KR100812513B1 - 수직 자기 기록 매체 - Google Patents

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Abstract

보조 자성층(37)은 기판(31)의 표면을 덮는 연자성의 하층(38) 상에 형성된다. 기록 자성층(36)은 보조 자성층(37) 상에 형성된다. 보조 자성층(37)은 기판(31)의 표면에 직교하는 수직 방향으로 자화 용이축을 갖는다. 기록 자성층(36)에서는 기판(31)의 표면에 직교하는 수직 방향으로 자성이 강화된다. 보조 자성층(37)에 의하면, 더욱더 수직 방향의 기록 자계는 강화될 수 있다.

Description

수직 자기 기록 매체{VERTICAL MAGNETIC RECORDING MEDIUM}
본 발명은 예컨대, 하드디스크 구동 장치(HDD)와 같은 자기 기록 매체 구동 장치에 사용될 수 있는 수직 자기 기록 매체에 관한 것이다.
하드디스크(HD)와 같은 자기 기록 매체 분야에서는 수직 자기 기록 매체가 널리 알려져 있다. 수직 자기 기록 매체에는 표면에서 기록 자성층을 지지하는 연자성의 하층이 삽입된다. 소위 단자극(單磁極) 헤드로부터 자계가 작용하면, 하층의 경상(鏡像) 효과에 기초하여 기판의 표면에 직교하는 수직 방향으로 기록 자성층의 자화가 강화될 수 있다고 생각되어져 왔다. 실제로는, 하층이 삽입되더라도 기대한 대로 기록 자성층에서 수직 방향으로 자화가 강화되지는 않는다.
본 발명은 상기 실상을 감안하여 이루어진 것으로서, 기판의 표면에 직교하는 수직 방향으로 자화를 강화할 수 있는 수직 자기 기록 매체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 따르면, 기판과, 기판의 표면에 직교하는 수직 방향으로 자화 용이축(容易軸)을 갖는 기록 자성층과, 표면에서 기록 자성층을 지지하며, 상기 수직 방향을 따라서 자화 용이축을 갖는 보조 자성층을 구비하는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체가 제공된다.
이와 같은 수직 자기 기록 매체에서는, 보조 자성층으로 용이하게 수직 방향으로 자화를 확립할 수 있다. 따라서, 기록 자성층의 표면에 직교하는 수직 방향으로 자속이 흐르면, 그러한 자속은 기록 자성층의 전역에 걸쳐 수직 방향으로 흐를 수 있다. 기록 자성층에서는 확실하게 수직 방향으로 자화가 확립된다. 이렇게 해서 기록 자성층으로부터 누설되는 자화, 즉 기록 자계가 강화된다. 특히, 이와 같은 기록 자성층에 의하면, 인접하는 자기 정보(2치 정보)간의 경계에서 기록 자계가 강화될 수 있다.
보조 자성층은 기록 자성층의 보자력보다도 작은 보자력을 가질 것이 요망된다. 특히, 보조 자성층의 막 두께와 잔류 자속 밀도와의 곱은 기록 자성층의 막 두께와 잔류 자속 밀도와의 곱의 5분의 1 이하로 설정될 것이 요망된다. 이와 같은 잔류 자화막 두께의 곱의 설정에 의하면, 보조 자성층으로부터 누설되는 자계는 가능한 한 억제될 수 있다. 자기 정보의 독출시에 보조 자성층의 영향은 가능한 한 배제될 수 있다. 이와 같은 보조 자성층은 적어도 Co를 함유하는 자성막과, 적어도 Pt, Pd, Au 및 Ag 중 어느 하나를 함유하는 비자성막의 적층체로 구성되면 좋다.
이상과 같은 수직 자기 기록 매체에는, 표면에서 보조 자성층을 지지하며, 기판의 면내 방향으로 자화 용이축을 갖는 연자성의 하층이 추가로 삽입되어도 좋다. 수직 자기 기록 매체에 예컨대, 단자극 헤드가 마주 보게 하면, 주지하는 바와 같이, 단자극 헤드의 주(主)자극, 보조 자극 및 하층에서 자속의 순환 경로가 형성될 수 있다. 예컨대, 주자극의 선단으로부터 누설되는 자속은 수직 방향을 따라서 하층까지 유도된다. 하층에서 자속은 기판의 면내 방향으로 흐른다. 그 후, 자속은 하층으로부터 보조 자극을 향하여 수직 방향으로 흐른다. 이렇게 해서 기록 자성층에는 수직 방향으로 자화가 확립될 수 있다.
