KR100846088B1 - Photomask moving apparatus for use of photomask auto inspection equipment - Google Patents

Photomask moving apparatus for use of photomask auto inspection equipment Download PDF

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KR100846088B1
KR100846088B1 KR1020070055738A KR20070055738A KR100846088B1 KR 100846088 B1 KR100846088 B1 KR 100846088B1 KR 1020070055738 A KR1020070055738 A KR 1020070055738A KR 20070055738 A KR20070055738 A KR 20070055738A KR 100846088 B1 KR100846088 B1 KR 100846088B1
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plate
rotating
guide
photomask
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KR1020070055738A
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이재훈
김호진
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코리아테크노(주)
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Abstract

A photomask rotating apparatus of auto inspection equipment is provided to hold a photomask with a cylinder moving rod which moves back and forth. A photomask rotating apparatus of auto inspection equipment includes a width controller(100), a photomask rotation unit(200), and a height controller(300). The width controller includes an LM guide, a screw bar, a driving unit, and moving blocks. The LM guide is installed on a rest in two rows. The screw bar is installed between the two rows of the LM guide. The driving unit rotates the screw bar. The moving blocks face each other connected with the LM guide. The photomask rotation unit comprises a pair of supporting plates, column members, a drive motor, and a rotating plate. The supporting plates are horizontally installed on the moving blocks facing each other. The column members are installed on the supporting plates. The drive motor is mounted on the column members. The rotating plate is fixed on the drive motor. The height controller consists of the same as the width controller.

Description

자동 검사장비의 마스크 회전장치{Photomask moving apparatus for use of photomask auto inspection equipment}Photomask moving apparatus for use of photomask auto inspection equipment

도 1은 종래 포토마스크 검사장치를 나타내는 사시도이고, 1 is a perspective view showing a conventional photomask inspection apparatus,

도 2는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 회전장치가 적용된 포토마스크 자동 검사장비의 전체 사시도이고, 2 is an overall perspective view of a photomask automatic inspection device to which the mask rotating device of the present invention automatic inspection device is applied,

도 3은 본 발명 자동 검사장비의 마스크 회전장치의 사시도이고,3 is a perspective view of a mask rotating device of the present invention automatic inspection equipment,

도 4는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 회전장치의 요부 발췌도이다.Figure 4 is an excerpt of the main portion of the mask rotating apparatus of the present invention automatic inspection equipment.

도 5는 본 발명 포토 자동 검사장비의 마스크 회전장치의 마스크 회동부의 일부 생략의 사시도이고, 5 is a perspective view of a part of the mask rotating part of the mask rotating device of the automatic photo-inspection apparatus of the present invention omitted;

도 6은 본 발명 포토 자동 검사장비의 마스크 회전장치의 가로폭 조절부의 구성을 발췌하여 나타내는 사시도이고,Figure 6 is a perspective view showing the configuration of the width adjusting portion of the mask rotation device of the automatic photo inspection device of the present invention,

도 7은 본 발명 자동 검사장비의 마스크 회전장치의 요부 발췌 사시도이고, Figure 7 is a perspective view of the main portion of the mask rotation apparatus of the present invention automatic inspection equipment,

도 8은 본 발명 자동 검사장비의 마스크 회전장치의 세로폭 조절부의 발췌사시도,8 is an exploded perspective view of the vertical width adjustment portion of the mask rotation apparatus of the present invention automatic inspection equipment,

도 9는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 회전장치의 세로폭 조절부의 요부 분해사시도이고, Figure 9 is an exploded perspective view of the main portion of the vertical width adjustment portion of the mask rotation apparatus of the present invention automatic inspection equipment,

도 10은 본 발명 자동 검사장비의 마스크 회전장치의 세로폭 조절부의 작용 설명도이고,10 is an explanatory view of the operation of the vertical width adjustment unit of the mask rotating apparatus of the present invention automatic inspection equipment,

