KR100900687B1 - 그린시트, 그린시트 제조방법, 및 적층 유전체 부품제조방법 - Google Patents

그린시트, 그린시트 제조방법, 및 적층 유전체 부품제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 유전체 시트와, 상기 유전체 시트의 일면에 접하도록 적층된 제1 바인더 필름, 및 상기 유전체 시트 및 상기 바인더 필름을 관통하는 적어도 하나의 도전성 비아를 포함하는 그린 시트, 상기 그린시트의 제조방법 및 상기 그린시트를 이용한 적층 유전체 부품 제조방법을 제공할 수 있다.
유전체 시트(dielectric sheet), 비아홀(via-hole)

Description

그린시트, 그린시트 제조방법, 및 적층 유전체 부품 제조방법{GREEN SHEET, METHOD OF MANUFACTURING THE GREEN SHEET, AND METHOD OF MANUFACTURING THE LAMINATED DIELECTRIC DEVICE}
본 발명은, 그린시트, 그린시트의 제조방법, 및 적층 유전체 부품 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 그린시트에 형성되는 도전성 비아의 충전율을 높이기 위한 구조 및 제조방법에 관한 것이다.
복수 개의 그린 시트를 적층하여 제조되는 다층 유전체 기판에서는 각 층 간의 전기적 연결을 위해 다수의 비아홀(Via-Hole)을 형성하고 상기 비아홀의 내부를 도전성 전극물질로 충전한다.
일반적으로 비아홀을 형성하고 전극물질을 충전하는 공정은, 유전체 분말과 결합제, 분산제, 용매 등으로 구성된 그린시트를 테잎 형태로 성형한 후, 펀칭 등을 이용하여 원하는 위치에 비아홀을 뚫는다. 상기 비아홀에 도전성 페이스트를 채우기 위해 스크린 인쇄법을 사용하여 도전성 비아를 형성한다. 상기 그린시트 상에 필요한 형태의 도전패턴을 형성할 수 있다.
이와 같이 도전성 비아와 전극 패턴이 형성된 그린시트를 복수개 적층한 후 절단하여 칩이나 기판 형태를 만들고 소성함으로써 적층형 유전체 부품을 만들수 있다.
상기 도전성 비아를 형성하기 위해 비아홀 내에 충전되는 도전성 페이스트는 도전성 금속 및 유기바인더, 용매로 구성되어 있기 때문에 소성 과정에서 부피가 수축하게 된다. 특히, 금속은 유전체에 비해 부피 수축이 크기 때문에 소성 전 상태에서 도전성 페이스트가 비아홀 내에 100% 충전되었다고 해도, 소성 수축율 차이로 인해 비아홀과 도전성 비아가 분리되어 기공이 발생할 수 있다. 또한, 이를 방지하기 위해 비아홀의 부피를 넘는 과도한 양의 도전성 페이스트를 비아홀에 충전하면 적층과정 및 가압과정 중에 상기 비아홀에 충전되지 못한 도전성 페이스트가 주변으로 흘러 층간 쇼트가 발생하거나 층의 박리현상 등의 불량을 야기하는 문제점이 있다.
상기한 문제점을 해결하기 위해서, 본 발명은, 비아의 충전율을 높일 수 있는 그린 시트, 그린 시트 제조 방법 및 상기 그린 시트를 이용한 적층 유전체 부품 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일측면은, 유전체 시트와, 상기 유전체 시트의 일면에 적층된 바인더 필름, 및 상기 유전체 시트 및 상기 바인더 필름을 관통하는 적어도 하나의 도전성 비아를 포함하는 그린 시트를 제공할 수 있다.
상기 그린시트는, 상기 유전체 시트의 일면에 대향하는 타면에 적층되는 바인더 필름을 더 포함할 수 있다.
상기 바인더 필름은, 상기 유전체 시트의 소성 온도에서 전소될 수 있다.
