KR100844889B1 - 프로브 카드용 프로브 조립체 - Google Patents

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강대철
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주식회사 엔아이씨테크
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    • G01R31/2601—Apparatus or methods therefor

Abstract

본 발명은 피검사체의 전기적 특성을 테스트하기 위한 프로브 카드용 프로브 조립체를 개시한다. 본 발명은 인쇄회로기판의 하면에 장착되어 있으며 절연성을 갖는 서포터와 이 서포터의 양측에 장착되어 있는 복수의 프로브들로 구성된다. 서포터는 제1 및 제2 측면을 가지며, 서포터의 하면 양측에는 제1 및 제2 측면의 하단으로부터 하방을 향하여 경사지도록 제1 및 제2 사면이 형성되어 있다. 제1 및 제2 사면이 만나는 모서리는 평면으로 연결되어 있고, 제1 측면과 제1 사면을 연결하는 복수의 제1 슬롯들이 형성되어 있으며, 제2 측면과 제2 사면을 연결하는 복수의 제2 슬롯들이 형성되어 있다. 프로브들은 제1 및 제2 슬롯들 각각에 끼워져 고정되는 수직아암부와 경사아암부를 갖는다. 수직아암부의 상단에 접속단자부가 형성되어 있고, 경사아암부의 말단에 접촉단자부가 형성되어 있다. 접촉단자부는 제1 및 제2 슬롯들 각각에 작동이 가능하도록 끼워져 있다. 본 발명에 의하면, 서포터의 하면 양측에 프로브들을 장착하기 위한 비등간격의 슬롯들을 휠커터에 의하여 정확하게 절삭가공할 수 있다. 또한, 서포터의 양측에 일방향을 따라 프로브들을 장착할 수 있으면서도 서포터의 폭이 최소화되어 피검사체의 미세화에 용이하게 대처할 수 있다. 서포터의 일방향에 대한 프로브들의 접촉단차부의 휨변형이 방지되어 신뢰성과 재현성이 크게 향상되는 효과가 있다.

Description

프로브 카드용 프로브 조립체{PROBE ASSEMBLY FOR PROBE CARD}
도 1은 본 발명의 발명자들에 의해 선출원된 프로브 카드용 프로브 조립체의 구성을 나타낸 사시도,
도 2는 본 발명의 발명자들에 의해 선출원된 프로브 카드용 프로브 조립체의 구성을 나타낸 단면도,
도 3은 본 발명의 발명자들에 의해 선출원된 프로브 조립체에서 서포터를 휠커터에 의하여 가공하는 상태를 설명하기 위하여 나타낸 단면도,
도 4는 본 발명에 따른 프로브 카드용 프로브 조립체의 구성을 나타낸 사시도,
도 5는 본 발명에 따른 프로브 카드용 프로브 조립체의 구성을 나타낸 단면도,
도 6은 본 발명의 프로브 조립체에서 프로브의 구성을 나타낸 정면도,
도 7a 및 도 7b는 본 발명에 따른 프로브 조립체에서 프로브의 다른 실시예를 부분적으로 나타낸 정면도,
도 8은 본 발명의 프로브 조립체에서 서포터를 휠커터에 의하여 가공하는 상태를 설명하기 위하여 나타낸 단면도이다.
♣도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ♣
100: 인쇄회로기판 110: 서포터
112a, 112b: 제1 및 제2 측면 114a, 114b: 제1 및 제2 사면
116: 평면 118a, 118b: 제1 및 제2 채널
120a, 120b: 제1 및 제2 슬롯 130: 프로브
132: 수직아암부 134: 경사아암부
136: 접촉단자부 138: 접촉단자부
140: 보강부 142: 절연수지
본 발명은 프로브 카드용 프로브 조립체에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 소자, 평면디스플레이 등 피검사체의 전기적 특성을 테스트하기 위한 프로브 카드용 프로브 조립체에 관한 것이다.
