KR100939682B1 - Grinding apparatus for glass - Google Patents
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Abstract
평면디스플레이용 면취기가 개시된다. 본 발명의 평면디스플레이용 면취기는, 기판이 로딩되는 기판 로딩유닛(loading unit); 기판 로딩유닛으로부터 전달된 기판에 대해 면취 가공을 진행하는 면취 가공유닛; 및 기판 로딩유닛과 면취 가공유닛 사이 영역에 마련되어 기판을 이송하는 트랜스퍼를 포함하며, 트랜스퍼는, 상호 이격 및 접근 가능하게 마련되어 기판의 양측면에서 기판을 파지하는 다수의 기본파지유닛; 및 기판의 이송 또는 정지 도중 기판이 기본파지유닛으로부터 이탈되어 낙하되는 것을 방지하도록 기본파지유닛의 상호 이격 및 접근 방향에 교차되는 방향에서 기판을 파지하는 적어도 하나의 안전파지유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 간단하고 단순한 구조를 가지면서도 기판을 보다 안정적으로 파지할 수 있고, 특히 기판의 이송 또는 정지 도중 기판이 낙하하는 것을 방지할 수 있다.Chamfering device for flat panel display is disclosed. Chamfering device for a flat panel display of the present invention, the substrate loading unit (loading unit) is loaded substrate; A chamfering processing unit for chamfering the substrate transferred from the substrate loading unit; And a transfer provided in the area between the substrate loading unit and the chamfering processing unit to transfer the substrate, wherein the transfer includes: a plurality of basic gripping units provided to be spaced apart from each other and accessible to hold the substrate on both sides of the substrate; And at least one safety gripping unit gripping the substrate in a direction crossing the mutual separation and approaching directions of the basic gripping units to prevent the substrate from falling and falling from the basic gripping unit during transfer or stop of the substrate. do. According to the present invention, the substrate can be held more stably while having a simple and simple structure, and in particular, the substrate can be prevented from falling during the transfer or stop of the substrate.
Description
본 발명은, 평면디스플레이용 면취기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 간단하고 단순한 구조를 가지면서도 기판을 보다 안정적으로 파지할 수 있고, 특히 기판의 이송 또는 정지 도중 기판이 낙하하는 것을 방지할 수 있는 평면디스플레이용 면취기에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chamfering device for flat panel displays, and more particularly, to have a simple and simple structure and to hold the substrate more stably, and in particular, to prevent the substrate from falling during the transfer or stop of the substrate. It relates to a chamfering machine for flat panel displays.
최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.Recently, the flat panel display (FPD) has begun to emerge as the electronic display industry is rapidly developing among the semiconductor industry.
평면디스플레이(FPD)는, 종전에 TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치로서, 이에는 액정표시장치(LCD, liquid crystal display), 플라즈마 디스플레이 기판(PDP, Plasma Display Panel), 유기EL(OLED, Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.A flat panel display (FPD) is an image display device that is thinner and lighter than a cathode ray tube (CRT), which has been mainly used as a display for a TV or a computer monitor, and includes a liquid crystal display (LCD, liquid). crystal displays, plasma display panels (PDPs), organic light emitting diodes (OLEDs), and the like.
이하, LCD, PDP 및 OLED 등을 포함하는 평면디스플레이(FPD)의 패널을 기판이라 하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a panel of a flat panel display (FPD) including an LCD, a PDP and an OLED will be described as a substrate.
기판은 보통, 직사각형의 형태를 가지며 글라스(glass) 재질로 제작된다. 따 라서 기판의 4군데 코너(모서리)에 대한 코너 가공(Corner Cut), 그리고 기판의 단변 및 장변의 에지에 대한 단변 에지 가공(Edge Cut) 및 장변 에지 가공(Edge Cut), 즉 기판의 코너 및 변에 대한 모따기 식의 면취 가공을 해야만 글라스 자체의 날카로움이 제거되어 공정간 이송 및 조작이 수월해지게 되고 안전사고를 미연에 예방할 수 있는데, 이러한 면취 가공을 위해 면취기가 사용된다.The substrate is usually rectangular in shape and made of glass. Thus, corner cuts on the four corners (edges) of the substrate, and edge and edge cuts on the short and long edges of the substrate, i.e. the corners of the substrate and Only the chamfering type of chamfering process on the sides removes the sharpness of the glass itself, making it easier to transfer and manipulate between processes and preventing safety accidents. The chamfering machine is used for this chamfering process.
종래의 면취기 중에는 하나의 면취 가공용 휠(wheel)을 통해 기판에 대한 4군데 코너, 단변 에지 및 장변 에지를 모두 가공한 예가 있다. 하지만, 이처럼 하나의 면취 가공용 휠을 이용하여 4군데 코너, 단변 에지 및 장변 에지를 모두 가공하는 경우에는 연속 작업이 이루어질 수 없기 때문에 택트 타임(tact time)이 많이 소요되는 문제점이 있었다.In the conventional chamfering machine, there is an example in which all four corners, short edges, and long sides of the substrate are processed through one chamfering wheel. However, when machining all four corners, short edges and long edges by using one chamfering wheel as described above, there was a problem in that it takes a lot of tact time because continuous operation cannot be performed.
이에, 본 출원인은 종래의 문제점을 해결하기 위해, 작업라인의 가로방향으로 배치되는 복수의 스테이지를 마련함으로써, 기판에 대한 면취 가공 시 종래에 비해 택트 타임을 줄일 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있으며 나아가 작업라인을 따라 복수의 스테이지가 배치되는 면취기의 경우 복수의 스테이지 중 어느 하나에 고장이 발생되면 전체 장비가 가동될 수 없는 문제점이 발생될 수 있는데 이를 개선하여 생산성을 향상시킬 수 있는 평면디스플레이용 면취기에 대한 기술을 출원한 바 있다.Thus, the present applicant can reduce the tact time compared to the conventional when chamfering the substrate by providing a plurality of stages arranged in the transverse direction of the work line to solve the conventional problems, further improve the productivity In the case of the chamfering machine in which a plurality of stages are arranged along the work line, if a failure occurs in any one of the plurality of stages, a problem may arise that the entire equipment cannot be operated. It has applied for a technology for chamfering machine.
이러한 면취기에는 기판의 이송을 위한 수단으로서 트랜스퍼가 마련되어 있다. 트랜스퍼는 기판을 양측에서 파지한 상태에서 기판을 후공정으로 이송시키는 구조를 갖는다.Such a chamfering machine is provided with transfer as a means for conveying a board | substrate. The transfer has a structure in which the substrate is transferred to a post process while the substrate is held on both sides.
그런데, 종래의 면취기에 있어서는, 트랜스퍼에 기판 이송 방향으로는 어떠한 지지 구조도 마련되어 있지 않기 때문에 기판 이송 과정에서 기판 이송 방향으로 기판이 낙하할 위험이 있는 문제점이 있다. 특히, 택트 타임(tact time) 감소를 위해 트랜스퍼의 이동 속도가 빠르거나 기판이 대형화됨에 따라 무거워지는 경우 트랜스퍼의 전진 및 정지 과정에서 기판이 앞쪽으로 튀어나갈 위험이 높기 때문에 기판의 보다 안전한 파지와 이송 대책이 필요한 실정이다.By the way, in the conventional chamfering machine, since there is no support structure in the board | substrate conveyance direction in a transfer, there exists a problem that a board | substrate may fall in a board | substrate conveyance direction in a board | substrate conveyance process. In particular, if the transfer speed is increased to reduce the tact time or if the substrate becomes heavier as the substrate becomes larger, there is a high risk that the substrate will jump forward during the transfer and stop of the transfer. Action is needed.
