KR101499575B1 - Carrier board transfer apparatus for test handler - Google Patents

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Abstract

본 발명은 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면 캐리어보드를 이동시키기 위한 이동부재가 결합되어 있는 체인의 열변화에 따른 체인의 장력을 자동적으로 조절함으로써 장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 기술이 개시된다.
The present invention relates to a carrier board transfer apparatus for a test handler.
Disclosure of Invention Technical Problem [7] According to the present invention, there is disclosed a technique for improving reliability of a device by automatically controlling a tensile force of a chain according to a change in heat of a chain to which a moving member for moving a carrier board is coupled.

Description

테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치{CARRIER BOARD TRANSFER APPARATUS FOR TEST HANDLER}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a carrier board transfer device for a test handler,

본 발명은 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치에 관한 것으로, 이송장치에 구성되는 체인의 장력을 일정하게 조절하기 위한 기술에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a carrier board transfer apparatus for a test handler, and relates to a technique for uniformly controlling the tension of a chain constituted by a transfer apparatus.

생산된 반도체소자는 출하에 앞서서 테스터에 의해 테스트되어지는데, 반도체소자를 테스터에 전기적으로 접속되게 공급하는 장비로서 테스트핸들러가 사용된다.The produced semiconductor device is tested by a tester prior to shipment, and a test handler is used as the equipment for supplying the semiconductor device to be electrically connected to the tester.

테스트핸들러에서 반도체소자는 처리용량을 증대시키기 위해 여러 개의 반도체소자를 적재시킬 수 있는 캐리어보드에 적재된 상태로 이동되어 지는데, 캐리어보드는 구간별로 구비되는 이송장치들에 의해 이동되면서 일정한 순환 경로 상을 순환하게 된다.In a test handler, a semiconductor device is moved to a state where it is loaded on a carrier board capable of stacking a plurality of semiconductor devices in order to increase a processing capacity. The carrier board is moved by a conveying device provided for each section, .

대한민국 등록특허 제10-934030호(발명의 명칭 : 테스트핸들러, 이하 '선행기술'이라 함)는 캐리어보드(해당 기술설명에서는 '테스트트레이'로 정의 됨)를 이동시키기 위한 이송장치의 일예에 대한 기술을 개시하고 있다.
Korean Patent Registration No. 10-934030 entitled "Test Handler" hereinafter referred to as "Prior Art" refers to an example of a transfer device for transferring a carrier board (defined as a "test tray" in this description) Technology.

선행기술에 따르면, 캐리어보드를 이동시키기 위한 파지블록에 결합된 이동부재가 회전벨트에 의해 구동풀리와 종동풀리 사이를 왕복 이동하도록 되어 있다.According to the prior art, a moving member coupled to a grip block for moving a carrier board is configured to reciprocate between a driving pulley and a driven pulley by a rotating belt.

그런데, 테스트핸들러의 경우, 필요에 따라서 반도체소자의 테스트환경을 고온(약 125도)으로 유지시키거나 저온(약 -40도)으로 유지시켜야 하기 때문에, 고온 또는 저온에 노출되는 부품들은 열변화에 따른 내구성에 우수한 재질로 사용되어야 한다.However, in the case of a test handler, the test environment of a semiconductor device must be maintained at a high temperature (about 125 degrees) or kept at a low temperature (about -40 degrees) It should be used as a material excellent in durability.

따라서 근자에는 수지나 고무 합성 재질의 회전벨트 대신에 금속 재질의 체인을 사용하는 것이 고려되고 있다.Therefore, in recent years, it has been considered to use a metal chain instead of a rotating belt made of resin or synthetic rubber.

그러나 금속 재질의 체인을 사용할 경우, 고온과 저온에서의 열 팽창 또는 열 수축에 의해 체인의 장력이 달라지는 문제점이 발생하고, 이러한 점은 장치의 신뢰성을 하락시키는 요인이 된다.However, when a metal chain is used, there is a problem that the tensile strength of the chain changes due to thermal expansion or heat shrinkage at a high temperature and a low temperature, and this causes a decrease in the reliability of the apparatus.