반도체 소자는 웨이퍼(Wafer)의 제조에서부터 웨이퍼의 테스트, 다이(Die)의 패키징(Packaging) 등 많은 공정을 통하여 제조하고 있다. 웨이퍼의 테스트는 반도체 소자의 전기적 특성을 테스트하기 위한 이른 바 전기적 다이 소팅 테스트(Electrical Die Sorting Test)이다. 전기적 다이 소팅 테스트는 반도체 소자의 패드(Pad)들에 프로브 카드의 프로브들을 접촉하여 전기신호를 입출력하고, 그 결과로 획득되는 데이터에 의하여 반도체 소자를 양품과 불량품으로 분류한다. 프로브 카드는 반도체 소자의 테스트 이외에도 TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Drystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OEL(Organic ElectroLuminescence) 등 평면디스플레이(Flat Display)의 셀(Cell) 공정에서 데이터/게이트 라 인(Data/Gate Line)의 테스트에 사용되고 있다.
프로브 카드는 크게 테스트하기 위한 웨이퍼의 패드들과 직접 접촉되는 복수의 프로브들, 프로브들을 지지하는 서포터(Support), 테스터(Tester)의 테스트 헤드(Test Head)와 프로브들 사이의 전기신호를 전달하도록 프로브들과 접속되어 있는 인쇄회로기판(Printed Circuit Board)으로 구성되어 있다. 프로브들과 인쇄회로기판 사이에는 프로브들의 피치(Pitch)를 미세하게 배열하기 위한 스페이스 트랜스포머(Space Transformer)와 프로브 카드의 평탄도를 유지하기 위한 인터포저(Interposer)가 구비되기도 한다. 한편, 프로브들은 니들 타입(Needle Type)과 박판 타입(Thin Plate Type)이 개발되어 있다.
본 발명의 발명자들은 한국특허출원 제2007-7192호에 개시된 것과 같은 프로브 카드를 개발하여 출원한 바 있다. 이 특허출원에 개시된 프로브 카드의 프로브 조립체는 도 1과 도 2에 도시된 것과 같이, 인쇄회로기판(10)의 하면에 장착되어 있으며 절연성을 갖는 소재, 예를 들어 세라믹으로 구성되어 있는 서포터(20)와, 이 서포터(20)의 양측에 일방향을 따라 장착되어 있고 피검사체(2)의 패드(4)들에 접촉할 수 있는 복수의 박판 타입 프로브(30)들로 구성되어 있다.
서포터(20)의 하면 양측에 제1 및 제2 뱅크(Bank: 22a, 22b)가 일방향을 따라 형성되어 있으며, 제1 및 제2 뱅크(22a, 22b)들 사이에는 채널(Channel: 24)이 형성되어 있다. 서포터(20)에는 그 제1 및 제2 측면(26a, 26b)과 제1 및 제2 뱅크(22a, 22b)를 연결하도록 일방향과 직교하는 타방향, 즉 폭 방향으로 복수의 제1 및 제2 슬롯(Slot: 28a, 28b)들이 형성되어 있다. 도 3에 도시되어 있는 바와 같이, 제1 및 제2 슬롯(28a, 28b)들은 약 55.4mm의 직경을 갖는 휠커터(Wheel Cutter: 6)의 절삭가공에 의하여 형성된다. 제1 및 제2 슬롯(28a, 28b)들은 서포터(20)의 일방향을 따라 간격이 동일한 등간격 또는 간격이 서로 다른 비등간격으로 형성된다.
박판 타입 프로브(30)들은 수직아암부(32)와, 이 수직아암부(32)의 하단으로부터 직교하도록 연장되어 있는 수평아암부(34)와, 인쇄회로기판(10)의 패드(12)들에 접속할 수 있도록 수직아암부(32)의 상단에 형성되어 있는 접속단자부(36)와, 피검사체(2)의 패드(4)들에 접촉할 수 있도록 수평아암부(34)의 말단에 형성되어 있는 접촉단자부(38)로 구성되어 있다. 그리고 접촉단자부(38)는 보강부(40)에 의하여 수평아암부(34)에 연결되어 강성이 보강되어 있다. 수직 및 수평아암부(32, 34)는 서포터(20)의 제1 및 제2 슬롯(28a, 28b)들 각각에 끼워져 고정되어 있다. 프로브(30)들의 수직 및 수평아암부(32, 34)는 절연수지(Insulative Resin: 42), 예를 들어 에폭시수지(Epoxy Resin)에 의하여 서포터(20)의 제1 및 제2 슬롯(28a, 28b)들 각각에 견고하게 고정된다.