상기 도전성 비아는, 상기 적층된 유전체 시트 및 바인더 필름의 두께와 동일한 두께로 형성될 수 있다.
본 발명의 다른 일측면은, 베이스 필름 상에 유전체 시트를 형성하는 단계 와, 상기 유전체 시트 상에 제1 바인더 필름을 형성하는 단계와, 상기 유전체 시트 및 제 바인더 필름을 관통하는 비아홀을 형성하는 단계, 및 상기 비아홀을 도전성 물질로 충전하여 도전성 비아를 형성하는 단계를 포함하는 그린 시트 제조방법을 제공할 수 있다.
상기 유전체 시트를 형성하는 단계 전에, 상기 베이스 필름 상에 상기 제1 바인더 필름과 동일한 재질의 제2 바인더 필름을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 바인더 필름은, 상기 유전체 시트의 소성 온도에서 전소될 수 있다.
상기 비아홀을 형성하는 단계는, 레이저 공정에 의한 것일 수 있다.
상기 도전성 비아를 형성하는 단계는, 도전성 페이스트를 상기 비아홀에 충전하는 것일 수 있다.
상기 도전성 비아를 형성하는 단계는, 상기 적층된 유전체 시트 및 제1 바인더 필름의 두께와 동일하게 형성하는 것일 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면은, 유전체 시트의 적어도 일면에 바인더 필름이 적층되고, 상기 유전체 시트 및 상기 바인더 필름을 관통하는 도전성 비아가 형성된 적어도 하나의 그린 시트를 포함하여 적층체를 형성하는 단계, 및 상기 유전체 시트를 소결하고, 상기 바인더 필름을 전소시키기 위한 온도로 상기 적층체를 소성하는 단계를 포함하는 적층 유전체 부품 제조방법을 제공할 수 있다.
상기 적층체를 형성하는 단계는, 상기 유전체 시트의 일면에 도전패턴을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 도전성 비아는, 상기 적층된 유전체 시트 및 상기 바인더 필름의 두께와 동일하게 형성되는 것일 수 있다.
본 발명에 따르면, 소성시 발생될 수 있는 도전성 비아의 불량을 감소시킬 수 있는 그린시트, 그린시트의 제조방법, 및 적층 유전체 부품 제조방법을 얻을 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하겠다.
도 1은, 본 발명의 일실시 형태에 따른 유전체 시트의 단면도이다.
도 1을 참조하면, 본 실시형태에 따른 그린 시트(10)는, 유전체 시트(11), 바인더 필름(12), 및 도전성 비아(15)를 포함할 수 있다.
유전체 시트(11)는, 유전체 슬러리를 이용하여 베이스 필름 상에 형성될 수 있다.
본 실시형태에서 상기 유전체 슬러리는 유전체 분말에 톨루엔/에탄올 혼합용액과 기타 유기 첨가물을 혼합하여 제조될 수 있다. 상기 유전체 슬러리를 베이스 필름 상에 도포한후 적절한 온도에서 건조시키면 상기 유전체 시트가 형성될 수 있다.
바인더 필름(12)은, 기설정된 소정의 온도에서 전소되는 성질을 가질 수 있다. 본 실시형태에서는 상기 유전체 시트가 소결되는 온도인 400 내지 600 ℃에서 상기 바인더 필름은 전소될 수 있다.
본 실시형태에서 상기 바인더 필름은 바인더 수지와 용매를 혼합하여 바인더 용액을 마련하고, 상기 바인더 용액을 상기 유전체 시트 상에 도포하고 건조시켜 제조될 수 있다.
상기 바인더 수지는, 셀룰로오스(cellulose), 에틸 셀룰로오스(ethylcellulose), 폴리비닐 부티랄(polyvinyl butyral : PVB), 폴리메틸 메타크릴레이트(polymethyl methacrylate : PMMA), 폴리아크릴 에스테르(polyacrylate esters) 중에서 선택된 하나 또는 둘 이상의 혼합물일 수 있다.
