KR102447773B1

KR102447773B1 - Handler

Info

Publication number: KR102447773B1
Application number: KR1020210142548A
Authority: KR
Inventors: 김남형; 민경조; 이상훈
Original assignee: (주)테크윙
Priority date: 2017-03-23
Filing date: 2021-10-25
Publication date: 2022-09-27
Also published as: KR102319412B1; KR20180108045A; KR20210130684A

Abstract

본 발명은 핸들러에 관한 것이다. 구체적으로 본 발명의 일 실시예에 따르면, 핸들러는 대상물체를 지지할 수 있는 테이블 유닛; 및 이송장치를 포함할 수 있으며, 상기 테이블 유닛은 회전없이 상기 대상물체를 이송시키는 제1 이송모드 및 상기 메인경로의 적어도 일부 구간에서 회전하면서 상기 대상물체를 이송시키는 제2 이송모드 중 어느 하나로 선택적으로 작동될 수 있다. The present invention relates to handlers. Specifically, according to an embodiment of the present invention, the handler is a table unit capable of supporting the object; and a transfer device, wherein the table unit is selectively selected in any one of a first transfer mode for transferring the target object without rotation and a second transfer mode for transferring the target object while rotating in at least a partial section of the main path can work with

Description

handler {HANDLER}

본 발명은 대상물체를 이송시키는 핸들러에 대한 발명이다. The present invention relates to a handler for transporting an object.

일반적으로, 반도체소자 테스트용 핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자들을 테스터에 전기적으로 연결한 후 테스트 결과에 따라 반도체소자를 분류하는 장비이다. 이러한 핸들러는 테스트되어야 할 반도체소자의 종류에 최적화될 수 있도록 하기 위해 다양한 형태로 제작될 수 있다. In general, a handler for testing a semiconductor device is an equipment that electrically connects semiconductor devices manufactured through a predetermined manufacturing process to a tester and classifies the semiconductor devices according to test results. Such a handler may be manufactured in various forms in order to be optimized for the type of semiconductor device to be tested.

이러한 핸들러는 고객트레이로부터 반도체 소자를 공급받고, 공급된 반도체 소자를 테스터로 운송한다. 테스터는 픽앤플레이스 장치가 파지한 다수의 반도체 소자들을 테스트위치에 구비된 테스트 소켓에 한꺼번에 전기적으로 접촉시키도록 구성될 수 있다. 즉, 테스트위치에서 픽앤플레이스 장치가 반도체 소자를 한꺼번에 파지하여 테스터측으로 이동시켜 전기적으로 연결시킨다. 이러한 테스트가 완료되면, 픽앤플레이스장치는 다음으로 테스트되어야 할 새로운 반도체소자들을 테스터측에 전기적으로 연결시키기 위해 테스트가 완료된 반도체 소자들을 언로딩시킨다. This handler receives the semiconductor device from the customer tray, and transports the supplied semiconductor device to the tester. The tester may be configured to electrically contact a plurality of semiconductor devices gripped by the pick-and-place device to a test socket provided at a test position at once. That is, at the test position, the pick-and-place device grasps the semiconductor elements at once, moves them to the tester side, and electrically connects them. When the test is completed, the pick-and-place device unloads the tested semiconductor devices in order to electrically connect new semiconductor devices to be tested next to the tester side.

상기와 같이 반도체 소자가 테스터에 공급될 때, 반도체 소자는 그 단자가 테스터의 테스트 소켓과 맞물리도록 핸들러에 배치될 필요가 있다. 따라서, 핸들러의 반도체 소자 수용부는 이러한 테스터의 소켓의 형태를 고려하여 제작된다. When the semiconductor element is supplied to the tester as described above, the semiconductor element needs to be placed in the handler so that its terminal engages the test socket of the tester. Accordingly, the semiconductor element accommodating part of the handler is manufactured in consideration of the shape of the socket of the tester.

그러나, 테스터 소켓의 구성만이 고려되어 핸들러에서의 반도체 소자의 배치가 결정될 경우, 핸들러에서의 반도체 소자 수용부의 방향은 고객트레이가 핸들러로 반도체 소자를 로딩할 때에 고객트레이가 공급하는 반도체 소자의 방향과 부합하지 않을 수 있다. 예를 들어, 테스터 소켓의 구성을 고려하여 핸들러에서 반도체 소자가 가로방향으로 배치되도록 핸들러를 구성할 경우, 이러한 핸들러는 세로 방향으로 반도체 소자를 공급하는 고객트레이에 부합하지 않는다. 이처럼, 종래의 핸들러는 반도체 소자의 로딩 및 언로딩 방향이 다르게 구성되는 핸들러와 고객트레이를 동시에 만족시키기 어렵다는 문제가 있다. However, when only the configuration of the tester socket is considered and the arrangement of the semiconductor element in the handler is determined, the direction of the semiconductor element accommodating part in the handler is the direction of the semiconductor element supplied by the customer tray when the customer tray loads the semiconductor element into the handler. may not be consistent with For example, if the handler is configured so that the semiconductor elements are horizontally arranged in the handler in consideration of the configuration of the tester socket, the handler does not fit into the customer tray for supplying the semiconductor elements in the vertical direction. As such, the conventional handler has a problem in that it is difficult to simultaneously satisfy a handler and a customer tray configured in different loading and unloading directions of semiconductor devices.

한편, 이러한 문제를 해결하기 위해 핸들러의 반도체 수용부를 회전시키거나, 반도체 수용부 간의 간격을 조절하는 모듈을 추가하는 것을 고려할 수 있다. 그러나, 이러한 모듈을 추가할 경우 핸들러의 구성이 지나치게 복잡해진다는 문제가 있다. 또한, 이러한 모듈의 추가에 따라 핸들러가 대형화되어 무거워지고, 반도체 수용부 간의 간격을 조절하거나 이를 회전시키기 위하여 넓은 공간(로테이터 존)이 요구되므로, 핸들러의 작동 효율이 떨어지며 반도체 수용부 간의 간격을 작은 범위로 조절하기 어렵다는 문제가 발생한다. Meanwhile, in order to solve this problem, it may be considered to rotate the semiconductor accommodating part of the handler or to add a module for adjusting the distance between the semiconductor accommodating parts. However, there is a problem that the configuration of the handler becomes too complicated when such a module is added. In addition, according to the addition of such a module, the handler becomes large and heavy, and a large space (rotator zone) is required to adjust or rotate the distance between the semiconductor accommodating parts, so the operating efficiency of the handler decreases and the distance between the semiconductor accommodating parts is reduced A problem arises that it is difficult to control the range.

본 발명의 실시예들은 상기와 같은 종래의 문제점에 착안하여 발명된 것으로서, 상대적으로 간소한 구성으로 적재된 대상물체의 배치를 더욱 효과적으로 조절할 수 있는 핸들러를 제공하고자 한다. Embodiments of the present invention were invented in view of the conventional problems as described above, and are intended to provide a handler that can more effectively control the arrangement of the loaded object with a relatively simple configuration.

본 발명의 일 측면에 따르면, 대상물체를 지지할 수 있는 테이블 유닛; 및 메인경로를 따라 상기 테이블 유닛을 이송시키는 이송장치를 포함하고, 상기 테이블 유닛은 회전없이 상기 대상물체를 이송시키는 제1 이송모드 및 상기 메인경로의 적어도 일부 구간에서 회전하면서 상기 대상물체를 이송시키는 제2 이송모드 중 어느 하나로 선택적으로 작동되는 핸들러가 제공될 수 있다. According to an aspect of the present invention, a table unit capable of supporting an object; and a transport device for transporting the table unit along a main path, wherein the table unit transports the target object while rotating in a first transport mode for transporting the target object without rotation and at least a portion of the main path A handler that is selectively operated in any one of the second transport modes may be provided.

또한, 상기 제1 이송모드 및 상기 제2 이송 모드 중 어느 하나를 선택적으로 제공하는 이송유닛을 더 포함하고, 상기 이송유닛은, 제1 바디부; 및 상기 제1 이송모드일 때 상기 테이블 유닛이 회전없이 이송되도록 안내하는 제1 모드 레일, 및 상기 제2 이송모드일 때 상기 테이블 유닛이 회전되면서 이송되도록 안내하는 제2 모드 레일이 형성된 제2 바디부를 포함하고, 상기 테이블 유닛은, 상기 이송장치에 의한 이송에 의해 회전하도록 구성되는 핸들러가 제공될 수 있다. In addition, further comprising a transfer unit selectively providing any one of the first transfer mode and the second transfer mode, the transfer unit, the first body portion; and a second body formed with a first mode rail for guiding the table unit to be transported without rotation in the first transport mode, and a second mode rail for guiding the table unit to be transported while rotating in the second transport mode. Including a portion, the table unit may be provided with a handler configured to rotate by the transfer by the transfer device.

또한, 상기 테이블 유닛은, 제1 그룹의 대상물체를 지지할 수 있는 제1 테이블; 및 제2 그룹의 대상물체를 지지할 수 있는 제2 테이블을 포함하고, 상기 테이블 유닛은 상기 제2 이송모드로 이송될 때에 제2 모드 레일에 의해 회전되고, 상기 회전에 의해 상기 제1 테이블 및 상기 제2 테이블 사이의 간격이 조절될 수 있도록 구성되는 핸들러가 제공될 수 있다. In addition, the table unit may include: a first table capable of supporting a first group of objects; and a second table capable of supporting a second group of objects, wherein the table unit is rotated by a second mode rail when transferred to the second transfer mode, and by the rotation, the first table and A handler may be provided which is configured such that the distance between the second tables can be adjusted.

또한, 상기 이송유닛은 무빙 프레임을 더 포함하고, 상기 제1 테이블 및 상기 무빙 프레임 중 어느 하나에는 상기 제1 테이블의 회전을 안내하는 제1 회전 가이드 레일이 구비되고, 상기 제1 테이블 및 상기 무빙 프레임 중 다른 하나에는 상기 제1 회전 가이드 레일에 삽입되는 제1 회전 가이드 팔로워가 구비되고, 상기 제2 테이블 및 상기 무빙 프레임 중 어느 하나에는 상기 제2 테이블의 회전을 안내하는 제2 회전 가이드 레일이 구비되고, 상기 제2 테이블 및 상기 무빙 프레임 중 다른 하나에는 상기 제2 회전 가이드 레일에 삽입되는 제2 회전 가이드 팔로워가 구비되며, 상기 제1 회전 가이드 팔로워 및 상기 제1 회전 가이드 레일 중 어느 하나는 일측에서의 반경이 타측에서의 반경보다 더 크게 형성되도록 커브형으로 연장되며, 상기 제2 회전 가이드 팔로워 및 상기 제2 회전 가이드 레일 중 어느 하나는 일측에서의 반경이 타측에서의 반경보다 더 크게 형성되도록 커브형으로 연장되는 핸들러가 제공될 수 있다. In addition, the transfer unit further includes a moving frame, any one of the first table and the moving frame is provided with a first rotation guide rail for guiding the rotation of the first table, the first table and the moving frame A first rotation guide follower inserted into the first rotation guide rail is provided on the other of the frames, and a second rotation guide rail for guiding the rotation of the second table is provided on any one of the second table and the moving frame. and a second rotation guide follower inserted into the second rotation guide rail is provided on the other one of the second table and the moving frame, and any one of the first rotation guide follower and the first rotation guide rail is provided It extends in a curved shape so that the radius at one side is formed to be larger than the radius at the other side, and any one of the second rotation guide follower and the second rotation guide rail is curved such that the radius at one side is formed to be larger than the radius at the other side. A handler that extends in a mold may be provided.

또한, 상기 테이블 유닛은 선형 가이드를 구비하는 테이블 바디를 더 포함하고, 상기 선형 가이드는 상기 제1 테이블 및 상기 제2 테이블 사이의 상기 간격이 조절되도록 상기 제1 테이블 및 상기 제2 테이블 중 하나 이상이 상기 테이블 바디 상에서 선형 이동하는 것을 안내하는 핸들러가 제공될 수 있다. In addition, the table unit further includes a table body having a linear guide, wherein the linear guide is at least one of the first table and the second table so that the distance between the first table and the second table is adjusted. A handler may be provided to guide the linear movement on this table body.

또한, 상기 무빙 프레임에는 상기 테이블 바디의 회전을 안내하기 위한 메인 캠이 구비되고, 상기 테이블 바디는 상기 무빙 프레임의 상기 메인 캠을 따라 안내되는 캠 팔로워가 구비되는 핸들러가 제공될 수 있다. In addition, the moving frame may be provided with a main cam for guiding the rotation of the table body, the table body may be provided with a handler provided with a cam follower guided along the main cam of the moving frame.

