KR100874926B1 - 스택 모듈, 이를 포함하는 카드 및 이를 포함하는 시스템 - Google Patents

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Abstract

제조 비용을 감소시키고, 공정 상의 어려움을 제거하여 신뢰성을 높일 수 있는 스택 모듈, 이를 이용하는 카드, 및 이를 이용하는 시스템이 제공된다. 스택 모듈에서, N개의 단위 기판들은 각각 선택 터미널을 갖고, 서로 적층된다. 제 1 선택 라인들은 상기 N개의 단위 기판들 가운데 홀수층에 배치된 제 1 단위 기판들 각각의 상기 선택 터미널에 전기적으로 연결되고, 상기 N개의 단위 기판들의 일부를 관통하여 상기 N개의 단위 기판들의 최하부로 신장된다. 제 2 선택 라인들은 상기 N개의 단위 기판들 가운데 짝수층에 배치된 제 2 단위 기판들 각각의 상기 선택 터미널에 연결되고, 상기 N개의 단위 기판들의 일부를 관통하여 상기 N개의 단위 기판들의 최하부로 신장된다. 그리고, 상기 제 1 선택 라인들과 상기 제 2 선택 라인들은 상기 선택 터미널을 기준으로 서로 반대 방향에 배치된다.

Description

스택 모듈, 이를 포함하는 카드 및 이를 포함하는 시스템 {Stacked Module, and Card and System including the same}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스택 모듈을 보여주는 단면도이고;
도 2는 도 1의 스택 모듈에서 홀수층에 배치된 제 1 단위 모듈의 일 예를 보여주는 사시도이고;
도 3은 도 1의 스택 모듈에서 짝수층에 배치된 제 2 단위 모듈의 일 예를 보여주는 사시도이고;
도 4는 도 1의 변형된 예에 따른 스택 모듈을 보여주는 단면도이고;
도 5는 도 1의 다른 변형된 예에 따른 스택 모듈을 보여주는 단면도이고;
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 스택 모듈을 보여주는 단면도이고;
도 7은 도 6의 스택 모듈에서 홀수층에 배치된 제 1 단위 모듈의 일 예를 보여주는 사시도이고;
도 8은 도 6의 스택 모듈에서 짝수층에 배치된 제 2 단위 모듈의 일 예를 보여주는 사시도이고;
도 9는 도 6의 변형된 예에 따른 스택 모듈을 보여주는 단면도이고;
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 카드를 보여주는 개략도이고; 그리고
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 시스템을 보여주는 블록도이다.
<도면의 주요 부호에 대한 간략한 설명>
100, 100a, 100b, 200, 200a...스택 모듈
S1, S3...제 1 선택 라인 S2, S4...제 2 선택 라인
IO1, IO2...입출력 라인 105a, 205a...제 1 단위 모듈
105b, 205b...제 2 단위 모듈 110a, 210a...제 1 단위 기판
110b, 210b...제 2 단위 기판 120...선택 터미널
125...선택 패드 130...입출력 터미널
135a, 235a...제 1 관통 전극 135b, 235b...제 2 관통 전극
140a, 240a...제 3 관통 전극 140b, 240b...제 4 관통 전극
145a, 245a...제 1 재배선층 145b, 245b...제 2 재배선층
150a, 250a...제 3 재배선층 150b, 250b...제 4 재배선층
180, 280...패키지 기판 185, 285...도전성 범프
300...카드 400...시스템
본 발명은 반도체 소자에 관한 것으로서, 특히 단위 기판들이 적층된 스택 모듈, 이를 이용한 카드 및 이를 이용한 시스템에 관한 것이다.
반도체 제품의 고집적화 요구에 따라서, 복수의 반도체 패키지들 또는 복수의 반도체 칩들이 적층된 스택 구조가 이용될 수 있다. 이러한 스택 구조에서, 복 수의 반도체 패키지들 또는 복수의 반도체 칩들은 전기적으로 연결되고, 따라서 외부 단자를 이용하여 선택적으로 또는 공통적으로 접근할 수 있다.
예를 들어, 일본공개특허 2001-024151호는 복수의 칩들이 적층된 반도체 장치에 대해서 개시하고 있다. 복수의 칩들은 표면 선택 패드, 이면 선택 패드 및 비어를 통해서 연결될 수 있다.
다른 예로, 일본공개특허 평6-342874호는 적층 패키지에 대해서 개시하고 있다. 복수의 패키지들은 적층되고, 그 표면 배선과 이면 배선을 2 피치(pitch) 간격으로 어긋나게 하여 서로 연결될 수 있다.
하지만, 전술한 스택 구조에서, 반도체 칩의 양면에 패드 또는 배선을 형성하는 것은 매우 어렵고, 많은 추가 비용을 요한다. 특히 반도체 칩에 휨이 발생하는 경우, 표면 패드와 이면 패드의 연결 신뢰성이 감소할 수 있다. 또한, 표면 배선과 이면 배선을 어긋나게 하기 위해서 반도체 패키지들 내부에 비스듬한 형태의 비어를 형성하는 것은 공정 상의 어려움을 야기할 수 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 제조 비용을 감소시키고, 공정 상의 어려움을 제거하여 신뢰성을 높일 수 있는 스택 모듈을 제공하는 데 있다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는, 이러한 스택 모듈을 이용한 카드 및 시스템을 제공하는 데 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 형태에 따른 스택 모듈이 제공된다. N개의 단위 기판들은 각각 선택 터미널을 갖고, 서로 적층된다. 제 1 선택 라인들은 상기 N개의 단위 기판들 가운데 홀수층에 배치된 제 1 단위 기판들 각각의 상기 선택 터미널에 전기적으로 연결되고, 상기 N개의 단위 기판들의 일부를 관통하여 상기 N개의 단위 기판들의 최하부로 신장된다. 제 2 선택 라인들은 상기 N개의 단위 기판들 가운데 짝수층에 배치된 제 2 단위 기판들 각각의 상기 선택 터미널에 연결되고, 상기 N개의 단위 기판들의 일부를 관통하여 상기 N개의 단위 기판들의 최하부로 신장된다. 그리고, 상기 제 1 선택 라인들과 상기 제 2 선택 라인들은 상기 선택 터미널을 기준으로 서로 반대 방향에 배치된다.
