KR100895449B1

KR100895449B1 - 비접촉전원장치

Info

Publication number: KR100895449B1
Application number: KR1020070060458A
Authority: KR
Inventors: 계 호 황; 영 식 이; 인 호 문; 상 준 조
Original assignee: 주식회사 신성에프에이
Priority date: 2007-06-20
Filing date: 2007-06-20
Publication date: 2009-04-30
Also published as: KR20080111910A

Abstract

본 발명은 반도체 기판이나 유리 등과 같은 물품을 이동시킬 때 사용되는 비접촉전원장치에 관한 것으로서, 미세한 먼지나 이물질이 차단되는 클린룸의 내부로 반도체 기판이나 액정과 같은 물품을 이송하기 위하여 장착되는 비접촉전원장치에 있어서 레일 지지대의 상면으로 가이드 레일이 상부에 구비되는 주행레일 구조체를 양측에 설치하고, 외측 끝단에는 고정바가 소정의 높이를 가지면서 상부 내측에는 두 개의 전기공급선이 형성되는 전류 공급부가 일정한 간격으로 설치되는 고정수단을 구성하고, 상기 두 개의 전기공급선 사이에 유도코일이 개재되는 자기유도형 철심을 상부에 형성하고, 상기 자기유도형 철심의 하부에는 판상의 대차를 형성하며, 상기 대차의 하부에는 상기 가이드 레일을 따라 이동하는 롤러를 양측에 설치하되, 상기 내측 롤러는 연결바를 통해 대차와 고정되고 외측 롤러는 상기 자기유도형 철심이 고정되는 브라켓과 연결되면서 외측 롤러와도 연결되는 작동부를 통해서 대차와 고정되는 이송수단을 형성하여, 상기 고정수단의 전기공급선과 이송수단의 유도코일이 작동부에 의하여 직선 구간이나 곡선 구간에서 일정한 간격을 가질 수 있도록 한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 이송수단의 스프링과 롤러를 통해서 고정수단의 전기공급선과 이송수단의 유도코일의 간격을 직선 구간이나 곡선 구간에서 동일하게 유지할 수 있어 비접촉전원장치의 정확한 작동 및 오작동으로 인한 경비와 시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.

비접촉전원장치, 고정수단, 레일 지지대, 가이드 레일, 전류 공급부, 이송수단, 자기유도형 철심, 대차, 롤러, 작동부, 스프링.

Description

비접촉전원장치{CONTACTLESS POWER SUPPLY SYSTEM}

도 1은 본 발명에 따른 비접촉전원장치를 나타낸 평면도.

도 2는 본 발명에 따른 비접촉전원장치를 나타낸 정면도.

도 3은 본 발명에 따른 비접촉전원장치를 나타낸 측면도.

도 4는 본 발명에 따른 요부 확대도.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

100 : 비접촉전원장치, 200 : 고정수단,

210 : 레일 지지대, 220 : 주행레일 구조체,

230 : 가이드 레일, 240 : 고정바,

250 : 전류 공급부, 300 : 이송수단,

310 : 자기유도형 철심, 320 : 대차,

330 : 롤러, 340 : 연결바,

350 : 브라켓, 360 : 작동부.

본 발명은 반도체 기판이나 유리 등과 같은 물품을 이동시킬 때 사용되는 비접촉전원장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 대차의 하부에 스프링과 롤러를 장착하여 직선 구간이나 곡선 구간에서 비접촉전원장치의 전기공급선과 E자형 유도코일의 간격이 항상 일정하게 유지될 수 있도록 한 비접촉전원장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체나 액정 등의 전자 디바이스 제품은 공기 중의 부유 입자가, 한정된 청정도 레벨(일반적으로는 미국연방규격 209D)로 관리된 환경, 소위 클린룸에서 제조되고 있는 것은 이미 알려져 있다.

그렇지만, 미세화가 진행됨에 따라, 보다 높은 청정도가 요구되고 이에 클린룸 안에 궤도를 부설하고 이에 대차를 주행시켜 작업자를 대신하고 있다. 이런 종류의 반송 시스템에서는, 전원장치의 브러시 등에 의한 마모분의 발생을 억제하기 위해 비접촉 상태에서 급전이 행해지고 있다.