또한, 상기 메인 캠은, 반경의 변화가 없는 원주형의 궤적을 따라 캠 팔로워를 안내하도록 원주형으로 형성되고, 상기 제1 회전 가이드 팔로워 및 상기 제1 회전 가이드 레일 중 어느 하나 및 상기 제2 회전 가이드 팔로워 및 상기 제2 회전 가이드 레일 중 어느 하나는 타원형 궤적을 형성되며, 상기 원주형 궤적과 상기 타원형 궤적은 동일한 중심을 가지도록 구성되는 핸들러가 제공될 수 있다. In addition, the main cam is formed in a cylindrical shape to guide the cam follower along a circumferential trajectory without a change in radius, and any one of the first rotation guide follower and the first rotation guide rail and the second rotation Any one of the guide follower and the second rotation guide rail may form an elliptical trajectory, and a handler configured to have the same center as the cylindrical trajectory and the elliptical trajectory may be provided.

또한, 상기 캠 팔로워는, 상기 제1 이송모드일 때 제1 모드 레일을 따라 이동하고, 상기 제2 이송모드일 때 제2 모드 레일을 따라 이동하도록 구성되는 핸들러가 제공될 수 있다. In addition, the cam follower may be provided with a handler configured to move along the first mode rail in the first transport mode and move along the second mode rail in the second transport mode.

또한, 상기 제1 바디부는 상기 무빙 프레임이 상기 메인경로를 따라 이동하도록 안내하는 메인레일; 및 상기 무빙 프레임이 상기 메인레일을 따라 소정 구간 이동하는 동안에, 상기 캠 팔로워의 이동을 안내하는 서브레일을 구비하고, 상기 제1 이송모드일 때 상기 서브레일은 상기 제1 모드 레일과 연결되고, 상기 제2 이송모드일 때 상기 서브레일은 상기 제2 모드 레일과 연결되는 핸들러가 제공될 수 있다. In addition, the first body portion is a main rail for guiding the moving frame to move along the main path; and a sub-rail guiding the movement of the cam follower while the moving frame moves for a predetermined section along the main rail, wherein the sub-rail is connected to the first mode rail in the first transfer mode, In the second transfer mode, the sub-rail may be provided with a handler connected to the second mode rail.

또한, 상기 제1 모드 레일은 상기 서브레일 측으로부터 멀어지는 방향으로 연장되면서 상기 메인레일과의 간격이 유지되도록 형성되고, 상기 제2 모드 레일은 상기 서브레일 측으로부터 멀어지는 방향으로 연장되면서 상기 메인레일과 이격되거나 가까워지도록 휘어지는 핸들러가 제공될 수 있다. In addition, the first mode rail is formed to maintain a distance from the main rail while extending in a direction away from the side of the sub-rail, and the second mode rail is formed to extend in a direction away from the side of the sub-rail from the main rail and the main rail. A handler may be provided that flexes to be spaced apart or closer together.

또한, 상기 테이블 유닛은 상기 테이블 바디를 선택적으로 회전시키기 위한 회전 구동 유닛을 더 포함하고, 상기 회전 구동 유닛은 상기 제1 이송모드일 때에 상기 테이블 유닛을 회전시키지 않고, 상기 제2 이송모드일 때에 상기 테이블 유닛을 회전시키도록 구동되는 핸들러가 제공될 수 있다. In addition, the table unit further includes a rotation drive unit for selectively rotating the table body, wherein the rotation drive unit does not rotate the table unit in the first transfer mode, and does not rotate the table unit in the second transfer mode. A handler driven to rotate the table unit may be provided.

본 발명의 실시예들에 따르면, 핸들러에 적재된 대상물체를 효과적으로 회전시킬 수 있고, 핸들러에 적재된 대상물체 간의 간격을 효과적으로 조절할 수 있다. According to embodiments of the present invention, it is possible to effectively rotate the object loaded on the handler, and effectively control the distance between the objects loaded on the handler.

또한, 본 발명의 실시예들에 따르면, 복수 개의 대상물체 이송 모드를 제공할 수 있다는 효과가 있다. In addition, according to embodiments of the present invention, there is an effect that it is possible to provide a plurality of object transport modes.

또한, 본 발명의 실시예들에 따르면 대상물체가 이송되는 동안 회전하게 되므로, 보다 신속한 이송이 가능하다는 효과가 있다. In addition, according to embodiments of the present invention, since the object rotates while being transferred, there is an effect that faster transfer is possible.

또한, 본 발명의 실시예들에 따르면 픽앤플레이스 모듈이 소형화, 경량화될 수 있다는 효과가 있다. In addition, according to embodiments of the present invention, there is an effect that the pick-and-place module can be miniaturized and lightweight.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러를 나타내는 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러를 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 2의 A-A'에서 바라본 핸들러의 단면도이다.
도 4은 도 2의 핸들러에 대한 분해 사시도이다.
도 5는 도 2의 이송유닛에 대한 분해 사시도이다.
도 6는 도 2의 무빙 프레임의 저면 사시도이다.
도 7은 도 2의 테이블 유닛을 상면에서 바라본 분해사시도이다.
도 8은 도 2의 테이블 유닛을 저면에서 바라본 분해사시도이다.
도 9는 도 2의 제1 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에서 초기상태에 놓인 것을 나타내는 사시도이다.
도 10은 도 2의 제1 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에서 초기상태에 놓인 것을 나타내는 평면도이다.
도 11은 도 9의 B-B'에서 바라본 핸들러의 분해도이다.
도 12는 도 10의 제1 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제2 위치로 이동완료한 것을 나타내는 평면도이다.
도 13은 도 11의 제1 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제2 위치로 이동완료한 것을 나타내는 분해도이다.
도 14는 도 10의 제2 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에 놓인 것을 나타내는 평면도이다.
도 15는 도 11의 제2 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에 놓인 것을 나타내는 분해도이다.
도 16은 도 14의 C-C'에 따라 절개한 핸들러의 단면도이다.
도 17은 도 10의 제2 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에서 제2 위치로 이동 중인 것을 나타내는 평면도이다.
도 18은 도 11의 제2 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에서 제2 위치로 이동 중인 것을 나타내는 분해도이다.
도 19는 도 17의 D-D'에 따라 절개한 핸들러의 단면도이다.
도 20은 본 발명의 다른 실시예에 따른 핸들러의 분해 사시도이다
도 21은 도 20의 테이블 유닛을 저면에서 바라본 분해사시도이다.
도 22는 도 20의 핸들러의 테이블 유닛이 제1 위치에서 초기상태에 놓인 것을 나타내는 분해도이다.
도 23은 도 20의 제2 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제2 위치로 이동완료한 것을 나타내는 분해도이다. 1 is a conceptual diagram illustrating a handler according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view illustrating a handler according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a cross-sectional view of the handler taken along line A-A' of FIG. 2 .
4 is an exploded perspective view of the handler of FIG. 2 ;
5 is an exploded perspective view of the transfer unit of FIG.
6 is a bottom perspective view of the moving frame of FIG. 2 .
7 is an exploded perspective view of the table unit of FIG. 2 viewed from the top.
8 is an exploded perspective view of the table unit of FIG. 2 viewed from the bottom.
9 is a perspective view showing that the table unit is placed in the initial state in the first position in the first transfer mode of FIG.
10 is a plan view showing that the table unit is placed in the initial state in the first position in the first transfer mode of FIG.
11 is an exploded view of the handler viewed from B-B' of FIG. 9 .
12 is a plan view showing that the table unit has been moved to the second position in the first transfer mode of FIG. 10 .
13 is an exploded view showing that the table unit has been moved to the second position in the first transfer mode of FIG. 11 .
FIG. 14 is a plan view showing that the table unit is placed in the first position in the second transfer mode of FIG. 10 .
FIG. 15 is an exploded view showing that the table unit is placed in the first position in the second transfer mode of FIG. 11 .
16 is a cross-sectional view of the handler taken along line C-C' of FIG. 14 .
FIG. 17 is a plan view showing that the table unit is moving from a first position to a second position in the second transfer mode of FIG. 10 .
18 is an exploded view showing that the table unit is moving from the first position to the second position in the second transfer mode of FIG. 11 .
19 is a cross-sectional view of the handler taken along line D-D' of FIG. 17 .
20 is an exploded perspective view of a handler according to another embodiment of the present invention;
21 is an exploded perspective view of the table unit of FIG. 20 viewed from the bottom.
Fig. 22 is an exploded view showing that the table unit of the handler of Fig. 20 is placed in the initial state in the first position;
23 is an exploded view showing that the table unit has been moved to the second position in the second transfer mode of FIG. 20 .

이하에서는 본 발명의 사상을 구현하기 위한 구체적인 실시예에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다. Hereinafter, specific embodiments for implementing the spirit of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

아울러 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는, 그 상세한 설명을 생략한다. In addition, in describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

또한, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 '연결'된다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.In addition, when it is mentioned that a certain element is 'connected' to another element, it may be directly connected to the other element, but it should be understood that other elements may exist in between.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise.

이하, 도 1 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러의 구체적인 구성에 대하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러를 나타내는 개념도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러를 나타내는 사시도이며, 도 3은 도 2의 A-A'에서 바라본 핸들러의 단면도이고, 도 4은 도 2의 핸들러에 대한 분해 사시도이며, 도 5는 도 2의 이송유닛에 대한 분해 사시도이고, 도 6는 도 2의 무빙 프레임의 저면 사시도이며, 도 7은 도 2의 테이블 유닛을 상면에서 바라본 분해사시도이고, 도 8은 도 2의 테이블 유닛을 저면에서 바라본 분해사시도이다.Hereinafter, a detailed configuration of a handler according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 8 . 1 is a conceptual diagram illustrating a handler according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view illustrating a handler according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the handler viewed from A-A' in FIG. , Figure 4 is an exploded perspective view of the handler of Figure 2, Figure 5 is an exploded perspective view of the transfer unit of Figure 2, Figure 6 is a bottom perspective view of the moving frame of Figure 2, Figure 7 is the table unit of Figure 2 It is an exploded perspective view seen from the top, and FIG. 8 is an exploded perspective view of the table unit of FIG. 2 viewed from the bottom.

한편, 이하에서 서술하는 핸들러가 이송하는 대상물체는 반도체소자 등의 전자부품일 수 있으나, 이는 예시에 불과하고, 본 발명의 사상이 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. On the other hand, the object to be transported by the handler described below may be an electronic component such as a semiconductor device, but this is only an example, and the spirit of the present invention is not necessarily limited thereto.

도 1 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러(10)는 대상물체(11)를 지지하여 제1 위치(P1)과 제2 위치(P2)사이를 이송할 수 있다. 예를 들어, 핸들러(10)는 제1 위치(P1)에서 제1 픽앤 플레이스 장치(21)를 통하여 고객트레이(20)로부터 대상물체(11)를 공급받고, 제2 위치(P2)로 이동할 수 있다. 이후, 핸들러(10)가 제2 위치(P2)로 이동하면, 제2 픽앤 플레이스 장치(31)가 핸들러(10)에 적재된 대상물체(11)를 파지하여 테스터(30)로 공급할 수 있다. 1 to 8 , the handler 10 according to an embodiment of the present invention may support the target object 11 to transfer it between a first position P1 and a second position P2 . For example, the handler 10 receives the object 11 from the customer tray 20 through the first pick and place device 21 at the first position P1, and can move to the second position P2. have. Thereafter, when the handler 10 moves to the second position P2 , the second pick and place device 31 may grip the target object 11 loaded on the handler 10 and supply it to the tester 30 .

이러한 핸들러(10)는 이송유닛(100) 및 테이블 유닛(200)을 포함할 수 있다. The handler 10 may include a transfer unit 100 and a table unit 200 .

이송유닛(100)은 제1 구간(D1) 및 제2 구간(D2)을 포함하는 메인경로(C)를 따라 테이블 유닛(200)을 이송시킬 수 있는 이송장치(110), 제1 바디부(120), 제2 바디부(130) 및 레일변환 수단(140)을 포함할 수 있다. The transfer unit 100 includes a transfer device 110 capable of transferring the table unit 200 along a main path C including a first section D1 and a second section D2, a first body part ( 120), the second body portion 130, and may include a rail conversion means (140).

이송유닛(100)은 제1 이송모드 및 제2 이송모드를 선택적으로 제공할 수 있다. 이러한 제1 이송모드는 이송장치(110)에 의해 회전없이 테이블 유닛(200)이 이송되는 모드이며, 제2 이송모드는 이송장치(110)에 의해 테이블 유닛(200)이 회전하면서 이송되는 모드이다. 다시 말해, 이송유닛(100)은 테이블 유닛(200)을 회전시키는 별도의 모듈 없이, 테이블 유닛(200)을 메인경로(C)를 따라 이송시키는 장치(이송장치(110))만으로 테이블 유닛(200)을 회전시키면서 메인경로(C)를 이송할 수 있다. 또한, 이러한 테이블 유닛(200)의 회전은 이송유닛(100)이 제2 이송모드에 놓임으로써 선택적으로 이루어지도록 구성될 수 있다. The transfer unit 100 may selectively provide a first transfer mode and a second transfer mode. The first transfer mode is a mode in which the table unit 200 is transferred without rotation by the transfer device 110 , and the second transfer mode is a mode in which the table unit 200 is rotated and transferred by the transfer device 110 . . In other words, the transfer unit 100 does not have a separate module for rotating the table unit 200, but only a device (transfer device 110) for transferring the table unit 200 along the main path C (transfer device 110). ) while rotating the main path (C). In addition, the rotation of the table unit 200 may be configured to be selectively made by placing the transfer unit 100 in the second transfer mode.

