KR100928356B1 - 회전 속도 센서 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판의 상부 표면(1) 상에 나란히 배치된 제1 및 제2 코리올리 요소(100, 200)를 갖는 회전 속도 센서에 관한 것이다. 코리올리 요소(100, 200)는 제1 축(Y)에 대해 평행하게 진동하도록 자극된다. 코리올리 힘을 통해 코리올리 요소(100, 200)는 제1 축(Y)에 대해 수직한 제2 축(X)으로 편향된다. 제1 및 제2 코리올리 요소(100, 200)의 진동은 서로에 대해 코리올리 힘의 영향이 없는 두 개의 서로 평행한 직선인 궤도 상에서 역위상으로 이루어진다.
Figure R1020027014059
기판, 상부 표면, 코리올리 요소, 회전 속도 센서, 스프링, 진동 주파수

Description

회전 속도 센서 {ROTATION RATE SENSOR}
본 발명은 청구범위 독립항의 전제부에 따른 회전 속도 센서에 관한 것이다.
미국 특허 제5728936호에는 그 기판의 상부 표면 상에 제1 및 제2 코리올리 요소가 배치된 회전 속도 센서가 이미 공지되어 있다. 코리올리 요소는 제1 축에서 진동하도록 자극된다. 코리올리 힘에 의해, 역시 기판에 대해 평행한 제2 축에서 코리올리 요소의 편향이 검출된다.
그러나, 청구범위 독립항의 특징을 갖는 본 발명에 따른 회전 속도 센서는, 코리올리 힘 및 기판의 회전 가속도를 통해 발생되는 힘이 상이한 방향을 갖는다는 장점을 갖는다. 또한, 본 발명에 따른 회전 속도 센서는 회전 가속도에 대해 비감응성이다.
다른 장점 및 개선책이 청구범위 종속항의 수단을 통해 이루어진다. 코리올리 요소의 무게 중심이 무게 중심간의 연결 직선에 대해 수직으로 움직이면, 코리올리 힘에 기초한 코리올리 요소의 편향이 시간적 평균으로, 회전 가속도가 힘 성분을 가하지 않는 동일 축 상에 놓인다. 코리올리 요소의 진동의 자극은 스프링을 통해 구동력을 전달하는 구동 요소를 통해 특히 간단하게 이루어진다. 여기서 코리올리 요소는 상기 구동 요소에 완전히 현수될 수 있다. 자극 수단으로서 정전기 빗형상 구동부가 구동 요소에 제공될 수 있다. 코리올리 힘의 검출은 코리올리 요소가 고정 전극에 대향 배치된 이동 전극을 포함함으로써 이루어질 수 있다. 그러나, 코리올리 힘이 스프링에 의해 전달될 수 있는 검출 요소도 제공될 수 있다. 여기서, 특히 검출 요소를 단지 코리올리 힘 방향으로만 움직이도록 기판에 현수하는 것이 가능하다. 이를 통해, 검출 방향이 아닌, 이동 전극의 움직임에 의한 방해 효과가 억제된다. 코리올리 요소의 역위상(antiphase) 진동을 보장하기 위해, 역위상 진동은 동위상(in-phase) 진동과는 그 진동수가 명확히 상이해야 한다. 이를 위해, 구동 요소 및/또는 코리올리 요소 사이에 또는 구동 요소 및 검출 요소 사이에 연결 스프링이 제공될 수 있다.
본 발명의 실시예는 도면에 도시되어 있고 이하 설명에서 상세히 설명될 것이다.
도1은 본 발명에 따른 제1 회전 속도 센서의 평면도이다.
도2는 도1에 따른 회전 속도 센서의 상세도이다.
도3은 도2를 통한 횡단면도이다.
도4 내지 도7은 회전 속도 센서의 다른 실시예의 평면도이다.
도1 내지 도3에서는 본 발명의 제1 실시예가 도시된다. 도1에는 전체 회전 속도 센서의 평면도가 도시되고, 도2에는 회전 속도 센서의 일부분의 상세도가 도시되며, 도3에는 도2를 통한 측방향 횡단면도가 도시된다.
