KR100822280B1 - Glass input system - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 투입 시스템의 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a substrate input system according to an embodiment of the present invention.
도 2 내지 도 6은 각각 도 1에 도시된 기판 투입 시스템에 수직 타입 크레이트(crate)가 적용되어 기판이 투입되고 있는 동작을 도시한 도면들이다.2 to 6 are views illustrating an operation in which a substrate is loaded by applying a vertical type crate to the substrate loading system illustrated in FIG. 1.
도 7 내지 도 11은 각각 도 1에 도시된 기판 투입 시스템에 수평 타입 크레이트(crate)가 적용되어 기판이 투입되고 있는 동작을 도시한 도면들이다.7 to 11 are views illustrating an operation in which a substrate is loaded by applying a horizontal type crate to the substrate loading system illustrated in FIG. 1.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 투입 시스템에 대한 개략적인 블록다이어그램이다.12 is a schematic block diagram of a substrate input system according to an embodiment of the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
G : 기판 1 : 수직 타입 크레이트G: Substrate 1: Vertical Type Crate
3 : 수평 타입 크레이트 5 : 간지3: horizontal type crate 5: icebreaker
14 : 크레이트 이송부 16 : 기판 반송부14: crate transfer unit 16: substrate transfer unit
16a : 롤러 18 : 버퍼부16a: roller 18: buffer portion
20 : 겸용 기판 투입로봇 31 : 지지부20: combined substrate insertion robot 31: support part
33 : 흡착유닛 33a : 헤드본체33:
33b : 흡착패드 33c : 연결부33b:
35 : 다관절아암 40 : 기판 로딩용 핸드35: articulated arm 40: hand for loading the substrate
41 : 승하강부 45 : 포크41: lifting portion 45: fork
45a : 가로바아 45b : 지지패드45a:
45c : 세로바아 50 : 겸용 간지 제거로봇45c: Vertical Bar 50: Combined Ice Sheet Removal Robot
52 : 흡착부 54 : 간지수거부52: adsorption unit 54: liver tick collection unit
60 : 로봇제어부 65 : 감지부60: robot control unit 65: detection unit
본 발명은, 기판 투입 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 수직 및 수평 타입 크레이트(crate)가 겸용으로 사용될 수 있어 라인(Line)의 구조가 단순해질 수 있음은 물론 그에 따른 풋프린트(Foot Print)가 감소될 수 있으며, 특히 각종 로봇을 포함한 장비수를 줄일 수 있기 때문에 전반적으로 시스템을 축조하는데 따른 비용을 절감시킬 수 있는 기판 투입 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate input system, and more particularly, vertical and horizontal type crate can be used as a combination can simplify the structure of the line (Line) as well as the resulting footprint (Foot Print) ) Can be reduced, and in particular, because the number of equipment including various robots can be reduced, it relates to a substrate input system that can reduce the overall cost of building the system.
기판이라 함은, 액정디스플레이(LCD, Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이(PDP, Plasma Display Panel) 및 유기EL(OLED, Organic Light Emitting Diodes)과 같은 평판표시소자(FPD, Flat Panel Display), 반도체용 웨이퍼(wafer), 포토 마스크용 글라스(glass) 등을 가리킨다.Substrates are used for flat panel displays (FPDs), semiconductors, such as liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs) and organic light emitting diodes (OLEDs). Wafer, glass for a photomask, etc. are pointed out.
평판표시소자(FPD)로서의 기판과, 반도체용 웨이퍼로서의 기판은 상호간 재질적인 면이나, 용도 등에서 차이가 있지만, 기판들에 대한 일련의 처리 공정, 예 를 들어 노광, 현상, 에칭, 스트립, 린스, 세정 등의 공정은 실질적으로 매우 흡사하며, 이 공정들이 순차적으로 진행됨으로써 기판이 제조된다.Although a substrate as a flat panel display device (FPD) and a substrate as a semiconductor wafer are different in terms of materials and uses thereof, a series of processing processes for the substrates, for example, exposure, development, etching, strip, rinse, Processes, such as cleaning, are substantially very similar, and these processes proceed sequentially to produce a substrate.
따라서 아래에서 설명되는 기판은 전술한 모든 것을 포함하는 용어라 간주될 수 있다. 다만, 설명의 편의를 위해서 이하에서는 평판표시소자(FPD) 중에서도 특히, LCD 기판을 기판이라 하여 설명하기로 한다.Thus, the substrates described below may be considered to be all-inclusive terms. However, for convenience of description, hereinafter, the LCD substrate will be described as a substrate among flat panel display devices (FPD).
기판은 기판 제조사에서 제조된 후 기판 가공업체로 공급된다. 이처럼 기판 제조사에서 기판 가공업체로 기판이 공급될 때는 소위, 크레이트(crate)라는 것이 이용된다. 크레이트란 수십 내지 수백 장의 기판을 담는 컨테이너로 이해될 수 있다. 보통, 하나의 크레이트 내에는 120 내지 200장 정도의 기판이 적재된다. 이 때, 크레이트 내의 각 기판들 사이에는 상호간 물리적인 충격에 의해 기판에 스크래치(scratch)가 발생하는 것을 방지하기 위해 얇은 간지가 개재된다.The substrate is manufactured by the substrate manufacturer and then supplied to the substrate processor. When a substrate is supplied from a substrate manufacturer to a substrate processor, a so-called crate is used. A crate can be understood as a container containing tens to hundreds of substrates. Usually, about 120 to 200 substrates are loaded in one crate. At this time, a thin sheet of paper is interposed between the substrates in the crate to prevent scratches on the substrate due to physical impacts between the substrates.
기판들이 적재된 크레이트가 기판 제조사에서 기판 가공업체로 공급되면, 기판 가공업체에서는 기판 투입 시스템(Glass Input System)을 통해 후공정으로 기판을 한 장씩 투입하게 된다. 즉, 크레이트로부터 낱장의 한 장씩 기판을 취출하여 후공정으로 투입하게 된다.When the crates loaded with the substrates are supplied from the substrate manufacturer to the substrate processor, the substrate processor inserts the substrates one by one through the glass input system. That is, the substrates are taken out one by one from the crate and put into the post process.
한편, 수십 내지 수백 장의 기판이 적재되는 크레이트는, 기판이 적재되는 방식에 따라 수직 타입(type) 크레이트와, 수평 타입(type) 크레이트로 나뉜다.On the other hand, crates on which dozens to hundreds of substrates are stacked are divided into vertical type crates and horizontal type crates, depending on how the substrates are loaded.
수평 타입 크레이트에 기판이 적재될 때는 기판이 수평 방향으로 배치된 상태에서 상하 방향으로 적재된다. 그리고 수직 타입 크레이트에 기판이 적재될 때는 대략 90도 보다 작은 경사각을 가지고 전후 방향으로 적재된다.When the substrate is loaded on the horizontal type crate, the substrate is loaded in the vertical direction while being placed in the horizontal direction. When the substrate is loaded on the vertical type crate, the substrate is loaded in the front-rear direction with an inclination angle smaller than approximately 90 degrees.