상기 용매는 메틸 에틸 케톤(methyl ethyl kethone), 에틸 알코올(ethyl alcohol), 이소프로필 알코올(isopropyl alcohol), 톨루엔(toluene), 디에틸 에테르(diethyl ether), 삼염화 에틸렌(trichloro ethylene), 메탄올(methanol) 등의 단일 용매 또는 둘 이상의 혼합용매일 수 있다.
도전성 비아(15)는, 도전성 잉크 또는 도전성 페이스트를 사용하여 형성할 수 있다.
상기 유전체 시트(11) 및 바인더 필름(12)을 관통하는 비아홀(14)을 형성하고, 상기 비아홀(14) 내에 도전성 페이스트 등으로 충전시킴으로서 상기 도전성 비아(15)를 형성할 수 있다. 상기 도전성 페이스트를 상기 비아홀에 충전시키기 위해 스크린 인쇄법을 사용할 수 있다.
본 실시형태에서는 상기 도전성 비아(15)를 형성하는 도전성 페이스트는 은 분말을 주원료로 하는 페이스트를 사용할 수 있다.
본 실시형태에서는, 상기 유전체 시트(11)의 두께를 약 40 내지 50 ㎛ 로 한 경우, 상기 바인더 필름(12)의 두께는 약 5 내지 20 ㎛ 로 할 수 있다. 이때, 상기 비아홀(14)의 지름은 약 100 내지 400 ㎛로 할 수 있다. 이처럼 상기 바인더 필름의 두께는 상기 비아홀의 지름, 상기 도전성 페이스트의 수축율 등을 고려하여 조절될 수 있다.
도 2는, 본 발명의 다른 실시형태에 따른 그린 시트의 단면도이다.
도 2를 참조하면, 본 실시형태에 따른 그린 시트(20)는, 유전체 시트(21), 제1 바인더 필름(22), 제2 바인더 필름(23) 및 도전성 비아(25)를 포함할 수 있다.
유전체 시트(21)는, 유전체 슬러리를 이용하여 베이스 필름 상에 형성될 수 있다.
본 실시형태에서 상기 유전체 슬러리는 유전체 분말에 톨루엔/에탄올 혼합용액과 기타 유기 첨가물을 혼합하여 제조될 수 있다. 상기 유전체 슬러리를 베이스 필름 상에 도포한후 적절한 온도에서 건조시키면 상기 유전체 시트가 형성될 수 있다.
본 실시형태에서는 상기 도 1의 실시형태와 달리 유전체 시트(21)의 양면에 각각 제1 바인더 필름(22) 및 제2 바인더 필름(23)을 형성할 수 있다. 상기 제1 및 제2 바인더 필름(22, 23)은 동일한 성질을 가질 수 있다.
상기 제1 및 제2 바인더 필름(22, 23)은, 기설정된 소정의 온도에서 전소되는 성질을 가질 수 있다. 본 실시형태에서는 상기 유전체 시트가 소결되는 온도인 400 내지 600 ℃에서 상기 바인더 필름은 전소될 수 있다.
본 실시형태에서 상기 바인더 필름은 바인더 수지와 용매를 혼합하여 바인더 용액을 마련하고, 상기 바인더 용액을 상기 유전체 시트 상에 도포하고 건조시켜 제조될 수 있다.
상기 바인더 수지는, 셀룰로오스(cellulose), 에틸 셀룰로오 스(ethylcellulose), 폴리비닐 부티랄(polyvinyl butyral : PVB), 폴리메틸 메타크릴레이트(polymethyl methacrylate : PMMA), 폴리아크릴 에스테르(polyacrylate esters) 중에서 선택된 하나 또는 둘 이상의 혼합물일 수 있다.