도1에는 도1에 상세하게 도시되지 않은 기판(1)의 평면도가 도시되는데, 이 기판(1)에는 제1 코리올리 요소(100)와 제2 코리올리 요소(200)가 배치된다. 제1 및 제2 코리올리 요소(100, 200)는 장방형이고 프레임형 구조로 형성된다. 프레임형 코리올리 요소(100, 200)는 도1에서 간단하게 격자(grid) 선형으로서 도시된 검출 수단(101, 201)을 둘러싼다. 검출 수단은 도2의 상세도로 도시되며 이하 더 상세하게 더 설명된다. 프레임형 코리올리 요소(100, 200)는 역시 장방형이고 프레임형인 구동 요소(102, 202)에 의해 둘러싸인다. 구동 요소(102, 202)와 코리올리 요소 사이의 연결은 가요성 스프링(103, 203)을 통해 형성된다. 여기서 가요성 스프링은 X 방향으로는 연성으로 Y 방향으로는 강성으로 형성되도록 제작된다. 이동 전극(104, 204)이 구동 요소(102, 202)에 고정되는데, 상기 이동 전극은 고정 전극(105, 205)에 빗 형상으로 결합된다. 고정 전극(105, 205)은 베어링 블록(106, 206)을 통해 기판(1)과 고정 결합된다. 또한, 구동 요소(102, 202)는 스프링(107, 207)에 의해, 마찬가지로 기판(1)과 고정 결합된 다른 베어링 블록(106, 206)과 결합된다.
따라서, 회전 속도 센서는 오직 베어링 블록(106, 206)을 통해서만 기판(1)과 결합된다. 따라서, 코리올리 요소(100, 200) 뿐만 아니라 구동 요소(102, 202)도 기판(1)에 대해 임의로 움직일 수 있다. 상기 요소들의 움직임은 오직 스프링 요소들(103, 203, 107, 207)을 통해서만 결정된다.
스프링(107, 207)은 Y 방향으로는 연성으로 X 방향으로는 강성으로 형성되도록 설계된다. 따라서 구동 요소(102, 202)는 대략 Y 방향에 대해 평행한 궤도만을 따라서 움직인다. 코리올리 요소(100, 200)는 스프링(103, 203)을 통해 구동 요소(102, 202)와 연결된다. 따라서 코리올리 요소(100, 200)는 구동 요소(102, 202)에 대해 대략 X 방향으로만 움직일 수 있다. 구동 요소(102, 202)가 Y 방향에 대해 평행한 방향으로 움직일 때, 물론 코리올리 요소(100, 200)도 이 방향으로 움직인다. 따라서 기판(1)에 대해 코리올리 요소(100, 200)는 Y 방향에 대해 평행한 방향 뿐만 아니라 X 방향으로도 움직인다.
센서 기능의 설명을 위해 각 코리올리 요소(100, 200)에 대해 무게 중심(110, 210)이 표시된다. 무게 중심은 각각 프레임형 코리올리 요소(100, 200)의 중심점에 위치된다.
이동 전극(104, 204)과 고정 전극(105, 205) 사이에 전기 전압을 인가함으로써 구동 요소(102, 202)가 진동하도록 자극된다. 이에 상응하게 코리올리 요소(100, 200)도 진동하도록 자극된다. 이 때 코리올리 요소(100, 200)의 무게 중심(110, 210)이 Y 축에 대해 평행한 축 상에서 각각 움직인다. 따라서, 두 개의 코리올리 요소(100, 200)의 움직임이 서로 평행하게 형성된 축에서 이루어진다. 이 때 무게 중심은 코리올리 힘의 영향 없이(즉, 기판(1) 상에 수직으로 놓인 축 주위로의 기판의 회전 운동없이) 서로 평행한 직선 상에서 움직인다. 이 때 Z 축 주위로, 즉 기판(1) 상에 수직으로 놓인 축 주위로 기판(1)이 회전하게 되면, 회전 축에 대해 수직이고 움직임 축에 대해 수직한 코리올리 힘이 코리올리 요소(100, 200) 각각에 작용한다. 이 때 상기 힘은 X 방향으로 작용한다.
이동 전극(104, 204)은, 고정 전극(105, 205) 및 구동 요소(102, 202)와 함께, 코리올리 요소(100, 200)를 진동하도록 자극하는 자극 수단을 형성하며, 상기 진동 시 무게 중심(110, 210)의 진동 축은 서로 평행하게 정렬된다. 이 때 상기 축은 적어도 코리올리 요소(100, 200) 중 하나가 X 방향으로 측방향 팽창되는 소정의 간격을 두고 서로 배열된다.