일반적으로 체인의 장력을 일정하게 조절하기 위한 기술로는, 도1a 및 도1b에서 각각 참조되는 바와 같이, 별도의 장력조절기(111, 112)를 체인(120)의 외부 또는 내부에 설치하는 것이다.Generally, as a technique for constantly controlling the tension of the chain, separate tension regulators 111 and 112 are installed outside or inside the chain 120 as shown in FIGS. 1A and 1B, respectively.

그러나 도1a 및 도1b에서 참조되는 바와 같이, 테스트핸들러의 캐리어보드 이송장치(100A, 100B)에 구성되는 체인(120)에는 캐리어보드를 이동시키기 위한 이동부재(130)가 결합되어 있기 때문에 간섭의 문제 등으로 인하여 별도의 장력조절기(111, 112)를 체인(120)의 외부 또는 내부에 설치하는 것이 곤란한 점이 있다.
However, as shown in FIGS. 1A and 1B, since the moving member 130 for moving the carrier board is coupled to the chain 120 of the carrier handler 100A, 100B of the test handler, It is difficult to install separate tension regulators 111 and 112 on the outside or inside of the chain 120 due to a problem or the like.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 스프라켓의 위치를 이동시켜 체인의 장력을 조절할 수 있는 기술을 제공하는 것이다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a technique for adjusting the tension of a chain by moving a position of a sprocket in order to solve the above-mentioned problems.

위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 형태에 따른 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치는, 정역 회전 가능하게 마련되는 구동 스프라켓; 상기 구동 스프라켓을 위치 고정되게 지지하는 제1 지지부재; 상기 구동 스프라켓과 일정 거리 이격되며 위치 이동이 가능하게 마련되는 종동 스프라켓; 상기 종동 스프라켓을 지지하며 위치 이동이 가능한 제2 지지부재; 상기 구동 스프라켓과 종동 스프라켓을 회전 반환점으로 하여 이동하는 체인; 상기 체인에 결합되어 상기 체인의 이동 방향에 따라서 캐리어보드를 이동시키는 이동부재; 상기 구동 스프라켓을 구동시키는 구동원; 및 상기 제2 지지부재의 위치를 조절함으로써 열변화에 따른 상기 체인의 장력을 조절하는 장력조절장치; 를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a carrier board transfer device for a test handler, including: a drive sprocket that is rotatable in a forward and reverse direction; A first support member for supporting the drive sprocket in a fixed position; A driven sprocket spaced apart from the drive sprocket by a predetermined distance, A second support member supporting the driven sprocket and capable of being moved; A chain for moving the drive sprocket and the driven sprocket as rotation turning points; A moving member which is coupled to the chain and moves the carrier board in accordance with the movement direction of the chain; A drive source for driving the drive sprocket; And a tension adjusting device for adjusting a tension of the chain according to a change in temperature by adjusting a position of the second supporting member; .

상기 장력조절장치는, 상기 체인의 이동 방향으로 길며, 일 측이 상기 제2 지지부재에 결합되고 타 측에는 걸림단을 구비한 이동축; 상기 제2 지지부재와 상기 이동축의 걸림단 사이에 고정되게 마련되는 고정체; 및 상기 이동축에 의해 지지되며, 상기 이동축의 걸림단과 상기 고정체 사이에 마련되어서 상기 이동축이 상기 제1 지지부재로부터 멀어지는 방향으로 상기 이동축에 탄성력을 가하는 탄성부재; 를 포함한다.Wherein the tension adjusting device comprises: a moving shaft having a long side in the moving direction of the chain, one side being coupled to the second supporting member and the other side being provided with a latching end; A fixed body fixedly provided between the second supporting member and the engaging end of the moving shaft; And an elastic member supported by the moving shaft, the elastic member being provided between the holding end of the moving shaft and the fixture to apply an elastic force to the moving shaft in a direction away from the first supporting member; .

상기 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치는 상기 제2 지지부재의 이동을 안내하기 위해 마련되는 안내장치; 를 더 포함하는 것이 더 바람직하다.Wherein the carrier board transfer device for the test handler is provided for guiding the movement of the second support member; It is preferable to further include

상기 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치는 상기 제2 지지부재의 이탈을 방지하기 위한 이탈방지장치; 를 더 포함하는 것이 더 바람직하다.Wherein the carrier board transfer device for the test handler includes a separation preventing device for preventing the separation of the second support member; It is preferable to further include

상기 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치는 제2 지지부재의 이동폭을 제한하기 위한 이동제한장치; 를 더 포함하는 것이 더 바람직하다.
Wherein the carrier board transfer device for the test handler includes a movement restricting device for restricting a movement width of the second support member; It is preferable to further include

위와 같은 본 발명에 따르면 스프라켓의 위치를 조절하여 체인의 장력을 조절함으로써 금속 재질의 체인을 사용하면서도 장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
According to the present invention, by adjusting the tension of the chain by adjusting the position of the sprocket, the reliability of the device can be improved while using the metal chain.