상기 본 발명에 따른 스택 모듈이 일 예에 있어서, 상기 제 1 선택 라인들 및 상기 제 2 선택 라인들은 상기 선택 터미널로부터 시작하여 서로 반대 방향으로 계단식으로 신장할 수 있다.
상기 본 발명에 따른 스택 모듈이 다른 예에 있어서, N개 이상의 제 1 관통 전극들은 상기 제 1 단위 기판들을 관통하고, 상기 제 1 단위 기판들 각각의 상기 선택 터미널의 양쪽에 배치될 수 있다. N개 이상의 제 1 재배선층들은 상기 제 1 관통 전극들에 연결되고, 상기 선택 터미널 방향으로 각각 신장될 수 있다. N개 이상의 제 2 관통 전극들은 상기 제 2 단위 기판들을 관통하고, 상기 제 2 단위 기판들 각각의 상기 선택 터미널의 양쪽에 각각 배치될 수 있다. N개 이상의 제 2 재배선층들은 상기 제 2 관통 전극들에 연결되고, 상기 제 2 단위 기판들 각각의 상기 선택 터미널 방향으로 각각 신장될 수 있다. 그리고, 상기 제 1 선택 라인들 및 상기 제 2 선택 라인들은 상기 제 1 관통 전극들, 및 상기 제 2 관통 전극들, 상기 1 재배선층들 및 상기 제 2 재배선층들의 일부가 서로 연결된 것일 수 있다.
상기 본 발명에 따른 스택 모듈의 또 다른 예에 있어서, 상기 제 1 단위 기판들 및 상기 제 2 단위 기판들은 서로 단부가 정렬되고, 상기 제 2 관통 전극들은 상기 제 1 관통 전극들과 엇갈리게 상기 제 2 단위 기판들 내에 배치될 수 있다.
상기 본 발명에 따른 스택 모듈의 또 다른 예에 있어서, 상기 제 1 관통 전극들 및 상기 제 2 관통 전극들은 상기 제 1 단위 기판들 및 상기 제 2 단위 기판들 내의 서로 동일한 위치에 배치되고, 상기 제 1 단위 기판 및 상기 제 2 단위 기판은 그 단부가 서로 엇갈리게 적층될 수 있다.
상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 형태에 따른 카드가 제공된다. 메모리는 상기 스택 모듈의 어느 하나로 구성될 수 있다. 그리고, 제어기는 상기 메모리를 제어하고, 상기 메모리와 데이터를 주고받는다.
상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 형태에 따른 시스템이 제공된다. 메모리는 상기 스택 모듈의 어느 하나로 구성된다. 그리고, 프로세서는 상기 메모리와 버스를 통해서 통신한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명함으로써 본 발명을 상세하게 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면에서 구성 요소들은 설명의 편의를 위 하여 그 크기가 과장될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스택 모듈(100)을 보여주는 단면도이다.
도 1을 참조하면, 스택 모듈(100)은 제 1 단위 모듈들(105a) 및 제 2 단위 모듈들(105b)의 적층 구조를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제 1 단위 모듈들(105a)은 홀수층에 배치되고, 제 2 단위 모듈들(105b)은 짝수층에 배치될 수 있다. 제 1 단위 모듈들(105a)은 제 1 단위 기판들(110a) 및 그 배선 구조를 포함하고, 제 2 단위 모듈들(105b)은 제 2 단위 기판들(110b) 및 그 배선 구조를 포함할 수 있다.
제 1 단위 기판들(110a) 및 제 2 단위 기판들(110b)은 교대로 적층될 수 있다. 예를 들어, 제 1 단위 기판들(110a)은 홀수층에 배치되고, 제 2 단위 기판들(110b)은 짝수층에 배치될 수 있다. 다른 예로, 도 1과 달리, 제 1 단위 기판들(110a)이 짝수층에 배치되고, 제 2 단위 기판들(110b)이 홀수층에 배치될 수도 있다. 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b)의 수는 적절하게 선택될 수 있고, 본 발명의 범위를 제한하지 않는다. 따라서, 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b)의 총 개수는 임의의 자연수인 N개로 확장될 수 있다.
제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b) 각각은 선택 터미널(120)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 선택 터미널(120)은 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b) 각각의 내부 회로에 연결되고, 따라서 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b) 가운데 하나 이상을 선택하기 위해서 이용될 수 있다. 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b)은 하나 이상의 입출력 터미널들(130)을 더 포함할 수 있다. 입출력 터미널들(130)은 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b)에 공통적으로 데이터를 주고받을 때 이용할 수 있다.
예를 들어, 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b)은 반도체 칩을 각각 포함할 수 있다. 이 경우, 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b)은 내부 회로를 구성하는 반도체 소자가 형성된 반도체 기판의 일부를 지칭할 수 있다. 하나의 반도체 칩은 반도체 기판으로부터 분리된 하나의 다이에 해당할 수 있다. 반도체 소자는 메모리 소자 도는 로직 소자를 포함할 수 있다. 다른 예로, 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b)은 반도체 소자가 탑재된 인쇄회로기판을 가리킬 수도 있다.
제 1 선택 라인들(S1, S3), 제 2 선택 라인들(S2, S4) 및/또는 하나 이상의 입출력 라인들(IO1, IO2)은 제 1 단위 모듈(105a) 및 제 2 단위 모듈(105b)의 배선 구조를 형성할 수 있다. 하지만, 이러한 배선 구조는 예시적으로 제공되었고, 본 발명의 범위는 이러한 예에 제한되지 않는다.
