KR100850394B1 - 잉크 젯 프린팅 모듈 및 그 제조 방법 - Google Patents

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후지필름 디마틱스, 인크.
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Abstract

잉크 젯 프린팅 모듈(4)은 그 모듈의 부품들을 결합하기 위한 액체 접착제의 사용 없이도 제조될 수 있다. 모듈(4)은 열가소성 결합 부품(30, 30')을 포함할 수 있다.

Description

잉크 젯 프린팅 모듈 및 그 제조 방법{INK JET PRINTING MODULE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 잉크 젯 프린팅 모듈에 관한 것이다.
잉크 젯 프린팅 모듈은 오리피스로부터 기판(substrate) 방향으로 잉크를 분출한다. 잉크는 압전(piezoelectric) 잉크 젯 프린팅 모듈에 의해 발생된 일련의 액적(droplet)으로서 분출될 수 있다. 특별한 프린팅 모듈 중 하나의 예를 들면 각각 64 개의 제트를 가지는 4개 그룹의 256 제트를 가진다. 압전 잉크 젯 프린팅 모듈은 모듈 본체, 압전 소자, 및 압전 소자를 드라이브(drive)하는 전기적 접촉부를 포함한다. 통상적으로, 모듈 본체는 사각형 부재이며, 그 사각형 부재의 표면내로 잉크용 펌핑으로서의 역할을 하는 일련의 잉크 채널이 가공된다. 압전 소자는 본체의 표면 위에 배치되어 펌핑 채널내의 잉크를 가압하여 잉크를 분출하는 방식으로 펌핑 채널을 덮는다. 모듈의 부품들은 액체 에폭시 접착제와 같은 액체 접착제를 이용하여 함께 결합될 수 있다.
대략적으로, 잉크 젯 프린팅 모듈은 모듈의 부품들을 부착하기 위한 액체 접착제의 이용 없이 제조된다. 모듈은 열가소성 결합 부품을 포함할 수 있다.
하나의 특징에서, 잉크 젯 프린팅 모듈을 제조하는 방법은 표면을 가지는 잉 크 젯 프린팅 모듈의 제 1 부품을 열가소성 결합 부품과 접촉시키는 단계; 및 표면을 가열하여 그 표면을 열가소성 결합 부품에 결합시키는 단계를 포함한다. 이러한 방법은 표면 및 열가소성 결합 부품에 압력을 가하는 단계를 포함할 수도 있다. 압력은 가열중에 가해질 수도 있다. 그 방법은 또한 표면을 가지는 잉크 젯 프린팅 모듈의 제 2 부품을 열가소성 결합 부품과 접촉시키는 단계; 및 상기 표면을 가열하여 그 표면을 열가소성 결합 부품에 결합시키는 단계를 포함할 수 있다.
다른 특징에서, 잉크 젯 프린팅 모듈은 표면을 가지는 압전 소자 및 상기 표면에 열-결합된 열가소성 결합 부품을 포함한다. 열가소성 결합 부품은 압전 소자의 표면에 열-결합된 제 1 표면 및 잉크 젯 프린팅 모듈의 표면에 열-결합된 제 2 표면을 포함할 수 있다.
열가소성 결합 부품은 접착성 폴리아미드 또는 플루오르화 에틸렌 프로필렌 코폴리머와 같은 열가소성 결합 물질을 포함할 수 있다. 열가소성 결합 부품은 1 미크론 내지 150 미크론, 10 미크론 내지 125 미크론, 또는 20 미크론 내지 50 미크론의 두께를 가진다. 열가소성 결합 부품은 부품의 일면상의 금속화된 박막과 같은 전극 패턴을 포함한다.
잉크 젯 프린팅 모듈의 제 1 부품은 압전 소자일 수 있다. 압전 소자는 납 지르코늄 티탄산염일 수 있다. 모듈은 잉크 채널, 상기 채널내의 잉크에 젯팅(jetting) 압력을 가하도록 위치된 압전 소자, 및 압전 소자의 활성화를 위해 배치된 전기 접촉부를 포함할 수 있다. 모듈은 일련의 채널을 포함할 수 있다. 열가소성 결합 부품은 잉크 채널 위쪽에 위치될 수 있고 필터를 포함할 수 있다. 필터는 다수의 개구부를 가지는 유닛의 반복적인 패턴을 포함할 수 있으며, 상기 유닛들 사이에 제공되는 랜드(land)는 거리가 적어도 50 미크론일 수 있다. 상기 유닛의 전체적인 형상이 육각형일 수 있다.
