KR100874241B1 - 3축 자기 센서 및 전방위 자기 센서 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (16)
- 기판을 본체로 하여, 자기 벡터의 2축 성분을 검출하기 위한 코일 패턴이, 적층되는 상기 기판에 걸쳐 형성되어, 상기 기판과 평행한 평면에 규정되는 자기 벡터의 2축 성분을 검출하는 2축 자기 센서와,상기 자기 벡터의 상기 평면과 수직 방향의 성분을 검출하는 자기검출소자를 하이브리드 IC로 하여 일체로 구성하고,상기 자기검출소자는 상기 2축 자기 센서가 형성된 상기 기판 상에 탑재되고, 상기 기판은 상기 자기검출소자로부터 출력되는 검출 신호를 전달하기 위한 패턴을 가지고, 상기 검출 신호가 상기 패턴을 통하여 상기 기판에 직접 도입되는 것을 특징으로 하는 3축 자기 센서.
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- 제1항에 있어서, 상기 2축 자기 센서와 상기 자기검출소자의 출력신호를 처리하는 신호처리부를 더 포함하고, 상기 신호처리부는 검출된 자기 강도를 산출하며, 상기 2축 자기 센서가 검출하는 자기 벡터의 2축 성분의 보정을 행하는 것을 특징으로 하는 3축 자기 센서.
- 기판을 본체로 하여, 자기 벡터의 2축 성분을 검출하기 위한 코일 패턴이, 적층되는 상기 기판에 걸쳐 형성되어, 상기 기판과 평행한 평면에 규정되는 자기 벡터의 2축 성분을 검출하는 2축 자기 센서와, 상기 자기 벡터의 상기 평면과 수직 방향의 성분을 검출하는 자기검출소자를 포함하는 3축 자기 센서와,상기 기판의 경사각을 검출하는 경사 센서를 하이브리드 IC로 하여 일체로 구성하고,상기 자기검출소자 및 상기 경사 센서는 상기 2축 자기 센서가 형성된 상기 기판 상에 탑재되고, 상기 기판은 상기 자기검출소자 및 상기 경사 센서로부터 출력되는 검출 신호를 전달하기 위한 패턴을 가지고, 상기 검출 신호가 상기 패턴을 통하여 상기 기판에 직접 도입되는 것을 특징으로 하는 전방위 자기 센서.
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- 제5항에 있어서, 상기 기판으로부터 외부로 향해 연장되는 형상으로 상기 기판에 장착되는 필름 기판을 더 포함하고, 상기 경사 센서를 상기 필름 기판 상에 설치하며, 상기 필름 기판을 상기 기판쪽으로 되접어 전체를 고착하여 형성된 것을 특징으로 하는 전방위 자기 센서.
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- 제5항 또는 제7항에 있어서, 상기 경사 센서는 상기 기판과 평행한 평면에 규정되는 x축 방향의 경사각과 y축 방향의 경사각을 검출하는 것을 특징으로 하는 전방위 자기 센서.
- 제5항 또는 제7항에 있어서, 상기 경사 센서는 3축 방향의 경사에 의한 변위를 검출하는 것을 특징으로 하는 전방위 자기 센서.
- 제5항 또는 제7항에 있어서, 상기 3축 자기 센서와 상기 경사 센서의 출력신호를 처리하는 신호처리부를 더 포함하고, 상기 신호처리부는 상기 3축 자기 센서가 검출하는 3차원 자기 벡터와 상기 경사 센서가 검출하는 경사각에 기초하여 수평자계성분을 산출하는 것을 특징으로 하는 전방위 자기 센서.
- 제10항에 있어서, 상기 3축 자기 센서와 상기 경사 센서의 출력신호를 처리하는 신호처리부를 더 포함하고, 상기 신호처리부는 상기 경사 센서가 검출하는 3축 방향의 경사에 의한 변위에 따라 상기 경사각의 보정을 행하고, 상기 3축 자기 센서가 검출하는 3차원 자기 벡터와 보정된 상기 경사각에 기초하여 수평자계성분을 산출하는 것을 특징으로 하는 전방위 자기 센서.
- 제11항에 있어서, 상기 신호처리부는 상기 3차원 자기 벡터로부터 계산되는 자기의 강도에 기초하여 상기 수평자계성분의 보정을 행하는 것을 특징으로 하는 전방위 자기 센서.
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