본 발명의 목적은, 간단하고 단순한 구조를 가지면서도 기판을 보다 안정적으로 파지할 수 있고, 특히 기판의 이송 또는 정지 도중 기판이 낙하하는 것을 방지할 수 있는 평면디스플레이용 면취기를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a flat display chamfering device which can hold a substrate more stably while having a simple and simple structure, and in particular, can prevent the substrate from falling during the transfer or stop of the substrate.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판이 로딩되는 기판 로딩유닛(loading unit); 상기 기판 로딩유닛으로부터 전달된 상기 기판에 대해 면취 가공을 진행하는 면취 가공유닛; 및 상기 기판 로딩유닛과 상기 면취 가공유닛 사이 영역에 마련되어 상기 기판을 이송하는 트랜스퍼를 포함하며, 상기 트랜스퍼는, 상호 이격 및 접근 가능하게 마련되어 상기 기판의 양측면에서 상기 기판을 파지하는 다수의 기본파지유닛; 및 상기 기판의 이송 또는 정지 도중 상기 기판이 상기 기본파지유닛으로부터 이탈되어 낙하되는 것을 방지하도록 상기 기본파지유닛의 상호 이격 및 접근 방향에 교차되는 방향에서 상기 기판을 파지하는 적어도 하나의 안전파지유닛 을 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 면취기에 의해 달성된다.The object is, according to the present invention, a substrate loading unit (loading unit) is loaded substrate; A chamfering processing unit for chamfering the substrate transferred from the substrate loading unit; And transfers provided in an area between the substrate loading unit and the chamfering processing unit to transfer the substrates, wherein the transfers are provided to be spaced apart from each other and accessible to hold the substrates on both sides of the substrate. ; And at least one safety gripping unit that grips the substrate in a direction crossing the mutual separation and approaching directions of the basic gripping units to prevent the substrate from falling and falling from the basic gripping unit during transfer or stop of the substrate. It is achieved by a chamfering device for a flat panel display comprising a.
여기서, 상기 트랜스퍼는 상기 다수의 기본파지유닛과 상기 적어도 하나의 안전파지유닛이 결합되는 헤드부를 더 포함할 수 있으며, 상기 다수의 기본파지유닛은 상기 헤드부의 양측면 영역에 마련될 수 있으며, 상기 적어도 하나의 안전파지유닛은 상기 면취 가공유닛을 향한 상기 헤드부의 전면 영역에 마련될 수 있다.Here, the transfer may further include a head portion to which the plurality of basic gripping units and the at least one safety gripping unit are coupled, and the plurality of basic gripping units may be provided at both side regions of the head portion. One safety gripping unit may be provided in the front area of the head portion facing the chamfering processing unit.
상기 다수의 기본파지유닛은 상기 헤드부의 양측면 영역에 2개씩 4개 마련되고, 상기 적어도 하나의 안전파지유닛은 1개 마련될 수 있다.The plurality of basic gripping units may be provided two by two in both side regions of the head portion, and the at least one safety gripping unit may be provided.
상기 트랜스퍼는, 상기 2개씩의 기본파지유닛을 각각 연결하는 한 쌍의 연결부; 상기 헤드부에 마련되어 상기 한 쌍의 연결부의 이동을 안내하는 한 쌍의 안내부; 및 상기 한 쌍의 연결부가 상기 한 쌍의 안내부에 의해 안내되면서 상호간 접근 및 이격되도록 상기 한 쌍의 연결부를 구동시키는 구동부를 더 포함할 수 있다.The transfer may include a pair of connecting portions connecting the two basic gripping units, respectively; A pair of guide parts provided in the head part to guide the movement of the pair of connecting parts; And a driving unit for driving the pair of connecting portions such that the pair of connecting portions are guided by the pair of guide portions and are accessed and spaced apart from each other.
상기 트랜스퍼는, 상기 헤드부에 연결되는 고정로드; 및 상기 고정로드에 대해 상기 안전파지유닛을 회동 가능하게 지지하는 회동지지부를 더 포함할 수 있다.The transfer, the fixed rod is connected to the head portion; And a rotation support part rotatably supporting the safety gripping unit with respect to the fixed rod.
상기 다수의 기본파지유닛과 상기 적어도 하나의 안전파지유닛은, 상기 기판의 측면에 접촉된 상태에서 상기 기판의 하면을 부분적으로 떠받쳐 지지할 수 있도록 'ㄴ'자 형상을 가질 수 있다.The plurality of basic gripping units and the at least one safety gripping unit may have a 'b' shape so as to partially support the bottom surface of the substrate while being in contact with the side surface of the substrate.
상기 다수의 기본파지유닛과 상기 적어도 하나의 안전파지유닛은, 상기 기판에 스크래치(scratch)가 발생되는 것이 방지되도록 MD-PA 재질로 제작 가능하다.The plurality of basic gripping units and the at least one safety gripping unit may be made of MD-PA material to prevent scratches on the substrate.
상기 면취 가공유닛을 사이에 두고 상기 로딩 유닛의 대향측에 마련되어 상기 기판이 언로딩되는 기판 언로딩유닛(unloading unit)을 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a substrate unloading unit provided on an opposite side of the loading unit with the chamfering processing unit therebetween to unload the substrate.
상기 트랜스퍼는, 상기 기판 로딩유닛과 상기 기판 언로딩유닛을 잇는 가상의 X축을 따라 상기 다수의 기본파지유닛과 상기 적어도 하나의 안전파지유닛을 구동시키는 X축 구동부; 상기 X축에 교차되는 Y축을 따라 상기 다수의 기본파지유닛과 상기 적어도 하나의 안전파지유닛을 구동시키는 Y축 구동부; 및 상기 다수의 기본파지유닛과 상기 적어도 하나의 안전파지유닛을 상하 방향인 Z축을 따라 구동시키는 Z축 구동부를 더 포함할 수 있다.The transfer unit may include an X-axis driving unit configured to drive the plurality of basic holding units and the at least one safety holding unit along a virtual X axis connecting the substrate loading unit and the substrate unloading unit; A Y-axis driving unit driving the plurality of basic gripping units and the at least one safety gripping unit along a Y-axis crossing the X-axis; And a Z-axis driving unit configured to drive the plurality of basic gripping units and the at least one safety gripping unit along a Z axis in a vertical direction.
상기 트랜스퍼는 상기 면취 가공유닛과 상기 기판 언로딩유닛의 사이 영역에 마련될 수 있다.The transfer may be provided in an area between the chamfering processing unit and the substrate unloading unit.
상기 기판 언로딩유닛에 마련되어 면취 가공이 완료된 기판에 대한 면취량을 측정하는 면취량 측정유닛을 더 포함할 수 있다.It may further include a chamfering measurement unit provided in the substrate unloading unit for measuring the chamfering amount for the substrate chamfering is completed.
본 발명에 따르면, 간단하고 단순한 구조를 가지면서도 기판을 보다 안정적으로 파지할 수 있고, 특히 기판의 이송 또는 정지 도중 기판이 낙하하는 것을 방지할 수 있다.According to the present invention, the substrate can be held more stably while having a simple and simple structure, and in particular, the substrate can be prevented from falling during the transfer or stop of the substrate.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타 낸다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by explaining preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements.
도 1은 면취 가공되는 부분을 설명하기 위한 기판의 사시도이다.1 is a perspective view of a substrate for explaining a portion to be chamfered.
