KR20080107681A - Camera apparatus for use of photomask auto inspection equipment - Google Patents

Camera apparatus for use of photomask auto inspection equipment Download PDF

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KR20080107681A
KR20080107681A KR1020070055737A KR20070055737A KR20080107681A KR 20080107681 A KR20080107681 A KR 20080107681A KR 1020070055737 A KR1020070055737 A KR 1020070055737A KR 20070055737 A KR20070055737 A KR 20070055737A KR 20080107681 A KR20080107681 A KR 20080107681A
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automatic inspection
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코리아테크노(주)
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Abstract

A camera system of an automatic inspection equipment for a photomask is provided to inspect defects of a photomask automatically via a monitor by photographing both side surfaces of the photomask. First positioning parts(20) have vertical bars(12) mounted at both sides on a base frame(11) of a base(10), and horizontal bars(13) connected to the vertical bars. A second positioning part(30) has a second moving block which moves in association with the movement of a screw bar(31). A camera(40) is mounted on the second moving block.

Description

자동 검사장비의 마스크 촬영장치{Camera apparatus for use of photomask auto inspection equipment}Camera apparatus for use of photomask auto inspection equipment

도 1은 종래 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 사시도이고, 1 is a perspective view of a mask photographing apparatus of a conventional automatic inspection equipment,

도 2는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치가 적용된 전체사시도이고, Figure 2 is a full perspective view of the mask photographing apparatus of the present invention automatic inspection equipment is applied,

도 3은 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치가 적용된 전체정면도이고, 3 is an overall front view to which the mask photographing apparatus of the present invention automatic inspection equipment is applied,

도 4는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 일부 구조를 생략한 발췌사시도이고,Figure 4 is an excerpt perspective view omitting some structures of the mask photographing apparatus of the present invention automatic inspection equipment,

도 5a는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 제1위치조절부와 제2위치조절부만을 발췌한 사시도이고,5A is a perspective view of only the first position adjusting unit and the second position adjusting unit of the mask photographing apparatus of the present invention automatic inspection equipment;

도 5b는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 제1위치조절부와 제2위치조절부만을 발췌한 평면도이고,5B is a plan view extracting only the first position adjusting unit and the second position adjusting unit of the mask photographing apparatus of the present invention automatic inspection equipment,

도 5c는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 제1위치조절부와 제2위치조절부만을 발췌한 정면도이고,Figure 5c is a front view extracting only the first position adjusting unit and the second position adjusting unit of the mask photographing apparatus of the present invention automatic inspection equipment,

도 5d는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 제1위치조절부와 제2위치조절부만을 발췌한 측면도이고,5D is a side view of the first position adjusting unit and the second position adjusting unit of the mask photographing apparatus of the present invention automatic inspection equipment;

도 6a는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 카메라 촬영부(40)의 제1방향 사시도이고,6A is a first perspective view of the camera photographing unit 40 of the mask photographing apparatus of the present invention automatic inspection equipment,

도 6b는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 카메라 촬영부(40)의 제2방향 사시도이고,6B is a second perspective view of the camera photographing unit 40 of the mask photographing apparatus of the present invention automatic inspection equipment,

도 6c는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 카메라 촬영부(40)의 측면도이고,6C is a side view of the camera photographing unit 40 of the mask photographing apparatus of the present invention automatic inspection equipment,

도 7은 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 카메라 촬영부(40)의 일부 분해 사시도이고,7 is a partially exploded perspective view of the camera photographing unit 40 of the mask photographing apparatus of the present invention automatic inspection equipment,

도 8은 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 작용설명도이다.8 is an explanatory view of the operation of the mask photographing apparatus of the present invention automatic inspection equipment.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of codes for main parts of drawing

10:기대, 20:제위치조절부, 21:LM가이드, 22:스크류바,23:제1이동블럭,10: expectation, 20: position adjustment unit, 21: LM guide, 22: screw bar, 23: first moving block,

