KR100934030B1 - Test handler - Google Patents

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KR100934030B1
KR100934030B1 KR1020050124224A KR20050124224A KR100934030B1 KR 100934030 B1 KR100934030 B1 KR 100934030B1 KR 1020050124224 A KR1020050124224 A KR 1020050124224A KR 20050124224 A KR20050124224 A KR 20050124224A KR 100934030 B1 KR100934030 B1 KR 100934030B1
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유현준
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    • H01L21/67333Trays for chips

Abstract

본 발명은 테스트핸들러에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 테스트트레이를 파지하여 이동시키는 동작을 수행하는 파지블럭과, 이 파지블럭의 파지 및 파지해제동작에 필용한 동력을 공급하는 동력원이 적어도 파지블럭과는 분리되어 설치되거나 파지블럭의 이동으로부터 독립되도록 설치됨으로써, 파지블럭의 구성을 간단하게 하고, 동력원이 파지블럭이 위치하는 공간의 환경으로부터 자유로울 수 있도록 하는 기술이 제공된다.The present invention relates to a test handler, and in accordance with the present invention, a gripping block for carrying out an operation of gripping and moving a test tray, and a power source for supplying power for gripping and releasing the gripping block, is at least a gripping block. By being installed separately from or separated from the movement of the gripping block, a technique is provided to simplify the construction of the gripping block and to allow the power source to be free from the environment of the space in which the gripping block is located.

Description

테스트핸들러{TEST HANDLER}Test handler {TEST HANDLER}

도1은 종래기술에 따른 테스트핸들러에 대한 개략도이다.1 is a schematic diagram of a test handler according to the prior art.

도2 및 도3은 도1의 테스트핸들러의 배치구조에 대해 평면에서 바라본 개략적인 구조도이다.2 and 3 are schematic structural views in plan view of the arrangement of the test handler of FIG.

도4는 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러에서 소크 챔버 및 테스트 챔버의 내부구조를 측면에서 본 개략도이다.Figure 4 is a schematic side view of the soak chamber and the internal structure of the test chamber in the test handler according to an embodiment of the present invention.

도5는 도4의 A부분을 확대한 확대도이다.5 is an enlarged view illustrating an enlarged portion A of FIG. 4.

도6은 도4의 BB선을 잘라 I방향으로 바라본 개략도이다.FIG. 6 is a schematic view taken along line IB of FIG. 4.

도7은 도4의 테스트해들러의 주요부위를 발췌하여 개략적으로 도시한 사시도이다.FIG. 7 is a perspective view schematically illustrating an essential part of the test handler of FIG. 4.

도8a 내지 도8e는 도4의 테스트핸들러에 대한 작동상태를 설명하기 위한 작동상태도이다.8A to 8E are operation state diagrams for explaining the operation state of the test handler of FIG.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

40 : 테스트핸들러 500 : 트레이이송장치 40: test handler 500: tray feeder

510 : 파지블럭 511 : 파지부재510: holding block 511: holding member

512 : 이동부재 520 : 공압실린더512: moving member 520: pneumatic cylinder

530 : 제1동력전달장치 531 : 회전바530: first power transmission device 531: rotating bar

534 : 전후진바 540 : 모터534: forward and backward bar 540: motor

본 발명은 생산된 반도체 디바이스를 검사하기 위한 테스트핸들러에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 테스트트레이를 이송시키는 트레이이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a test handler for inspecting a produced semiconductor device, and more particularly, to a tray transport apparatus for transporting a test tray.

일반적으로 테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체 디바이스(이하 디바이스라 칭함)를 테스트하며, 테스트 결과에 따라 디바이스들을 등급별로 분류하여 유저트레이에 적재하는 기기로서 이미 다수의 공개문서들을 통해 공개되어 있다.In general, a test handler tests a semiconductor device (hereinafter referred to as a device) manufactured through a predetermined manufacturing process, and classifies devices according to test results and loads them into a user tray. It is.

도1은 그러한 테스트핸들러에 대한 종래기술에 따른 개략도로서, 도1을 참조하여 종래의 테스트핸들러에 대하여 개략적으로 설명하면 다음과 같다.FIG. 1 is a schematic diagram according to the prior art for such a test handler, which will be described schematically with reference to FIG. 1.

도1에 도시된 바와 같이, 종래의 테스트핸들러는 로딩장치(120), 수직 자세변환장치(130), 소크 챔버(200), 테스트 챔버(100), 디소크 챔버(300), 수평 자세변환장치(230), 언로딩장치(260)를 갖추고 있다.As shown in FIG. 1, the conventional test handler includes a loading device 120, a vertical posture converting device 130, a soak chamber 200, a test chamber 100, a desock chamber 300, and a horizontal posture converting device. 230, the unloading device 260 is provided.

상기 로딩장치(120)는, 부호 110의 유저트레이에 적재된 디바이스를 수평상태의 테스트트레이로 로딩(이송 및 적재)시킨다.The loading device 120 loads (transfers and loads) a device loaded in a user tray having a reference numeral 110 into a test tray in a horizontal state.

상기 수직 자세변환장치(130)는, 소크 챔버(200)의 상방향에 위치하며, 소크 챔버(200)로 테스트트레이를 공급하기에 앞서 수평상태의 테스트트레이를 수직상태 로 자세변환시킨다.The vertical posture converting apparatus 130 is positioned above the soak chamber 200 and converts the horizontal test tray into a vertical state before supplying the test tray to the soak chamber 200.

상기 소크 챔버(200)는, 상기 자세변환장치(130)에 의해 수직상태로 자세변환된 테스트트레이를 순차적으로 수용하며, 테스트트레이에 적재된 디바이스를 예열/예냉시키기 위한 온도적 환경이 조성되어 있다. 이러한 소크 챔버(200)에 진입된 테스트트레이는 수직상태를 유지한 채 테스트 챔버(100) 측에 가까운 방향으로 병진이동하면서 순차적으로 배열되는데, 이렇게 병진이동하는 시간동안, 테스트트레이에 담긴 디바이스가 충분히 예열/예냉된다.The soak chamber 200 sequentially receives a test tray which is posture-converted in a vertical state by the posture converting apparatus 130 and has a temperature environment for preheating / precooling the device loaded in the test tray. . The test trays entered into the soak chamber 200 are sequentially arranged while translating in a direction close to the test chamber 100 while maintaining the vertical state. During this time, the devices contained in the test tray are sufficiently Preheated / Precooled.

