KR100793722B1 - Assisting apparatus for a wafer cassette - Google Patents

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KR100793722B1
KR100793722B1 KR1020060103663A KR20060103663A KR100793722B1 KR 100793722 B1 KR100793722 B1 KR 100793722B1 KR 1020060103663 A KR1020060103663 A KR 1020060103663A KR 20060103663 A KR20060103663 A KR 20060103663A KR 100793722 B1 KR100793722 B1 KR 100793722B1
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wafer cassette
guide
guide slot
wafer
slot
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KR1020060103663A
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치 옌 로
죠니 다이
천-치에 쏘우
시우 이 첸
웬 쿠오 치앙
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킹 유안 일렉트로닉스 코포레이션 리미티드
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Abstract

An assisting apparatus for a wafer cassette is provided to prevent wafers from colliding with each other by adjusting a slope of the wafer cassette by adjusting a slant angle of a working mount. An assisting apparatus for a wafer cassette includes a guide frame(207) having first and second guide slot plates(202,203) and at least one connector lever(205). Sidewalls of the first and second guide slot plates are coupled with each other through the connecting lever. The first and second guide slot plates form guide slots(204) corresponding to positions of wafer cassette slots, which are formed on the wafer cassette. A width of the guide slot is gradually decreased toward a center thereof. The guide frame is connected to the wafer cassette in series, such that the guide slot is connected to the corresponding wafer cassette slot.

Description

웨이퍼 카세트 보조장치{ASSISTING APPARATUS FOR A WAFER CASSETTE}Wafer cassette aids {ASSISTING APPARATUS FOR A WAFER CASSETTE}

도 1a는 웨이퍼 프레임의 정면도이다.1A is a front view of a wafer frame.

도 1b는 웨이퍼 카세트의 평면도이다.1B is a top view of the wafer cassette.

도 1c는 웨이퍼 카세트의 사시도이다.1C is a perspective view of a wafer cassette.

도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 카세트 보조장치의 사시도이다.Figure 2a is a perspective view of a wafer cassette auxiliary device according to an embodiment of the present invention.

도 2b는 도 2a에 따른 실시예로 웨이퍼 카세트를 포지셔닝한 상태를 보여준 사시도이다.FIG. 2B is a perspective view showing a state in which a wafer cassette is positioned in the embodiment according to FIG. 2A; FIG.

도 2c는 도 2b의 가이드 프레임이 웨이퍼 카세트 상부에 회전한 상태를 보여준 사시도이다.FIG. 2C is a perspective view illustrating a state in which the guide frame of FIG. 2B is rotated on the wafer cassette.

도 2d는 가이드 프레임이 웨이퍼 카세트의 상부에 회전한 경우에, 가이드 프레임의 가이드 슬롯과 웨이퍼 카세트 슬롯을 보여준 확대도이다.2D is an enlarged view showing the guide slot and the wafer cassette slot of the guide frame when the guide frame is rotated on the top of the wafer cassette.

* 도면 부호의 설명* Explanation of reference numerals

100: 웨이퍼 프레임 101: 웨이퍼100: wafer frame 101: wafer

102: 접착시트 103: 웨이퍼 카세트102: adhesive sheet 103: wafer cassette

104: 내측벽 105: 웨이퍼 카세트 슬롯104: inner wall 105: wafer cassette slot

106: 회전 핸들 201: 웨이퍼 카세트 보조장치106: rotating handle 201: wafer cassette aid

202: 제1 가이드 슬롯 플레이트 203: 제2 가이드 슬롯 플레이트202: first guide slot plate 203: second guide slot plate

204: 가이드 슬롯 205: 커넥팅 레버204: guide slot 205: connecting lever

206: 측벽 207: 가이드 프레임206: side wall 207: guide frame

208: 지지 블록 209: 받침대208: support block 209: pedestal

210: 조정벽 211: 조정 스크류210: adjusting wall 211: adjusting screw

212: 조정 슬롯 213: 피벗 연결기212: Adjustment Slot 213: Pivot Connector

본 발명은 웨이퍼 카세트 보조장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 프레임을 웨이퍼 카세트에서 인출하거나 또는 카세트에 설치할 때 웨이퍼가 서로 부딪치고 마찰하거나 긁히는 것을 방지하기 위한 보조장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a wafer cassette auxiliary device, and more particularly, to an auxiliary device for preventing wafers from colliding with each other, rubbing or scratching when the wafer frame is taken out of or installed in the cassette.

