KR20190001222U - 고주파 트랙케이블을 이용한 무선 전원공급 기반의 대차 이송 시스템 - Google Patents

고주파 트랙케이블을 이용한 무선 전원공급 기반의 대차 이송 시스템 Download PDF

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Abstract

본 고안은 반도체나 OLED 생산라인에서 OHT 장치의 레일에 장착되는 사이드 트랙 버퍼에 전원을 공급하는 기술로서, 반도체나 OLED 생산라인에서 OHT 장치에 무선으로 전원을 공급하는 고주파 트랙케이블을 그대로 활용하여 그 고주파 트랙케이블로부터 전원을 무선으로 공급받고 그 공급받은 전원을 사이드 트랙 버퍼에 탑재된 복수 개의 동작유닛에 제공하는 기술이다. 본 고안에 따르면, OHT 장치에 무선으로 전원을 공급하는 고주파 트랙케이블로부터 무선으로 전원을 공급받아 사이드 트랙 버퍼에 공급함에 있어서 OHT 장치의 기존경로에 따른 이동을 방해하지 않는 장점이 있다.

Description

고주파 트랙케이블을 이용한 무선 전원공급 기반의 대차 이송 시스템 {carriage system based on wireless electric power supply by use of high frequency track cable}
본 고안은 반도체나 OLED 생산라인에서 OHT 장치의 레일에 장착되는 사이드 트랙 버퍼에 전원을 공급하는 기술에 관한 것이다.
더욱 상세하게는, 본 고안은 반도체나 OLED 생산라인에서 OHT 장치에 무선으로 전원을 공급하는 고주파 트랙케이블을 그대로 활용하여 그 고주파 트랙케이블로부터 전원을 무선으로 공급받고 그 공급받은 전원을 사이드 트랙 버퍼에 탑재된 복수 개의 동작유닛에 제공하는 기술이다.
일반적으로 반도체나 OLED의 생산라인에는 대차로서의 OHT(Overhead Hoist Transfer) 장치를 많이 사용하게 된다. 이러한 OHT는 생산라인의 천장에 설치되며 일반적으로 작업자의 접근이 용이하지 않다.
[도 1]은 본 고안에 따른 고주파 트랙케이블을 이용한 무선 전원공급 시스템이 적용될 대차 이송 장치를 도시한 예시도로서, [도 1]에서와 같이, 대차(50)인 OHT가 이동하는 레일로서의 프로파일 지지대(10)에 고주파 트랙케이블(20)이 설치되고 대차(50)에 탑재되는 무선전력전송 장치가 그 고주파 트랙케이블(20)로부터 무선으로 전력을 전달받는다.
이처럼, 무선전력전송 장치가 고주파 트랙케이블(20)로부터 제공받는 전력으로 대차(50)인 OHT가 이동할 수 있게 된다.
한편, 공중에 설치된 프로파일 지지대(10)에 임시 창고인 사이드 트랙 버퍼(40)를 설치하여 화물을 임시 적재하기도 한다. 그런데, 사이드 트랙 버퍼(40)는 공중에 들뜬 상태로 설치되기 때문에 사이드 트랙 버퍼(40)에 전원을 공급하는 것은 어려운 일이다. 그 결과, 각종 센서나 간단한 전기장치를 사이드 트랙 버퍼(40)에 탑재할 수 없다는 문제가 있다.
여기서, 사이드 트랙 버퍼(40)에 상용되는 전원을 제공하기 위해서는 [도 1]과 같은 기존 생산라인에 사이드 트랙 버퍼(40)의 전원 공급을 위한 추가 설비 공사를 해야 하므로 과대한 비용이 발생하는 문제가 있다.
본 고안은 상기한 점을 감안하여 제안된 것으로, 본 고안의 목적은 OHT 장치와 사이드 트랙 버퍼가 구비되는 반도체나 OLED 생산라인에서 별도의 과다한 설비 추가 없이 OHT 장치에 무선으로 전원을 공급하는 고주파 트랙케이블로부터 무선으로 전원을 공급받아 사이드 트랙 버퍼에 공급하는 기술을 제공함에 있다.