이처럼 크레이트가 수직 및 수평 타입으로 구분되어 있음에 따라 기판 가공업체에 마련된 종래의 기판 투입 시스템 역시, 수직 및 수평 타입 크레이트 각각에 대응할 수 있도록 수직 및 수평 타입 기판 투입 시스템으로 마련된다. 다시 말해, 종래의 기판 투입 시스템은 수직 및 수평 타입 기판 투입 시스템이 각각 별개로 마련된다.As the crate is divided into vertical and horizontal types, the conventional substrate input system provided in the substrate processing company is also provided as a vertical and horizontal type substrate input system so as to correspond to each of the vertical and horizontal type crates. In other words, the conventional substrate input system is provided separately from the vertical and horizontal type substrate input system.
수평 타입 기판 투입 시스템에는 해당 라인(Line)을 통해 이송된 수평 타입 크레이트로부터 기판을 한 장씩 투입하는 기판 투입로봇과, 기판 투입로봇과 상호작용하면서 기판들 사이에 개재된 간지를 제거하는 간지 제거로봇이 갖춰진다. 이에, 수평 타입 크레이트가 이송되어 기판 투입로봇에 인접하게 배치되면, 기판 투입로봇이 수평 타입 크레이트로부터 한 장의 기판을 취출하여 기판 반송부에 로딩(loading)시키는 일련의 방법을 통해 낱장의 기판은 기판 반송부로 반송될 수 있게 된다. 기판 투입로봇이 기판 반송부로 기판을 옮길 때, 간지 제거로봇이 동작하여 간지를 제거한다.The horizontal type substrate feeding system includes a substrate feeding robot that feeds the substrates one by one from the horizontal type crate transferred through the corresponding line, and a sheet paper removing robot that interacts with the substrate feeding robot and removes intervening papers between the substrates. Is equipped. Therefore, when the horizontal type crate is transferred and disposed adjacent to the substrate feeding robot, the sheet feeding robot takes out a single substrate from the horizontal type crate and loads it onto the substrate conveying unit. It can be conveyed to a conveyance part. When the substrate feeding robot moves the substrate to the substrate conveying part, the separator removal robot is operated to remove the separator.
한편, 수직 타입 기판 투입 시스템에는 해당 라인(Line)을 통해 이송된 수직 타입 크레이트로부터 기판을 한 장씩 투입하는 기판 투입로봇과, 기판 투입로봇의 주변에 마련되어 기판 투입로봇으로부터 한 장씩의 기판을 전달받아 기판 반송부로 투입하는 트랜스퍼 로봇과, 기판 투입로봇 및 트랜스퍼 로봇과 상호작용하면서 기판들 사이에 개재된 간지를 제거하는 간지 제거로봇이 갖춰진다. 이에, 수직 타입 크레이트가 이송되어 기판 투입로봇에 인접하게 배치되면, 기판 투입로봇이 수직 타입 크레이트로부터 한 장의 기판을 취출하여 트랜스퍼 로봇으로 옮기고, 이어 트 랜스퍼 로봇이 해당 기판을 기판 반송부에 로딩(loading)시키는 일련의 방법을 통해 낱장의 기판은 기판 반송부로 반송될 수 있게 된다. 기판 투입로봇이 트랜스퍼 로봇으로 기판을 옮길 때, 간지 제거로봇이 동작하여 간지를 제거한다.On the other hand, in the vertical type substrate feeding system, a substrate feeding robot that feeds the substrates one by one from the vertical type crate transferred through the corresponding line and a substrate provided by the substrate feeding robot are provided around the substrate feeding robot. There is provided a transfer robot for feeding into the substrate conveying unit, and a separator removal robot for interacting with the substrate feeding robot and the transfer robot to remove intervening paper interposed between the substrates. Therefore, when the vertical type crate is transferred and disposed adjacent to the substrate feeding robot, the substrate feeding robot takes out one sheet from the vertical type crate and transfers it to the transfer robot, and then the transfer robot loads the substrate into the substrate conveying unit. Through a series of methods of loading, the sheet of substrate can be conveyed to the substrate conveying unit. When the substrate feeding robot moves the substrate to the transfer robot, the separator removal robot is operated to remove the separator.
한편, 앞서도 기술한 바와 같이, 수직 타입 크레이트는 수십 내지 수백 장의 기판을 거의 수직으로 세워서 이송하기 때문에 수평 타입 크레이트에 비해서는 장비가 차지하는 풋프린트(Foot Print)가 감소된다.On the other hand, as described above, the vertical type crate transfers tens to hundreds of substrates almost vertically, thereby reducing the footprint of equipment compared to the horizontal type crate.
따라서 근자에 들어서는 수평 타입 크레이트보다 수직 타입 크레이트를 보다 활용하는 추세를 따른다. 하지만 수직 타입 크레이트에 장점이 있다고 해서 모든 기판 제조사가 수직 타입 크레이트로 변경하기는 곤란하다. 따라서 현재까지도 수직 및 수평 타입 크레이트가 모두 혼용되어 사용된다고 볼 수 있다.Therefore, in recent years, the trend is to use vertical type crate more than horizontal type crate. However, the advantages of vertical type crate make it difficult for all board manufacturers to change to vertical type crate. Therefore, it can be seen that both vertical and horizontal type crates are used interchangeably.
그런데, 이와 같이 수직 및 수평 타입 크레이트가 모두 혼용되어 사용되는 경우, 기판 가공업체에서는 당연히 수직 및 수평 타입 기판 투입 시스템을 모두 갖추어야 하는데 이러한 경우, 라인(Line)의 구조가 복잡해질 뿐만 아니라 라인이 많은 면적을 차지하기 때문에 풋프린트(Foot Print)가 증가하게 되고, 또한 각종 로봇을 포함한 장비수가 많아져 전반적으로 시스템의 축조 비용이 증가하게 되는 문제점이 야기된다.By the way, when both vertical and horizontal type crates are used interchangeably, the substrate processor must have both a vertical and horizontal type substrate input system. In this case, the structure of the line is not only complicated, but also a lot of lines. Since the footprint occupies an area, the footprint (Foot Print) is increased, and the number of equipment including various robots is increased, resulting in an increase in the overall construction cost of the system.
특히, 종래기술에 따른 수직 타입 기판 투입 시스템에는, 앞서도 기술한 바와 같이, 기판을 한 장씩 투입하는 기판 투입로봇의 주변에 기판 투입로봇으로부터 한 장씩의 기판을 전달받아 최종적으로 후공정으로 투입하는 별도의 트랜스퍼 로봇이 더 마련되어 왔기 때문에 전반적으로 비용이 증가하고 동선이 큰 트랜스퍼 로봇 에 의해 기판에 스크래치가 발생하는 등의 문제점이 있었다.Particularly, in the vertical type substrate feeding system according to the prior art, as described above, a separate substrate is received from the substrate feeding robot around the substrate feeding robot that feeds the substrates one by one and finally put into the post process. Since more transfer robots have been provided, there is a problem that the overall cost increases and scratches occur on the substrate by the transfer robot having a large copper wire.