그러나 종래의 비접촉전원장치는 직선 구간(수평과 수직구간)에서는 전기를 공급해주는 전기공급선과 유도코일이 일정한 간격을 유지할 수 있어 문제가 없는 반면, 곡선 구간에서는 전기공급선과 유도코일이 하중과 원심력에 의하여 간극이 일정하지 않아 비접촉전원장치의 오작동이나 방향의 전환에 있어 오차가 발생하는 등의 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 대차의 하부에 스프링과 롤러를 장착하여 직선 구간이나 곡선 구간에서 비접촉전원장치의 전기공급선과 E자형 유도코일의 간격이 항상 일정하게 유지될 수 있도록 한 비접촉전원장치를 제공하는데 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 미세한 먼지나 이물질이 차단되는 클린룸의 내부로 반도체 기판이나 액정과 같은 물품을 이송하기 위하여 장착되는 비접촉전원장치에 있어서 레일 지지대의 상면으로 가이드 레일이 상부에 구비되는 주행레일 구조체를 양측에 설치하고, 외측 끝단에는 고정바가 소정의 높이를 가지면서 상부 내측에는 두 개의 전기공급선이 형성되는 전류 공급부가 일정한 간격으로 설치되는 고정수단을 구성하고, 상기 두 개의 전기공급선 사이에 유도코일이 개재되는 자기유도형 철심을 상부에 형성하고, 상기 자기유도형 철심의 하부에는 판상의 대차를 형성하며, 상기 대차의 하부에는 상기 가이드 레일을 따라 이동하는 롤러를 양측에 설치하되, 상기 내측 롤러는 연결바를 통해 대차와 고정되고 외측 롤러는 상기 자기유도형 철심이 고정되는 브라켓과 연결되면서 외측 롤러와도 연결되는 작동부를 통해서 대차와 고정되는 이송수단을 형성하여, 상기 고정수단의 전기공급선과 이송수단의 유도코일이 작동부에 의하여 직선 구간이나 곡선 구간에서 일정한 간격을 가질 수 있도록 한 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 구성을 첨부된 도면을 참조로 설명하면, 도 1은 본 발명에 따른 비접촉전원장치를 나타낸 평면도이고, 도 2는 본 발명에 따른 비접촉전원장치 를 나타낸 정면도이며, 도 3은 본 발명에 따른 비접촉전원장치를 나타낸 측면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 요부 확대도이다.

본 발명의 비접촉전원장치(100)는 클린룸의 내부로 지정된 구간에 설치되는 고정수단(200)과, 상기 고정수단(200)에 장착되어 전달되는 동력에 따라 이동하는 이송수단(300)으로 대별할 수 있다.

상기 고정수단(200)은 높이 조절이 가능한 레일 지지대(210)와, 상기 레일 지지대(210)의 상면 양측에 장착되는 주행레일 구조체(220)와, 상기 주행레일 구조체(220)의 상부 내측에 장착되는 가이드 레일(230)과, 상기 레일 지지대(210)의 외측 끝단에 소정의 높이를 가지고 장착되는 고정바(240)와, 상기 고정바(240)의 상부 끝단에 장착되는 전류 공급부(250)로 대별할 수 있다.

즉, 상기 고정수단(200)은 상기 레일 지지대(210)의 하부 양측면에 장착되는 높이 조절구(260)를 통해서 원하는 위치만큼 조절하게 되고, 상부에 가이드 레일(230)이 구비되는 주행레일 구조체(220)는 상기 이송수단(300)의 규격에 맞추어 간격을 조절하게 되는 것이다.

그리고 상기 레일 지지대(210)의 외측 끝단에 고정장착되는 고정바(240)는 상기 이송수단(300)이 장착되는 공간을 고려하여 형성되는데 즉, 후설 할 작동부의 작동공간에 따라 상기 고정바(240)의 폭과 넓이를 정하게 되는 것이다.

좀더 보충설명하면, 상기 고정바(240)와 작동부(360)의 사이 간격 및 높이가 멀어질 경우에는 작동부(360)의 작동이 늦어지고, 사이 간격 및 높이 좁을 경우에는 작동부(360)가 급하게 작동되어 오차가 발생하는 문제점이 생기므로 작동 부(360)를 고려하여 고정바(240)를 형성하게 되는 것이다.

상기 고정바(240)의 내측 상부에 고정결합되는 전류 공급부(250)는 상, 하로 소정의 간격을 두고 두 개의 전기공급선(252)이 돌출형성되되, 상기 전기공급선(252)의 간격은 후설 할 유도코일에 길이 및 직경 등에 따라 다르게 형성될 수 있음을 밝힌다.