도 11a,11b는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 회전장치의 마스크 지지 및 해제작용을 설명하는 작용도이다. 11a and 11b is a functional diagram illustrating the mask support and release action of the mask rotating device of the automatic inspection device of the present invention.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for the main parts of the drawings

100:마스크 가로폭 조절부, 110:받침판,120:LM가이드, 130:스크류바,100: mask width adjustment unit, 110: support plate, 120: LM guide, 130: screw bar,

140:이동블럭,150:구동부140: moving block, 150: driving unit

200:마스크 회동부, 210:지지판,220:기둥부재,240:구동모터, 241:상판,200: mask rotating part, 210: support plate, 220: pillar member, 240: driving motor, 241: top plate,

242:감속기.250:회전판,300:마스크 세로폭 조절부, 310:LM가이드,242: Reducer. 250: Rotating plate, 300: Mask height adjustment unit, 310: LM guide

320:스크류바, 330:구동모터,340:이동블럭, 400:파지부.320: screw bar, 330: driving motor, 340: moving block, 400: holding part.

본 발명은 포토마스크 자동 검사장비에 관한 것으로 특히,이러한 자동검사장치의 자동 검사장비의 마스크 회전장치(이하 자동 검사장비의 마스크 회전장치라 함)에 관한 것이다.The present invention relates to an automatic photomask inspection apparatus, and more particularly, to a mask rotating apparatus (hereinafter referred to as a mask rotating apparatus of an automatic inspection apparatus) of such an automatic inspection apparatus.

종래 알려진 포토마스크 검사장치는 첨부 도면 도 1에서 도시하는 바와 같이 수직 설치된 좌,우 한 쌍의 지지대와, 이 지지대의 상방에 설치되는 제2구동모터와, 감속기로 이루어진 구동부와, 상기 구동부의 제2구동모터축에 그 중심이 회동가능하게 축고정된 회동체, 이 회동체 내측에 설치되는 제3구동모터와, 구동하는 구동풀리와 종동풀리를 벨트로 연결하고, 이 종동풀리의 양측으로 볼스크류를 연결 하되,이 볼스크류에 나란하게 LM가이드를 설치하고, LM가이드와 볼스크류에 맞추어져 이동되며, 포토마스크(A)를 일시 지지하기 위한 이동체로 이루어진 회동부 및 상기 회동부의 이동체에 고정되어 포토마스크의 네 코너를 일시 지지하는 그리퍼를 포함하여서 된다.Conventionally known photomask inspection apparatus includes a pair of left and right supporters vertically installed as shown in FIG. 1, a second drive motor provided above the support, a drive unit including a reducer, and a first drive unit. A rotating body whose center is pivotally fixed to a two driving motor shaft, a third driving motor installed inside the rotating body, a driving pulley and a driven pulley connected by belts, and viewed from both sides of the driven pulley The screw is connected to the ball screw, and the LM guide is installed side by side, and is moved according to the LM guide and the ball screw, the rotating part made of a moving body for temporarily supporting the photomask (A) and the moving body of the rotating part. And a gripper that is fixed and temporarily supports the four corners of the photomask.

그러나 이 포토마스크 육안 검사장치는 포토마스크 파지장치를 회전시켜 가면서 작업자의 육안으로 검사해야하는 불편함이 있었으며, 특히, 마스크를 회동시키기위하여 일시 지지하는 파지부분이 마스크 사이즈별로 일일이 교체해야하는 문제점이 있었다. However, the photomask visual inspection device has a problem in that it is inconvenient to visually inspect the operator while rotating the photomask gripping apparatus. In particular, the gripping portion temporarily supported for rotating the mask has to be replaced by the mask size.

본 발명은 종래 이러한 육안검사장치가 갖는 문제점을 감안하여 피검사물의 표리양면을 카메라로서 촬영하여 이를 컴퓨터 모니터 등을 통하여 검사가 가능한 포토마스크 검사장치를 제공하고자 하는 데에 주된 목적이 있다.The present invention has been made in view of the problems of the conventional visual inspection apparatus, and a main object of the present invention is to provide a photomask inspection apparatus capable of photographing both front and back sides of an object to be inspected through a computer monitor.

