KR100817897B1 - 에프피디 수직 반송 장치 및 그 것을 이용한 에프피디 제조장치 - Google Patents

에프피디 수직 반송 장치 및 그 것을 이용한 에프피디 제조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 에프피디 수직 반송 장치 및 이 것을 이용한 에프피디(FPD:Flat Panel Display) 제조 장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 에프피디 수직 반송 장치는 일정간격 이격되어 나란히 진행하고 재질은 이송하는 시료의 무게에 따라 산화로 인한 분진이 발생하지 않도록 표면이 아노다이징 처리된 알루미늄 또는 스테인레스 또는 스틸인 1쌍의 레일(8)과, 상기 레일(8)을 지지하면서 천장 또는 천장 콘베이어에 매다는 프레임(6)을 구비한 반송로 블록(3a, 3b); 상기 반송로 블록(3a, 3b)의 레일상을 주행하는 구동 바퀴(10)와, 상기 구동 바퀴(10)를 회전시키는 모터(11)와, 상기 모터(11)에 전원을 공급하는 밧데리(12)와, 상기 모터(11)의 회전 방향 및 회전 속도를 설정치대로 제어하고 하기 센서로 부터 다른 시료의 간섭 신호가 입력되면 모터를 정지시키는 모터제어부(4)를 구비한 대차(1a, 1b); 상기 대차(1a, 1b) 하부에 회전가능하게 결합되어 대차(1a, 1b)에 시료를 적치한 카세트(14a, 14b)를 결합하는 홀더(13); 및 상기 대차(1a, 1b)와 함께 이동하면서 접근하는 다른 시료를 감지하여 신호를 출력하는 센서(5a, 5b);를 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 의하면, 에프피디 제조 공정중 시료를 천정에서 수직으로 세워 반송할 수 있으므로, 에프피디 제조 장치나 반송 장치의 작업공간을 최소화할 수 있고, 이동 경로의 제한 없이 편리하게 시료를 운반할 수 있으며, 제조 장치나 반송 장치의 유지 보수가 용이한 효과가 있다.
Figure R1020060110238
에프피디, 제조 장치, 로버트

Description

에프피디 수직 반송 장치 및 그 것을 이용한 에프피디 제조 장치{VERTICAL HOLDING TRANSPORT VEHICLE AND PROCESSING EQUIPMENTS FOR FLAT PANEL DISPLAY THEREWITH}
도 1a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 에프피디 수직 반송 장치의 사시도이다.
도 1b는 도 1a의 우측면도이다.
도 1c는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 에프피디 수직 반송 장치의 사시도이다.
도 2a는 도 1a에 도시된 에프피디 수직 반송 장치에 가이드를 추가하고 도시한 사시도이다.
도 2b는 도 1b에 도시된 에프피디 수직 반송 장치에서 가이드를 추가하고 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 에프피디 수직 반송 장치의 제어 부분에 대한 블록도이다.
도 4a는 도 1a 및 도 2b에 도시된 에프피디 수직 반송 장치를 서로 조합하여 카세트를 직렬 또는 병렬로 반송하는 것을 보여 주는 사용 상태도이다.
도 5a 내지 5c는 도 1a 또는 도 1b에 도시된 에프피디 수직 반송 장치를 이 용하여 로딩 및 언로딩 기능을 수행하게 한 에프피디 제조 장치의 구성도이다.
도 6a 및 6b는 도 1a 또는 도 1b에 도시된 에프피디 수직 반송 장치를 이용하여 버퍼 기능을 수행하게 한 에프피디 제조 장치의 구성도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
1a, 1b : 대차 2 : 대차몸체
3a, 3b : 반송로 블록 4 : 모터제어부
5a, 5b : 센서 6 : 프레임
7 : 가이드 8 : 레일
9 : 가이드 바퀴 10 : 구동 바퀴
11 : 모터 12 : 밧데리
13 : 홀더 14a, 14b: 카세트
15 : 지그 16 : 메인 콘트롤러
17 : 분석용 컴퓨터 18 : 리모콘
19 : 로보트 20 : 분류기
21a ~ 21e : 제조 장치 22a,...,22n : 로더/언로더
23a,...,23n : 버퍼 FPD : 에프피디
본 발명은 시료에 대한 수직 반송 장치 및 이 것을 이용한 에프피디(FPD:Flat Panel Display) 제조 장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 에프피디 제조 공정 내의 그라스 가공, 판넬 가공/제조, 모듈 조립/시험, 출하 및 기타 부품조립 공정의 시료 등을 간편하게 수직으로 세워서 운반하여 공정 진행에 사용 할 수 있게 하는 수직 반송 장치 및 그 것을 이용한 에프피디 제조 장치에 관한 것이다.