본 발명의 목적은, 수직 및 수평 타입 크레이트(crate)가 겸용으로 사용될 수 있어 라인(Line)의 구조가 단순해질 수 있음은 물론 그에 따른 풋프린트(Foot Print)가 감소될 수 있으며, 특히 각종 로봇을 포함한 장비수를 줄일 수 있기 때문에 전반적으로 시스템을 축조하는데 따른 비용을 절감시킬 수 있는 기판 투입 시스템을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention that the vertical and horizontal type crate can be used in combination, so that the structure of the line can be simplified and the footprint can be reduced, and in particular, various robots. To reduce the number of equipment, including to provide a substrate input system that can reduce the overall cost of building the system.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판이 로딩(loading)되어 반송되는 기판 반송부; 복수의 기판이 적재된 수직 타입 크레이트(crate) 및 수평 타입 크레이트(crate) 중 작업위치로 배치되는 어느 한 크레이트로부터 한 장씩의 기판을 파지하여 상기 기판 반송부에 투입하는 겸용 기판 투입로봇; 상기 겸용 기판 투입로봇에 인접하게 마련되며, 상기 어느 한 크레이트의 상기 기판들 사이에 개재된 간지를 제거하는 겸용 간지 제거로봇; 및 상기 어느 한 크레이트가 수직 타입 크레이트인지 수평 타입 크레이트인지의 여부를 판단하고, 그 판단에 기초하여 상기 겸용 기판 투입로봇 및 상기 겸용 간지 제거로봇을 상기 수직 타입 크레이트 및 상기 수평 타입 크레이트에 각각 대응되게 제어하는 로봇제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 투입 시스템에 의해 달성된다.The above object is, according to the present invention, a substrate conveying unit in which a substrate is loaded and conveyed; A combined substrate feeding robot configured to grip one substrate from one of the crates disposed at the working position among the vertical type crate and the horizontal type crate on which the plurality of substrates are loaded and to feed the substrate into the substrate transfer part; A dual separator paper removal robot provided adjacent to the dual substrate feeding robot and removing the interlayer interposed between the substrates of any one crate; And determining whether any one of the crates is a vertical type crate or a horizontal type crate, and based on the determination, the combined substrate loading robot and the combined slip sheet removing robot correspond to the vertical type crates and the horizontal type crates, respectively. It is achieved by a substrate input system comprising a robot control unit for controlling.
여기서, 상기 수직 타입 크레이트 및 상기 수평 타입 크레이트를 상기 작업위치로 이송시키는 크레이트 이송부를 더 포함할 수 있다.Here, the vertical type crate and the horizontal type crate may further include a crate transfer unit for transferring to the working position.
상기 어느 한 크레이트가 수직 타입 크레이트인지 수평 타입 크레이트인지의 여부를 감지하고, 감지된 정보를 상기 로봇제어부로 전송하는 감지부를 더 포함할 수 있으며, 상기 로봇제어부는 상기 감지부로부터 전송된 상기 정보를 기초로 상기 어느 한 크레이트가 수직 타입 크레이트인지 수평 타입 크레이트인지를 판단할 수 있다.It may further include a sensing unit for detecting whether any one of the crate is a vertical type crate or a horizontal type crate, and transmits the detected information to the robot control unit, the robot control unit is to send the information transmitted from the detection unit On the basis, it can be determined whether any one of the crates is a vertical type crate or a horizontal type crate.
상기 감지부는 상기 크레이트 이송부에 마련되되, 상기 어느 한 크레이트에 마련된 바코드인식부를 인식하여 상기 어느 한 크레이트가 수직 타입 크레이트인지 수평 타입 크레이트인지의 여부를 감지할 수 있다.The sensing unit may be provided in the crate transfer unit, and may recognize whether the one crate is a vertical type crate or a horizontal type crate by recognizing a barcode recognition unit provided in the one crate.
상기 겸용 기판 투입로봇은, 지지부; 상기 기판의 일면을 형성하는 파지면을 흡착하는 흡착유닛; 및 상기 지지부와 상기 흡착유닛을 연결하되, 상기 흡착유닛에 의해 흡착된 상기 기판의 파지면이 상기 기판 반송부에 접촉되어 로딩될 수 있도록 상기 기판을 뒤집어 전달하는 다관절아암을 포함할 수 있다.The combined substrate input robot, the support; An adsorption unit for adsorbing a gripping surface forming one surface of the substrate; And an articulated arm that connects the support and the suction unit, and inverts and transfers the substrate so that the grip surface of the substrate sucked by the suction unit contacts and loads the substrate carrier.
상기 흡착유닛은, 진공이 형성되는 헤드본체; 상기 기판의 파지면에 접촉하여 상기 헤드본체의 내부에 형성된 진공에 의해 상기 파지면을 흡착하는 복수의 흡착패드; 및 상기 헤드본체와 상기 복수의 흡착패드를 상호 이격시키면서 각각 연결하는 복수의 연결부를 포함할 수 있다.The adsorption unit includes a head body in which a vacuum is formed; A plurality of suction pads contacting the holding surface of the substrate and adsorbing the holding surface by a vacuum formed inside the head body; And a plurality of connection parts connecting the head body and the plurality of suction pads to be spaced apart from each other.
상기 헤드본체는 적어도 일부분에서 상호 연결되는 막대형상을 가질 수 있다.The head body may have a rod shape that is interconnected at least in part.
상기 헤드본체는 바둑판식 배열구조를 가질 수 있으며, 상기 연결부는 상기 헤드본체의 교차지점에 각각 마련되어 상기 복수의 흡착패드를 상기 헤드본체에 개 별적으로 연결할 수 있다.The head body may have a tiled arrangement structure, and the connection parts may be provided at intersections of the head body, respectively, to connect the plurality of suction pads to the head body individually.
상기 기판 반송부에 인접하게 마련되어 상기 겸용 기판 투입로봇으로부터 전달되는 상기 기판을 상기 기판 반송부의 상면으로 로딩(loading)시키는 기판 로딩용 핸드를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a substrate loading hand provided adjacent to the substrate transfer part to load the substrate transferred from the dual-use substrate feeding robot onto an upper surface of the substrate transfer part.
상기 기판 로딩용 핸드는, 상기 기판 반송부의 상부 영역에서 승하강 가능하도록 상기 기판 반송부에 부분적으로 결합될 수 있다.The substrate loading hand may be partially coupled to the substrate transfer part to be able to move up and down in an upper region of the substrate transfer part.
상기 기판 로딩용 핸드는, 상기 기판 반송부의 상부 영역에서 승하강 가능한 승하강부; 및 상기 승하강부의 단부에서 상기 승하강부의 길이 방향에 가로로 연장되어 상기 겸용 기판 투입로봇으로부터 전달된 상기 기판의 파지면을 하부에서 지지하는 포크를 포함할 수 있다.The substrate loading hand may include a lifting unit capable of lifting up and down in an upper region of the substrate transfer unit; And a fork extending horizontally in the longitudinal direction of the elevating portion from the end of the elevating portion to support a grip surface of the substrate transferred from the combined substrate feeding robot from below.
상기 포크는, 상기 겸용 기판 투입로봇의 연결부들 사이사이에 배치되는 복수의 가로바아; 상기 가로바아들의 상면에 마련되어 상기 기판의 파지면을 하부에서 지지하는 복수의 지지패드; 및 상기 복수의 가로바아를 상호 연결하는 적어도 하나의 세로바아를 포함할 수 있다.The fork includes a plurality of horizontal bars disposed between the connecting portions of the combined substrate input robot; A plurality of support pads provided on upper surfaces of the horizontal bars to support the grip surface of the substrate from below; And at least one vertical bar interconnecting the plurality of horizontal bars.