두 개의 구동 요소(102, 202)는 연결 스프링(51)에 의해 연결된다. 이 연결 스프링을 통해 Y 방향으로의 구동 요소(102, 202)의 진동 모드의 주파수에 따른 분리가 이루어진다. 동위상 진동에 대해 소위 스프링(107, 207)의 Y 방향으로의 스프링 강성이 고려될 수 있다. 역위상 진동에 대해 스프링(107, 207)의 스프링 강성 외에 Y 방향으로의 연결 스프링(51)의 스프링 강성도 고려될 수 있다. 따라서, 동위상 진동의 고유 진동수는 역위상 진동의 진동수와 다르고, 이는 상이한 진동 모드의 목표된 자극을 용이하게 한다. 여기서 특히 역위상 진동 모드의 자극이 요구되는데, 즉 회전 속도 센서의 좌측이 아래로 움직일 때, 우측은 위로 움직여야 하고 그 반대일 수 있다. 이와 같은 회전 속도 센서의 두 개의 절반의 역위상 진동 시 상응하게 코리올리 요소(100, 200)의 X 방향으로의 역위상 움직임이 발생된다. 따라서, 코리올리 요소(100, 200)는 회전 시 서로에 대해 움직이거나 또는 서로 이격된다. 즉, 상기 요소들은 역위상 진동을 한다.
또한, 유리하게는 코리올리 요소(100, 200)의 정지 위치에 대해 공통 축 상에서 X 방향으로의 움직임이 이루어진다. 이 원리의 장점은, Z 축 주위로의 회전 가속도가 코리올리 요소(100, 200)의 움직임에 직접적인 영향을 가할 수 없다는 것인데, 왜냐하면 이 움직임은 Z 축 주위로의 회전 가속도에 의해 편향되지 않기 때문이다. 따라서 회전 속도 센서는 Z 축 주위로의 회전 가속도에 대해 특히 비감응성이다.
도2에는 도1의 코리올리 요소(100)의 평가 수단(101)의 확대 상세도가 도시된다. 프레임형 코리올리 요소(100)는 평가 수단(101)을 둘러싼다. 평가 수단(101)은 격자형 전극(121)으로 형성되며, 복수의 격자형 전극(121)이 코리올리 요소(100)의 프레임형 구조의 내부에 제공된다. 안정화를 위해 상기 격자형 전극(121)은 중간빔(130)과 서로 결합된다. 각 전극(121)은 코리올리 요소(100)와 함께 움직인다. 전극(121)은 베어링(106)을 통해 기판(1) 상에 고정된 고정 전극(122, 123) 사이에 배치된다. 따라서, 전극(112, 123)은 기판에 대해 움직이지 않는 고정 전극으로 형성된다.
도3에는 도2의 선(Ⅲ-Ⅲ)을 따른 횡단면도가 도시된다. 도3은 기판(1) 및 이 기판의 상부 표면 상에 배치된 전도체(130)를 횡단면도로 도시한다. 이 전도체(130) 상에는 베어링(106)이 고정되어 기판(1)과 고정 결합된다. 베어링(106) 및 여기에 고정된 전극도 전기 도전성이고 전도체(130)를 통해 병렬 연결된다. 각 이동 전극(121)은 고정 전극(122)과 고정 전극(123) 사이에 배치된다. 한편으로는 이동 전극(121)과 전극(122) 사이에, 다른 한편으로는 이동 전극(121)과 고정 전극(123) 사이에 두 개의 콘덴서가 형성된다. 상기 두 개의 커패시턴스는 차동 커패시턴스로서 형성되는데, 즉 하나의 커패시턴스가 증가되면 다른 커패시턴스가 상응하게 감소된다. 두 개의 전극 그룹(122, 123)의 베어링 블록(106)이 측방향으로 오프셋됨으로써 상응하는 전도체(130)를 통해 상응하는 각 커패시턴스가 서로 병렬 연결될 수 있다.
코리올리 요소(100)가 기판(1) 상에 배치되고 코리올리 요소(100)와 결합된 전극(121)도 기판(1) 상에 배치된다는 것을 도3의 횡단면도에 의해 매우 잘 인식될 수 있다. 이 횡단면도에는 베어링 블록(106)을 통해 전도체(130) 상에 배치되어 기판(1)과 고정 연결된 전극(122)의 베어링 블록(106)을 통한 단면이 도시된다. 또한, 전극(123)이 도3의 횡단면도에서 기판 상에 도시된다. 그러나, 상기 전극(123)들은 다른 위치에서 기판(1)과 상응하는 전도체(130)를 통해 이 전극들에 대해 기판(1)과 고정 연결된다.