도1a 및 도1b는 체인의 장력을 조절하기 위한 일반적인 기술을 도시하고 있다.
도2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 이송장치의 주요부분에 대한 개념적인 측면도이다.
도3은 도2의 이송장치에 대한 개략적인 평면도이다.
도4 및 도5는 도2의 이송장치에서 체인의 장력이 조절된 상태를 설명하기 위한 참조도이다.
도6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 이송장치에 대한 개략적인 평면도이다.
도7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 이송장치에 대한 개략적인 평면도이다.
FIGS. 1A and 1B show a general technique for adjusting the tension of a chain.
2 is a conceptual side view of a major part of a transfer device according to a first embodiment of the present invention.
Figure 3 is a schematic plan view of the transfer device of Figure 2;
FIGS. 4 and 5 are reference views for explaining a state in which the tension of the chain is adjusted in the conveying apparatus of FIG. 2. FIG.
6 is a schematic plan view of a transfer apparatus according to a second embodiment of the present invention.
7 is a schematic plan view of a transfer apparatus according to a third embodiment of the present invention.

이하 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 중복되는 설명은 가급적 생략하거나 압축한다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. For simplicity of description, redundant description is omitted or compressed as much as possible.

<제1 실시예>&Lt; Embodiment 1 >

도2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 캐리어보드 이송장치(200, 이하 '이송장치'라 약칭 함)의 주요 부분에 대한 개념적인 측면도이고, 도3은 도2의 이송장치(200)에 대한 개략적인 평면도이다.2 is a conceptual side view of a major part of a carrier board transferring apparatus 200 (hereinafter abbreviated as a 'transferring apparatus') according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a conceptual side view of a transferring apparatus 200 Fig.

본 실시예에 따른 이송장치(200)는, 도2 및 도3에서 참조되는 바와 같이, 구동 스프라켓(210), 제1 지지부재(220), 종동 스프라켓(230), 제2 지지부재(240), 체인(250), 이동부재(260), 구동원(270), 장력조절장치(280) 및 이탈방지장치(290) 등을 포함하여 구성된다.2 and 3, the conveying apparatus 200 according to the present embodiment includes a drive sprocket 210, a first support member 220, a follower sprocket 230, a second support member 240, A chain 250, a moving member 260, a driving source 270, a tension adjusting device 280, and a separation preventing device 290. [

구동 스프라켓(210)은, 위치가 고정되며, 정역 회전 가능하게 마련된다.The drive sprocket 210 is fixed in position and rotatable in both forward and reverse directions.

제1 지지부재(220)는 구동 스프라켓(210)을 위치 고정된 상태에서 회전 가능하도록 지지한다.The first support member 220 rotatably supports the drive sprocket 210 in a fixed position.

종동 스프라켓(230)은, 구동 스프라켓(210)과 일정 거리 이격된 위치에서 구동 스프라켓(210) 측이나 그 반대 측으로 어느 정도 위치 이동이 가능하면서, 정역 회전 가능하게 마련된다.The driven sprocket 230 is rotatable in the forward and reverse directions while being able to be moved to a position on the drive sprocket 210 side or a position opposite to the drive sprocket 210 at a certain distance from the drive sprocket 210.

제2 지지부재(240)는, 종동 스프라켓(230)을 지지하고 위치 이동이 가능하게 마련되며, 중심선(C)을 기준으로 양 측에 각각 체인(250)의 이동방향으로 길쭉한 이동제한구멍(241, 242)을 가진다.The second support member 240 is supported on the follower sprocket 230 and is movable in position and is provided with movement restricting holes 241 and 242 extending in the moving direction of the chain 250 on both sides with respect to the center line C, , 242).