본 발명은 이러한 목적을 달성함과 아울러 실린더의 이동롯드의 전후진 작동으로 마스크 파지가 가능한 그립작동구조를 제공하는 데에도 그 목적이 있다.The present invention also achieves this object, and also has an object to provide a grip operation structure that can be masked by the forward and backward operation of the moving rod of the cylinder.

본 발명은 자동검사장치의 마스크 파지에 있어 그립(Grip)플레이트의 내부가 개방되지않도록하여 마스크의 안착시 낙하의 위험성이 없는 마스크 파지장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a mask gripping apparatus which does not have a risk of falling when the mask is seated so that the inside of the grip plate is not opened in the gripping of the automatic inspection apparatus.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명 자동 검사장비의 마스크 회전장치는,Mask rotation apparatus of the present invention automatic inspection equipment for achieving the above object,

받침판 내측의 양측에 설치되며, 양측 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 받침판위에 두 줄로 나란하게 설치된 LM가이드와, 이 LM가이드의 가운데에 설치된 스크류바와, 이 스크류바를 회동시키기 위한 구동부와, 이 스크류바에 나사맞춤됨과 동시에 상기 LM가이드에 접속되어 양측에서 마주보게 설치된 이동블럭을 갖추어서 되는 마스크 가로폭 조절부와; 상기 이동블럭위에 양측에서 마주보게 수평 설치된 좌,우 한쌍의 지지판과, 이 지지판위의 상방에 설치되는 기둥부재와, 이 기둥부재위의 상판상에 탑재되는 구동모터와, 이 구동모터의 축방향 감속기측에 고정되는 회전판으로 이루어진 마스크 회동부와; 상기 마스크 회동부의 회전판에 부착되며, LM가이드와, 이 LM가이드와 나란하게 설치된 스크류바와, 이 스크류바를 회동시키기 위한 구동모터와, 상기 스크류바에 나사맞춤됨과 동시에 상기 LM가이드에 이동가능하게 접속된 이동블럭으로 이루어지고, 그 양단에 파지부를 마련한 마스크 세로폭 조절부를 포함하는 자동 검사장비의 마스크 회전장치로서 달성된다.LM guides installed on both sides of the supporting plate and arranged side by side in two rows on the supporting plate to adjust the distance between the two sides, a screw bar installed at the center of the LM guide, a driving part for rotating the screw bar, and A mask width adjusting portion which is screw-fitted and connected to the LM guide and provided with a movable block facing each other; A pair of left and right support plates horizontally arranged on both sides of the moving block so as to face each other, a pillar member provided above the support plate, a drive motor mounted on the upper plate above the pillar member, and an axial direction of the drive motor. A mask rotating part made of a rotating plate fixed to the reducer side; It is attached to the rotating plate of the mask rotating part, the LM guide, a screw bar installed in parallel with the LM guide, a drive motor for rotating the screw bar, and screwed to the screw bar and connected to the LM guide so as to be movable It is achieved as a mask rotating device of an automatic inspection device, which comprises a moving block and includes a mask vertical width adjusting portion provided with holding portions at both ends thereof.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명 자동 검사장비의 마스크 회전장치의 상기 마스크 파지부는 상기 이동블럭에 고정된 그립플레이트와, 상기 이동블럭에 고정되고, 전방으로 파지플레이트를 전,후진시키는 실린더로 이루어짐이 바람직하며, The mask gripping portion of the mask rotating device of the automatic inspection device of the present invention for achieving the above object is composed of a grip plate fixed to the moving block, and the cylinder fixed to the moving block, the holding plate forward, backward Desirable,