상기 용매는 메틸 에틸 케톤(methyl ethyl kethone), 에틸 알코올(ethyl alcohol), 이소프로필 알코올(isopropyl alcohol), 톨루엔(toluene), 디에틸 에테르(diethyl ether), 삼염화 에틸렌(trichloro ethylene), 메탄올(methanol) 등의 단일 용매 또는 둘 이상의 혼합용매일 수 있다.
도전성 비아(25)는, 도전성 잉크 또는 도전성 페이스트를 사용하여 형성할 수 있다.
상기 유전체 시트(21) 및 제1, 제2 바인더 필름(22, 23)을 관통하는 비아홀(24)을 형성하고, 상기 비아홀(24) 내에 도전성 페이스트 등으로 충전시킴으로서 상기 도전성 비아(25)를 형성할 수 있다. 상기 도전성 페이스트를 상기 비아홀에 충전시키기 위해 스크린 인쇄법을 사용할 수 있다.
본 실시형태에서는 상기 도전성 비아(25)를 형성하는 도전성 페이스트는 은 분말을 주원료로 하는 페이스트를 사용할 수 있다.
도 2의 실시형태의 경우, 유전체 시트의 양면에 각각 바인더 필름을 형성함으로써 소성시 발생될 수 있는 상기 도전성 비아의 수축형태를 일정하게 유지할 수 있다. 즉, 상기 비아홀 내에 충전된 도전성 물질은 소성시 부피가 수축하게 되는데 본 실시형태의 경우 상기 비아홀 내의 도전성 물질이 중심부로 수축되므로 양쪽 방향에 대해 수축되는 부피를 일정하게 할 수 있다
도 3의 (a) 내지 (d)는, 본 발명의 일실시 형태에 따른 그린시트의 제조방법을 나타내는 공정도이다.
도 3의 (a) 내지 (d)를 참조하면, 본 실시형태에 따른 그린시트의 제조방법은, 유전체 시트 형성하는 단계(a), 바인더 필름을 형성하는 단계(b), 비아홀을 형성하는 단계(c), 및 도전성 비아(d)를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
도 3의 (a)는, 베이스 필름(36)상에 유전체 시트(31)를 형성하는 단계이다.
유전체 시트(31)는, 유전체 슬러리를 이용하여 베이스 필름(36) 상에 형성될 수 있다.
본 실시형태에서 상기 유전체 슬러리는 유전체 분말에 톨루엔/에탄올 혼합용액과 기타 유기 첨가물을 혼합하여 제조될 수 있다. 상기 유전체 슬러리를 베이스 필름 상에 도포한후 적절한 온도에서 건조시키면 상기 유전체 시트가 형성될 수 있다.
도 3의 (b)는, 상기 유전체 시트(31) 상에 바인더 필름(32)을 형성하는 단계이다.
바인더 필름(32)은, 기설정된 소정의 온도에서 전소되는 성질을 가질 수 있다. 본 실시형태에서는 상기 유전체 시트가 소결되는 온도인 400 내지 600 ℃에서 상기 바인더 필름은 전소될 수 있다.
본 실시형태에서 상기 바인더 필름(32)은 바인더 수지와 용매를 혼합하여 바인더 용액을 마련하고, 상기 바인더 용액을 상기 유전체 시트(21) 상에 도포하고 건조시켜 제조될 수 있다.
상기 바인더 수지는, 셀룰로오스(cellulose), 에틸 셀룰로오스(ethylcellulose), 폴리비닐 부티랄(polyvinyl butyral : PVB), 폴리메틸 메타크릴레이트(polymethyl methacrylate : PMMA), 폴리아크릴 에스테르(polyacrylate esters) 중에서 선택된 하나 또는 둘 이상의 혼합물일 수 있다.
상기 용매는 메틸 에틸 케톤(methyl ethyl kethone), 에틸 알코올(ethyl alcohol), 이소프로필 알코올(isopropyl alcohol), 톨루엔(toluene), 디에틸 에테르(diethyl ether), 삼염화 에틸렌(trichloro ethylene), 메탄올(methanol) 등의 단일 용매 또는 둘 이상의 혼합용매일 수 있다.