도면 대비 설명에 앞서, 이하에서 설명될 기판이라 함은 TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display) 기판을 의미하지만, 본 발명의 권리범위가 이제 제한되는 것은 아니므로 플라즈마 디스플레이 기판(PDP, Plasma Display Panel), 유기EL(OLED, Organic Light Emitting Diodes), 태양전지(SOLAR CELL) 등의 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)에도 적용될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위해 TFT-LCD 기판을 그 예로 하여 설명하기로 한다.Prior to the description with reference to the drawings, the substrate to be described below means a TFT-LCD (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display) substrate, but since the scope of the present invention is not limited to the plasma display substrate (PDP, Plasma) It can also be applied to flat panel displays (FPDs) such as display panels, organic light emitting diodes (EL), and solar cells. However, hereinafter, the TFT-LCD substrate will be described as an example for convenience of description.
참고로, TFT-LCD 기판(G1)은, 액정을 사이에 두고 상판과 하판이 합착된 상태의 두 겹으로 제작되며, 하판의 상면에는 상판이 중첩되지 않은 구간이 존재하는 것이 보통이다. 하지만, 도 1에서는 도시 및 설명의 편의를 위해 TFT-LCD 기판(G1)을 대략 사각 판 형태로 개략적으로 도시하고 있다.For reference, the TFT-LCD substrate G1 is made of two layers in which a top plate and a bottom plate are bonded together with a liquid crystal interposed therebetween, and a section in which the top plate does not overlap is usually present on the top surface of the bottom plate. However, in FIG. 1, for convenience of illustration and description, the TFT-LCD substrate G1 is schematically illustrated in a substantially rectangular plate shape.
이 도면을 참조할 때, 본 실시예의 면취기를 통해 기판(G1)은 4군데 코너, 즉 전면 양측 코너(확대 A 참조) 및 후면 양측 코너(확대 B 참조), 그리고 양측 단변 에지(확대 C 참조) 및 양측 장변 에지(확대 D 참조)가 면취 가공된다.Referring to this figure, through the chamfering of the present embodiment, the substrate G1 has four corners, namely, both front corners (see enlarged A) and rear both corners (see enlarged B), and both short side edges (see enlarged C). And both long side edges (see enlarged D) are chamfered.
자세히 후술하겠지만, 본 실시예에서 면취 가공방법은, 기판(G1)의 단변 에지 가공, 기판(G1)의 전면 양측 코너 가공, 기판(G1)의 후면 양측 코너 가공, 그리고 기판(G1)의 장변 에지 가공의 순서를 따른다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로, 택트 타임(tact time)을 감소시킬 수만 있다면 면취 가공의 순서는 해당 제조사의 공정 상황에 맞게 충분히 변경될 수 있다.As will be described later in detail, the chamfering method in the present embodiment, the short side edge processing of the substrate G1, the front side corner processing of the front surface of the substrate G1, the both sides corner processing of the back surface of the substrate G1, and the long side edge of the substrate G1 Follow the processing sequence. However, since the scope of the present invention is not limited thereto, the order of chamfering may be sufficiently changed according to the manufacturing process of the manufacturer as long as it can reduce the tact time.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 면취기에 대한 개략적인 평면도이고, 도 3 및 도 4는 각각 도 2의 부분 확대 사시도이며, 도 5는 도 3 및 도 4에 도시된 트랜스퍼의 확대 사시도이고, 도 6은 도 5의 트랜스퍼에 대한 동작을 부분적으로 도시한 사시도이며, 도 7의 (a) 내지 (f)는 평면디스플레이용 면취기에 의한 면취 가공방법을 단계적으로 도시한 구성도이다.FIG. 2 is a schematic plan view of a chamfering device for a flat display according to an embodiment of the present invention, FIGS. 3 and 4 are partially enlarged perspective views of FIG. 2, and FIG. 5 is a view of the transfer shown in FIGS. 6 is a perspective view partially illustrating an operation of the transfer of FIG. 5, and FIGS. 7A to 7F are sectional views illustrating a chamfering processing method using a chamfer for a flat panel display in stages. .
이들 도면을 참조하되 주로 도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 면취기는, 면취 가공 대상의 기판(G1)이 로딩(loading)되는 기판 로딩유닛(210)과, 기판(G1)에 대한 면취 가공이 진행되는 면취 가공유닛(220)과, 면취 가공이 완료된 기판(G2)이 언로딩(unloading)되는 기판 언로딩유닛(240)과, 기판 로딩유닛(210)과 면취 가공유닛(220)의 사이 영역, 그리고 면취 가공유닛(220)과 기판 언로딩유닛(240)의 사이 영역에 마련되어 기판(G1,G2)을 이송하는 트랜스퍼(400a,400b)를 구비한다.3 to 5, the planar display chamfering device according to an embodiment of the present invention includes a
기판 로딩유닛(210)과 기판 언로딩유닛(240) 모두는, 기판(G1,G2)을 이송시키는 역할을 하므로 도시된 바와 같이, 롤러 타입(roller type)으로 적용될 수 있다. 즉, 기판 로딩유닛(210)과 기판 언로딩유닛(240)은, 다수의 회전축(211,241) 각각에 기판(G1,G2)을 회전 가능하게 지지하는 다수의 롤러(212,242)가 결합된 구조를 가질 수 있다.Since both the
하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 기판 로딩유닛(210)과 기판 언로딩유닛(240)은, 통상의 컨베이어 타입(conveyor type)이나 스테이지 타입(stage type)으로 대체되어도 무방하다. 이처럼 기판 로딩유닛(210)과 기판 언로딩유닛(240)이 컨베이어 타입이나 스테이지 타입으로 적용되는 경우에는 기판(G1,G2)을 업(up)시키기 위한 공기부상모듈(미도시)이 함께 적용되는 것이 유리할 것이다.However, since the scope of the present invention is not limited thereto, the
다수의 롤러(212,242)는 기판(G1,G2)에 스크래치가 발생되지 않도록 유연한 재질로 제작되는 것이 바람직하다. 그리고 다수의 회전축(211,241)은 그 회전 속도의 제어가 용이하도록 단일의 모터에 의해 일괄적으로 함께 회전될 수 있지만, 반드시 그러한 것은 아니므로 개별모터에 의해 다수의 회전축(211,241) 각각이 개별적으로 회전되도록 할 수도 있다.The plurality of
기판 로딩유닛(210)에는 진입되는 기판(G1)에 대해 얼라인(align) 작업을 진행하는 얼라인부(215)가 마련되어 있다. 얼라인부(215)는 상호간 접근 및 이격되는 동작에 의해 기판(G1)의 양측면을 가압함으로써 기판(G1)을 바르게 정렬시키는 역할을 한다.The
이러한 기판 로딩유닛(210)에는 기판 언로딩유닛(240)과는 달리 기판(G1)이 진입되는 방향을 따라 다수의 진입감지센서(214)가 더 마련되어 있다. 다수의 진입감지센서(214)는 기판(G1)의 진입 위치에 기초하여 회전축(211)의 속도를 줄이거나 정지시키기 위한 감지 신호를 발생시킨다.Unlike the
기판 언로딩유닛(240)에는 면취량 측정유닛(250)이 더 마련되어 있다. 면취량 측정유닛(250)은 면취 가공유닛(220)을 통해 면취 가공이 완료된 기판(G2)에 대한 면취량을 측정하는 역할을 한다.The
면취량 측정유닛(250)에 의해 면취량이 측정된 기판(G2)에 대하여, 만약 잘 못 면취된 경우이거나 면취량이 기준치 미만인 경우라면 해당 기판은 파기되거나 혹은 면취 가공용 휠(225,227) 쪽으로 피드백되어 면취량이 보정되어 가공이 진행될 수 있다. 본 실시예에서는 면취량 측정유닛(250)이 기판 언로딩유닛(240)에 마련되어 있지만 경우에 따라 면취량 측정유닛(250)은 면취 가공유닛(220)에 마련될 수도 있다.With respect to the substrate G2 whose chamfering amount is measured by the
기판 로딩유닛(210)과 기판 언로딩유닛(240)에는, 다수의 롤러(212,242)에 대하여 기판(G1,G2)을 소정 높이 업(up)시키는 다수의 리프트 핀(213,243)이 다수의 롤러(212,242) 사이사이에 더 마련되어 있다. 이러한 리프트 핀(213,243)들은, 기판(G1,G2)의 이송을 담당하는 트랜스퍼(400a,400b)의 동작에 연동하여 동작된다. 즉, 리프트 핀(213,243)들은 트랜스퍼(400a,400b)가 기판 로딩유닛(210)에서 면취 가공유닛(220)으로, 혹은 면취 가공유닛(220)에서 기판 언로딩유닛(240)으로 기판(G1,G2)을 이송시킬 때 업(up)되는 동작을 보인다.In the
면취 가공유닛(220)은, 실질적으로 기판 로딩유닛(210)으로부터 제공된 기판(G1)의 4군데 코너, 기판(G1)의 단변 에지 및 기판(G1)의 장변 에지에 대한 면취 가공을 진행하는 부분이다(도 2 참조).The
앞서도 기술한 바와 같이, 본 실시예의 경우에는 기판(G1)의 양측 단변 에지 가공, 기판(G1)의 전면 양측 코너 가공, 기판(G1)의 후면 양측 코너 가공, 그리고 기판(G1)의 양측 장변 에지 가공의 순서로 면취 가공이 진행되므로 이의 순서를 토대로 설명하기로 한다.As described above, in the present embodiment, both side short edge edge processing of the substrate G1, both sides corner processing of the front surface of the substrate G1, both sides corner processing of the rear surface of the substrate G1, and both side long edges of the substrate G1. Since the chamfering process proceeds in the order of processing will be described based on the order thereof.