연마를 거친 웨이퍼는 웨이퍼 프레임에 접착되어 카세트에 설치된 후, 절단(dicing) 및 다이(die)의 인출 등과 같은 후속 공정으로 이송된다. 도 1a는 웨이퍼 프레임(100)의 정면도를 도시하며, 웨이퍼(101)는 접착시트(102)에 의해 웨이퍼 프레임(100)의 표면에 부착된다. 도 1b 및 도 1c는 각각 웨이퍼 카세트(103)의 평면도와 사시도를 도시한다. 웨이퍼 카세트(103)의 양측 내측벽(104)에는 상호 대칭되는 다수 쌍의 웨이퍼 카세트 슬롯(105)을 구비하며, 웨이퍼 프레임(100)은 상기 웨이퍼 카세트 슬롯(105)을 따라 카세트(103) 내로 미끌어져 설치된다. 웨이퍼 프레임(100)이 웨이퍼 카세트(103)에 모두 설치된 후, 사용자는 회전 핸들(106)을 회전시켜 당긴 후, 웨이퍼 카세트(103)를 들고 운반한다.The polished wafer is adhered to the wafer frame, mounted in a cassette, and then transferred to subsequent processes such as cutting and withdrawing of a die. 1A shows a front view of the wafer frame 100, where the wafer 101 is attached to the surface of the wafer frame 100 by an adhesive sheet 102. 1B and 1C show a top view and a perspective view of the wafer cassette 103, respectively. Both inner side walls 104 of the wafer cassette 103 are provided with a plurality of pairs of wafer cassette slots 105 which are symmetrical with each other, and the wafer frame 100 slides into the cassette 103 along the wafer cassette slot 105. Is installed. After the wafer frame 100 is all installed in the wafer cassette 103, the user rotates and pulls the rotary handle 106, and then carries and carries the wafer cassette 103.

또한, 절단 작업을 진행하기 전후에, 작업자는 통상 수동방식으로 웨이퍼 프레임(100)을 인출한 후 표본 추출조사를 행한다. 그러나 웨이퍼 카세트 슬롯(105)의 간격 또는 슬롯의 폭이 웨이퍼 프레임(100)의 두께에 비해 휠씬 크므로(통상 3배 정도), 웨이퍼 프레임(100)을 인출 및 장착하는 과정에서 인접한 웨이퍼 프레임(100)과 부딪치거나 또는 마찰이 발생하여 웨이퍼(101)가 긁힐 수 있다. 이를 감안하여, 웨이퍼 카세트를 다시 설계 및 제조하지 않고 원가의 절감면을 고려하여, 웨이퍼 프레임을 웨이퍼 카세트에서 인출하거나 또는 카세트에 장착하는 것을 보조함으로써 웨이퍼가 부딪치거나 마찰 또는 긁히는 것을 방지하기 위한 장치를 개발할 것이 필요하게 되었다.In addition, before and after the cutting operation, the worker usually takes out the wafer frame 100 by manual method and performs sampling inspection. However, since the gap of the wafer cassette slot 105 or the width of the slot is much larger than the thickness of the wafer frame 100 (typically about three times), the adjacent wafer frame 100 is removed during the process of drawing out and mounting the wafer frame 100. ) Or the friction may occur and the wafer 101 may be scratched. In view of this, an apparatus for preventing a wafer from colliding, rubbing or scratching by assisting withdrawing or mounting a wafer frame from the wafer cassette in consideration of cost savings without redesigning and manufacturing the wafer cassette. It was necessary to develop a.

상기 종래 기술에 존재하는 많은 단점을 감안하여, 본 발명은 웨이퍼 프레임을 웨이퍼 카세트에서 인출 또는 카세트에 장착하는 경우에 웨이퍼가 부딪치거나 마찰 또는 긁히는 것을 방지하기 위한 웨이퍼 카세트 보조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.In view of the many disadvantages present in the prior art, an object of the present invention is to provide a wafer cassette auxiliary device for preventing a wafer from colliding, rubbing or scratching when a wafer frame is taken out from or mounted on a cassette. It is done.