또한, 본 고안의 목적은 OHT 장치에 무선으로 전원을 공급하는 고주파 트랙케이블로부터 무선으로 전원을 공급받아 사이드 트랙 버퍼에 공급함에 있어서 기존 OHT 장치의 움직임을 그대로 유지하도록 하는 기술을 제공함에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 OHT 장치의 레일에 공중에 뜬 상태로 장착되는 사이드 트랙 버퍼에 전원을 공급하기 위한 고주파 트랙케이블을 이용한 무선 전원공급 기반의 대차 이송 시스템을 제공한다.
이를 위해, 본 고안에 따른 고주파 트랙케이블을 이용한 무선 전원공급 기반의 대차 이송 시스템은, 생산라인의 천장에 공중에 뜬 상태로 미리 설정된 방향으로 배치되어 공중에 떠서 이동하는 대차(50)의 이동을 가이드하기 위한 레일로서 기능하는 프로파일 지지대(10); 프로파일 지지대(10)의 길이 방향을 따라 공중에 뜬 상태로 나란하게 인접 배치되어 프로파일 지지대(10)를 따라 이동하는 대차(50)에 대해 무선으로 전력을 공급하기 위한 고주파 전류가 흐르는 고주파 트랙케이블(20); 일면이 개방되고 얇고 긴 납작한 박스 형태로 이루어지고 프로파일 지지대(10)와 고주파 트랙케이블(20) 사이에 길이 방향을 따라 배치되며, 그 납작한 박스의 짧은 일측부가 프로파일 지지대(10)의 측벽에 연결되고, 그 납작한 박스의 짧은 타측부에 브라켓(31)이 돌출 형성되어 고주파 트랙케이블(20)을 그립하는 케이블 홀더(30); 일면이 개방된 속이 빈 하우징 형태로 구성되어 자신의 내측에 복수 개의 동작유닛이 탑재되고 고주파 트랙케이블(20)에 대향하는 프로파일 지지대(10)의 측부에 천장에 공중에 뜬 상태로 하나 이상 배치되는 사이드 트랙 버퍼(40); 케이블 홀더(30)의 그 개방된 면을 통해 케이블 홀더의 얇고 긴 납작한 박스 안으로 미끄러져 들어갈 수 있도록 좁고 긴 플레이트 형태로 구성된 한 쌍의 서로 대향하는 상판부(113) 및 하판부(114)와, 상판부(113) 및 하판부(114)의 길이 방향을 따라 길게 배치되고 높이가 낮으며 상판부(113) 및 하판부(114)보다 좁은 면적을 갖는 납작한 플레이트 형태인 커플러 코어부(111)와, 커플러 코어부(111)의 측벽 둘레를 따라 복수 회차 감긴 상태로 배치된 도선부(112)를 구비하여 구성되고, 커플러 코어부(111)와 도선부(112)와 상판부(113)와 하판부(114)가 형성하는 납작하고 길다란 플레이트 형태로 이루어져 케이블 홀더(30)의 그 개방된 면을 통해 케이블 홀더(30)의 얇고 긴 납작한 박스 내측에 프로파일 지지대(10)의 길이 방향으로 끼워지고, 케이블 홀더(30)의 브라켓(31)에 그립되어 있는 고주파 트랙케이블(20)의 고주파 전류에 대응하여 도선부(112)가 생성하는 유도전류에 의해 교류전원을 생성하는 마그네틱 커플러(110); 마그네틱 커플러(110)에서 생성된 교류전원을 사이드 트랙 버퍼(40)로 통전하여 끌어오는 유도케이블(130); 사이드 트랙 버퍼(40)에 탑재되고, 유도케이블(130)에 통전되어 마그네틱 커플러(110)로부터 교류전원을 제공받아 미리 설정된 타겟 전압의 직류전원으로 전환하여 사이드 트랙 버퍼(40)에 탑재된 동작유닛에 직류전원을 제공하는 레귤레이터(120);을 포함하여 구성된다.
이때, 마그네틱 커플러(110)는 케이블 홀더(30)의 길이 방향을 따라 복수 개 배치되고, 복수 개의 마그네틱 커플러(110)에 대응하여 레귤레이터(120)가 각각 구비되어 구성될 수 있다.