체인(250, 본 실시예에서는 2개가 구비됨)은, 금속 재질로 구비되며, 구동 스프라켓(210)과 종동 스프라켓(220)을 회전 반환점으로 하여 회전 이동한다.The chain 250 (two in this embodiment) is made of a metal material and rotates and moves with the drive sprocket 210 and the driven sprocket 220 as rotation turning points.

이동부재(260)는, 캐리어보드를 파지하거나 파지를 해제할 수 있으며, 체인(250)의 이동방향에 따라서 파지한 캐리어보드를 이동시키기 위해 체인(250)에 결합된 상태로 구비된다.The movable member 260 may be coupled to the chain 250 to move the carrier board held along the moving direction of the chain 250, and may grip or release the carrier board.

구동원(270)은, 모터 등으로 구비될 수 있으며, 구동 스프라켓(210)을 회전 구동시킨다.The driving source 270 may be a motor or the like, and drives the driving sprocket 210 to rotate.

장력조절장치(280)는 제2 지지부재(240)의 위치를 조절함으로써 열변화(열 팽창 또는 열 수축)에 따라 체인(250)의 장력을 자동적으로 조절한다. 이를 위해 장력조절장치(280)는 이동축(281), 고정체(282) 및 스프링(283) 등을 포함하여 구성된다.The tension adjuster 280 automatically adjusts the tension of the chain 250 in response to a thermal change (thermal expansion or thermal contraction) by adjusting the position of the second support member 240. To this end, the tension regulating device 280 includes a moving shaft 281, a fixing body 282, a spring 283, and the like.

이동축(281)은, 체인(250)의 이동방향으로 긴 볼트로 구비될 수 있으며, 일 측이 제2 지지부재(240)에 결함되고 타 측에는 스프링(283)의 이탈을 방지하기 위한 걸림단(281a)을 구비한다.The movable shaft 281 may be provided with a long bolt in the moving direction of the chain 250 and may have one end fixed to the second supporting member 240 and a hooking end (281a).

고정체(282)는, 제2 지지부재(240)와 이동축(281)의 걸림단(281a) 사이에 위치가 고정되게 마련되며, 이동축(281)이 통과될 수 있는 통과구멍(282a)을 가진다.The fixing member 282 is fixedly positioned between the second supporting member 240 and the engaging end 281a of the moving shaft 281 and has a through hole 282a through which the moving shaft 281 can pass, .

스프링(283)은, 이동축(281)에 의해 지지되며, 이동축(281)의 걸림단(281a)과 고정체(282) 사이에 적절히 압축된 상태로 마련됨으로써 이동축(281)의 걸림단(281a)과 고정체(282) 간에 반발력을 가지도록 작용한다. 즉, 스프링(283)은 이동축(281)이 제1 지지부재(220)로부터 멀어지는 방향으로 이동축(281)에 탄성력을 가하는 탄성부재로서의 역할을 한다. 또한, 스프링(283)은 사용하는 온도 범위와 체인(250)의 길이에 따라 적절한 탄성계수를 가져야 한다. 왜냐하면, 스프링(283)의 탄성계수가 너무 작으면 고온에서 체인(250)의 장력이 약해져 구동 스프라켓(210)이 회전을 하여도 이동부재(260)가 원하는 거리만큼 이동하지 못하는 경우가 발생할 수 있고, 스프링(283)의 탄성계수가 너무 크면 저온에서 체인(250)의 장력이 너무 강해져서 장치에 무리가 발생할 수 있기 때문이다.The spring 283 is supported by the moving shaft 281 and is appropriately compressed between the engaging end 281a of the moving shaft 281 and the fixing member 282, (281a) and the fixing body (282). That is, the spring 283 serves as an elastic member that applies the elastic force to the moving shaft 281 in the direction in which the moving shaft 281 moves away from the first supporting member 220. In addition, the spring 283 should have a modulus of elasticity appropriate to the temperature range used and the length of the chain 250. If the elastic modulus of the spring 283 is too small, the tensile force of the chain 250 is weakened at a high temperature, and the movable member 260 can not move by a desired distance even if the driving sprocket 210 rotates And if the elastic modulus of the spring 283 is too large, the tension of the chain 250 becomes too strong at a low temperature, so that the device may be damaged.

