KR100847671B1 - 구상의 글라스 미립자 제조방법 및 그의 제조장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 구상의 글라스 분말을 간단한 조작으로 효율적으로 제조하는 방법 및 장치에 관한 것으로서, 금속이온이 함유된 용액을 전기적인 힘에 의하여 미세하게 만들어 고온에서 건조와 소성을 동시에 시행함으로써 종래 방법이 가지는 복잡한 과정을 개선하고, 나노 사이즈의 글라스 분말을 효율적으로 제조하는 방법 및 장치를 제공하는 것이다. 보다 구체적으로 본 발명은 1) 글라스 전구체 수용액을 전압차에 의해 정전분무(ELECTRO-SPRAY)하여 표면전하를 갖는 입자(droplet)를 제조하는 단계; 2) 상기 입자를 반대 전하를 띄는 챔버로 이송하는 단계; 3) 상기 입자를 열분해 하는 단계; 를 포함하는 글라스 미립자 제조방법 및 이에 사용되는 장치에 대한 것이다.

글라스 미립자, 정전분무

Description

구상의 글라스 미립자 제조방법 및 그의 제조장치{Manufacturing Method of Glass droplet and Apparatus thereof}

도 1은 본 발명의 글라스 미립자를 제조하기 위한 장치의 일예를 나타낸 도면이다.

-도면의 주요 부분에 대한 설명-

1 : 저장조 2 : 압력 조절 밸브

3 : 펌프 4-1 : 튜브

4-2 : 노즐 4 : 분무기

5 : 전압인가장치 6 : 정전분무챔버

7 : 하소로 8 : 포집장치

9 : 필터

본 발명은 구상의 글라스 분말을 간단한 조작으로 효율적으로 제조하는 방법에 관한 것으로서, 금속이온이 함유된 용액을 전기적인 힘에 의하여 미세하게 만들 어 고온에서 건조와 소성을 동시에 시행함으로써 종래 방법이 가지는 복잡한 과정을 개선하고, 나노 사이즈의 글라스 분말을 효율적으로 제조하는 방법 및 장치를 제공하는 것이다.

글라스분말 및 금속 산화물은 고유전 세라믹, 압전 세라믹, 반도체 세라믹, 강자성 세라믹, 디스플레이용 세라믹 등의 기능성 세라믹이나, 촉매 등의 원료로서 넓게 이용되고 있다. 이러한 분말의 제조는 용융법, 고상반응법, 기상법, 동결 건조법, 응집법, 공침법, 졸겔법 등의 방법에 의하여 제조되고 있으나, 조건의 제어가 어렵고 공정도 복잡하고, 입도분포가 균일한 크기의 분말을 얻기가 곤란하다는 결점이 있다.

이들 재료는 일반적으로 고상반응법, 즉 소정의 조성을 얻을 수 있는 양으로 각 원료를 분말상으로 혼합하고, 고온에서 하소하여 고상 반응시킨 후, 분쇄기에 의해서 분쇄하는 방법에 의해 제조되는데, 이러한 고상반응법에서는 입자가 조대화 되는 경향이 있고, 분쇄시 파쇄상이 발생하기 때문에 입자경이 작고 균일한 구상의 입자를 얻기가 곤란하다.

구상의 글라스 미립자를 제조하는 방법에 대해서 여러 가지 연구가 진행되어 있는 상태이다. 가장 일반적인 방법은 초음파를 이용하여 용액을 안개화 하여 고온 분위기 속에 잠입하면 순간적으로 건조와 소성이 동시에 된다. 이때 미립자의 크기는 용액의 제조된 초음파에 의해 제조된 용액의 액적 크기에 따라서 그 크기가 결정된다. 이 방법을 이용할 경우 미립자의 제조와 동시에 구상화가 가능하다. (US 6338809, US 6360562) 그러나, 이러한 경우 액적의 균일성이 떨어지며, 1마이크로 이하의 입자를 제조하는데 어렵다는 단점을 갖고 있다. 또한, 제조된 1차입자들간의 응집현상이 심하게 일어나는 단점을 갖고 있다.