모듈은 오리피스 플레이트(orifice plate)를 포함할 수 있다. 보호 스트립(strip)은 상기 오리피스 플레이트에 부착될 수 있다. 오리피스 플레이트 또는 보호 스트립은 열가소성 결합 물질을 포함할 수 있다.
열가소성 결합 부품은 접착성 폴리아미드 또는 플루오르화 에틸렌 프로필렌 코폴리머와 같은 열가소성 결합 물질을 포함할 수 있다. 열가소성 결합 부품이 가요성(flexible)의 인쇄 회로를 포함하는 접착성 폴리아미드일 때, 잉크 젯 프린팅 모듈을 형성하기 위한 공정 단계의 수는 감소될 수 있고, 이는 잉크 젯 헤드 조립체의 비용을 감소시킨다. 열가소성 결합 부품은 여러가지 물질에 결합될 수 있고 액체 접착제에 비해 개선된 접착성을 제공할 수 있다. 열가소성 결합 부품은 여러 가지 잉크 및 액체와 양립(compatible)될 수 있어서, 잉크 젯 프린팅 모듈이 여러 가지 물질과 양립될 수 있게 만든다. 열가소성 결합 부품은, 결합 온도까지 상승되었을 때, 별도의 접착제 특히, 액체 접착제 없이도 다른 물질에 결합될 수 있다. 결합을 강화하기 위해 압력이 가해질 수도 있다.
이하에서는, 하나 이상의 실시예에 대하여 첨부 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다. 본 발명의 다른 특징 및 이점들은 이하의 상세한 설명, 도면, 및 청구범위로부터 분명히 인식될 수 있을 것이다.
도 1a 및 도 1b 는 잉크 젯 프린팅 모듈을 도시한 전개도.
도 2 는 잉크 젯 프린팅 모듈의 일부를 도시한 전개도.
도 3 은 잉크 젯 프린팅 모듈의 일부를 도시한 전개도.
도 4 는 잉크 젯 프린팅 모듈의 일부를 도시한 전개도.
도 5 는 필터를 도시한 개략도.
도 6 은 필터를 도시한 개략도.
일반적으로, 잉크 젯 프린팅 모듈은 본체의 젯팅 영역 위쪽에 위치하는 압전 소자를 포함한다. 젯팅 영역은 본체내의 펌핑 챔버의 일부일 수 있다. 프렉스 프린트(flex print)와 같은 중합체가 펌핑 채널을 밀봉할 수 있다. 전극과 같은 전기 접촉부가 압전 소자의 표면상에 위치될 수 있다. 압전 소자는 각 젯팅 영역에 걸쳐 연장된다. 전기 접촉부에 전압이 인가되었을 때, 압전 소자의 형상이 젯팅 영역에서 변형되며, 그에 따라 대응 펌핑 챔버내의 잉크에 젯팅 압력을 가한다. 잉크는 펌핑 챔버로부터 분출되고 기판상에 위치된다.
잉크 젯 프린팅 모듈의 부품들은 필름 또는 표면-처리된 부품과 같은 열가소성 결합 부품을 이용하여 서로 결합될 수 있다. 필름 또는 표면은 플루오르화 에틸렌 프로필렌 코폴리머(FEP) 또는 우베(Ube) 인더스트리에서 판매하는 UPILEX VT 와 같은 접착성 폴리이미드 필름과 같은 열가소성 물질일 수 있다. 접착성 폴리이미드는 예를 들어 본 명세서에 전체가 인용된 미국 특허 제 5,728,473 호에 기재되어 있다. 열가소성 결합 부품은 상온 및 대기압에서 고체상태이고 취급하기가 용이하다. 열가소성 결합 부품은 조립 공정에 용이하게 통합될 수 있고 짧은 싸이클 시간에 결합을 형성할 수 있다. 액체 접착제가 사용되지 않기 때문에, 조립 공정은 보다 깨끗해지며, 이는 솔벤트 및 기타 휘발성 물질이 없기 때문이다. 열가소성 결합 부품은 결합될 부품들 사이에 간단히 삽입될 수 있다.