상기 목적에 따라, 본 발명은 웨이퍼 카세트 보조장치를 제공한다. 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 보조장치는, 주로 가이드 프레임을 포함하며,In accordance with the above object, the present invention provides a wafer cassette auxiliary device. The wafer cassette auxiliary apparatus according to the present invention mainly includes a guide frame,

상기 가이드 프레임은, The guide frame,

제1 가이드 슬롯 플레이트, 제2 가이드 슬롯 플레이트 및 하나 이상의 커넥팅 레버를 포함하며, 각각의 상기 커넥팅 레버를 통하여 제1 가이드 슬롯 플레이트 와 상기 제2 가이드 슬롯 플레이트의 측벽이 서로 연결되며,A first guide slot plate, a second guide slot plate, and one or more connecting levers, wherein sidewalls of the first guide slot plate and the second guide slot plate are connected to each other through each of the connecting levers;

상기 제1 가이드 슬롯 플레이트 및 상기 제2 가이드 슬롯 플레이트는 웨이퍼 카세트에 형성된 웨이퍼 카세트 슬롯과 대응되는 위치에 가이드 슬롯을 각각 형성하며, The first guide slot plate and the second guide slot plate respectively form guide slots at positions corresponding to the wafer cassette slots formed in the wafer cassette.

각각의 상기 가이드 슬롯의 일단부의 폭은 가이드 슬롯의 중간을 향해 점진적으로 축소되는 형태를 이루며,The width of one end of each of the guide slots is formed to gradually reduce toward the middle of the guide slot,

상기 가이드 프레임을 웨이퍼 카세트에 직렬 연결함으로써 상기 가이드 슬롯이 그와 대응하는 웨이퍼 카세트 슬롯에 연결될 수 있도록 한다. 본 발명을 통하여, 웨이퍼 프레임을 카세트로부터 인출 또는 카세트에 장착할 때, 가이드 슬롯의 폭에 의해 웨이퍼 프레임을 유도함으로써, 웨이퍼가 흔들리어 부딪치거나 마찰 또는 긁히지 않도록 한다.Serially connecting the guide frame to a wafer cassette allows the guide slot to be connected to a corresponding wafer cassette slot. Through the present invention, when the wafer frame is withdrawn from the cassette or mounted in the cassette, the wafer frame is guided by the width of the guide slot so that the wafer does not bump, rub or scratch.

본 발명에 따른 일 실시예가 이하에서 상세하게 설명된다. 다만, 본 발명은 이하의 상세한 실시예뿐만 아니라 기타 실시예에도 광범위하게 이용될 수 있으며, 본 발명의 범위를 한정하지 않으며, 특허청구범위를 기준으로 한다. 또한, 본 명세서에서 각 부품의 하나의 부분은 사이즈에 따라 도면을 그린 것이 아니며, 어떤 사이즈는 명백하게 보여주어 본 발명에 대한 이해에 도움을 주고자 기타 관련 사이즈에 비해 확대하여 도시하였다.One embodiment according to the invention is described in detail below. However, the present invention can be widely used in the following detailed embodiments as well as other embodiments, and do not limit the scope of the invention, based on the claims. In addition, in this specification, one part of each part is not drawn according to the size, and some sizes are shown enlarged compared with other related sizes in order to show clearly and to help understanding of the present invention.

도 2a는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 카세트 보조장치(201)의 사시도를 도시한다. 도 2b는 도 2a에 따른 실시예로 웨이퍼 카세트를 고정한 후의 상태를 보여준 사시도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명은 주로 받침대(209), 측 벽(206), 가이드 프레임(207), 피벗 연결기(도 2c 상의 참조부호 "213")를 포함한다.2A shows a perspective view of a wafer cassette assist device 201 in accordance with an embodiment of the present invention. 2B is a perspective view showing a state after fixing a wafer cassette in the embodiment according to FIG. 2A. As shown in the figures, the present invention mainly includes a pedestal 209, a side wall 206, a guide frame 207, a pivot connector (reference numeral 213 on FIG. 2C).