종래, 에프피디 제조 공정상 시료의 이동은 시료를 수평으로 눕혀서 바닥에서 이송하는 수평 형태의 반송장치에 의하여 주로 어루어져 왔다. 그러나 수평 반송의 경우 시료의 공정 수행을 진행함에 있어 기울임, 회전, 반전 등의 기능성 동작 구현을 위해 별도의 부속 설비들이 필요하게 되며 시료의 크기 증가에 따라 넓은 작업 공간의 필요와 이에 따른 과다한 비용 부담 등의 문제점이 발생하고 있다.
상술한 종래 에프피디 제조 공정에 사용하고 있는 시료 반송 장치의 문제점을 해결하고자 안출된 본 발명은 제조 공정 중 신속하게 시료를 수직 방향으로 세워서 천정으로 반송할 수 있는 수직 반송 장치 및 그 것을 이용한 에프피디 제조 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 시료 이송 중 반송 장치에서 분진 등이 발생하지 않는 크린룸용 수직 반송 장치 및 그 것을 이용한 에프피디 제조 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 에프피디 제조 공장내의 장비간 작업공간 또는 바닥 공간을 제약하지 않으면서, 시료를 편리하게 운반 및 보관 할 수 있는 수직 반송 장치 및 그 것을 이용한 에프피디 제조 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 개별 제조장치와 결합하여 시료를 공급하거나 회수할 수 있는 기능(로더 또는 언로더 기능) 및 제조 장치 내 공정 진행 중 시료를 이송하면서 일시적으로 시료를 보관하는 기능(버퍼 기능)을 바닥 면적의 점유 없이 수행함으로써 장치 점유 면적을 획기적으로 줄여 줄 수 있는 수직 반송 장치를 이용한 에프피디 제조 장치를 제공하는 데 있다.
상술한 목적을 달성하고자 하는 본 발명에 따른 에프피디 제조 공정용 수직 반송 장치는
일정간격 이격되어 나란히 진행하고 재질은 이송하는 시료의 무게에 따라 산화로 인한 분진이 발생하지 않도록 표면이 아노다이징 처리된 알루미늄 또는 스테인레스 또는 스틸인 1쌍의 레일과, 상기 레일을 지지하면서 천장 콘베이어에 매다 는 프레임을 구비한 반송로 블록;
상기 반송로 블록의 레일상을 주행하는 구동 바퀴와, 상기 구동 바퀴를 회전시키는 모터와, 상기 모터에 전원을 공급하는 밧데리와, 상기 모터의 회전 방향 및 회전 속도를 설정치대로 제어하고 하기 센서로 부터 다른 시료의 간섭 신호가 입력되면 모터를 정지시키는 모터제어부를 구비한 대차;
상기 대차 하부에 회전가능하게 결합되어 대차에 시료를 적치한 카세트를 결합하는 홀더; 및
상기 대차와 함께 이동하면서 접근하는 다른 시료를 감지하여 신호를 출력하는 센서;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 에프피디 수직 반송 장치는 상기 반송로 블록의 레일에 2개의 상기 대차를 직렬로 배치하고 각각의 대차에 마련된 홀더에 의하여 카세트의 2지점을 고정하여 카세트를 반송로 블록과 나란한 상태로 이송할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 에프피디 수직 반송 장치는 상기 반송로 블록 2개를 인접시키고 각각의 반송로 블록에 대차를 1개씩 배치하며, 각각의 대차에 마련된 홀더에 의하여 카세트의 2지점을 고정하여 카세트를 반송로 블록과 직각 또는 경사각을 유지한 상태로 이송할 수 있다.