그 외, 수직 자기 기록 매체에는 표면에서 보조 자성층을 지지하는 비자성층과, 표면에서 비자성층을 지지하며, 기판의 면내 방향으로 자화 용이축을 갖는 연자성의 하층이 동시에 삽입되어도 좋다. 이와 같은 수직 자기 기록 매체에 의하면, 전술한 바와 같이, 하층의 작용에 의해 기록 자성층에는 확실하게 수직 방향으로 자화가 확립될 수 있다. 더욱이, 보조 자성층과 하층과의 사이에 비자성층이 개재되면, 보조 자성층과 하층과의 자기적 상호 작용이 저지될 수 있다. 이렇게 해서 자기적 상호 작용이 저지되면, 자기 정보는 확실하게 판독될 수 있다.
또, 이상과 같은 수직 자기 기록 매체는 예컨대, 하드디스크 구동 장치(HDD)에 삽입되어 이용되어도 좋고, 그 외의 자기 기록 매체 구동 장치에 삽입되어 이용되어도 좋다.
도 1은 자기 기록 매체 구동 장치의 일구체예, 즉 하드디스크 구동 장치(HDD)의 내부 구조를 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 2는 자기 디스크의 구조를 상세히 도시하는 확대 수직 단면도이다.
도 3은 자기 정보의 기록시에 기록 자계의 모습을 개념적으로 도시하는 부상 헤드 슬라이더 및 자기 디스크의 확대 부분 단면도이다.
도 4는 밀착막의 형성 공정을 개념적으로 도시하는 기판의 수직 부분 단면도 이다.
도 5는 하층의 형성 공정을 개념적으로 도시하는 기판의 수직 부분 단면도이다.
도 6은 비자성층의 형성 공정을 개념적으로 도시하는 기판의 수직 부분 단면도이다.
도 7은 보조 자성층의 형성 공정을 개념적으로 도시하는 기판의 수직 부분 단면도이다.
도 8은 기록 자성층의 형성 공정을 개념적으로 도시하는 기판의 수직 부분 단면도이다.
도 9는 기록 전류의 전류치와 재생 출력과의 관계를 도시하는 그래프이다.
도 10은 자계 분포의 검증시에 자기 디스크상에 확립되는 기록 트랙의 개념을 도시하는 확대 부분 평면도이다.
도 11은 소위 사이드소거 폭의 개념을 도시하는 자계 분포의 그래프이다.
도 12는 기록 전류의 전류치와 사이드소거 폭과의 관계를 도시하는 그래프이다.
도 13은 기록 전류의 전류치(Iw90)와 하층의 투자율(透磁率)과의 관계를 도시하는 그래프이다.
도 14는 보조 자성층 및 기록 자성층간에 특정되는 잔류 자화막 두께의 곱의 배율과 S/N비와의 관계를 도시하는 그래프이다.
도 15는 보조 자성층의 막 두께와 S/N비와의 관계를 도시하는 그래프이다.
도 16은 비자성층의 막 두께와 S/N비와의 관계를 도시하는 그래프이다.
이하, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명의 일 실시예를 설명한다.
도 1은 자기 기록 매체 구동 장치의 일구체예, 즉 하드디스크 구동 장치(HDD)(11)의 내부 구조를 개략적으로 도시한다. 이 HDD(11)는 예컨대, 평평한 직방체의 내부 공간을 구획하는 박스형의 케이스 본체(12)를 구비한다. 수용 공간에는 기록 매체로서의 1장 이상의 자기 디스크(13)가 수용된다. 자기 디스크(13)는 스핀들 모터(14)의 회전축에 장착된다. 스핀들 모터(14)는 예컨대, 7200 rpm이나 10000 rpm과 같은 고속도로 자기 디스크(13)를 회전시킬 수 있다. 케이스 본체(12)에는 케이스 본체(12)와의 사이에서 수용 공간을 밀폐하는 덮개, 즉 커버(도시하지 않음)가 결합된다.