상기 테스트 챔버(100)는, 소크 챔버(200)로부터 공급되어 온 테스트트레이(180, 190)에 적재된 디바이스를 테스트하기 위해 마련된다. 이를 위해 테스트 챔버(100)는 디바이스를 테스트하기 위한 온도적 환경이 조성되어 있다.The test chamber 100 is provided for testing a device loaded in the test trays 180 and 190 supplied from the soak chamber 200. To this end, the test chamber 100 has a temperature environment for testing the device.

그리고 소크 챔버(200)와 테스트 챔버(100)는 서로 연통되어 있다.The soak chamber 200 and the test chamber 100 are in communication with each other.

상기 디소크 챔버(300)(일명, 회복챔버라 함)는 고온 또는 냉각상태의 디바이스를 상온으로 환원시키기 위해 마련된다.The desock chamber 300 (also called a recovery chamber) is provided to reduce the device at a high temperature or a cooled state to room temperature.

상기 수평 자세변환장치(230)는, 디소크 챔버(300)의 상방향에 위치하며, 디소크 챔버(300)로부터 이송된 수직상태의 테스트트레이를 수평상태로 자세변환시킨다.The horizontal posture converting apparatus 230 is positioned in the upward direction of the desock chamber 300 and converts the test tray in a vertical state transferred from the desock chamber 300 into a horizontal state.

상기 언로딩장치(260)는, 테스트가 완료된 디바이스를 등급별로 분류하여 다시 부호 310의 유저트레이로 언로딩(이송 및 적재)시킨다.The unloading device 260 classifies the tested devices by class and unloads (transfers and loads) the user trays 310 again.

즉, 테스트핸들러에서는 유저트레이에서 테스트트레이로 로딩하는 과정에서부터 테스트가 완료된 디바이스를 테스트트레이로부터 유저트레이로 언로딩하는 과 정까지 디바이스를 적재한 테스트트레이의 이동이 순차적으로 이루어진다.In other words, the test handler sequentially moves the test tray loaded with the device from the user tray to the test tray and the process of unloading the device from the test tray to the user tray.

도2 및 도3은 도1의 테스트핸들러를 평면에서 바라본 개략도로서, 도2에는 테스트핸들러 내에서 이루어지는 테스트트레이의 이송방향(a)과 디바이스의 이송방향(b)이 표현되어 있다. 그리고 도3에서 참조되는 바와 같이 테스트 챔버(100)는 테스트대기부(100a), 테스트부(100b) 및 출력대기부(100c)로 구성되어 있다. 테스트대기부(100a)에서는 소크 챔버(200)로부터 이동되어 온 테스트트레이가 테스트부(100b)로 이송되기에 앞서 대기하고 있고, 테스트부(100b)에서는 테스트대기부(100a)로부터 온 테스트트레이에 적재된 디바이스가 테스트되며, 출력대기부(100c)에서는 테스트부(100b)에서 테스트가 완료된 테스트트레이가 디소크 챔버(300)로 출력되기에 앞서 대기하고 있게 된다. 이와 같은 테스트 챔버(100)에서 테스트트레이는 첫째, 테스트대기부(100a)에서 테스트부(100b)로 이송되게 되며, 둘째, 테스트부(100b)에서 출력대기부(100c)로 이송되게 된다. 이 때, 첫째의 이송과정 및 둘째의 이송과정은 미도시된 트레이이송장치에 의해 이루어질 수 있다.2 and 3 are schematic views of the test handler of FIG. 1 in plan view, and FIG. 2 shows a conveying direction a of a test tray and a conveying direction b of a device formed in the test handler. As shown in FIG. 3, the test chamber 100 includes a test standby unit 100a, a test unit 100b, and an output standby unit 100c. The test standby unit 100a waits before the test tray moved from the soak chamber 200 is transferred to the test unit 100b, and the test unit 100b transfers the test tray from the test standby unit 100a to the test tray 100a. The loaded device is tested, and the output standby unit 100c waits before the test tray, which has been tested in the test unit 100b, is output to the desock chamber 300. In the test chamber 100 as described above, the test tray is firstly transferred from the test standby unit 100a to the test unit 100b, and secondly, the test tray 100b is transferred from the test unit 100b to the output standby unit 100c. At this time, the first conveying process and the second conveying process may be made by a tray conveying apparatus not shown.

위에서 설명한 바와 같이 테스트트레이는 테스트 챔버 내에서뿐만 아니라 각 챔버간이나 각 챔버 내에서 지속적인 이송이 이루어짐으로써, 도2의 a루프와 같은 회전방향을 가지고 순환하게 되는 것이며, 그러한 순환과정에서 필연적으로 다수의 트레이이송장치가 요구되는 것이다.As described above, the test tray is circulated with the rotational direction as shown in the loop a of FIG. 2 by continuous transfer between the chambers and the chambers as well as in the test chambers. A tray feeder is required.

그러한 다수의 트레이이송장치 중 테스트 챔버 내에서 테스트트레이를 이송시키기에 적합한 트레이이송장치에 대하여 대한민국 공개특허공보 공개번호 10-2004-0092786호(발명의 명칭 : 반도체 소자 테스트 핸들러용 테스트 트레이 이송장치, 이하 '인용기술'이라 함)에 제시되어 있다.Korean Patent Publication No. 10-2004-0092786 (Invention: Test Tray Transfer Device for Semiconductor Device Test Handler) for a tray transfer device suitable for transporting a test tray in a test chamber among a plurality of tray transfer devices. Hereinafter referred to as 'quotation technology'.

인용기술을 참조하여보면, 리드스크류 및 서보모터에 의해 선형이동하는 이동블럭과, 이동블럭의 상측에 테스트 트레이의 일측 모서리 부분을 해제 가능하게 고정하는 홀더장치가 구성되고, 홀더장치는 회전축 및 이 회전축을 회전시키기 위한 회전수단 등을 포함하고 있다. 여기서 회전수단은 모터 등과 같은 동력원 임을 알 수 있다. 인용기술에서 알 수 있는 바와 같이, 테스트트레이를 이송시키기 위해서는, 테스트트레이를 파지 또는 파지해제 하기 위한 동작 및 이송동작이 필요하다. 그런데 각각의 동작은 일반적으로 다른 기계적 매카니즘에 의해 이루어지기 때문에 별개의 동력원을 구성시키는 등 이송동작을 위한 구성과 파지 또는 파지해제에 필요한 동작을 위한 구성이 필요하다.Referring to the cited technology, a movable block linearly moved by a lead screw and a servomotor, and a holder device for releasably fixing one corner portion of the test tray to an upper side of the movable block, the holder device includes a rotating shaft and And rotating means for rotating the rotating shaft. Here it can be seen that the rotation means is a power source such as a motor. As can be seen in the cited art, in order to convey the test tray, an operation and a conveying operation for holding or releasing the test tray are required. However, since each operation is generally made by a different mechanical mechanism, a configuration for a transfer operation, such as configuring a separate power source, and a configuration for an operation required for holding or releasing a grip are necessary.