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명 자동 검사장비의 마스크 회전장치의 상기 그립플레이트와 이동된 파지플레이트 사이에 마스크 코너부분이 지지 또는 해제됨이 바람직하며, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명 자동 검사장비의 마스크 회전장치의 상기 그립플레이트 내측이 요입면을 형성함이 바람직하며, 상기 그립플레이트내에 받침턱부를 형성함이 바람직하며, 상기 파지플레이트는 전단면이 경사면 을 이룸이 바람직하다.It is preferable that a mask corner portion is supported or released between the grip plate and the moved gripping plate of the mask rotating device of the automatic inspection device of the present invention for achieving the above object, and the automatic inspection device of the present invention for achieving the above object. Preferably, the inside of the grip plate of the mask rotating device forms a concave indentation surface, preferably, a support jaw portion is formed in the grip plate, and the grip plate preferably has an inclined surface.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면에 의거 구체적으로 설명하면 다음과 같다.BEST MODE Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

첨부 도면 중 도 2는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 회전장치가 적용된 포토마스크 자동 검사장비의 전체 사시도이고, 도 3은 본 발명 자동 검사장비의 마스크 회전장치의 사시도이고,도 4는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 회전장치의 요부 발췌도이다.2 is an overall perspective view of a photomask automatic inspection device to which the mask rotating device of the present invention automatic inspection equipment is applied, FIG. 3 is a perspective view of a mask rotating device of the automatic inspection equipment of the present invention, and FIG. 4 is an automatic inspection of the present invention. An excerpt of the main part of the mask rotating device of the equipment.

상기 도면들에 따르는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 회전장치는 크게 마스크 가로폭 조절부(100)와,마스크 회동부(200)와, 마스크 세로폭 조절부(300)로 구분된다.Mask rotating apparatus of the present invention automatic inspection equipment according to the drawings are largely divided into a mask width adjustment unit 100, the mask rotating unit 200, the mask height adjustment unit 300.

첨부 도면 중 도 5는 본 발명 포토 자동 검사장비의 마스크 회전장치의 마스크 회동부의 일부 생략의 사시도이고, 도 6은 본 발명 포토 자동 검사장비의 마스크 회전장치의 가로폭 조절부의 구성을 발췌하여 나타내는 사시도이다.5 is a perspective view showing a part of the mask rotating part of the mask rotating apparatus of the automatic photo-inspection apparatus according to the present invention, and FIG. Perspective view.

상기 마스크 가로폭 조절부(100)는,The mask width adjustment unit 100,

받침판(110) 내측의 양측에 설치되며, 양측 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 받침판(110)위에 두 줄로 나란하게 설치된 LM가이드(120)와, 이 LM가이드(120)의 가운데에 설치된 스크류바(130)와, 이 스크류바(130)를 회동시키기 위한 구동부(150)와, 이 스크류바(130)에 나사맞춤됨과 동시에 상기 LM가이드(120)에 접속되어 양측에서 마주보게 설치된 이동블럭(140)을 갖추어서 된다.It is installed on both sides of the support plate 110, the LM guide 120 is installed side by side in two rows on the support plate 110 to adjust the gap between both sides, and the screw bar installed in the center of the LM guide 120 ( 130, a driving unit 150 for rotating the screw bar 130, and a moving block 140, which is screwed to the screw bar 130 and connected to the LM guide 120 and installed to face each other Be equipped with.

또한, 마스크 회동부(200)는 상기 이동블럭(140)위에 양측에서 마주보게 수 평 설치된 좌,우 한쌍의 지지판(210)과, 이 지지판(210)위의 상방에 설치되는 기둥부재(220)와, 이 기둥부재(220)위의 상판(241)상에 탑재되는 구동모터(240)와, 이 구동모터(240)의 축방향 감속기(242)측에 고정되는 회전판(250)으로 이루어진다.In addition, the mask rotating part 200 has a pair of left and right support plates 210 horizontally installed on both sides of the moving block 140 and the pillar member 220 installed above the support plate 210. And a driving motor 240 mounted on the upper plate 241 on the pillar member 220 and a rotating plate 250 fixed to the axial reducer 242 side of the driving motor 240.