기존의 방법인 원료를 용융하여 유리를 만들고, 이를 분쇄하는 과정은 재료를 용융하는데 드는 비용 및 분쇄에 의하여 입경을 균일하게 만들어야 하는 단점이 있다. 또한 스프레이-파이로리시스(spray-pyrolysis)를 이용하는 경우에는 용융 및 분쇄의 과정을 거치지는 않으나, 초음파 등의 액적 제조 방법에 한계점이 있어, 1㎛ 이하의 균일한 입경을 만드는 것이 힘들며, 액적 내부의 결함의 원인이 되는 홀(hole)을 만드는 가능성이 높다. 게다가 초음파 분무의 경우 용액의 농도가 높으면 잘 분사가 되지 않아 양산시 경제성에 문제가 있다. 또한, 다량의 용액에 용해 시켜야 하므로, 불순물의 함량이 높아질 가능성이 있다.

본 발명은 종래의 방법이 갖는 결점을 극복하며, 안전하면서도 용이하게 구상의 글라스 미립자를 얻을 수 있는 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 하며, 그에 적합한 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

본 발명은 초음파에 의한 액적의 제조방법이 가지는 단점을 보완하기 위하여 정전분무 방식을 이용하여 고온 분위기에 도입하는 것으로서 초음파를 이용하는 경우 발생하는 단점인 액적 발생의 불균일성을 최소화 할 수 있으며, 1㎛ 이하의 균일한 입자를 얻는데 더욱 효과적인 제조방법 및 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

또한 본 발명은 정전분무 방법을 사용하여 졸(sol)상태의 높은 점도의 용액도 높은 전위차에 의한 분사가 가능하며, 불순물 제어에도 유리한 장점이 있는 글라스 미립자의 제조방법 및 그에 사용되는 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

본 발명은 구상의 글라스 미립자를 제조하는 방법 및 이에 사용된 제조장치에 대한 것으로, 글라스의 원료가 되는 물질을 용매에 녹인 후 정전분무 방식을 통하여 균일한 액적을 만들며, 만들어진 균일한 액적이 고온 분위기의 하소로에 도입되어 순간적으로 건조 및 소성이 이루어진다. 뿐만 아니라, 정전 분무 방식에 의해 도입된 액적은 장력에 의해 구형을 이루며, 정전기 반발력에 의해 1차입자들 간의 응집현상이 없는 아주 작은 사이즈(1㎛ 이하)의 균일한 파우더를 제조하는 특징이 있음을 발견하게 되어 본 발명은 완성하게 된 것이다.

본 발명은 금속 이온이 함유된 용액(글라스 전구체 수용액)을 산화조건 하에서 500~1500℃로 유지된 분위기의 하소로 속에 도입하여, 건조 및 소성을 동시에 실행하는 것으로, 금속이온이 함유된 용액을 원하는 입자의 크기에 맞도록 제조하는 방법 및 생성된 소정의 사이즈의 미립자를 건조와 소성을 동시에 행하기 위한 제조장치에 대한 것이다.

특히, 본 발명에 따른 글라스 미립자 제조장치는 균일한 크기의 유리를 제조할 수 있으며, 응집이 발생하지 않는 구상의 미립자를 연속적으로 고효율로 얻을 수 있는 특징이 있다.

먼저, 본 발명에 따른 글라스 미립자를 제조하는 방법은

1) 글라스 전구체 수용액을 전압차에 의해 정전분무(ELECTRO-SPRAY)하여 표면전하를 갖는 입자(droplet)를 제조하는 단계;

2) 상기 입자를 반대 전하를 띄는 챔버로 이송하는 단계;

3) 상기 입자를 열분해 하는 단계;

를 포함한다.

본 발명에서 상기 3) 단계 후 4) 상기 열분해된 글라스미립자를 집진하여 회수하는 단계;를 더 포함하는 것도 가능하다.

본 발명에서 상기 글라스 전구체 수용액은 유리 원료 물질에 금속의 가용성 화합물 및 용매를 혼합한 것을 의미하는 것으로, 금속질화물, 금속산화물, 수화물 및 아세테이트로 이루어진 그룹에서 선택되는 1종 이상의 복합물이다. 이때 전체 금속 이온의 농도는 0.0001 ~ 1.0 mol/L의 농도 범위로 사용한다. 0.0001mol/L 이하인 경우 낮은 농도로 인하여 제조된 입자가 원하는 조성을 모두 함유하고 있지 않는 경우가 발생하여 원하는 성질의 입자를 만들기 어렵고, 1.0mol/L를 초과하는 경우 높은 농도로 인하여 입도를 제어하기 불리하다. 따라서 균일한 입도 분포의 파우더 제조가 어려움으로 상기 범위로 사용하는 것이 좋다.