그런데, 인용기술에서와 같이, 이송동작을 위해 구성되는 이동블럭에, 파지 또는 파지해제 동작을 위해 구성되는 홀더장치가 결합되는 경우에는 다음과 같은 문제점이 발생할 수 있다.However, as in the cited art, when a holder device configured for gripping or releasing operation is coupled to a moving block configured for a conveying operation, the following problems may occur.

첫째, 모터나 솔레노이드장치 등을 챔버 내부에 배치시키기 위해서는 전력선 등이 함께 구성되어야 하며, 더욱이 테스트트레이를 파지한 홀더장치의 이동길이에 따라서 필연적으로 전력선도 그 이상의 길이를 확보하여야 하기 때문에 챔버 내부 의 구조가 번잡하고, 전력선과 타 장치와의 간섭을 피하기 위한 배치상의 복잡함도 발생하게 되는 것이다.First, in order to arrange the motor or solenoid device in the chamber, the power line must be configured together. Moreover, the power line must be secured longer than the length of the holder device holding the test tray. The structure is complicated, and the layout complexity to avoid the interference between the power line and other devices also occurs.

둘째, 홀더장치가 일체로 이동블럭에 결합되기 때문에 이동블럭과 함께 이동하게 됨으로써, 홀더장치에 의해 필요되는 공간과 타 장치에 의해 필요되는 공간이 서로 간섭되지 않도록 공간설정을 하여 장치설계를 하여야 하기 때문에 그 또한 설계의 복잡함을 동반하게 된다.Second, since the holder device is integrally coupled to the moving block, the holder device is moved together with the moving block, so that the device design must be made so that the space required by the holder device and the space required by other devices do not interfere with each other. That also brings with it the complexity of the design.

셋째, 이동블럭과 함께 홀더장치가 이동하기 때문에, 무수히 반복적인 이동동작에 따른 충격에 의해 홀더장치의 기계적 구성이 취약해지는 문제점이 발생하게 되어 제품의 수명을 단축시키게 된다.Third, since the holder device moves together with the moving block, the mechanical configuration of the holder device becomes weak due to the impact of the numerous repeated movements, thereby shortening the life of the product.

넷째, 일반적으로 소크 챔버 또는 테스트 챔버 등은 테스트환경조건을 가혹하게 설정하기 위하여 영상 135도 이상의 고온상태 또는 영하 40도 이하의 저온상태를 유지하기도 하는데, 파지 또는 파지해제 동작을 위한 홀더장치에 적용되는 동력원으로 상정할 수 있는 모터나 솔레노이드장치 등이 이러한 가혹 조건에 의해 동작이상을 발생시키거나 내구성이 떨어지는 문제점이 발생할 수 있으며, 만일 가혹 조건을 견디어 낼 수 있도록 하기 위해서는 고가의 부품을 적용시켜야 되기 때문에 생산단가가 상승하게 된다.Fourth, in general, the soak chamber or the test chamber maintains a high temperature state of more than 135 degrees or a low temperature of minus 40 degrees in order to severely set the test environment conditions, and is applied to a holder device for holding or releasing a grip. Motors or solenoid devices that can be assumed to be power sources may cause malfunctions or inferior durability due to such harsh conditions.If expensive parts are required to be able to withstand the harsh conditions, As a result, production costs will rise.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로 다음과 같은 목적을 가진다.The present invention has been made to solve the above problems has the following object.

첫째, 테스트트레이를 파지하는 데 필요한 동력원이 테스트트레이를 이동시 키기 위한 구성과 분리될 수 있는 기술을 제공한다.First, it provides a technology in which the power source required to hold the test tray can be separated from the configuration for moving the test tray.

둘째, 테스트트레이를 파지하는 데 필요한 동력원이 테스트트레이의 이동으로부터 독립될 수 있는 기술을 제공한다.Second, it provides a technology that allows the power source required to grip the test tray to be independent of the movement of the test tray.

셋째, 더 나아가 테스트트레이를 파지하기 위한 동력원이 챔버의 환경 등에 영향을 받지 않도록 하는 기술을 제공한다.Third, the present invention further provides a technology in which the power source for holding the test tray is not affected by the environment of the chamber.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러는, 유저트레이에 적재된 디바이스를 테스트트레이로 로딩시키는 로딩장치; 상기 로딩장치에 의해 로딩이 완료된 테스트트레이에 적재된 디바이스를 예열/예냉시키기 위해 마련되는 소크 챔버;상기 소크 챔버로부터 공급되는 테스트트레이에 적재된 디바이스를 테스트하기 위해 마련되는 테스트 챔버; 상기 테스트 챔버에서 테스트가 완료된 디바이스를 유저트레이로 언로딩시키는 언로딩장치; 및 상기 로딩장치, 소크챔버, 테스트 챔버 및 언로딩장치를 순환하는 테스트트레이 이송 경로의 적어도 일부 구간에 설치되어 상기 테스트트레이를 이송시키는 트레이이송장치; 를 포함하고, 상기 트레이이송장치는, 상기 테스트트레이를 파지하거나 파지해제한 상태로 이동 가능한 파지블럭; 상기 파지블럭의 파지 및 파지해제에 필요한 동력을 공급하며, 상기 파지블럭의 이동으로부터 독립되도록 설치되는 제1동력원; 상기 제1동력원으로부터 공급되는 동력을 상기 파지블럭에 전달하는 제1동력전달장치; 상기 파지블럭의 이동에 필요한 동력을 공급하며, 상기 파지블럭의 이동으로부터 독립되도록 설치되는 제2동력원; 및 상기 제2동력원으로부터 공급되는 동력을 상기 파지블럭에 전달하는 제2동력전달장치; 를 구비하는 것을 특징으로 한다.Test handler according to the present invention for achieving the above object, the loading device for loading the device loaded in the user tray into the test tray; A soak chamber provided for preheating / preheating a device loaded in the test tray which has been loaded by the loading apparatus; a test chamber provided for testing a device loaded in a test tray supplied from the soak chamber; An unloading device for unloading a device in which the test is completed in the test chamber to a user tray; And a tray conveying apparatus installed in at least a part of a test tray conveying path circulating the loading apparatus, the soak chamber, the test chamber, and the unloading apparatus to convey the test tray. The tray transport apparatus includes a gripping block movable in a state of holding or releasing the test tray; A first power source for supplying power required for gripping and releasing the gripping block, the first power source being installed to be independent from the movement of the gripping block; A first power transmission device for transferring power supplied from the first power source to the gripping block; A second power source for supplying power required for movement of the gripping block and installed to be independent from the movement of the gripping block; And a second power transmission device for transmitting power supplied from the second power source to the gripping block. Characterized in having a.