본 발명에 따른 수직 반송 장치를 이용한 에프피디 제조 장치는 상기 에프피 디 수직 반송 장치를 단수열 또는 복수열로 조합하거나, 단수층 또는 복수층으로 조합하여 1개의 제조 장치와 결합시킴으로서 제조 장치에 시료를 공급하거나 제조 장치로 부터 시료를 회수하는 로더 및 언로더 기능을 수행하게 한 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 수직 반송 장치를 이용한 에프피디 제조 장치는 상기 에프피디 수직 반송 장치를 단수열 또는 복수열로 조합하거나, 단수층 또는 복수층으로 조합하여 2개의 제조 장치 사이에 결합함으로써, 2개의 제조 장치 간에 시료를 이동시키는 이송 기능 및 2개의 제조 장치 간 공정 진행 중 시료를 일시 보관하는 버퍼 기능을 수행하게 한 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조로 하여 본 발명에 따른 에프피디 수직 반송 장치 및 그 것을 이용한 에프피디 제조 장치의 바람직한 실시 예을 상세히 설명한다.
도 1a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 에프피디 수직 반송 장치의 사시도를, 도 1b는 도 1a의 우측면도를, 도 1c는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 에프피디 수직 반송 장치의 사시도를, 도 2a는 도 1a에 도시된 에프피디 수직 반송 장치에 가이드를 추가하고 도시한 사시도를, 도 2b는 도 1b에 도시된 에프피디 수직 반송 장치에서 가이드를 추가하고 도시한 사시도를, 도 3은 본 발명에 따른 에프피디 수직 반송 장치의 제어 부분에 대한 블록도를 각각 나타낸다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 본 발명에 따른 에프피디 수직 반송 장치는 천장 또는 천장 콘베이어에 설치된다. 또한, 본 발명에 따른 에프피디 수직 반송 장치는 일정한 길이를 갖는 블록 단위로 제작되어 이를 직렬 또는 병렬로 연결하여 사용할 수 있게 한다. 이를 위하여 본 발명은 반송로 블록(3a, 3b)와 반송로 블록(3a, 3b)에 가이드 되어 시료(가공 중에 있는 FPD, 이하 단순히 시료라고도 함)를 운반하는 대차(1a, 1b)를 포함한다.
상기 반송로 블록(3a, 3b)은 일정간격 이격되어 나란히 진행하는 1쌍의 레일(8)과, 상기 레일(8)을 지지하면서 천장 또는 천장 콘베이어 매다는 프레임(6)을 포함하여 구성된다. 상기 레일의 재질은 이송하는 시료의 무게에 따라 산화로 인한 분진이 발생하지 않도록 표면이 아노다이징 처리된 알루미늄 또는 스테인레스 또는 스틸인 것이 바람직하다.
상기 대차(1a, 1b)는 상기 반송로 블록(3a, 3b)의 레일상을 주행하는 구동 바퀴(10)와, 상기 구동 바퀴(10)를 회전시키는 모터(11)와, 상기 모터(11)에 전원을 공급하는 밧데리(12)와, 상기 모터(11)의 회전 방향 및 회전 속도를 설정치대로 제어하고 하기 센서로 부터 다른 시료(FPD)의 간섭 신호가 입력되면 모터를 정지시키는 모터제어부(4)를 포함하여 구성된다. 상기 바퀴(10)의 재질로 이송하는 시료의 무게에 따라 엔지니어링 프라스택 종류의 우레탄 또는 불크란을 사용하면 이물 질이 발생하지 않아 본 발명에 따른 에프피디 수직 반송 장치을 크린룸에서 사용할 수 있게 된다. 상기 모터(11)는 기어드 모터(geared motor)를 사용하는 것이 바람직하며, 대차몸체(2) 내부에 실장된다.
상기 대차몸체(2) 하부에는 상기 레일(8)의 내측면과 접촉하면서 아이들 회전하는 가이드 바퀴(9)를 더 부착하는 것이 바람직하다. 이 가이드 바퀴(9)에 의하여 대차가 시료(FPD)를 흔들림 없이 안정적으로 이송할 수 있게 된다.
에프피디는 통상 카세트(14a, 14b) 또는 파렛트에 수용되어 이송된다. 따라서, 상기 대차(1a, 1b) 하부에 홀더(13)를 회전가능하게 형성하고, 이 홀더(13)에 의하여 대차(1a, 1b)에 시료(FPD)를 적치한 카세트(14a, 14b)를 결합한다. 이 때 상기 홀더(13)와 카세트(14a, 14b) 사이에는 카세트(14a, 14b)의 탈착을 용이하게 하기 위하여 지그(15)를 더 부착할 수 있다.