또한, 레귤레이터(120)는, 마그네틱 커플러(110)부터 제공받은 교류전원을 그 목적하는 전압의 직류전원으로 전환시키는 파워컨버터;를 포함하여 구성될 수 있다.
본 고안은 고주파 트랙케이블로부터 무선으로 전원을 공급받아 사이드 트랙 버퍼에 제공하는 무선 전원공급 시스템을 구비함으로써 기존 OHT 장치와 사이드 트랙 버퍼가 구비되는 반도체나 OLED 생산라인에서 사이드 트랙 버퍼의 전원 공급을 위한 별도의 과다한 설비를 추가할 필요가 없다는 장점을 나타낸다.
또한, 본 고안은 OHT 장치에 무선으로 전원을 공급하는 고주파 트랙케이블로부터 무선으로 전원을 공급받아 사이드 트랙 버퍼에 공급함에 있어서 OHT 장치의 기존경로에 따른 이동을 방해하지 않는 장점도 나타낸다.
[도 1]은 본 고안에 따른 무선 전원공급 기술이 적용될 대차 이송 장치를 도시한 예시도.
[도 2]는 본 고안에 따른 고주파 트랙케이블을 이용한 무선 전원공급 시스템이 설치된 상태를 도시한 예시도.
[도 3]은 고주파 트랙케이블에서 발생하는 자기력선을 개념적으로 도시한 예시도.
[도 4]는 본 고안에 따른 마그네틱 커플러를 도시한 분리사시도.
먼저, 도면을 참조하여 본 고안을 상세하게 설명한다.
[도 1]은 본 고안에 따른 무선 전원공급 기술이 적용될 대차 이송 장치의 전체 구성을 도시한 예시도이다.
[도 1]을 참조하면 대차 이송 장치는 프로파일 지지대(10), 고주파 트랙케이블(20), 케이블 홀더(30), 사이드 트랙 버퍼(40), 대차(50)를 포함하여 구성되며, 일반적으로는 반도체나 OLED 생산라인의 천장에 설치되기 때문에 공중에 떠 있는 상태를 유지한다.
상세하게, 프로파일 지지대(10)는 공중에 뜬 상태로 배치되어 공중에 떠서 이동하는 대차(50)를 가이드하도록 [도 1]과 같이 길게 레일로서 배치된다. 여기서, 대차(50)는 대차아암(51)을 통해 프로파일 지지대(10)의 상면에 걸쳐진 상태로 프로파일 지지대(10)의 길이 방향을 따라 이동한다.
이때, 대차(50)는 이송 중에도 지속적으로 외부로부터 전원을 공급받아야 하기 때문에 대차(50)가 이송하는 방향으로 하나이상의 고주파 트랙케이블(20)이 설치된다.
고주파 트랙케이블(20)은 고주파 전류가 흐르는 도선으로서 프로파일 지지대(10)의 길이 방향을 따라 공중에 뜬 상태로 프로파일 지지대(10)에 나란하게 인접 배치되어 프로파일 지지대(10)를 따라 이동하는 대차(50)에 무선으로 전력을 공급한다.
여기서, 대차(50)가 프로파일 지지대(10)를 따라 이송할 때 그 대차(50)에 지속적으로 전원을 공급할 수 있도록 고주파 트랙케이블(20)은 프로파일 지지대(10)와 나란히 배치되어야 한다. 이를 위해, 케이블 홀더(30)가 프로파일 지지대(10)와 고주파 트랙케이블(20) 사이에 배치된다.
상세하게, 케이블 홀더(30)는 [도 1]과 같이 납작한 박스 형태로 이루어져 프로파일 지지대(10)의 길이 방향을 따라 프로파일 지지대(10)와 고주파 트랙케이블(20) 사이에 배치된다.
그리고, 케이블 홀더(30)는 일측부가 프로파일 지지대(10)의 길이 방향을 따라 프로파일 지지대(10)의 측벽에 연결된 상태에서 타측부는 고주파 트랙케이블(20)을 그립한다.
이처럼, 케이블 홀더(30)가 [도 2]에서와 같이 얇고 길게 배치됨으로써 [도 1]에서와 같이 기 설치된 대차(50)가 대차아암(51)을 통해 프로파일 지지대(10)에 걸쳐진 상태로 이동할 수 있게 된다.