상기 제1동력원 또는 상기 제2동력원은 상기 테스트 챔버의 외부에 고정 설치되는 것을 또 하나의 특징으로 한다.The first power source or the second power source is another feature that is fixed to the outside of the test chamber.

상기 파지블럭은, 상기 제1동력전달장치로부터 전달받은 동력에 의해 테스트트레이를 파지 또는 파지해제하기 위한 작동을 실행하는 파지부재; 및 상기 제2동력전달장치로부터 전달받은 동력에 의해 이동하는 이동부재; 를 포함하고, 상기 파지부재는 상기 이동부재의 이동에 따라 함께 이동하도록 상기 이동부재에 결합되는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.The gripping block may include: a gripping member configured to perform an operation for gripping or releasing a test tray by the power received from the first power transmission device; And a moving member moving by the power received from the second power transmission device. To include, the holding member is characterized in that it is coupled to the moving member to move together in accordance with the movement of the moving member.

상기 파지부재는 상기 이동부재의 이동에 따라 함께 이동하되, 상기 이동부재에 대한 상대적 접근 및 이반이 가능하도록 상기 이동부재에 결합되고, 상기 파지부재의 일측에는 상기 상대적 접근 및 이반에 따라 상기 테스트트레이에 대해 삽입되거나 탈각되는 파지핀이 형성되어 있고, 상기 제1동력전달장치는, 상기 제1동력원에 의해 공급되는 동력을 통해 상기 파지부재의 상대적 접근 및 이반을 가능하게 하는 것을 또 하나의 특징으로 한다.The gripping member moves together with the movement of the movable member, and is coupled to the movable member to enable relative access and separation of the movable member, and the test tray according to the relative approach and separation on one side of the gripping member. And a gripping pin inserted or demounted with respect to the first power transmission device, wherein the first power transmission device enables relative access and separation of the gripping member through power supplied by the first power source. do.

상기 제1동력전달장치는, 상기 이동부재의 이동방향(이하, "횡방향"이라 함)으로 기다랗게 형성되어 상기 파지부재의 상대적 접근 및 이반 방향(이하, "종방향"이라 함)으로 직선 왕복운동할 수 있는 전후진바를 포함하며, 상기 파지부재는, 상기 전후진바에 대해 횡방향의 자유도를 가지나 종방향의 자유도는 제한되는 슬라이딩 돌기를 구비함으로써, 상기 전후진바와 함께 종방향으로 직선 왕복운동하면서 도 상기 이동부재와 함께 횡방향으로 이동할 수 있는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.The first power transmission device is formed to be elongated in the moving direction of the moving member (hereinafter referred to as "lateral direction") to be straight in the relative approach and half direction (hereinafter referred to as "the longitudinal direction") of the holding member. And a forward and backward progress bar capable of reciprocating, wherein the holding member has a sliding protrusion having a degree of freedom in the transverse direction with respect to the forward and backward progress bar, and a degree of freedom in the longitudinal direction is limited, thereby linearly reciprocating in the longitudinal direction together with the forward and backward progress bar. More specifically, it can move in the transverse direction with the moving member while moving.

상기 제1동력원은 공압 실린더인 것을 또 하나의 특징으로 한다.The first power source is another feature that is a pneumatic cylinder.

상기 제2동력원은 회전 모터이고, 상기 제2동력전달장치는 벨트와 풀리를 구비하는 것을 또 하나의 특징으로 한다.The second power source is a rotary motor, the second power transmission device is characterized in that it further comprises a belt and a pulley.

이하, 본 발명에 따른 하나의 바람직한 실시 예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, one preferred embodiment according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도4는 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러(40)의 소크 챔버(400A) 및 테스트 챔버(400B)의 내부구조를 측면에서 본 개략도이고, 도5는 도4의 A부분을 확대한 확대도, 도6은 도4의 BB선을 잘라 I방향으로 바라본 개략도, 도7은 도4의 테스트핸들러(40)의 주요부위를 발체하여 개략적으로 도시한 사시도이다.Figure 4 is a schematic view showing the internal structure of the soak chamber 400A and the test chamber 400B of the test handler 40 in accordance with an embodiment of the present invention, Figure 5 is an enlarged view of an enlarged portion A of FIG. 6 is a schematic view of the BB line of FIG. 4 and viewed in the I direction, and FIG. 7 is a perspective view schematically showing the main portion of the test handler 40 of FIG.

도4 내지 도7을 참조하면, 본 실시예에 따른 테스트핸들러(40)는, 소크 챔버(400A), 테스트 챔버(400B), 트레이이송장치(500) 등을 포함하고 있다.4 to 7, the test handler 40 according to the present embodiment includes a soak chamber 400A, a test chamber 400B, a tray feeder 500, and the like.

상기 소크 챔버(400A)는 로딩부로부터 수용된 후 하방에 적재된 테스트트레이(600)를 순차적으로 이동시키면서 후방에 배치된 테스트 챔버(400B)로 공급하며, 이러한 과정 중에 테스트트레이(600)에 적재된 디바이스를 예열 또는 예냉시킨다.The soak chamber 400A is supplied from the loading unit to the test chamber 400B disposed at the rear while sequentially moving the test tray 600 loaded downward, and is loaded in the test tray 600 during this process. Preheat or precool the device.