수용 공간에는 헤드 액츄에이터(15)가 추가로 수용된다. 이 헤드 액츄에이터(15)는 수직 방향으로 연장되는 지지축(16)에 회전 가능하게 지지되는 액츄에이터 블록(17)을 구비한다. 액츄에이터 블록(17)에는 지지축(16)으로부터 수평 방향으로 연장되는 강체(剛體)의 액츄에이터 아암(18)이 규정된다. 액츄에이터 아암(18)은 자기 디스크(13)의 표면 및 이면에 각각 배치된다. 액츄에이터 블록(17)은 예컨대, 주조에 기초하여 알루미늄으로 성형되면 좋다.
액츄에이터 아암(18)의 선단에는 헤드 서스펜션(19)이 부착된다. 헤드 서스펜션(19)은 액츄에이터 아암(18)의 선단으로부터 전방을 향하여 연장된다. 주지하는 바와 같이, 헤드 서스펜션(19)의 전단에는 부상 헤드 슬라이더(21)가 지지된다. 이렇게 하여 부상 헤드 슬라이더(21)는 액츄에이터 블록(17)에 연결된다. 부상 헤드 슬라이더(21)는 자기 디스크(13)의 표면과 마주 보게 된다.
부상 헤드 슬라이더(21)에는 소위, 자기 헤드 즉 전자 변환 소자(도시하지 않음)가 탑재된다. 이 전자 변환 소자는 예컨대, 스핀 밸브 막이나 터널 접합 막의 저항 변화를 이용하여 자기 디스크(13)로부터 정보를 독출하는 거대 자기 저항 효과 소자(GMR)나 터널 접합 자기 저항 효과 소자(TMR)와 같은 독출 소자(도시하지 않음)와, 박막 코일 패턴으로 생성되는 자계를 이용하여 자기 디스크(13)에 정보를 기록하는 단자극 헤드와 같은 기록 소자(도시하지 않음)로 구성되면 좋다.
부상 헤드 슬라이더(21)에는 자기 디스크(13)의 표면을 향하여 헤드 서스펜션(19)으로부터 압착력이 작용한다. 자기 디스크(13)의 회전에 기초하여 자기 디스크(13)의 표면에서 생성되는 기류의 작용에 의해 부상 헤드 슬라이더(21)에는 부력이 작용한다. 헤드 서스펜션(19)의 압착력과 부력과의 밸런스에 의해 자기 디스크(13)의 회전중에 비교적 높은 강성으로 부상 헤드 슬라이더(21)가 계속 부상할 수 있다.
액츄에이터 블록(17)에는 예컨대, 보이스 코일 모터(VCM)와 같은 동력원(22)이 접속된다. 이 동력원(22)의 작용에 의해 액츄에이터 블록(17)은 지지축(16) 둘레에서 회전할 수 있다. 이러한 액츄에이터 블록(17)의 회전에 기초하여 액츄에이터 아암(18) 및 헤드 서스펜션(19)의 요동이 실현된다. 부상 헤드 슬라이더(21)의 부상중에 지지축(16) 둘레에서 액츄에이터 아암(18)이 요동하면, 부상 헤드 슬라이더(21)는 반경 방향으로 자기 디스크(13)의 표면을 가로지를 수 있다. 주지하는 바 와 같이, 복수매의 자기 디스크(13)가 케이스 본체(12) 내에 내장되는 경우에는, 인접하는 자기 디스크(13) 사이에 2개의 액츄에이터 아암(18), 즉 2개의 헤드 서스펜션(19)이 배치된다.
도 2는 자기 디스크(13)의 단면 구조를 상세히 도시한다. 이 자기 디스크(13)는 지지체로서의 기판(31)과, 다층 구조막(32)을 구비한다. 기판(31)은 예컨대, 유리 기판으로 구성되면 좋다. 단, 기판(31)은 디스크형의 Al 본체와, Al 본체의 표면 및 이면을 덮는 NiP막으로 구성되어도 좋다. 다층 구조막(32)에 자기 정보가 기록된다. 다층 구조막(32)의 표면은 예컨대, 다이아몬드 상 카본(DLC)과 같은 보호막(33)이나, 퍼플루오르폴리에테르와 같은 윤활막(34)으로 피복된다.
다층 구조막(32)은 기록 자성층(36)을 구비한다. 기록 자성층(36)에는 기판(31)의 표면에 직교하는 수직 방향으로 자화 용이축이 정렬된다. 이와 같은 자화 용이축의 확립시에 기록 자성층(36)은 예컨대, 초(超)박막의 적층체로 구성되면 좋다. 이 적층체에는 자성막 및 비자성막이 번갈아 적층된다. 자성막에는 예컨대, 막 두께 0.3 nm 정도의 CoBO막이 이용되면 좋다. 비자성막에는 예컨대, 막 두께 1.0 nm 정도의 PdO막이 이용되면 좋다. 여기서는, CoBO막 및 PdO막이 번갈아 20층씩 적층된다. 기록 자성층(36)에 자기 정보가 기록된다.