도 3의 (c)는, 상기 유전체 시트(31) 및 바인더 필름(32)을 관통하는 비아홀(34)을 형성하는 단계이다.
상기 비아홀(34)을 형성하는 공정은 레이저를 이용할 수 있다. 레이저를 이용하면, 상기 베이스 필름(36)을 손상시키지 않고 상기 베이스 필름(36) 상에 형성된 유전체 시트(31) 및 바인더 필름(32) 상에 비아홀을 형성할 수 있다.
도 3의 (d)는, 상기 비아홀(34)을 도전성 물질로 채워 도전성 비아(35)를 형 성하는 단계이다.
도전성 비아(35)는, 도전성 잉크 또는 도전성 페이스트를 사용하여 형성할 수 있다. 상기 도전성 페이스트를 상기 비아홀에 충전시키기 위해 스크린 인쇄법을 사용할 수 있다. 이 때, 상기 도전성 페이스트가 상기 비아홀 내에 유지될 수 있도록 상기 비아홀 형성단계에서 상기 베이스 필름(36)은 관통되지 않는 것이 바람직하다.
본 실시형태에서는 상기 도전성 비아(35)를 형성하는 도전성 페이스트는 은 분말을 주원료로 하는 페이스트를 사용할 수 있다.
도 4의 (a) 내지 (e)는, 본 발명의 다른 실시형태에 따른 그린시트의 제조방법을 나타내는 공정 순서도이다.
도 4의 (a)는, 베이스 필름(46)상에 제1 바인더 필름(43)을 형성하는 단계이다.
상기 제1 바인더 필름(43)은, 기설정된 소정의 온도에서 전소되는 성질을 가질 수 있다. 본 실시형태에서는 상기 유전체 시트가 소결되는 온도인 400 내지 600 ℃에서 상기 바인더 필름은 전소될 수 있다.
본 실시형태에서 상기 제1 바인더 필름(43)은 바인더 수지와 용매를 혼합하여 바인더 용액을 마련하고, 상기 바인더 용액을 베이스 필름(46) 상에 도포하고 건조시켜 제조될 수 있다.
상기 바인더 수지는, 셀룰로오스(cellulose), 에틸 셀룰로오 스(ethylcellulose), 폴리비닐 부티랄(polyvinyl butyral : PVB), 폴리메틸 메타크릴레이트(polymethyl methacrylate : PMMA), 폴리아크릴 에스테르(polyacrylate esters) 중에서 선택된 하나 또는 둘 이상의 혼합물일 수 있다.
상기 용매는 메틸 에틸 케톤(methyl ethyl kethone), 에틸 알코올(ethyl alcohol), 이소프로필 알코올(isopropyl alcohol), 톨루엔(toluene), 디에틸 에테르(diethyl ether), 삼염화 에틸렌(trichloro ethylene), 메탄올(methanol) 등의 단일 용매 또는 둘 이상의 혼합용매일 수 있다.
도 4의 (b)는, 상기 제1 바인더 필름(43) 상에 유전체 시트(41)를 형성하는 단계이다.
유전체 시트(41)는, 유전체 슬러리를 이용하여 상기 제1 바인더 필름(43)상에 형성될 수 있다.
본 실시형태에서 상기 유전체 슬러리는 유전체 분말에 톨루엔/에탄올 혼합용액과 기타 유기 첨가물을 혼합하여 제조될 수 있다. 상기 유전체 슬러리를 베이스 필름 상에 도포한 후 적절한 온도에서 건조시키면 상기 유전체 시트가 형성될 수 있다.
도 4의 (c)는, 상기 유전체 시트(41) 상에 제2 바인더 필름(42)을 형성하는 단계이다.
상기 제2 바인더 필름(42)은 상기 제1 바인더 필름(43)과 동일한 성질을 가 질 수 있다.