상기 대차(1a, 1b)는 이동 중에 다른 이동 중인 대차와 충돌할 수 있으므로, 이를 예방할 수 있는 수단이 필요하다. 이를 위하여, 본 발명에 따른 에프피디 수직 반송 장치는 대차(1a, 1b)가 이동하면서 접근하는 다른 시료(FPD)를 감지하여 신호를 출력하는 센서(5a, 5b)를 더 구비하고, 센서(5a, 5b) 출력을 상기 모터제어부(4)에 직접 전송하거나, 후술하는 메인 콘트롤러(16)에 전송하여 대차를 자동으로 정지시키게 한다. 상기 감지 센서(5a, 5b)는 도 1a에 도시된 바와 같이 상기 지 그(15) 전후단에 구비할 수 있다.
상술한 구성에 의하여 본 발명은 상기 모터제어부(4)에 의하여 모터의 속도를 가감할 수 있고, 상기 대차의 전후의 센서(5a, 5b)에 의하여, 시료(FPD)이송 간 간섭을 감지하여 모터제어부(4)에 전달하여 시료(FPD)의 구동, 정지가 설정치대로 유지되게 할 수 있다.
본 발명에 따른 에프피디 수직 반송 장치는, 도 1a 및 도 2a에 도시된 바와 같이, 상기 반송로 블록(3a, 3b)의 레일(8)에 2개의 상기 대차(1a, 1b)를 직렬로 배치하고 각각의 대차(1a, 1b)에 마련된 홀더(13)에 의하여 카세트(14a, 14b)의 2지점을 고정하여 카세트(14a, 14b)를 반송로 블록(3a)과 나란한 상태로 이송하게 구성할 수 있다. 이러한 구성에 의한 이송을 이하에서는 직렬 이송이라고도 한다.
뿐만 아니라, 본 발명에 따른 에프피디 수직 반송 장치는, 도 1c 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 상기 반송로 블록 2개(3a, 3b)를 인접시키고 각각의 반송로 블록(3a, 3b)에 대차(1a, 1b)를 1개씩 배치하며, 각각의 대차(1a, 1b)에 마련된 홀더(13)에 의하여 카세트(14a, 14b)의 2지점을 고정하여 카세트(14a, 14b)를 반송로 블록(3a, 3b)과 직각 또는 경사각을 유지한 상태로 이송하게 구성할 수도 있다. 이러한 구성에 의한 이송을 이하에서는 병렬 이송이라고도 한다.
도 2a 및 도 2b를 참보하면, 상기 반송로 블록(3a, 3b)의 프레임(6) 상단 내측에는 가이드(7)를 더 삽입하여 대차(1a, 1b)가 이동 중 상하방향의 요동없이 안정적으로 이동할 수 있게 하고, 양단 프레임(6)을 견고하게 지지하여 레일(8) 폭 등 반송로 블록(3a, 3b) 구조에 변형이 발생하지 않게 하는 것이 바람직하다.
도 1a 및 도 3을 참조하면, 각 대차(1)와 연결된 상기 지그(15)에는 메인 콘트롤러(16)를 구비하고, 상기 모터제어부(4), 공정 분석용 컴퓨터(17) 및 상기 센서(5a, 5b)와 유선 또는 무선으로 연결하여 개별 시료(FPD)에 관한 정보를 분석 및관리 할 수 있게 하는 것이 바람직하다.
도 4a는 도 1a 및 도 2b에 도시된 에프피디 수직 반송 장치를 서로 조합하여 카세트를 직렬 또는 병렬로 반송하는 것을 보여 주는 사용 상태도를, 도 5a 내지 5c는 도 1a 또는 도 1b에 도시된 에프피디 수직 반송 장치를 이용하여 로딩 및 언로딩 기능을 수행하게 한 에프피디 제조 장치의 구성도를, 도 6a 및 6b는 도 1a 또는 도 1b에 도시된 에프피디 수직 반송 장치를 이용하여 버퍼 기능을 수행하게 한 에프피디 제조 장치의 구성도를 각각 나타낸다.
도 4a 및 4b를 참조하면, 본 발명에 따른 에프피디 수직 반송 장치는 서로 직렬로 연결되거나 병렬로 연결되어 시료의 직렬 이송(A) 및 병렬 이송(B)에 사용될 수 있다. 또한, 직렬 이송(A)에서 병렬 이송(B)으로, 역으로 병렬 이송(B)에서 직렬 이송(A)으로 용이하게 전환할 수 있다. 대차(1a, 1b)의 모터(11)에 전원이 공급되면 모터(11)가 회전하여 대차(1a, 1b)를 기동시키고 모터(11)의 회전 방향에 따라 대차(1a, 1b)가 순방향 또는 역방향으로 시료(FPD)를 이송 시키게 되며, 이송 속도는 모터(11)의 회전 속도로 제어 된다. 도 1a 내지 도 2b에 도시된 카세트(14a)는 단판용 카세트이고, 도 4a에 도시된 카세트(14b)는 2판용 카세트이다.