기록 자성층(36)은 보조 자성층(37)의 표면에 지지된다. 보조 자성층(37)에는 기록 자성층(36)과 마찬가지로 기판(31)의 표면에 직교하는 수직 방향으로 자화 용이축이 정렬된다. 이와 같은 자화 용이축의 확립시에 보조 자성층(37)은 예컨대, 초박막의 적층체로 구성되면 좋다. 이 적층체에는 자성막 및 비자성막이 번갈아 적 층된다. 자성막에는 예컨대, Co막이나 Co를 함유하는 합금막이 이용되면 좋다. 자성막의 막 두께는 예컨대, 0.5 nm 정도로 설정되면 좋다. 비자성막에는 예컨대, 막 두께 0.7 nm 정도의 Au막이 이용되면 좋다. 여기서는, Co막 및 Au막이 번갈아 4층씩 적층된다.
보조 자성층(37)의 보자력은 기록 자성층(36)의 보자력보다도 작게 설정된다. 게다가, 보조 자성층(37)에서는 기록 자성층(36)에 비해서 수직 방향으로 자화되기 쉬울 것이 요망된다. 따라서, 보조 자성층(37)의 보자력은 40 [kA/m] 이하로 설정되면 좋다. 보조 자성층(37)의 보자력 각형비(squareness ratio)는 0.9 이상으로 설정되면 좋다. 추가로, 보조 자성층(37)의 잔류 자화막 두께의 곱(tBr)은 기록 자성층(36)의 잔류 자화막 두께의 곱의 5분의 1 이하로 설정될 것이 요망된다. 여기서, 잔류 자화막 두께의 곱이란, 자성막의 막 두께(t)와 잔류 자속 밀도(Br)와의 곱에 상당한다.
보조 자성층(37)은 하층(38)의 표면에 지지된다. 하층(38)은 예컨대, FeTaC와 같은 연자성체로 구성되면 좋다. 하층(38)에서는 기판(31)의 표면에 평행하게 규정되는 면내 방향으로 자화 용이축이 확립된다. 하층(38)에서는 100 이상의 투자율이 확보될 것이 요망된다. 도 2에서 명백한 바와 같이, 보조 자성층(37)과 하층(38) 사이에는 비자성층(39)이 배치되어도 좋다. 비자성층(39)은 예컨대, Pd와 같은 비자성 금속 재료로 구성되면 좋다.
하층(38)은 기판(31)의 표면에 지지된다. 이 때, 하층(38)과 기판(31) 사이에는 밀착막(41)이 배치되어도 좋다. 밀착막(41)은 예컨대, Ta와 같은 금속 재료로 구성되면 좋다. 밀착막(41)은 하층(38)과 기판(31)과의 밀착성을 강화시킨다.
현재 자기 디스크(13)에 자기 정보가 기록되는 경우를 상정한다. 도 3에 도시되는 바와 같이, 자기 정보의 기록시에 소위, 단자극 헤드(42)가 이용된다. 단자극 헤드(42)의 주자극(42a) 및 보조 자극(42b)은 자기 디스크(13)의 표면과 마주 보게 된다. 주자극(42a), 보조 자극(42b) 및 하층(38)에는 자속의 순환 경로가 형성된다.
예컨대, 주자극(42a)의 선단으로부터 누설되는 자속(43)은 기판(31)의 표면에 직교하는 수직 방향을 따라서 하층(38)까지 유도된다. 하층(38)에서 자속(43)은 기판(31)의 면내 방향으로 흐른다. 그 후, 자속(43)은 하층(38)으로부터 보조 자극(42b)을 향하여 수직 방향으로 흐른다. 이렇게 해서 기록 자성층(36)에는 수직 방향으로 자화가 확립된다.