한편, 사이드 트랙 버퍼(40)는 복수 개의 동작유닛(41)이 내측에 탑재되고 고주파 트랙케이블(20)에 대향하는 프로파일 지지대(10)의 측부에 하나이상 배치된다.
여기서, 사이드 트랙 버퍼(40)는 복수 개의 동작유닛(41)으로서 각종 센서나 간단한 전기장치가 탑재될 필요가 있는데 사이드 트랙 버퍼(40)도 공중에 들뜬 상태로 설치되기 때문에 사이드 트랙 버퍼(40)에 전원을 공급하는 것은 어려운 일이다.
그 결과, 본 고안은 사이드 트랙 버퍼(40)에 탑재되는 복수 개의 동작유닛(41)에 전원을 공급하는 무선 전원공급 시스템을 구현함에 있어서 과대한 비용이 발생하는 별도의 추가 설비 공사없이 대차 이송 장치에 기 설치된 고주파 트랙케이블(20)로부터 전원을 공급받도록 구현하였다.
이하에서는, 대차 이송 장치에 기 설치된 고주파 트랙케이블(20)로부터 무선으로 전원을 공급받고 그 공급받은 전원을 사이드 트랙 버퍼(40)에 제공하는 고주파 트랙케이블(20)을 이용한 무선 전원공급 시스템에 대해 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
[도 2]는 본 고안에 따른 고주파 트랙케이블을 이용한 무선 전원공급 시스템이 설치된 상태를 도시한 예시도이고, [도 3]은 고주파 트랙케이블(20)에서 발생하는 자기력선을 개념적으로 도시한 예시도이다.
[도 2]를 참조하면, 본 고안은 마그네틱 커플러(110), 레귤레이터(120), 유도케이블(130)을 포함하여 구성된다.
마그네틱 커플러(110)는 [도 2]에서와 같이 케이블 홀더(30)의 내측에 탑재되며 인접하는 고주파 트랙케이블(20)로부터 유기되는 전원을 무선으로 제공받는다. 이때, 케이블 홀더(30)의 일 단부에는 브라켓(31)이 돌출 형성되어 고주파 트랙케이블(20)을 그립한다.
상세하게, 고주파 트랙케이블(20)에 흐르는 고주파 전류에 의해 [도 3]에서와 같이 그 고주파 트랙케이블(20)을 감싸는 방향으로 자속(magnetic flux)이 발생한다. 이렇게 발생한 자속을 감싸는 방향으로 도선을 배치하면 그 도선에 유도전류가 발생한다.
이처럼, [도 3]에서와 같이 고주파 트랙케이블(20)을 감싸는 방향으로 발생하는 자속으로부터 유도전류를 생성하기 위해 케이블 홀더(30)의 내측에 마그네틱 커플러(110)를 구비함으로써 그 마그네틱 커플러(110)가 고주파 트랙케이블(20)에 의해 발생하는 자속으로부터 유도전류를 생성한다.
레귤레이터(120)는 [도 2]에서와 같이 바람직하게는 사이드 트랙 버퍼(40)에 탑재되며 유도케이블(130)을 통해 마그네틱 커플러(110)와 통전되어 마그네틱 커플러(110)로부터 교류전원을 제공받는다.
그리고, 레귤레이터(120)는 마그네틱 커플러(110)로부터 제공받은 교류전원을 미리 설정된 타겟 전압(예: 4V)의 직류전원으로 전환하여 사이드 트랙 버퍼(40)에 탑재된 복수 개의 동작유닛(41)에 제공한다.
여기서, 레귤레이터(120)는 파워컨버터를 구비할 수 있다. 파워컨버터(미도시)는 마그네틱 커플러(110)부터 제공받은 교류전원으로부터 목적하는 전압(예: 4V)으로 전환시킨다.
유도케이블(130)은 [도 2]에서와 같이 일단부가 마그네틱 커플러(110)에 연결되고 타단부는 레귤레이터(120)에 연결되어 마그네틱 커플러(110)가 제공하는 전원을 레귤레이터(120)에 전달한다.
한편, 마그네틱 커플러(110)는 케이블 홀더(30)의 내측에 미끄러지면서 끼워질 수 있도록 [도 2]에서와 같이 케이블 홀더(30)의 납작한 박스 형태에 대응하여 납작한 플레이트 형태로 구성된다.