상기 고정수단(200)에 장착되고 이동하는 이송수단(300)은 유도코일이 구비되는 자기유도형 철심(310)과, 상기 자기유도형 철심(310)의 하부에는 형성되는 판상의 대차(320)와, 상기 대차(320)의 하부 양측에 장착되어 상기 가이드 레일(230)을 따라 이동하는 롤러(330a, 330b)와, 상기 내측 롤러(330a)와 대차(320)를 연결하는 연결바(340)와, 상기 자기유도형 철심(310)이 고정되는 브라켓(350)과 연결되면서 외측롤러(330b)와도 연결되는 작동부(360)로 구성된다.

상기 자기유도형 철심(310)은 중앙에 형성되는 돌출부(312)의 주위로 유도코일(314)이 감겨져 있으며 하부 돌출부(316)의 저면에는 상기 브라켓(350)의 일측이 고정된다.

상기 자기유도형 철심(310)의 하부에 형성되는 대차(320)는 소정의 두께를 가지는 판으로 형성되고 저면의 일측에는 연결바(340)를 통해서 내측 롤러(330a)가 연결되며 타측은 작동부(360)를 통해서 외측 롤러(330b)가 연결된다. 이때, 상기 내측 롤러(330a)와 외측 롤러(330b)는 높이 동일할 수 있도록 연결바(340)와 작동부(360)를 구성한다.

상기 자기유도형 철심(310)이 고정되는 브라켓(350)의 타측과 연결되면서 외측 롤러(330b)와도 연결되는 작동부(360)는 대차(320)의 하부에 수평부(361a)가 고정되고 상기 수평부(361a)의 양 끝단에 수직부(361b)가 형성되는 고정지그(361)와, 상기 고정지그(361)의 수직부(361b)에 개재되는 작동봉(362)과, 상기 작동봉(362)을 따라 좌, 우 이동하고 상기 자기유도형 철심(310)이 고정되는 브라켓(350)의 타측이 고정되면서 외측 롤러(330b)가 고정되는 이송체(363)와, 상기 이송체(363)와 일측 수직부(361b) 사이에 개재되는 스프링(364)로 구성된다.

즉, 상기 작동부(360)는 이송체(363)가 스프링(364)의 탄성을 통하여 좌, 우로 이동하면서 전기공급선(252)과 유도코일(314)에 직선 구간이나 곡선 구간에서 동일한 간격을 가질 수 있도록 하는 것이다.

여기서, 상기 수평부(361a)와 수직부(361b)로 구성되는 고정지그(361)는 필요에 따라서 일체로 구성되는 브라켓으로 형성될 수 있을 뿐만 아니라, 상기 스프링(364)은 이송체(363)의 양측에 형성될 수 있음을 밝힌다.

그리고 상기 작동부(360)는 필요에 따라서 대차(320)의 내측에 형성되는 연결바(340)를 제거하고 그 자리에 작동부(360)가 대칭되게 장착될 수 있음을 밝힌다.

상기와 같이 구성되는 비접촉급선장치(100)의 실시 예를 설명하면 다음과 같다.

먼저, 높이 조절구(260)를 통해서 지정된 높이 만큼 레일 지지대(210)를 설치한 후 상기 레일 지지대(210)의 상면으로 가이드 레일(230)이 상부에 구비되는 주행레일 구조체(220)를 양측에 이송수단(300)의 폭을 고려하여 설치한다.

그리고 상기 레일 지지대(210)의 외측 끝단에는 소정의 높이를 가지는 고정바(240)를 설치한 후 상기 고정바(240)의 상부 내측에는 두 개의 전기공급선(252)이 형성되는 다수개의 전류 공급부(250)를 일정한 간격으로 레일 지지대(210)에 설치하면 고정수단(200)의 구성은 완료된다.

다음으로 상기 두 개의 전기공급선(252) 사이에 유도코일(314)이 개재되는 자기유도형 철심(310)이 상부에 장착되고, 상기 자기유도형 철심(310)의 하부에는 판상의 대차(320)가 형성되며, 상기 대차(320)의 하부에는 상기 가이드 레일(230)을 따라 이동하는 롤러(330)를 양측에 설치되는 이송수단(300)을 설치한다.