제 1 선택 라인들(S1, S3)은 제 1 단위 기판들(110a) 각각의 선택 터미널(120)에 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 제 1 선택 라인들(S1, S3)은 선택 터미널(120)로부터 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b)의 일부를 관통하여 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b)의 최하부로 신장될 수 있다. 제 1 선택 라인들(S1, S3)은 제 1 단위 기판들(110a)을 선택하기 위해서 이용될 수 있다. 예를 들어, 하나의 제 1 선택 라인(S1)을 이용해서, 제 1 층에 적층된 제 1 단위 기판(110a)에 접근할 수 있다. 다른 예로, 다른 하나의 제 1 선택 라인(S3)을 이용해서, 제 3 층에 적층된 제 1 단위 기판(110a)에 접근할 수 있다.
제 2 선택 라인들(S2, S4)은 제 2 단위 기판들(110b) 각각의 선택 터미 널(120)에 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 제 2 선택 라인들(S2, S4)은 선택 터미널(120)로부터 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b)의 일부를 관통하여 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b)의 최하부로 신장될 수 있다. 제 2 선택 라인들(S2, S4)은 제 2 단위 기판들(110b)을 선택하기 위해서 각각 이용될 수 있다. 예를 들어, 하나의 제 2 선택 라인(S2)을 이용해서, 제 2 층에 적층된 제 2 단위 기판(110b)에 접근할 수 있다. 다른 예로, 다른 하나의 제 2 선택 라인(S4)을 이용해서, 제 4 층에 적층된 제 2 단위 기판(110b)에 접근할 수 있다.
제 1 선택 라인들(S1, S3) 및 제 2 선택 라인들(S2, S4)은 선택 터미널(120)을 기준으로 서로 반대 방향에 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 1에 도시된 바와 같이, 제 1 선택 라인들(S1, S3)은 선택 터미널(120)의 좌측에 배치되고, 제 2 선택 라인들(S2, S4)은 선택 터미널(120)의 우측에 배치될 수 있다. 다른 예로, 도 1과 달리 제 1 단위 기판들(110a) 및 제 2 단위 기판들(110b)의 위치가 뒤바뀌면, 제 1 선택 라인들(S1, S3)이 우측에 배치되고 제 2 선택 라인들(S2, S4)이 좌측에 배치될 수도 있다.
예를 들어, 제 1 선택 라인들(S1, S3) 및 제 2 선택 라인들(S2, S4)은 선택 터미널들(120)로부터 시작하여 서로 반대 방향으로 계단식으로 신장할 수 있다. 제 1 선택 라인들(S1, S3) 및 제 2 선택 라인들(S2, S4)은 선택 터미널들(120)로부터 시작해서 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b)의 아래로 내려올수록 계단 형태로 선택 터미널들(120)로부터 멀어질 수 있다. 예를 들어, 제 1 선택 라인들(S1, S3) 및 제 2 선택 라인들(S2, S4)은 제 1 단위 기판들(110a) 및 제 2 단위 기판 들(110b)에 수평한 부분과 이들에 수직한 부분을 포함할 수 있다. 따라서, 선택 터미널들(120)의 높이가 높아질수록 또는 그 아래에 배치된 제 1 단위 기판들(110a) 및 제 2 단위 기판들(110b)의 수가 늘어날수록, 이에 연결되는 제 1 선택 라인들(S1, S3) 또는 제 2 선택 라인들(S2, S4)의 단부는 선택 터미널들(120)로부터 멀리 배치될 수 있다.
이 실시예의 다른 형태에 따르면, 제 1 선택 라인들(S1, S3) 및 제 2 선택 라인들(S2, S4)은 선택 터미널들(120) 가운데 둘 이상에 공유될 수도 있다. 이 경우, 제 1 선택 라인들(S1, S3) 또는 제 2 선택 라인들(S2, S4)의 수는 제 1 단위 기판들(110a) 또는 제 2 단위 기판들(110b)의 수보다 적을 수도 있다. 이에 따라, 제 1 선택 라인들(S1, S3) 가운데 어느 하나를 선택하여 제 1 단위 기판들(110a)에 동시에 접근하거나, 또는 제 2 선택 라인들(S2, S4) 가운데 어느 하나를 선택하여 제 2 단위 기판들(110b)에 동시에 접근할 수 있다. 이 경우, 제 1 단위 기판들(110a) 또는 제 2 단위 기판들(110b)은 동일 제품일 것이 요구될 수 있다.
입출력 라인들(IO1, IO2)은 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b)의 입출력 터미널들(130)에 공통으로 연결될 수 있다. 입출력 라인들(IO1, IO2)은 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b)에 공유될 수 있다.
스택 모듈(100)에서, 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b)은 그 단부가 서로 정렬될 수 있다. 예를 들어, 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b)이 동일한 형태의 반도체 칩을 포함하는 경우, 선택 터미널들(120)은 동일한 라인을 따라서 배치될 수 있다. 나아가, 제 1 선택 라인들(S1, S3) 및 제 2 선택 라인들(S2, S4) 의 제 1 단위 기판들(110a) 및 제 2 단위 기판들(110b)을 관통하는 부분, 즉 수직 부분이 동일 선상에 상하로 정렬될 수 있다.
이 실시예에 따른 스택 모듈(100)에 따르면, 2가지 타입의 배선 구조만 이용하여 스택 구조를 형성할 수 있다. 예를 들어, 제 1 단위 모듈들(105a)은 서로 동일한 하나의 배선 구조를 갖고, 제 2 단위 모듈들(105b)은 서로 동일한 다른 배선 구조를 가질 수 있다. 따라서, 제 1 단위 모듈들(105a) 및 제 2 단위 모듈들(105b)의 배선 구조를 층에 따라서 모두 달리하는 경우에 비해서, 제조 비용을 크게 줄일 수 있다.
도 2는 도 1의 스택 모듈에서 홀수층에 배치된 제 1 단위 모듈(105a)의 일 예를 보여주는 사시도이고, 도 3은 도 1의 스택 모듈에서 짝수층에 배치된 제 2 단위 모듈(105b)의 일 예를 보여주는 사시도이다.