그러나 상기한 바와 같은 프로브 카드용 프로브 조립체에 있어서는, 서포터(20)의 제1 및 제2 슬롯(28a, 28b)들이 비등간격으로 배열될 경우 그 절삭가공이 매우 곤란한 문제가 있다. 즉, 도 3에 도시되어 있는 바와 같이, 휠커터(6)에 의해서는 서포터(20)의 제1 및 제2 슬롯(28a, 28b)들 중 제1 슬롯(28a)들을 선가공한 후 제2 슬롯(28b)들을 후가공하고 있으나, 휠커터(6)가 제2 슬롯(28b)들의 후가공 중에 선가공되어 있는 제1 슬롯(28a)들과 간섭되어 서포터(20)의 가공불량이 크게 발생되는 문제가 있다. 특히, 반도체 소자의 고밀도화에 대처하기 위하여 채널(24)의 폭도 좁게 제작해야 하나, 채널(24)의 폭이 좁아질수록 휠커터(6)의 간섭이 가중되어 비등간격의 제1 및 제2 슬롯(28a, 28b)들을 휠커터(6)에 의하여 가공할 수 없는 문제가 제기되고 있다.
한편, 프로브(30)들의 접촉단자부(38)가 서포터(20)의 채널(24)에 위치되는 구조에 의하여 서포터(20)의 일방향으로 접촉단자부(38)의 휨변형이 발생되는 문제가 있다. 접촉단자부(38)의 휨변형 시 피검사체(2)의 패드(4)들과 접촉불량이 발생되어 신뢰성과 재현성이 저하되는 문제가 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 여러 가지 문제점들을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 서포터의 하면 양측에 박판 타입 프로브들을 장착하기 위한 비등간격의 슬롯들을 휠커터에 의하여 정확하게 절삭가공할 수 있는 프로브 카드용 프로브 조립체를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 서포터의 양측에 일방향을 따라 프로브들을 장착할 수 있으면서도 서포터의 폭을 최소화시킬 수 있으므로, 피검사체의 미세화에 용이하게 대처할 수 있는 프로브 카드용 프로브 조립체를 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 서포터의 일방향에 대한 프로브들의 접촉단차부의 휨변형을 방지하여 신뢰성과 재현성을 크게 향상시킬 수 있는 프로브 카드용 프로브 조립체를 제공함에 있다.
이와 같은 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 특징은, 인쇄회로기판의 하면 에 장착되어 있으며, 일방향을 따라 서로 평행한 제1 및 제2 측면을 가지고, 하면 양측에 제1 및 제2 측면의 하단으로부터 하방을 향하여 경사지도록 제1 및 제2 사면이 형성되어 있으며, 제1 및 제2 사면이 만나는 모서리는 평면으로 연결되어 있고, 제1 측면과 제1 사면을 연결하는 복수의 제1 슬롯들이 일방향을 따라 형성되어 있으며, 제2 측면과 제2 사면을 연결하는 복수의 제2 슬롯들이 일방향을 따라 형성되어 있고, 절연성을 갖는 서포터와; 제1 및 제2 슬롯들 각각에 끼워져 고정되는 수직아암부와 경사아암부를 가지며, 인쇄회로기판에 접속할 수 있도록 수직아암부의 상단에 접속단자부가 형성되어 있고, 피검사체에 접촉할 수 있도록 경사아암부의 말단에 접촉단자부가 형성되어 있으며, 접촉단자부는 제1 및 제2 슬롯들 각각에 작동이 가능하도록 끼워져 있는 복수의 프로브들로 이루어지는 프로브 카드용 프로브 조립체에 있다.
본 발명의 그 밖의 목적, 특정한 장점들과 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 분명해질 것이다.
이하, 본 발명에 따른 프로브 카드용 프로브 조립체에 대한 바람직한 실시예들을 첨부된 도면들에 의거하여 상세하게 설명한다.