이송장치(110)는 테이블 유닛(200)의 이송을 위해 후술하는 무빙 프레임(250)에 구동력을 제공하는 모듈일 수 있다. 또한, 이송장치(110)는 테이블 유닛(200)을 회전시키는 구성을 포함하지 않도록 구성될 수 있다. 이러한 이송장치(110)는 예를 들어, 구동모터, 레일, 벨트, 공압장치 및 유압장치 등을 포함할 수 있으나, 본 발명의 사상이 이에 한정되는 것은 아니다.The transfer device 110 may be a module that provides a driving force to the moving frame 250 to be described later for the transfer of the table unit 200 . In addition, the transfer device 110 may be configured not to include a configuration for rotating the table unit 200 . The transfer device 110 may include, for example, a driving motor, a rail, a belt, a pneumatic device, and a hydraulic device, but the spirit of the present invention is not limited thereto.

제1 바디부(120)는 메인레일(121) 및 서브레일(122)이 구비된 프레임일 수 있다. 메인레일(121)은 무빙 프레임(250)이 메인경로(C)를 따라 이송되도록 무빙 프레임(250)을 안내한다. 한편, 본 명세서 및 청구항에 기재된 '레일'은 소정의 경로를 따라 연장되어, 부재의 이동을 안내하는 구성을 의미하는 것이며, 홈, 돌기 등의 형태에 한정되지 않는다. 또한, 본 실시예에 따른 도면에서는 메인레일(121)이 직선으로 구성되는 것으로 나타내었으나, 본 발명의 사상이 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 곡선형으로 구성될 수도 있다. The first body part 120 may be a frame including a main rail 121 and a sub-rail 122 . The main rail 121 guides the moving frame 250 so that the moving frame 250 is transported along the main path (C). On the other hand, the 'rail' described in the present specification and claims refers to a configuration that extends along a predetermined path and guides the movement of a member, and is not limited to the shape of a groove or a protrusion. In addition, in the drawings according to the present embodiment, although the main rail 121 is shown to be configured in a straight line, the spirit of the present invention is not necessarily limited thereto, and may be configured in a curved shape.

서브레일(122)은 무빙 프레임(250)이 메인레일(121)을 따라 메인경로(C)의 제2 구간(D2)을 이동하는 동안에, 후술하는 캠 팔로워(233)의 이동을 안내할 수 있다. 다시 말해, 캠 팔로워(233)는 무빙 프레임(250)이 메인레일(121)의 제2 구간(D2) 상을 이동할 때에는 서브레일(122)에 의해 안내된다. 이송유닛(100)이 제1 이송모드일 때에도 캠 팔로워(233)는 서브레일(122) 상을 이동할 수 있고, 이송유닛(100)이 제2 이송모드일 때에도 캠 팔로워(233)는 서브레일(122) 상을 이동할 수 있다. 또한, 서브레일(122)은 메인레일(121)과 소정간격 이격되어 나란하게 구비될 수 있다. 서브레일(122)은 서브레일(122)과 메인레일(121)간의 간격이 일정하도록 연장될 수 있다. The sub-rail 122 may guide the movement of the cam follower 233, which will be described later, while the moving frame 250 moves the second section D2 of the main path C along the main rail 121. . In other words, the cam follower 233 is guided by the sub-rail 122 when the moving frame 250 moves on the second section D2 of the main rail 121 . Even when the transfer unit 100 is in the first transfer mode, the cam follower 233 can move on the sub-rail 122, and even when the transfer unit 100 is in the second transfer mode, the cam follower 233 is the sub-rail ( 122) The phase can be moved. In addition, the sub-rail 122 may be provided in parallel with the main rail 121 spaced apart from each other by a predetermined distance. The sub-rail 122 may extend so that a distance between the sub-rail 122 and the main rail 121 is constant.

제2 바디부(130)는 제1 모드 레일(131)과 제2 모드 레일(132)을 구비할 수 있다. 본 실시예에 따른 도면에서는 이러한 제2 바디부(130)가 제1 바디부(120)과 구별되고 제1 바디부(120)에 대해 상대적으로 이동할 수 있는 프레임인 것으로 나타내었으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 모드 레일(131)은 이송유닛(100)이 제1 이송모드일 때 서브레일(122)과 연결되고, 제2 모드 레일(132)는 제2 이송모드일 때 서브레일(122)과 연결될 수 있다. 또한, 무빙 프레임(250)이 메인레일(121)을 따라 제1 구간(D1)을 이동하는 동안에, 캠 팔로워(233)는 제1 모드 레일(131) 및 제2 모드 레일(132) 중 어느 하나에 의해 안내될 수 있다. The second body 130 may include a first mode rail 131 and a second mode rail 132 . In the drawings according to the present embodiment, the second body part 130 is distinguished from the first body part 120 and is shown as a frame that can move relatively with respect to the first body part 120, but is not necessarily limited thereto. it is not The first mode rail 131 is connected to the sub-rail 122 when the transfer unit 100 is in the first transfer mode, and the second mode rail 132 is connected to the sub-rail 122 in the second transfer mode. can In addition, while the moving frame 250 moves in the first section D1 along the main rail 121 , the cam follower 233 may be any one of the first mode rail 131 and the second mode rail 132 . can be guided by

예를 들어, 제1 이송모드일 때 캠 팔로워(233)는 제1 구간(D1)에서 제1 모드 레일(131)에 의해 안내되고, 제2 구간(D2)에서 서브레일(122)에 의해 안내될 수 있다. 이러한 제1 모드 레일(131)은 메인레일(121)과 소정간격 이격되어 나란하게 연장되도록 구비될 수 있다. 또한, 제1 모드 레일(131)과 메인레일(121) 간의 간격은 제1 모드 레일(131)이 서브레일(122)로부터 멀어지는 방향으로 연장되는 동안에도 유지될 수 있다. 다시 말해, 서브레일(122)과 메인레일(121) 사이의 간격은 제1 모드 레일(131)과 메인레일(121) 사이의 간격과 동일할 수 있다. For example, in the first transport mode, the cam follower 233 is guided by the first mode rail 131 in the first section D1, and guided by the sub-rail 122 in the second section D2. can be The first mode rail 131 may be provided to extend in parallel with the main rail 121 at a predetermined interval. Also, the distance between the first mode rail 131 and the main rail 121 may be maintained while the first mode rail 131 extends in a direction away from the sub-rail 122 . In other words, the interval between the sub-rail 122 and the main rail 121 may be the same as the interval between the first mode rail 131 and the main rail 121 .

한편, 제2 이송모드일 때 캠 팔로워(233)는 제1 구간(D1)에서 제2 모드 레일(132)에 의해 안내되고, 제2 구간(D2)에서 서브레일(122)에 의해 안내될 수 있다. 이러한 제2 모드 레일(132)은 서브레일(122) 측으로부터 멀어지는 방향으로 연장되는 동안에 메인레일(121)과 이격되거나 가까워지도록 휘어질 수 있다. 다시 말해, 제2 모드 레일(132)은, 서브레일(122)로부터 멀어지는 방향으로 연장되는 동안에 제2 모드 레일(132)과 메인레일(121) 간의 간격이 변화하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 제2 모드 레일(132)은, 서브레일(122)의 반대측에서의 제2 모드 레일(132)과 메인레일(121) 사이의 간격이 서브레일(122) 측에서의 제2 모드 레일(132)과 메인레일(121) 사이의 간격 보다 좁게 되도록 형성될 수 있다.On the other hand, in the second transfer mode, the cam follower 233 may be guided by the second mode rail 132 in the first section D1 and guided by the sub-rail 122 in the second section D2. have. The second mode rail 132 may be curved to be spaced apart from or closer to the main rail 121 while extending in a direction away from the side of the sub-rail 122 . In other words, the second mode rail 132 may be configured to change a distance between the second mode rail 132 and the main rail 121 while extending in a direction away from the sub-rail 122 . For example, in the second mode rail 132, the interval between the second mode rail 132 and the main rail 121 on the opposite side of the sub-rail 122 is the second mode rail ( It may be formed to be narrower than the gap between the 132 and the main rail 121 .

레일변환 수단(140)은 제1 이송모드일 때 서브레일(122)과 제1 모드 레일(131)을 연결시키면서 제2 모드 레일(132)과의 연결을 단절시키고, 또한, 제2 이송모드일 때 서브레일(122)과 제2 모드 레일(132)를 연결시키면서 제1 모드 레일(131)과의 연결을 단절시킬 수 있다. 한편, 본 실시예에 따른 도면에서는 이러한 레일변환 수단(140)은 실린더, 피스톤 등으로 구성되는 것으로 나타내었으나, 이는 예시에 불과하고 본 발명의 사상이 반드시 이에 한정되지 않는다. The rail conversion means 140 disconnects the connection with the second mode rail 132 while connecting the sub-rail 122 and the first mode rail 131 in the first transfer mode, and also in the second transfer mode. When the sub-rail 122 and the second mode rail 132 are connected, the connection with the first mode rail 131 may be disconnected. On the other hand, in the drawings according to the present embodiment, the rail conversion means 140 is shown to be composed of a cylinder, a piston, etc., but this is only an example and the spirit of the present invention is not necessarily limited thereto.

한편, 제2 바디부(130)가 제1 바디부(120)에 대해 상대적으로 이동할 수 있도록 구성되는 경우, 레일변환 수단(140)은 제2 바디부(130)를 이동시키는 구동장치일 수 있다. 이러한 레일변환 수단(140)은 제1 이송모드일 때 제2 바디부(130)를 일 방향으로 이동시켜서 서브레일(122)과 제1 모드 레일(131)을 연결시키고, 제2 이송모드일 때 제2 바디부(130)를 일 방향의 반대방향으로 이동시켜서 서브레일(122)과 제2 모드 레일(132)을 연결시킬 수 있다. On the other hand, when the second body portion 130 is configured to be movable relative to the first body portion 120 , the rail converting means 140 may be a driving device for moving the second body portion 130 . . The rail conversion means 140 connects the sub-rail 122 and the first mode rail 131 by moving the second body part 130 in one direction in the first transfer mode, and in the second transfer mode The sub-rail 122 and the second mode rail 132 may be connected by moving the second body part 130 in the opposite direction to one direction.

한편, 다른 예로, 제2 바디부(130)가 제1 바디부(120)와 일체로 형성되고, 제1 모드 레일(131)와 제2 모드 레일(132)이 제2 바디부(130) 상에서 슬라이드 이동 가능한 돌출부로 구성될 수 있다. 이 경우, 레일변환 수단(140)은 제1 모드 레일(131)과 제2 모드 레일(132)을 제2 바디부(130) 상에서 슬라이드 이동시키는 구동장치일 수 있다. 이러한 레일변환 수단(140)은 제1 이송모드일 때 제1 모드 레일(131)를 제2 바디부(130) 상에서 슬라이드 이동시켜 서브레일(122)과 연결하고, 또한, 제2 이송모드일 때 제2 모드 레일(132)를 제2 바디부(130) 상에서 슬라이드 이동시켜 서브레일(122)과 연결시킬 수 있다. Meanwhile, as another example, the second body part 130 is integrally formed with the first body part 120 , and the first mode rail 131 and the second mode rail 132 are formed on the second body part 130 . It may be composed of a slidable protrusion. In this case, the rail conversion means 140 may be a driving device for sliding the first mode rail 131 and the second mode rail 132 on the second body part 130 . The rail conversion means 140 slides and moves the first mode rail 131 on the second body part 130 in the first transport mode to connect it with the sub-rail 122, and also, when the second transport mode The second mode rail 132 may be connected to the sub-rail 122 by sliding it on the second body part 130 .

상기와 같은 이송유닛(100)에 의해 테이블 유닛(200)이 이송될 수 있다. 이하에서는 이러한 테이블 유닛(200)의 구성에 대하여 설명한다. The table unit 200 may be transferred by the transfer unit 100 as described above. Hereinafter, the configuration of the table unit 200 will be described.