이때, 상기 내측 롤러(330a)는 연결바(340)를 통해 대차(320)와 고정되고 외측 롤러(330b)는 대차(320)의 하부에 수평부(361a)가 고정결합되고 상기 수평부(361a)의 양 끝단에 수직부(361b)가 고정결합되는 고정지그(361)와, 상기 고정지그(361)의 양측에 형성되는 수직부(361b)에 개재되는 작동봉(362)과, 상기 작동봉(362)을 따라 좌, 우 이동하고 상기 자기유도형 철심(310)이 고정되는 브라켓(350)과 외측 롤러(330b)가 고정되는 이송체(363)와, 상기 이송체(363)와 일측 수직부(361b) 사이에 개재되는 스프링(364)으로 구성되는 작동부(360)를 통해서 대차(320)에 고정을 하면 비접촉급선장치(100)의 조립은 완료된다.

상기와 같은 상태에서 상기 고정수단(200)에 장착되는 이송수단(300)은 직선 구간에서 롤러(330)가 가이드 레일(230)을 따라 이동하면서 대차(320)의 상면에 수 용되는 반도체 기판이나 액정을 이송하게 되는 것이다.

그리고 상기와 같은 상태에서 고정수단(200)의 곡면 구간을 이송수단(300)이 지나치게 될 경우에는 상기 고정수단(200)의 전기공급선(252)과 이송수단(300)의 유도코일(314)의 간격이 벌어지는데 이때, 상기 작동부(360)에 형성되는 스프링(364)의 탄성력과 이송체(363)에 가해지는 원심력을 더해져 상기 이송체(363)를 외측 방향으로 밀게 되는 것이다.

즉, 상기 스프링(364)은 상기 이송체(363)가 외측 방향으로 이동을 하게 되면 그와 연결된 브라켓(350)과 E형 철심(310)을 탄성과 원심력을 이용하여 동시에 외측으로 이동시킴으로써 상기 고정수단(200)의 전기공급선(252)과 이송수단(300)의 유도코일(314)이 곡선 구간에서 일정한 간격을 가질 수 있게 되는 것이다.

Claims

미세한 먼지나 이물질이 차단되는 클린룸의 내부로 반도체 기판이나 액정과 같은 물품을 이송하기 위하여 장착되는 비접촉전원장치에 있어서,

레일 지지대(210)의 상면으로 가이드 레일(230)이 상부에 구비되는 주행레일 구조체(220)를 양측에 설치하고, 외측 끝단에는 고정바(240)가 소정의 높이를 가지면서 상부 내측에는 두 개의 전기공급선(252)이 형성되는 전류 공급부(250)가 일정한 간격으로 설치되는 고정수단(200)을 구성하고,

상기 두 개의 전기공급선(252) 사이에 유도코일(314)이 개재되는 자기유도형 철심(310)을 상부에 형성하고, 상기 자기유도형 철심(310)의 하부에는 판상의 대차(320)를 형성하며, 상기 대차(320)의 하부에는 상기 가이드 레일(230)을 따라 이동하는 롤러(330)를 양측에 설치하되, 상기 내측 롤러(330a)는 연결바(340)를 통해 대차(320)와 고정되고 외측 롤러(330b)는 상기 자기유도형 철심(310)이 고정되는 브라켓(350)과 연결되면서 외측 롤러(330b)와도 연결되는 작동부(360)를 통해서 대차(320)와 고정되는 이송수단(300)을 형성하여,

상기 고정수단(200)의 전기공급선(252)과 이송수단(300)의 유도코일(314)이 작동부(360)에 의하여 직선 구간이나 곡선 구간에서 일정한 간격을 가질 수 있도록 구성되며,

상기 작동부(360)는,

대차(320)의 하부에 수평부(361a)가 고정결합되고 상기 수평부(361a)의 양 끝단에 수직부(361b)가 고정결합되는 고정지그(361)와,

상기 고정지그(361)의 양측에 형성되는 수직부(361b)에 개재되는 작동봉(362)과,

상기 작동봉(362)을 따라 좌, 우 이동하고 상기 자기유도형 철심(310)이 고정되는 브라켓(350)과 외측 롤러(330b)가 고정되는 이송체(363)와,

상기 이송체(363)와 일측 수직부(361b) 사이에 개재되는 탄성부재(364)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉전원장치.
제 1항에 있어서,

상기 작동부(360)는 상기 대차(320)의 하부 양측에 구비된 것을 특징으로 하는 비접촉전원장치.
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