KR100799440B1 - 액정 표시 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents
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- 제1 기판과,상기 제1 기판에 대향하여 배치되어 광을 투과하는 제2 기판과,상기 제1 기판 위에 형성되고, 제2 기판을 투과한 광을 반사하는 반사막과,상기 제2 기판 위에 형성되고, 상기 반사막에 대향하는 위치에 개구부가 형성된 컬러 필터와,상기 제1 기판과 상기 반사막 사이에 금속막, 절연막 및 반도체막 중 2 이상을 적층하여 형성된 복수의 막과,상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 봉입된 액정을 갖고,1 화소 영역 내에, 상기 반사막에서 반사하는 광에 의해 표시를 행하는 반사 영역과, 상기 제1 및 제2 기판을 투과하는 광에 의해 표시를 행하는 투과 영역을 갖고,상기 복수의 막에는 막마다 배열 피치가 상이한 패턴이 형성되고, 상기 반사막의 표면에는 상기 복수의 막의 상기 패턴에 따른 요철이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
- 화소마다 박막 트랜지스터 및 반사 전극이 설치된 제1 기판과, 상기 제1 기판에 대향하여 배치되는 제2 기판과, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 사이에 봉입된 액정을 갖고, 1 화소 영역 내에, 상기 반사 전극에서 반사하는 광에 의해 표시를 행하는 반사 영역과, 상기 제1 및 제2 기판을 투과하는 광에 의해 표시를 행하는 투과 영역을 갖는 액정 표시 장치의 제조 방법으로서,상기 제1 기판의 상기 반사 전극을 형성하는 영역 위에 상기 박막 트랜지스터의 형성과 동시에, 막마다 배열 피치가 상이한 패턴을 갖는 금속막, 절연막 및 반도체막 중 2 이상을 적층하여 복수의 막을 형성하고, 그 후, 상기 복수의 막 위에, 상기 복수의 막의 패턴에 따른 요철을 표면에 갖는 반사막을 형성하여 상기 반사 전극으로 하고,상기 제2 기판 위에, 상기 반사막에 대향하는 위치에 개구부가 형성된 컬러 필터를 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
- 제1 기판 위에 제1 금속막을 형성하는 공정과,상기 제1 금속막을 패터닝하여, 게이트 버스 라인 및 보조 용량 버스 라인을 형성하는 공정과,상기 제1 기판의 상측 전면에 제1 절연막을 형성하는 공정과,상기 제1 절연막 위에 제1 반도체막을 형성하는 공정과,상기 제1 반도체막 위에 제2 절연막을 형성하는 공정과,상기 제2 절연막을 패터닝하여 적어도 박막 트랜지스터의 채널을 보호하는 채널 보호막을 형성하는 공정과,상기 제1 기판의 상측 전면에 제2 반도체막을 형성하는 공정과,상기 제2 반도체막 위에 제2 금속막을 형성하는 공정과,상기 제2 금속막, 상기 제1 반도체막 및 상기 제2 반도체막을 패터닝하여, 상기 박막 트랜지스터의 활성층의 형상을 확정함과 함께, 데이터 버스 라인과, 상기 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극과, 상기 제1 절연막을 통하여 상기 보조 용량 버스 라인에 대향하는 보조 용량 전극을 형성하는 공정과,상기 제1 기판의 상측 전면에 제3 절연막을 형성하는 공정과,상기 제3 절연막 위에, 상기 제3 절연막에 형성된 컨택트 홀을 통하여 상기 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 상기 보조 용량 전극과 전기적으로 접속되는 반사 전극을 형성하는 공정과,상기 제1 기판에 제2 기판을 대향시켜 배치하고, 이들 제1 및 제2 기판 사이에 액정을 봉입하는 공정을 갖고,상기 반사 전극의 하방의 상기 보조 용량 버스 라인, 상기 제1 반도체막, 상기 제2 반도체막, 상기 제2 절연막 및 상기 제3 절연막 중 2 이상에, 막마다 배열 피치가 상이한 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
- 제1 기판 위에 제1 금속막을 형성하는 공정과,상기 제1 금속막을 패터닝하여, 게이트 버스 라인 및 보조 용량 버스 라인을 형성하는 공정과,상기 제1 기판의 상측 전면에 제1 절연막을 형성하는 공정과,상기 제1 절연막 위에 제1 반도체막을 형성하는 공정과,상기 제1 반도체막 위에 제2 절연막을 형성하는 공정과,상기 제2 절연막을 패터닝하여 적어도 박막 트랜지스터의 채널을 보호하는 채널 보호막을 형성하는 공정과,상기 제1 기판의 상측 전면에 제2 반도체막을 형성하는 공정과,상기 제2 반도체막 위에 제2 금속막을 형성하는 공정과,상기 제2 금속막, 상기 제1 반도체막 및 상기 제2 반도체막을 패터닝하여, 상기 박막 트랜지스터의 활성층의 형상을 