도 2를 참조하면, 선택 패드들(125)은 선택 터미널(120)의 양쪽의 제 1 단위 기판(110a)에 배치될 수 있다. 선택 터미널(120)은 제 1 단위 기판(110a) 의 내부 회로에 연결된 반면, 선택 패드들(125)은 내부 회로에 연결되지 않을 수도 있다. 제 1 관통 전극들(135a)은 제 1 단위 기판(110a)을 관통하고 선택 터미널(120)의 양쪽에 배치될 수 있다. 예를 들어 제 1 관통 전극들(135a)은 선택 패드들(125)의 일부를 관통할 수 있고, 이 경우 선택 패드들(125)의 일부는 제 1 관통 전극들(135a)이 배치될 자리를 나타낼 수 있다.
제 1 관통 전극들(135a)은 스택 구조(100)에서 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b)의 적층 개수와 같거나 많을 수 있다. 따라서, 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b)이 N개인 경우, 제 1 관통 전극들(135a)의 수는 적어도 N개 이상일 수 있다. 예를 들어, 선택 패드들(125)의 수는 제 1 관통 전극들(135a)의 수의 2배일 수 있고, 따라서 2N개일 수 있다.
예를 들어, N이 짝수인 경우, 제 1 관통 전극들(135a)은 선택 터미널(120)의 양쪽에 각각 N/2개씩 배치될 수 있다. 다른 예로, N이 홀수인 경우, 제 1 관통 전극들(135a)은 선택 터미널(120)의 양쪽에 각각 (N+1)/2개씩 배치될 수 있다. 하지만, 본 발명의 범위는 이러한 예들에 국한되지 않는다. 따라서, 선택 터미널(120)의 양쪽에 반드시 같은 수의 제 1 관통 전극들(135a)이 배치될 필요는 없다.
제 1 재배선층들(145a)은 제 1 관통 전극들(135a)에 전기적으로 연결되도록 제 1 단위 기판들(110a) 상에 배치될 수 있다. 이 실시예의 변형된 형태에서, 제 1 재배선층들(145a)은 제 1 단위 기판들(110a) 아래에 배치될 수도 있다. 예를 들어, 제 1 재배선층들(145a)은 제 1 관통 전극들(135a)로부터 선택 터미널(120) 방향으로 소정 거리만큼 신장될 수 있다. 따라서, 선택 터미널(120)의 좌측에서 제 1 재배선층들(145a)은 제 1 관통 전극들(135a)로부터 우측으로 신장하고, 선택 터미널(120)의 우측에서 제 1 재배선층들(145a)은 제 1 관통 전극들(135a)로부터 좌측으로 신장될 수 있다.
제 1 재배선층들(145a)의 수는 제 1 관통 전극들(135a)의 수와 같을 수 있고, 따라서 적어도 N개 이상일 수 있다. 예를 들어, 제 1 재배선층들(145a) 가운데 선택 터미널(120)의 좌측 첫 번째는 선택 터미널(120)과 직접 접촉될 수 있다.
제 3 관통 전극들(140a)은 제 1 단위 기판들(110a)을 관통하여 입출력 터미 널들(130)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 제 3 재배선층들(150a)은 제 3 관통 전극들(140a)과 입출력 터미널들(130)을 연결하도록 제 1 단위 기판들(110a) 상에 배치될 수 있다.
도 3을 참조하면, 제 2 관통 전극들(135b) 각각은 제 1 관통 전극들(135a)의 인접한 둘 사이에 배치될 수 있다. 따라서, 제 1 관통 전극들(135a) 및 제 2 관통 전극들(135b)은 서로 엇갈리게 배치될 수 있다. 예를 들어, 제 1 관통 전극들(135a)은 선택 패드들(125)의 하나 건너서 하나씩 배치되고, 제 2 관통 전극들(135b)은 제 1 관통 전극들(135a) 사이의 선택 패드들(125)에 배치될 수 있다. 이 경우, 제 2 관통 전극들(135b)은 제 1 관통 전극들(135a)의 중앙에 배치되고, 제 1 관통 전극들(135a)의 피치의 1/2만큼 이동되어 배치될 수 있다.
제 2 관통 전극들(135b)의 수는 제 1 관통 전극들(135a)의 수와 같을 수 있다. 따라서, 제 2 관통 전극들(135b)의 수는 적어도 N개 이상일 수 있다. 예를 들어, N이 짝수인 경우, 제 2 관통 전극들(135b)은 선택 터미널(120)의 양쪽에 각각 N/2개씩 배치될 수 있다. 다른 예로, N이 홀수인 경우, 제 2 관통 전극들(135b)은 선택 터미널(120)의 양쪽에 각각 (N+1)/2개씩 배치될 수 있다. 하지만, 본 발명의 범위는 이러한 예들에 국한되지 않는다. 따라서, 선택 터미널(120)의 양쪽에 반드시 같은 수의 제 2 관통 전극들(135b)이 배치될 필요는 없다.
제 2 재배선층들(145b)은 제 2 관통 전극들(135b)에 전기적으로 연결되도록 제 2 단위 기판들(110b) 상에 배치될 수 있다. 이 실시예의 변형된 형태에서, 제 2 재배선층들(145b)은 제 2 단위 기판들(110b) 아래에 배치될 수도 있다. 예를 들어, 제 2 재배선층들(145b)은 제 2 관통 전극들(135b)로부터 선택 터미널(120) 방향으로 소정 거리만큼 신장될 수 있다. 따라서, 선택 터미널(120)의 좌측에서 제 2 재배선층들(145b)은 제 2 관통 전극들(135b)로부터 우측으로 신장하고, 선택 터미널(120)의 우측에서 제 2 재배선층들(145b)은 제 2 관통 전극들(135b)로부터 좌측으로 신장될 수 있다.
제 2 배선층들(145b)의 수는 제 2 관통 전극들(135b)의 수와 같을 수 있고, 따라서 적어도 N개 이상일 수 있다. 예를 들어, 제 2 재배선층들(145b) 가운데 선택 터미널(120)의 우측 첫 번째는 선택 터미널(120)과 직접 접촉될 수 있다.