이 때, 보조 자성층(37)에는 수직 방향으로 자화가 확립되기 때문에, 확실하게 기록 자성층(36)에서는 수직 방향으로 자속이 흐른다. 기록 자성층(36)에서는 전역에 걸쳐 확실하게 수직 방향으로 자화가 확립된다. 이렇게 해서 기록 자성층(36)으로부터 수직 방향으로 누설되는 자계, 즉 기록 자계가 강화된다. 특히, 이와 같은 기록 자성층(36)에 의하면, 인접하는 자기 정보(2치 정보)간의 경계에서 기록 자계가 강화될 수 있다. 한편, 종래와 같이 기록 자성층(36)이 연자성의 하층(38)에 직접 지지되면, 기록 자성층(36)에서는 하층(38)과의 경계에 근접함에 따라서 자화가 수직 방향으로부터 일탈하기 쉽다. 기록 자계는 약해진다.
더욱이, 보조 자성층(37)에서는 잔류 자화막 두께의 곱이 기록 자성층(36)의 잔류 자화막 두께의 곱의 5분의 1 이하로 설정된다. 따라서, 보조 자성층(37)으로부터 누설되는 자계는 가능한 한 억제될 수 있다. 자기 정보의 독출시에 보조 자성층(37)의 영향은 가능한 한 배제될 수 있다. 한편, 보조 자성층(37)의 누설 자계가 크면, 기록 자성층(36)으로부터 누설되는 자계, 즉 기록 자계에 보조 자성층(37)의 누설 자계가 섞여 들어간다. 자기 정보의 판독이 저해된다.
또한, 전술한 바와 같이 보조 자성층(37)과 하층(38) 사이에 비자성층(39)이 개재되면, 보조 자성층(37)과 하층(38)과의 자기적 상호 작용이 저지될 수 있다. 이렇게 해서 자기적 상호 작용이 저지되면, 자기 정보는 확실하게 판독될 수 있다. 한편, 그러한 자기적 상호 작용이 크게 작용하면, 기록 자성층(36)으로부터 누설되는 자계, 즉 기록 자계에 자기적 영향이 주어진다. 자기 정보의 판독이 저해된다.
이어서, 자기 디스크(13)의 제조 방법을 간단히 설명한다. 우선, 디스크형 기판(31)을 준비한다. 기판(31)은 예컨대, 스퍼터링 장치에 장착된다. 스퍼터링 장치 내에서 기판(31)의 표면에는 다층 구조막(32)이 형성된다. 상세한 형성 방법은 후술한다. 그 후, 다층 구조막(32)의 표면에는 막 두께 4.0 nm 정도의 보호막(33)이 적층 형성된다. 적층 형성시에 예컨대, CVD법(화학적 기상 증착법)이 이용된다. 보호막(33)의 표면에는 막 두께 1.0 nm 정도의 윤활막(34)이 도포된다. 도포시에 기판(31)은 예컨대, 퍼플루오르폴리에테르를 함유하는 용액에 침지되면 좋다.
스퍼터링 장치에서는 소위, DC 마그네트론 스퍼터링법에 기초하여 다층 구조막(32)이 형성된다. 도 4에 도시되는 바와 같이, 기판(31)의 표면에는 밀착막(41) 즉 Ta층(45)이 형성된다. 막형성시에 스퍼터링 장치에는 Ta 타겟이 장착된다. Ta 원자는 기판(31)의 표면에 퇴적된다. Ta층(45)의 막 두께는 예컨대 1.0 nm 정도로 설정된다.
계속해서, 도 5에 도시되는 바와 같이, Ta층(45)의 표면에는 하층(38) 즉 FeTaC층(46)이 형성된다. 막형성시에 스퍼터링 장치에는 FeTaC 타겟이 장착된다. Ta층(45)의 표면에는 Fe 원자, Ta 원자 및 C 원자가 퇴적된다. FeTaC층(46)의 막 두께는 예컨대, 300 nm 정도로 설정된다.
계속해서, 도 6에 도시되는 바와 같이, FeTaC층(46)의 표면에는 비자성층(39) 즉 Pd층(47)이 형성된다. 막형성시에 스퍼터링 장치에는 Pd 타겟이 장착된다. Pd 원자는 FeTaC층(46)의 표면에 퇴적된다. Pd층(47)의 막 두께는 예컨대, 5.0 nm 정도로 설정된다.
계속해서, 도 7에 도시되는 바와 같이, Pd층(47)의 표면에는 보조 자성층(37) 즉 초박막의 적층체(48)가 형성된다. 막 두께 0.5 nm의 Co층(48a)과 막 두께 0.7 nm의 Au층(48b)이 번갈아 형성된다. Co층(48a)의 형성과 Au층(48b)의 형성은 4회에 걸쳐 반복된다. 이렇게 해서 4층 구조의 적층체(48)가 형성된다.