확정함과 함께, 데이터 버스 라인과, 상기 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극과, 반사 전극을 형성하는 공정과,상기 기판의 상측 전면에 제3 절연막을 형성하는 공정과,상기 제3 절연막에 개구부를 형성하여 상기 반사 전극을 노출시키는 공정과,상기 제1 기판에 대향시켜 제2 기판을 배치하고, 이들 제1 및 제2 기판 사이에 액정을 봉입하는 공정을 갖고,상기 반사 전극의 하방의 상기 보조 용량 버스 라인, 상기 제1 반도체막 및 상기 제2 절연막 중 2 이상에, 막마다 배열 피치가 상이한 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
- 제1 기판 위에 제1 금속막을 형성하는 공정과,상기 제1 금속막을 패터닝하여, 게이트 버스 라인 및 보조 용량 버스 라인을 형성하는 공정과,상기 제1 기판의 상측 전면에 제1 절연막을 형성하는 공정과,상기 제1 절연막 위에 반도체막을 형성하는 공정과,상기 반도체막을 패터닝하는 공정과,상기 제1 기판의 상측 전면에 제2 금속막을 형성하는 공정과,상기 제2 금속막을 패터닝하여, 데이터 버스 라인과, 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극과, 상기 제1 절연막을 통하여 상기 보조 용량 버스 라인에 대향하는 보조 용량 전극을 형성하는 공정과,상기 제1 기판의 상측 전면에 제2 절연막을 형성하는 공정과,상기 제2 절연막에 개구부를 형성하는 공정과,상기 제1 기판의 상측 전면에 제3 금속막을 형성하는 공정과,상기 제3 금속막을 패터닝하여 반사 전극을 형성하는 공정과,상기 제1 기판에 대향시켜 제2 기판을 배치하고, 이들 제1 및 제2 기판 사이에 액정을 봉입하는 공정을 갖고,상기 반사 전극의 하방의 상기 보조 용량 버스 라인, 상기 반도체막 및 상기 제2 절연막 중 2 이상에, 막마다 배열 피치가 상이한 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
- 제1 기판 위에 제1 금속막을 형성하는 공정과,상기 제1 금속막을 패터닝하여, 게이트 버스 라인 및 보조 용량 버스 라인을 형성하는 공정과,상기 제1 기판의 상측 전면에 제1 절연막을 형성하는 공정과,상기 제1 절연막 위에 반도체막을 형성하는 공정과,상기 반도체막을 패터닝하는 공정과,상기 제1 기판의 상측 전면에 제2 금속막을 형성하는 공정과,상기 제2 금속막을 패터닝하여, 데이터 버스 라인과, 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극과, 반사 전극을 형성하는 공정과,상기 기판의 상측 전면에 제2 절연막을 형성하는 공정과,상기 제2 절연막에 개구부를 형성하여 상기 반사 전극을 노출시키는 공정과,상기 제1 기판에 대향시켜 제2 기판을 배치하고, 이들 제1 및 제2 기판 사이에 액정을 봉입하는 공정을 갖고,상기 반사 전극의 하방의 상기 보조 용량 버스 라인 및 상기 반도체막에, 막마다 배열 피치가 상이한 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
- 제2항에 있어서,상기 컬러 필터의 개구부의 크기는, 상기 반사막의 크기보다도 작은 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
- 제8항에 있어서,상기 컬러 필터의 개구부 및 그 주위에는 투명 수지막이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
- 제9항에 있어서,상기 투명 수지막에는 광학적 확산성이 부여되어 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
- 제9항에 있어서,상기 투명 수지막의 막 두께가, 상기 컬러 필터의 막 두께보다도 두꺼운 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
- 제3항에 있어서,상기 컬러 필터의 개구부의 크기를, 상기 반사막의 크기보다도 작게 하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
- 제12항에 있어서,상기 컬러 필터의 개구부 및 그 주위에 투명 수지막을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
- 제13항에 있어서,상기 투명 수지막에 광학적 확산성을 부여하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
- 제13항에 있어서,상기 투명 수지막의 막 두께를, 상기 컬러 필터의 막 두께보다도 두껍게 하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
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