제 4 관통 전극들(140b)은 제 2 단위 기판들(110b)을 관통하여 입출력 터미널들(130)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 제 4 재배선층들(150b)은 제 4 관통 전극들(140b)과 입출력 터미널들(130)을 연결하도록 제 2 단위 기판들(110b) 상에 배치될 수 있다. 제 3 관통 전극들(140a) 및 제 4 관통 전극들(140b)은 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b)에서 서로 동일한 위치에 배치될 수 있고, 서로 동일한 구조를 가질 수 있다. 유사하게, 제 3 재배선층들(150a) 및 제 4 재배선층들(150b)은 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b) 상에 서로 동일한 위치에 배치되고, 서로 동일한 구조를 가질 수 있다.
도 1 내지 도 3을 같이 참조하면, 제 1 단위 모듈(105a)의 2개 및 제 2 단위 모듈(105b)의 2개를 교대로 적층하여, 스택 모듈(100)을 형성할 수 있다. 이에 따르면, 하나의 제 1 선택 라인(S1)은 제 1 관통 전극(135a) 및 제 1 재배선층(145a)의 연결 구조를 포함할 수 있다. 다른 하나의 제 1 선택 라인(S3)은 제 1 관통 전 극(135a), 제 1 재배선층(145a), 제 2 관통 전극(135b), 제 2 재배선층(145b), 제 1 관통 전극(135a) 및 제 1 재배선층(145a)의 연결 구조를 포함할 수 있다.
하나의 제 2 선택 라인(S2)은 제 1 관통 전극(135a), 제 1 재배선층(145a), 제 2 관통 전극(135b) 및 제 2 재배선층(145b)의 연결 구조를 포함할 수 있다. 다른 제 2 선택 라인(S4)은 제 1 관통 전극(135a), 제 1 재배선층(145a), 제 2 관통 전극(135b), 제 2 재배선층(145b), 제 1 관통 전극(135a), 제 1 재배선층(145a), 제 2 관통 전극(135b) 및 제 2 재배선층(145b)의 연결 구조를 포함할 수 있다.
입출력 라인들(IO1, IO2)은 제 3 관통 전극들(140a), 제 3 재배선층들(150a), 제 4 관통 전극들(140b) 및 제 4 재배선층들(150b)의 반복적인 연결 구조를 포함할 수 있다. 입출력 라인들(IO1, IO2)은 제 3 관통 전극들(140a) 및 제 4 관통 전극들(140b)의 수직 연결 구조를 포함할 수 있다.
이 실시예의 스택 모듈(100)에 따르면, 제 1 및 제 2 재배선층들(145a, 145b)은 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b)의 한 면에만 (상부에 또는 하부에) 형성될 수 있다. 이러한 구조는, 일본공개특허 2001-024151호의 표면 선택 패드 및 이면 선택 패드와 비교되고, 일본공개특허 평6-342874호에서 표면 배선과 이면 배선에 비교될 수 있다. 따라서, 스택 모듈(100)의 제조 비용을 줄이고, 그 제조 공정도 단순화 할 수 있다. 나아가, 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b)의 휨에도, 제 1 선택 라인들(S1, S3) 및 제 2 선택 라인들(S2, S4)의 연결 신뢰성을 높일 수 있다.
도 4는 도 1의 변형된 예에 따른 스택 모듈(100a)을 보여주는 단면도이다.
도 4를 참조하면, 입출력 라인들(IO1', IO2')은 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b) 및 입출력 터미널들(130)을 바로 수직으로 관통할 수 있다. 예를 들어, 도 2 및 도 3에서, 제 3 관통 전극(140a) 및 제 4 관통 전극(140b)이 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b) 및 입출력 터미널들(130)을 바로 관통하도록 변경할 수 있다. 따라서, 스택 모듈(100a)에서, 입출력 라인들(IO1', IO2')은 도 1의 스택 모듈(100)에서보다 단순화 될 수 있다.
도 5는 도 1의 다른 변형된 스택 모듈(100b)을 보여주는 단면도이다.
도 5를 참조하면, 도 1의 스택 모듈(100)이 패키지 기판(180) 상에 탑재될 수 있다. 제 1 선택 라인들(S1, S3), 제 2 선택 라인들(S2, S4) 및 입출력 라인들(IO1, IO2)은 패키지 기판(180)의 회로와 연결될 수 있다. 패키지 기판(180)의 아래에는 복수의 도전성 범프들(185)이 배치될 수 있다. 예를 들어, 패키지 기판(180)은 인쇄회로기판을 포함할 수 있다. 도전성 범프들(185)은 스택 모듈(100b)의 외부 터미널이 될 수 있고, 예컨대 솔더 볼을 포함할 수 있다.
스택 모듈(100b)에서 도 1의 스택 모듈(100)은 도 4의 스택 모듈(100a)로 대체될 수도 있음은 자명하다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 스택 모듈(200)을 보여주는 단면도이다. 도 6은 도 1에 부분적으로 대응할 수 있고, 중복되는 설명은 생략한다.
도 6을 참조하면, 스택 모듈(200)은 제 1 단위 모듈들(205a) 및 제 2 단위 모듈들(205b)의 적층 구조를 포함할 수 있다. 제 1 단위 모듈들(205a)은 홀수층에 배치되고, 제 2 단위 모듈들(205b)은 짝수층에 배치될 수 있다. 제 1 단위 모듈들(205a)은 제 1 단위 기판들(210a) 및 그 배선 구조를 포함하고, 제 2 단위 모듈들(205b)은 제 2 단위 기판들(210b) 및 그 배선 구조를 포함할 수 있다.
제 1 단위 기판들(210a) 및 제 2 단위 기판들(210b)이 교대로 적층될 수 있다. 예를 들어, 제 1 단위 기판들(210a)은 홀수층에 배치되고, 제 2 단위 기판들(210b)은 짝수층에 배치될 수 있다. 제 1 및 제 2 단위 기판들(210a, 210b) 각각은 선택 터미널(220)을 포함할 수 있다. 나아가, 제 1 및 제 2 단위 기판들(210a, 210b)은 하나 이상의 입출력 터미널들(230)을 더 포함할 수 있다. 제 1 및 제 2 단위 기판들(210a, 210b)은 도 1 내지 도 3의 제 1 및 제 2 단위 기판들(110a, 110b)의 설명을 참조할 수 있다. 다만, 제 1 단위 기판들(210a) 및 제 2 단위 기판들(210b)은 도 1의 제 1 단위 기판들(110a) 및 제 2 단위 기판들(110b)과 다르게 서로 엇갈리게 교대로 적층될 수 있다.