상기 테스트 챔버(400B)는 상기 소크 챔버(400A)의 후방에 마련되며, 소크 챔버(400A)로부터 공급된 테스트트레이(600)에 적재된 디바이스를 테스트한 후 디소크 챔버(미도시)로 출력시킨다. 이러한 테스트 챔버(400B)는 도6에서 참조되는 바와 같이 소크 챔버(400A)로부터 공급된 테스트트레이(600)가 테스트되기에 앞서 대기하는 테스트대기부(400B-1)와, 테스트가 수행되는 테스트부(400B-2), 테스트가 완료된 디바이스를 적재한 테스트트레이(600)가 미도시된 디소크 챔버로 출력되기에 앞서 대기하는 출력대기부(400B-3)로 구분된다.The test chamber 400B is provided at the rear of the soak chamber 400A, and tests the device loaded in the test tray 600 supplied from the soak chamber 400A, and outputs the test chamber 400B to a desock chamber (not shown). . The test chamber 400B includes a test standby unit 400B-1 waiting for the test tray 600 supplied from the soak chamber 400A to be tested, and a test unit in which the test is performed, as shown in FIG. 6. 400B-2, the test tray 600, in which the device for which the test is completed, is loaded, is divided into an output standby part 400B-3 which waits before being output to a desock chamber (not shown).

상기 트레이이송장치(500)는 상기 테스트대기부(400B-1)에 있는 테스트트레이(600)를 상기 테스트부(400B-2)로 이송시킨다. 물론, 테스트부(400B-2)에서 테스트가 완료된 디바이스가 적재된 테스트트레이(600)를 출력대기부(400B-3)로 이송시키기 위한 트레이이송장치가 더 구성되지만, 이렇게 더 구성되는 트레이이송장치는 부호 500으로 표시되는 트레이이송장치와 상호 대칭되는 동일한 구성을 가지므로 그 설명을 생략한다.The tray transport apparatus 500 transfers the test tray 600 in the test standby unit 400B-1 to the test unit 400B-2. Of course, the tray transfer apparatus for transferring the test tray 600 loaded with the device completed the test in the test unit 400B-2 to the output standby unit 400B-3 is further configured, the tray transfer apparatus is further configured Has the same configuration that is mutually symmetrical with the tray feeder indicated by reference numeral 500, and thus description thereof is omitted.

한편, 상기 트레이이송장치(500)는, 파지블럭(510), 제1동력원, 제1동력전달장치(530), 제2동력원, 제2동력전달장치(550) 및 가이딩장치(560) 등을 포함하여 구성된다. 이와 같은 각 구성 및 세부구성을 순서적으로 설명하면 다음과 같다.On the other hand, the tray transfer device 500, the gripping block 510, the first power source, the first power transmission device 530, the second power source, the second power transmission device 550 and the guiding device 560, etc. It is configured to include. Each of these configurations and detailed configurations will be described in order as follows.

상기 파지블럭(510)은, 테스트트레이(600)를 파지하거나 파지 해제한 상태에서 이동가능하도록 구성되며, 이를 위해, 상기 제1동력전달장치(530)로부터 전달받은 동력에 의해 테스트트레이(600)를 파지 또는 파지해제하기 위한 작동을 실행하는 파지부재(511) 및 상기 제2동력전달장치(550)로부터 전달받은 동력에 의해 이동하는 이동부재(512)를 가진다.The gripping block 510 is configured to be movable in a state in which the test tray 600 is held or released, and for this purpose, the test tray 600 is driven by the power transmitted from the first power transmission device 530. It has a gripping member 511 to perform the operation for gripping or gripping and a moving member 512 to move by the power received from the second power transmission device 550.

상기 파지부재(511)는 상기 이동부재(512)의 이동에 따라 함께 이동하도록 이동부재(512)에 결합되어 구성되되, 좌우 수평이동하는 이동부재(512)와 독립적으로 전후진 슬라이딩하여 테스트트레이(600)를 파지하거나 파지해제하도록 결합된다. 따라서 파지부재(511)는, 파지부재(511)의 전후진에 의해 테스트트레이(600)에 형성된 홀에 삽입되거나 탈각되는 파지핀(511a)과, 후술할 전후진바(534)의 레일홈(534a)에 슬라이딩 가능하도록 삽입되어 있는 슬라이딩돌기(511b) 및 상기 이동부재(512)와 전후 슬라이딩 가능하도록 결합되기 위한 결합돌기(511c)를 가진다. 그리고 상기 파지부재(511)는 가이딩부재(미도시)에 의해 가이딩됨으로써 보다 정확하게 이동될 수 있도록 하는 것이 바람직할 것이다.The holding member 511 is configured to be coupled to the moving member 512 to move together with the movement of the moving member 512, the front and rear horizontal moving independently of the moving member 512 by sliding forward and backward test tray ( 600 is coupled to gripping or ungripping. Accordingly, the gripping member 511 includes a gripping pin 511a which is inserted into or removed from the hole formed in the test tray 600 by the forward and backward movement of the gripping member 511 and the rail groove 534a of the forward and backward bar 534 which will be described later. Sliding protrusion (511b) is inserted to be slidable) and the engaging projection (511c) for coupling to the front and rear sliding with the movable member 512. In addition, the gripping member 511 may be moved more accurately by guiding by a guiding member (not shown).

상기 이동부재(512)는 상기 파지부재(511)와 결합되기 위한 결합홈(512b)과 후술할 스플라인축이 통과되는 통과공(512a)을 가지며, 또한, 후술될 회전벨트(553)에 결합되어 있어서 회전벨트(553)의 회전에 의해 상기 스플라인축에 가이드되면서 좌우 수평이동한다.The movable member 512 has a coupling groove 512b for coupling with the holding member 511 and a passage hole 512a through which a spline shaft to be described later passes, and is coupled to a rotating belt 553 to be described later. In the rotation belt 553 is rotated horizontally while being guided to the spline shaft by the rotation.

상기 제1동력원은 상기 파지부재(511)에 전후진력을 제공하기 위한 동력을 공급하기 위한 것으로 본 실시예에서는 공압실린더(520, 도4참조)로 구성되었으며, 테스트 챔버(400B)의 전방에 배치됨으로써 테스트 챔버(400B)의 환경조건에 무관하게 된다. 물론, 공압실린더(520)는 다양한 동력원으로 대체되어 구성될 수 있음은 당연하다.The first power source is for supplying power to provide the front and rear vibration force to the holding member 511. In the present embodiment, the first power source includes a pneumatic cylinder 520 (see FIG. 4), and is disposed in front of the test chamber 400B. As a result, regardless of the environmental conditions of the test chamber 400B. Of course, the pneumatic cylinder 520 may be configured to be replaced by a variety of power sources.