또한, 상기 정전분무 시 전압은 1 kV ~ 30 kV, 전류는 1.0 μA ~ 4.0 mA로 인가하는 것이 바람직하다. 상기 전압과 전류가 상기 범위를 벗어나는 경우 만들어 지는 액적의 모양을 조절하기 어려움으로 균일한 입경의 제조가 어려우므로 상기 범위로 사용하는 것이 좋다.

상기 챔버로 이송하는 단계에서 입자는 캐리어 가스로 이송한다. 캐리어 가스로는 산화분위기로 사용하는 것이 좋으며, 공기(air) 또는 산소가 사용 가능하다. 환원분위기는 사용할 수 없다.

상기 열분해는 400 ~ 1800 ℃에서 열분해하여 표면전하의 척력에 의해 응집이 방지되도록 하며, 본 발명의 제조방법에 의해 제조되는 글라스분말의 평균입경은 0.01 ~ 10 ㎛ 정도이다.

또한, 상기 4) 단계인 집진단계에서, 수분이 다량 함유된 기체와 글라스분말의 혼합체를 분무노즐 또는 분무 아토마이징 방법에 의하여 수분과 글라스분말을 분리하는 것이 바람직하다.

이하는 본 발명의 글라스 미립자를 제조하기 위한 장치에 대하여 설명한다.

본 발명에 따른 장치는 글라스 전구체 수용액 저장조; 원료를 균일하게 이송하기 위한 압력조절밸브와 펌프; 튜브와 노즐을 구비한 분무기; 상기 분무기와 전압인가장치를 구비하는 정전분무챔버; 상기 분무기에 의해 분무된 글라스 전구체 입자를 연소하는 하소로; 및 포집장치와 필터; 를 구비한다.

이하는 도면을 참조하여 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다.

도 1은 본 발명의 글라스 미립자를 제조하기에 적합한 장치의 설명도이다.

본 발명에서 상기 글라스 전구체 수용액 저장조(1)는 글라스 전구체 수용액을 저장하는 것으로, 상기 저장조에 저장된 글라스 전구체 수용액은 이송가스의 압력을 조절하는 압력조절밸브(2)와 펌프(3)에 의해 원료를 분무기(4)로 균일하게 이송하게 된다.

본 발명에서 상기 분무기(4)는 튜브(4-1)와 노즐(4-2)을 구비하며, 이때 원하는 유량에 따라 노즐의 사이즈를 결정하게 된다. 본 발명에서 상기 분무기는 정전분무 방식의 분무기를 사용한다. 상기 분무기의 마지막 단의 튜브의 노즐 사이즈는 본 발명이 필요로 하는 입경에 따라 적절히 변경하여 조절하여 사용할 수 있으나, 보다 바람직하게는 10 ~ 200φ인 것이 바람직하다.

상기 분무기(4)에 의해 고압의 전압(1 kV~30 kV, 전류는 1.0 μA~4.0 mA)으로 분무가 되어 입자화되며, 전압인가장치(5)에 의해 상기 정전분무챔버(6)는 전반부의 분무기(4) 영역과 챔버의 후반부의 이송영역이 반대 하전을 띄도록 하여 입자가 정전기적 인력에 의해 이동되도록 한다. 이때에 일정하게 밀어주는 힘은 펌프 등을 사용할 수도 있으며, 공기 등의 캐리어 가스 유동에 의한 것도 가능하다.

이렇게 이송된 입자는 하소로(7)를 거쳐 소성된 후, 포집 장치(8)로 이동을 하게 된다. 상기 하소로는 열발생기구의 열원으로써 전기, 불꽃, 광 등을 사용하여 400~1800℃의 열의 발생시키는 것을 특징으로 하며, 균일하게 분무된 용액은 상기 하소로(7) 내에서 건조와 소성이 이루어져 균일한 파우더의 포집이 가능해 진다. 이때 포집은 정전분무 포집장치(8)에서 이루어지며, 상기 포집장치(8)는 아토마이 징 방법에 의해 수분과 글라스분말을 분리하게 된다. 또한, 이동 가스를 배출하고, 제조된 글라스 미립자를 포집하기 위하여 필터(9)가 구비된다.