앞서도 기술한 바와 같이, 면취 가공방법 중에는, 코너 가공에서 에지 가공 으로 전환되거나 또는 그 역으로 전환되는 상황이 존재하는데, 이 경우에 종래와 같이 면취 가공용 휠(미도시)이 정렬되어야 하는 등의 이유로 기판(G1)이 면취 가공을 연속적으로 진행하지 못하고 잠시나마 대기해야 한다면 그만큼 택트 타임이 증가할 수밖에 없다. 이에, 본 실시예에서는 비록 짧은 시간일지언정 면취 가공이 연속적으로 진행되지 못하고 기판(G1)이 대기해야 하는 시간적인 로스(loss) 발생을 근본적으로 차단함으로써 종래보다 택트 타임을 더 줄이고 생산성을 향상시킬 수 있도록 하고 있는 것이다.As described above, in the chamfering processing method, there is a situation in which the corner processing is switched from edge processing to vice versa, or vice versa. In this case, the chamfering wheel (not shown) must be aligned as in the prior art. If the board | substrate G1 does not continue to chamfer continuously and needs to wait for a while, the tact time will inevitably increase by that much. Thus, in the present embodiment, even though a short time, the chamfering processing is not continuously progressed, and by fundamentally blocking the time loss generation that the substrate G1 has to wait, the tact time can be further reduced and the productivity can be improved. I'm doing it.
이를 위해, 본 실시예의 면취 가공유닛(220)은, 상면으로 기판(G1)이 안착 지지되는 2개의 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)와, X축을 따라 상호 이격되게 배치되는 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)을 구비한 그라인더(221)를 포함한다.To this end, the
본 실시예에서 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)는 Y축을 따라 2개 마련된다. 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)는 면취 가공 작업을 각각 병렬적으로 진행하기 때문에 그만큼 택트 타임이 감소되어 생산성이 향상될 수 있다.In the present embodiment, two first and
하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 하나의 스테이만이 구비될 수도 있고, 혹은 3개 이상의 스테이지가 구비될 수도 있다. 다만, 3개 이상의 스테이지가 구비되는 경우, 이들이 Y축을 따라 병렬 배치구조를 갖는다면 그것으로 충분하다.However, since the scope of the present invention is not limited thereto, only one stay may be provided, or three or more stages may be provided. However, when three or more stages are provided, it is sufficient if they have a parallel arrangement along the Y axis.
제1 및 제2 스테이지(260a,260b)는 그 위치만이 상이할 뿐 구조 및 동작은 모두 동일하다. 이에, 도시 및 설명의 편의를 위해 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)의 세부 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하도록 한다.The first and
제1 및 제2 스테이지(260a,260b)에 대해 간략하게 살펴보면, 본 실시예의 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)는 다양한 사이즈(size)의 기판에 혼용으로 적용될 수 있는 구조를 가지고 있다.Briefly referring to the first and
즉, 제1 및 제2 스테이지(260a,260b) 각각은, 기판(G1)을 흡착하여 회전시키는 하나의 턴테이블(261)과, 턴테이블(261)의 외곽에 배치되어 턴테이블(261)과 함께 기판(G1)을 흡착하여 지지하며 다양한 사이즈의 기판 모두에 대응할 수 있도록 턴테이블(261)에 대해 접근 및 이격 가능한 4개의 가변테이블(263)을 구비한다.That is, each of the first and
상면이 대략 원 형상을 가지며 중앙에 1개 마련되는 턴테이블(261)에 대해, 가변테이블(263)은 턴테이블(261)의 외곽에서 상호간 대칭되게 4개가 마련된다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 턴테이블(261)의 상면 형상은 원 형상 외에도 타원 형상이나 혹은 다각 형상이 될 수도 있고, 가변테이블(263)은 턴테이블(261)의 외곽에서 상호간 대칭되게 2개 마련될 수도 있다.With respect to the
만약, 면취 가공 대상의 기판 사이즈가 클 경우에는 턴테이블(261)과 가변테이블(263)의 전체 흡착 면적이 넓어질 수 있도록 턴테이블(261)에 대해 4개의 가변테이블(263)이 이격되어야 하고, 면취 가공 대상의 기판 사이즈가 작다면 턴테이블(261)에 대해 4개의 가변테이블(263)이 접근되어야 한다. 이 때, 4개의 가변테이블(263)이 턴테이블(261)에 대해 접근될 때, 4개의 가변테이블(263)의 측면이 턴테이블(261)에 충돌되면 아니 되기 때문에 가변테이블(263)들의 측면에는 절개부(264)가 형성되어 있다. 절개부(264)는 아크(arc) 형상을 가질 수 있는데, 반드시 그러한 것은 아니다.If the substrate size of the chamfering target is large, four variable tables 263 should be spaced apart from the
그리고 턴테이블(261)과 가변테이블(263)의 표면에는 기판(G1)의 진공 흡착을 위한 다수의 진공홀(미도시)이 형성되어 있다. 이러한 진공홀은, 턴테이블(261)과 가변테이블(263)의 표면으로부터 하방으로 일정 깊이 함몰된 상태에서 일정한 형상의 라인을 이루어 기판(G1)에 대한 진공 흡착 면적을 배가시키는 진공 흡착 라인홈(미도시)에 하나씩 형성되어 있다. 본 실시예에서 턴테이블(261)에 형성된 진공 흡착 라인홈(미도시)은 예컨대 피자(pizza) 형상으로, 가변테이블(263)에 형성된 진공 흡착 라인홈(미도시)은 한글 'ㄱ'자 형상으로 형성될 수 있는데, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니다.In addition, a plurality of vacuum holes (not shown) are formed on the surfaces of the
한편, 그라인더(221)는, 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)에 흡착 지지된 기판(G1)에 대해 실질적인 면취 가공을 진행하는 부분이다.On the other hand, the
본 실시예의 경우, Y축을 따라 2개의 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)가 마련되어 있으므로, 장비의 간소화를 위해 그라인더(221)는 공유 그라인더로서 적용된다. 이처럼 그라인더(221)가 공유 그라인더로 적용됨으로써, 그라인더(221)에 마련된 2개의 얼라인 카메라(223), 제1 면취 가공용 휠(225) 및 제2 면취 가공용 휠(227)은 제1 및 제2 스테이지(260a,260b) 쪽으로 선택적으로 이동되면서 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)와 함께 기판(G1)에 대한 면취 가공 작업을 진행하게 된다.In the present embodiment, since two first and