열가소성 결합 부품을 이용한 결합은 액체 접착제의 사용을 제거할 수 있으며 모듈 공정을 단순화시킬 수 있다. 부품들 사이의 결합은 부품 표면들을 접촉시켜 조립체를 형성하고 열 및 압력을 그 조립체에 가함으로써 형성된다. 결합은 몇 분내에 이루어진다. 열가소성 결합 부품의 열가소성 물질은 결합 공정중에 거의 유동되지 않기 때문에, 50 미크론 정도의 접착 층이 채용된다. 결합은 좁은 랜드(land)에 걸쳐 밀봉을 형성하며, 그 밀봉은 10-100 미크론 정도의 좁은 폭을 갖는다. 열가소성 결합 부품이 액체 접착제를 포함하지 않기 때문에, 결합 공정은 모듈내의 작은 통로를 막지 않는다. 열가소성 결합 부품은 부품들을 서로 결합하기 위해 얇은 층으로 액체 접착제를 정밀하게 도포할 필요성을 제거한다.
압전 잉크 젯 프린팅 모듈의 일 예는 전체 내용이 본 명세서에 참조로 인용된 미국 특허 제 5,640,184 호에 기재된 모듈과 같은 전단 모드(shear mode) 모듈이다. 전단 모드 모듈내의 전기 접촉부는 잉크 채널에 인접하여 압전 소자의 측부에 위치될 수 있다. 도 1a, 1b 및 2 를 참조하면, 압전 잉크 젯 헤드(2)는 다기관(manifold) 플레이트(12) 및 오리피스 플레이트(14)가 부착된 칼라(collar) 소자(10)내로 조립되는 하나 이상의 모듈(4)을 포함한다. 잉크는 칼라(10)를 통해 모듈(4)내로 도입된다. 모듈(4)은 오리피스 플레이트(14)상의 오리피스(16)로부터 잉크를 분출하도록 작동된다. 잉크 젯 프린팅 모듈(4)은 소결(sintered) 탄소 또는 세라믹과 같은 물질로 만들어진 본체(20)를 포함한다. 다수의 채널(22)이 본체(20)내로 가공되거나 또는 본체내에 만들어져서 펌핑 챔버를 형성한다. 잉크는 본체(20)내에 가공된 잉크 충전 통로(26)를 통과하여 펌핑 챔버를 채운다. 본체(20)의 대향 표면들은 본체(20)내의 펌핑 챔버 위쪽에 위치된 일련의 전기 접촉부(31, 31')를 포함하는 가요성 폴리머 필름(30, 30')으로 덮여진다. 전기 접촉부(31, 31')는 도선(lead)에 연결되며, 상기 도선은 드라이버 통합 회로(33, 33')를 포함하는 프렉스 프린트(32, 32')에 연결된다. 필름(30, 30')은 프렉스 프린트(예를 들어, 우베 인더스트리가 판매하는 UPILEX S, UPILEX VT와 같은 UPILEX)가 될 수 있다. 필름(30, 30')은 본체(20)에 밀봉된다. 필름(30) 및 프렉스 프린트(32)는 단일 유닛(도시 안 됨) 또는 도시된 바와 같은 두개의 유닛일 수 있다. 하나 이상의 부품(20, 30, 30', 34 및 34') 사이의 표면들은 열가소성 결합 부품을 포함할 수 있다. 부품은 결합 물질로부터 형성될 수 있고 또는 표면은 결합 물질로 처리될 수 있다. 그 대신에, 도 3 을 참조하면, 열가소성 결합 필름(90)이 부품(20, 30, 30', 34 및 34') 사이에 배치될 수도 있다. 그 후에, 부품들은 부품들을 결합시키기에 충분한 온도 및 압력, 예를 들어, 150℃, 200℃ 또는 250℃ 이상의 온도 및 결합을 형성하기에 충분한 압력에서 결합된다. 도 4 를 참조하면, 열가소성 결합 필름(100, 102)이, 예를 들어 레이저를 이용하여, 패턴화되고 부품(10, 12 및 14) 사이에 배치될 수 있다.