여기에서, 상기 받침대(209)는 다수의 웨이퍼 카세트 슬롯(105)이 형성된 웨이퍼 카세트(103)의 위치를 고정하기 위한 것이며;Here, the pedestal 209 is for fixing the position of the wafer cassette 103 in which a plurality of wafer cassette slots 105 are formed;

상기 측벽(206)은 상기 받침대(209)의 한 측면에 설치되며;The side wall 206 is installed on one side of the pedestal 209;

상기 가이드 프레임(207)은 제1 가이드 슬롯 플레이트(202), 제2 가이드 슬롯 플레이트(203) 및 하나 이상의 커넥팅 레버(205)를 포함하며, 각각의 상기 커넥팅 레버(205)는 각각 제1 가이드 슬롯 플레이트(202)와 제2 가이드 슬롯 플레이트(203)의 측면을 연결하고, 상기 제1 가이드 슬롯 플레이트(202)와 제2 가이드 슬롯 플레이트(203)는 각각의 웨이퍼 카세트 슬롯(105)에 대응하는 위치에 하나의 가이드 슬롯(204)이 각각 형성되어 있으며;The guide frame 207 includes a first guide slot plate 202, a second guide slot plate 203 and one or more connecting levers 205, each of the connecting levers 205 each having a first guide slot. The sides of the plate 202 and the second guide slot plate 203 are connected, and the first guide slot plate 202 and the second guide slot plate 203 correspond to respective wafer cassette slots 105. One guide slot 204 is formed in each;

상기 피벗 연결기(도 2c 상의 참조부호 "213")의 일단부는 측벽(206)과 연결되고, 타단부는 가이드 프레임(207)에 연결되어 상기 가이드 프레임(207)이 측벽(206)과 상대적으로 회전할 수 있도록 하여 상기 가이드 프레임(207)의 각각의 가이드 슬롯(204)이 대응하는 웨이퍼 카세트 슬롯(105)에 각각 직렬 연결될 수 있도록 한다. 상기 피벗 연결기(213)는 가이드 프레임(207)에서 제1 가이드 슬롯 플레이트(202), 제2 가이드 슬롯 플레이트(203) 및 상기 커넥팅 레버(205) 중 어느 하나에 연결되어도 가이드 프레임(207)이 측벽(206)과 상대적으로 회전할 수 있는 동일한 효과를 달성할 수 있다. 본 발명은 또한 측벽(206)의 한 면에 설치되어 가이드 프레임(207)의 회전 각도를 한정하기 위한 지지 블록(208)을 포함한다. 예를 들어, 가이드 프레임(207)이 회전하여 직립 상태에 있을 때(도 2a에 도시한 바와 같음), 가이드 프레임(207)은 지지 블록(208)의 지지를 받아 지나치게 회전하지 않도록 된다.One end of the pivot connector (reference numeral “213” on FIG. 2C) is connected to the side wall 206, and the other end is connected to the guide frame 207 so that the guide frame 207 rotates relative to the side wall 206. Each guide slot 204 of the guide frame 207 can be connected in series to a corresponding wafer cassette slot 105, respectively. The pivot connector 213 may be connected to any one of the first guide slot plate 202, the second guide slot plate 203, and the connecting lever 205 in the guide frame 207. The same effect that can rotate relative to 206 can be achieved. The invention also includes a support block 208 installed on one side of the side wall 206 to define the angle of rotation of the guide frame 207. For example, when the guide frame 207 is in an upright position by rotating (as shown in FIG. 2A), the guide frame 207 is supported by the support block 208 so as not to rotate excessively.