테이블 유닛(200)은 회전없이 메인경로(C)를 따라 이송되거나(제1 이송모드), 회전하면서 메인경로(C)를 따라 이송될 수 있다(제2 이송모드). 테이블 유닛(200)은 무빙 프레임(250), 제1 테이블(210), 제2 테이블(220), 테이블 바디(230) 및 테이블 샤프트(240)를 포함할 수 있다. 이러한 테이블 유닛(200)은 무빙 프레임(250) 위에 탑재되어 지지될 수 있다. The table unit 200 may be transported along the main path C without rotation (first transport mode), or may be transported along the main path C while rotating (second transport mode). The table unit 200 may include a moving frame 250 , a first table 210 , a second table 220 , a table body 230 , and a table shaft 240 . The table unit 200 may be mounted and supported on the moving frame 250 .

무빙 프레임(250)은 이송장치(110)의 구동력에 의해 메인레일(121) 상을 이동할 수 있는 프레임일 수 있다. 무빙 프레임(250)은 후술하는 테이블 바디(230)를 회전 가능하게 지지할 수 있다. 또한, 테이블 샤프트(240)가 삽입되는 샤프트 홀(255)이 무빙 프레임(250)에 형성될 수 있다. 또한, 무빙 프레임(250)은 레일 연결부(251) 및 메인 캠(252)을 구비할 수 있다. 레일 연결부(251)는 메인레일(121)에서 슬라이드 이동 가능하게 구성될 수 있다. 이러한 레일 연결부(251)는 롤러를 포함할 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The moving frame 250 may be a frame capable of moving on the main rail 121 by the driving force of the transfer device 110 . The moving frame 250 may rotatably support the table body 230 to be described later. Also, a shaft hole 255 into which the table shaft 240 is inserted may be formed in the moving frame 250 . In addition, the moving frame 250 may include a rail connection part 251 and a main cam 252 . The rail connection part 251 may be configured to be slidably movable on the main rail 121 . The rail connection part 251 may include a roller, but is not limited thereto.

메인 캠(252)은 샤프트 홀(255)을 중심으로 곡률반경이 변하지 않는 원주형의 궤적을 가질 수 있다. 또한, 메인 캠(252)은 후술하는 캠 팔로워(233)가 원주형의 궤적을 따라 이동하도록 캠 팔로워(233)를 안내할 수 있다. 메인 캠(252)은 캠 팔로워(233)를 안내함으로써 테이블 바디(230)의 회전을 안내할 수 있다. 다시 말해, 캠 팔로워(233)가 메인 캠(252)을 따라 원주형의 궤적을 따라 이동할 때 테이블 바디(230)가 테이블 샤프트(240)를 중심으로 회전할 수 있다. 또한, 캠 팔로워(233)가 서브레일(122) 상에 위치할 때, 캠 팔로워(233)가 메인 캠(252)의 일측에 위치할 수 있는 한편, 캠 팔로워(233)가 제2 모드 레일(132)에 의해 메인레일(121)에 가까워지거나 이로부터 멀어지도록 이동하였을 때에는 캠 팔로워(233)가 제2 모드 레일(132)에 의해 이동하여 메인 캠(252)의 타측에 위치할 수 있다. 한편, 이러한 메인 캠(252)은 원주형으로 연장되고, 테이블 유닛(200) 측으로부터 이송유닛(100)을 향하는 방향으로 무빙 프레임(250)을 관통하는 관통홀로 구성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. The main cam 252 may have a circumferential trajectory in which the radius of curvature does not change around the shaft hole 255 . In addition, the main cam 252 may guide the cam follower 233 so that the cam follower 233, which will be described later, moves along a circumferential trajectory. The main cam 252 may guide the rotation of the table body 230 by guiding the cam follower 233 . In other words, when the cam follower 233 moves along a circumferential trajectory along the main cam 252 , the table body 230 may rotate about the table shaft 240 . Further, when the cam follower 233 is positioned on the sub-rail 122, the cam follower 233 may be positioned on one side of the main cam 252, while the cam follower 233 is positioned on the second mode rail ( When moved closer to or away from the main rail 121 by the 132 , the cam follower 233 may be moved by the second mode rail 132 to be positioned on the other side of the main cam 252 . On the other hand, such a main cam 252 may be configured as a through hole extending in a circumferential shape and penetrating the moving frame 250 in a direction from the table unit 200 side toward the transfer unit 100, but is not necessarily limited thereto. it is not

또한, 무빙 프레임(250)에는, 제1 회전 가이드 레일(253) 및 제1 회전 가이드 팔로워(213) 중 어느 하나가 구비되고, 제2 회전 가이드 레일(254) 및 제2 회전 가이드 팔로워(223) 중 어느 하나가 구비될 수 있다. 예를 들어, 무빙 프레임(250)에는 안쪽으로 인입되어 형성된 제1 회전 가이드 레일(253) 및 제2 회전 가이드 레일(254)이 테이블 유닛(200)측에 구비될 수 있다. 또한, 이러한 제1 회전 가이드 레일(253)은 일측에서의 제1 반경(R11)이 타측에서의 제2 반경(R12)보다 더 크게 형성되는 타원형 궤적을 가질 수 있으며, 제2 회전 가이드 레일(254)도 일측에서의 제1 반경(R21)이 타측에서의 제2 반경(R22)보다 더 크게 형성되는 타원형 궤적을 가질 수 있다. 한편, 본 명세서에 기재된 '타원형 궤적'은 곡률반경이 변하는 궤적을 포괄적으로 아우르는 의미이므로, 반드시 수학적으로 정의되는 타원형 궤적의 의미에 한정되지 않는다. 또한, 테이블 샤프트(240)의 중심을 원점(O)이라고 하였을 때 제1 회전 가이드 레일(253)과 제2 회전 가이드 레일(254)은 원점(O) 대칭으로 형성될 수 있으나, 본 발명의 사상이 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.In addition, the moving frame 250 is provided with any one of a first rotation guide rail 253 and a first rotation guide follower 213 , and a second rotation guide rail 254 and a second rotation guide follower 223 . Any one may be provided. For example, the moving frame 250 may include a first rotation guide rail 253 and a second rotation guide rail 254 formed by being drawn into the table unit 200 side. In addition, the first rotation guide rail 253 may have an elliptical trajectory in which the first radius R11 at one side is larger than the second radius R12 at the other side, and the second rotation guide rail 254 . The first radius R21 at one side of FIG. 1 may have an elliptical trajectory formed to be larger than the second radius R22 at the other side. On the other hand, the 'elliptical trajectory' described in the present specification is not necessarily limited to the meaning of the mathematically defined elliptical trajectory because it comprehensively encompasses the trajectory in which the radius of curvature changes. In addition, when the center of the table shaft 240 is the origin (O), the first rotation guide rail 253 and the second rotation guide rail 254 may be formed symmetrically to the origin (O), but the spirit of the present invention This is not necessarily limited thereto.

한편, 본 실시예에 따른 도면에서는 제1 회전 가이드 레일(253) 및 제2 회전 가이드 레일(254)이 무빙 프레임(250)에 구비되는 것으로 나타내었으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 다른 예로, 제1 회전 가이드 레일(253)이 제1 테이블(210)에 구비되고 제2 회전 가이드 레일(254)이 제2 테이블(210)에 구비되며, 무빙 프레임(250)에 제1 가이드 팔로워(213)와 제2 가이드 팔로워(223)가 구비될 수 있다. Meanwhile, in the drawings according to the present embodiment, the first rotation guide rail 253 and the second rotation guide rail 254 are shown to be provided in the moving frame 250 , but the present invention is not limited thereto. As another example, the first rotation guide rail 253 is provided on the first table 210 , the second rotation guide rail 254 is provided on the second table 210 , and the first guide follower is provided on the moving frame 250 . A 213 and a second guide follower 223 may be provided.

제1 테이블(210)은 제1 그룹의 대상물체(11')를 지지할 수 있다. 또한, 제1 테이블(210)에는 제1 그룹의 대상물체(11')가 수용되기 위한 제1 대상물체 수용부(211)가 구비될 수 있다. 또한, 무빙 프레임(250)에 제1 회전 가이드 레일(253) 및 제1 회전 가이드 팔로워(213) 중 어느 하나가 구비될 때, 제1 테이블(210)에는 제1 회전 가이드 레일(253) 및 제1 회전 가이드 팔로워(213) 중 다른 하나가 구비될 수 있다. 이러한 제1 회전 가이드 레일(253) 및 제1 회전 가이드 팔로워(213)는 서로 맞물려서 제1 테이블(210)이 타원형 궤적을 따라 이동하도록 안내하는 가이드 유닛(제1 회전 가이드 유닛(253, 213))을 구성할 수 있다. 예를 들어, 무빙 프레임(250)의 테이블 유닛(200) 측에 타원형 궤적으로 연장되는 제1 회전 가이드 레일(253)이 형성되고, 제1 테이블(210)의 무빙 프레임(250) 측에 제1 회전 가이드 레일(253) 상에서 이동 가능하도록 구성되는 제1 회전 가이드 팔로워(213)가 형성될 수 있다. 이러한 제1 테이블(210)은 테이블 바디(230) 위에서 이동 가능하게 지지될 수 있다. The first table 210 may support the first group of objects 11 ′. In addition, the first table 210 may be provided with a first object accommodating part 211 for accommodating the first group of objects 11 ′. In addition, when any one of the first rotation guide rail 253 and the first rotation guide follower 213 is provided on the moving frame 250 , the first table 210 has the first rotation guide rail 253 and the second rotation guide rail 253 . The other one of the one rotation guide follower 213 may be provided. The first rotation guide rail 253 and the first rotation guide follower 213 are engaged with each other to guide the first table 210 to move along an elliptical trajectory (first rotation guide units 253 and 213). can be configured. For example, a first rotation guide rail 253 extending in an elliptical trajectory is formed on the table unit 200 side of the moving frame 250 , and the first rotation guide rail 253 is formed on the moving frame 250 side of the first table 210 . A first rotation guide follower 213 configured to be movable on the rotation guide rail 253 may be formed. The first table 210 may be movably supported on the table body 230 .

제2 테이블(220)은 제2 그룹의 대상물체(11'')를 지지할 수 있다. 또한, 제2 테이블(220)에는 제2 그룹의 대상물체(11'')가 수용되기 위한 제2 대상물체 수용부(221)가 구비될 수 있다. 또한, 무빙 프레임(250)에 제2 회전 가이드 레일(254) 및 제2 회전 가이드 팔로워(223) 중 어느 하나가 구비될 때, 제2 테이블(220)에는 제2 회전 가이드 레일(254) 및 제2 회전 가이드 팔로워(223) 중 다른 하나가 구비될 수 있다. 이러한 제2 회전 가이드 레일(254) 및 제2 회전 가이드 팔로워(223)는 서로 맞물려서, 제2 테이블(220)가 타원형 궤적을 따라 이동하도록 안내하는 가이드 유닛(제2 회전 가이드 유닛(254, 223)) 구성할 수 있다. 예를 들어, 무빙 프레임(250)의 테이블 유닛(200) 측에 타원형 궤적으로 연장되는 제2 회전 가이드 레일(254)이 형성되고, 제2 테이블(220)의 무빙 프레임(250) 측에 제2 회전 가이드 레일(254) 상에서 이동 가능하도록 구성되는 제2 회전 가이드 팔로워(223)가 형성될 수 있다. 이러한 제2 테이블(220)은 테이블 바디(230) 위에서 이동 가능하게 지지될 수 있다.The second table 220 may support the second group of objects 11 ″. In addition, the second table 220 may include a second object accommodating part 221 for accommodating the second group of objects 11 ″. In addition, when any one of the second rotation guide rail 254 and the second rotation guide follower 223 is provided on the moving frame 250 , the second table 220 includes the second rotation guide rail 254 and the second rotation guide rail 254 . The other one of the two rotation guide followers 223 may be provided. The second rotation guide rail 254 and the second rotation guide follower 223 are engaged with each other, and guide units (second rotation guide units 254 and 223) for guiding the second table 220 to move along an elliptical trajectory. ) can be configured. For example, a second rotation guide rail 254 extending in an elliptical trajectory is formed on the table unit 200 side of the moving frame 250 , and the second rotation guide rail 254 is formed on the moving frame 250 side of the second table 220 . A second rotation guide follower 223 configured to be movable on the rotation guide rail 254 may be formed. The second table 220 may be movably supported on the table body 230 .