제 1 선택 라인들(S1, S3), 제 2 선택 라인들(S2, S4) 및/또는 하나 이상의 입출력 라인들(IO1, IO2)은 제 1 단위 모듈(205a) 및 제 2 단위 모듈(205b)의 배선 구조를 형성할 수 있다. 제 1 선택 라인들(S1, S3) 및 제 2 선택 라인들(S2, S4)은 도 1 내지 도 3을 참조할 수 있다.
입출력 라인들(IO1, IO2)은 제 1 및 제 2 단위 기판들(210a, 210b)의 입출력 터미널들(230)에 공통으로 연결될 수 있다. 입출력 라인들(IO1, IO2)은 제 1 및 제 2 단위 기판들(210a, 210b)에 공유될 수 있다. 입출력 라인들(IO1, IO2)은 상하로 지그재그로 배치될 수 있다.
도 7은 도 6의 스택 모듈에서 홀수층에 배치된 제 1 단위 모듈의 일 예를 보여주는 사시도이고, 도 8은 도 6의 스택 모듈에서 짝수층에 배치된 제 2 단위 모듈의 일 예를 보여주는 사시도이다. 도 7 및 도 8은 도 2 및 도 3에 대응할 수 있고, 중복되는 설명은 생략된다.
도 7을 참조하면, 선택 패드들(225)은 선택 터미널(220)의 양쪽의 제 1 단위 기판(210a)에 배치될 수 있다. 제 1 관통 전극들(235a)은 제 1 단위 기판(210a)을 관통하고 선택 터미널(220)의 양쪽에 배치될 수 있다. 선택 패드들(225)은 도 2의 선택 패드들(125)에 비해서 그 수가 반으로 줄어들 수 있다. 예를 들어, 제 1 관통 전극들(235a)의 수가 N인 경우, 선택 패드들(125)의 수도 N일 수 있다.
제 1 재배선층들(245a)은 제 1 관통 전극들(235a)에 전기적으로 연결되도록 제 1 단위 기판들(210a) 상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 제 1 재배선층들(245a)은 제 1 관통 전극들(135a)로부터 선택 터미널(220) 방향으로 소정 거리만큼 신장될 수 있다. 제 1 재배선층들(245a) 가운데 선택 터미널(220)의 좌측 첫 번째는 선택 터미널(220)과 직접 접촉될 수 있다.
제 3 관통 전극들(240a)은 제 1 단위 기판들(210a)을 관통하여 입출력 터미널들(230)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 제 3 재배선층들(250a)은 제 3 관통 전극들(240a)과 입출력 터미널들(230)을 연결하도록 제 1 단위 기판들(210a) 상에 배치될 수 있다.
도 8을 참조하면, 제 2 관통 전극들(235b)은 제 1 관통 전극들(235a)과 동일 한 위치의 제 2 단위 기판들(210b)에 배치될 수 있다. 제 2 재배선층들(245b)은 제 2 관통 전극들(235b)에 전기적으로 연결되도록 제 2 단위 기판들(210b) 상에 배치되고, 선택 터미널(220) 방향으로 소정 거리만큼 신장될 수 있다. 제 2 재배선층들(245b) 가운데 선택 터미널(220)로부터 우측 첫 번째는 선택 터미널(220)에 직접 접촉될 수 있다.
제 4 관통 전극들(240b)은 제 2 단위 기판들(210b)을 관통하여 입출력 터미널들(230)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 제 4 재배선층들(250b)은 제 4 관통 전극들(240b)과 입출력 터미널들(230)을 연결하도록 제 2 단위 기판들(210b) 상에 배치될 수 있다. 제 3 관통 전극들(240a) 및 제 4 관통 전극들(40b)은 제 1 및 제 2 단위 기판들(210a, 210b)에서 서로 엇갈리게 배치될 수 있다.
도 6 내지 도 8을 같이 참조하면, 제 1 단위 모듈(205a)의 2개 및 제 2 단위 모듈(205b)의 2개를 교대로 적층하여, 스택 모듈(200)을 형성할 수 있다. 다만, 이 경우, 제 1 단위 기판들(210a) 및 제 2 단위 기판들(210b)은 그 단부가 소정 거리만큼 엇갈리게 배치될 수 있다. 예를 들어, 제 1 단위 기판들(210a) 및 제 2 단위 기판들(210b)은 제 1 관통 전극들(235a) 또는 제 2 관통 전극들(235b)의 피치의 1/2만큼 서로 엇갈리게 배치될 수 있다.
따라서, 스택 모듈(200)에서, 제 1 관통 전극들(235a) 및 제 2 관통 전극들(235b)은 서로 엇갈리게 배치될 수 있다. 그 결과, 제 1 선택 라인들(S1, S3) 및 제 2 선택 라인들(S2, S4)은 실질적으로 도 1과 유사해질 수 있다.
입출력 라인들(IO1, IO2)은 제 3 관통 전극들(240a), 제 3 재배선층 들(250a), 제 4 관통 전극들(240b) 및 제 4 재배선층들(250b)의 반복적인 지그재그 연결 구조를 포함할 수 있다.
이 실시예의 스택 모듈(200)은 도 1의 스택 모듈(100)의 장점에 다음과 같은 장점을 더 가질 수 있다. 제 1 단위 모듈(205a) 및 제 2 단위 모듈(205b)이 적층되기 전에, 제 1 관통 전극들(235a) 및 제 2 관통 전극들(235b)의 위치는 제 1 단위 기판(210a) 및 제 2 단위 기판(210b)에서 서로 동일하다. 따라서, 제 1 단위 기판(210a) 및 제 2 단위 기판(210b)에서 선택 패드들(225)의 수가 감소할 수 있다. 따라서, 제 1 단위 기판(210a) 및 제 2 단위 기판(210b)에서 내부 회로를 형성하기 위한 영역의 면적을 늘릴 수 있다. 특히, 제 1 단위 기판(210a) 및 제 2 단위 기판(210b)의 내부 회로의 집적도가 높아질수록 이러한 면적을 확보하는 게 더욱 중요해질 수 있다. 따라서, 스택 모듈(200)은 고집적 및 고속도 소자에 적합할 수 있다.