첨부 도면중 도 7은 본 발명 자동 검사장비의 마스크 회전장치의 요부 발췌 사시도이고, 도 8은 본 발명 자동 검사장비의 마스크 회전장치의 세로폭 조절부의 발췌사시도이다.7 is a perspective view of the main portion of the mask rotating device of the automatic inspection device of the present invention, Figure 8 is an exploded perspective view of the vertical width adjustment portion of the mask rotating device of the automatic inspection device of the present invention.

상기 도면들에 따르는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 회전장치의 마스크 세로폭 조절부(300)는 LM가이드(310)와, 이 LM가이드(310)에 나란하게 설치된 스크류바(320)와, 이 스크류바(320)를 회동시키기 위한 구동모터(330)와, 상기 스크류(320)에 나사맞춤되어 이동가능하게 접속됨과 동시에 상기 LM가이드(310)에 슬라이드 접속된 이동블럭(340)으로 이루어진다.Mask vertical width adjustment unit 300 of the mask rotation apparatus of the present invention automatic inspection equipment according to the drawings LM guide 310, the screw bar 320 installed in parallel with the LM guide 310, the screw A driving motor 330 for rotating the bar 320 and a moving block 340 which is screwed to the screw 320 and movably connected thereto and is slidably connected to the LM guide 310.

첨부 도면중 도 9는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 회전장치의 세로폭 조절부의 요부 분해사시도이고, 도 10은 본 발명 자동 검사장비의 마스크 회전장치의 세로폭 조절부의 작용 설명도이다. 9 is an exploded perspective view of the main portion of the vertical width adjusting portion of the mask rotating device of the automatic inspection device of the present invention, Figure 10 is an explanatory view of the operation of the vertical width adjusting portion of the mask rotating device of the automatic inspection device of the present invention.

상기 도면들에 따르는 본 발명 마스크 세로폭 조절부의 파지부(400)는 상기 이동블럭(340)에 고정된 그립플레이트(410)와, 상기 이동블럭(440)에 고정됨과 아울러 전방으로 파지플레이트(430)를 전,후진시키는 실린더(420)로 이루어진다. The gripper 400 of the mask vertical width adjusting part of the present invention according to the drawings is a grip plate 410 fixed to the movable block 340 and a grip plate 430 fixed to the movable block 440 and forward. ) Consists of a cylinder 420 for moving forward and backward.

실린더(420)는 롯드(440)선단측에 파지플레이트(430)가 연결되며,이동블럭(340)에 탑재되어 있다.The cylinder 420 is connected to the holding plate 430 at the front end of the rod 440, and is mounted on the moving block 340.

상기 파지부(400)의 그립플레이트(410)는 사각단면의 내측 일부가 요입 면(412)을 형성하고, 이 요입면(412)내측에 ㄱ형의 받침턱부(414)가 형성되어 있다. 이것은 마스크의 사이즈를 미세하게 조정하여 안착할 수 있다. The grip plate 410 of the gripping part 400 has a recessed surface 412 formed at an inner portion of the rectangular cross section, and an a-shaped support ledge 414 is formed inside the recessed surface 412. This can be seated by finely adjusting the size of the mask.

아울러 상기 파지플레이트(430)는 마스크의 단면에 부딪히지 않도록 전단면이 경사면(432)을 이루고 있으며,마스크 코너부의 상면 위를 슬라이드 되어 커버하듯이 지지하게 된다.In addition, the gripping plate 430 is inclined surface 432 so that the front end of the mask does not hit the end of the mask, it is supported as if the cover slides on the upper surface of the mask corner portion.

첨부 도면중 도 11a,11b는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 회전장치의 마스크 지지 및 해제작용을 설명하는 작용도이다.본 발명 마스크 장치의 작용도이다. 11A and 11B of the accompanying drawings are functional diagrams for explaining the mask supporting and releasing action of the mask rotating device of the automatic inspection device of the present invention.