본 발명의 경우 상온에서 조립할 시에 스프링(283)이 이동축(281)의 걸림단(281a)과 고정체(282) 사이에 반발력이 작용하도록 적절히 압축된 상태로 설치된다. 실험에 의하면 구동 스프라켓(210)과 종동 스프라켓(230)의 거리가 약 600mm이고 체인(250) 1개의 전달력이 150kgf라고 하면(체인이 2개이고, 스프라켓을 기준으로 상단 하단이 있기 때문에, 체인이 견딜 수 있는 최대 힘은 약 600kgf이다) 스프링(250)은 최소한 약 30kgf의 힘의 압축력이 가해진 상태로 설치되어져 있어야 한다. 고온 또는 저온에서 구동 스프라켓(210)과 종동 스프라켓(230) 간의 거리가 약 1~2mm정도 이동이 발생할 경우 상온 시 스프링(283)에 작용하는 압축력이 30kgf 이하가 되면 원하는 동작을 원할히 할 수 없음을 알 수 있었다. 스프링(283)의 압축력을 확인하는 방법은 조립 전의 스프링(283)의 길이에서 조립 후 스프링(283)의 길이가 얼마의 길이로 줄었는지 여부로 확인할 수 있다.In the case of the present invention, the spring 283 is installed in a properly compressed state so that a repulsive force acts between the holding end 281a of the moving shaft 281 and the fixing body 282 when assembling at room temperature. According to the experiment, when the distance between the drive sprocket 210 and the driven sprocket 230 is about 600 mm and one transfer force of the chain 250 is 150 kgf (since there are two chains and the upper end is at the upper end with respect to the sprocket, The maximum force that can withstand is about 600 kgf.) The spring 250 should be installed with a compressive force of at least about 30 kgf. If the distance between the drive sprocket 210 and the driven sprocket 230 is about 1 to 2 mm at a high temperature or a low temperature, if the compression force acting on the spring 283 is 30 kgf or less at normal temperature, Could know. The method of confirming the compressive force of the spring 283 can be confirmed by checking the length of the spring 283 before assembly and how much the length of the spring 283 has decreased after assembly.

즉, 주어진 스프링(283)의 압축력이 의도하는 것보다 클 경우 저온 공정에서 더 많은 압축력이 스프링(283)에 가해질 필요가 있기 때문에 문제가 될 수 있으며, 만일 상온에서 스프링(283)에 압축력이 가해지지 않거나 약하게 가해지면 고온 공정에서 구동 스프라켓(210)과 종동 스프라켓(230)의 거리가 늘어나는 것을 보상할 수가 없기 때문이다.That is, if the compressive force of a given spring 283 is greater than intended, it may be a problem because a more compressive force needs to be applied to the spring 283 in a low temperature process and if compressive force is applied to the spring 283 at room temperature Or if it is weakly applied, the increase in the distance between the drive sprocket 210 and the driven sprocket 230 in the high-temperature process can not be compensated.

한편, 이동제한장치(290)는 제2 지지부재(240)의 이동폭을 제한하기 위해 마련된다.On the other hand, the movement restricting device 290 is provided to limit the movement width of the second support member 240.

본 실시에서의 이동제한장치(290)는 서로 일정 간격 이격된 한 쌍의 볼트(291, 292 / 293, 294)가 1조를 이루어 제2 지지부재(240)의 이동제한구멍(241, 242)에 삽입되는 구성으로 구현되어지고 있다. 물론, 제2 지지부재(240)의 위치 이동에 따른 체인(250)의 장력 조절이 가능하도록 하기 위해서 한 쌍의 볼트(291, 292 / 293, 294) 간의 최대 폭(W1)은 이동제한구멍(241, 242)의 길이 방향으로의 폭(W2)보다 좁아야 한다.The movement restricting device 290 in this embodiment is constituted by a pair of bolts 291, 292/293 and 294 spaced apart from each other by a predetermined distance to form the movement restricting holes 241 and 242 of the second supporting member 240, As shown in FIG. Of course, the maximum width W 1 between the pair of bolts 291, 292/293, and 294 may be set to be smaller than the maximum width W 1 of the pair of bolts 291, 292/293, and 294 in order to allow the tension of the chain 250 to be adjusted as the second support member 240 moves. It should be smaller than the width (W 2) in the longitudinal direction (241, 242).