하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 그라인더(221)가 반드시 공유 그라인더일 필요는 없다. 즉, 제1 및 제2 스테이지(260a,260b) 마다 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)에 각각 대응되는 2개의 얼라인 카메라(223), 제1 면취 가공용 휠(225) 및 제2 면취 가공용 휠(227)이 전용으로 갖춰지도록 구성하여도 좋다.However, since the scope of the present invention is not limited thereto, the
그라인더(221)는, 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)에 안착된 기판(G1)의 얼라인(align) 작업을 위한 얼라인 카메라(223)와, 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)에 안착된 기판(G1)에 대한 면취 가공을 진행하되 X축을 따라 상호 이격되게 배치되는 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)을 구비한다.The
얼라인 카메라(223)는 기판(G1)의 어느 한 변에 형성된 2개의 얼라인 마크(align mark)를 촬영하기 위해 2개 마련된다. 즉, 적어도 2개의 얼라인 마크를 촬영해야만 기판(G1)에 대한 얼라인 작업이 가능하고, 그에 기초하여 제1 면취 가공용 휠(225), 그리고 제2 면취 가공용 휠(227)의 간격들이 결정될 수 있기 때문에 본 실시예에서는 2개의 얼라인 카메라(223)가 마련된다.Two
제1 면취 가공용 휠(225)은 기판(G1)의 양측 단변 에지에 대한 면취 가공 및 기판(G1)의 후면 코너 가공을 진행하고, 제2 면취 가공용 휠(227)은 기판(G1)의 전면 코너 가공 및 기판(G1)의 양측 장변 에지에 대한 면취 가공을 진행하기 때문에 2개씩 마련된다.The
제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)의 구조에 대해 살펴보면, 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)은 Z축을 따라 외주면의 일 영역이 상호 중첩되게 배치되어 기판(G1)의 4군데 코너, 기판(G1)의 단변 에지 및 기판(G1)의 장변 에지를 모두 가공하는 다수의 제1 내지 제4 멀티 휠(225a~225d, 227a~227d, multi wheel)로 적용된다. 다시 말해, 제1 면취 가공용 휠(225)은 4개 의 제1 내지 제4 멀티 휠(225a~225d)의 조합에 의해, 그리고 제2 면취 가공용 휠(227)은 4개의 제1 내지 제4 멀티 휠(227a~227d)의 조합에 의해 마련된다. 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)은 각각 휠 회전용 하우징(231,232)에 의해 회전 가능하게 결합되어 있다. 휠 회전용 하우징(231,232)은 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)을 지지하는 역할 외에도 모터 등을 이용하여 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)을 회전시키는 역할을 겸한다.Looking at the structure of the first and second chamfering wheels (225, 227), as shown in Figure 5, the first and second chamfering wheels (225,227) are arranged so that one region of the outer peripheral surface overlap each other along the Z axis With a plurality of first to fourth multi-wheels 225a to 225d, 227a to 227d, multi wheels for processing all four corners of the substrate G1, the short side edge of the substrate G1, and the long side edge of the substrate G1. Apply. In other words, the
이러한 구성에서, 기판(G1)의 단변 에지에 대한 면취 가공은 제1 면취 가공용 휠(225)의 제1 및 제3 멀티 휠(225a,225c)과, 제2 및 제4 멀티 휠(225b,225d) 사이 영역에서 진행되고, 기판(G1)의 후면 코너 가공은 제1 면취 가공용 휠(225)의 제3 및 제4 멀티 휠(225c,225d)의 경사 표면 영역에서 진행된다. 그리고 기판(G1)의 전면 코너 가공은 제2 면취 가공용 휠(227)의 제3 및 제4 멀티 휠(227c,227d)의 경사 표면 영역에서 진행되고, 기판(G1)의 장변 에지에 대한 면취 가공은 제2 면취 가공용 휠(227)의 제1 및 제3 멀티 휠(227a,227c)과, 제2 및 제4 멀티 휠(227b,227d) 사이 영역에서 진행된다.In this configuration, the chamfering of the short side edge of the substrate G1 is performed by the first and third
한편, 본 실시예의 그라인더(221)는 공유 그라인더이므로, 얼라인 카메라(223), 제1 면취 가공용 휠(225) 및 제2 면취 가공용 휠(227)은 제1 스테이지(260a)와 함께 제1 스테이지(260a) 상의 기판에 대한 면취 가공 작업도 진행해야 하고, 제2 스테이지(260b)와 함께 제2 스테이지(260b) 상의 기판에 대한 면취 가공 작업도 진행해야 한다.On the other hand, since the
따라서 얼라인 카메라(223), 제1 면취 가공용 휠(225) 및 제2 면취 가공용 휠(227)은 Y축을 따라 이동이 가능해야 한다. 이를 위해, 카메라 이동지지부(224), 제1 휠 이동지지부(226) 및 제2 휠 이동지지부(228)가 구비된다.Accordingly, the
카메라 이동지지부(224)는 2개의 얼라인 카메라(223)가 Y축을 따라 개별 혹은 집단으로 이동 가능하도록 2개의 얼라인 카메라(223)를 이동 가능하게 지지하고, 제1 휠 이동지지부(226)는 2개의 제1 면취 가공용 휠(225)이 Y축을 따라 개별 혹은 집단으로 이동 가능하도록 2개의 제1 면취 가공용 휠(225)을 이동 가능하게 지지하며, 제2 휠 이동지지부(228)는 2개의 제2 면취 가공용 휠(227)이 Y축을 따라 개별 혹은 집단으로 이동 가능하도록 2개의 제2 면취 가공용 휠(227)을 이동 가능하게 지지한다.The
본 실시예에서 카메라 이동지지부(224), 제1 휠 이동지지부(226) 및 제2 휠 이동지지부(228)는 리니어 모터로 구현될 수 있지만 반드시 그러한 것은 아니다. 뿐만 아니라 도면에 보면 카메라 이동지지부(224), 제1 휠 이동지지부(226) 및 제2 휠 이동지지부(228)가 각기 개별적으로 도시되어 있지만, 이들은 한 몸체로 상호 연결될 수도 있는 것이다.In this embodiment, the
2개의 얼라인 카메라(223)는 카메라 이동지지부(224)에 의해 Y축으로 이동되면 그것으로 충분하다. 하지만, 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)은 제1 및 제2 휠 이동지지부(226,228)에 의해 Y축으로 이동될 뿐만 아니라 기판(G1)의 4군데 코너 가공, 그리고 단변 및 장변 에지 가공을 위해 Z축으로도 승하강이 가능해야 한다.The two
이를 위해, 본 실시예의 그라인더(221)에는 제1 휠 이동지지부(226)에 결합 되어 2개의 제1 면취 가공용 휠(225)을 Z축으로 승하강시키는 제1 휠 승하강부(226a)와, 제2 휠 이동지지부(228)에 결합되어 2개의 제2 면취 가공용 휠(227)을 Z축으로 승하강시키는 제2 휠 승하강부(228a)가 더 마련된다. 제1 휠 승하강부(226a)와 제2 휠 승하강부(228a)는 실린더로 적용될 수 있지만, 이 역시 리니어 모터나 혹은 모터와 볼스크루 조합에 의해 적용될 수도 있다.To this end, the