상기 세로바아는 상기 겸용 기판 투입로봇으로부터 멀어지는 방향을 따라 상기 가로바아들의 일측 단부 영역에 치우치게 배치되어 해당 위치에서 상기 가로바아들을 연결할 수 있다.The vertical bar may be disposed to be biased in one end region of the horizontal bars in a direction away from the dual-purpose substrate input robot to connect the horizontal bars at the corresponding position.
상기 승하강부의 상단은 상기 세로바아에 연결할 수 있다.An upper end of the elevating part may be connected to the vertical bar.
상기 기판 반송부는 상기 겸용 기판 투입로봇으로부터 하나씩 투입된 낱개의 기판을 후공정으로 이송하는 복수의 롤러를 구비할 수 있으며, 상기 가로바아들은 상기 복수의 롤러들 사이사이에 배치되어 상기 승하강부에 의해 해당 위치에서 승하강할 수 있다.The substrate conveying unit may include a plurality of rollers for conveying the individual substrates, which are introduced one by one from the combined substrate feeding robot, in a later process, and the horizontal bars are disposed between the plurality of rollers to be moved by the elevating unit. You can get on and off at that location.
상기 로봇제어부는 상기 겸용 기판 투입로봇의 동작에 연동하여 상기 겸용 간지 제거로봇의 동작을 제어할 수 있으며, 상기 겸용 간지 제거로봇은 상기 간지의 일측면을 흡착하는 흡착부를 더 포함할 수 있다.The robot control unit may control an operation of the dual separator paper removing robot by interlocking with the operation of the dual substrate feeding robot, and the dual separator paper removing robot may further include an adsorption unit for absorbing one side of the sheet.
상기 수평 타입 크레이트에는 상기 간지의 타측면이 임의로 유동되는 것을 저지하기 위한 적어도 하나의 간지홀더가 더 마련될 수 있다.The horizontal type crate may be further provided with at least one separator holder for preventing the other side of the separator from flowing arbitrarily.
공정의 진행 방향에 대해 전공정에 마련되어 상기 수직 타입 크레이트 및 상기 수평 타입 크레이트가 대기하는 버퍼부를 더 포함할 수 있다.The method may further include a buffer unit provided in the previous process with respect to the advancing direction of the process and waiting for the vertical type crate and the horizontal type crate.
상기 버퍼부의 전공정에 마련되어 상기 수직 타입 크레이트 및 상기 수평 타입 크레이트 내의 상기 기판들을 일체로 클리닝하는 클리닝부를 더 포함할 수 있다.The cleaning apparatus may further include a cleaning unit provided in the entire process of the buffer unit to integrally clean the substrates in the vertical type crate and the horizontal type crate.
상기 기판은, 액정디스플레이(LCD, Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이(PDP, Plasma Display Panel) 및 유기EL(OLED, Organic Light Emitting Diodes) 중에서 선택된 어느 한 대면적 평판표시소자(FPD, Flat Panel Display)일 수 있다.The substrate may be any one of a large area flat panel display (FPD) selected from a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), and an organic light emitting diode (OLED). Can be.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by explaining preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements.
설명에 앞서, 후술할 기판이라 함은, 액정디스플레이(LCD, Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이(PDP, Plasma Display Panel) 및 유기EL(OLED, Organic Light Emitting Diodes)과 같은 평판표시소자(FPD, Flat Panel Display), 반도체용 웨이퍼(wafer), 포토 마스크용 글라스(glass) 등을 가리킬 수 있으나, 이하에서는 대면적 LCD 기판을 가리키는 것으로 본다.Prior to the description, a substrate to be described later includes a flat panel display device (FPD, Flat), such as a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), and an organic light emitting diode (OLED). A panel display, a wafer for semiconductors, a glass for a photo mask, and the like may be referred to, but hereinafter referred to as a large area LCD substrate.
여기서, 대면적이라 함은, 가로/세로의 폭이 1950㎜/2250㎜이거나 1870㎜/2200㎜인 7세대, 혹은 2160㎜/2460㎜ 이상인 8세대를 의미하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 반드시 기판의 크기가 전술한 수치에 국한될 필요는 없다.Here, the large area means 7 generations having a width of 1950 mm / 2250 mm or 1870 mm / 2200 mm, or 8 generations of 2160 mm / 2460 mm or more, but the scope of the present invention is limited thereto. The size of the substrate does not necessarily need to be limited to the above-described numerical values.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 투입 시스템의 개략적인 구성도이고, 도 2 내지 도 6은 각각 도 1에 도시된 기판 투입 시스템에 수직 타입 크레이트(crate)가 적용되어 기판이 투입되고 있는 동작을 도시한 도면들이며, 도 7 내지 도 11은 각각 도 1에 도시된 기판 투입 시스템에 수평 타입 크레이트(crate)가 적용되어 기판이 투입되고 있는 동작을 도시한 도면들이고, 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 투입 시스템에 대한 개략적인 블록다이어그램이다.1 is a schematic configuration diagram of a substrate input system according to an embodiment of the present invention, Figures 2 to 6 is a vertical type crate is applied to the substrate input system shown in FIG. 7 to 11 are views showing an operation in which a substrate is applied by applying a horizontal type crate to the substrate input system shown in FIG. 1, and FIG. 12 is an embodiment of the present invention. A schematic block diagram for a substrate input system according to one embodiment of the present invention.