계속해서, 도 8에 도시되는 바와 같이, 적층체(48)의 표면에는 기록 자성층(36) 즉 초박막의 적층체(49)가 형성된다. 막 두께 0.3 nm의 CoBO층(49a)과 막 두께 1.0 nm의 PdO층(49b)이 번갈아 형성된다. 여기서는, CoBO층(49a)의 형성과 PdO층(49b)의 형성은 20회에 걸쳐 반복된다. 이렇게 해서 20층 구조의 적층체(49)가 형성된다.
본 발명자는 이상과 같이 제조된 자기 디스크(13)의 특성을 검증하였다. 검 증시에 자기 디스크(13)에는 자기 정보가 기록되었다. 자기 정보의 기록에는 단자극 헤드가 이용되었다. 그 후, 기록된 자기 정보가 독출되었다. 독출시에 스핀 밸브 자기 저항 효과 헤드가 이용되었다. 전술한 바와 같이, 단자극 헤드나 스핀 밸브 자기 저항 효과 헤드는 부상 헤드 슬라이더(21)에 탑재되었다. 부상 헤드 슬라이더(21)의 부상량은 15.0 nm로 설정되었다. 부상 헤드 슬라이더(21)와 자기 디스크(13)와의 상대 속도는 10.0 [m/s]로 설정되었다.
검증시에 본 발명자는 비교예를 준비하였다. 이 비교예에서는 전술한 보조 자성층(37)은 생략되었다. 즉, 하층(38)의 표면에 직접 기록 자성층(36)이 적층 형성되었다. 그 외의 구조는 본 실시예에 관한 자기 디스크(13)와 동일하게 구성되었다.
본 발명자는 단자극 헤드의 코일 패턴에 공급되는 기록 전류의 전류치를 변화시키면서 자기 디스크에 자기 정보를 기록하였다. 자기 정보는 440 [kFCI]의 선기록 밀도로 기록되었다. 자기 정보의 독출시에 재생 출력에는 기준치 [1.0]이 설정되었다. 이 기준치 [1.0]의 확립시에 기록 전류에는 50 [mA]의 전류치가 설정되었다. 각 전류치별로 재생 출력이 측정되었다. 도 9에 도시되는 바와 같이, 본 실시예에 관한 자기 디스크(13)에서는, 비교예에 관한 자기 디스크에 비해서 작은 전류치로 기준치 [1.0]에 상당하는 재생 출력이 확보됨이 확인되었다.
이어서, 본 발명자는 기록된 자기 정보의 자계 분포를 검증하였다. 이 검증시에 예컨대, 도 10에 도시되는 바와 같이, 자기 디스크에는 2개의 기록 트랙(51, 52)이 확립되었다. 한 쪽 기록 트랙(51)에는 110 [kFCI]의 선기록 밀도로 자기 정 보가 기록되었다. 기록 전류의 전류치는 30 [mA]로 설정되었다. 다른 쪽 기록 트랙(52)에는 440 [kFCI]의 선기록 밀도로 자기 정보가 기록되었다. 이 기록시에 기록 전류에는 다양한 전류치가 설정되었다. 단자극 헤드의 코어 폭은 0.6 ㎛로 설정되었다. 기록 트랙간의 간격은 0.3 ㎛로 설정되었다.
기록 트랙(51, 52)에 기초하여 자기 정보가 독출되었다. 재생 출력의 측정시에 스펙트럼 애널라이저가 이용되었다. 도 11에 도시되는 바와 같이, 재생 출력에는 최대 자계의 위치에서 기준치 [1.0]이 설정되었다. 동시에, 2개의 기록 트랙(51, 52)에서 기준치 [1.0]의 50%의 재생 출력이 확보되는 위치가 특정되었다. 특정된 위치간의 간격은 「사이드소거 폭」으로서 정의되었다.
도 12에 도시되는 바와 같이, 본 실시예에 관한 자기 디스크(13)에서는, 기록 전류의 크기에 상관없이 비교예에 관한 자기 디스크에 비해서 작은 사이드소거 폭이 실현됨이 확인되었다. 즉, 본 실시예에 관한 자기 디스크(13)에서는, 인접하는 기록 트랙간의 경계에 근접하더라도 충분한 크기의 자계가 확보됨이 확인되었다.