상기 도면들에 의거 본 발명 장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the drawings the operation of the present invention will be described as follows.

사각형의 평판형 포토마스크 혹은 LCD패널 등의 마스크의 네 코너부분을 상기 세로폭 조절부(300)의 네 군데 파지부(400) 사이즈에 맞도록 구동모터(330)를 작동시켜 각 그립플레이트(410)내 요입면(412)에 안착 되도록 한 뒤 실린더(420)를 작동시키면 롯드(440)선단의 파지플레이트(430)이 전진하면서 마스크 코너부를 각각 슬라이드 되면서 커버하듯이 지지하게 된다.Each grip plate 410 is operated by operating the driving motor 330 so that four corner portions of a mask such as a rectangular flat panel type photomask or LCD panel fit the size of the four holding portions 400 of the vertical width adjusting portion 300. When the cylinder 420 is operated after being seated on the indentation surface 412, the gripping plate 430 at the front end of the rod 440 moves forward while supporting the mask corners while being slid.

파지플레이트로서 지지된 마스크는 네 코너부가 동시에 지지 되어 있으므로 마스크 회동부(200)의 구동모터(240)의 구동에 따라 감속기(242)와 콘트롤러(241)의 제오로서 회전판(250)이 회동한다.Since the four corners of the mask supported as the gripping plate are simultaneously supported, the rotating plate 250 rotates as a zero of the reducer 242 and the controller 241 according to the driving of the driving motor 240 of the mask rotating part 200.

회전판(250)의 회동은 이에 고정된 세로폭 조절부(300)의 회동을 의미한다. 전술한 바와 같이 파지부(400)에 파지된 마스크는 마스크 회동부(200)의 회동으로 회동이 시작된다.Rotation of the rotating plate 250 means the rotation of the vertical width adjustment unit 300 fixed thereto. As described above, the mask held by the gripper 400 starts to rotate by the mask pivoter 200.

이러한 마스크 회동은 본 발명 자동 검사장비의 설명되지 않은 촬영장치로서 마스크 표면등의 자동 검사가 이루어지게 된다. This mask rotation is an unexplained photographing apparatus of the automatic inspection device of the present invention, the automatic inspection of the mask surface and the like is made.

전술한 바와 같이 본 발명은 종래 이러한 육안검사장치가 갖는 문제점을 감안하여 피검사물의 표리양면을 카메라로서 촬영하여 이를 컴퓨터 모니터 등을 통하여 검사가 가능한 새로운 자동 검사장비의 마스크 회전장치를 제공한다.As described above, the present invention provides a mask rotation apparatus of a new automatic inspection apparatus capable of inspecting the front and back sides of an inspected object as a camera and inspecting it through a computer monitor in view of the problems of the conventional visual inspection apparatus.

본 발명은 자동 검사장비의 마스크 회전장치의 실린더 이동롯드의 전후진 작동으로 마스크 파지가 가능한 효과를 얻는다.The present invention obtains the effect that the mask can be gripped by the forward and backward operation of the cylinder moving rod of the mask rotating device of the automatic inspection equipment.

본 발명은 자동 검사장비의 마스크 파지에 있어 그립(Grip)플레이트의 내부가 개방되지 않도록 하여 마스크의 안착시 낙하의 위험성이 없도록 한 효과를 갖는다.The present invention has an effect that the grip plate of the automatic inspection equipment does not open the grip plate so that there is no risk of falling when the mask is seated.