또한, 이동제한장치(290)로서 구성되는 볼트(291, 292 / 293, 294)의 머리단(H)의 폭(W3)은 이동제한구멍(241, 242)의 길이 방향에 수직한 방향으로의 폭(W4)보다 큰데, 이러한 구성으로 인하여 제1 지지부재(220)의 이탈이 방지되며, 이러한 점은 이동제한장치(290)가 이탈방지장치로서의 역할도 겸하고 있음을 알 수 있게 한다.In addition, the mobile restrictor head width of the end (H) of the bolt (291, 292/293, 294) are configured as (290) (W 3) is in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the movement limiting aperture (241, 242) big is than the width (W 4), and due to such a configuration prevents the separation of the first support member 220, and this point will be able to know that this is a movement limiting device 290 doubles as a role as a departure prevention apparatus.

더 나아가 이동제한장치(290)로서 구성되는 볼트(291, 292 / 293, 294)가 이동제한구멍(241, 242)에 삽입되는 상태로 설치되기 때문에 이동제한구멍(241, 242)을 이루는 내면에 의해 제2 지지부재(240)의 이동이 볼트(291, 292 / 293, 294)에 의해 안내되도록 되어 있어서, 볼트(291, 292 / 293, 294)로 구성되는 이동제한장치(290)는 제2 지지부재(240)의 이동을 안내하는 안내장치로서의 역할도 겸하고 있다.Since the bolts 291, 292/293 and 294 constituting the movement restricting device 290 are installed in the movement restricting holes 241 and 242 so as to be inserted into the movement restricting holes 241 and 242, The movement of the second support member 240 is guided by the bolts 291, 292/293 and 294 so that the movement limiter 290 composed of the bolts 291, 292 / And serves also as a guide device for guiding the movement of the support member 240.

상기와 같이 구성되는 이송장치(200)는 상온에서 도3과 같은 상태로 설치된다. 차후 고온 테스트 시에는, 도4에서 참조되는 바와 같이, 열 팽창으로 인하여 체인(250)의 길이가 길어져 체인(250)의 장력 및 체인(250)에 의해 종동 스프라켓(230)에 걸리는 힘이 약해지고, 이에 따라 이동축(281)의 걸림단(281a)과 고정체(282) 사이에 작용하는 스프링(283)의 반발력에 의해 이동축(281), 제2 지지부재(240) 및 종동 스프라켓(230)이 구동 스프라켓(210)으로부터 멀어지는 방향으로 위치가 이동되면서 체인(250)의 장력이 일정 수순으로 유지되게 한다.The conveying device 200 configured as described above is installed at a normal temperature as shown in FIG. 4, the thermal expansion causes the length of the chain 250 to become longer, weakening the tension of the chain 250 and the force applied to the driven sprocket 230 by the chain 250, The second support member 240 and the driven sprocket 230 are moved by the repulsive force of the spring 283 acting between the engagement end 281a of the movement shaft 281 and the fixture 282, So that the tension of the chain 250 is maintained in a certain order while the position is moved away from the drive sprocket 210.

그리고 저온 테스트 시에는, 도5에서 참조되는 바와 같이, 열 수축으로 인하여 체인(250)의 길이가 짧아져 체인(250)의 장력 및 체인(250)에 의해 종동 스프라켓(230)에 걸리는 힘이 강해지고, 이에 따라 이동축(281), 제2 지지부재(240) 및 종동 스프라켓(230)이 구동 스프라켓(210) 측 방향으로 소정 정도 위치가 이동되면서 스프링(283)이 소정 정도 압축되게 된다.
5, the length of the chain 250 is shortened due to the heat shrinkage, so that the tension of the chain 250 and the force applied to the driven sprocket 230 by the chain 250 are strong The spring 283 is compressed to a predetermined degree while the movable shaft 281, the second support member 240 and the driven sprocket 230 are moved to a predetermined position in the direction of the drive sprocket 210.

<제2 실시예>&Lt; Embodiment 2 >

도6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 이송장치(600)에 대한 개략적인 평면도이다. Figure 6 is a schematic plan view of a transfer device 600 according to a second embodiment of the present invention.