본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 보조장치는 또한 기울기 조정수단을 추가로 포함한다. 기울기 조정수단은 받침대(209)와 상호 배합되어 받침대(209)와 기울기 조정수단 사이의 상대 각도를 조정한다. 기울기 조정수단은 하나 이상의 조정벽(210)을 포함하며, 각 조정벽(210)의 일단은 받침대(209)에 피벗 연결되어 받침대(209)와 상대적으로 회전될 수 있다. 여기에서 조정벽(210)의 타단부에는 조정 슬롯(212)이 형성되고, 받침대(209)에는 조정 슬롯(212)을 관통할 수 있는 조정 스크류(211)가 설치되며, 조정 볼트와 상기 조정 스크류(211)의 상호 배합에 의해, 받침대(209)와 기울기 조정수단 사이의 상대적 각도를 고정 및 보완할 수 있다. 기울기 조정수단은 주로 웨이퍼 카세트(103) 상의 웨이퍼 프레임(100)이 상기 웨이퍼 슬롯(105)의 동일측에 동시에 근접할 수 있도록 하여 각 웨이퍼 프레임(100) 사이의 간격이 최대 거리를 유지하도록 함으로써 각 웨이퍼 프레임(100)이 서로 부딪치거나 마찰하여 웨이퍼(101)가 긁히는 현상을 방지하는 작용을 한다.The wafer cassette auxiliary device according to the present invention further comprises tilt adjustment means. The tilt adjusting means is intermixed with the pedestal 209 to adjust the relative angle between the pedestal 209 and the tilt adjusting means. The inclination adjustment means includes one or more adjustment walls 210, one end of each adjustment wall 210 may be pivotally connected to the pedestal 209 to be relatively rotated with the pedestal 209. Here, the other end of the adjustment wall 210, the adjustment slot 212 is formed, the pedestal 209 is provided with an adjustment screw 211 that can penetrate the adjustment slot 212, the adjustment bolt and the adjustment screw By intermixing 211, the relative angle between the pedestal 209 and the tilt adjusting means can be fixed and complemented. The inclination adjusting means mainly allows the wafer frame 100 on the wafer cassette 103 to be close to the same side of the wafer slot 105 at the same time so that the gap between each wafer frame 100 maintains the maximum distance. The wafer frames 100 may collide with each other or rub against each other to prevent the wafer 101 from being scratched.

도 2c는 도 2b 상의 가이드 프레임(207)이 웨이퍼 카세트(103) 상부에 회전된 경우의 사시도이다. 이 경우에, 웨이퍼 프레임(100)은 가이드 프레임(207)의 가이드 슬롯(204) 상부로부터 삽입되어, 웨어퍼 카세트(103)에 형성된 웨이퍼 카세트 슬롯(105)에 미끄러져 들어간다. 역으로, 웨이퍼 프레임(100)을 웨이퍼 카세트(103) 내부로부터 인출하고자 하는 경우에는 가이드 슬롯(204)의 유도를 거쳐 가 이드 슬롯(204) 상부로부터 인출하여 꺼낸다.FIG. 2C is a perspective view when the guide frame 207 on FIG. 2B is rotated on the wafer cassette 103. In this case, the wafer frame 100 is inserted from the top of the guide slot 204 of the guide frame 207 and slides into the wafer cassette slot 105 formed in the wafer cassette 103. On the contrary, when the wafer frame 100 is to be taken out from the inside of the wafer cassette 103, the wafer frame 100 is drawn out from the top of the guide slot 204 through the guide slot 204.

도 2d는 가이드 프레임(207)이 웨이퍼 카세트(103) 상부로 회전한 경우에, 가이드 프레임(207)의 가이드 슬롯(204)과 웨이퍼 슬롯(105)을 확대하여 보여준 도면이다. 가이드 프레임(207)에 형성된 가이드 슬롯(204)은 대개 평행하게 배열된 형태를 이루며, 각각 하나의 가이드 슬롯(204)에서 웨이퍼 카세트 슬롯(105)을 향한 단부의 폭은 웨이퍼 카세트 슬롯(105)의 폭과 동일하여, 웨이퍼 프레임(100)이 웨이퍼 카세트 슬롯(105)에 순조롭게 미끄러져 들어갈 수 있도록 하며, 가이드 슬롯(204)의 폭은 그 중간으로 갈수록 점차 축소되는 형태를 이루어 가이드 슬롯(204)의 중간의 폭은 웨이퍼 카세트 슬롯(105)의 폭보다 작게 된다. 또한, 가이드 슬롯(105) 타단부의 폭 역시 가이드 슬롯(204)의 중간으로 갈수록 점차 작아지는 형태를 이룰 수 있다. 이때, 가이드 슬롯(204)의 양단의 폭은 비교적 크고, 웨이퍼 프레임(100)을 가이드 슬롯(204)에 들어갈 수 있도록 유도하는 기능을 가진다. 가이드 슬롯(204) 중간의 폭은 비교적 작으며, 사용자가 웨이퍼 프레임(100)을 인출 또는 삽입하는 과정에서 인접된 웨이퍼와 평행한 형태를 유지하며, 나아가 각 웨이퍼 프레임(100)이 웨이퍼(101)와 마찰하여 웨이퍼(101)가 긁히는 현상이 발생되는 것을 방지한다.FIG. 2D is an enlarged view of the guide slot 204 and the wafer slot 105 of the guide frame 207 when the guide frame 207 is rotated above the wafer cassette 103. The guide slots 204 formed in the guide frame 207 are generally arranged in parallel, and the width of the end portion toward the wafer cassette slot 105 in each of the guide slots 204 is the width of the wafer cassette slot 105. In the same width, the wafer frame 100 can slide smoothly into the wafer cassette slot 105, the width of the guide slot 204 is gradually reduced toward the middle of the guide slot 204 The width in the middle becomes smaller than the width of the wafer cassette slot 105. In addition, the width of the other end of the guide slot 105 may also be formed to gradually decrease toward the middle of the guide slot 204. At this time, the width of both ends of the guide slot 204 is relatively large, and has a function of inducing the wafer frame 100 to enter the guide slot 204. The width of the middle of the guide slot 204 is relatively small, and the user maintains the shape parallel to the adjacent wafer in the process of drawing or inserting the wafer frame 100, and furthermore, each wafer frame 100 has a wafer 101. Friction with the wafer 101 prevents the wafer 101 from being scratched.

