KR100770256B1 - 플렉서블 평판표시장치의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 도전성기판을 이용하는 플렉서블 평판표시장치에 있어서, 패널을 분리하기 위한 레이저 커팅시, 메탈 쇼트를 방지할 수 있는 플렉서블 평판표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명은 도전성기판 상에 다수의 스캔라인, 테이터라인으로 정의되는 다수의 화소영역과 각 화소영역에 박막트랜지스터 및 화소전극이 형성되어 있으며, 상기 데이터라인 및 스캔라인의 끝부분에 패드부 및 쇼팅바를 구비하는 평판표시장치에 있어서, 스크라이빙 라인보다 소자 안쪽으로 위치하는 상기 스캔 및 데이터 패드부의 메탈층을 레이저를 조사하여 상기 쇼팅바와 전기적으로 절연하는 단계; 상기 스크라이빙 라인을 레이저로 커팅하는 단계;를 특징으로 한다.
플렉서블 평판표시장치, 패드

Description

플렉서블 평판표시장치의 제조방법{Method Of Manufacturing Flexible Flat Panel Display Device}
도 1 및 도 2는 종래 플렉서블 평판표시장치의 패드부의 단면도.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 플렉서블 평판표시장치의 평면도.
도 4 내지 도 7은 도 3의 A-A'에 따른 본 발명의 플렉서블 평판표시장치의 단면도.
<도면 주요부호에 대한 부호의 설명>
10 : 도전성 기판 80 : 쇼팅바
90 : 무기막층 100 : 메탈층
110: 스크라이빙 라인 120 : 레이저 조사장치
본 발명은 플렉서블 평판표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 보다 자세하게 는 도전성기판을 이용하는 플렉서블 평판표시장치에 있어서, 패널을 분리하기 위한 레이저 커팅시, 발생하는 쇼트현상을 방지할 수 있는 플렉서블 평판표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
최근 평판표시장치는 박형화와 아울러 플렉서블(Flexsible)한 특성이 요구되고 있다. 이러한 플렉서블한 특성을 위해 종래의 글라스 기판을 사용하던 것과 달리 플라스틱 또는 도전성 기판을 사용하려는 시도가 많이 이루어지고 있다.
종래의 평판표시장치는 유리와 같은 절연물질로 이루어진 기판 상에 소자를 형성하고, 봉지함으로써 패널을 완성한 후 상기 패널을 각각 커팅하여 평판표시장치를 완성하였다.
그러나, 플렉서블한 특성을 살리기 위해 도전성 기판을 사용하는 플렉서블 평판표시장치는 종래 기계적인 방법으로 패널을 커팅하게 되면 기판이 손상되어 사용할 수 없게 된다. 이러한 단점을 보완하게 위해 도전성 기판을 사용하는 플렉서블 평판표시장치는 레이저를 이용하여 패널을 커팅한다.
도 1 및 도 2는 종래 플렉서블 평판표시장치의 패드부의 단면도이다.
도 1을 참조하면, 도전성 기판(1) 상에 무기막층(2)이 형성되어 있고, 상기 무기막층(2) 상에 메탈층(3) 및 상기 메탈층(3)의 끝부분에 쇼팅바(4)가 구비되어 있다.
상기 패널을 스크라이빙 라인(5)을 따라 레이저로 커팅하는 경우에는, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도전성 기판(1) 상에 형성된 패널 외각의 다수의 메탈배선들이 레이저 커팅시 발생하는 고온에 의해 녹아내려 상기 도전성 기판에 붙게 되고, 이러한 현상으로 인해 기판기 회로 사이의 쇼트를 유발하여 소자의 구동에 치명적인 손상을 줄 수 있는 단점이 있다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반단점과 문제점을 해결하기 위한 것으로, 도전성기판을 이용하는 플렉서블 평판표시장치에 있어서, 레이저 커팅시 발생하는 쇼트현상을 방지할 수 있는 플렉서블 평판표시장치의 제조방법을 제공함에 본 발명의 목적이 있다.