도 9는 도 6의 변형된 예에 따른 스택 구조(200a)를 보여주는 단면도이다.
도 9를 참조하면, 도 8의 스택 모듈(200)이 패키지 기판(280) 상에 탑재될 수 있다. 제 1 선택 라인들(S1, S3), 제 2 선택 라인들(S2, S4) 및 입출력 라인들(IO1, IO2)은 패키지 기판(280)의 회로와 연결될 수 있다. 패키지 기판(280)의 아래에는 복수의 도전성 범프들(285)이 배치될 수 있다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 카드(300)를 보여주는 개략도이다.
도 10을 참조하면, 제어기(310)와 메모리(320)는 전기적인 신호를 교환하도 록 배치될 수 있다. 예를 들어, 제어기(310)에서 명령을 내리면, 메모리(320)는 데이터를 전송할 수 있다. 이러한 카드(300)는 멀티미디어 카드(multi media card; MMC) 또는 보안 디지털(secure digital card; SD) 카드와 같은 메모리 장치에 이용될 수 있다.
메모리(320)는 도 1 내지 도 9의 스택 모듈들(100, 100a, 100b, 200, 200a)의 어느 하나에 대응할 수 있다. 즉, 스택 모듈들(100, 100a, 100b, 200, 200a)은 메모리 소자, 예컨대 디램(DRAM), 에스램(SRAM), 플래시 메모리 및/또는 상전이 메모리(PRAM)를 포함할 수 있다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 시스템(400)을 보여주는 블록도이다.
도 11을 참조하면, 프로세서(410), 입/출력 장치(430) 및 메모리(420)는 버스(bus, 440)를 이용하여 서로 데이터 통신을 할 수 있다. 프로세서(410)는 프로그램을 실행하고, 시스템(400)을 제어하는 역할을 할 수 있다. 입/출력 장치(430)는 시스템(400)의 데이터를 입력 또는 출력하는데 이용될 수 있다.
메모리(420)는 도 1 내지 도 9의 스택 모듈들(100, 100a, 100b, 200, 200a)의 어느 하나에 대응할 수 있다. 예를 들어, 메모리(420)는 프로세서(410)의 동작을 위한 코드 및 데이터를 저장할 수 있다. 나아가, 시스템(400)은 입/출력 장치(430)를 이용하여 외부 장치, 예컨대 개인용 컴퓨터 또는 네트워크에 연결되어, 외부 장치와 서로 데이터를 교환할 수 있다.
예를 들어, 이러한 시스템(400)은 모바일 폰(mobile phone), MP3 플레이어, 네비게이션(navigation), 고상 디스크(solid state disk; SSD) 또는 가전 제 품(household appliances)에 이용될 수 있다.
발명의 특정 실시예들에 대한 이상의 설명은 예시 및 설명을 목적으로 제공되었다. 따라서, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 상기 실시예들을 조합하여 실시하는 등 여러 가지 많은 수정 및 변경이 가능함은 명백하다.
본 발명에 따른 스택 모듈들에 따르면, 2가지 타입의 배선 구조만 이용하여 스택 구조를 형성할 수 있다. 예를 들어, 제 1 단위 모듈들은 서로 동일한 하나의 배선 구조를 갖고, 제 2 단위 모듈들은 서로 동일한 다른 배선 구조를 가질 수 있다. 따라서, 제 1 단위 모듈들 및 제 2 단위 모듈들의 배선 구조를 층에 따라서 모두 달리하는 경우에 비해서, 제조 비용을 크게 줄일 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 스택 모듈들에 따르면, 제 1 및 제 2 재배선층들이 제 1 및 제 2 단위 기판들의 한 면에만 형성될 수 있다. 따라서, 스택 모듈의 제조 비용을 줄이고, 그 제조 공정도 단순화할 수 있다. 나아가, 제 1 및 제 2 단위 기판들의 휨에도, 제 1 선택 라인들 및 제 2 선택 라인들의 연결 신뢰성을 높일 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 스택 모듈들의 일 예에 따르면, 제 1 단위 기판 및 제 2 단위 기판에서 선택 패드들의 수를 감소시킬 수 있다. 따라서, 제 1 단위 기판 및 제 2 단위 기판에서 내부 회로를 형성하기 위한 영역의 면적을 늘릴 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 스택 모듈은 고집적 및 고속도 소자에 적합할 수 있다.