24:수직부재, 30:제2위치조절부, 31:스크류바, 32:제2이동블럭,24: vertical member, 30: second position adjusting portion, 31: screw bar, 32: second moving block,

40:카메라 촬영부40: Camera photography department

본 발명은 자동 검사장비의 마스크 촬영장치에 관한 것으로, 특히,컴퓨터 모니터를 통하여 포토마스크의 이상 유무를 검사할 수 있도록 무인촬영수단이 강구된 자동 검사장비의 마스크 촬영장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mask photographing apparatus for automatic inspection equipment, and more particularly, to a mask photographing apparatus for automatic inspection equipment in which an unmanned photographing means is provided to inspect an abnormality of a photomask through a computer monitor.

종래 알려진 포토마스크 검사장치는 첨부 도면 도 1에서 도시하는 바와 같이 수직 설치된 좌,우 한쌍의 지지대(121)와, 이 지지대(121)의 상방에 설치되는 제2구동모터(122)와, 감속기(123)로 이루어진 구동부(120)와, 상기 구동부(120)의 제2 구동모터축(124)에 그 중심이 회동가능하게 축고정된 회동체(131), 이 회동체(131) 내측에 설치되는 제3구동모터(134)와, 구동하는 구동풀리(135)와 종동풀리(137)를 벨트(136)로 연결하고, 이 종동풀리(137)의 양측으로 볼스크류(132)를 연결하되,이 볼스크류(132)에 나란하게 LM가이드(133)를 설치하고, LM가이드(133)와 볼스크류(132)에 맞추어져 이동되며, 포토마스크(A)를 일시 지지하기 위한 이동체(138)로 이루어진 회동부(130) 및 상기 회동부(130)의 이동체(138)에 고정되어 포토마스크의 네 코너를 일시 지지하는 그리퍼(140)를 포함하여서 된다.Conventionally known photomask inspection apparatus includes a pair of left and right supporters 121 installed vertically as shown in FIG. 1, a second driving motor 122 installed above the support 121, and a speed reducer ( A driving unit 120 formed of a 123, a rotating body 131 pivotally fixed to a second driving motor shaft 124 of the driving unit 120, and installed inside the rotating body 131 The third drive motor 134, the driving pulley 135 and the driven pulley 137 to drive the belt 136, and the ball screw 132 to both sides of the driven pulley 137, The LM guide 133 is installed in parallel with the ball screw 132, and is moved in accordance with the LM guide 133 and the ball screw 132, and includes a movable body 138 for temporarily supporting the photomask A. And a gripper 140 fixed to the pivot 130 and the movable body 138 of the pivot 130 to temporarily support four corners of the photomask. The.

그러나 이 포토마스크 육안 검사장치는 포토마스크 파지장치를 회전시켜 가면서 작업자의 육안으로 검사해야하는 불편함이 있었다.However, this photomask visual inspection device was inconvenient to be visually inspected by the operator while rotating the photomask gripping apparatus.

본 발명은 종래 이러한 육안검사장치가 갖는 문제점을 감안하여 피검사물의 표리양면을 카메라로서 촬영하여 이를 컴퓨터 모니터 등을 통하여 검사가 가능한 포토마스크 검사장치를 제공하고자 하는 데에 그 목적이 있다.The present invention has been made in view of the problems of the conventional visual inspection apparatus to provide a photomask inspection apparatus capable of taking the front and back sides of the inspection object as a camera and inspecting it through a computer monitor.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치는,Mask photographing apparatus of the present invention automatic inspection equipment for achieving the above object,