도 2 를 참조하면, 압전 소자(34)가 필름(30)에 맞춰진다(register). 압전 소자(34)는 필름(30)과 접촉하는 압전 소자(34)의 측부상에 전극(40)을 구비한다. 전극(40)은 필름(30)의 측부(51)상의 전기 접촉부(31)와 맞춰지며, 전극들이 드라이버 일체형 회로에 의해 개별적으로 어드레스(address)되게 허용한다. 전극(40)은 압전 소자(34)의 표면상에 있다. 전극(40)은 압전 소자의 표면에 도금된 전도성 금속을 화학적으로 에칭 제거함으로써 형성될 수 있다. 적절한 전극 형성 방법은 본 명세서에서 전체를 인용하는 미국 특허 제 6,037,707 호에 기재되어 있다. 전극은 구리, 알루미늄, 티타늄-텅스텐, 니켈-크롬, 또는 황금과 같은 전도체로 형성될 수 있다. 각 전극(40)은 본체(20)내의 채널(22)에 대응하도록 크기가 정해지고 위치가 결정되어 펌핑 챔버를 형성한다. 각 전극(40)은 전극(40)의 둘레 및 측부들과 펌핑 챔버의 단부 사이에 갭(43)이 존재하도록 펌핑 챔버의 크기보다 약간 좁은 폭과 길이를 가지는 긴 영역(42)을 가진다. 펌핑 챔버에 중심이 맞춰진 이러한 전극 영역(42)은 압전 소자(34)의 젯팅 영역을 덮는 드라이브 전극이다. 압전 소자(34)상의 제 2 전극(52)은 채널(22) 외측 및 그에 따른 펌핑 챔버 외측의 본체(20) 영역에 대체적으로 대응한다. 전극(52)은 공통(접지) 전극이다. 전극(52)은 빗살-형상(도시된 바와 같음)일 수 있으며 또는 개별적으로 어드레스할 수 있는 전극 스트립일 수 있다. 필름 전극 및 압전 소자 전극은 필름과 압전 소자의 양호한 전기적 접촉 및 용이한 정렬을 위해 충분히 중첩된다. 필름 전극은 압전 소자를 넘어서 연장하여 드라이브 회로를 포함하는 프렉스 프린트(32)에 땜납 연결되는 것을 허용한다. 부품(30)은 열가소성 결합 물질로 형성될 수 있다.
압전 소자는 단일의 모놀리스(monolithic) 납 지르코늄 티탄산염(PZT) 부재일 수 있다. 압전 소자는 인가된 전압에 의해 유도된 변위에 의해 펌핑 챔버로부 터 잉크를 이동시킨다. 변위는, 부분적으로, 물질의 폴링(poling)의 함수이다. 압전 소자는 전기장의 인가에 의해 폴링된다. 폴링 공정은, 예를 들어, 본 명세서에서 전체가 참조로서 인용된 미국 특허 제 5,605,659 호에 기재되어 있다. 폴링 정도는 인가된 전기장의 강도와 지속시간에 따라 달라질 수 있다. 폴링 전압이 제거되었을 때, 압전 도메인(domain)은 정렬된다.
예를 들어, 젯팅중의 전기장의 계속적인 인가는, 인가된 전기장 강도에 비례하여 형상의 변화를 유발할 수 있다. 분극화에 대향하는 방향으로의 인가된 전기장의 변화는 분극화를 누적적으로 그리고 연속적으로 열화(劣化)시킨다. 또한, 압전 물질을 퀴리점(Curie point)까지 가열하는 것은 분극의 손실 또는 감극을 초래할 수 있다. 만약 압전 소자가 결합전에 극화된다면, 결합 온도는 압전 소자의 퀴리점 이하가 될 수 있다.
