KR100852735B1 - 가요성 어레이 기판의 제조 방법 및 기판 모듈 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (21)
- 가요성 어레이 기판의 제조 방법에 있어서,제1 표면과 제2 표면을 갖는 가요성 기판을 준비하는 단계와,상기 가요성 기판의 제1 표면 상에 복수개의 트렌치를 형성하는 단계와,접착제를 상기 트렌치 내부에 제공하는 단계와,상기 접착제를 이용하여 상기 가요성 기판과 경질 기판을 접착하는 단계와,상시 가요성 기판의 제2 표면 상에서 박막형성공정을 진행하는 단계를 포함하는 가요성 어레이 기판의 제조 방법.
- 삭제
- 제1항에 있어서, 상기 트렌치 내부에 있는 상기 접착제를 제거하는 단계를 더 포함하는 가요성 어레이 기판의 제조 방법.
- 제3항에 있어서, 상기 가요성 기판을 절단하여 복수개의 가요성 조각으로 형성하는 단계를 포함하는 가요성 어레이 기판의 제조 방법.
- 제4항에 있어서, 상기 트렌치 내부에 있는 상기 접착제를 제거하는 단계는 상기 가요성 기판을 절단하여 상기 가요성 조각을 형성하는 단계와 동시에 수행하는 가요성 어레이 기판의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 가요성 기판을 절단하여 복수개의 가요성 조각을 형성하는 단계를 포함하는 가요성 어레이 기판의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 접착제에 에너지를 인가하는 단계를 포함하는 가요성 어레이 기판의 제조 방법.
- 제7항에 있어서, 상기 에너지는 빛과 열 중 적어도 어느 하나를 포함하는 가요성 어레이 기판의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 박막형성공정이 완료되면, 상기 가요성 기판을 상기 경질 기판에서 분리하는 단계를 포함하는 가요성 어레이 기판의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 가요성 기판으로 플라스틱기판을 사용하는 가요성 어레이 기판의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 경질 기판으로 유리기판을 사용하는 가요성 어레이 기 판의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 트렌치를 형성하는 경우에, 식각, 엠보싱, 혹은 레이져가공 방법을 이용하는 가요성 어레이 기판의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 트렌치는 상호 평행 방식으로 상기 가요성 기판의 제1 표면 상에 배열되는 가요성 어레이 기판의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 트렌치는 상호 교차 방식으로 상기 가요성 기판의 제1 표면 상에 배열되는 가요성 어레이 기판의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 박막형성공정에는 능동부품 어레이공정과 컬러필터공정 중 적어도 어느 하나의 공정이 이용되는 가요성 어레이 기판의 제조 방법.
- 제15항에 있어서, 상기 능동부품어레이공정에는 비결정성 실리콘 박막 트랜지스터 어레이공정과 다결정성 실리콘 박막 트랜지스터 어레이공정, 혹은 유기박막트랜지스터 어레이공정을 이용하는 가요성 어레이 기판의 제조 방법.
- 경질 기판과,제1 표면과 제2 표면을 갖는 가요성 기판과,상기 가요성 기판의 제1 표면 상에 형성된 복수개의 트렌치를 포함하며,상기 트렌치 내부에 접착제를 제공하여, 상기 접착제를 이용하여 상기 가요성 기판의 제1 표면을 상기 경질 기판 상에 접착하는 기판 모듈.
- 제17항에 있어서, 상기 가요성 기판으로 플라스틱 기판이 사용되는 기판 모듈.
- 제17항에 있어서, 상기 경질 기판으로 유리기판이 사용되는 기판 모듈.
- 제17항에 있어서, 상기 트렌치는 상호 평행 방식으로 상기 가요성 기판의 제1 표면 상에 배열되는 기판 모듈.
- 제17항에 있어서, 상기 트렌치는 상호 교차 방식으로 상기 가요성 기판의 제1 표면 상에 배열되는 기판 모듈.
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