이때 상기 장치에 사용되는 캐리어 가스는 두 가지이다. 하나는 용액을 밀어주기 위한 펌프 역할을 하는 가스이고, 다른 하나는 튜브 뒷단부터 하소로를 거쳐 포집하는 단계까지 파우더를 이송하는데 사용되는 가스이다. 이때 상기 파우더의 포집은 필터(9)를 이용하는 것이 바람직하며, 상기 필터에 파우더가 포집된 이후에 캐리어가스는 가스상태로 버려진다.

본 발명의 제조 장치에 의하면, 재소성을 필요로 하지 않는 구상의 미립자의 유리 재료를 순간적으로 제조할 수 있다. 또한 얻어진 입자는 균일성이 좋으며, 수집 효율이 높아서 수율이 99%가 넘는다.

본 발명의 제조 방법은 유리 재료를 제조하는 경우에 특히 적합하다.

이 유리의 원료 물질은 B, Al, Si, Ti, Zr, Pb, Bi등 유리의 네트워크를 형성하는 물질과 Ba, Ca, Sr등의 알칼리 토금속, Mn, Co, Cu, Ni, Fe등 착색을 위해 사용되는 원소, Zn, 알칼리 금속 등의 저융점 등의 특성을 나타내기 위한 재료 등이 사용된다.이밖에도 Sb, Sn,Na, Li, K, P등이 사용될 수 있다. 본 발명에서 상기 유리재료는 변형하여 사용할 수 있는 것이므로 그 종류를 한정하지 않는다.

본 발명의 제조 방법에 있어서 공급원료인 글라스 전구체 수용액은, 이들 금속 화합물을 구성하는 금속의 가용성 화합물, 예를 들어 질산염, 황산염, 염화물 등의 무기염이나 초산염, 알콜레이트, 사과산염, 시트르산염 등의 유기염 또는 금 속산화물, 금속수화물, 금속질화물 등이 사용되며, 용매로는 물, 알코올, 아세톤 등을 이용한다.

본 발명의 제조 방법에 의해 상기한 금속 산화물 즉, 유리성분은 목적으로 하는 금속 산화물 중의 각 금속 성분의 구성 원자비에 상당하는 비율로 혼합한다. 이 때의 전체의 금속 이온 농도는 0.0001~1.0 mol/L 범위에서 선택된다.

이 금속 이온 함유 용액은 전압의 차이를 이용하여 분무를 시킨다. 전압의 차이에 의한 분무 방식이기 때문에 원료와 용매의 전도성에 따라서 분무입자(droplet)의 사이즈가 결정되며, 이에 따라 입자크기(particle size)가 결정된다. 인가되는 전압은 1.0 kV ~ 30 kV에서 사용이 가능하며, 이보다 높은 전압을 가하는 경우는 거의 전도성이 없는 물질을 분무하기 위하여 사용한다.

잘 섞여진 용액을 튜브를 통해 분무할 때 튜브의 사이즈는 분무입자 사이즈(droplet의 size)를 결정하는데 크게 좌우되지는 않으며, 유량(flow rate), 전압차, 용액의 농도, 그리고 용매의 전도성에 가장 크게 좌우된다.

본 발명에 의해 제조되는 글라스파우더는 평균입경이 약 1 ~ 3㎛ 뿐만 아니라, 1 ㎛ 이하의 입자를 제조하는 것이 가능하다. 현재의 기술로는 1㎛ 이하의 균일한 입자를 만드는 것이 힘들다고 보고 있으며, 정전분무 방식은 이보다 작은 균일한 파우더의 제조가 가능하게 되는 놀라운 사실을 발견하였다. 1㎛ 수준의 파우더를 만들기 위해서는 전하는 3.0~5.0kv 범위에서 가능하며, 유량은 5~30ml/min 및 금속이온의 농도는 0.1~0.5범위로 조절하는 경우 제조가 가능하다.

입자경을 작게 만들기 위해서는 우선 금속이온의 농도를 낮추어 제조하며, 전압차가 높은 경우에 좀더 작은 입자를 제조할 수 있고, 유량을 낮게 하는 것이 정전분무 방식에서 작은 입자를 만들 수 있는 방법이다.