한편, 본 실시예의 경우, 면취 가공유닛(220)을 통해 기판(G1)의 4군데 코너 가공, 기판(G1)의 단변 에지 가공 및 기판(G1)의 장변 에지 가공 작업이 진행될 때, 기판(G1)의 4군데 코너 가공, 기판(G1)의 단변 에지 가공 및 기판(G1)의 장변 에지 가공 작업이 실질적으로 대기 시간 없이 연속적으로 진행될 수 있도록, 그라인더(221)의 동작을 제어하는 제어부가 더 구비될 수 있는데, 이러한 일련의 제어 동작에 대해서는 아래의 면취 가공방법에 포함시켜 함께 설명하도록 한다.On the other hand, in the present embodiment, when the four corner processing of the substrate G1, the short side edge processing of the substrate G1 and the long side edge processing of the substrate G1 through the
한편, 트랜스퍼(400a,400b)는, 기판 로딩유닛(210)과 면취 가공유닛(220) 사이 영역, 그리고 면취 가공유닛(220)과 기판 언로딩유닛(240) 사이 영역에 마련되어 기판 로딩유닛(210) 상의 가공 전 기판(G1)을 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)로, 제1 및 제2 스테이지(260a,260b) 상의 가공 완료 기판(G2)을 기판 언로딩유닛(240)으로 이송시키는 역할을 한다.On the other hand, the
본 실시예에서, 기판 로딩유닛(210)과 면취 가공유닛(220) 사이 영역, 그리고 면취 가공유닛(220)과 기판 언로딩유닛(240) 사이 영역에 마련되어 있는 트랜스퍼(400a,400b)의 구조 및 동작은 모두 동일하다. 이에, 도시 및 설명의 편의를 위해 트랜스퍼(400a,400b)의 세부 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하도록 한 다.In this embodiment, the structure of the transfer (400a, 400b) provided in the region between the
주로 도 5 및 도 6을 참조할 때, 트랜스퍼(400a,400b)는, 기판(G1,G2)의 양측면에서 기판(G1,G2)을 파지하는 다수의 기본파지유닛(410)과, 다수의 기본파지유닛(410)과는 다른 위치에 마련되어 기판(G1,G2)의 이송 또는 정지 도중 기판(G1,G2)이 기본파지유닛(410)으로부터 이탈되어 낙하되는 것을 방지하는 안전파지유닛(430)을 구비한다.Mainly referring to FIGS. 5 and 6, the
도시된 바와 같이, 기본파지유닛(410)들과 안전파지유닛(430)은 헤드부(440)에 결합되어 있다. 따라서 후술할 X축 구동부(461), Y축 구동부(462) 및 Z축 구동부(463)에 의해 헤드부(440)가 원하는 위치로 이동되면 이와 함께 기본파지유닛(410)들과 안전파지유닛(430) 역시 해당 위치로 이동될 수 있게 된다.As shown, the
본 실시예에서 다수의 기본파지유닛(410)들은 헤드부(440)의 양측면(단변) 영역에 2개씩 4개 마련되고, 안전파지유닛(430)은 면취 가공유닛(220) 혹은 기판 언로딩유닛(240)을 향한 헤드부(440)의 전면(장변) 영역에 1개 마련된다.In the present embodiment, the plurality of basic
하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한될 필요는 없으므로 헤드부(440)의 양측면 영역에 1개씩의 기본파지유닛(410)이 마련되거나 혹은 헤드부(440)의 양측면 영역에 3개씩, 혹은 그 이상 개수씩의 기본파지유닛(410)이 마련되어도 좋다. 그리고 안전파지유닛(430)의 경우에 헤드부(440)의 전면(장변) 영역에도 2개 이상 마련될 수 있으며, 헤드부(440)의 전면(장변) 영역과 후면(장변) 영역에 모두 마련될 수도 있다. 안전파지유닛(430)의 개수가 많아지면 큰 기판의 처짐을 방지할 수 있는 효과가 있으므로 효율적인 구조로 적절히 선택될 수 있는 것이다.However, since the scope of the present invention does not need to be limited thereto, one basic
4개의 기본파지유닛(410)에 대해 살펴보면, 4개의 기본파지유닛(410)은 본 실시예에서 헤드부(440)의 단변 영역에 2개씩 마련된다. 이 때, 2개씩의 기본파지유닛(410)은 한 쌍의 연결부(411a,411b)에 의해 각각 연결되어 있다.Looking at the four basic
한 쌍의 연결부(411a,411b)는 헤드부(440)의 측면에 형성되어 한 쌍의 연결부(411a,411b)의 이동을 안내하는 한 쌍의 안내부(412a,412b)에 이동 가능하게 수용 결합되어 있다. 본 실시예의 경우, 안내부(412a,412b)는 한 쌍으로 되어 있지만, 안내부(412a,412b)는 도면처럼 분리되지 않고 일체형으로 관통된 구조를 가질 수도 있다.The pair of connecting
트랜스퍼(400a,400b)에는 소정의 제어신호에 의해 한 쌍의 연결부(411a,411b)가 한 쌍의 안내부(412a,412b)에 의해 안내되면서 상호간 접근 및 이격되도록 한 쌍의 연결부(412a,412b)를 구동시키는 구동부(413)가 더 구비된다. 구동부(413)에 대해서는 자세하게 도시하고 있지 않지만, 구동부(413)는 모터와, 모터에 의해 정역 방향으로 회전하되 한 쌍의 연결부(411a,411b)에 서로 다른 방향의 나사산을 가지고 연결되는 볼스크루축으로 구현될 수 있다.In the
이에, 구동부(413)의 모터에 전원이 인가되어 볼스크루축이 정 방향으로 회전하면 예컨대 도 6의 점선과 같이 2개씩의 기본파지유닛(410)은 한 쌍의 연결부(411a,411b)에 의해 상호간 접근될 수 있고, 반대로 볼스크루축이 역 방향으로 회전하면 2개씩의 기본파지유닛(410)은 한 쌍의 연결부(411a,411b)에 의해 상호간 이격될 수 있다. 이처럼 4개의 기본파지유닛(410)이 상호간 접근 및 이격됨에 따라 다양한 사이즈의 기판에 공히 적용할 수 있는 이점이 있다.Thus, when power is applied to the motor of the
1개의 안전파지유닛(430)의 구조에 대해 살펴보면, 안전파지유닛(430)의 장착을 위해 고정로드(431)와, 회동지지부(433)가 구비된다.Looking at the structure of one
고정로드(431)는 헤드부(440)에 고정되게 설치되는 소위 브래킷과 같은 구성으로서, 고정로드(431)는 수직로드(431a)와, 수직로드(431a)의 단부에서 수직로드(431a)에 가로로 형성되는 수평로드(431b)를 구비한다.The fixed
회동지지부(433)는 수평로드(431b)의 단부에서 안전파지유닛(430)을 지지하는데, 회동지지부(433)는 수평로드(431b)에 대해 안전파지유닛(430)을 회동 가능하게 지지한다. 회동지지부(433)의 회동 동작은 전술한 제어신호에 의해 기본파지유닛(410)들이 동작될 때 연동하여 동작된다. 즉, 도 6의 점선과 같이 기본파지유닛(410)들이 동작되어 실질적으로 기판(G1,G2)의 양측면 및 하면 일부를 지지하는 경우, 도 6의 점선과 같이 회동지지부(433)의 회동 동작에 기초하여 안전파지유닛(430)으로 하여금 기판(G1,G2)의 전면 및 하면 일부를 지지하여 기판(G1,G2)의 이송 또는 정지 도중 기판(G1,G2)이 낙하되는 현상을 방지하도록 한다.The
이와 같이, 실질적으로 기판(G1,G2)을 단순히 파지하거나 혹은 안정적으로 파지하기 위해 마련되는 기본파지유닛(410)들과 안전파지유닛(430)은, 모두가 해당 위치에서 기판(G1,G2)의 측면에 접촉된 상태에서 기판(G1,G2)의 하면을 부분적으로 떠받쳐 지지할 수 있도록 'ㄴ'자 형상으로 제작된다. 하지만, 이의 형상에 본 발명의 권리범위가 제한되지는 않는다.As described above, the basic
그리고 기본파지유닛(410)들과 안전파지유닛(430)은 모두 기판(G1,G2)에 접촉되면서 기판(G1,G2)을 파지하기 때문에 기판(G1,G2)에 접촉되는 과정에서 기 판(G1,G2)에 스크래치(scratch)를 발생시킬 우려가 있다.In addition, since the basic
이에, 본 실시예에서는 기판(G1,G2)에 스크래치가 발생되는 것이 방지되도록 기본파지유닛(410)들과 안전파지유닛(430) 모두를 MD-PA 재질로 제작하고 있다. 하지만, MD-PA 재질이 아니더라도 기판(G1,G2)에 손상을 주지 않는 재질이면서 일정한 강성을 보유할 수만 있다면 기본파지유닛(410)들과 안전파지유닛(430)이 다른 재질로 제작되어도 무방한 것이다.Thus, in the present embodiment, both the basic