먼저, 도 4와 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 프로브 카드용 프로브 조립체는 인쇄회로기판(100)의 하면에 장착되어 있는 서포터(110)와, 서포터(110)의 양측에 일방향을 따라 장착되어 있는 복수의 박판 타입 프로브(130)들로 구성되어 있다. 서포터(110)는 절연성을 갖는 소재, 예를 들어 세라믹으로 구성될 수 있고, 프 로브(130)들은 텅스텐, 베릴륨-구리 합금(Be-Cu Alloy), 베릴륨-니켈 합금(Be-Ni Alloy)으로 구성될 수 있다. 서포터(110)는 가늘고 긴 봉강 타입(Bar Type), 블록타입(Block Type) 등의 다양한 형상으로 구성될 수 있다.
서포터(110)는 일방향을 따라 서로 평행한 제1 및 제2 측면(112a, 112b)을 갖는다. 서포터(110)의 하면 양측에 제1 및 제2 측면(112a, 112b)의 하단으로부터 하방을 향하여 경사지도록 제1 및 제2 사면(Slant: 114a, 114b)이 형성되어 있으며, 제1 및 제2 사면(114a, 114b)이 만나는 모서리는 평면(116)으로 연결되어 있다. 제1 및 제2 사면(114a, 114b)의 중앙에 제1 및 제2 채널(118a, 118b)이 서포터(110)의 일방향을 따라 형성되어 있다. 서포터(110)에는 그 제1 및 제2 측면(112a, 112b), 제1 및 제2 사면(114a, 114b)과 평면(116)을 연결하도록 서포터(110)의 폭 방향을 따라 복수의 제1 및 제2 슬롯(120a, 120b)들이 형성되어 있다. 서포터(110)의 양단에 한 쌍의 나사구멍(122)들이 형성되어 있다. 한 쌍의 나사(124)들은 인쇄회로기판(100)을 관통하여 나사구멍(122)들에 체결된다. 따라서 서포터(110)는 나사(124)들의 체결에 의하여 인쇄회로기판(100)의 하면에 견고하게 고정된다.
도 4 내지 도 6을 참조하면, 박판 타입 프로브(130)들은 서포터(110)의 제1 및 제2 슬롯(120a, 120b)들 각각에 장착되어 있다. 프로브(130)들의 일단은 인쇄회로기판(100)의 패드(102)들에 접속되어 있으며 타단은 웨이퍼, 평면디스플레이 등 피검사체(2)의 패드(4)들에 접촉되어 전기신호를 입출력한다. 프로브(130)들은 수직아암부(132), 경사아암부(134), 접속단자부(136)와 접촉단자부(138)로 구성되어 있다. 경사아암부(134)는 수직아암부(132)의 하단으로부터 경사지도록 연장되어 있다. 수직 및 경사아암부(132, 134)는 서포터(110)의 제1 및 제2 슬롯(120a, 120b)들 각각에 끼워져 고정되어 있다.
접속단자부(136)는 인쇄회로기판(100)의 패드(102)들에 접속할 수 있도록 수직아암부(122)의 상단에 형성되어 있다. 접속단자부(136)는 탄성을 갖는 스프링(136a)과 제1 단자(136b)로 구성되어 있다. 스프링(136a)은 수직아암부(132)의 말단으로부터 연장되어 있다. 제1 단자(136b)는 스프링(136a)의 말단에 서포터(110)의 제1 및 제2 슬롯(120a, 120b)들 밖으로 노출되도록 형성되어 있고 인쇄회로기판(100)의 패드(102)들 각각에 접속되어 있다.
접촉단자부(138)는 피검사체(2)의 패드(4)들에 접촉할 수 있도록 경사아암부(124)의 말단에 형성되어 있다. 접촉단자부(138)는 탄성을 갖는 텐션바(Tension Bar: 138a)와 제2 단자(138b)로 구성되어 있다. 텐션바(138a)는 경사아암부(134)의 말단으로부터 탄성을 갖도록 가늘고 길게 연장되어 있다. 제2 단자(138b)는 피검사체(2)의 패드(4)들 각각에 접촉할 수 있도록 텐션바(138a)의 말단에 형성되어 있다.