기대와; 상기 기대 내측의 좌,우 양내측에 각각 설치되며, 상,하단에 수평하게 설치되는 LM가이드와, 이 상,하 LM가이드 사이에 위치하며 구동모터의 축상에 스크류바와, 이 스크류바에 나사맞춤 설치되는 제1이동블럭과, 상기 스크류바를 구동하는 구동모터로 이루어져 좌,우이동력을 발생시키는 제1위치조절부와; 상기 양측 제1위치조절부의 상,하 LM가이드상에 수직하여 각각 고정되고, 그 사이에 수 평바를 고정시키고, 이 수평바의 내측에 스크류바와 제2이동블럭을 결합시켜 스크류바의 이동으로 제2이동블럭이 이동되는 제2위치조절부; 및 상기 제2위치조절부에 부착되는 카메라 촬영부를 포함하여서 된다.With expectation; It is installed on the left and right inner side of the base, respectively, and is installed between the upper and lower LM guide horizontally, and the upper and lower LM guide, screw bar on the shaft of the drive motor, and screw-to-install A first position adjusting unit which is formed of a first moving block and a driving motor for driving the screw bar to generate left and right moving force; Vertically fixed on the upper and lower LM guides of the first position adjusting portion on both sides, the horizontal bar is fixed therebetween, and the screw bar and the second movable block is coupled to the inner side of the horizontal bar to move the screw bar. A second position adjusting unit to which the two moving blocks are moved; And a camera photographing unit attached to the second position adjusting unit.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명 포토마스크 검사장치의 상기 카메라 촬영부는,The camera photographing unit of the photomask inspection apparatus of the present invention for achieving the above object,

상기 이동블럭에 고정되고 상,하단을 연장하고 그 연장부에 축점을 형성하는 카메라케이싱와, 이 카메라케이싱의 축점에서 회동가능하게 설치되고 그 내측에 카메라를 장착한 카메라바디와, 상기 카메라바디 상면의 축상에 웜휠을 형성하고 이에 대응하도록 웜기어를 설치하고 웜기어를 제3구동모터의 축에 연결하여 구동모터의 구동으로 웜기어가 웜휠 일체의 카메라바디를 좌,우 회전시켜 방향을 조절하는 특징을 갖는다.A camera casing fixed to the moving block and extending up and down and forming an axial point at an extension thereof, a camera body rotatably installed at the axial point of the camera casing, and having a camera mounted therein; The worm wheel is formed on the shaft, and the worm gear is installed to correspond to the worm gear, and the worm gear is connected to the shaft of the third drive motor.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면에 의거 구제적으로 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

첨부 도면 중 도 2는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치가 적용된 전체사시도이고, 도 3은 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치가 적용된 전체정면도이고, 도 4는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 일부 구조를 생략한 발췌사시도이고,도 5a,5b,5c,5d는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 제1위치조절부(20)과 제2위치조절부(30)만을 발췌한 사시도,평면도,정면도,측면도들이다.2 is an overall perspective view to which the mask photographing apparatus of the present invention automatic inspection equipment is applied, FIG. 3 is a whole front view to which the mask photographing apparatus of the present invention automatic inspection equipment is applied, and FIG. Figure 5a, 5b, 5c, 5d is an excerpt perspective view omitting a part of the structure of the device extracts only the first position adjusting unit 20 and the second position adjusting unit 30 of the mask photographing apparatus of the present invention automatic inspection equipment Perspective, top, front and side views.

본 발명은 크게 기대(10)와, 이 기대(10) 내측에 설치되는 제1위치조절 부(20)와, 제2위치조절부(30)와, 카메라촬영부(40)로 이루어진다.The present invention largely comprises a base 10, a first position adjusting unit 20, a second position adjusting unit 30, and a camera photographing unit 40 provided inside the base 10.

상기 도면에서 도시하는 바와 같이 기대(10)는 중간부가 연결되어 대칭을 이루어 바닥을 형성한 받침틀(11)과,이 받침틀(11)의 소정 위치에서 수직 설치되는 수직바(12)들과, 이 수직바(12)들에 연결된 수평바(13)들로 이루어진 사각프레임의 형태를 갖는다.As shown in the figure, the base 10 includes a support frame 11 having a middle portion connected to each other to form a bottom, vertical bars 12 vertically installed at a predetermined position of the support frame 11, and It has the form of a rectangular frame consisting of horizontal bars 13 connected to the vertical bars 12.