상기 제1동력전달장치(530)는 상기 제1동력원으로부터 공급되는 동력을 상기 파지부재(511)에 전후진력으로 전달하며, 회전바(531), 제1링크부재(532), 제2링크부재(533) 및 전후진바(534) 등을 포함하여 구성된다.The first power transmission device 530 transmits the power supplied from the first power source to the holding member 511 as a forward and backward force, the rotary bar 531, the first link member 532, the second link member. 533 and forward and backward bars 534 and the like.

상기 회전바(531)는 좌우방향으로 길게 마련되며, 정역회전가능하도록 마련 되어 있으며, 상기 제1링크부재(532)의 홈에 삽입되는 제1돌기(531a)와, 상기 제2링크부재(533)의 홈에 삽입되는 제2돌기(531b)가 수평방향에 직교하는 방향으로 형성되어 있다.The rotation bar 531 is elongated in the left and right directions, and is provided to be capable of forward and reverse rotation, and includes a first protrusion 531a and a second link member 533 inserted into a groove of the first link member 532. The second projection 531b to be inserted into the groove of the cavities is formed in a direction perpendicular to the horizontal direction.

상기 제1링크부재(532)는 상기 공압실린더(520)의 피스톤로드(520a)의 전후진에 의해 전후진되고, 상기 회전바(531)의 제1돌기(531a)가 수용되는 수용홈을 가지며, 전후진에 의해 상기 제1돌기(531a)를 밀거나 끌어당김으로써 회전바(531)를 회전시킨다. 그리고 제1링크부재(532)는 부호 601의 가이딩부재에 의해서 가이딩된다.The first link member 532 is moved forward and backward by the forward and backward movement of the piston rod 520a of the pneumatic cylinder 520, and has a receiving groove in which the first protrusion 531a of the rotation bar 531 is accommodated. The rotary bar 531 is rotated by pushing or pulling the first protrusion 531a by forward and backward. The first link member 532 is guided by the guiding member 601.

상기 제2링크부재(533)는 회전바(531)의 회전에 따라서 회전하는 제2돌기(531b)의 회전에 의해 전후진하며, 상기 전후진바(534)에 결합되어 있다.The second link member 533 is advanced back and forth by the rotation of the second projection (531b) that rotates in accordance with the rotation of the rotary bar 531, is coupled to the front and rear progress bar 534.

즉, 상기 제1링크부재(532) 및 제2링크부재(533)와 제1돌기(531a) 및 제2돌기(531b)는 힘의 방향을 전환시키는 것으로, 제1링크부재(532) 및 제1돌기(531a)는 전후진력을 회전력으로 제2링크부재(533) 및 제2돌기(531b)는 회전력을 전후진력으로 전환시킨다.That is, the first link member 532, the second link member 533, the first protrusions 531a, and the second protrusions 531b change the direction of the force. The first projection 531a converts the forward and backward force into rotational force, and the second link member 533 and the second projection 531b convert the rotational force into forward and backward vibration.

한편, 상기한 제1돌기(531a) 및 제2돌기(531b)의 돌출 방향은 임의적인 방향으로 돌출될 수 있으며, 그러한 돌출방향에 제1링크부재(532) 및 제2링크부재(533)가 위치되면 족할 것이다.Meanwhile, the protruding directions of the first protrusions 531a and the second protrusions 531b may protrude in arbitrary directions, and the first link member 532 and the second link member 533 may be protruded in such a protruding direction. Once located, it will be enough.

상기 전후진바(534)는 좌우 수평방향으로 길게 마련되며, 상기 제2링크부재(533)에 결합되어 있어서 상기 제2링크부재(533)의 전후진에 의해 전후진된다. 그리고 상기한 슬라이딩돌기(511b)가 삽입될 수 있는 레일홈(534a)이 좌우 수평방향 으로 길게 형성되어 있다.The front and rear progress bars 534 are elongated in the horizontal direction, and are coupled to the second link member 533 to be advanced back and forth by the forward and backward movement of the second link member 533. In addition, the rail groove 534a into which the sliding protrusion 511b can be inserted is formed long in the horizontal direction.

따라서 공압실린더(520)가 구동하여 피스톤로드(520a)가 전후진하면 회전바(531)가 정역회전하게 되고, 회전바(531)의 정역회전에 의해 전후진바(534)가 전후진 되면서 슬라이딩 돌기(511b)에 전후진력을 가하게 되므로 궁극적으로 파지부재(511)가 전후진되면서 테스트트레이(600)를 파지하거나 파지해제하게 되는 것이다.Accordingly, when the pneumatic cylinder 520 is driven and the piston rod 520a moves forward and backward, the rotation bar 531 rotates forward and backward, and the forward and backward bars 534 move forward and backward by the forward and reverse rotation of the rotation bar 531, and the sliding protrusion ( Since the front and rear force is applied to the 511b), the holding member 511 is ultimately moved forward and backward to hold or release the test tray 600.

상기 제2동력원은 상기 이동부재(512)에 좌우 수평이동을 위한 동력을 공급하기 위해 마련되고, 정역회전 가능한 모터(540, 도4참조)로 구성되어 있으며, 테스트 챔버(400B)의 상방에 배치됨으로써 테스트 챔버(400B)의 환경에 무관한 위치에 있게 된다.The second power source is provided to supply power for horizontal movement to the moving member 512, and is composed of a motor 540 (see FIG. 4) capable of forward and reverse rotation and disposed above the test chamber 400B. As a result, the test chamber 400B may be in an irrelevant position to the environment of the test chamber 400B.