한편, 앞서도 기술한 바와 같이, 다양한 사이즈의 기판을 모두 파지할 수 있도록, 특히 기본파지유닛(410)들은 상호간 접근 및 이격 가능하도록 마련되는데, 이 외에도 트랜스퍼(400a,400b) 그 자체는 기판 로딩유닛(210) 상의 기판(G1)을 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)로, 제1 및 제2 스테이지(260a,260b) 상의 기판(G2)을 기판 언로딩유닛(240)으로 이송시키기 위해 X축, Y축 및 Z축으로 이동 가능하게 마련된다.On the other hand, as described above, in order to hold all the substrates of various sizes, in particular the
이를 위해, 본 실시예의 트랜스퍼(400a,400b)는 기판 로딩유닛(210)과 기판 언로딩유닛(240)을 잇는 가상의 X축을 따라 기본파지유닛(410)들과 안전파지유닛(430)이 결합된 헤드부(440)를 구동시키는 X축 구동부(461)와, X축에 교차되는 Y축을 따라 헤드부(440)를 구동시키는 Y축 구동부(462)와, 헤드부(440)를 상하 방향인 Z축을 따라 구동시키는 Z축 구동부(463)를 더 구비한다.To this end, the
X축 구동부(461), Y축 구동부(462) 및 Z축 구동부(463)는 선형 이동 제어가 용이한 리니어 모터에 의해 구현될 수 있으나, 경우에 따라 실린더나 혹은 모터, 볼스크루 조합 등의 구조에 의해 구현될 수도 있다.The
이러한 구성을 갖는 면취기를 이용하여 기판(G1)에 대해 면취 가공을 진행하는 일련의 방법에 대해 도 6 및 도 7을 참조하여 설명한다.A series of methods for chamfering the substrate G1 using a chamfer having such a configuration will be described with reference to FIGS. 6 and 7.
우선, 면취 가공 대상의 기판(G1)이 기판 로딩유닛(210) 상의 롤러(212)를 통해 이송된다. 롤러(212)의 회전에 의해 이송되는 기판(G1)은 진입감지센서(214)의 신호에 기초하여 회전축(211)의 동작이 정지됨에 따라 작업 위치에 정지된다. 이어, 얼라인부(215)가 기판(G1)의 양측면을 가압하여 기판(G1)을 얼라인시키고 나면, 리프트 핀(213)들이 기판(G1)을 업(up)시킨다.First, the substrate G1 to be chamfered is transferred through the
기판(G1)이 업(up)되면, 트랜스퍼(400a)가 X축 구동부(461), Y축 구동부(462) 및 Z축 구동부(463)에 의해 X축, Y축 및 Z축을 따라 움직이면서 기본파지유닛(410)들과 안전파지유닛(430)으로 기판(G1)을 파지한다. 즉, 도 6의 점선과 같이 기본파지유닛(410)들이 동작되어 기판(G1,G2)의 양측면 및 하면 일부를 지지하고, 이어 회동지지부(433)의 구동에 따라 안전파지유닛(430)이 동작되어 기판(G1,G2)의 전면 및 하면 일부를 지지한다. 기본파지유닛(410)들과 안전파지유닛(430)에 의해 기판(G1)이 파지되고 나면, X축 구동부(461), Y축 구동부(462) 및 Z축 구동부(463)에 의해 X축, Y축 및 Z축을 따라 움직이면서 트랜스퍼(400a)는 파지된 기판(G1)을 제1 스테이지(260a)의 상면으로 배치시킨 후 기본파지유닛(410)들과 안전파지유닛(430)의 동작을 해제하여 기판(G1)을 제1 스테이지(260a)의 상면으로 로딩시킨다.When the substrate G1 is up, the
제1 스테이지(260a)의 상면으로 올려진 기판(G1)은 제1 스테이지(260a)를 이루는 턴테이블(261) 및 가변테이블(263)의 표면에 형성된 진공홀을 통해 진공 흡인 력이 제공됨에 따라 턴테이블(261) 및 가변테이블(263)의 표면에서 흡착 지지된다.The substrate G1 raised to the upper surface of the
이와 같이 기판(G1)이 제1 스테이지(260a)의 상면에서 흡착 지지되고 나면, 제1 스테이지(260a)는 X축 방향으로 이동한다. X축 방향으로 이동한 기판은 도 7의 (a)와 같이 얼라인 카메라(223)에 의해 얼라인 마크가 촬상되면서 얼라인 작업이 진행된다. 얼라인 작업이 진행되는 동안 제1 면취 가공용 휠(225)은 기판(G1)의 양측 단변 에지 가공을 위한 작업 위치로 미리 이동하여 대기한다. 이 경우, 제2 면취 가공용 휠(227)은 제2 스테이지(260b) 쪽에서 다른 기판에 대한 면취 가공 작업을 하고 있는 것으로 보고, 도 7의 (a)에서는 점선 처리하고 있다.After the substrate G1 is adsorbed and supported on the upper surface of the
얼라인 작업이 완료되면, 도 7의 (b)에 도시된 바와 같이, 제1 스테이지(260a)는 기판(G1)을 제1 면취 가공용 휠(225) 쪽으로 전진시킨다. 이 때, 제1 면취 가공용 휠(225)은 기판(G1)의 양측 단변 에지 가공을 위한 작업 위치로 미리 이동하여 대기하고 있는 상태이므로, 기판(G1)은 멈추지 않고 제1 스테이지(260a)에 의해 계속 전진하여 제1 면취 가공용 휠(225)을 이루는 제1 및 제3 멀티 휠(225a,225c), 그리고 제2 및 제4 멀티 휠(225b,225d) 사이 영역을 지나게 되고, 이로써 기판(G1)의 양측 단변 에지에 대한 면취 가공이 완료된다.When the alignment operation is completed, as shown in FIG. 7B, the
이처럼 제1 면취 가공용 휠(225)에 의해 기판(G1)의 양측 단변 에지에 대한 면취 가공이 진행되는 동안에, 제2 면취 가공용 휠(227)은 제1 스테이지(260a)의 이동 경로 상으로 이동하게 되는데, 이 경우 제2 면취 가공용 휠(227)은 기판(G1)의 전면 양측 코너 가공을 위한 작업 위치로 미리 이동하여 대기하게 된다.As described above, while the chamfering processing of both short side edges of the substrate G1 is performed by the
따라서 제1 면취 가공용 휠(225)을 지나 양측 단변 에지 가공이 완료된 기 판(G1)은, 멈추지 않고 제1 스테이지(260a)에 의해 계속 전진하여 도 7의 (c)와 같이 작업 위치에 미리 대기하고 있던 제2 면취 가공용 휠(227)의 제3 및 제4 멀티 휠(227c,227d)에 접촉됨으로써 그 전면 양측 코너에 대해 면취 가공이 진행된다.Therefore, the substrate G1 on which both short-side edge machining has been completed past the
이처럼 기판(G1)의 전면 양측 코너에 대해 면취 가공이 진행되는 동안에, 제1 면취 가공용 휠(225)은 기판(G1)의 후면 양측 코너 가공을 위한 작업 위치로 미리 이동하여 대기하게 된다.As described above, while the chamfering process is performed on both front corners of the substrate G1, the
전면 양측 코너에 대해 면취 가공이 완료된 기판(G1)은, 멈추지 않고 제1 스테이지(260a)에 의해 반대로 후진하여 도 7의 (d)와 같이 작업 위치에 미리 대기하고 있던 제1 면취 가공용 휠(225)의 제3 및 제4 멀티 휠(225c,225d)에 접촉됨으로써 그 후면 양측 코너에 대해 면취 가공이 진행된다.The board | substrate G1 with which chamfering process was completed with respect to the front both sides corners does not stop, but reverses by the
다음, 기판(G1)의 양측 장변 에지에 대한 면취 가공을 위해, 도 7의 (e)와 같이 제1 스테이지(260a) 상에서 기판(G1)이 회전된다. 기판(G1)의 회전은 제1 스테이지(260a)를 이루는 턴테이블(261)에 의해 수행된다. 이 경우, 제1 면취 가공용 휠(225)은 제2 스테이지(260b) 쪽에서 다른 기판에 대한 면취 가공 작업을 하고 있는 것으로 보고, 도 7의 (e) 및 (f)에서는 점선 처리하고 있다.Next, to chamfer the long side edges of both sides of the substrate G1, the substrate G1 is rotated on the