상기 내용은 본 발명의 바람직한 실시예에 해당할 뿐이며, 본 발명의 청구범위를 한정하지 않는다. 본 발명의 기술적 사상을 이탈하지 않는 범위에서 완성된 균등 변화 또는 수정은 본 발명의 특허청구범위에 해당된다. 예를 들어, 상기 실시예의 회전 방식과 달리, 가이드 프레임(207)을 웨이퍼 카세트(103) 상부에 직접 설치하여 조작하는 등의 방식도 가능하다. 또한, 웨이퍼 카세트 보조장치(201)는 측벽(206)을 설치하지 않아도 되며, 나아가 받침대(209)를 설치하지 않고, 기타 종래의 승강수단으로 가이드 프레임(207)을 올려 웨이퍼 카세트(103) 상의 웨이퍼 카세트 슬롯(105)과 가지런히 해도 된다. 또한, 웨이퍼 카세트(103)의 경사각도는 기타 방법으로 얻을 수 있는데, 작업대의 경사각을 조정함으로써 웨이퍼 카세트가 기울기를 갖도록 할 수도 있다.The foregoing is only a preferred embodiment of the present invention and does not limit the claims of the present invention. Equivalent changes or modifications completed within the scope not departing from the spirit of the present invention fall within the claims of the present invention. For example, unlike the rotation method of the above embodiment, the guide frame 207 may be directly installed on the wafer cassette 103 and manipulated. In addition, the wafer cassette auxiliary device 201 does not need to install the side wall 206, and furthermore, without installing the pedestal 209, the wafer frame on the wafer cassette 103 is lifted by the guide frame 207 by other conventional lifting means. It may be aligned with the cassette slot 105. Incidentally, the inclination angle of the wafer cassette 103 can be obtained by other methods, and the wafer cassette can be inclined by adjusting the inclination angle of the work table.

본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 보조장치는 웨이퍼 프레임을 웨이퍼 카세트에서 인출하거나 또는 카세트에 설치할 때 웨이퍼가 서로 부딪치고 마찰하거나 긁히는 것을 방지할 수 있다.The wafer cassette auxiliary apparatus according to the present invention can prevent the wafers from colliding with each other, rubbing or scratching when the wafer frame is withdrawn from the wafer cassette or installed in the cassette.

Claims (9)