이들 도면을 참조하되 주로 도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 투입 시스템은, 수십 내지 수백 장의 기판이 적재된 수직 타입 크레이트(1, 도 2 내지 도 6 참조) 또는 수평 타입 크레이트(3, 도 7 내지 도 11 참조)가 기판 제조사로부 터 공급되는 크레이트 공급부(10)와, 공급된 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3) 내의 기판(G)들을 일체로 클리닝하는 클리닝부(12)와, 클리닝이 완료된 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)를 후술할 겸용 기판 투입로봇(30)의 작업위치(W, 도 1 참조)로 이송시키는 크레이트 이송부(14)와, 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)로부터 한 장씩의 기판(G)이 로딩(loading)되어 후공정(19)으로 반송되는 기판 반송부(16)와, 크레이트 이송부(14)의 전공정에 마련되어 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)가 대기하는 버퍼부(18)를 구비한다. 버퍼부(18)는 기판 투입 시스템의 환경에 따라 설계상 제외될 수도 있다.Referring to these drawings, but mainly referring to FIG. 1, a substrate input system according to the present embodiment includes a vertical type crate (see 1, 2 to 6) or a horizontal type crate (3, 7 to 11) the
이러한 구성을 갖는 기판 투입 시스템의 개괄적인 동작에 대해 간략하게 설명하면, 우선 기판 제조사에서 제조된 기판(G)들은 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)에 적재된 후, 별도의 이송수단(미도시)에 의해 기판 가공업체로 이송된다. 기판 가공업체에 도달되면 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)를 하역하여 크레이트 공급부(10)로 공급한다.Briefly describing the operation of the substrate input system having such a configuration, first, the substrates G manufactured by the substrate manufacturer are loaded on vertical or
그러면, 크레이트 공급부(10)에 마련된 별도의 지게차 등이 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)를 들어 클리닝부(12)로 옮기게 되고, 클리닝부(12)를 통과하면서 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)는 일체로 클리닝된다. 따라서 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3) 내의 기판(G)들 역시 간단하게 클리닝될 수 있다.Then, a separate forklift or the like provided in the
클리닝이 완료된 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)는 롤러나 체인, 혹은 벨트 등으로 구현될 수 있는 크레이트 이송부(14)에 올려져 겸용 기판 투입로봇(30)의 작업위치(W)로 이송된다. 이 때, 작업량이 많은 관계로 클리닝이 완료되 기는 하였으나 크레이트 이송부(14)에 올려지지 못한 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)들은 버퍼부(18)에 놓여져 대기하게 된다.The cleaned vertical or horizontal type crates (1, 3) are mounted on the crate transfer unit (14), which can be implemented by rollers, chains, or belts, and are transferred to the working position (W) of the combined substrate feeding robot (30). . At this time, although the cleaning is completed due to a large amount of work, the vertical or horizontal type crates (1,3) that are not placed on the
크레이트 이송부(14)를 따라 이송되다가 겸용 기판 투입로봇(30)의 작업위치(W)로 도달된 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)는 작업위치(W)에서 정지된다. 그리고는 겸용 기판 투입로봇(30), 겸용 간지 제거로봇(50) 등에 의해 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)들로부터 한 장씩의 기판(G)이 기판 반송부(16)로 반송, 투입된다. 즉, 기판 반송부(16)는 기판(G) 한 장씩을 후공정(19)으로 반송시킨다. 이를 위해 기판 반송부(16)는 낱개의 기판(G)을 후공정으로 이송하는 복수의 롤러(16a)를 구비할 수 있다. 기판 반송부(16)를 따라 반송된 기판(G)들은 최종적으로 후공정(19)에 도달되어 별도의 카세트에 다시 적재된 후, 기판(G) 가공을 위한 각각의 개별 공정으로 투입된다.The vertical or
한편, 종래기술의 경우, 크레이트 이송부(14)를 통해 이송되는 크레이트(1,3)는 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3) 중에서 선택된 어느 하나였다. 즉, 크레이트 이송부(14)의 한 라인에는 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3) 중에서 선택된 어느 한 크레이트(1,3)만이 이송되었다. 따라서 라인(Line)의 구조가 복잡해지면서 그에 따른 풋프린트(Foot Print)가 증가할 수밖에 없었다. 뿐만 아니라 각종 로봇을 포함한 장비수가 많아지기 때문에 전반적으로 시스템을 축조하는데 따른 많은 비용이 소요될 수밖에 없었다.On the other hand, in the prior art, the crate (1, 3) to be transferred through the
하지만, 본 실시예의 기판 투입 시스템은, 이러한 문제점을 해소하기 위해 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)가 한 라인(Line)에서 모두 사용될 수 있도록 하고 있다. 따라서 하나의 라인을 이루는 단일의 크레이트 이송부(14)에 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)가 모두 이송될 수 있으며, 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)로부터 한 장씩의 기판(G)이 기판 반송부(16)로 투입될 수 있다.However, the substrate feeding system of the present embodiment allows vertical or
물론, 이러한 일련의 동작이 진행되기 위해, 특히 작업위치(W)에 도달된 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)들로부터 한 장씩의 기판(G)이 기판 반송부(16)로 투입하기 위해서는 겸용 기판 투입로봇(30)과 겸용 간지 제거로봇(50) 외에도 이들과 상호작용하는 주변 구성들이 요구되는데, 이에 대해 도 2 내지 도 11을 참조하여 자세히 설명하기로 한다.Of course, in order for this series of operations to proceed, in particular, one sheet of substrate G from the vertical or