이처럼 양측 장변 에지에 대한 면취 가공을 위해 기판(G1)이 회전되는 동안에, 제2 면취 가공용 휠(227)은 기판(G1)의 양측 장변 에지 가공을 위한 작업 위치로 미리 이동하여 대기하게 된다.As described above, while the substrate G1 is rotated for chamfering on both long side edges, the
그런 다음, 회전이 완료된 기판(G1)은, 그 즉시 제1 스테이지(260a)에 의해 전진하여 도 7의 (f)와 같이 제2 면취 가공용 휠(227)을 이루는 제1 및 제3 멀티 휠(227a,227c), 그리고 제2 및 제4 멀티 휠(227b,227d) 사이 영역을 지나게 되고, 이로써 기판(G1)의 양측 장변 에지에 대한 면취 가공이 완료된다.Subsequently, the substrate G1, which has been rotated, is immediately moved by the
면취 가공이 완료된 기판(G2)은 면취 가공유닛(220)과 기판 언로딩유닛(240) 사이 영역에 마련되어 있는 트랜스퍼(400b)의 동작에 기인하여 기판 언로딩유닛(240) 상으로 이송되어 취출된다. 이 때, 트랜스퍼(400b)는 기본파지유닛(410)들과 안전파지유닛(430)으로 기판(G2)을 파지한 상태로 기판(G2)을 이송시키기 때문에 안전한 이송이 보장된다.The substrate G2 of which the chamfering process is completed is transferred to the
이와 같이, 본 실시예에 따르면, 간단하고 단순한 구조를 가지면서도 기판(G1,G2)을 보다 안정적으로 파지할 수 있고, 특히 기판의 이송 또는 정지 도중 기판이 낙하하는 것을 방지할 수 있게 된다.As described above, according to the present embodiment, the substrates G1 and G2 can be held more stably while having a simple and simple structure, and in particular, it is possible to prevent the substrate from falling during the transfer or stop of the substrate.
전술한 실시예에서는 기판의 단변을 먼저 가공하고 장변을 가공하는 것으로 설명하였지만, 장변을 먼저 가공한 후 기판을 회전시켜 단변을 가공하는 형태가 되어도 무방하다.In the above embodiment, the short side of the substrate is first processed and the long side is processed, but the long side may be processed first, and the substrate may be rotated to form the short side.
전술한 실시예에서는 제1 및 제2 면취 가공용 휠이 기판 로딩유닛과 기판 언로딩유닛을 연결하는 가상의 작업라인을 따라 상호 이격배치되고 있으나, 제1 및 제2 면취 가공용 휠은 기판 로딩유닛과 기판 언로딩유닛을 연결하는 가상의 작업라인에 교차하는 방향으로 상호 이격배치될 수도 있다.In the above-described embodiment, the first and second chamfering wheels are spaced apart from each other along a virtual work line connecting the substrate loading unit and the substrate unloading unit. The substrate unloading unit may be spaced apart from each other in a direction crossing the virtual work line.
또한 전술한 실시예에서는 2개의 제1 및 제2 면취 가공용 휠이 마련되고 있지만, 하나의 면취 가공용 휠만이 구비될 수도 있다.In addition, in the above-described embodiment, two first and second chamfering wheels are provided, but only one chamfering wheel may be provided.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사 상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.As described above, the present invention is not limited to the described embodiments, and various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. It will be apparent to those skilled in the art. Therefore, such modifications or variations will have to be belong to the claims of the present invention.
도 1은 면취 가공되는 부분을 설명하기 위한 기판의 사시도이다.1 is a perspective view of a substrate for explaining a portion to be chamfered.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 면취기에 대한 개략적인 평면도이다.2 is a schematic plan view of a chamfering device for a flat panel display according to an embodiment of the present invention.
도 3 및 도 4는 각각 도 2의 부분 확대 사시도이다.3 and 4 are partially enlarged perspective views of FIG. 2, respectively.
도 5는 도 3 및 도 4에 도시된 트랜스퍼의 확대 사시도이다.5 is an enlarged perspective view of the transfer illustrated in FIGS. 3 and 4.
도 6은 도 5의 트랜스퍼에 대한 동작을 부분적으로 도시한 사시도이다.6 is a perspective view partially showing the operation of the transfer of FIG. 5.
도 7의 (a) 내지 (f)는 평면디스플레이용 면취기에 의한 면취 가공방법을 단계적으로 도시한 구성도이다.7 (a) to 7 (f) are block diagrams illustrating the chamfering processing method by the chamfering machine for flat display.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
210 : 기판 로딩유닛 220 : 면취 가공유닛210: substrate loading unit 220: chamfering processing unit
221 : 그라인더 223 : 얼라인 카메라221: Grinder 223: Align Camera
225 : 제1 면취 가공용 휠 227 : 제2 면취 가공용 휠225: first chamfering wheel 227: second chamfering wheel
240 : 기판 언로딩유닛 250 : 면취량 측정유닛240: substrate unloading unit 250: chamfering measurement unit
260a,260b : 스테이지 400a,400b : 트랜스퍼260a, 260b:
410 : 기본파지유닛 430 : 안전파지유닛410: basic gripping unit 430: safety gripping unit
440 : 헤드부 461 : X축 구동부440: head portion 461: X axis drive portion
462 : Y축 구동부 463 : Z축 구동부462: Y-axis driver 463: Z-axis driver
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