웨이퍼 카세트 보조장치에 있어서,In the wafer cassette auxiliary device, 가이드 프레임을 포함하며,Including a guide frame, 상기 가이드 프레임은 제1 가이드 슬롯 플레이트, 제2 가이드 슬롯 플레이트 및 하나 이상의 커넥팅 레버를 포함하며,The guide frame includes a first guide slot plate, a second guide slot plate and one or more connecting levers, 각각의 상기 커넥팅 레버를 통하여 제1 가이드 슬롯 플레이트와 상기 제2 가이드 슬롯 플레이트의 측벽이 서로 연결되며, Sidewalls of the first guide slot plate and the second guide slot plate are connected to each other through the connecting levers, 상기 제1 가이드 슬롯 플레이트 및 상기 제2 가이드 슬롯 플레이트는 웨이퍼 카세트에 형성된 웨이퍼 카세트 슬롯과 대응되는 위치에 가이드 슬롯을 각각 형성하며,The first guide slot plate and the second guide slot plate respectively form guide slots at positions corresponding to the wafer cassette slots formed in the wafer cassette. 각각의 상기 가이드 슬롯의 일단부의 폭은 가이드 슬롯의 중심을 향해 점진적으로 축소되는 형태를 이루며,The width of one end of each of the guide slots is formed to gradually decrease toward the center of the guide slot, 상기 가이드 프레임을 웨이퍼 카세트에 직렬 연결함으로써 상기 가이드 슬롯이 대응하는 웨이퍼 카세트 슬롯에 연결될 수 있도록 하는 Serially connecting the guide frame to a wafer cassette such that the guide slot can be connected to a corresponding wafer cassette slot. 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 보조장치.Wafer cassette auxiliary device, characterized in that. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 받침대, 측벽 및 피벗 연결기를 추가로 포함하며,Further comprising a pedestal, sidewalls and pivot connectors, 상기 받침대는 상기 웨이퍼 카세트를 포지셔닝하기 위한 것이며,The pedestal is for positioning the wafer cassette, 상기 측벽은 받침대의 측면에 설치되며,The side wall is installed on the side of the pedestal, 상기 피벗 연결기의 일단부는 상기 측벽에 연결되고, 타단부는 가이드 프레임에 연결되어, 상기 가이드 프레임이 상기 측벽에 대하여 회전할 수 있도록 하여 상기 가이드 프레임의 각각의 가이드 슬롯이 대응하는 웨이퍼 카세트 슬롯에 각각 직렬 연결될 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 보조장치.One end of the pivot connector is connected to the side wall, and the other end is connected to the guide frame such that the guide frame can rotate about the side wall so that each guide slot of the guide frame is corresponding to a corresponding wafer cassette slot. Wafer cassette auxiliary, characterized in that to be connected in series. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 피벗 연결기의 타단부는 상기 제1 가이드 슬롯 플레이트, 제2 가이드 슬롯 플레이트 및 상기 커넥팅 레버 중 어느 하나에 연결될 수 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 보조장치.And the other end of the pivot connector can be connected to any one of the first guide slot plate, the second guide slot plate, and the connecting lever. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 받침대에 설치되어 상기 받침대와의 상대적 각도를 조정하기 위한 기울기 조정수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 보조장치.And a tilt adjusting means installed on the pedestal to adjust a relative angle with the pedestal. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 기울기 조정수단은 하나 이상의 조정벽을 포함하며, 각각의 상기 조정벽의 일단부는 상기 받침대에 피벗 연결되어 상기 받침대와 상대적으로 회전 가능한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 보조장치.And said inclination adjustment means comprises at least one adjustment wall, wherein one end of each adjustment wall is pivotally connected to said pedestal and is rotatable relative to said pedestal. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 조정벽의 타단부에는 조정 슬롯이 형성되어 있으며, 상기 받침대에는 상기 조정벽을 관통할 수 있는 조정 스크류가 설치되며, 조정볼트와 상기 조정 스크류 사이의 상호 배합을 통해 상기 받침대와 상기 기울기 조정수단 사이의 상대적 각도를 고정할 수 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 보조장치.An adjusting slot is formed at the other end of the adjusting wall, and the adjusting screw penetrating the adjusting wall is installed at the other end of the adjusting wall, and through the mixing between the adjusting bolt and the adjusting screw, the adjusting stand and the tilt adjusting means. Wafer cassette auxiliary device, characterized in that can fix the relative angle between. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가이드 슬롯에 있어서, 하나의 단부의 폭은 상기 웨이퍼 카세트 슬롯의 폭과 같으며, 다른 하나의 단부의 폭은 가이드 슬롯 중심을 향해 점진적으로 축소되는 형태를 이루는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 보조장치.In the guide slot, the width of one end is equal to the width of the wafer cassette slot, the width of the other end is configured to gradually reduce toward the center of the guide slot. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가이드 슬롯 중심의 폭은 웨이퍼 카세트 슬롯의 폭보다 작은 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 보조장치.And a width of the center of the guide slot is smaller than a width of the wafer cassette slot. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 측벽의 한 면에 설치되어 상기 가이드 프레임의 회전 각도를 한정하기 위한 지지 블록을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 보조장치.And a support block provided on one side of the side wall to define a rotation angle of the guide frame.
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