이어서, 본 발명자는 본 실시예에 관한 자기 디스크(13)에서 재생 출력과 하층(38)의 투자율간의 상관 관계를 검증하였다. 검증시에 본 발명자는 복수의 자기 디스크(13)를 준비하였다. 개개의 자기 디스크(13)별로 하층(38)에는 상이한 투자율이 설정되었다. 자기 정보의 기록시에 기록 전류에는 다양한 전류치가 설정되었다. 여기서, 재생 출력의 포화치가 검출되었다. 포화치의 90%의 재생 출력을 실현하는 기록 전류의 전류치(Iw90)가 특정되었다. 도 13으로부터 명백한 바와 같이, 하층(38)에서 100 이상의 투자율이 확보되면, 기록 자성층(36)에서는 작은 전류치로 충분히 자화가 확립됨이 확인되었다.
이어서, 본 발명자는 본 실시예에 관한 자기 디스크(13)의 S/N비를 측정하였다. 측정시에 본 발명자는 복수의 자기 디스크(13)를 준비하였다. 개개의 자기 디스크(13)별로 기록 자성층(36)의 잔류 자화막 두께의 곱과 보조 자성층(37)의 잔류 자화막 두께의 곱과의 비에는 다양한 값이 설정되었다. 자기 디스크(13)에는 300 [kFCI]의 선기록 밀도로 자기 정보가 기록되었다. 도 14에서 명백한 바와 같이, 보조 자성층(37)의 잔류 자화막 두께의 곱이 기록 자성층(36)의 잔류 자화막 두께의 곱의 5분의 1 이하로 설정되면, 양호한 S/N비가 확보됨이 확인되었다. 여기서는, 모든 자기 디스크(13)에서 보조 자성층(37)의 막 두께는 4.8 nm로 설정되었다. 단, 보조 자성층(37)의 보자력은 14.3∼19.1 [kA/m]의 범위로 확보되었다. 마찬가지로, 보조 자성층(37)에서는 0.92∼0.96의 범위에서 보자력 각형비가 확보되었다.
또한, 본 발명자는 본 실시예에 관한 자기 디스크(13)의 S/N비를 측정하였다. 측정시에 본 발명자는 복수의 자기 디스크(13)를 준비하였다. 개개의 자기 디스크(13)별로 보조 자성층(37)에 상이한 막 두께가 설정되었다. 그 외의 조건은 전술한 바와 같이 설정되었다. 도 15에 도시되는 바와 같이, 보조 자성층(37)의 막 두께가 5.0 nm 이하로 설정되면, 양호한 S/N비가 확보됨이 확인되었다.
또한, 본 발명자는 본 실시예에 관한 자기 디스크(13)의 S/N비를 측정하였다. 측정시에 본 발명자는 복수의 자기 디스크(13)를 준비하였다. 개개의 자기 디스크(13)별로 비자성층(39)에 상이한 막 두께가 설정되었다. 그 외의 조건은 전술 한 바와 같이 설정되었다. 도 16에 도시되는 바와 같이, 비자성층(39)의 막 두께가 5.0 nm 정도로 설정되면, 양호한 S/N비가 확보됨이 확인되었다.

Claims (12)

  1. 기판과,
    기판의 표면에 직교하는 수직 방향으로 자화 용이축을 갖는 기록 자성층과,
    표면에서 기록 자성층을 지지하고, 상기 수직 방향을 따라서 자화 용이축을 가지며, 상기 기록 자성층의 보자력보다도 작은 보자력을 갖는 보조 자성층과,
    표면에서 상기 보조 자성층을 지지하고, 기판의 면 내 방향으로 자화 용이축을 갖는 연자성 보강층을 포함하고,
    상기 보조 자성층의 막 두께와 잔류 자속 밀도와의 곱은 상기 기록 자성층의 막 두께와 잔류 자속 밀도와의 곱의 5분의 1 이하로 설정되는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서, 상기 보조 자성층은 적어도 Co를 함유하는 자성막과, 적어도 Pt, Pd, Au 및 Ag 중 어느 하나를 함유하는 비자성막의 적층체로 구성되는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제1항에 있어서, 표면에서 상기 보조 자성층을 지지하고, 상기 보조 자성층 및 상기 보강층 사이에 삽입되는 비자성층을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체.
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 삭제
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