오리피스 플레이트는 예를 들어 폴리이미드의 열가소성 결합 부품과 같은 자체-접착 물질로부터 제조될 수 있다. 열가소성 결합 부품은 잉크 및 세정 물질이 있어도 안정하다. 열가소성 결합 부품으로 만들어진 오리피스 플레이트는 예를 들어 엑시머 레이저를 이용한 레이저 제거 기술 또는 기타 제조 방법에 의해 제조될 수 있다. 오리피스 플레이트 보호 스트립이 노즐 위쪽에 위치되어 제조 및 사용전의 오염을 방지할 수 있다. 보호 스트립은 UPILEX VT와 같은 열가소성 결합 물질일 수 있다. 상기 스트립은 결합부의 온도 및 압력을 변경시킴으로써 노즐 배출면에 약하게 부착되어 프린팅 모듈이 사용될 때 스트립을 벗겨내는데 필요한 정도의 접착을 달성한다. 스트립은 금속, 플라스틱, 및 세라믹과 같은 여러 가지의 노즐 재료에 도포될 수 있다. 만약 오리피스 플레이트가 예를 들어 UPILEX VT 의 접착성 폴리이미드와 같은 열가소성 결합 부품으로 제조되었다면, 예를 들어 UPILEX S 의 다른 폴리이미드와 같은 다른 물질의 스트립이 노즐에 약하게 부착될 수 있을 것이다.
PZT 소자상에 전극을 패턴화하는 것은 비용이 많이 소요되는 공정일 수 있다. 프렉스 프린트 및 회로 기판은 보다 저렴하게 패턴화될 수 있다. 프렉스 프린트와 같은 폴리머 필름상의 전극 패턴을 압전 소자에 결합함으로써, 비용이 많이 소요되는 압전 표면상의 전극 패턴화를 피할 수 있다. 전도성 입자들이 압전 표면과 전극들 사이의 계면에 첨가되어 전기적 접촉을 강화시킬 수 있다. 이러한 형태의 공정은 예를 들어 미국 특허 제 6,037,707 호에 기재되어 있다. 프렉스 프린트는 결합되었을 때 인접 부품과 밀봉부를 형성할 수 있는 FEP 또는 접착성 폴리이미드와 같은 열가소성 결합 물질일 수 있다. 결합은 폴리머 필름상의 전극들과의 전기적 접촉을 개선할 수 있다. 열가소성 결합 부품이 자체-접착성 폴리이미드와 같은 접착성 폴리이미드로부터 제조된 가요성 인쇄 회로일 때, 표면은 금속화되어 가요성 인쇄 회로의 표면상의 전극을 형성할 수 있다. 열가소성 결합 부품이 압전 소자의 양측부를 접촉할 때, 가요성 인쇄 회로상의 패턴은 전극으로서 그리고 모듈의 기준면으로서의 기능을 수행하여, 압전 소자의 표면에 직접 전극을 패턴화할 필요성을 제거하며, 이는 비용을 절감할 수 있다.
잉크 젯 프린팅 모듈은 잉크내의 과다한 크기의 고체 물질이 채널내로 들어가 모듈의 오리피스를 막는 것을 방지할 수 있는 필터를 포함한다. 개구 패턴을 가지는 필름이 채널상에 배치되어 필터를 형성할 수 있다. 도 5 를 참조하면, 종래 필터의 패턴(200)은 개구(202)의 연속적인 열(array)이다. 그 개구들은 25-30 미크론의 평균 직경을 가지며, 중심-대-중심의 간격이 45 미크론이다. 개구의 열은 연속적이고 2000 미크론의 폭을 가진다.
접착성 폴리이미드와 같은 열가소성 결합 물질로 제조된 필터는, 예를 들어 압력 및 온도 조건하에서, 모듈내의 다른 부분에 결합된다. 액체 접착제를 제거함으로써, 접착제의 넘침이 최소화되거나 제거되며, 필터링에 이용가능한 표면적이 증대된다. 접착제 넘침의 제거는 제조 신뢰성을 개선하고 필터 성능을 개선할 수 있다. 제조 공정은 단순화될 수 있고 제조 단가는 낮아질 수 있다. 접착제 넘침이 적어 채널상의 보다 넓은 영역이 필터에 의해 덮여질 수 있다. 도 6 을 참조하면, 모듈내의 채널을 덮는 각 채널에 대한 필터는 필터(300) 열(array)을 가질 수 있다. 필터는 도 5 에 도시된 필터보다 큰 비율의 채널 횡단면을 덮는다. 필터(300)는 예를 들어 약 300 내지 495 미크론의 폭을 가지며, 상기 필터는 또한 25 내지 30 미크론의 직경을 가지고 48 미크론만큼 이격되며 거리가 T 인 다수의 개구부(302)를 포함한다. 개구부(302)는 예를 들어 육각형의 각 측부를 따라 6개의 개구부가 있는 육각형 패턴을 형성할 수 있다. 필터의 육각형은 육각형들 사이의 랜드 거리가 50 미크론 이상인 상태에서 엣지(edge)-대-엣지 방식으로 배열될 수 있다. 각각의 육각형은 잉크를 필터링하기 위해 채널 위쪽에 배치된다. 육각형 패턴은 젯트들 사이의 누화(cross-talk)를 감소시키거나 제거한다. 육각형 패턴은 제조를 간단하게 하고 필터의 제조 공차를 완화시킬 수 있다.