이와 같이 만들어진 입자는 기존의 용융에 의해서 제조되는 방식에 대비 분쇄공정 및 용융공정 등을 없애고 균일한 입자를 얻기 위하여 분쇄를 하는 것이 아니라, 정전분무의 조건들에 의하여 입도가 정해지기 때문에 분쇄 보다 더욱 균일한 입자를 얻는데 용이하다. 또한 초음파나 혹은 기타 분무 노즐을 이용한 경우에는 원료용액의 농도를 상당히 낮은 수준에서 진행하여 불순물의 유입에 어려움이 있으며, 이러한 분무 방식을 통해 나타내는 입경의 균일도가 정전분무에 비해 떨어진다. 그리고 정전분무에 의한 고농도의 용액은 내부에 홀(hole)이 발생하는 것을 좀더 쉽게 조절할 수 있기 때문에 기존의 초음파 분무 방식에서 발생하는 내부 홀(hole)에 의한 결함을 최소화 할 수 있다.

본 발명에 따른 글라스 미립자는 특히, 디스플레이용으로 사용 가능하다.

이하는 본 발명의 구체적인 설명을 위하여 실시예를 들어 설명하지만, 본 발명이 하기 실시예에 의해 한정되는 것은 아니다.

[ 실시예 1~5]

분무 용액의 제조

하기의 표 1의 조성 물질을 차례로 질산이 함유된 수용액에 용해하였다. 용해 시 충분한 교반을 하였다.

[표 1]

3L의 용기에 질산 160ml를 넣고(순도 60%), ZnO 25g과 Bi₂O₃ 40g을 순차적으로 넣어 용해시켰다. 순수 추가하여 전체용액을 1500ml로 하여 묽혔다. 여기에 B₂O₃ 20g(H₃BO₃ 35g)을 넣고 1시간 가량 교반하였다. 여기에 BaO 16g(BaCO₃ 20.59g) 을 넣고 서서히 용해시킨 후, Al₂O₃ 1g을 추가하여 용해시켜 조성물을 제조하였다.

다음으로 SiO₂ 성분을 추가하기 위하여 300ml 용기에 증류수 100ml를 넣고 TEOS 170g을 넣고 섞는다. 강하게 교반 하면서 질산 40ml를 천천히 추가하여 맑은 용액을 제조하였다. 빠르게 질산을 넣을 경우 흰색 침전이 발생하기 때문에 20분 이상 천천히 넣어 준다. 이렇게 제조된 용액을 상기 조성물에 넣고 잘 교반하였다.

이렇게 제조된 용액에 순수를 넣어 전체 용액을 2.0 liter로 제조하여 0.44mol/L의 분무용액(실시예 1 내지 3)을 제조하였다. 또한, 순수를 넣어 전체용액을 88 liter로 하여 0.01mol/L의 분무용액 (실시예 4, 5)을 제조하였다.

유리분말의 제조

도 1에 도시하는 장치를 이용하여, 표 2에 기재된 실시예 1 내지 5의 제조 조건으로 각각의 유리분말을 제조하였다. 앞에서 제조한 분무 용액을 자동 용액수 송 펌프에 의해 정전분무 챔버에 공급하였다. 여기서 고전압에 의해 분무가 되며, 이송기체로Air/O₂를 사용하였으며 용액 분무 방울이 가열기로 이송되도록 하였다. 가열기에서 분무 방울들은 고온에 의해 유리 입자로 변화되며, 이렇게 생성된 입자들은 포집 장치에 의해 수집되었고, 각 조건에 대한 입자 크기는 아래 표 2와 같다.

[표 2]

평균 입자의 크기는 Mastersizer 2000 (Malvern 입도 분석기)를 이용하여 측정하였으며 용매는 물, 분산시간은 5분, 분산제는 사용하지 않았다.

상기 표 2에서 보이는 바와 같이, 제조된 파우더의 평균입경은 전압, 유량, 농도에 의하여 크게 영향을 받는 것을 확인할 수 있었다.