도 2 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 투입 시스템은, 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)들로부터 한 장씩의 기판(G)이 기판 반송부(16)로 투입하는 일련의 작업을 위한 구성으로서, 겸용 기판 투입로봇(30), 겸용 간지 제거로봇(50), 로봇제어부(60, 도 12 참조) 및 기판 로딩용 핸드(40)를 구비한다.As shown in Figs. 2 to 12, in the substrate feeding system according to the present embodiment, the substrate G is fed from the vertical or
겸용 기판 투입로봇(30)은 크레이트 이송부(14)를 따라 이송되어 작업위치(W)에 도달된 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)들로부터 한 장씩의 기판(G)을 파지하여 기판 반송부(16)로 투입한다.The combined
이러한 겸용 기판 투입로봇(30)은, 지지부(31)와, 기판(G)의 일면을 형성하는 파지면(G1)을 흡착하는 흡착유닛(33)과, 지지부(31)와 흡착유닛(33)을 연결하되, 흡착유닛(33)에 의해 흡착된 기판(G)의 파지면(G1)이 그대로 기판 반송부(16)에 로딩될 수 있도록 기판(G)을 뒤집어 전달하는 다관절아암(35)을 구비한다.The combined
지지부(31)는 겸용 기판 투입로봇(30)을 지지한다. 겸용 기판 투입로봇(30)이 위치하는 기판 투입 시스템의 바닥면에 고정된다. 도면에는 도시하고 있지 않지만 만약에 지지부(31)에 휠(wheel)을 마련한다면 겸용 기판 투입로봇(30)을 원하는 위치로 쉽게 이송시킬 수 있어 작업이 보다 편리해질 수 있다.The
다관절아암(35)에 대해 먼저 설명하면 다관절아암(35)은 앞서도 기술한 바와 같이, 흡착유닛(33)에 의해 흡착된 기판(G)의 파지면(G1)이 그대로 기판 반송부(16)에 로딩될 수 있도록 기판(G)을 뒤집어 전달한다. 즉, 수직 타입 크레이트(1)가 적용될 경우에는 도 2 내지 도 6과 같이, 그리고 수평 타입 크레이트(3)가 적용될 경우에는 도 7 내지 도 11과 같이, 기판(G)을 뒤집어서 기판 반송부(16)에 로딩시킨다.The articulated
참고로, 기판(G)은 양쪽면 모두에 스크래치(scratch)가 발생되어서는 아니 된다. 하지만 기판(G)은 제조사로부터 가공업체로 이송되기도 하고, 또한 본 실시예와 같이 후공정(19, 도 1 참조)으로 하나씩 이송되기도 한다. 이러한 경우, 기판(G)은 별도의 구조물에 의해 파지되기도 하고, 혹은 본 실시예의 기판 반송부(16)의 롤러(16a)에 올려져 접촉되면서 구르기도 한다. 이러한 경우, 기판(G)에 대한 품질을 유지하기 위해서는 기판(G)이 파지되는 면과 기판(G)이 롤러(16a)에 접촉하는 면이 항상 동일할 필요가 있다. 즉, 기판(G)의 어느 한 면을 파지했다면 그 면을 기판 반송부(16)의 롤러(16a)에 접촉시켜 이송시킬 필요가 있다. 그래야만 기판(G)의 품질을 유지하기에 좋다. 이에 본 실시예에서는 기판(G)이 파지되기도 하면서 기판(G)이 기판 반송부(16)의 롤러(16a)에 올려져 접촉되는 면을 기판(G)의 파지면(G1)이라 하고 있는 것이다. 파지면(G1)의 반대 면은 사용면(G2)이라 하여 파지면(G1)과 구분될 수도 있다(도 5 및 도 10 참조).For reference, the substrate G should not be scratched on both sides. However, the substrate G may be transferred from the manufacturer to the processing company, and may also be transferred one by one to the post process 19 (see FIG. 1) as in the present embodiment. In this case, the board | substrate G may be hold | gripped by a separate structure, or may be rolled up by contacting the
이러한 이유에 의해, 다관절아암(35)은 흡착유닛(33)에 의해 흡착된 기판(G)의 파지면(G1)이 그대로 기판 반송부(16)의 롤러(16a)에 접촉되면서 로딩될 수 있도록 기판(G)을 뒤집어 전달하게 된다.For this reason, the articulated
다관절아암(35)이 흡착유닛(33)에 흡착된 기판(G)을 뒤집는 정도를 살펴보면, 수직 타입 크레이트(1)에서 기판(G)을 기판 반송부(16)의 롤러(16a)에 로딩시킬 경우에는 대략 180도보다 작은 각도로 기판(G)을 뒤집지만, 수평 타입 크레이트(3)로부터 기판(G)을 기판 반송부(16)의 롤러(16a)에 로딩시킬 경우에는 거의 180도로 기판(G)을 뒤집게 된다.Looking at the degree to which the articulated
흡착유닛(33)은 실질적으로 기판(G)을 흡착하는 부분이다. 이러한 흡착유닛(33)은 내부에 진공이 형성되는 헤드본체(33a)와, 기판(G)의 파지면(G1)에 접촉하여 헤드본체(33a)로부터 형성된 진공에 의해 파지면(G1)을 흡착하는 복수의 흡착패드(33b)와, 헤드본체(33a)와 복수의 흡착패드(33b)를 상호 이격시키면서 각각 연결하는 복수의 연결부(33c)를 구비한다.The
헤드본체(33a)는 도면과 다르게 어떠한 형상과 구조를 가져도 무방하다. 본 실시예의 경우, 헤드본체(33a)는 적어도 일부분에서 상호 연결되는 막대형상을 갖도록 제조된다. 따라서 무게 감소에 유리한 효과를 갖는다. 본 실시예와 같이, 헤드본체(33a)가 막대형상을 갖는다면 헤드본체(33a)는 바둑판식 배열구조를 갖는 것이 바람직할 수 있다.The
복수의 흡착패드(33b)는 실질적으로 기판(G)의 파지면(G1)에 접촉되는 부분이다. 보다 강한 진공압으로 기판(G)의 파지면(G1)을 흡착할 수 있도록 복수의 흡착패드(33b)는 대략 깔때기 구조를 갖는다. 뿐만 아니라 기판(G)에 스크래치가 발생되는 것을 저지하기 위해 복수의 흡착패드(33b)는 고무나 실리콘과 같은 연성 재질로 제작될 수 있다.The plurality of
위에서 설명한 것처럼 헤드본체(33a)가 바둑판식 배열구조를 가질 경우, 연결부(33c)는 헤드본체(33a)의 교차지점에 각각 마련되어 복수의 흡착패드(33b)를 헤드본체(33a)에 개별적으로 연결할 수 있다. 이러한 연결부(33c) 역시 헤드본체(33a)와 마찬가지로 막대형상을 갖는다.As described above, when the
만약에, 연결부(33c)가 마련되어 있지 않고, 복수의 흡착패드(33b)가 헤드본체(33a)에 직접 결합되어 있다면, 후술할 가로바아가 기판(G)을 전달 받는 과정에서 흡착유닛(33)과 간섭될 우려가 있다. 따라서 본 실시예와 같이 막대형상의 연결부(33c)가 마련된다면 이러한 현상을 쉽게 해소할 수 있다.If the connecting
한편, 위의 구성을 갖는 겸용 기판 투입로봇(30)이 기판(G)을 직접 기판 반송부(16)의 롤러(16a)에 올려 로딩(loading)시킬 수도 있다. 하지만 본 실시예에서는 기판(G)이 보다 원활하게 기판 반송부(16)의 롤러(16a)에 올려질 수 있도록 기판 로딩용 핸드(40)를 더 마련하고 있다. 즉, 기판 로딩용 핸드(40)는 기판 반송부(16)에 인접하게 마련되어 겸용 기판 투입로봇(30)으로부터 전달되는 기판(G)을 기판 반송부의 상면에 마련된 롤러(16a)로 로딩(loading)시키는 역할을 한다.On the other hand, the combined
기판 로딩용 핸드(40)는, 기판 반송부(16)의 상부 영역에서 기판 반송부(16) 에 대해 승하강이 가능하도록 기판 반송부(16)에 부분적으로 결합된다.The
이러한 기판 로딩용 핸드(40)는, 기판 반송부(16)의 상부 영역에서 승하강 가능한 승하강부(41)와, 승하강부(41)의 단부에서 승하강부(41)의 길이 방향에 가로로 연장되어 겸용 기판 투입로봇(30)으로부터 전달된 기판(G)의 파지면(G1)을 하부에서 지지하는 포크(45)를 구비한다.The
포크(45)는, 겸용 기판 투입로봇(30)의 연결부(33c)들 사이사이에 배치되는 복수의 가로바아(45a)와, 가로바아(45a)들의 상면에 마련되어 기판(G)의 파지면(G1)을 하부에서 지지하는 복수의 지지패드(45b)와, 복수의 가로바아(45a)를 상호 연결하는 복수의 세로바아(45c)를 포함한다.The