상기 도면들에 따르는 본 발명 위치조절부의 구성은 제1위치조절부(20)와 제2위치조절부(30)로 이루어진다.According to the drawings, the configuration of the present invention includes a first position adjusting unit 20 and a second position adjusting unit 30.

제1위치조절부(20)는 상기 기대(10)의 내측에서 좌,우 양측에 각각 수직 설치된 수직부재(24)의 상,하단에 수평하게 연결부재(21a)로서 고정 설치되는 한 쌍의 LM가이드(21)와, 이 상,하 LM가이드(21) 사이에 위치하며 구동모터(도시생략)에 의하여 회전구동하는 스크류바(22)가 고정되며, 이러한 스크류바(22)와는 이동블럭(22a)으로 상기 수직부재(24)가 수평이동가능하게 설치되어 있고, 상시 상,하 LM가이브(21)들도 역시 가이드부재(21a)로서 수직부재(24)의 수평이동을 슬라이드 안내한다.The first position adjusting unit 20 is a pair of LM fixedly installed as a connecting member 21a horizontally on the upper and lower ends of the vertical member 24 vertically installed on both the left and right sides of the base 10 respectively. The screw bar 22, which is located between the guide 21 and the upper and lower LM guides 21 and is driven by a driving motor (not shown), is fixed, and the movable bar 22a is moved with the screw bar 22. The vertical member 24 is installed to be movable horizontally, and the upper and lower LM guides 21 also slide guide the horizontal movement of the vertical member 24 as the guide member 21a.

즉, 내부에 장치된 구동모터(도시생략)의 축상에 스크류바(22)가 설치되어 회전하므로서 이에 나사맞춤되고 상기 수직부재(24)에 결합된 이동블럭(22a)에 의하여 이동되는 것이다.That is, the screw bar 22 is installed and rotated on the shaft of the drive motor (not shown) installed therein so that the screw bar 22 is screwed thereto and moved by the moving block 22a coupled to the vertical member 24.

또한, 제2위치조절부(30)는 상기 양측 제1위치조절부(20)의 수직부재(24)의 사이에 수평방향으로 스크류바(31)를 설치하고, 이 스크류바(31)에는 이동블럭(32)이 나사맞춤 이동가능하게 결합되며, 스크류바(31)의 구동으로 이동블럭(32)이 이 동되도록 설치되어 있다(내부를 커버하고 있음). 이러한 이동블럭(32)에는 후술하는 카메라촬영부(40)가 탑재되어 있다. 따라서 수직부재(24)로서 제1위치를 결정하고, 이 수직부재(24) 사이의 이동블럭(32)으로서 제2위치가 결정되며, 이러한 이동블럭(32)에 탑재된 카메라쵤영부(40)로서 제3위치가 결정된다.In addition, the second position adjusting unit 30 is provided with a screw bar 31 in the horizontal direction between the vertical member 24 of the first position adjusting unit 20 on both sides, the screw bar 31 is moved The block 32 is coupled to the screw moveable, it is installed so that the moving block 32 is moved by the drive of the screw bar 31 (covering the inside). The moving block 32 is equipped with a camera photographing unit 40 described later. Accordingly, the first position is determined as the vertical member 24, and the second position is determined as the movable block 32 between the vertical members 24, and the camera photographing unit 40 mounted on the movable block 32 is determined. As a third position is determined.

첨부 도면 중 도 6a는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 카메라 촬영부(40)의 제1방향 사시도이고, 도 6b는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 카메라 촬영부(40)의 제2방향 사시도이고, 도 6c는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 카메라 촬영부(40)의 측면도이고, 도 7은 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 카메라 촬영부(40)의 일부 분해 사시도이다.6A is a first perspective view of the camera photographing unit 40 of the mask photographing apparatus of the present invention automated inspection equipment, and FIG. 6B is a view of the camera photographing unit 40 of the mask photographing apparatus of the present invention automatic inspection equipment. 6C is a side view of the camera photographing unit 40 of the mask photographing apparatus of the automatic inspection apparatus of the present invention, and FIG. 7 is a partial disassembly of the camera photographing unit 40 of the mask photographing apparatus of the automatic inspection apparatus of the present invention. Perspective view.