프로브(130)들은 텐션바(138a)의 강성을 보강하는 보강부(140)를 더 구비하고 있으며, 보강부(140)는 연장바(140a)와 연결바(140b)로 구성되어 있다. 연장바(140a)는 경사아암부(134)의 말단에 상방을 향하여 연장되어 있다. 연결바(140b)는 텐션바(138a)의 상단과 연장바(140a)의 상단을 연결하도록 형성되어 있다. 수평아암부(134), 텐션바(138a)와 연결바(140b)는 프로브(130)들 각각의 측면에서 볼 때 삼각형을 이루고 있다. 보강부(140)는 서포터(110)의 제1 및 제2 채널(118a, 118b)에 끼워져 있다. 프로브(130)들의 수직 및 경사아암부(132, 134)는 절연수지(142), 예를 들어 에폭시수지를 매개로 서포터(110)의 제1 및 제2 슬롯(120a, 120b)들 각각에 견고하게 고정된다.
도 7a 및 도 7b에는 프로브의 다른 실시예가 도시되어 있다. 도 7a에 도시되어 있는 프로브(130)의 접속단자부(236)는 프리스트레스(Prestress), 즉 미리 응력을 부여받아 만곡되어 있는 가늘고 긴 스프링(236a)과 제1 단자(236b)로 구성되어 있다. 만곡형 스프링(236a)은 프리스트레스를 받는 굴곡빔(Bending Beam)의 구조로 비교적 높은 굽힘 강성(Flexural Stiffness), 즉 탄성변형률과 내구성을 보유한다. 따라서 접속단자부(236)의 제1 단자(236b)가 인쇄회로기판(100)의 패드(102)들 각각에 수직 하중으로 접속될 때 소성 변형이 방지되며, 제1 단자(236b)와 패드(102)들 사이의 접촉 면적이 증가된다. 그리고 만곡형 스프링(236a)의 탄성변형에 의하여 제1 단자(236b)와 패드(102)들 사이의 접촉이 안정적으로 유지되어 신뢰성이 향상된다. 도 7b에 도시되어 있는 프로브(130)의 접속단자부(336)는 스프링밴드(Spring Band: 336a)와 제1 단자(336b)로 구성되어 있다. 스프링밴드(336a)는 밴드(336c)와 이 밴드(336c)의 길이 방향을 따라 등간격을 이루도록 형성되어 있는 복수의 구멍(336d)들을 갖는다. 그리고 밴드(336c)의 양측단은 탄성변형을 위하여 파형으로 형성되어 있다. 인쇄회로기판(100)의 패드(102)들 각각에 제1 단자(336b)가 접촉되면, 밴드(336c)는 구멍(336d)들의 형성에 의하여 원활하게 압축되며, 밴드(336c)의 탄성복원력에 의하여 패드(102)들과 제1 단자(336b)의 접속이 긴밀하게 유지되어 접속불량이 방지된다.
지금부터는, 이와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 프로브 카드용 프로브 조립체에 대한 작용을 설명한다.
도 4와 도 5를 참조하면, 작업자는 서포터(110)와 프로브(130)들의 조립을 위하여 서포터(110)의 제1 및 제2 슬롯(120a, 120b)들 각각에 프로브(130)들의 수직 및 경사아암부(132, 134), 접촉단자부(138)를 대응하는 관계로 끼워 고정한다. 이때, 작업자는 서포터(110)의 상방에 접속단자부(136)의 제1 단자(136b)를 노출시키고, 제1 및 제2 채널(118a, 118b)에 보강부(140)를 끼워 위치시킨다.
프로브(130)들의 수직 및 경사아암부(132, 134)는 절연수지(142)에 의하여 서포터(110)의 제1 및 제2 슬롯(120a, 120b)들 각각에 견고하게 고정된다. 작업자는 서포터(110)의 제1 및 제2 슬롯(120a, 120b)들에 절연수지(142)를 도포하고, 절연수지(142)가 도포되어 있는 제1 및 제2 슬롯(120a, 120b)들에 서포터(110)의 수직 및 경사아암부(132, 134)를 끼워 고정한다. 또한, 작업자는 수직 및 경사아암부(132, 134)에 절연수지(142)를 도포하고, 절연수지(142)가 도포되어 있는 수직 및 경사아암부(132, 134)를 제1 및 제2 슬롯(120a, 120b)들 각각에 끼워 고정할 수도 있다. 절연수지(142)가 완전히 경화되면, 절연수지(142)의 결합력에 의하여 프로브(130)들의 수직 및 경사아암부(132, 134)는 제1 및 제2 슬롯(120a, 120b)들로부터 분리되지 못한다.