도 4의 (d)는, 상기 유전체 시트(41) 및 제1, 제2 바인더 필름(42, 43)을 관통하는 비아홀(44)을 형성하는 단계이다.
상기 비아홀(44)을 형성하는 공정은 레이저를 이용할 수 있다. 레이저를 이용하면, 상기 베이스 필름(46)을 손상시키지 않고 상기 베이스 필름(46) 상에 형성된 유전체 시트 및 바인더 필름 상에 비아홀을 형성할 수 있다.
도 4의 (e)는, 상기 비아홀(44)을 도전성 물질로 채워 도전성 비아(45)를 형성하는 단계이다.
도전성 비아(45)는, 도전성 잉크 또는 도전성 페이스트를 사용하여 형성할 수 있다.
상기 유전체 시트(41) 및 제1, 제2 바인더 필름(43, 42)을 관통하는 비아홀(44)을 형성하고, 상기 비아홀(44) 내에 도전성 페이스트 등으로 충전시킴으로서 상기 도전성 비아(45)를 형성할 수 있다. 상기 도전성 페이스트를 상기 비아홀에 충전시키기 위해 스크린 인쇄법을 사용할 수 있다. 이 때, 상기 도전성 페이스트가 상기 비아홀 내에 유지될 수 있도록 상기 비아홀 형성 단계에서 상기 베이스 필름(46)은 관통되지 않는 것이 바람직하다.
본 실시형태에서는 상기 도전성 비아(45)를 형성하는 도전성 페이스트는 은 분말을 주원료로 하는 페이스트를 사용할 수 있다.
도 5의 (a) 및 (b)는, 본 발명의 일실시 형태에 따른 적층 유전체 부품 제조방법에 관한 공정 순서도이다.
도 5의 (a)는, 적층체를 형성하는 단계이다.
본 실시형태에서는 유전체 시트(51b, 51d)의 일면에 바인더 필름(52b, 52d)이 형성되고 상기 유전체 시트 및 상기 바인더 필름을 관통하는 도전성 비아(55)가 형성된 적어도 하나의 그린 시트를 포함하는 적층체를 형성할 수 있다. 상기 적층체는 바인더 필름이 적층되지 않은 유전체 시트(51a, 51c, 51e)를 포함할 수 있다.
상기 적층체를 구성하는 그린시트는, 상기 도 3의 실시형태에 따라 제조될 수 있다.
상기 적층체를 형성하는 단계에서, 각각의 그린시트 또는 유전체 시트가 적층되기 전에 내부전극을 형성하기 위해 유전체 시트 상에 도전패턴을 형성할 수 있다. 상기 도전 패턴을 형성하는 방법은 도전성 잉크나 도전성 페이스트를 사용하여 상기 유전체 시트의 일면에 인쇄하는 것일 수 있다.
도 5의 (b)는, 상기 적층체를 소성하는 단계이다.
본 소성단계에서 소성온도는 상기 유전체 시트를 소결하고, 상기 바인더 필름을 전소시키기 위한 온도일 수 있다.
본 실시형태에서는 상기 유전체 시트를 소결할 수 있도록 약 400 내지 600℃로 진행될 수 있다. 상기 소성과정 중에 상기 바인더 필름(52b, 52d)은 전소될 수 있다.
상기 적층단계 이전에 상기 비아홀에 채워지는 도전성 페이스트는 상기 유전체 기판 및 바인더 필름의 두께와 동일하게 채워질 수 있다. 본 소성단계에서 상기 바인더 필름은 전소되므로 소성이 완료되면 상기 바인더 필름의 두께만큼 상기 적층체의 두께가 줄어들 수 있다. 이와 동시에 상기 비아홀에 채워진 도전성 페이스트도 수축하므로 소성 후 상기 도전성 비아의 두께는 유전체 시트의 두께와 동일할 수 있고, 상기 도전성 비아의 충전율을 높일 수 있다. 따라서, 바인더 필름을 사용하지 않은 경우에 비해 도전성 비아의 불량을 방지할 수 있다.