기판(1) 그리고 코리올리 요소(100, 200), 구동 요소(102, 202), 스프링 및 전극과 같은 기판 상에 배치된 요소에 대해, 재료로서 양호하게는, 상응하는 도핑(doping)을 통해 도전성으로 형성되는 실리콘이 사용된다. 기판은 절연층을 통해 필요한 곳에서 전기 절연될 수 있다. 그러나, 센서를 위해 세라믹, 유리 또는 금속과 같은 다른 재료도 사용될 수 있다.
본질적으로 도1에 따른 회전 속도 센서에서는, 코리올리 요소(100, 200)의 무게 중심(110, 210)의 정지 위치에 대해 무게 중심(110, 210)의 연결축을 따라 X 방향으로 코리올리 요소의 움직임이 이루어지고 그 결과 공통 축상에서 X 방향으로 코리올리 요소의 진동이 역위상 자극되면 코리올리 요소는 서로에 대해 움직이거나 또는 서로 이격된다. 따라서 Z 축 주위로의 회전 가속도의 방해 효과가 회전 속도 센서의 기계적 설계를 통해 억제될 수 있다.
도4에는 본 발명에 따른 회전 속도 센서의 다른 실시예에 대한 평면도가 도시된다. 도4에는 기판(1) 상의 평면도가 도시되는데, 이 기판(1) 상에는 도1과 같이, 구동 요소(102, 202)에 의해 둘러싸인 코리올리 요소(100, 200)가 있다. 코리올리 요소(100, 200)와 구동 요소(102, 202)는 다시 스프링(103, 203)과 결합된다. 구동 요소(102, 202)는 스프링(107, 207)에 의해 베어링 블록(106, 206)과 결합된다. 또한, 이동 전극(104, 204), 고정 전극(105, 205) 및 고정 전극(105, 205)용 베어링 블록(106)이 제공된다. 두 개의 구동 요소(102, 202)는 연결 스프링(51)에 의해 연결된다. 이 모든 요소들은 도1에 이미 설명된 요소에 상응하고 동일한 기능을 수행한다.
그러나, 도1과 달리, 코리올리 요소(100, 200)의 편향의 검출을 위해 프레임형 검출 요소(140, 240)가 프레임형 코리올리 요소(100, 200)의 내부에 각각 제공된다. 또한, 검출 요소(140, 240)는 스프링 요소(141, 241)에 의해 베어링 블록(106, 206) 및 기판(1)과 연결된, 장방형이고 프레임형 구조로서 형성된다. 스프링 요소(141, 241)는 X 방향으로 연성이고 Y 방향으로 강성이므로, 대략 검출 요소(140, 240)가 X 방향으로만 편향될 수 있게 한다. 검출 요소(140, 240)는 스프링 요소(142, 242)를 통해 상응하는 코리올리 요소(100, 200)와 연결된다. 스프링 요소(142, 242)는 Y 방향으로 연성으로 X 방향으로 강성으로 설계되어 코리올리 힘을 X 방향으로 특히 양호하게 전달한다. 검출 요소(140, 240)의 내부에는 다시, 도4에 단지 개략적으로 표시된 격자형 검출 전극(143, 243)이 배치된다. 이 요소의 상세도는 도2 및 도3에 상응된다.
이 구조의 장점은 격자형 전극(143, 243)이 X 방향으로만 이동성이고 따라서 고정 전극에 대한 횡방향 움직임이 이루어지지 않는다는 것이다. 도1 또는 도2에 따른 상세도에서 이동 전극(121)은 코리올리 요소(100)와 직접 연결되어, 이 이동 전극은 X 방향 뿐만 아니라 Y 방향으로의 움직임도 수행한다. X 방향으로의 움직임은 코리올리 요소(100)의 X 방향으로의 편향의 측정을 위해 필요하다. 그러나, Y 방향으로의 움직임은 측정을 위해 요구되지 않고 에러의 가능한 소스일 수 있다. 그러나, 도4에는 검출 프레임(140, 240)이 있고 이 검출 프레임(140, 240)의 고정은 이동 전극(143, 243)이 단지 X 방향으로만 움직임을 실행하도록 스프링(141, 241)을 통해 기판(1)에 이루어진다. 따라서, 측정 신호의 방해에 대한 가능한 원인이 제거된다.