다음으로, 작업자는 인쇄회로기판(100)을 관통하여 서포터(110)의 나사구멍(122)들에 나사(124)들을 체결하여 인쇄회로기판(100)의 하면에 서포터(110)를 장착하고, 인쇄회로기판(100)의 패드(102)들에 프로브(130)들의 접속단자부(136)를 접속한다. 접속단자부(136)의 제1 단자(136b)가 패드(102)에 접촉되어 응력을 부여받으면 스프링(136a)이 압축되며, 스프링(136a)의 탄성복원력에 의하여 패드(102)들과 제1 단자(136b)의 접속이 긴밀하게 유지되어 접속불량이 방지된다.
한편, 프로브 카드가 테스트 헤드와 접속되도록 설치된 후, 테스트 헤드의 작동에 의하여 프로브(130)들 각각의 제2 단자(138b)가 피검사체(2)의 패드(4)들 각각에 접촉되어 응력을 부여받으면, 텐션바(138a)가 탄성변형되면서 피검사체(2)의 패드(4)들과 제2 단자(138b)의 접속이 긴밀하게 유지되어 접속불량이 방지된다. 보강부(140)의 연결바(164b)는 탄성변형되는 텐션바(138a)의 상단 중앙을 지탱하여 텐션바(138a)의 소성변형을 방지한다. 따라서 프로브(130)들의 수명이 보장되고 신뢰성이 향상된다. 또한, 접촉단자부(138)의 텐션바(138a)는 제1 및 제2 슬롯(120a, 120b)들에 끼워져 있기 때문에 서포터(110)의 일방향으로 휨변형되지 못한다. 따라서 제2 단자(138b)가 피검사체(2)의 패드(4)들에 정확하게 접촉되어 피검사체(2)의 테스트에 대한 신뢰성과 재현성이 크게 향상된다.
도 8을 참조하면, 작업자는 서포터(110)의 제1 및 제2 슬롯(120a, 120b)들을 직경 약 55.4mm의 휠커터(6)에 의하여 비등간격으로 절삭가공할 경우, 제1 및 제2 슬롯(120a, 120b)들 중 제1 슬롯(120a)들을 제1 사면(114a)에 선가공한 후, 제2 슬롯(120b)들을 제2 사면(114b)에 후가공한다. 제1 슬롯(120a)들은 제1 사면(114a)과 평면(116)에 형성되며, 제2 슬롯(120b)들은 제2 사면(114b)과 평면(116)에 형성된다. 평면(116)에는 휠커터(6)에 의하여 비등간격으로 절삭가공되는 제1 및 제2 슬 롯(120a, 120b)들의 간섭 또는 중첩되는 지점이 발생될 수 있다.
이와 같이 제1 및 제2 슬롯(120a, 120b)들의 간섭 또는 중첩이 평면(116)에 발생될 경우에도, 제1 사면(114a)에 선가공되어 있는 제1 슬롯(120a)들은 제2 슬롯(120b)들을 후가공하는 휠커터(6)에 간섭되지 않는다. 또한, 프로브(130)들의 접촉단자부(138)는 제1 및 제2 슬롯(120a, 120b)들에 끼워지기 때문에 평면(116)의 가공형태에 구애받음이 없이 작동한다. 따라서 접촉단자부(138)의 제2 단자(138b)는 피검사체(2)의 패드(4)에 정확하게 접촉되어 피검사체(2)의 테스트에 대한 신뢰성과 재현성이 향상된다.