그 결과, 프로파일 지지대(10)와 고주파 트랙케이블(20) 사이에 배치되는 케이블 홀더(30)에 마그네틱 커플러(110)를 배치하기만 하면 과대한 비용이 발생하는 별도의 추가 설비를 마련할 필요없이 기 설치된 고주파 트랙케이블(20)로부터 무선으로 전력을 공급받을 수 있게 된다.
또한, 마그네틱 커플러(110)를 납작한 플레이트 형태로 구성하여 기 설치된 케이블 홀더(30)의 구성을 변경하지 않은 상태로 그 케이블 홀더(30)에 장착함으로써 대차(50)의 기존경로에 따른 이동을 방해하지 않게 된다.
그리고, 마그네틱 커플러(110)는 케이블 홀더(30)의 길이 방향을 따라 복수 개 배치될 수 있다. 이때, 복수 개의 마그네틱 커플러(110)에 대응하여 레귤레이터(120)가 각각 구비될 수도 있다.
즉, 대차(50)가 이동하는 경로가 길면 그에 대응하여 프로파일 지지대(10), 고주파 트랙케이블(20), 케이블 홀더(30)도 길게 배치될 수 있고, 그에 따라 프로파일 지지대(10)의 측벽에 구비되는 사이트 트랙 버퍼(40)도 복수 개 배치될 수 있다.
[도 4]는 본 고안에 따른 마그네틱 커플러를 도시한 분리사시도이다. [도 4]를 참조하면, 마그네틱 커플러(110)는 납작한 박스 형태의 케이블 홀더(30)에 간편하게 끼워 장착할 수 있도록 커플러 코어부(111), 도선부(112), 상판부(113), 하판부(114)를 포함하여 구성된다.
커플러 코어부(111)는 [도 4]에서와 같이 납작한 플레이트 형태로 이루어지고 케이블 홀더(30)의 길이 방향을 따라 길게 배치된다.
여기서, 커플러 코어부(111)는 자신에 권선된 도선부(112)가 더 많은 전류와 전압을 획득할 수 있도록 바람직하게는 자신의 중앙부에 자성코어(예: Ferrite core)를 삽입할 수 있다.
하지만, 커플러 코어부(111)는 비자성물질(예: POM, 플라스틱)로 이루어진 비자성코어(예: air core)로 이루어질 수도 있다.
도선부(112)는 커플러 코어부(111)의 테두리를 따라 복수 회차 감긴 상태로 배치되어 고주파 트랙케이블(20)의 고주파 전류에 의해 유기되는 자속으로부터 유도전류를 생성한다.
여기서, 도선부(112)는 바람직하게는 고주파 전류가 원활하게 흐를 수 있는 리쯔와이어(Litz wire)를 주로 채용한다.
이때, 상판부(113)는 커플러 코어부(111)의 상면보다 상대적으로 넓은 면적으로 구성되어 커플러 코어부(111)의 상면에 연결되고, 하판부(114)는 커플러 코어부(111)의 하면보다 상대적으로 넓은 면적으로 구성되어 커플러 코어부(111)의 하면에 연결된다.
이처럼, 상판부(113)와 하판부(114)가 커플러 코어부(111)보다 상대적으로 넓은 면적으로 구성됨으로써 커플러 코어부(111)의 측벽에 도선부(112)가 권취될 수 있는 공간을 확보할 수 있다.