도 5a 내지 도 6b에는 본 발명에 따른 에프피디 수직 반송 장치를 간략히 표시하기 위하여 대차(1a, 1b)와 카세트(14a)만을 표시하고, 반송로 블록은 생략하여 도시하였다.
도 5a 내지 도 5c를 참조하면, 본 발명에 따른 에프피디 수직 반송 장치는 단수열 또는 복수열로 조합하거나, 단수층 또는 복수층으로 조합하여 1개의 제조 장치(21a)와 결합시킴으로서 제조 장치(21a)에 시료(FPD)를 공급하거나 제조 장치로 부터 시료(FPD)를 회수하는 로더 및 언로더 기능을 수행하게 할 수 있다.
도 5a에 도시된 에프피디 제조 장치는 본 발명에 따른 에프피디 수직 반송 장치를 다수개 병렬로 설치하여 로더/언로더(22a)를 구성하고, 시료를 직렬 이송방법으로 투입한 후, 콘베이어(도면에는 도시하지 않음)에 의하여 시료(FPD)를 로보트(19)측으로 이송한다. 이송된 시료(FPD)를 로버트(19)의 핸들링에 의하여 제조장치(21a)에 투입한 후 가공하고, 가공이 끝나면 다시 로버트(19)의 핸들링에 의하여 에프피디 수직 반송 장치로 복귀 시킨 후 회수한다.
도 5b에 도시된 에프피디 제조 장치는 로더/언로더(22a,...,22n)를 다수열로 구성하고, 시료를 다수의 투입구로 투입한 후, 콘베이어와 대차(1a, 1b)에 의하여 로버트(19)측으로 이송한다. 이송된 시료(FPD)를 로버트(19)의 핸들링에 의하여 제조장치(21a)에 투입한 후 가공하고, 가공이 끝나면 다시 로버트(19)의 핸들링에 의하여 에프피디 수직 반송 장치로 복귀 시킨 후 회수한다.
도 5c에 도시된 에프피디 제조 장치는 로버트(19)와 제조 장치(21a)가 모두 로더/언로더의 마직막 열에 결합되어 있는 점에서 도 5b와 다르다. 이 것은 로버트(19)의 핸들링이 불필요한 공정이 포함된 경우에 적용될 수 있다.
도 6a 및 도 6b에 도시된 에프피디 제조 장치는 본 발명에 따른 에프피디 수직 반송 장치를 단수열 또는 복수열로 조합하거나, 단수층 또는 복수층으로 조합하여 2개의 제조 장치(21b, 21c 또는 21d, 21e) 사이에 결합함으로써, 2개의 제조 장치(21b, 21c 또는 21d, 21e) 간에 시료(FPD)를 이동시키는 이송 기능 및 2개의 제조 장치(21b, 21c 또는 21d, 21e) 간 공정 진행 중 시료(FPD)를 일시 보관하는 버퍼 기능을 수행하게 한 에프피디 제조 장치이다.
도 6a 및 도 6b에 도시된 에프피디 제조 장치는 공정진행 중 일시적으로 시 료(FPD)를 보관하는 버퍼기능을 수행할 수 있는 점에 특징이 있다. 계획된 이송 경로에 따라 투입된 시료(FPD)를 단수열 또는 복수열 또는 단수층, 복수층 조합과 각 레일(8)의 직렬 또는 병렬 조합으로 구성하여 분류기(20a ~ 20 d)를 통하여 차례로 보관하도록 설계된 버퍼(23a,...,23n)에 일정 개수의 시료(FPD)를 공급시킨 후, 분류기(20a ~ 20 d)를 통하여 순차적으로 제조 장치(4)에 공급 한 후 공정이 완료되면 이를 다시 차례로 회수 할 수 있게 된다.
상술한 구성을 갖는 본 발명에 따른 에프피디 제조 장치는 수직 반송 장치를 개별 제조 장비와의 결합하여 시료(FPD) 이송의 다양화와 장치 구성 면적을 최소화를 달성할 수 있게 된다.