상기 제2동력전달장치(550)는, 상기 모터(540)의 회전축(540a)에 커플링된 동력전달축(551), 이 동력전달축(551)에 의해 회전하는 구동풀리(552a), 이 구동풀리(552a)와 좌우 수평방향으로 대응되게 마련되는 종동풀리(552b) 및 구동풀리(552a)와 종동풀리(552b)를 회전끝점으로 하여 회전하는 회전벨트(553)를 포함하여 구성된다. 이러한 회전벨트(553)의 일지점은 이동부재(512)에 결합되어 있어서, 모터(540)의 정역회전에 따라서 회전벨트(553)가 회전하면 이동부재(512)가 좌우 수평이동을 하게 된다.The second power transmission device 550 includes a power transmission shaft 551 coupled to the rotation shaft 540a of the motor 540, a drive pulley 552a rotated by the power transmission shaft 551, and The driving pulley 552a is configured to include a driven pulley 552b provided to correspond to the horizontal direction, and a rotating belt 553 rotating the driving pulley 552a and the driven pulley 552b as the rotation end points. One point of the rotating belt 553 is coupled to the moving member 512, so that when the rotating belt 553 rotates according to the forward and reverse rotation of the motor 540, the moving member 512 moves horizontally.

상기 가이딩장치(560)는 좌우 수평방향으로 길게 구성되는 상하 두개의 스플라인축으로 구성되어 있으며, 각각의 스플라인축은 상기 이동부재(512)의 통과공(512a)을 통과하도록 구성되어 있어서, 모터(540)의 회전에 따라 이동부재(512)가 이동할 시에 스플라인축에 의해 가이딩된다.The guiding device 560 is composed of two upper and lower spline shafts configured to extend in the horizontal direction, each spline shaft is configured to pass through the through hole 512a of the moving member 512, the motor ( As the moving member 512 moves as the 540 rotates, the moving member 512 is guided by the spline shaft.

이하에서는 도8a 내지 도8e를 참조하여 상기한 테스트핸들러(40)에서 작동되는 트레이이송장치(500)의 작동에 대하여 설명한다.Hereinafter, the operation of the tray feeder 500 operated by the test handler 40 will be described with reference to FIGS. 8A to 8E.

도8a는 현재 테스트대기부(400B-1)에 대기하고 있는 테스트트레이(600)를 파지하기 직전의 상태를 도시하고 있다.FIG. 8A shows a state immediately before the holding of the test tray 600 currently waiting in the test standby part 400B-1.

도8a의 상태에서 공압실린더(520)가 작동하면, 피스톤로드(520a)가 전진하게 되고, 이에 연동하여 제1링크부재(532)의 전진, 회전바(531)의 회전, 제2링크부재(533)의 전진, 전후진바(534)의 전진 및 파지부재(511)의 전진이 이루어짐(이상 도8a의 화살표 방향 참조)으로써, 도8b의 상태와 같이 파지부재(511)의 파지핀(511a)이 테스트트레이(600)의 홀(600a)에 삽입됨으로써 파지부재(511)가 테스트트레이(600)를 파지하게 된다.When the pneumatic cylinder 520 operates in the state of FIG. 8A, the piston rod 520a moves forward, and in conjunction with this, the first link member 532 moves forward, the rotation bar 531 rotates, and the second link member ( 533), forward and backward of the front and rear bars 534 and forward of the holding member 511 (see the direction of the arrow in Fig. 8a), the holding pin 511a of the holding member 511 as shown in Figure 8b The gripping member 511 grips the test tray 600 by being inserted into the hole 600a of the test tray 600.

계속하여 도8b의 상태에서 모터(540)가 구동하여 회전축(540a)이 정회전하게 됨에 따라 도8c에서와 같이 구동풀리(552a) 및 종동풀리(552b)가 화살표 방향으로 회전하게 되고, 이에 연동하여 회전벨트(553)가 화살표 방향으로 회전하면서 이 회전벨트(553)에 결합된 이동부재(512)가 이동하게 되어 도8d의 상태로 됨으로써 테스트대기부(400B-1)에 있던 테스트트레이(600)가 테스트부(400B-2)로 이송된다.Subsequently, as the motor 540 is driven in the state of FIG. 8B and the rotation shaft 540a is rotated forward, the driving pulley 552a and the driven pulley 552b rotate in the direction of the arrow as shown in FIG. 8C. As the rotating belt 553 rotates in the direction of the arrow, the movable member 512 coupled to the rotating belt 553 is moved to the state shown in FIG. 8D, so that the test tray 600 in the test standby part 400B-1 is moved. Is transferred to the test unit 400B-2.

그 후, 도8a 및 도8b의 역동작에 의해 파지부재(511)가 후진하면서 도8e의 상태로 된 후, 모터(540)의 역회전에 의해 파지블럭(510)은 다시 테스트대기부(400B-1)로 이동하게 되는 것이다.Thereafter, after the holding member 511 is moved backward by the reverse operation of FIGS. 8A and 8B, the holding member 511 is moved back to the state shown in FIG. 8E. Will be moved to -1).

이상과 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시 예 에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시 예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명 하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시 예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다. 예를 들어, 측면도 상에서 서로 다른 각도를 갖는 것으로 도시된 회전바(531)의 제1돌기(531a)와 제2돌기(531b)는 사용자의 필요에 따라 동일한 각도로 형성되어도 무방하다. 또한, 직선 왕복운동이 가능한 제2링크부재(533)의 저면에는 상기 직선 왕복운동을 가이드하도록 테스트핸들러 내 소정 위치에 고정된 LM가이드(미도시)가 설치될 수 있으며, 이러한 경우 제2링크부재(533)의 직선 왕복운동이 더 안정적으로 이루어질 것이다. As described above, the detailed description of the present invention has been made by the embodiments with reference to the accompanying drawings. However, since the above-described embodiments have only been described with reference to preferred examples of the present invention, the present invention is limited to the above embodiments. It should not be understood that the scope of the present invention is to be understood by the claims and equivalent concepts described below. For example, the first protrusion 531a and the second protrusion 531b of the rotation bar 531 shown as having different angles on the side view may be formed at the same angle according to the needs of the user. In addition, a bottom surface of the second link member 533 capable of linear reciprocating motion may be provided with an LM guide (not shown) fixed at a predetermined position in the test handler to guide the linear reciprocating motion, in which case the second link member The linear reciprocation of 533 will be made more stable.

이상에서 상세히 설명한 바와 같은 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.According to the present invention as described in detail above has the following effects.

첫째, 제1동력원인 공압실린더가 테스트 챔버의 외부에 배치되기 때문에 공압실린더를 작동시키기 위한 공압라인 등이 챔버내부에 구성될 이유가 없기 때문에 챔버내부의 구조가 깔끔하고, 공압라인과 챔버내부의 타 장치와의 간섭이 절대적으로 방지된다.First, since the pneumatic cylinder, which is the first power source, is disposed outside the test chamber, there is no reason for the pneumatic line for operating the pneumatic cylinder to be configured inside the chamber, so the structure inside the chamber is neat, and the pneumatic line and the other inside the chamber are clean. Interference with the device is absolutely prevented.