상기 도면들에 따르는 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 카메라 촬영부(40)는,The camera photographing unit 40 of the mask photographing apparatus of the present invention automatic inspection equipment according to the drawings,

경통을 구비한 카메라 바디(41)와, 이 카메라 바디(41)가 이동 가능하게 지지됨과 아울러 상기 제2이동블럭(32)에 연결되는 외부케이싱(42)과, 이 외부케이싱(42) 내에서 카메라 본체(41)의 후단측에 일체로 설치되어 좌,우 소정각도로 회동되는 회동축(43)과, 상기 외부케이싱(42)의 상방에 노출된 회동축(43)단에 설치된 웜휠(44)과, 이 웜휠(44)에 맞추어짐과 아울러 모터축(47)단에 형성된 웜기어(45)와, 상기 모터축(47)을 전방으로 연장형성한 구동모터(46)와, 상기 구동모터(46)를 탑재한 모터케이스(48)와, 이 케이스(48)와 상기 외부케이싱(42)을 연결함과 아울러 상기 모터축(47)을 가이드하는 브라켓(49)으로 이루어진다.A camera body 41 having a barrel, an outer casing 42 which is movably supported by the camera body 41 and connected to the second moving block 32, and in the outer casing 42 Worm wheel 44 installed integrally on the rear end side of the camera body 41 and installed on the pivot shaft 43 rotated at a predetermined left and right angles, and the pivot shaft 43 exposed above the outer casing 42. ), A worm gear 45 formed at the end of the motor shaft 47, a drive motor 46 extending forwardly of the motor shaft 47, and the drive motor ( And a bracket 49 for connecting the case 48 to the outer casing 42 and guiding the motor shaft 47.

즉, 제2축위치가 결정된 카메라 촬영부(40)의 제3구동모터(45)를 구동하여 모터축(47)이 웜기어(45)를 회전시킴으로써 회동축(43) 일체의 웜휠(44)이 회전됨으로써 회동축(43)이 좌,우 선회하면서 그 위치를 잡는다. That is, the worm wheel 44 of the rotation shaft 43 is integrated by driving the third drive motor 45 of the camera photographing unit 40 in which the second axis position is determined to rotate the worm gear 45. By rotating, the rotational shaft 43 turns to the left and right to hold its position.

이와 같이 이루어진 본 발명의 작용을 상기 도면들과 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치의 작용설명도를 나타내는 첨부 도면 도 8에 의거 설명한다.The operation of the present invention made as described above will be described based on the drawings and FIG.

본 발명의 카메라 촬영작동은 본 발명에서는 설명되지 아니하는 포토마스크 회전장치의 회전체에서 포토마스크가 파지된 상태에서 시작된다.The camera photographing operation of the present invention starts when the photomask is held in the rotating body of the photomask rotating apparatus which is not explained in the present invention.

포토마스크가 회전하는 동안 카메라 촬영부(40)의 카메라가 포토마스크의 면을 여러개의 경통을 통하여 촬영한다.While the photomask is rotating, the camera of the camera photographing unit 40 photographs the surface of the photomask through several barrels.

제1,제2위치조절부(20)(30)와,카메라촬영부(40)에 의하여 촬영되는 제3축의 위치를 모니터를 보면서 각 위치조절부별로 설치된 스텝모터(구동모터)를 구동함으로써 그 위치를 조절할 수 있다.While driving the step motors (drive motors) installed for each position adjusting unit while looking at the monitor of the position of the first and second position adjusting units 20 and 30 and the third axis photographed by the camera photographing unit 40, You can adjust the position.