상술한 구성을 갖는 본 발명에 의하면, 에프피디 제조 공정중 시료를 천정에서 수직으로 세워 반송할 수 있으므로, 에프피디 제조 장치나 반송 장치의 작업공간을 최소화할 수 있고, 이동 경로의 제한 없이 편리하게 시료를 운반할 수 있으며, 제조 장치나 반송 장치의 유지 보수가 용이한 효과가 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 제조 장치나 제조 공간을 획기적으로 줄임으로 인하여 에프피디 제조 비용을 줄이고, 생산성을 증대 할 수 있는 장점이 있다.
이상 본 발명을 도면에 도시된 실시 예에 의하여 설명하였으나, 본 발명의 보호 범위를 여기에 한정하는 것은 아니며, 따라서 본 발명의 보호 범위는 특허청구범위에 기재된 발명과 이에 균등한 모든 실시 예에 미치는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (5)

  1. 일정간격 이격되어 나란히 진행하고 재질은 이송하는 시료의 무게에 따라 산화로 인한 분진이 발생하지 않도록 표면이 아노다이징 처리된 알루미늄 또는 스테인레스 또는 스틸인 1쌍의 레일(8)과, 상기 레일(8)을 지지하면서 천장 또는 천장 콘베이어에 매다는 프레임(6)을 구비한 반송로 블록(3a, 3b);
    상기 반송로 블록(3a, 3b)의 레일상을 주행하고 재질은 우레탄 또는 불크란 인 구동 바퀴(10)와, 상기 구동 바퀴(10)를 회전시키는 모터(11)와, 상기 모터(11)에 전원을 공급하는 밧데리(12)와, 상기 모터(11)의 회전 방향 및 회전 속도를 설정치대로 제어하고 하기 센서로 부터 다른 시료의 간섭 신호가 입력되면 모터를 정지시키는 모터제어부(4)를 구비한 대차(1a, 1b);
    상기 대차(1a, 1b) 하부에 회전가능하게 결합되어 대차(1a, 1b)에 시료를 적치한 카세트(14a, 14b)를 결합하는 홀더(13); 및
    상기 대차(1a, 1b)와 함께 이동하면서 접근하는 다른 시료를 감지하여 신호를 출력하는 센서(5a, 5b);를 포함하는 것을 특징으로 하는 에프피디 수직 반송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 반송로 블록(3a, 3b)의 레일(8)에 2개의 상기 대차(1a, 1b)를 직렬로 배치하고 각각의 대차(1a, 1b)에 마련된 홀더(13)에 의하여 카세트(14a, 14b)의 2지점을 고정하여 카세트(14a, 14b)를 반송로 블록(3a)과 나란한 상태로 이송하는 것을 특징으로 하는 에프피디 수직 반송 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 반송로 블록 2개(3a, 3b)를 인접시키고 각각의 반송로 블록(3a, 3b)에 대차(1a, 1b)를 1개씩 배치하며, 각각의 대차(1a, 1b)에 마련된 홀더(13)에 의하여 카세트(14a, 14b)의 2지점을 고정하여 카세트(14a, 14b)를 반송로 블록(3a, 3b)과 직각 또는 경사각을 유지한 상태로 이송하는 것을 특징으로 하는 에프피디 수직 반송 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 1항에 기재된 에프피디 수직 반송 장치를 단수열 또는 복수열로 조합하거나, 단수층 또는 복수층으로 조합하여 1개의 제조 장치(4a)와 결합시킴으로서 제조 장치(4a)에 시료를 공급하거나 제조 장치로 부터 시료를 회수하는 로더 및 언로더 기능을 수행하게 한 것을 특징으로 하는 수직 반송 장치를 이용한 에프피디 제조 장치.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 1항에 기재된 에프피디 수직 반송 장치를 단수열 또는 복수열로 조합하거나, 단수층 또는 복수층으로 조합하여 2개의 제조 장치(4b, 4c 또는 4d, 4e) 사이에 결합함으로써, 2개의 제조 장치(4b, 4c 또는 4d, 4e) 간에 시료를 이동시키는 이송 기능 및 2개의 제조 장치(4b, 4c 또는 4d, 4e) 간 공정 진행 중 시료를 일시 보관하는 버퍼 기능을 수행하게 한 것을 특징으로 하는 수직 반송 장치를 이용한 에프피디 제조 장치.
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KR100709068B1 (ko) 2006-10-17 2007-04-18 쓰리피시스템(주) 평판 디스플레이의 반송장치

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