또한, 제1 회전 가이드 레일(253) 상에서의 제1 회전 가이드 팔로워(213)의 위치와 제2 회전 가이드 레일(254) 상에서의 제2 회전 가이드 팔로워(223)의 위치는, 메인 캠(252) 상에서의 캠 팔로워(233)의 위치와 연동될 수 있다. 예를 들어, 캠 팔로워(233)가 메인 캠(252)을 따라 시계 방향 측으로 이동할 때, 제1 회전 가이드 팔로워(213)가 제1 회전 가이드 레일(253)을 따라 시계 방향 측 부분으로 이동할 수 있고, 제2 회전 가이드 팔로워(223)도 제2 회전 가이드 레일(254)을 따라 시계 방향 측 부분으로 이동할 수 있다. 또한, 캠 팔로워(233)가 메인 캠(252)을 따라 반시계 방향측으로 이동하면, 제1 회전 가이드 팔로워(213)도 제1 회전 가이드 레일(253)을 따라 반시계 방향 측으로 이동하고, 제2 회전 가이드 팔로워(223)도 제2 회전 가이드 레일(254)을 따라 반시계 방향 측으로 이동할 수 있다.In addition, the position of the first rotation guide follower 213 on the first rotation guide rail 253 and the position of the second rotation guide follower 223 on the second rotation guide rail 254 are the main cam 252 It may be linked with the position of the cam follower 233 on the upper body. For example, when the cam follower 233 moves in a clockwise direction along the main cam 252 , the first rotation guide follower 213 may move in a clockwise portion along the first rotation guide rail 253 and , the second rotation guide follower 223 may also move in a clockwise direction along the second rotation guide rail 254 . In addition, when the cam follower 233 moves in the counterclockwise direction along the main cam 252 , the first rotation guide follower 213 also moves in the counterclockwise direction along the first rotation guide rail 253 , and the second The rotation guide follower 223 may also move counterclockwise along the second rotation guide rail 254 .

한편, 본 실시예에 따른 도면에서는 회전 가이드 레일(253, 254)이 홈으로 구성되고, 회전 가이드 팔로워(213, 223)가 돌기로 구성되는 것으로 예시하였으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 다른 예로, 회전 가이드 레일(253, 254)이 돌기의 형상으로 구비되고, 회전 가이드 팔로워(213, 223)가 돌기에 맞물리고 돌기를 따라 이동하는 롤러 또는 홈으로 구성되는 것도 가능하다. 또한, 본 실시예에 따른 도면에서는 제1 그룹의 대상물체(11') 및 제2 그룹의 대상물체(11'')가 각각 4개의 대상물체를 포함하는 것으로 나타내었으나, 본 발명의 사상이 이에 한정되는 것은 아니다. 다른 예로, 제1 그룹의 대상물체(11')는 1개의 대상물체로 구성되고, 제2 그룹의 대상물체(11'')는 2개의 대상물체로 구성될 수도 있다. Meanwhile, in the drawing according to the present embodiment, the rotation guide rails 253 and 254 are configured as grooves, and the rotation guide followers 213 and 223 are illustrated as projections, but the present invention is not limited thereto. As another example, it is also possible that the rotation guide rails 253 and 254 are provided in the shape of a protrusion, and the rotation guide followers 213 and 223 are engaged with the protrusion and include rollers or grooves that move along the protrusion. In addition, in the drawing according to the present embodiment, the first group of the target object 11' and the second group of the target object 11'' were shown to include four target objects, respectively, but the spirit of the present invention is not limited thereto. It is not limited. As another example, the target object 11' of the first group may be composed of one target object, and the target object 11'' of the second group may be composed of two target objects.

테이블 바디(230)는 원점(O)을 중심으로 회전하도록 무빙 프레임(250)과 연결될 수 있다. 또한, 테이블 바디(230)는 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)을 지지할 수 있다. 이러한 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220) 중 하나 이상은 제1 테이블(210)과 제2 테이블(220) 간의 간격이 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동 가능하도록 테이블 바디(230)에 지지될 수 있다. 또한, 테이블 바디(230)에는 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220) 중 하나 이상의 선형 이동을 안내하기 위하여 선형 가이드(232)가 구비될 수 있다. 예를 들어, 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)이 모두 이동 가능하도록 구성될 경우, 제1 테이블(210)은 선형 가이드(232)의 일측에서 이동 가능하게 연결되는 제1 바디 연결부(212)를 포함하고, 제2 테이블(220)은 선형 가이드(232)의 타측에서 이동 가능하게 연결되는 제2 바디 연결부(222)를 포함할 수 있다. 이러한 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)의 이동은 선형 가이드(232)의 중심을 기준으로 대칭적으로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 제1 테이블(210)이 선형 가이드(232)의 일측 단부를 향하여 이동하고, 이와 동시에 제2 테이블(220)이 선형 가이드(232)의 타측 단부를 향하여 이동하도록 구성될 수 있다. 한편, 본 실시예에 따른 도면에서는 선형 가이드(232)가 돌출형 레일의 형태인 것으로 나타내었으나, 이는 예시에 불과하고 본 발명의 사상이 이에 한정되는 것은 아니다. The table body 230 may be connected to the moving frame 250 to rotate around the origin (O). In addition, the table body 230 may support the first table 210 and the second table 220 . At least one of the first table 210 and the second table 220 may be supported on the table body 230 so that the distance between the first table 210 and the second table 220 is moved in a direction toward or away from it. can In addition, the table body 230 may be provided with a linear guide 232 to guide the linear movement of one or more of the first table 210 and the second table 220 . For example, when both the first table 210 and the second table 220 are configured to be movable, the first table 210 is a first body connector movably connected from one side of the linear guide 232 . 212 , and the second table 220 may include a second body connecting portion 222 movably connected to the other side of the linear guide 232 . The movement of the first table 210 and the second table 220 may be made symmetrically with respect to the center of the linear guide 232 . For example, the first table 210 may be configured to move toward one end of the linear guide 232 , and at the same time, the second table 220 may be configured to move toward the other end of the linear guide 232 . Meanwhile, in the drawings according to the present embodiment, the linear guide 232 is shown to be in the form of a protruding rail, but this is only an example and the spirit of the present invention is not limited thereto.

또한, 테이블 바디(230)는 캠 팔로워(233)를 더 포함할 수 있다. 이러한 캠 팔로워(233)의 어느 일측은 후술하는 메인 메인 캠(252)을 따라 안내될 수 있고, 캠 팔로워(233)의 다른 일측은 후술하는 제1 모드 레일(131) 및 제2 모드 레일(132) 중 어느 하나와 서브레일(122)에 의해 안내될 수 있다. 예를 들어, 캠 팔로워(233)는 이송유닛(100)을 향하는 방향으로 연장되고, 그 중간 부분이 메인 캠(252)에 의해 안내되도록 메인 캠(252)을 통과하며, 그 단부가 서브레일(122), 제1 모드 레일(131), 제2 모드 레일(132) 중 어느 하나에 이동 가능하도록 연결될 수 있다. 한편, 본 실시예에 따른 도면에서는 서브레일(122), 제1 모드 레일(131), 제2 모드 레일(132)이 홈 레일로 형성되고, 캠 팔로워(233)의 단부가 서브레일(122), 제1 모드 레일(131), 제2 모드 레일(132) 중 어느 하나에 삽입되는 것으로 나타내었으나, 본 발명의 사상이 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 캠 팔로워(233)의 단부에 홈과 롤러가 구비되고, 서브레일(122), 제1 모드 레일(131), 제2 모드 레일(132)이 돌출 레일로 구성되어 캠 팔로워(233)의 단부에 삽입되도록 구성되는 것도 가능하다. In addition, the table body 230 may further include a cam follower 233 . Any one side of the cam follower 233 may be guided along a main main cam 252 to be described later, and the other side of the cam follower 233 is a first mode rail 131 and a second mode rail 132 to be described later. ) and may be guided by any one of the sub-rails 122 . For example, the cam follower 233 extends in the direction toward the transfer unit 100, and passes through the main cam 252 so that its middle part is guided by the main cam 252, and its end is the sub-rail ( 122), the first mode rail 131, and the second mode rail 132 may be movably connected to any one. Meanwhile, in the drawing according to the present embodiment, the sub-rail 122 , the first mode rail 131 , and the second mode rail 132 are formed as groove rails, and the end of the cam follower 233 is the sub-rail 122 . , the first mode rail 131 and the second mode rail 132 have been shown to be inserted into any one, but the spirit of the present invention is not necessarily limited thereto. For example, grooves and rollers are provided at the end of the cam follower 233 , and the sub rail 122 , the first mode rail 131 , and the second mode rail 132 are configured as protruding rails to form the cam follower 233 . It is also possible to be configured to be inserted into the end of ).

테이블 샤프트(240)는 테이블 바디(230)의 회전축으로 기능할 수 있다. 본 실시예에 따른 도면에서는 테이블 샤프트(240)가 테이블 바디(230)로부터 돌출 연장되고 무빙 프레임(250)에 샤프트 홀(255)이 구비되며, 테이블 샤프트(240)가 샤프트 홀(255)에 삽입되는 것으로 나타내었으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 테이블 샤프트(240)가 무빙 프레임(250)으로부터 돌출 연장되고, 테이블 샤프트(240)가 테이블 바디(230)에 구비된 샤프트 홀(255)에 삽입될 수도 있다. The table shaft 240 may function as a rotation axis of the table body 230 . In the drawing according to the present embodiment, the table shaft 240 protrudes from the table body 230 , the moving frame 250 is provided with a shaft hole 255 , and the table shaft 240 is inserted into the shaft hole 255 . However, it is not necessarily limited thereto. For example, the table shaft 240 may protrude from the moving frame 250 , and the table shaft 240 may be inserted into the shaft hole 255 provided in the table body 230 .

이하에서는 상술한 바와 같은 구성을 갖는 핸들러(10)의 작용 및 효과에 대하여 설명한다. Hereinafter, the action and effect of the handler 10 having the above-described configuration will be described.

먼저, 도 9 내지 도 13을 참조하여 서브레일(122)과 제1 모드 레일(131)이 연결된 제1 이송모드를 설명한다. 도 9는 도 2의 제1 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에서 초기상태에 놓인 것을 나타내는 사시도이고, 도 10은 도 2의 제1 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에서 초기상태에 놓인 것을 나타내는 평면도이며, 도 11은 도 9의 B-B'에서 바라본 핸들러의 분해도이고, 도 12는 도 10의 제1 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제2 위치로 이동완료한 것을 나타내는 평면도이며, 도 13은 도 11의 제1 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제2 위치로 이동완료한 것을 나타내는 분해도이다.First, a first transport mode in which the sub-rail 122 and the first mode rail 131 are connected will be described with reference to FIGS. 9 to 13 . 9 is a perspective view showing that the table unit is placed in the initial state in the first position in the first transfer mode of FIG. 2, and FIG. 10 is the table unit in the initial state in the first transfer mode in the first transfer mode of FIG. It is a plan view showing that it is placed, FIG. 11 is an exploded view of the handler seen from B-B' in FIG. 9, and FIG. 12 is a plan view showing that the table unit has been moved to the second position in the first transfer mode of FIG. 13 is an exploded view showing that the table unit has been moved to the second position in the first transfer mode of FIG. 11 .

도 9 내지 도 13을 참조하면, 제1 이송모드에서 핸들러(10)는 테이블 유닛(200)이 서브레일(122)로부터 멀리 떨어지도록, 메인레일(121)의 일측에 위치하는 초기상태를 가질 수 있다. 이러한 제1 이송모드의 초기상태에서는 캠 팔로워(233)가 제1 모드 레일(131)에 위치한다. 핸들러(10)가 메인레일(121)의 일측에 위치할 때 대상물체(11)가 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)에 적재될 수 있다. 이후, 테이블 유닛(200)은 이송장치(110)에 의해 메인레일(121)의 일측의 반대편인 타측을 향하여 이동한다. 다시 말해, 테이블 유닛(200)은 제1 구간(D1)으로부터 제2 구간(D2)을 향하여 이동하도록 구동될 수 있다. 테이블 유닛(200)이 제1 구간(D1)을 이동하는 동안 레일 연결부(251)는 메인레일(121)을 따라 이동하며, 캠 팔로워(233)는 제1 모드 레일(131)을 따라 이동한다. 9 to 13 , in the first transport mode, the handler 10 may have an initial state in which the table unit 200 is located on one side of the main rail 121 so that the table unit 200 is far away from the sub-rail 122 . have. In this initial state of the first transfer mode, the cam follower 233 is positioned on the first mode rail 131 . When the handler 10 is positioned on one side of the main rail 121 , the target object 11 may be loaded on the first table 210 and the second table 220 . Thereafter, the table unit 200 moves toward the other side opposite to one side of the main rail 121 by the transfer device 110 . In other words, the table unit 200 may be driven to move from the first section D1 to the second section D2. While the table unit 200 moves in the first section D1 , the rail connection part 251 moves along the main rail 121 , and the cam follower 233 moves along the first mode rail 131 .