Claims (5)

삭제delete 자동 검사장비의 마스크 회전장치에 있어서,In the mask rotating device of the automatic inspection equipment, 받침판(110) 내측의 양측에 설치되며, 양측 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 받침판(110)위에 두 줄로 나란하게 설치된 LM가이드(120)와, 이 LM가이드(120)의 가운데에 설치된 스크류바(130)와, 이 스크류바(130)를 회동시키기 위한 구동부(150)와, 이 스크류바(130)에 나사맞춤됨과 동시에 상기 LM가이드(120)에 접속되어 양측에서 마주보게 설치된 이동블럭(140)을 갖추어서 되는 마스크 가로폭 조절부(100);It is installed on both sides of the support plate 110, the LM guide 120 is installed side by side in two rows on the support plate 110 to adjust the gap between both sides, and the screw bar installed in the center of the LM guide 120 ( 130, a driving unit 150 for rotating the screw bar 130, and a moving block 140, which is screwed to the screw bar 130 and connected to the LM guide 120 and installed to face each other Mask width adjustment unit 100 is provided with; 상기 이동블럭(140)위에 양측에서 마주보게 수평 설치된 좌,우 한쌍의 지지판(210)과, 이 지지판(210)위의 상방에 설치되는 기둥부재(220)와, 이 기둥부재(220)위의 상판(241)상에 탑재되는 구동모터(240)와, 이 구동모터(240)의 축방향 감속기(242)측에 고정되는 회전판(250)으로 이루어진 마스크 회동부(200);The pair of left and right support plates 210 horizontally installed on both sides of the moving block 140, the pillar members 220 installed above the support plates 210, and the pillar members 220. A mask rotating part 200 including a driving motor 240 mounted on the upper plate 241 and a rotating plate 250 fixed to the axial reducer 242 side of the driving motor 240; 상기 마스크 회동부(200)의 회전판(250)에 부착되며, LM가이드(310)와, 이 LM가이드(310)와 나란하게 설치된 스크류바(320)와, 이 스크류바(320)를 회동시키기 위한 구동모터(330)와, 상기 스크류바(320)에 나사맞춤됨과 동시에 상기 LM가이드(310)에 이동가능하게 접속된 이동블럭(340)으로 이루어진 마스크 세로폭 조절부(300); 및Attached to the rotating plate 250 of the mask rotating part 200, the LM guide 310, the screw bar 320 installed in parallel with the LM guide 310, and for rotating the screw bar 320 A mask vertical width adjusting part 300 including a driving motor 330 and a moving block 340 which is screwed to the screw bar 320 and connected to the LM guide 310 so as to be movable; And 상기 이동블럭(340)에 고정된 그립플레이트(410)와, 상기 이동블럭(340)에 고정되고, 전방으로 파지플레이트(430)를 전,후진시키는 실린더(420)로 이루어져 상기 그립플레이트(410)와 이동된 파지플레이트(430) 사이에 마스크 코너부분이 지지 또는 해제되는 마스크 파지부(400)를 포함하는 자동 검사장비의 마스크 회전장치.The grip plate 410 is composed of a grip plate 410 fixed to the moving block 340 and a cylinder 420 fixed to the moving block 340 and moving forward and backward of the gripping plate 430 forward. And a mask gripping portion 400 which supports or releases a mask corner portion between the moved gripping plate 430 and the moved gripping plate 430. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 그립플레이트(410)내측이 요입면(412)을 형성한 것을 특징으로 하는 자동 검사장비의 마스크 회전장치.Mask grip device of the automatic inspection equipment, characterized in that the inside of the grip plate (410) formed indentation surface (412). 제 2항 또는 제 3항에 있어서,The method of claim 2 or 3, 상기 그립플레이트(410)내에 받침턱부(414)를 형성한 것을 특징으로 하는 자동 검사장비의 마스크 회전장치. Mask grip device of the automatic inspection equipment, characterized in that the supporting jaw portion (414) formed in the grip plate (410). 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 파지플레이트(430)는 전단면이 경사면(432)을 이루는 것을 특징으로 하는 자동 검사장비의 마스크 회전장치.The gripping plate 430 is a mask rotating device of the automatic inspection equipment, characterized in that the shear plane forms an inclined surface (432).
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