본 실시예에 따른 이송장치(600)도, 도6에서 참조되는 바와 같이, 구동 스프라켓(610), 제1 지지부재(620), 종동 스프라켓(630), 제2 지지부재(640), 체인(650), 이동부재(660), 구동원(670), 장력조절장치(680) 및 이탈방지장치(690) 등을 포함하여 구성된다.6, includes a drive sprocket 610, a first support member 620, a follower sprocket 630, a second support member 640, a chain (not shown) 650, a moving member 660, a driving source 670, a tension adjusting device 680, and an escape prevention device 690, and the like.

구동 스프라켓(610), 제1 지지부재(620), 종동 스프라켓(630), 제2 지지부재(640), 체인(650), 이동부재(660), 구동원(670) 및 장력조절장치(680)는 제1 실시예에서의 것과 그 구성 및 기능이 거의 동일하다.The drive sprocket 610, the first support member 620, the second sprocket 630, the second support member 640, the chain 650, the moving member 660, the driving source 670, and the tension adjusting device 680, Are substantially the same in structure and function as those in the first embodiment.

다만, 본 실시예에서는 이탈방지장치(690)가 고정체(682)에 일체로 결합된 한 쌍의 안내봉(691, 692)의 형태로 구성되고, 제2 지지부재(640)에는 한 쌍의 안내봉(691, 692)이 각각 미끄럼 가능하게 삽입된 상태로 통과될 수 있는 안내구멍(641, 642)이 형성되어 있다. 따라서 제2 지지부재(640)가 위치 이동하게 될 때, 안내구멍(641, 642)의 내면이 안내봉(691, 692)에 의해 안내됨으로써 적절한 이동이 안내되면서도 제2 지지부재(640)의 이탈이 방지될 수 있게 된다.In this embodiment, however, the release preventing device 690 is configured in the form of a pair of guide rods 691 and 692 integrally joined to the fixing member 682, and the second supporting member 640 is provided with a pair of Guide holes 641 and 642 through which the guide rods 691 and 692 are slidably inserted are formed, respectively. The inner surfaces of the guide holes 641 and 642 are guided by the guide rods 691 and 692 when the second support member 640 is moved, Can be prevented.

<제3 실시예>&Lt; Third Embodiment >

도7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 이송장치(700)에 대한 개략적인 평면도이다. 7 is a schematic plan view of a transfer device 700 according to a third embodiment of the present invention.

본 실시예에 따른 이송장치(700)도, 도7에서 참조되는 바와 같이, 구동 스프라켓(710), 제1 지지부재(720), 종동 스프라켓(730), 제2 지지부재(740), 체인(750), 이동부재(760), 구동원(770), 장력조절장치(780) 및 한 쌍의 안내봉(791, 792)으로 구성되는 이탈방지장치(790) 등을 포함하여 구성된다.7, the conveying apparatus 700 according to the present embodiment also includes a drive sprocket 710, a first support member 720, a follower sprocket 730, a second support member 740, a chain And a release preventing device 790 composed of a moving member 760, a driving source 770, a tension adjusting device 780 and a pair of guide rods 791 and 792, and the like.

본 실시예에서는 제1 지지부재(720)가 구동 스프라켓(710) 및 구동원(770)을 일체로 지지하고, 장력조절장치(780)가 제1 지지부재(720)의 위치를 조절함으로써 열변화에 따른 체인(750)의 장력을 조절하도록 되어 있다. 즉, 본 실시예에서는 종동 스프라켓(730)의 위치가 고정되고, 구동 스프라켓(710)의 위치가 이동되게 구현되는 것이다.The first supporting member 720 integrally supports the driving sprocket 710 and the driving source 770 and the tension adjusting device 780 adjusts the position of the first supporting member 720 to adjust the thermal change The tension of the chain 750 is adjusted. That is, in this embodiment, the position of the driven sprocket 730 is fixed and the position of the drive sprocket 710 is shifted.

물론, 본 실시예는 앞서 설명한 제1 실시예 및 제2 실시예와 실질적으로 동일한 기술임은 누구나 알 수 있을 것이다.
Of course, this embodiment is substantially the same as the first embodiment and the second embodiment described above.

따라서 상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, And the scope of the present invention should be understood as the scope of the following claims and their equivalents.