본 발명은 상술한 실시형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니며, 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 한다. 따라서, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.
도 1은, 본 발명의 일실시 형태에 따른 그린시트의 단면도이다.
도 2는, 본 발명의 다른 실시형태에 따른 그린시트의 단면도이다.
도 3의 (a) 내지 (d)는, 본 발명의 일실시 형태에 따른 그린시트 제조 방법의 순서도이다.
도 4의 (a) 내지 (e)는, 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 그린시트 제조 방법의 순서도이다.
도 5의 (a) 및 (b)는, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 적층 유전체 부품 제조 방법의 순서도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호설명>
11 : 유전체 시트 12 : 바인더 필름
15 : 도전성 비아

Claims (13)

  1. 유전체 시트;
    상기 유전체 시트의 일면에 적층된 바인더 필름; 및
    상기 유전체 시트 및 상기 바인더 필름을 관통하는 적어도 하나의 도전성 비아
    를 포함하며,
    상기 바인더 필름은,
    상기 유전체 시트의 소성 온도에서 전소되는 것을 특징으로 하는 그린 시트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 그린시트는,
    상기 유전체 시트의 일면에 대향하는 타면에 적층되는 바인더 필름
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그린 시트.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 도전성 비아는,
    상기 적층된 유전체 시트 및 바인더 필름의 두께와 동일한 두께로 형성된 것 을 특징으로 하는 그린 시트.
  5. 베이스 필름 상에 유전체 시트를 형성하는 단계;
    상기 유전체 시트 상에 제1 바인더 필름을 형성하는 단계;
    상기 유전체 시트 및 제1 바인더 필름을 관통하는 비아홀을 형성하는 단계; 및
    상기 비아홀을 도전성 물질로 충전하여 도전성 비아를 형성하는 단계
    를 포함하며,
    상기 제1 바인더 필름은,
    상기 유전체 시트의 소성 온도에서 전소되는 것을 특징으로 하는 그린 시트 제조방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 유전체 시트를 형성하는 단계 전에
    상기 베이스 필름 상에 상기 제1 바인더 필름과 동일한 재질의 제2 바인더 필름을 형성하는 단계를 더 포함하며,
    상기 비아홀을 형성하는 단계는 상기 유전체 시트, 제1 바인더 필름, 및 제2 바인더 필름을 관통하는 비아홀을 형성하는 것을 특징으로 하는 그린 시트 제조방법.
  7. 삭제
  8. 제5항에 있어서,
    상기 비아홀을 형성하는 단계는,
    레이저 공정에 의한 것을 특징으로 하는 그린 시트 제조방법.
  9. 제5항에 있어서,
    상기 도전성 비아를 형성하는 단계는,
    도전성 페이스트를 상기 비아홀에 충전하는 것을 특징으로 하는 그린 시트 제조방법.
  10. 제5항에 있어서,
    상기 도전성 비아를 형성하는 단계는,
    상기 적층된 유전체 시트 및 제1 바인더 필름의 두께와 동일하게 형성하는 것을 특징으로 하는 그린 시트 제조방법.
  11. 유전체 시트의 적어도 일면에 바인더 필름이 적층되고, 상기 유전체 시트 및 상기 바인더 필름을 관통하는 도전성 비아가 형성된 적어도 하나의 그린 시트를 포함하여 적층체를 형성하는 단계; 및
    상기 유전체 시트를 소결하고, 상기 바인더 필름을 전소시키기 위한 온도로 상기 적층체를 소성하는 단계
    를 포함하는 적층 유전체 부품 제조방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 적층체를 형성하는 단계는,
    상기 유전체 시트의 일면에 도전패턴을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 유전체 부품 제조방법.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 도전성 비아는,
    상기 적층된 유전체 시트 및 상기 바인더 필름의 두께와 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는 적층 유전체 부품 제조방법.
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