이상에서 설명된 실시예는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한 것에 불과하고, 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상과 특허청구범위 내에서 이 분야의 당업자에 의하여 다양한 변경, 변형 또는 치환이 가능할 것이며, 그와 같은 실시예들은 본 발명의 범위에 속하는 것으로 이해되어야 한다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 프로브 카드용 프로브 조립체에 의하면, 서포터의 하면 양측에 박판 타입 프로브들을 장착하기 위한 비등간격의 슬롯들을 휠커터에 의하여 정확하게 절삭가공할 수 있다. 또한, 서포터의 양측에 일방향을 따라 복수의 프로브들을 장착할 수 있으면서도 서포터의 폭이 최소화되어 피검사체의 미세화에 용이하게 대처할 수 있다. 서포터의 일방향에 대한 프로브들의 접촉단차부의 휨변형이 방지되어 신뢰성과 재현성이 크게 향상되는 효과가 있 다.

Claims (6)

  1. 인쇄회로기판의 하면에 장착되어 있으며, 일방향을 따라 서로 평행한 제1 및 제2 측면을 가지고, 하면 양측에 제1 및 제2 측면의 하단으로부터 하방을 향하여 경사지도록 제1 및 제2 사면이 형성되어 있으며, 상기 제1 및 제2 사면이 만나는 모서리는 평면으로 연결되어 있고, 상기 제1 측면과 상기 제1 사면을 연결하는 복수의 제1 슬롯들이 일방향을 따라 형성되어 있으며, 상기 제2 측면과 상기 제2 사면을 연결하는 복수의 제2 슬롯들이 일방향을 따라 형성되어 있고, 절연성을 갖는 서포터와;
    상기 제1 및 제2 슬롯들 각각에 끼워져 고정되는 수직아암부와 경사아암부를 가지며, 상기 인쇄회로기판에 접속할 수 있도록 상기 수직아암부의 상단에 접속단자부가 형성되어 있고, 피검사체에 접촉할 수 있도록 상기 경사아암부의 말단에 접촉단자부가 형성되어 있으며, 상기 접촉단자부는 상기 제1 및 제2 슬롯들 각각에 작동이 가능하도록 끼워져 있는 복수의 프로브들로 이루어지는 프로브 카드용 프로브 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 접속단자부는 상기 수직아암부의 말단으로부터 연장되어 있으며 탄성을 갖는 스프링과 상기 스프링의 말단에 형성되어 있는 제1 단자로 구성되어 있으며, 상기 접촉단자부는 상기 수평아암부의 말단으로부터 탄성을 갖도록 가늘고 길게 연장되어 있는 텐션바와 상기 텐션바의 말단에 형성되어 있는 제2 단자로 구성되어 있으며, 상기 프로브들은 상기 텐션바의 강성을 보강하는 보강부를 더 구비하는 프로브 카드용 프로브 조립체.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 사면 각각의 중앙에 상기 서포터의 일방향을 따라 상기 보강부를 수용하는 제1 및 제2 채널이 더 형성되어 있으며, 상기 보강부는 상기 수평아암부의 말단에 상방을 향하여 연장되어 있는 연장바와, 상기 텐션바의 탄성변형을 지탱하도록 상기 텐션바의 상단 중앙과 상기 연장바의 상단을 연결하는 연결바로 구성되어 있는 프로브 카드용 프로브 조립체.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 제1 및 제2 슬롯들 각각은 상기 서포터의 일방향을 따라 비등간격으로 형성되어 있는 프로브 카드용 프로브 조립체.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 접속단자부는 상기 수직아암부의 말단으로부터 연장되어 있으며 탄성을 갖는 스프링밴드와 상기 스프링밴드의 말단에 형성되어 있는 제1 단자로 구성되어 있으며, 상기 스프링밴드는 밴드와 이 밴드의 길이 방향을 따라 등간격을 이루도록 형성되어 있는 복수의 구멍들을 갖는 프로브 카드용 프로브 조립체.
  6. 측면과, 상기 측면에 경사지게 연결된 사면과, 상기 측면에서 상기 사면에 걸쳐 형성된 복수의 슬롯들을 갖는 서포터와;
    상기 슬롯들에 끼워지고, 상기 측면에 결합되는 제 1 아암부와, 상기 제 1 아암부에 경사지게 연결되고 상기 사면에 결합된 제 2 아암부와, 상기 제 1 아암부의 말단에 연결된 접속단자부와, 상기 제 2 아암부의 말단에 연결된 접촉단자부를 갖는 복수의 프로브들;을 포함하는 프로브조립체.
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