다수의 실시예가 기재되었다. 이하의 청구범위의 범위내에서 다른 실시예들 도 가능하다.

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  44. 압전 소자 및 제 1 열가소성 결합 부품을 포함하는 장치로서:
    상기 제 1 열가소성 결합 부품이 상기 장치의 표면에 가열-결합되고,
    상기 장치가 잉크 채널, 및 상기 압전 소자의 활성화를 위해 배치된 전기 접촉부를 더 포함하고, 상기 압전 소자는 상기 채널내의 잉크에 젯팅 압력을 가하도록 위치되며,
    상기 제 1 열가소성 결합 부품이 상기 잉크 채널을 덮고 필터를 포함하는
    압전 소자 및 제 1 열가소성 결합 부품을 포함하는 장치.
  45. 제 44 항에 있어서,
    상기 압전 소자가 납 지르코늄 티탄산염인
    압전 소자 및 제 1 열가소성 결합 부품을 포함하는 장치.
  46. 제 44 항에 있어서,
    상기 제 1 열가소성 결합 부품의 두께가 10 미크론 내지 125 미크론인
    압전 소자 및 제 1 열가소성 결합 부품을 포함하는 장치.
  47. 제 44 항에 있어서,
    상기 제 1 열가소성 결합 부품의 두께가 20 미크론 내지 50 미크론인
    압전 소자 및 제 1 열가소성 결합 부품을 포함하는 장치.
  48. 제 44 항에 있어서,
    상기 제 1 열가소성 결합 부품이 접착성 폴리이미드를 포함하는
    압전 소자 및 제 1 열가소성 결합 부품을 포함하는 장치.
  49. 제 44 항에 있어서,
    일련의 채널을 더 포함하는
    압전 소자 및 제 1 열가소성 결합 부품을 포함하는 장치.
  50. 제 49 항에 있어서,
    상기 각각의 채널이 단일 압전 소자에 의해서 덮이는
    압전 소자 및 제 1 열가소성 결합 부품을 포함하는 장치.
  51. 제 44 항에 있어서,
    상기 필터는 다수의 개구부를 가지는 반복적인 유닛 패턴을 포함하며, 인접한 각각의 유닛 쌍들 사이의 랜드의 거리가 50 미크론 이상인
    압전 소자 및 제 1 열가소성 결합 부품을 포함하는 장치.
  52. 제 51 항에 있어서,
    상기 필터의 폭이 300 내지 495 미크론인
    압전 소자 및 제 1 열가소성 결합 부품을 포함하는 장치.
  53. 제 44 항에 있어서,
    오리피스 플레이트 및 상기 오리피스 플레이트에 부착된 보호 스트립을 더 포함하고, 상기 오리피스 플레이트 또는 보호 스트립 중 하나는 열가소성 결합 물질을 포함하는
    압전 소자 및 제 1 열가소성 결합 부품을 포함하는 장치.
  54. 잉크 젯 프린팅 모듈 제조 방법으로서:
    표면을 가지는 잉크 젯 프린팅 모듈의 제 1 부품을 제 1 열가소성 결합 부품과 접촉시키는 단계; 및
    상기 표면을 가열하여 상기 표면을 상기 제 1 열가소성 결합 부품에 결합시키는 단계를 포함하며,
    상기 잉크 젯 프린팅 모듈이 잉크 채널, 상기 채널내의 잉크에 젯팅 압력을 가하도록 위치된 압전 소자, 및 상기 압전 소자의 활성화를 위해 배치된 전기 접촉부를 포함하고, 상기 제 1 열가소성 결합 부품이 상기 잉크 채널 위쪽에 위치되고 필터를 포함하는
    잉크 젯 프린팅 모듈 제조 방법.