즉, 제1위치조절부(20)의 구동모터로서 스크류바(22)를 작동시키면 이에 맞물린 이동블럭(22a)이 수직부재(24)에 나사맞춤 물려 있으므로 소정방향으로 이동하게 된다. 수직부재(24)의 이동으로 제1축의 위치가 결정되면 수직부재(24) 사이의 제2위치조절부(30)의 양측에 수평 설치된 스크류바(31)가 모터 구동되어 이동블럭(32)을 이동시켜 제2위치를 결정하게 된다. 이어서 제2축위치가 결정된 카메라 촬영부(40)에 탑재된 구동모터(46)를 구동하여 모터축(47)이 웜기어(45)를 회전시키므로서 외부케이싱(42)에 축 고정된 카메라 바디(41)를 회전시켜 소망하는 각도를 결정함으로써 제3위치가 결정된다.That is, when the screw bar 22 is operated as the driving motor of the first position adjusting unit 20, the moving block 22a engaged with the screw bar 22 is engaged with the vertical member 24, thereby moving in a predetermined direction. When the position of the first shaft is determined by the movement of the vertical member 24, the screw bars 31 horizontally installed on both sides of the second position adjusting unit 30 between the vertical members 24 are driven to drive the movable block 32. The second position is determined. Subsequently, the motor body 47 rotates the worm gear 45 by driving the driving motor 46 mounted on the camera photographing unit 40 in which the second axis position is determined. The third position is determined by rotating 41) to determine the desired angle.

이후 카메라 바디(41)내 경통과 카메라를 연속 혹은 단속 작동하여 위치가 결정된 포토마스크의 해당위치를 촬영하면서 모니터를 통하여 나타난 화상을 작업자는 눈으로 보면서 포토마스크의 불량을 검사하게 되는 것이다. Thereafter, the barrel and the camera in the camera body 41 are continuously or intermittently operated to photograph the corresponding position of the determined photomask while the worker visually inspects the defect of the photomask while viewing the image shown through the monitor.

특히, 이러한 검사를 작업자 없이 촬영 조건을 만들어 촬영할 경우 무인으로 포토마스크의 파티클 등을 자동검사할 수도 있다.In particular, when the shooting conditions are taken without the operator to shoot shooting, the particles of the photomask can be automatically inspected unattended.

이상 설명한 바와 같이 본 발명 자동 검사장비의 마스크 촬영장치는 포토마스크등의 표리면을 검사하기 위하여 종래에는 일일이 평판상에 설치된 마스크등을 마스크 회동 현장에서 작업자가 육안으로 일일이 보면서 작업하던 불편함을 개선하여 모니터를 통하여 마스크의 불량상태를 자동적으로 비교 검사하는 효과를 갖는다.As described above, the mask photographing apparatus of the automatic inspection device of the present invention improves the inconvenience that a worker has to work while visually inspecting a mask or the like installed on a flat plate at a mask rotation site in order to inspect the front and back surfaces of a photomask. Thus, the monitor automatically compares the defective state of the mask through the monitor.

본 발명은 카메라 경통을 통하여 마스크의 여러 곳을 3축 위치조정으로 촬영함과 동시에 피검사물을 회전시킴으로써 다양한 각도와 위치로서 동시에 검사가 가능한 효과도 얻는다.The present invention also obtains the effect that can be simultaneously inspected at various angles and positions by photographing the various parts of the mask by three-axis position adjustment through the camera barrel and at the same time by rotating the inspection object.