가로바아(45a)들은, 도 4 및 도 5, 그리고 도 9 및 도 10과 같이, 겸용 기판 투입로봇(30)으로부터 기판 로딩용 핸드(40)로 기판(G)이 전해질 때, 겸용 기판 투입로봇(30)의 연결부(33c)들 사이사이에 배치된다. 이러한 가로바아(45a)들은 승하강부(41)에 의해 하강될 때, 기판 반송부(16)의 상면에 형성된 복수의 롤러(16a)들 사이사이에 배치된다.The
복수의 지지패드(45b)는 가로바아(45a)들의 상면에 각각 마련된다. 앞서 기술한 흡착패드(33b)와 마찬가지로 연성 재질로 제작되는 것이 바람직할 수 있다. 이러한 지지패드(45b)에도 흡착패드(33b)와 마찬가지로 진공이 형성될 수 있다. 그러면, 겸용 기판 투입로봇(30)으로부터 기판 로딩용 핸드(40)로 기판(G)이 전해져 기판(G)의 파지면(G1)이 지지패드(45b)에 지지될 때, 지지패드(45b)에 진공이 형성됨으로써 기판(G)이 흔들리지 않고 지지패드(45b)에서 견고하게 안착될 수 있을 것 이다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 지지패드(45b)에 반드시 진공이 형성될 필요는 없다.The plurality of
세로바아(45c)들은 겸용 기판 투입로봇(30)으로부터 멀어지는 방향을 따라 가로바아(45a)들의 일측 단부 영역에 치우치게 배치되어 해당 위치에서 가로바아(45a)들을 연결한다. 따라서 가로바아(45a)들이 겸용 기판 투입로봇(30)의 연결부(33c)들 사이사이에 배치되더라도 겸용 기판 투입로봇(30)과 기판 로딩용 핸드(40) 간에 상호간 간섭이 발생하지 않는다. 세로바아(45c)가 위와 같은 위치에 마련될 경우, 승하강부(41)의 상단은 세로바아(45c)에 연결될 수 있다. 하지만 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 승하강부(41)가 반드시 세로바아(45c)에 연결될 필요는 없다.The
한편, 겸용 기판 투입로봇(30)에 인접하게 마련되는 겸용 간지 제거로봇(50)은, 겸용 기판 투입로봇(30)과 상호작용하여 기판(G)들 사이에 개재된 간지(5)를 제거하는 역할을 한다.Meanwhile, the dual separator
앞서도 잠시 언급한 바와 같이, 수직 타입 크레이트(1, 도 2 내지 도 6 참조) 또는 수평 타입 크레이트(3, 도 7 내지 도 11 참조) 내에는 보통 120 내지 200장 정도의 기판(G)이 적재된다. 이 때, 각 기판(G)들 사이에는 상호간 물리적인 충격에 의해 기판(G)에 스크래치(scratch)가 발생하는 것을 방지하기 위해 얇은 간지(5)가 개재된다.As mentioned earlier, in the vertical type crate (see FIGS. 2 and 6) or the horizontal type crate (see FIGS. 3 and 7 to 11), about 120 to 200 sheets of substrates G are usually loaded. . At this time, a thin sheet of
따라서 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)로부터 한 장씩의 기판(G)이 기판 반송부(16)로 반송될 때는 간지(5)가 제거될 필요가 있다. 이를 위해 겸용 간지 제 거로봇(50)이 마련된다. 겸용 간지 제거로봇(50) 역시, 겸용 기판 투입로봇(30)과 마찬가지로 수직 및 수평 타입 크레이트(1,3) 모두에 겸용으로 사용될 수 있다. 뿐만 아니라 겸용 간지 제거로봇(50) 역시, 겸용 기판 투입로봇(30)과 마찬가지로 일방향으로 회동하거나 이동할 수 있는 다관절 로봇으로 마련된다.Therefore, when the board | substrate G is conveyed to the board |
간지(5)를 흡착하여 제거할 수 있도록, 겸용 간지 제거로봇(50)에는 간지(5)의 일측면을 흡착하는 흡착부(52)가 마련된다. 이 때의 흡착부(52)는 진공패드, 도마뱀 발바닥 구조의 흡착 섬모, 정천척, 기구척 등으로 적용될 수 있다.In order to adsorb and remove the
수직 타입 크레이트(1)로부터 겸용 간지 제거로봇(50)이 간지(5)를 제거할 때는 겸용 간지 제거로봇(50)의 흡착부(52)는 간지(5)의 상단 일 영역만을 흡착한 후, 기판(G)이 이동될 때 간지수거부(54)로 수거될 수 있다. 이는 기판(G)과 간지(5)가 모두 세워져 있고 또한 기판(G)이 이동된다 하더라도 간지(5)의 펄럭임이 심하지 않기 때문이다.When the dual separator
하지만, 수평 타입 크레이트(3)로부터 겸용 간지 제거로봇(50)이 간지(5)를 제거할 때는 수평 타입 크레이트(3)에 구비된 별도의 간지홀더(미도시)가 간지(5)의 타측면이 임의로 유동되는 것을 저지하게 된다. 이는, 겸용 기판 투입로봇(30)이 수평 타입 크레이트(3)로부터 기판(G)을 파지하여 이송시킬 경우, 그 하면에 개재된 간지(5)의 펄럭임이 심하게 발생할 수 있기 때문이며, 펄럭임이 심할 경우, 간지(5)가 이송되는 기판(G)에 스크래치를 발생시킬 수도 있기 때문이다. 하지만 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 수평 타입 크레이트(3)라 할지라도 반드시 간지홀더가 구비될 필요는 없다. 물론, 반대로 수직 타입 크레이트(1) 에 간지홀더가 구비될 수도 있는 것이다.However, when the combined sheet
한편, 도 12에 도시된 바와 같이, 로봇제어부(60)는 크레이트 이송부(14)를 통해 작업위치(W)로 도달된 크레이트(1,3)가 수평 타입인지 혹은 수직 타입인지의 여부를 판단하여 겸용 기판 투입로봇(30) 및 겸용 간지 제거로봇(50)을 제어한다. 따라서 본 시스템에 수직 및 수평 타입 크레이트(1,3)가 모두 겸용으로 사용될 수 있는 것이다.On the other hand, as shown in Figure 12, the
이를 위해, 본 실시예의 기판 투입 시스템에는 감지부(65)가 더 구비된다. 감지부(65)는 크레이트 이송부(14)에 마련될 수 있는데, 이러한 감지부(65)는 크레이트 이송부(14)를 통해 이송되는 크레이트(1,3)가 수평 타입인지 혹은 수직 타입인지의 여부를 감지하고, 감지된 정보를 로봇제어부(60)로 전송하는 역할을 한다.To this end, the
이 때, 감지부(65)는 수직 및 수평 타입 크레이트(1,3)에 마련된 바코드인식부(미도시)를 인식하여 크레이트(1,3)가 수평 타입인지 혹은 수직 타입인지의 여부를 감지할 수 있다. 하지만 감지부(65)가 크레이트 이송부(14)를 통해 이송되는 크레이트(1,3)의 사이즈(size)를 감지하여 크레이트(1,3)가 수평 타입인지 혹은 수직 타입인지의 여부를 감지할 수도 있는 것이다.At this time, the
이러한 구성을 갖는 기판 투입 시스템의 동작에 대해 일련적으로 설명하면 다음과 같다.The operation of the substrate input system having such a configuration will be described in series as follows.
기판 제조사에서 제조된 기판(G)들이 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)에 적재된 후, 기판 가공업체에 도달되면, 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)를 하역하여 크레이트 공급부(10)로 공급한다.After the substrates (G) manufactured by the substrate manufacturer are loaded on the vertical or horizontal type crates (1,3), and then reach the substrate processor, the vertical or horizontal type crates (1,3) are unloaded to supply the crate supply unit (10). To supply.