  55. 제 54 항에 있어서,
    상기 제 1 열가소성 결합 부품이 다수의 개구부를 포함하는
    잉크 젯 프린팅 모듈 제조 방법.
  56. 제 54 항에 있어서,
    상기 필터가 다수의 개구부를 가지는 반복적인 유닛 패턴을 포함하는
    잉크 젯 프린팅 모듈 제조 방법.
  57. 제 56 항에 있어서,
    인접한 각각의 유닛 쌍들 사이의 랜드의 거리가 50 미크론 이상인
    잉크 젯 프린팅 모듈 제조 방법.
  58. 잉크 젯 프린팅 모듈로서:
    표면을 가지는 압전 소자;
    필터를 포함하는 제 1 열가소성 결합 부품;
    상기 표면에 가열-결합된 제 2 열가소성 결합 부품;
    잉크 채널; 그리고
    상기 압전 소자의 활성화를 위해 배치된 전기 접촉부를 포함하며,
    상기 압전 소자는 상기 채널내의 잉크에 젯팅 압력을 가하도록 위치되고, 상기 제 1 열가소성 결합 부품이 상기 잉크 채널을 덮는
    잉크 젯 프린팅 모듈.
  59. 제 58 항에 있어서,
    상기 제 1 열가소성 결합 부품의 두께가 20 미크론 내지 50 미크론인
    잉크 젯 프린팅 모듈.
  60. 제 58 항에 있어서,
    상기 제 2 열가소성 결합 부품은 상기 압전 소자의 표면에 가열-결합된 제 1 표면 및 상기 잉크 젯 프린팅 모듈 부품의 표면에 가열-결합된 제 2 표면을 포함하는
    잉크 젯 프린팅 모듈.
  61. 제 58 항에 있어서,
    상기 제 2 열가소성 결합 부품이 전극 패턴을 포함하는
    잉크 젯 프린팅 모듈.
  62. 제 58 항에 있어서,
    상기 압전 소자가 납 지르코늄 티탄산염을 포함하는
    잉크 젯 프린팅 모듈.
  63. 제 58 항에 있어서,
    상기 제 1 열가소성 결합 부품이 폴리이미드를 포함하는
    잉크 젯 프린팅 모듈.
  64. 제 58 항에 있어서,
    일련의 채널을 더 포함하는
    잉크 젯 프린팅 모듈.
  65. 제 64 항에 있어서,
    상기 각각의 채널이 단일 압전 소자에 의해서 덮이는
    잉크 젯 프린팅 모듈.
  66. 제 58 항에 있어서,
    상기 필터는 다수의 개구부를 가지는 반복적인 유닛 패턴을 포함하며, 인접한 각각의 유닛 쌍들 사이의 랜드 거리가 50 미크론 이상인
    잉크 젯 프린팅 모듈.
  67. 제 66 항에 있어서,
    상기 필터의 폭이 300 내지 495 미크론인
    잉크 젯 프린팅 모듈.
  68. 제 58 항에 있어서,
    오리피스 플레이트 및 상기 오리피스 플레이트에 부착된 보호 스트립을 더 포함하고, 상기 오리피스 플레이트 또는 보호 스트립 중 하나는 열가소성 결합 물질을 포함하는
    잉크 젯 프린팅 모듈.
  69. 제 54 항에 있어서,
    상기 표면 및 제 1 열가소성 결합 부품에 압력을 가하는 단계를 더 포함하는
    잉크 젯 프린팅 모듈 제조 방법.
  70. 제 69 항에 있어서,
    상기 압력은 가열중에 가해지는
    잉크 젯 프린팅 모듈 제조 방법.
  71. 제 54 항에 있어서,
    상기 표면 및 제 1 열가소성 결합 부품은 액체 접착제가 실질적으로 없는
    잉크 젯 프린팅 모듈 제조 방법.
  72. 제 54 항에 있어서,
    상기 제 1 열가소성 결합 부품의 두께가 1 미크론 내지 150 미크론인
    잉크 젯 프린팅 모듈 제조 방법.