도5에는 다른 실시예가 도시된다. 요소들(100, 200, 103, 203, 104, 204, 105, 205, 106, 206, 107, 207)은 도1에 공지된 요소에 상응되고 또한 같은 기능을 수행한다. 그러나, 도1과 달리, 프레임형 구동 요소(102, 202)는 완전 프레임이 아닌, 개방 프레임으로서 형성된다. 이를 통해, 연결 스프링(52)에 의해 두 개의 코리올리 요소(100, 200)의 직접적 결합을 설정하는 것이 가능하다. 이 연결 스프링(52)을 통해 코리올리 요소(100, 200)의 진동의 직접적 결합이 이루어진다. 두 개의 코리올리 요소(100, 200)의 동위상 진동 시 스프링(52)은 변형되지 않아서, 이 진동 모드에 대한 스프링(52)의 스프링 상수는 고려되지 않는다. 그러나, 코리올리 요소(100, 200)의 역위상 진동 시 스프링(52)은 스프링 상수가 고려되어야 하는데, 왜냐하면 이러한 유형의 진동 시 상기 스프링은 변형되기 때문이다. 따라서, 코리올리 요소(100, 200)의 동위상 및 역위상 진동의 고유 주파수는 주파수 면에서 상이하고, 이를 통해, 특히 역위상 진동 모드의 목표된 진동 모드 자극이 이루어질 수 있다. 이는 전기 신호를 위한 상응하는 자극 주파수가 고정 및 이동 전극(104, 204, 105, 205)에서 선택됨으로써 이루어진다. 이 경우에, 도1에 도시된 바와 같은 구동 요소(102, 202)의 직접적 연결이 생략될 수 있다. 연결 스프링(52)에 의해 부가적으로 Y 방향으로의 구동 요소(102, 202)의 진동 모드의 주파수에 따른 분리가 이루어진다. 동위상 진동에 대해 소위 스프링(107, 207)의 Y 방향으로의 스프링 강성이 고려될 수 있다. 역위상 진동에 대해 스프링(107, 207)의 스프링 강성 외에 Y 방향으로의 연결 스프링(51)의 스프링 강성도 고려될 수 있다. 따라서, 동위상 진동의 고유 진동수는 역위상 진동의 진동수와 다르고, 이는 상이한 진동 모드의 목표된 자극을 용이하게 한다. 여기서 특히 역위상 진동 모드의 목표된 자극이 요구된다.
도6에는 본질적으로는 도4와 상응하는 다른 실시예가 도시된다. 도면 부호는 도4에서와 동일한 기능을 갖는 동일한 대상을 나타낸다. 그러나, 도4와 달리, 구동 요소(102, 202)는 폐쇄된 프레임이 아닌, 서로 대면하는 측면에서 폐쇄되지 않은 프레임으로 형성된다. 이는 코리올리 요소(100, 200) 사이에 연결 스프링(53)이 배치되는 것을 가능케 한다. 여기서 연결 스프링(53)은 Y 방향 뿐만 아니라 X 방향으로도 연성이도록 설계된다. 따라서, 스프링(53)은, 역위상 및 동위상 진동 모드가 Y 및 X 방향으로 각각 서로 상이하도록, X 방향 뿐만 아니라 Y 방향으로도 코리올리 요소(100, 200)의 진동을 연결시킨다. 따라서, 역위상 진동 모드가 목표한 대로 인가될 수 있다.
도7에는 본질적으로는 도4의 실시예와 상응하는 본 발명에 따른 다른 실시예가 도시된다. 또한, 도면 부호는 도4에서와 동일한 기능을 갖는 동일한 대상을 나타낸다. 그러나, 여기서 도4와 달리, 구동 요소(102, 202) 뿐만 아니라 코리올리 요소(100, 200)도 폐쇄된 프레임이 아닌, 서로 배속된 측면에서 개방된 개방 프레임으로 형성된다. 이 조치를 통해 평가 수단(143, 243), 특히 검출 프레임(140, 240)이 연결 스프링(55)을 통해 서로 연결될 가능성이 제공된다. 또한, 구동 요소(102, 202)가 연결 스프링(54)을 통해 서로 연결된다. 연결 스프링(55)을 통해, 동위상 또는 역위상 진동의 고유 주파수가 X 방향으로 서로 상이하도록, X 방향으로 평가 수단(143, 243) 또는 검출 수단(140, 240)의 연결이 이루어진다. 구동 요소(102, 202)의 연결을 통해, 동위상 및 역위상 진동이 Y 방향으로 주파수에 따라 서로 상이하게 될 수 있다. 즉, 적절한 자극 주파수의 선택을 통해, 우측 및 좌측 요소들 각각은 상호간 서로 진동하는 것, 즉, 구동 요소(102, 202) 및 검출 수단(140, 240)도 각각 역위상으로 서로 진동하는 것이 보장될 수 있다.

