로 결정된 연결단자의 전압을, 누설전류를 검사할 해당 핀(단자)에 인가하고, 저항성분비로 정해진 전압과 연결부에서 측정된 전압을 비교하여 누설전류여부를 파악하는 방법을 이용한다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 기술하기로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 전압측정에 의한 누설전류 검사장치의 블록도 및 구성도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명의 누설전류 검사장치(5)는 검사과정을 입력 및 제어하는 입력제어부(51) 및, 검사할 반도체칩 및 전자전기회로(3)의 해당단자(P1)에 직류전압을 공급하고 전압을 측정하여 누설전류를 검사하는 전원부(52)로 구성된다. 그리고, 전원부(52)는 직류전압을 공급 및 측정하는 전압공급측정단(521a,521b) 및, 직류전압만을 공급하는 전원공급단(522a,522b)을 구비하고 있다.
이와 같이 구성된 본 발명에 따른 누설전류 검사장치의 동작을 도 2를 참조하여 좀 더 구체적으로 설명한다.
입력제어부(51)에는 누설전류 검사과정, 인가전압의 크기 및 측정여부 등이 입력된다. 전원부(52)의 전압공급측정단(521a,521b)은 전압을 공급할 수도 있고, 측정할 수도 있다. 직렬로 연결된 두 저항(R1,R2)이 동일한 값이고, S1에 +5V, S2에 0V를 인가하면 저항연결부 M1의 전압은 2.5V가 될 것이다. 하지만 검사할 반도체칩 또는 전자전기회로(3)의 지정단자 P1에서 접지(ground)로 흐르는 전류통로가 내부적으로 존재하여 누설전류가 흐른다면, 단자P1과 접지(ground)사이에는 어떤 저항성분이 존재하게 되고, M1의 전압은 2.5V보다 낮아지게 된다. 따라서 누설전류 검사시, 저항성분(R1,R2)의 비율에 의해 산술적으로 결정된 전압과, 저항연결부의 측정전압(M1)이 다르면 누설전류가 흐르는 것이고, 이 경우 전압에 의해 누설전류를 계산해 낼 수 있다. 또한 두 저항값은 조정이 가능하다.
전압공급단(522a,522b)은 단지 직류전압만을 공급한다. 이것은 인근단자(P2,P3)에 전압을 인가할 경우, 회로내부적으로 단자P1에서부터 누설전류가 흐를 수도 있는 경우(worst case)를 파악하기 위한 것이다. 전원부(52)는 동시에 여러단자에서 누설전류를 검사할 수 있도록 이러한 전압공급측정단(521a,521b) 및 전압공급단(522a,522b)을 다수 구비하고 있다.
본 발명에 따른, 전압측정에 의한 누설전류 검사장치는 반도체칩으로 집적화(IC 化)시키는 것이 용이하다. 종래의 누설전류 검사장치는 누설전류가 흐를 경우 그 크기가 수㎂이므로 측정이 곤란할 뿐만아니라, 전류에 대한 개념을 바탕으로 하기 때문에 집적화(IC 化)가 힘들다. 이에 반해, 본 발명의 누설전류 검사장치는 큰 전압(소신호 측정개념에서 수V대의 전압은 큰 값)을 검사할 뿐 아니라, 전압에 대한 기본개념을 바탕하기 때문에 IC화시키기에 용이하다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 반도체칩이나 복잡한 전자전기적인 회로의 누설전류를 정확하게 검사하므로써, 검사의 효율성을 향상시키는 효과를 제공한다.

Claims (6)

  1. 누설전류 검사방법에 있어서,
    (1) 직렬연결된 2개의 저항성분에 의한 비율로 연결부의 전압을 결정하는 단계;
    (2) 검사할 반도체칩 및 전자전기회로의 해당단자에 연결하는 단계; 및,
    (3) 저항성분 연결부에서 측정된 전압과, 저항성분비로 결정된 전압을 비교하여 누설전류를 검사하는 단계를 포함하는, 전압측정에 의한 누설전류 검사방법.
  2. 누설전류 검사장치에 있어서,
    검사과정을 입력 및 제어하는 입력제어부; 및
    검사할 반도체칩 및 전자전기회로의 해당단자에 직류전압을 공급하고 전압을 측정하는 전원부를 구비하는 것을 특징으로 하는, 전압측정에 의한 누설전류 검사장치.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 전원부는
    직류전압을 공급하고 저항성분연결부의 전압을 측정하는 전압공급측정단; 및
    직류전압을 공급하는 전원공급단을 구비하는 것을 특징으로 하는, 전압측정에 의한 누설전류 검사장치.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 전압공급측정단은
    상기 2개 저항성분의 비율로 결정된 전압을 해당 핀이나 단자에 공급하고, 저항성분 연결부의 전압을 측정하는 것을 특징으로 하는, 전압측정에 의한 누설전류 검사장치.
  5. 제 3항에 있어서, 상기 전압공급단은
    그 출력전압을, 검사할 반도체칩 및 전자전기회로 해당단자의 누설전류 흐름에 내부적으로 영향을 주는 단자에 인가하는 것을 특징으로 하는, 전압측정에 의한 누설전류 검사장치.
  6. 제 2항에 있어서, 누설전류 검사장치는
    상기 저항성분 연결부의 전압을 측정하는 반도체칩을 내장하는 것을 더 포함하는, 전압측정에 의한 누설전류 검사장치.
KR1019970066929A 1997-12-09 1997-12-09 전압측정에 의한 누설전류 검사방법 및 장치 KR19990048279A (ko)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100506969B1 (ko) * 1997-12-12 2005-11-01 삼성전자주식회사 반도체 소자의 리키지 테스트 방법
KR20150018092A (ko) * 2013-08-09 2015-02-23 에스케이하이닉스 주식회사 반도체 장치 테스트 방법 및 이를 이용한 테스트 시스템

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