Claims (2)

자동 검사장비의 마스크 촬영장치에 있어서,In the mask photographing apparatus of the automatic inspection equipment, 기대(10);Expectation 10; 상기 기대(10)의 내측에서 좌,우 양측에 각각 설치되며, 상,하단에 수평하게 설치되는 한 쌍의 LM가이드(21)와, 이 상,하 LM가이드(21) 사이에 위치하며 구동모터의 축상에 설치되는 스크류바(22)와, 이 스크류바(22)에 나사맞춤 설치되는 제1이동블럭(23)과, 상기 상,하 LM가이드(21)와는 결합되고, 상기 스크류바(22)와는 나사맞춤 결합됨으로써 수평방향으로 좌,우 이동가능한 수직부재(24)를 설치하며, 일측에 스크류바(22)를 회전 구동시키는 구동모터로서 수직부재(24)의 전,후진 이동력을 발생시키는 제1위치조절부(20);The drive motor is installed between the left and right sides of the base 10, respectively, and is positioned between the pair of LM guides 21 installed horizontally at the upper and lower ends, and the upper and lower LM guides 21. A screw bar 22 mounted on the shaft of the screw bar, a first movable block 23 screwed to the screw bar 22, and the upper and lower LM guides 21, and the screw bar 22. ) Is installed with the vertical member 24 which is movable left and right in the horizontal direction by screw-fitting and generates a forward and backward movement force of the vertical member 24 as a drive motor for rotating the screw bar 22 on one side. To first position adjusting unit 20; 상기 양측 제1위치조절부(20)의 상,하 LM가이드(21) 상에 수직하여 각각 양측에 설치된 수직부재(24)의 사이에 수평방향으로 구동모터와 스크류바(31)를 설치하고, 이 스크류바(31)에는 제2이동블럭(32)을 이동가능하게 결합시키며, 스크류바(31)의 이동으로 제2이동블럭(32)이 이동되는 제2위치조절부(30); 및The drive motor and the screw bar 31 are installed in the horizontal direction between the vertical members 24 installed on both sides of the upper and lower LM guides 21 of the first position adjusting unit 20 on both sides. A second position adjusting portion 30 to which the second moving block 32 is movably coupled to the screw bar 31, and the second moving block 32 is moved by the movement of the screw bar 31; And 상기 제2이동블럭(32)에 부착되는 카메라 촬영부(40)를 포함하는 자동 검사장비의 마스크 촬영장치.Mask photographing apparatus of the automatic inspection device including a camera photographing unit 40 attached to the second moving block (32). 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 카메라 촬영부(40)는,The camera photographing unit 40, 경통을 구비한 카메라 바디(41),이 카메라 바디(41)가 이동 가능하게 지지됨과 아울러 상기 제2이동블럭(32)에 연결되는 외부케이싱(42)과, 이 외부케이싱(42)내에서 카메라 본체(41)의 후단측에 일체로 설치되어 좌,우 소정각도로 회동되는 회동축(43)과, 상기 외부케이싱(42)의 상방에 노출된 회동축(43)단에 설치된 웜휠(44)과, 이 웜휠(44)에 맞추어짐과 아울러 모터축(47)단에 형성된 웜기어(45)와, 상기 모터축(47)을 전방으로 연장형성한 구동모터(46)와, 상기 구동모터(46)를 탑재한 모터케이스(48)와, 이 케이스(48)와 상기 외부케이싱(42)을 연결함과 아울러 상기 모터축(47)을 가이드하는 브라켓(49)으로 이루어져, 카메라케이싱의 회동축을 회전시켜 카메라바디가 좌,우 회전되는 것을 특징으로 하는 자동 검사장비의 마스크 촬영장치.A camera body 41 having a barrel, an outer casing 42 which is movably supported and connected to the second moving block 32, and a camera in the outer casing 42 Worm wheel 44 installed integrally on the rear end side of the main body 41 and rotated to the left and right predetermined angles, and the worm wheel 44 provided on the end of the rotation shaft 43 exposed above the outer casing 42. And a worm gear 45 fitted to the worm wheel 44 and formed at the motor shaft 47 end, a drive motor 46 extending forward of the motor shaft 47, and the drive motor 46. ) And a bracket 49 for connecting the case 48 and the outer casing 42 and guiding the motor shaft 47 to mount the rotating shaft of the camera casing. Mask photographing device of the automatic inspection equipment, characterized in that the camera body is rotated left and right by rotating.
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