Claims (13)

  1. 제1 코리올리 요소와,
    제2 코리올리 요소와,
    제1 코리올리 요소 및 제2 코리올리 요소를 제1 축에 평행하게 진동하도록 유도하는 자극 수단과,
    기판과,
    제1 축 및 제2 축이 기판의 표면에 평행하고, 제1 축에 수직한 제2 축에서 코리올리 힘에 기초한 제1 코리올리 요소 및 제2 코리올리 요소의 편향을 검출하는 검출 수단을 포함하고,
    제1 코리올리 요소와 제2 코리올리 요소가 기판의 표면 상부에 나란하게 배치되고, 기판에 대해 수직인 제3 축 주위로의 기판의 회전 운동없이 상기 자극 수단이 제1 코리올리 요소 및 제2 코리올리 요소를 제1 축에 평행하게 진동하도록 유도하는 경우, 제1 코리올리 요소와 제2 코리올리 요소가 서로 평행한 제1 직선 및 제2 직선인 제1 궤도 및 제2 궤도 상에서 서로에 대해 역 위상으로 진동하는 회전 속도 센서.
  2. 제1항에 있어서, 제1 코리올리 요소는 제1 무게 중심을 포함하고 제2 코리올리 요소는 제2 무게 중심을 포함하며, 제1 직선 및 제2 직선은 제1 무게 중심 및 제2 무게 중심을 통해 연장되는 제3 직선에 대해 수직인 회전 속도 센서.
  3. 제1항에 있어서, 상기 자극 수단은 제1 코리올리 요소와 복수의 제1 스프링에 의해 연결된 제1 구동 요소를 포함하고, 제2 코리올리 요소와 복수의 제2 스프링에 의해 연결된 제2 구동 요소를 포함하며, 복수의 제1 스프링 및 복수의 제2 스프링은 제1 축으로는 강성이고 제2 축으로는 연성인 회전 속도 센서.
  4. 제1항에 있어서, 상기 자극 수단은 제1 구동 요소 및 제2 구동 요소를 포함하고, 상기 제1 구동 요소 및 제2 구동 요소는 제1 축으로는 연성이고 제2 축(X)으로는 강성인 복수의 제3 스프링에 의해 기판에 연결되는 회전 속도 센서.
  5. 제4항에 있어서, 자극 수단은 복수의 정전기 빗형상 구동부를 포함하는 회전 속도 센서.
  6. 제1항에 있어서, 검출 수단은 제1 코리올리 요소 및 제2 코리올리 요소에 연결된 복수의 이동 전극을 포함하며, 복수의 이동 전극은 기판에 연결된 복수의 고정 전극에 대해 대향 배치되는 회전 속도 센서.
  7. 제1항에 있어서, 검출 수단은 제1 축으로는 연성이고 제2 축으로는 강성인 복수의 제1 스프링에 의해 제1 코리올리 요소 및 제2 코리올리 요소에 연결된 제1 검출 요소 및 제2 검출 요소를 포함하는 회전 속도 센서.
  8. 제7항에 있어서, 제1 검출 요소 및 제2 검출 요소는 기판에 연결된 복수의 고정 전극에 대해 대향 배치된 복수의 이동 전극을 포함하는 회전 속도 센서.
  9. 제7항에 있어서, 제1 검출 요소 및 제2 검출 요소는 제1 축으로는 강성이고 제2 축으로는 연성인 복수의 제2 스프링에 의해 기판에 연결되는 회전 속도 센서.
  10. 제2항에 있어서, 제1 구동 요소 및 제2 구동 요소는 연결 스프링에 의해 상호 연결되는 회전 속도 센서.
  11. 제1항에 있어서, 제1 코리올리 요소 및 제2 코리올리 요소는 복수의 연결 스프링에 의해 상호 연결되는 회전 속도 센서.
  12. 제2항에 있어서, 검출 수단은 제1 축으로는 연성이고 제2 축으로는 강성인 복수의 제3 스프링에 의해 제1 코리올리 요소 및 제2 코리올리 요소에 연결된 제1 검출 요소 및 제2 검출 요소를 포함하는 회전 속도 센서.
  13. 제12항에 있어서, 제1 구동 요소 및 제2 구동 요소는 복수의 연결 스프링에 의해 상호 연결되고, 제1 검출 요소 및 제2 검출 요소는 복수의 제2 연결 스프링에 의해 상호 연결되는 회전 속도 센서.
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