제1 이송모드에서는 서브레일(122)과 제1 모드 레일(131)이 연결되므로, 무빙 프레임(250)이 제1 구간(D1)에서 제2 구간(D2)으로 진입하면, 캠 팔로워(233)는 제1 모드 레일(131)에서 서브레일(122)로 진입하고, 서브레일(122)을 따라 이동한다. 제1 이송모드에서는 메인레일(121)과 서브레일(122) 간의 간격과 메인레일(121)과 제1 모드 레일(131) 간의 간격이 동일하므로, 핸들러(10)에서의 캠 팔로워(233)와 레일 연결부(251) 간의 간격도 유지된다. 다시 말해, 핸들러(10)가 제1 구간(D1)에서 제2 구간(D2)으로 진입하더라도 캠 팔로워(233)는 메인 캠(252)을 따라 이동하지 않고 핸들러(10)내에서의 상대적인 위치를 유지할 수 있다. 이처럼, 제1 이송모드에서는 이송되는 동안 핸들러(10) 내에서의 캠 팔로워(233)의 상대적인 위치가 변화하지 않으므로, 테이블 바디(230)는 회전하지 않고 유지된다. 또한, 제1 이송모드에서는 테이블 바디(230)가 회전하지 않으므로 제1 테이블(210)과 제2 테이블(220)간의 간격도 변화없이 유지될 수 있다. Since the sub-rail 122 and the first mode rail 131 are connected in the first transport mode, when the moving frame 250 enters the second section D2 from the first section D1, the cam follower 233 enters the sub-rail 122 from the first mode rail 131 and moves along the sub-rail 122 . In the first transport mode, since the interval between the main rail 121 and the sub-rail 122 and the interval between the main rail 121 and the first mode rail 131 are the same, the cam follower 233 in the handler 10 and The distance between the rail connection parts 251 is also maintained. In other words, even if the handler 10 enters the second section D2 from the first section D1, the cam follower 233 does not move along the main cam 252, but a relative position within the handler 10. can keep As such, in the first transfer mode, since the relative position of the cam follower 233 in the handler 10 does not change during transfer, the table body 230 is maintained without rotation. In addition, since the table body 230 does not rotate in the first transfer mode, the distance between the first table 210 and the second table 220 may be maintained without change.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러(10)는 상기와 같은 제1 이송모드뿐만 아니라, 제2 이송모드를 제공할 수 있다. 제1 이송모드 및 제2 이송모드 간의 전환은 테이블 유닛(200)을 탑재한 무빙 프레임(250)이 제2 위치를 향하여 이동하여 제1 바디부(120) 상에 놓인 후, 레일변환 수단(140)에 의해 이루어질 수 있다. 예를 들어, 제1 모드 레일(131) 및 제2 모드 레일(132)을 포함하는 제2 바디부(130)가 제1 바디부(120)에 대해 이동 가능하도록 구성되고, 레인변환 수단(140)이 이러한 제2 바디부(130)를 이동시키는 방식으로 구성될 경우, 레일변환 수단(140)은 제1 바디부(120)의 서브레일(122)이 제2 바디부(130)의 제2 모드 레일(132)과 연결되도록 제2 바디부(130)를 이송시킬 수 있다. 이러한 제1 이송모드 및 제2 이송모드 간의 전환 이전에, 테이블 유닛(200)을 탑재한 무빙 프레임(250)은 제2 위치 측으로 이동하여 제1 바디부(120) 상에 놓일 수 있다.Meanwhile, the handler 10 according to an embodiment of the present invention may provide not only the first transfer mode as described above, but also the second transfer mode. Switching between the first transfer mode and the second transfer mode is performed after the moving frame 250 on which the table unit 200 is mounted is moved toward the second position and placed on the first body part 120, and then the rail conversion means 140 ) can be done by For example, the second body portion 130 including the first mode rail 131 and the second mode rail 132 is configured to be movable with respect to the first body portion 120, and the lane conversion means 140 ) is configured in such a way that the second body part 130 moves, the rail conversion means 140 is the sub-rail 122 of the first body part 120 is the second of the second body part 130 . The second body 130 may be transferred to be connected to the mode rail 132 . Before switching between the first transfer mode and the second transfer mode, the moving frame 250 on which the table unit 200 is mounted may be moved to the second position and placed on the first body part 120 .

이하에서는, 도 14 내지 도 19를 참조하여 서브레일(122)과 제2 모드 레일(132)이 연결된 제2 이송모드를 설명한다. 도 14는 도 10의 제2 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에 놓인 것을 나타내는 평면도이고, 도 15는 도 11의 제2 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에 놓인 것을 나타내는 분해도이며, 도 16은 도 14의 C-C'에 따라 절개한 핸들러의 단면도이고, 도 17은 도 10의 제2 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에서 제2 위치로 이동 중인 것을 나타내는 평면도이며, 도 18은 도 11의 제2 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제1 위치에서 제2 위치로 이동 중인 것을 나타내는 분해도이고, 도 19는 도 17의 D-D'에 따라 절개한 핸들러의 단면도이다.Hereinafter, a second transport mode in which the sub-rail 122 and the second mode rail 132 are connected will be described with reference to FIGS. 14 to 19 . 14 is a plan view showing that the table unit is placed in the first position in the second transfer mode of FIG. 10, and FIG. 15 is an exploded view illustrating that the table unit is placed in the first position in the second transfer mode of FIG. 16 is a cross-sectional view of the handler cut along line C-C' of FIG. 14, and FIG. 17 is a plan view showing that the table unit is moving from the first position to the second position in the second transfer mode of FIG. 18 is an exploded view showing that the table unit is moving from the first position to the second position in the second transfer mode of FIG. 11 , and FIG. 19 is a cross-sectional view of the handler cut along line D-D' of FIG. 17 .

도 14 내지 도 19를 참조하면, 제2 이송모드에서 핸들러(10)는 테이블 유닛(200)이 서브레일(122)로부터 멀리 떨어지도록, 메인레일(121)의 일측에 위치하는 초기상태를 가질 수 있다. 이러한 제2 이송모드의 초기상태에서는 캠 팔로워(233)가 제2 모드 레일(132)에 위치한다. 초기상태에서 대상물체(11)가 적재된 후, 테이블 유닛(200)은 이송장치(110)에 의해 메인레일(121)의 일측의 반대편인 타측을 향하여 이동할 수 있다. 핸들러(10)가 제1 구간(D1)을 이동하는 동안 레일 연결부(251)는 메인레일(121)을 따라 이동하며, 캠 팔로워(233)는 제2 모드 레일(132)을 따라 이동한다. 14 to 19 , in the second transfer mode, the handler 10 may have an initial state in which the table unit 200 is located on one side of the main rail 121 so as to be far away from the sub-rail 122 . have. In this initial state of the second transfer mode, the cam follower 233 is positioned on the second mode rail 132 . After the target object 11 is loaded in the initial state, the table unit 200 may move toward the other side opposite to one side of the main rail 121 by the transfer device 110 . While the handler 10 moves in the first section D1 , the rail connection part 251 moves along the main rail 121 , and the cam follower 233 moves along the second mode rail 132 .

제2 이송모드에서는 서브레일(122)과 제2 모드 레일(132)이 연결되어 있으므로, 핸들러(10)가 제1 구간(D1)에서 제2 구간(D2)으로 진입하면, 캠 팔로워(233)는 제2 모드 레일(132)에서 서브레일(122)로 진입하고, 서브레일(122)을 따라 이동한다. 제2 이송모드에서는 메인레일(121)과 제2 모드 레일(132) 간의 간격은 제2 모드 레일(132)은 메인경로(C)를 따라 연장되면서 변하도록 구성된다. 다시 말해, 제2 모드 레일(132)은 서브레일(122) 측을 향하는 방향으로 연장되는 동안 메인레일(121)에 가까워지거나 멀어지도록 구성될 수 있다. 한편, 캠 팔로워(233)는 이러한 제2 모드 레일(132) 상에서 이동하고 레일 연결부(251)는 메인레일(121) 상에서 이동하므로, 메인레일(121)과 제2 모드 레일(132) 간의 간격이 변화함에 따라 핸들러(10)에서의 캠 팔로워(233)와 레일 연결부(251) 간의 간격도 변화하게 된다. 예를 들어, 제2 모드 레일(132)이 서브레일(122) 측을 향하는 방향으로 연장되는 동안 메인레일(121)에 멀어지도록 구성될 경우, 무빙 프레임(250)이 제1 구간(D1)에서 서브레일(122)을 향하는 방향으로 이동하는 동안 캠 팔로워(233)는 메인레일(121)로부터 멀어지도록 이동하게 된다. In the second transport mode, since the sub-rail 122 and the second mode rail 132 are connected, when the handler 10 enters the second section D2 from the first section D1, the cam follower 233 enters the sub-rail 122 from the second mode rail 132 and moves along the sub-rail 122 . In the second transfer mode, the interval between the main rail 121 and the second mode rail 132 is configured to change while the second mode rail 132 extends along the main path C. In other words, the second mode rail 132 may be configured to approach or move away from the main rail 121 while extending in the direction toward the sub-rail 122 . On the other hand, since the cam follower 233 moves on the second mode rail 132 and the rail connection part 251 moves on the main rail 121, the gap between the main rail 121 and the second mode rail 132 is As it changes, the distance between the cam follower 233 and the rail connection part 251 in the handler 10 also changes. For example, when the second mode rail 132 is configured to be away from the main rail 121 while extending in the direction toward the sub-rail 122 , the moving frame 250 is moved in the first section D1 . While moving in the direction toward the sub-rail 122 , the cam follower 233 moves away from the main rail 121 .

한편, 메인 캠(252)은 반경이 변하지 않는 원주형의 궤적을 가지며, 캠 팔로워(233)가 원주형의 궤적을 따라 이동하도록 안내한다. 다시 말해, 캠 팔로워(233)는 메인 캠(252)의 원주형의 궤적을 따라 메인 레일(121)에 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다. 일예로, 제2 모드 레일(132)이 서브레일(122)을 향하는 방향으로 연장되는 동안 메인레일(121)로부터 멀어지도록 휘어질 경우, 캠 팔로워(233)는 서브레일(122)을 향하는 방향으로 이동하면서 메인 캠(252)의 원주형의 궤적을 따라 메인레일(121)로부터 멀어진다. 한편, 캠 팔로워(233)를 안내하는 메인 캠(252)의 궤적이 원주형이고 캠 팔로워(233)가 테이블 바디(230)에 구비되므로, 캠 팔로워(233)의 이동에 의해 테이블 바디(230)가 회전한다. 테이블 바디(230)의 회전 중심은 테이블 샤프트(240)이며, 이러한 테이블 바디(230)의 회전에 의해 테이블 바디(230)와 연결된 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)도 회전하게 된다. On the other hand, the main cam 252 has a circular trajectory whose radius does not change, and guides the cam follower 233 to move along the cylindrical trajectory. In other words, the cam follower 233 may move toward or away from the main rail 121 along a circumferential trajectory of the main cam 252 . For example, when the second mode rail 132 is bent away from the main rail 121 while extending in the direction toward the sub-rail 122 , the cam follower 233 moves in the direction toward the sub-rail 122 . It moves away from the main rail 121 along the circumferential trajectory of the main cam 252 . On the other hand, since the trajectory of the main cam 252 guiding the cam follower 233 is cylindrical and the cam follower 233 is provided in the table body 230, the table body 230 by the movement of the cam follower 233. is rotating The center of rotation of the table body 230 is the table shaft 240 , and by the rotation of the table body 230 , the first table 210 and the second table 220 connected to the table body 230 also rotate. .

한편, 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220) 중 하나 이상은 회전시 타원형 궤적을 따라 이동하도록 구성될 수 있으므로, 테이블 바디(230)가 회전함에 따라 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220) 중 하나 이상은 타원형 궤적을 따라 이동할 수 있다. 예를 들어, 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)이 제1 회전 가이드 유닛(253, 213) 및 제2 회전 가이드 유닛(254, 223)에 의해 모두 타원형 궤적을 따라 이동 가능하게 구성되는 경우, 테이블 바디(230)의 회전에 의해 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)은 모두 타원형 궤적을 따라 회전하게 된다. 더욱 상세한 예를 들면, 초기상태에서 캠 팔로워(233)가 메인 캠(252)의 시계 방향 측에 위치하고, 제1 회전 가이드 팔로워(213)가 제1 회전 가이드 레일(253)의 시계 방향 측에 위치하며, 제2 회전 가이드 팔로워(223)가 제2 회전 가이드 레일(254)의 시계 방향 측에 위치할 경우, 캠 팔로워(233)는 제2 모드 레일(132) 상에서의 이동에 의해 원주형 궤적을 따라 반시계 방향으로 이동하도록 구성될 수 있으며, 제1 회전 가이드 팔로워(213) 및 제2 회전 가이드 팔로워(233)는 타원형 궤적을 따라 반시계 방향으로 이동하게 된다. Meanwhile, at least one of the first table 210 and the second table 220 may be configured to move along an elliptical trajectory when rotating, so that as the table body 230 rotates, the first table 210 and the second One or more of the tables 220 may move along an elliptical trajectory. For example, the first table 210 and the second table 220 are both configured to be movable along an elliptical trajectory by the first rotation guide units 253 and 213 and the second rotation guide units 254 and 223 . In this case, both the first table 210 and the second table 220 rotate along an elliptical trajectory by the rotation of the table body 230 . For a more detailed example, in the initial state, the cam follower 233 is located on the clockwise side of the main cam 252 , and the first rotation guide follower 213 is located on the clockwise side of the first rotation guide rail 253 . and, when the second rotation guide follower 223 is positioned on the clockwise side of the second rotation guide rail 254 , the cam follower 233 forms a circumferential trajectory by movement on the second mode rail 132 . It may be configured to move in a counterclockwise direction accordingly, and the first rotation guide follower 213 and the second rotation guide follower 233 move counterclockwise along an elliptical trajectory.

