KR100608146B1 - 반도체 장치 테스트용 프로브 카드 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 소자 테스트용 프로브 카드에 관한 것으로, 특히 반도체 제조 공정에 있어서 칩을 검사하기 위한 프로브 카드의 2 DUT를 위한 프로브 카드에 관한 것으로, 디바이스 1개 용량의 소스로 2개의 디바이스를 테스트함으로써 생산성을 배가시키고 이에 따른 비용절감이 가능한 효과가 있다.
반도체 장치, 테스트, 프로브 카드
Description
도1은 일반적인 1 DUT를 위한 구성도 및 채널할당 테이블.
도2는 본 발명에 의한 2 DUT를 위한 구성도 및 채널할당 테이블.
본 발명은 반도체 소자 테스트용 프로브 카드에 관한 것으로, 특히 반도체 제조 공정에 있어서 칩을 검사하기 위한 프로브 카드의 2 DUT를 위한 프로브 카드에 관한 것이다.
종래 기술에 의한 일반적인 1 DUT(Device Under Test)의 구성도를 그림 1에 나타내었으며, 프로브 카드의 구성은 테스트하고자 하는 디바이스의 필요 드라이버 수를 테스트되어지는 디바이스의 필요 수 만큼 테스터 드라이브 소스로부터 개별 할당함에 따라 테스트 드라이버 소스가 부족한 경우 디바이스에 따라서는 Tester Driver Source가 부족한 경우 2 DUT가 불가능한 경우가 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 2 DUT가 가능하도록 하는 프로브 카드를 제공하는 데 있다.
상기의 기술적인 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 반도체 장치용 패키지의 테스트에 사용되는 프로브 카드는 2개의 디바이스에 동시에 인가되는 디바이스 1개 용량의 공동 드라이버 소스; 및 상기 2개의 디바이스가 개별적으로 사용하는 출력라인을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 보다 명확하게 이해될 것이다.
도2는 본 발명에 의한 2 DUT를 위한 프로브 카드의 구성 및 채널할당 테이블을 나타낸 것이다.
도1에 나타낸 종래의 기술에서는 17개의 드라이버 소스와 8개의 출력라인을 구비하고 있으나, 본 발명에서는 2 DUT 이상의 프로브 카드 제작시 17개의 드라이버를 공동 사용하게 함으로써 디바이스간 공통되는 드라이버 핀 수 만큼의 테스트 드라이버 소스의 수를 줄여주고 있으며, 각각의 DUT 마다 할당되는 출력라인을 개 별적으로 사용하도록 함으로써 동일한 드라이버 소스로 더 많은 디바이스를 테스트 할 수 있도록 하고 있다.
이를 종래의 기술과 비교하면, 단순히 출력라인의 추가만으로 동일한 드라이버를 두 디바이스가 동시에 사용하게 하여 2개의 디바이스가 동시에 테스트될 수 있다.
공통으로 사용되는 접속은 도2에 검정색으로 나타내고 있으며, 이는 인쇄회로기판의 Under layer에서 대응되는 접속점끼리 연결되어 있다.
상세히 설명된 본 발명에 의하여 본 발명의 특징부를 포함하는 변화들 및 변형들이 당해 기술 분야에서 숙련된 보통의 사람들에게 명백히 쉬워질 것임이 자명하다. 본 발명의 그러한 변형들의 범위는 본 발명의 특징부를 포함하는 당해 기술 분야에 숙련된 통상의 지식을 가진 자들의 범위 내에 있으며, 그러한 변형들은 본 발명의 청구항의 범위 내에 있는 것으로 간주된다.
상술한 바와 같이 본 발명에 의한 반도체 장치 테스트용 프로브 카드는 디바이스 1개 용량의 소스로 2개의 디바이스를 테스트함으로써 생산성을 배가시키고 이에 따른 비용절감이 가능한 효과가 있다.
Claims (2)
- 2개의 디바이스에 동시에 인가되는 디바이스 1개 용량의 공동 드라이버 소스; 및상기 2개의 디바이스가 개별적으로 사용하는 출력라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 테스트용 프로브 카드.
- 제1항에 있어서,상기 출력라인은 상기 디바이스가 추가되면 상기 디바이스에 사용되는 출력라인의 수 만큼 추가되는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 테스트용 프로브 카드.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020030102187A KR100608146B1 (ko) | 2003-12-31 | 2003-12-31 | 반도체 장치 테스트용 프로브 카드 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1020030102187A KR100608146B1 (ko) | 2003-12-31 | 2003-12-31 | 반도체 장치 테스트용 프로브 카드 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR20050069767A KR20050069767A (ko) | 2005-07-05 |
| KR100608146B1 true KR100608146B1 (ko) | 2006-08-02 |
Family
ID=37260124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020030102187A KR100608146B1 (ko) | 2003-12-31 | 2003-12-31 | 반도체 장치 테스트용 프로브 카드 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100608146B1 (ko) |
-
2003
- 2003-12-31 KR KR1020030102187A patent/KR100608146B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20050069767A (ko) | 2005-07-05 |
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