전위차를 높이며, 유량을 줄이고, 농도를 작게 하는 경우 작은 사이즈의 입자가 제조되는 것을 알 수 있었다. 또한 동일한 유량의 경우 전위차를 높이면 전도성을 가진 용액이 높은 전위차에 의하여 좀더 세밀하게 나뉠 수 있으며, 이는 작은 사이즈의 파우더를 제조할 수 있음을 알 수 있었다. 또한 적은 유량에서 작은 사이즈의 파우더가 제조되는 경향을 보이며, 농도가 작으면 건조 및 소성의 과정에서 동일한 입자크기(droplet size)라 할 경우 더 작은 파우더를 제조할 수 있었다. 위 의 방법에 따르면 평균 입경이 1.0㎛ 이하의 파우더도 균일하게 제조할 수 있다.

본 발명에 따른 유리 분말로부터 형성된 재료는 미세 입자들의 포집 효율이 높으며 또한 미세입자의 크기를 제어 할 수 있다. 또한 본 발명에 따른 정전분무 방법을 사용하는 경우, 졸(sol)상태의 높은 점도의 용액도 높은 전위차에 의한 분사가 가능하며, 불순물 제어에도 유리한 장점이 있다.

Claims (14)

1. 삭제
2. 삭제
3. 삭제
4. 글라스 미립자를 제조하는 방법에 있어서,

   1) 글라스 전구체 수용액을 전압차에 의해 정전분무(ELECTRO-SPRAY)하여 표면 전하를 갖는 입자(droplet)을 제조하는 단계;

   2) 상기 입자를 반대 전하를 띄는 챔버로 이송하는 단계;

   3) 상기 입자를 열분해하는 단계; 및

   4) 수분이 다량 함유된 기체와 글라스 분말의 혼합체를 분무 노즐 또는 분무 아토마이징 방법에 의하여 수분과 글라스 분말을 분리하고, 집진하여 열분해된 글라스 미립자를 회수하는 단계;를 포함하는 글라스 미립자 제조 방법.
5. 제4항에 있어서,

   상기 글라스 전구체 용액은 금속 산화물, 금속 질화물, 수화물, 아세테이트로 이루어진 그룹에서 선택되는 1종 이상의 복합물인 것을 특징으로 하는 글라스 미립자 제조 방법.
6. 제 5항에 있어서,

   상기 챔버이송은 캐리어 가스로 이송하는 것을 특징으로 하는 글라스 미립자 제조방법.
7. 제 6항에 있어서,

   상기 열분해는 400 ~ 1800 ℃에서 열분해하며, 표면전하의 척력에 의해 응집이 방지되는 것을 특징으로 하는 글라스 미립자 제조방법.
8. 제 7항에 있어서,

   상기 글라스분말은 평균입경이 0.01 ~ 10 ㎛인 것을 특징으로 하는 글라스 미립자 제조방법.
9. 제 8항에 있어서,

   상기 정전분무시 전압은 1 kV~30 kV, 전류는 1.0 μA~4.0 mA로 인가하는 것을 특징으로 하는 글라스 미립자 제조방법.
10. 글라스 미립자를 제조하는 장치에 있어서,

    글라스 전구체 수용액 저장조;

    원료를 균일하게 이송하기 위한 압력조절밸브와 펌프;

    튜브와 노즐을 구비한 분무기;

    상기 분무기와 전압인가장치를 구비하고 전반부의 분무기 영역과 후반부의 이송영역이 반대하전을 띄는 정전분무챔버;

    상기 분무기에 의해 분무되어 상기 정전분무챔버를 통과한 글라스 전구체 입자를 연소하는 하소로; 및

    포집장치와 필터;

    를 구비하는 글라스 미립자 제조장치.
11. 제 10항에 있어서,

    상기 저장조의 글라스 전구체 수용액은 캐리어 가스의 압력에 의해 분무되는 것을 특징으로 하는 글라스 미립자 제조장치.
12. 삭제
13. 제 11항에 있어서,

    상기 분무기의 마지막 단의 튜브의 노즐 사이즈가 10 ~ 200φ인 것을 특징으로 하는 글라스 미립자 제조장치.
14. 제 13항에 있어서,

    상기 하소로의 열발생기구의 열원으로써 전기, 불꽃, 광 중에서 선택된 어느 하나를 사용하여 400~1800℃의 열의 발생시키는 것을 특징으로 하는 글라스 미립자 제조장치.

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