둘째, 공압실린더 및 제1동력전달장치가 이동부재와 무관하게 분리되어 설치되기 때문에 파지부재의 구성이 간단해짐으로써 챔버내부의 공간확보가 용이하여 설계의 자유도가 커진다.Second, since the pneumatic cylinder and the first power transmission device are separated and installed irrespective of the moving member, the configuration of the holding member is simplified, so that the space inside the chamber is easily secured and the freedom of design is increased.

셋째, 공압실린더가 이동부재의 이동과 무관하기 때문에 이동부재의 이동충격이 공압실린더에 영향을 전혀 미치지 않아서 공압실린더의 작동이나 수명에 지장이 없다.Third, since the pneumatic cylinder is not related to the movement of the moving member, the moving shock of the moving member does not affect the pneumatic cylinder at all, and thus there is no problem in the operation or life of the pneumatic cylinder.

넷째, 공압실린더, 더 나아가 모터가 테스트 챔버의 외부에 마련되기 때문에 테스트 챔버의 환경조건에 무관하게 되어서 동작이상이나 내구성을 테스트 챔버의 환경과 무관한 상태로 유지시킬 수 있으며, 상태적으로 저렴한 제품이 적용될 수 있어서 생산단가를 절감할 수 있다.Fourth, since the pneumatic cylinder and, moreover, the motor is provided outside the test chamber, it is irrelevant to the test chamber's environmental conditions and can maintain abnormal operation or durability regardless of the test chamber's environment. This can be applied to reduce the production cost.

Claims (8)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 유저트레이에 적재된 디바이스를 테스트트레이로 로딩시키는 로딩장치;A loading device for loading a device loaded in the user tray into a test tray; 상기 로딩장치에 의해 로딩이 완료된 테스트트레이에 적재된 디바이스를 예열/예냉시키기 위해 마련되는 소크 챔버;A soak chamber provided to preheat / precool the device loaded in the test tray which has been loaded by the loading apparatus; 상기 소크 챔버로부터 공급되는 테스트트레이에 적재된 디바이스를 테스트하기 위해 마련되는 테스트 챔버;A test chamber provided for testing a device loaded in a test tray supplied from the soak chamber; 상기 테스트 챔버에서 테스트가 완료된 디바이스를 유저트레이로 언로딩시키는 언로딩장치; 및 An unloading device for unloading a device in which the test is completed in the test chamber to a user tray; And 순환하는 테스트트레이 이송 경로의 적어도 일부 구간에 설치되어 상기 테스트트레이를 이송시키는 트레이이송장치; 를 포함하고,A tray transfer device installed in at least a portion of a circulating test tray transfer path to transfer the test tray; Including, 상기 트레이이송장치는,The tray transport apparatus, 상기 테스트트레이를 파지하거나 파지해제한 상태로 이동 가능한 파지블럭;A holding block movable in a state of holding or releasing the test tray; 상기 파지블럭의 파지 및 파지해제에 필요한 동력을 공급하며, 상기 파지블럭의 이동으로부터 독립되도록 설치되는 제1동력원;A first power source for supplying power required for gripping and releasing the gripping block, the first power source being installed to be independent from the movement of the gripping block; 상기 제1동력원으로부터 공급되는 동력을 상기 파지블럭에 전달하는 제1동력전달장치;A first power transmission device for transferring power supplied from the first power source to the gripping block; 상기 파지블럭의 이동에 필요한 동력을 공급하며, 상기 파지블럭의 이동으로부터 독립되도록 설치되는 제2동력원; 및A second power source for supplying power required for movement of the gripping block and installed to be independent from the movement of the gripping block; And 상기 제2동력원으로부터 공급되는 동력을 상기 파지블럭에 전달하는 제2동력전달장치; 를 포함하며,A second power transmission device for transmitting power supplied from the second power source to the gripping block; Including; 상기 파지블럭은,The gripping block is, 상기 제2동력전달장치로부터 전달받은 동력에 의해 이동하는 이동부재; 및A moving member moving by the power received from the second power transmission device; And 상기 제1동력전달장치로부터 전달받은 동력에 의해 테스트트레이를 파지 또는 파지해제하며, 상기 이동부재의 이동에 따라 함께 이동하되 상기 이동부재에 대한 상대적 접근 및 이반이 가능하도록 상기 이동부재에 결합되고, 일측에는 상대적 접근 및 이반에 따라 상기 테스트트레이에 대해 삽입되거나 탈각되는 파지핀이 형성되어 있는 파지부재; 를 포함하고,Holding or releasing the test tray by the power received from the first power transmission device, and moves together with the movement of the movable member, but coupled to the movable member to allow relative access and separation to the movable member, A gripping member having a gripping pin inserted or deviated with respect to the test tray according to a relative approach and separation; Including, 상기 제1동력전달장치는, 상기 제1동력원에 의해 공급되는 동력을 통해 상기 파지부재의 상대적 접근 및 이반을 가능하게 하며, 상기 이동부재의 이동방향(이하, "횡방향"이라 함)으로 기다랗게 형성되어 상기 파지부재의 상대적 접근 및 이반 방향(이하, "종방향"이라 함)으로 직선 왕복운동할 수 있는 전후진바를 포함하고, The first power transmission device enables relative access and separation of the gripping member through power supplied by the first power source, and waits in the moving direction of the moving member (hereinafter referred to as "lateral direction"). It is formed in yellow and includes a front and rear progress bar that can linearly reciprocate in the relative approach and the half direction (hereinafter referred to as "the longitudinal direction") of the holding member, 상기 파지부재는, 상기 전후진바에 대해 횡방향의 자유도를 가지나 종방향의 자유도는 제한되는 슬라이딩 돌기를 구비함으로써, 상기 전후진바와 함께 종방향으로 직선 왕복운동하면서도 상기 이동부재와 함께 횡방향으로 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러.The gripping member has a sliding protrusion having a degree of freedom in the transverse direction with respect to the forward and backward bars, but limited in the degree of freedom in the longitudinal direction, thereby moving horizontally with the moving member while linearly reciprocating in the longitudinal direction together with the forward and backward bars. Test handler, characterized in that. 삭제delete 삭제delete
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