그러면, 크레이트 공급부(10)에 마련된 별도의 지게차 등이 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)를 들어 클리닝부(12)로 옮기게 되고, 클리닝부(12)를 통과하는 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)는 일체로 클리닝된다. 따라서 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3) 내의 기판(G)들 역시 간단하게 클리닝될 수 있다.Then, a separate forklift or the like provided in the
클리닝이 완료된 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)는 롤러나 체인, 혹은 벨트 등으로 구현될 수 있는 크레이트 이송부(14)에 올려져 겸용 기판 투입로봇(30)의 작업위치(W, 도 1 참조)로 이송된다. 이 때, 작업량이 많은 관계로 클리닝이 완료되기는 하였으나, 크레이트 이송부(14)에 올려지지 못한 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)들은 버퍼부(18)에 놓여져 대기하게 된다.After the cleaning is completed, the vertical or
크레이트 이송부(14)에 겸용 기판 투입로봇(30)의 작업위치(W)로 이송된 수직 또는 수평 타입 크레이트(1,3)는 작업위치(W)에서 정지된다. 이 때, 감지부(65)는 크레이트 이송부(14)를 따라 이송되어 온 크레이트(1,3)가 수평 타입인지 혹은 수직 타입인지의 여부를 감지하고, 감지된 정보를 로봇제어부(60)로 전송한다.The vertical or
만약에, 도 2 내지 도 6과 같이, 작업위치(W)에 도달된 크레이트(1,3)가 수직 타입 크레이트(1)라면, 로봇제어부(60)는 그에 부합하도록 겸용 기판 투입로봇(30), 겸용 간지 제거로봇(50) 및 기판 로딩용 핸드(40)를 제어하고, 만약에 도 7 내지 도 11과 같이, 작업위치(W)에 도달된 크레이트(1,3)가 수평 타입 크레이트(3)라면, 로봇제어부(60)는 그에 부합하도록 겸용 기판 투입로봇(30), 겸용 간지 제거로봇(50) 및 기판 로딩용 핸드(40)를 제어한다.If, as shown in Figures 2 to 6, the crate (1, 3) has reached the working position (W) is the vertical type crate (1), the
수직 타입 크레이트(1)가 적용된 경우에 대해 먼저 설명하면, 도 2에 도시된 바와 같이, 겸용 기판 투입로봇(30)의 다관절아암(35)이 동작하여 흡착유닛(33)의 흡착패드(33b)가 거의 90도 각도로 세워진 기판(G)의 파지면(G1)에 접촉한다.First, the case in which the
그런 다음 흡착패드(33b)에 진공이 형성됨으로써 기판(G)은 흡착패드(33b)에 흡착된다. 이러한 상태에서 도 3 및 도 4와 같이, 다관절아암(35)이 동작하여 기판(G)을 뒤집은 다음, 기판 반송부(16)의 상부 영역으로 배치한다.Then, a vacuum is formed on the
이 때, 이러한 겸용 기판 투입로봇(30)의 동작과 연동하여 겸용 간지 제거로봇(50)이 동작한다. 즉, 겸용 간지 제거로봇(50)의 흡착부(52)가 간지(5)의 상단 일 영역을 흡착한다. 겸용 간지 제거로봇(50)의 흡착부(52)가 간지(5)의 상단 일 영역을 흡착한 상태에서, 겸용 기판 투입로봇(30)의 다관절아암(35) 동작에 의해 수직 타입 크레이트(1)로부터 기판(G)이 옮겨지고 나면, 겸용 간지 제거로봇(50)이 일방향으로 회전하여 흡착부(52)에 흡착된 간지(5)를 간지수거부(54)로 수거한다.At this time, in conjunction with the operation of the combined
한편, 겸용 기판 투입로봇(30)의 동작에 의해 수직 타입 크레이트(1)로부터 기판(G)이 기판 반송부(16)의 상부 영역으로 옮겨지면, 로봇제어부(60)에 의해 기판 로딩용 핸드(40)가 동작한다. 즉, 승하강부(41)가 상승한다.On the other hand, when the substrate G is moved from the
승하강부(41)가 상승하면, 기판 로딩용 핸드(40)의 포크(45)를 이루는 가로바아(45a)들 사이사이로 흡착유닛(33)의 연결부(33c)가 배치되도록 겸용 기판 투입로봇(30)의 다관절아암(35)이 직선 방향으로 더 연장되도록 동작한 후, 하향한다.When the elevating
그러면 도 5와 같이, 기판(G)의 파지면(G1)은 파지패드(45b)들에 로딩(loading)되고, 파지패드(45b)들에 진공이 형성됨으로써 해당 위치에서 기판(G)은 고정된다. 그리고는 겸용 기판 투입로봇(30)의 다관절아암(35)이 반대로 동작하 여 흡착유닛(33)이 기판 로딩용 핸드(40)로부터 취출되어 다른 기판(G)을 파지하기 위한 위치로 이동된다.Then, as shown in FIG. 5, the holding surface G1 of the substrate G is loaded on the holding
이러한 동작에 의해 기판(G)의 파지면(G1)은 파지패드(45b)들에 로딩되고 나면, 기판(G)의 파지면(G1)이 기판 반송부(16)의 롤러(16a)에 접촉될 때까지 승하강부(41)가 하강한다. 승하강부(41)의 하강 동작이 완료되면, 기판 반송부(16)의 롤러(16a)에 의해 기판(G)은 후공정(19)으로 반송된다. 기판 반송부(16)를 따라 반송된 기판(G)들은 후공정(19)에 도달되어 별도의 카세트에 다시 적재된 후, 기판(G) 가공을 위한 각각의 개별 공정으로 투입된다.After the gripping surface G1 of the substrate G is loaded on the
한편, 도 7 내지 도 11에 도시된 수평 타입 크레이트(2)가 적용된 경우에도, 전술한 수직 타입 크레이트(1)가 적용된 동작과 거의 동일하다. 다만, 앞서도 기술한 바와 같이, 수평 타입 크레이트(3)가 적용된 경우에는 겸용 간지 제거로봇(50)이 간지(5)를 제거하는 과정에서, 즉, 수평 타입 크레이트(3)에 마련된 흡착부(52)가 제거 대상의 간지(5)를 흡착하는 경우, 수평 타입 크레이트(3)에 구비된 별도의 간지홀더(미도시)가 간지(5)의 타측면이 임의로 유동되는 것을 저지하는 동작이 더 추가되며, 이후에는 전술한 동작과 동일하다.On the other hand, even when the horizontal type crate 2 shown in Figs. 7 to 11 is applied, it is almost the same as the operation to which the aforementioned
이와 같이, 본 실시예에 따르면, 수직 및 수평 타입 크레이트(1,3)가 겸용으로 사용될 수 있어 라인(Line)의 구조가 단순해질 수 있음은 물론 그에 따른 풋프린트(Foot Print)가 감소될 수 있으며, 특히 각종 로봇을 포함한 장비수를 줄일 수 있기 때문에 전반적으로 시스템을 축조하는데 따른 비용을 절감시킬 수 있게 된다.As described above, according to the present embodiment, the vertical and
전술한 실시예에서는, 기판 반송부가 롤러 타입으로 적용되었으나, 롤러 타 입 외에도 체인 타입이나 벨트 타입으로 변경될 수도 있다. 이는 크레이트 이송부에도 동일하게 적용된다.In the above-described embodiment, the substrate conveying unit is applied as a roller type, but may be changed to a chain type or a belt type in addition to the roller type. The same applies to the crate transfer part.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.As described above, the present invention is not limited to the described embodiments, and various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the present invention, which will be apparent to those skilled in the art. Therefore, such modifications or variations will have to be belong to the claims of the present invention.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 수직 및 수평 타입 크레이트(crate)가 겸용으로 사용될 수 있어 라인(Line)의 구조가 단순해질 수 있음은 물론 그에 따른 풋프린트(Foot Print)가 감소될 수 있으며, 특히 각종 로봇을 포함한 장비수를 줄일 수 있기 때문에 전반적으로 시스템을 축조하는데 따른 비용을 절감시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, vertical and horizontal type crate can be used as a combination, so that the structure of the line can be simplified and the footprint can be reduced accordingly. In particular, since the number of equipment including various robots can be reduced, the overall cost of constructing the system can be reduced.
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