또한, 타원형의 궤적을 따라 이동하는 동안 제1 테이블(210)의 제1 회전 가이드 팔로워(213)와 원점(O) 간의 거리 및 제2 테이블(220)의 제2 회전 가이드 팔로워(223)와 원점(O) 간의 거리가 변할 수 있으므로, 제1 테이블(210)과 제2 테이블(220)은 원점(O)에서 멀어지거나 가까워지는 방향으로 이동할 수 있다. 예를 들어, 초기상태에서 제1 회전 가이드 팔로워(213)가 제1 회전 가이드 레일(253)의 제2 반경(R12) 부분에 놓이고, 제2 회전 가이드 팔로워(223)가 제2 회전 가이드 레일(254)의 제2 반경(R22) 부분에 놓이는 경우, 제1 회전 가이드 팔로워(213)는 타원형 궤적을 따라 이동하여 제1 회전 가이드 레일(253)의 제1 반경(R11) 부분에 놓이고, 제2 회전 가이드 팔로워(223)는 타원형 궤적을 따라 이동하여 제2 회전 가이드 레일(254)의 제1 반경(R21) 부분에 놓일 수 있다. 제1 회전 가이드 레일(253) 및 제2 회전 가이드 레일(254)에의 일측의 반경(제1 반경(R11, R21))이 제1 회전 가이드 레일(253) 및 제2 회전 가이드 레일(254)의 타측의 반경(제1 반경(R12, R22))보다 크게 구성될 수 있으므로, 제1 회전 가이드 팔로워(213) 및 제2 회전 가이드 팔로워(223)는 타원형 궤적을 따라 제1 반경(R12, R22)측으로 이동하면서 원점(O)으로부터 멀어지게 된다. 따라서, 이러한 제1 회전 가이드 팔로워(213) 및 제2 회전 가이드 팔로워(223)의 이동을 통해 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)은 테이블 바디(230) 상에서 서로 멀어지는 방향으로 이동하게 된다. 또한, 테이블 바디(230)에서의 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)의 이동은 선형 가이드(232)에 의해 안내된다. In addition, the distance between the first rotation guide follower 213 and the origin O of the first table 210 and the second rotation guide follower 223 and the origin of the second table 220 while moving along the elliptical trajectory Since the distance between (O) may be changed, the first table 210 and the second table 220 may move in a direction away from or closer to the origin (O). For example, in the initial state, the first rotation guide follower 213 is placed on the second radius R12 portion of the first rotation guide rail 253, and the second rotation guide follower 223 is the second rotation guide rail When placed in the second radius (R22) portion of the 254, the first rotation guide follower 213 moves along the elliptical trajectory and lies in the first radius (R11) portion of the first rotation guide rail 253, The second rotation guide follower 223 may move along an elliptical trajectory to be placed on a portion of the first radius R21 of the second rotation guide rail 254 . The radius of one side of the first rotation guide rail 253 and the second rotation guide rail 254 (first radius R11 and R21) is the first rotation guide rail 253 and the second rotation guide rail 254 . Since it can be configured to be larger than the radius of the other side (the first radius (R12, R22)), the first rotation guide follower 213 and the second rotation guide follower 223 follow the elliptical trajectory of the first radius (R12, R22) As it moves to the side, it moves away from the origin (O). Accordingly, through the movement of the first rotation guide follower 213 and the second rotation guide follower 223 , the first table 210 and the second table 220 move away from each other on the table body 230 . do. In addition, the movement of the first table 210 and the second table 220 in the table body 230 is guided by the linear guide 232 .

다시 말해, 핸들러(10)가 제1 구간(D1)을 이동하는 동안 캠 팔로워(233)가 메인 캠(252)을 따라 이동하고, 메인 켐(252)의 이동에 의해 테이블 바디(230)가 회전하게 된다. 또한, 테이블 바디(230)의 회전에 의해 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)이 회전하게 된다. 제1 회전 가이드 유닛(253, 213) 및 제2 회전 가이드 유닛(254, 223)은 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)이 타원형 궤적을 따라 회전하도록 안내하므로, 제1 테이블(210)과 제2 테이블(220)은 회전하면서 서로 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동할 수 있게 된다. In other words, while the handler 10 moves in the first section D1 , the cam follower 233 moves along the main cam 252 , and the table body 230 rotates by the movement of the main cam 252 . will do In addition, the first table 210 and the second table 220 are rotated by the rotation of the table body 230 . Since the first rotation guide units 253 and 213 and the second rotation guide units 254 and 223 guide the first table 210 and the second table 220 to rotate along an elliptical trajectory, the first table 210 ) and the second table 220 can move in a direction closer to or farther away from each other while rotating.

제2 이송모드에서는 서브레일(122)과 제2 모드 레일(132)이 연결되므로, 무빙 프레임(250)이 제1 구간(D1)에서 제2 구간(D2)으로 진입하면, 캠 팔로워(233)는 제2 모드 레일(132)에서 서브레일(122)로 진입하고, 서브레일(122)을 따라 이동한다. 이러한 제2 이송모드에서의 제2 구간(D2)상의 이동은 제1 이송모드에서의 제2 구간(D2)상의 이동과 동일할 수 있다.In the second transport mode, since the sub-rail 122 and the second mode rail 132 are connected, when the moving frame 250 enters the second section D2 from the first section D1, the cam follower 233 enters the sub-rail 122 from the second mode rail 132 and moves along the sub-rail 122 . The movement in the second section D2 in the second transfer mode may be the same as the movement in the second section D2 in the first transfer mode.

본 실시예에 따른 핸들러(10)는 회전을 위한 직접적인 동력없이, 경로를 조절함으로써 이송장치에 의한 이송을 통해 테이블(210, 220)이 선택적으로 회전하도록 구성될 수 있다. 또한, 핸들러(10)는 테이블(210, 220)이 회전하는 동안 테이블(210, 220)이 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동하도록 구성될 수 있다. 다시 말해, 본 실시예에 따른 핸들러(10)는 적재된 대상물체의 배치가 효과적으로 조절될 수 있다. The handler 10 according to the present embodiment may be configured to selectively rotate the tables 210 and 220 through transport by a transport device by adjusting a path without direct power for rotation. In addition, the handler 10 may be configured to move in a direction toward or away from the tables 210 and 220 while the tables 210 and 220 rotate. In other words, in the handler 10 according to the present embodiment, the arrangement of the loaded object can be effectively controlled.

한편, 본 실시예에 따른 도면에서는 제2 이송모드에서 제1 테이블(210)과 제2 테이블(220)이 가까워지거나 멀어지는 방향을 따라 제1 테이블(210)과 제2 테이블(220)이 모두 이동하는 것으로 나타내었으나, 본 발명의 사상이 이에 한정되는 것은 아니고, 제1 테이블(210)과 제2 테이블(220) 중 어느 하나만 이동하는 것도 가능하다. 예를 들어, 테이블 유닛(200)이 회전하는 동안 제1 테이블(210)만 제2 테이블(220) 측으로 진퇴하고 제2 테이블(220)은 테이블 바디(230)에 고정되는 것도 가능하다. On the other hand, in the drawing according to the present embodiment, both the first table 210 and the second table 220 move along the direction in which the first table 210 and the second table 220 are approaching or moving away from each other in the second transport mode. However, the spirit of the present invention is not limited thereto, and it is also possible to move only one of the first table 210 and the second table 220 . For example, while the table unit 200 rotates, only the first table 210 moves forward and backward toward the second table 220 , and the second table 220 may be fixed to the table body 230 .

한편, 이상의 일 실시예와 달리, 테이블 바디(230)의 회전을 위한 구동력을 제공하는 장치가 테이블 유닛(200)에 구비되는 것도 가능하다. 이하, 도 20 내지 23을 참조하여 본 발명의 다른 실시예를 설명한다. 도 20은 본 발명의 다른 실시예에 따른 핸들러의 분해 사시도이고, 도 21은 도 20의 테이블 유닛을 저면에서 바라본 분해사시도이며, 도 22는 도 20의 핸들러의 테이블 유닛이 제1 위치에서 초기상태에 놓인 것을 나타내는 분해도이고, 도 23은 도 20의 제2 이송모드일 때에 테이블 유닛이 제2 위치로 이동완료한 것을 나타내는 분해도이다. On the other hand, unlike the above exemplary embodiment, it is also possible that a device for providing a driving force for rotation of the table body 230 is provided in the table unit 200 . Hereinafter, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 20 to 23 . 20 is an exploded perspective view of a handler according to another embodiment of the present invention, FIG. 21 is an exploded perspective view of the table unit of FIG. 20 viewed from the bottom, and FIG. 22 is an initial state of the table unit of the handler of FIG. 20 in the first position 23 is an exploded view showing that the table unit has been moved to the second position in the second transfer mode of FIG. 20 .

본 발명의 다른 실시예를 설명함에 있어서, 상술한 실시예와 비교하였을 때, 테이블 유닛(200)이 캠 팔로워(233), 및 제1 모드 레일(131) 또는 제2 모드 레일(132)에 연결되는 메인 캠(252) 대신에, 회전 구동 유닛(260)을 더 포함할 수 있다는 점에서 차이가 있으므로, 이러한 차이점을 위주로 설명하며, 동일한 설명 및 도면부호는 상술한 실시예들을 원용한다.In describing another embodiment of the present invention, compared with the above-described embodiment, the table unit 200 is connected to the cam follower 233 and the first mode rail 131 or the second mode rail 132 . Instead of the main cam 252, there is a difference in that it may further include a rotation driving unit 260, so the difference will be mainly described, and the same description and reference numerals refer to the above-described embodiments.

본 발명의 다른 실시예에 따르면 제1 바디부(120)과 제2 바디부(130)에는 제1 모드 레일(131), 제2 모드 레일(132) 및 서브레일(122)이 구비되지 않고, 메인레일(121)만이 구비되도록 구성될 수 있다. 또한, 테이블 유닛(200)에는 캠 팔로워(233) 및 메인 캠(252)이 구비되지 않을 수 있다. According to another embodiment of the present invention, the first body part 120 and the second body part 130 are not provided with the first mode rail 131 , the second mode rail 132 and the sub-rail 122 , It may be configured such that only the main rail 121 is provided. Also, the table unit 200 may not include the cam follower 233 and the main cam 252 .

한편, 테이블 유닛(200)은 회전 구동 유닛(260)을 더 포함할 수 있다. 이러한 회전 구동 유닛(260)은 테이블 유닛(200)의 테이블 바디(230) 및 무빙 프레임(250) 중 하나에 설치될 수 있으며, 테이블 바디(230)를 회전시키도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 회전 구동 유닛(260)은 모터 및 이를 제어하는 제어부를 포함할 수 있으며, 모터는 시계방향 또는 반시계방향을 따라 360°회전 가능하도록 구성될 수 있다. 모터는 테이블 바디(230)에 직접 연결되거나, 테이블 샤프트(240) 등을 통하여 테이블 바디(230)에 간접 연결될 수 있다. 또한, 회전 구동 유닛(260)은, 다른 예로 시계방향 또는 반시계방향을 따라 미리 결정된 각도를 회전하도록 구성되는 회전 실린더를 포함할 수 있다. 회전 실린더는 회전 모터에 비하여 크기가 작을 수 있다. 또한, 회전 실린더는 테이블 바디(230)에 직접 연결되거나, 테이블 샤프트(240) 등을 통하여 테이블 바디(230)에 간접 연결될 수 있다. 이러한 회전 실린더는 미리 결정된 각도를 회전시키도록 구성되므로 제어부는 회전 실린더의 구동 여부만 제어하도록 구성될 수 있다. 따라서, 회전 실린더 및 그 제어부는 회전 모터 및 그 제어부보다 적은 공간을 차지하여 설치가 용이하다는 장점이 있다. 한편, 회전 실린더의 미리 결정된 각도는 일예로 대략 90°일 수 있으나, 본 발명의 사상이 이에 한정되는 것은 아니다.Meanwhile, the table unit 200 may further include a rotation driving unit 260 . The rotation driving unit 260 may be installed in one of the table body 230 and the moving frame 250 of the table unit 200 , and may be configured to rotate the table body 230 . For example, the rotation driving unit 260 may include a motor and a controller for controlling the same, and the motor may be configured to rotate 360° in a clockwise or counterclockwise direction. The motor may be directly connected to the table body 230 or indirectly connected to the table body 230 through the table shaft 240 or the like. Further, the rotation drive unit 260 may include a rotating cylinder configured to rotate a predetermined angle along a clockwise or counterclockwise direction as another example. The rotating cylinder may have a smaller size than the rotating motor. In addition, the rotating cylinder may be directly connected to the table body 230 or indirectly connected to the table body 230 through the table shaft 240 or the like. Since the rotating cylinder is configured to rotate a predetermined angle, the control unit may be configured to control only whether the rotating cylinder is driven. Accordingly, the rotating cylinder and its control unit occupy less space than the rotating motor and its control unit, thereby facilitating installation. Meanwhile, the predetermined angle of the rotating cylinder may be, for example, approximately 90°, but the spirit of the present invention is not limited thereto.