200, 600, 700 : 이송장치
210, 610, 710 : 구동 스프라켓
220, 620, 720 : 제1 지지부재
230, 630, 730 : 종동 스프라켓
240, 640, 740 : 제2 지지부재
250, 650, 750 : 체인
260, 660, 760 : 이동부재
270, 670, 770 : 구동원
280, 680, 780 : 장력조절장치
281 : 이동축
281a : 걸림단
282 : 고정체
283 : 스프링
290, 690, 790 : 이탈방지장치
200, 600, 700: Feeding device
210, 610, 710: drive sprocket
220, 620, 720: a first supporting member
230, 630, 730: driven sprocket
240, 640, 740: a second supporting member
250, 650, 750: chain
260, 660, 760: moving member
270, 670, 770:
280, 680, 780: tension adjusting device
281: Moving axis
281a:
282: Fixture
283: Spring
290, 690, 790:

Claims (5)

정역 회전 가능하게 마련되는 구동 스프라켓;
상기 구동 스프라켓을 위치 고정되게 지지하는 제1 지지부재;
상기 구동 스프라켓과 일정 거리 이격되며 위치 이동이 가능하게 마련되는 종동 스프라켓;
상기 종동 스프라켓을 지지하며 위치 이동이 가능한 제2 지지부재;
상기 구동 스프라켓과 종동 스프라켓을 회전 반환점으로 하여 이동하는 체인;
상기 체인에 결합되어 상기 체인의 이동 방향에 따라서 캐리어보드를 이동시키는 이동부재;
상기 구동 스프라켓을 구동시키는 구동원; 및
상기 제2 지지부재의 위치를 조절함으로써 열변화에 따른 상기 체인의 장력을 조절하는 장력조절장치; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치.
A drive sprocket rotatable in normal and reverse directions;
A first support member for supporting the drive sprocket in a fixed position;
A driven sprocket spaced apart from the drive sprocket by a predetermined distance,
A second support member supporting the driven sprocket and capable of being moved;
A chain for moving the drive sprocket and the driven sprocket as rotation turning points;
A moving member which is coupled to the chain and moves the carrier board in accordance with the movement direction of the chain;
A drive source for driving the drive sprocket; And
A tension adjusting device for adjusting a tension of the chain according to a change in temperature by adjusting a position of the second supporting member; &Lt; RTI ID = 0.0 &gt;
Carrier board transfer device for test handler.
제1항에 있어서,
상기 장력조절장치는,
상기 체인의 이동 방향으로 길며, 일 측이 상기 제2 지지부재에 결합되고 타 측에는 걸림단을 구비한 이동축;
상기 제2 지지부재와 상기 이동축의 걸림단 사이에 고정되게 마련되는 고정체; 및
상기 이동축에 의해 지지되며, 상기 이동축의 걸림단과 상기 고정체 사이에 마련되어서 상기 이동축이 상기 제1 지지부재로부터 멀어지는 방향으로 상기 이동축에 탄성력을 가하는 탄성부재; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치.
The method according to claim 1,
The tension adjusting device includes:
A moving shaft having a long side in the movement direction of the chain, one side being coupled to the second supporting member and the other side being provided with a latching end;
A fixed body fixedly provided between the second supporting member and the engaging end of the moving shaft; And
An elastic member which is supported by the moving shaft and is provided between the holding end of the moving shaft and the fixing member so that the moving shaft applies an elastic force to the moving shaft in a direction away from the first supporting member; &Lt; RTI ID = 0.0 &gt;
Carrier board transfer device for test handler.
제1항에 있어서,
상기 제2 지지부재의 이동을 안내하기 위해 마련되는 안내장치; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치.
The method according to claim 1,
A guide device provided to guide movement of the second support member; &Lt; RTI ID = 0.0 &gt;
Carrier board transfer device for test handler.
제1항에 있어서,
상기 제2 지지부재의 이탈을 방지하기 위한 이탈방지장치; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치.
The method according to claim 1,
A separation preventing device for preventing separation of the second support member; &Lt; RTI ID = 0.0 &gt;
Carrier board transfer device for test handler.
제1항에 있어서,
상기 제2 지지부재의 이동폭을 제한하기 위한 이동제한장치; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치.
The method according to claim 1,
A movement restricting device for restricting a movement width of the second support member; &Lt; RTI ID = 0.0 &gt;
Carrier board transfer device for test handler.
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JP2010175565A (en) * 2006-01-25 2010-08-12 Techwing Co Ltd Test handler

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