Claims (23)

  1. 각각 선택 터미널을 갖고, 서로 적층된 N개의 단위 기판들;
    상기 N개의 단위 기판들 가운데 홀수층에 배치된 제 1 단위 기판들 각각의 상기 선택 터미널에 전기적으로 연결되고, 상기 N개의 단위 기판들 가운데 상기 선택 터미널 아래의 단위 기판들을 관통하여 상기 N개의 단위 기판들의 최하부로 신장된 제 1 선택 라인들;
    상기 N개의 단위 기판들 가운데 짝수층에 배치된 제 2 단위 기판들 각각의 상기 선택 터미널에 연결되고, 상기 N개의 단위 기판들 가운데 상기 선택 터미널 아래의 단위 기판들을 관통하여 상기 N개의 단위 기판들의 최하부로 신장된 제 2 선택 라인들을 포함하고,
    상기 제 1 선택 라인들과 상기 제 2 선택 라인들은 상기 선택 터미널을 기준으로 서로 반대 방향에 배치된 것을 특징으로 하는 스택 모듈.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 선택 라인들 및 상기 제 2 선택 라인들은 상기 선택 터미널로부터 시작하여 서로 반대 방향으로 계단식으로 신장하는 것을 특징으로 하는 스택 모듈.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 선택 라인들 및 상기 제 2 선택 라인들의 상기 제 1 단위 기판들을 관통하는 부분은 상하로 정렬된 것을 특징으로 하는 스택 모듈.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 선택 라인들 및 상기 제 2 선택 라인들의 상기 제 2 단위 기판들을 관통하는 부분은 상하로 정렬된 것을 특징으로 하는 스택 모듈.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 단위 기판들을 관통하고, 상기 제 1 단위 기판들 각각의 상기 선택 터미널의 양쪽에 배치된 N개 이상의 제 1 관통 전극들;
    상기 제 1 관통 전극들에 연결되고, 상기 선택 터미널 방향으로 각각 신장된 N개 이상의 제 1 재배선층들;
    상기 제 2 단위 기판들을 관통하고, 상기 제 2 단위 기판들 각각의 상기 선택 터미널의 양쪽에 각각 배치된 N개 이상의 제 2 관통 전극들; 및
    상기 제 2 관통 전극들에 연결되고, 상기 제 2 단위 기판들 각각의 상기 선택 터미널 방향으로 각각 신장된 N개 이상의 제 2 재배선층들을 더 포함하고,
    상기 제 1 선택 라인들 및 상기 제 2 선택 라인들은 상기 제 1 관통 전극들, 및 상기 제 2 관통 전극들, 상기 1 재배선층들 및 상기 제 2 재배선층들의 일부가 서로 연결된 것을 특징으로 하는 스택 모듈.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 제 1 배선층들은 상기 제 1 단위 기판들 상에 배치되고, 상기 제 2 배선층들은 상기 제 2 단위 기판들 상에 배치된 것을 특징으로 하는 스택 모듈.
  7. 제 5 항에 있어서, 상기 제 1 선택 라인들 및 상기 제 2 선택 라인들에서, 상기 제 1 관통 전극들의 일부는 상기 제 2 재배선층들의 일부와 연결되고, 상기 제 2 관통 전극들의 일부는 상기 제 1 배선층들의 일부와 연결된 것을 특징으로 하는 스택 모듈.
  8. 제 5 항에 있어서, 상기 N이 짝수인 경우, 상기 제 1 관통 전극 및 상기 제 2 관통 전극들은 상기 선택 터미널의 양쪽에 N/2 개씩 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 스택 모듈.
  9. 제 5 항에 있어서, 상기 N이 홀수인 경우, 상기 제 1 관통 전극 및 상기 제 2 관통 전극들은 상기 선택 터미널의 양쪽에 (N+1)/2 개씩 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 스택 모듈.
  10. 제 5 항에 있어서, 상기 제 1 단위 기판들 및 상기 제 2 단위 기판들은 서로 단부가 정렬되고, 상기 제 2 관통 전극들은 상기 제 1 관통 전극들과 엇갈리게 상기 제 2 단위 기판들 내에 배치된 것을 특징으로 하는 스택 모듈.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 제 2 관통 전극들 각각은 상기 제 1 관통 전극들의 인접한 둘의 중앙에 배치된 것을 특징으로 하는 스택 모듈.
  12. 제 5 항에 있어서, 상기 제 1 관통 전극들 및 상기 제 2 관통 전극들은 상기 제 1 단위 기판들 및 상기 제 2 단위 기판들 내의 서로 동일한 위치에 배치되고, 상기 제 1 단위 기판 및 상기 제 2 단위 기판은 그 단부가 서로 엇갈리게 적층된 것을 특징으로 하는 스택 모듈.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 제 2 단위 기판들의 단부는 상기 제 1 단위 기판들의 단부로부터 상기 제 1 관통 전극들 및 상기 제 2 관통 전극들의 피치만큼 이동된 것을 특징으로 하는 스택 모듈.
  14. 제 1 항에 있어서, 상기 N개의 단위 기판들은 하나 이상의 입출력 터미널들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스택 모듈.
  15. 제 14 항에 있어서, 상기 N개의 단위 기판들 각각의 상기 하나 이상의 입출력 터미널들을 공통으로 연결하도록 상기 N개의 단위 기판들을 관통하는 하나 이상의 입출력 라인들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스택 모듈.
  16. 제 15 항에 있어서, 상기 하나 이상의 입출력 라인들은 상기 하나 이상의 입출력 터미널들을 더 관통하도록 배치된 것을 특징으로 하는 스택 모듈.
  17. 제 15 항에 있어서, 상기 제 1 단위 기판들 및 상기 제 2 단위 기판들은 그 단부가 서로 엇갈리게 적층되고, 상기 하나 이상의 입출력 라인들은 상하로 지그재그 형태로 배치된 것을 특징으로 하는 스택 모듈.
  18. 제 1 항에 있어서, 상기 N개의 단위 기판들의 아래에 배치된 패키지 기판을 더 포함하고, 상기 제 1 선택 라인들 및 상기 제 2 선택 라인들은 상기 패키지 기판에 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는 스택 모듈.
  19. 제 1 항에 있어서, 상기 패키지 기판에 부착된 하나 이상의 도전성 범프들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스택 모듈.
  20. 제 1 항에 있어서, 상기 N개의 단위 기판들은 반도체 칩을 포함하는 것을 특징으로 하는 스택 모듈.
  21. 제 1 항 내지 제 20 항의 어느 한 항에 따른 스택 모듈로 구성되어 데이터를 저장하는 메모리; 및
    상기 메모리를 제어하고, 상기 메모리와 상기 데이터를 주고받는 제어기를 포함하는 것을 특징으로 하는 메모리 장치용 카드.
  22. 제 1 항 내지 제 20 항의 어느 한 항에 다른 스택 모듈로 구성되어 데이터를 저장하는 메모리;
    상기 메모리와 버스를 통해서 통신하여 상기 데이터를 주고받고 프로그램을 실행하는 프로세서 및
    상기 데이터를 입력 또는 출력시키기 위해서 상기 버스를 통해서 상기 프로세서 및 상기 메모리와 통신하는 입출력 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 시스템.
  23. 삭제
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