  73. 제 54 항에 있어서,
    상기 제 1 열가소성 결합 부품의 두께가 10 미크론 내지 125 미크론인
    잉크 젯 프린팅 모듈 제조 방법.
  74. 제 54 항에 있어서,
    상기 제 1 열가소성 결합 부품의 두께가 20 미크론 내지 50 미크론인
    잉크 젯 프린팅 모듈 제조 방법.
  75. 제 54 항에 있어서,
    상기 제 1 열가소성 결합 부품이 접착성 폴리이미드를 포함하는
    잉크 젯 프린팅 모듈 제조 방법.
  76. 제 54 항에 있어서,
    상기 잉크 젯 프린팅 모듈이 일련의 채널을 포함하는
    잉크 젯 프린팅 모듈 제조 방법.
  77. 제 54 항에 있어서,
    상기 모듈이 오리피스 플레이트를 더 포함하고, 상기 오리피스 플레이트상에 보호 스트립을 부착하는 단계를 더 포함하는
    잉크 젯 프린팅 모듈 제조 방법.
  78. 제 77 항에 있어서,
    상기 오리피스 플레이트는 상기 보호 스트립에 인접한 열가소성 결합 물질을 포함하는
    잉크 젯 프린팅 모듈 제조 방법.
  79. 제 77 항에 있어서,
    상기 보호 스트립은 상기 오리피스 플레이트에 인접한 열가소성 결합 물질을 포함하는
    잉크 젯 프린팅 모듈 제조 방법.
  80. 제 44 항에 있어서,
    제 2 열가소성 결합 부품을 더 포함하는
    압전 소자 및 제 1 열가소성 결합 부품을 포함하는 장치.
  81. 제 80 항에 있어서,
    상기 제 2 열가소성 결합 부품은 상기 압전 소자의 표면에 가열-결합된 제 1 표면 및 상기 장치의 표면에 가열-결합된 제 2 표면을 포함하는
    압전 소자 및 제 1 열가소성 결합 부품을 포함하는 장치.
  82. 제 80 항에 있어서,
    상기 제 2 열가소성 결합 부품이 전극 패턴을 포함하는
    압전 소자 및 제 1 열가소성 결합 부품을 포함하는 장치.
  83. 제 44 항에 있어서,
    상기 제 1 열가소성 결합 부품의 두께가 1 미크론 내지 150 미크론인
    압전 소자 및 제 1 열가소성 결합 부품을 포함하는 장치.
  84. 제 44 항에 있어서,
    상기 제 1 열가소성 결합 부품이 다수의 개구부를 포함하는
    압전 소자 및 제 1 열가소성 결합 부품을 포함하는 장치.
  85. 제 54 항에 있어서,
    제 2 열가소성 결합 부품을 제공하는 단계를 더 포함하는
    잉크 젯 프린팅 모듈 제조 방법.
  86. 제 85 항에 있어서,
    표면을 가지는 잉크 젯 프린팅 모듈의 제 2 부품을 제 2 열가소성 결합 부품과 접촉시키는 단계; 및 상기 표면을 제 2 열가소성 결합 부품에 결합시키기 위해 상기 표면을 가열하는 단계를 더 포함하는
    잉크 젯 프린팅 모듈 제조 방법.
  87. 제 86 항에 있어서,
    상기 잉크 젯 프린팅 모듈의 제 2 부품이 압전 소자인
    잉크 젯 프린팅 모듈 제조 방법.
  88. 제 87 항에 있어서,
    상기 압전 소자가 납 지르코늄 티탄산염을 포함하는
    잉크 젯 프린팅 모듈 제조 방법.
  89. 제 85 항에 있어서,
    상기 제 2 열가소성 결합 부품이 전극 패턴을 포함하는
    잉크 젯 프린팅 모듈 제조 방법.
  90. 제 58 항에 있어서,
    상기 제 1 열가소성 결합 부품의 두께가 10 미크론 내지 125 미크론인
    잉크 젯 프린팅 모듈.
  91. 제 58 항에 있어서,
    상기 제 2 열가소성 결합 부품이 상기 표면에 대응하는 크기를 가지는
    잉크 젯 프린팅 모듈.
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