10 : 프로파일 지지대
20 : 고주파 트랙케이블
30 : 케이블 홀더
31 : 브라켓
40 : 사이드 트랙 버퍼
41 : 동작유닛
50 : 대차
51 : 대차아암
110 : 마그네틱 커플러
111 : 커플러 코어부
112 : 도선부
113 : 상판부
114 : 하판부
120 : 레귤레이터
130 : 유도케이블

Claims (3)

  1. OHT(Overhead Hoist Transfer) 장치의 레일에 공중에 뜬 상태로 장착되는 사이드 트랙 버퍼에 전원을 공급하기 위한 고주파 트랙케이블을 이용한 무선 전원공급 기반의 대차 이송 시스템으로서,
    생산라인의 천장에 공중에 뜬 상태로 미리 설정된 방향으로 배치되어 공중에 떠서 이동하는 대차(50)의 이동을 가이드하기 위한 레일로서 기능하는 프로파일 지지대(10);
    상기 프로파일 지지대(10)의 길이 방향을 따라 공중에 뜬 상태로 나란하게 인접 배치되어 상기 프로파일 지지대(10)를 따라 이동하는 대차(50)에 대해 무선으로 전력을 공급하기 위한 고주파 전류가 흐르는 고주파 트랙케이블(20);
    일면이 개방되고 얇고 긴 납작한 박스 형태로 이루어지고 상기 프로파일 지지대(10)와 상기 고주파 트랙케이블(20) 사이에 길이 방향을 따라 배치되며, 상기 납작한 박스의 짧은 일측부가 상기 프로파일 지지대(10)의 측벽에 연결되고, 상기 납작한 박스의 짧은 타측부에 브라켓(31)이 돌출 형성되어 상기 고주파 트랙케이블(20)을 그립하는 케이블 홀더(30);
    일면이 개방된 속이 빈 하우징 형태로 구성되어 자신의 내측에 복수 개의 동작유닛이 탑재되고 상기 고주파 트랙케이블(20)에 대향하는 상기 프로파일 지지대(10)의 측부에 천장에 공중에 뜬 상태로 하나 이상 배치되는 사이드 트랙 버퍼(40);
    상기 케이블 홀더(30)의 상기 개방된 면을 통해 상기 케이블 홀더의 얇고 긴 납작한 박스 안으로 미끄러져 들어갈 수 있도록 좁고 긴 플레이트 형태로 구성된 한 쌍의 서로 대향하는 상판부(113) 및 하판부(114)와, 상기 상판부(113) 및 하판부(114)의 길이 방향을 따라 길게 배치되고 높이가 낮으며 상기 상판부(113) 및 하판부(114)보다 좁은 면적을 갖는 납작한 플레이트 형태인 커플러 코어부(111)와, 상기 커플러 코어부(111)의 측벽 둘레를 따라 복수 회차 감긴 상태로 배치된 도선부(112)를 구비하여 구성되고, 상기 커플러 코어부(111)와 상기 도선부(112)와 상기 상판부(113)와 상기 하판부(114)가 형성하는 납작하고 길다란 플레이트 형태로 이루어져 상기 케이블 홀더(30)의 상기 개방된 면을 통해 상기 케이블 홀더(30)의 얇고 긴 납작한 박스 내측에 상기 프로파일 지지대(10)의 길이 방향으로 끼워지고, 상기 케이블 홀더(30)의 상기 브라켓(31)에 그립되어 있는 상기 고주파 트랙케이블(20)의 고주파 전류에 대응하여 상기 도선부(112)가 생성하는 유도전류에 의해 교류전원을 생성하는 마그네틱 커플러(110);
    상기 마그네틱 커플러(110)에서 생성된 상기 교류전원을 상기 사이드 트랙 버퍼(40)로 통전하여 끌어오는 유도케이블(130);
    상기 사이드 트랙 버퍼(40)에 탑재되고, 상기 유도케이블(130)에 통전되어 상기 마그네틱 커플러(110)로부터 교류전원을 제공받아 미리 설정된 타겟 전압의 직류전원으로 전환하여 상기 사이드 트랙 버퍼(40)에 탑재된 상기 동작유닛에 직류전원을 제공하는 레귤레이터(120);
    을 포함하여 구성되는 고주파 트랙케이블을 이용한 무선 전원공급 기반의 대차 이송 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 마그네틱 커플러(110)는 상기 케이블 홀더(30)의 길이 방향을 따라 복수 개 배치되고, 상기 복수 개의 마그네틱 커플러(110)에 대응하여 상기 레귤레이터(120)가 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 고주파 트랙케이블을 이용한 무선 전원공급 기반의 대차 이송 시스템.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 레귤레이터(120)는,
    상기 마그네틱 커플러(110)부터 제공받은 교류전원을 그 목적하는 전압의 직류전원으로 전환시키는 파워컨버터;
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고주파 트랙케이블을 이용한 무선 전원공급 기반의 대차 이송 시스템.
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