이러한 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 테이블 유닛(200)이 제1 이송모드로 작동될 때 회전 구동 유닛(260)은 테이블 바디(230)를 회전시키지 않고 테이블 유닛(200)이 메인 경로를 따라 이동하는 동안 자세를 유지할 수 있다. 한편, 테이블 유닛(200)이 제2 이송모드로 작동될 때에 회전 구동 유닛(260)은 테이블 바디(230)를 회전시키며, 이러한 테이블 바디(230)의 회전은 테이블 유닛(200)이 메인경로(C)의 일부 또는 전부를 이동하는 동안에 이루어질 수 있다. 이처럼, 회전 구동 유닛(260)이 테이블 바디(230)를 회전시키도록 구동되는지 여부에 따라 제1 이송모드로 작동되는지, 제2 이송모드로 작동되는지가 선택적으로 결정될 수 있다. According to another embodiment of the present invention, when the table unit 200 is operated in the first transport mode, the rotation driving unit 260 does not rotate the table body 230 and the table unit 200 moves along the main path. Able to maintain posture while moving. On the other hand, when the table unit 200 is operated in the second transfer mode, the rotation driving unit 260 rotates the table body 230, and the rotation of the table body 230 causes the table unit 200 to move through the main path ( C) can be done while moving some or all of it. As such, whether the rotation driving unit 260 is driven to rotate the table body 230 may be selectively determined whether to operate in the first transfer mode or the second transfer mode.

제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220) 중 하나 이상은 회전시 타원형 궤적을 따라 이동하도록 구성될 수 있으므로, 제2 이송모드인 경우 테이블 바디(230)가 회전 구동 유닛(260)에 의해 회전함에 따라 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220) 중 하나 이상은 타원형 궤적을 따라 이동할 수 있다. 예를 들면, 초기상태에서 캠 팔로워(233)가 메인 캠(252)의 시계 방향 측에 위치하고, 제1 회전 가이드 팔로워(213)가 제1 회전 가이드 레일(253)의 시계 방향 측에 위치하며, 제2 회전 가이드 팔로워(223)가 제2 회전 가이드 레일(254)의 시계 방향 측에 위치할 경우, 테이블 바디(230)는 회전 구동 유닛(260)에 의해 반시계 방향으로 회전할 수 있으며, 테이블 바디(230) 상의 제1 테이블(210) 및 제2 테이블(220)에 구비되는 제1 회전 가이드 팔로워(213) 및 제2 회전 가이드 팔로워(223)는 타원형 궤적을 따라 반시계 방향으로 이동하게 된다. Since one or more of the first table 210 and the second table 220 may be configured to move along an elliptical trajectory when rotating, the table body 230 is driven by the rotation driving unit 260 in the second transport mode. As it rotates, one or more of the first table 210 and the second table 220 may move along an elliptical trajectory. For example, in the initial state, the cam follower 233 is located on the clockwise side of the main cam 252, and the first rotation guide follower 213 is located on the clockwise side of the first rotation guide rail 253, When the second rotation guide follower 223 is positioned on the clockwise side of the second rotation guide rail 254 , the table body 230 may rotate counterclockwise by the rotation drive unit 260 , The first rotation guide follower 213 and the second rotation guide follower 223 provided on the first table 210 and the second table 220 on the body 230 move counterclockwise along an elliptical trajectory. .

또한, 타원형의 궤적을 따라 이동하는 동안 제1 테이블(210)의 제1 회전 가이드 팔로워(213)와 원점(O) 간의 거리 및 제2 테이블(220)의 제2 회전 가이드 팔로워(223)와 원점(O) 간의 거리가 변할 수 있으므로, 제1 테이블(210)과 제2 테이블(220)은 원점(O)에서 멀어지거나 가까워지는 방향으로 이동할 수 있다. 다시 말해, 제1 회전 가이드 팔로워(213) 및 제2 회전 가이드 팔로워(223)가 타원형의 제1 회전 가이드 레일(253)와 제2 회전 가이드 레일(254)를 따라 이동함으로써, 제1 테이블(210)과 제2 테이블(220)가 서로 가까워질 수도 있고, 멀어질 수도 있다. In addition, the distance between the first rotation guide follower 213 and the origin O of the first table 210 and the second rotation guide follower 223 and the origin of the second table 220 while moving along the elliptical trajectory Since the distance between (O) may be changed, the first table 210 and the second table 220 may move in a direction away from or closer to the origin (O). In other words, by moving the first rotation guide follower 213 and the second rotation guide follower 223 along the elliptical first rotation guide rail 253 and the second rotation guide rail 254 , the first table 210 ) and the second table 220 may be close to each other or may be farther away from each other.

이상 본 발명의 실시예에 따른 핸들러의 구체적인 실시 형태로서 설명하였으나, 이는 예시에 불과한 것으로서, 본 발명은 이에 한정되지 않는 것이며, 본 명세서에 개시된 기초 사상에 따르는 최광의 범위를 갖는 것으로 해석되어야 한다. 당업자는 개시된 실시형태들을 조합/치환하여 적시되지 않은 형상의 패턴을 실시할 수 있으나, 이 역시 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 것이다. 이외에도 당업자는 본 명세서에 기초하여 개시된 실시형태를 용이하게 변경 또는 변형할 수 있으며, 이러한 변경 또는 변형도 본 발명의 권리범위에 속함은 명백하다.The above has been described as a specific embodiment of the handler according to the embodiment of the present invention, but this is only an example, and the present invention is not limited thereto, and it should be construed as having the widest scope according to the basic idea disclosed in the present specification. A person skilled in the art may implement a pattern of a shape not specified by combining/substituting the disclosed embodiments, without departing from the scope of the present invention. In addition, those skilled in the art can easily change or modify the disclosed embodiments based on the present specification, and it is clear that such changes or modifications also fall within the scope of the present invention.

P1: 제1 위치 P2: 제2 위치
C: 메인경로 D2: 제2 구간
D1: 제1 구간 10: 핸들러
11, 11', 11'': 대상물체 20: 고객트레이
21: 제1 픽앤 플레이스 장치 30: 테스터
31: 제2 픽앤 플레이스 장치
100: 이송유닛 110: 이송장치
120: 제1 바디부 121: 메인레일
122: 서브레일 130: 제2 바디부
131: 제1 모드 레일 132: 제2 모드 레일
R11: 제1 회전 가이드 레일의 제1 반경
R12: 제1 회전 가이드 레일의 제2 반경
R21: 제2 회전 가이드 레일의 제1 반경
R22: 제2 회전 가이드 레일의 제2 반경
200: 테이블 유닛 210: 제1 테이블
211: 제1 대상물체 수용부 212: 제1 바디 연결부
213: 제1 회전 가이드 팔로워 220: 제2 테이블
221: 제2 대상물체 수용부 222: 제2 바디 연결부
223: 제2 회전 가이드 팔로워 230: 테이블 바디
232: 선형 가이드 233: 캠 팔로워
240: 테이블 샤프트
250: 무빙 프레임 251: 레일 연결부
252: 메인 캠 253: 제1 회전 가이드 레일
254: 제2 회전 가이드 레일 255: 샤프트 홀
260: 회전 구동 유닛P1: first position P2: second position
C: Main route D2: Second section
D1: first section 10: handler
11, 11', 11'': object 20: customer tray
21: first pick and place device 30: tester
31: second pick and place device
100: transfer unit 110: transfer device
120: first body portion 121: main rail
122: sub-rail 130: second body portion
131: first mode rail 132: second mode rail
R11: first radius of first rotating guide rail
R12: second radius of the first rotating guide rail
R21: first radius of the second rotating guide rail
R22: second radius of the second rotating guide rail
200: table unit 210: first table
211: first object receiving part 212: first body connection part
213: first rotation guide follower 220: second table
221: second object receiving part 222: second body connection part
223: second rotation guide follower 230: table body
232: linear guide 233: cam follower
240: table shaft
250: moving frame 251: rail connection
252: main cam 253: first rotation guide rail
254: second rotation guide rail 255: shaft hole
260: rotation drive unit

Claims

a table unit capable of supporting an object; and
Containing a transfer unit having a transfer device for transferring the table unit along the main path,
The table unit transfers the target object so that the rotation axis moves in the horizontal direction while rotating about a rotation shaft extending in the vertical direction in a first transport mode for transporting the target object without rotation and at least a portion of the main path A handler selectively operated in any one of the second transport modes.

The method of claim 1,
The transfer unit is
a first body portion; and
A second body portion formed with a first mode rail for guiding the table unit to be transported without rotation in the first transport mode, and a second mode rail for guiding the table unit to be transported while rotating in the second transport mode. including,
The table unit is configured to rotate by transport by the transport device,
The table unit is
a first table capable of supporting a first group of objects; and
a second table capable of supporting a second group of objects;
The table unit is rotated by a second mode rail when transferred to the second transport mode, and a distance between the first table and the second table can be adjusted by the rotation.

The method of claim 1,
The table unit is
a first table capable of supporting a first group of objects; and
a second table capable of supporting a second group of objects;
The transfer unit further comprises a moving frame,
One of the first table and the moving frame is provided with a first rotation guide rail for guiding the rotation of the first table, and the other of the first table and the moving frame is inserted into the first rotation guide rail. A first rotation guide follower is provided,
A second rotation guide rail for guiding rotation of the second table is provided on one of the second table and the moving frame, and the other of the second table and the moving frame is inserted into the second rotation guide rail. A second rotation guide follower is provided,
Any one of the first rotation guide follower and the first rotation guide rail extends in a curved shape such that a radius at one side is formed to be larger than a radius at the other side,
Any one of the second rotation guide follower and the second rotation guide rail extends in a curved shape so that a radius at one side is larger than a radius at the other side.

4. The method of claim 3,
The table unit further comprises a table body having a linear guide,
The linear guide is a handler for guiding linear movement of at least one of the first table and the second table on the table body so that a distance between the first table and the second table is adjusted.

5. The method of claim 4,
The transfer unit is
a first body portion; and
A second body portion formed with a first mode rail for guiding the table unit to be transported without rotation in the first transport mode, and a second mode rail for guiding the table unit to be transported while rotating in the second transport mode. including,
The table unit is configured to rotate by transport by the transport device,
The moving frame is provided with a main cam for guiding the rotation of the table body,
The table body is provided with a cam follower guided along the main cam of the moving frame,
The main cam is
formed in a cylindrical shape to guide the cam follower along a cylindrical trajectory without a change in radius,
Any one of the first rotation guide follower and the first rotation guide rail and any one of the second rotation guide follower and the second rotation guide rail form an elliptical trajectory,
The cylindrical trajectory and the elliptical trajectory are configured to have the same center,
The first body portion,
a main rail guiding the moving frame to move along the main path; and
and a sub-rail for guiding the movement of the cam follower while the moving frame moves for a predetermined section along the main rail;
In the first transfer mode, the sub-rail is connected to the first mode rail, in the second transfer mode, the sub-rail is connected to the second mode rail,
The first mode rail is formed such that a distance from the main rail is maintained while extending in a direction away from the side of the sub-rail;
The second mode rail extends in a direction away from the side of the sub-rail and is curved so as to be spaced apart from or closer to the main rail.

5. The method of claim 4,
The table unit further comprises a rotation drive unit for selectively rotating the table body,
The rotation driving unit is driven to rotate the table unit in the second transfer mode without rotating the table unit in the first transfer mode.

a table unit capable of supporting an object; and
Containing a transfer unit having a transfer device for transferring the table unit along the main path,
The table unit may be configured in any one of a first transport mode for transporting the target object without rotation and a second transport mode for transporting the target object so that a rotational shaft extending in the vertical direction in at least some sections of the main path is moved in the horizontal direction. Optionally actuated handlers.