본 발명의 상기 도전성기판 상에 다수의 스캔라인, 테이터라인으로 정의되는 다수의 화소영역과 각 화소영역에 박막트랜지스터 및 화소전극이 형성되어 있으며, 상기 데이터라인 및 스캔라인의 끝부분에 패드부 및 쇼팅바를 구비하는 평판표시장치에 있어서, 스크라이빙 라인보다 소자 안쪽으로 위치하는 상기 스캔 및 데이터 패드부의 메탈층을 레이저를 조사하여 상기 쇼팅바와 전기적으로 절연하는 단계; 상기 스크라이빙 라인을 레이저로 커팅하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 평판표시장치의 제조방법에 의해 달성된다.
본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 보다 명확하게 이해될 것이다. 또한 도면들에 있어서, 층 및 영역의 길 이, 두께등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 플렉서블 평판표시장치의 평면도이다.
도 3을 참조하면, 도전성 기판(10)과, 상기 도전성 기판(10) 상에 형성된 표시패널(20)과, 상기 도전성 기판(10)의 하단에 형성되는 데이터 패드부(30)와, 상기 도전성 기판(10)의 일측 가장자리에 형성되는 스캔 패드부(40)와, 상기 데이터 패드부(30) 상에 형성되는 데이터 패드전극들(50)과, 상기 스캔 패드부(40) 상에 형성되는 스캔 패드전극들(60)을 구비한다.
또한, 도면에는 표시하지 않았지만 상기 도전성 기판(10) 상에 박막 트랜지스터의 전기적 충격을 방지하기 위해 형성되는 정전기방지회로를 구비하고, 소자 내부에 전기가 충전되는 것을 방지하기 위해 각 데이터 패드전극들(50)과 연결되는 데이터 쇼팅바(70)와, 각 스캔 패드전극들(60)과 연결되는 스캔 쇼팅바(80)를 구비한다.
도 4 내지 도 7은 도 3의 A-A'선에 따른 본 발명의 플렉서블 평판표시장치의 단면도이다.
도 4를 참조하면, 상기 스캔 패드부(40)는 상기 도전성 기판(10) 상에 버퍼층, 게이트 절연막이 순차적으로 형성된 무기막층(90)과 게이트 전극금속, 반사금속 및 제 1 전극금속이 순차적으로 형성된 메탈층(100)이 형성되어 있다. 상기 메탈층(100)의 외각에는 스캔 쇼팅바(80)가 형성되어 있다. 또한, 각 패널을 분리하기 위한 스크라이빙 라인(110)이 도시되어 있다. 상기 무기막층(90)의 버퍼층, 게 이트 절연막은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다.
또한, 상기 메탈층(100)의 게이트 전극금속 및 반사금속은 Al, Cr, Ta 또는 Mo를 사용할 수 있다. 상기 메탈층(100)의 제 1 전극금속은 ITO 또는 IZO를 사용할 수 있다.
이어서, 도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 스크라이빙 라인(110)내의 스캔 패드부의 메탈층(100)을 레이저 조사장치(120)를 이용하여 제거함으로써, 도4에 도시된 바와 같이, 상기 스캔 패드부의 메탈층(100)이 상기 스캔 쇼팅바(80)와의 연결되는 것을 차단한다.
계속해서, 도 7을 참조하면, 상기 스크라이빙 라인(110)을 레이저를 이용하여 커팅한다. 이때, 상기 스캔 패드부의 메탈층(100)은 레이저의 고열에 녹아내려 상기 도전성 기판(10)으로 연결되지만, 이전 공정에서 상기 스캔 패드부의 메탈층(100)의 일부 영역을 제거해줌으로써, 추후 전기적인 쇼트가 발생되지 않는다.
본 실시 예는 스캔 패드부만을 설명하였지만, 데이터 패드부도 상기와 같이 동일한 방법을 사용할 수 있다.
상기와 같이, 도전성 기판을 사용하는 플렉서블 평판표시장치에 있어서, 데이터 패드부의 메탈층 및 스캔 패드부의 메탈층의 일부를 레이저로 제거해줌으로써, 각 패널을 레이저로 커팅하는 과정에서 발생할 수 있는 쇼트현상을 방지할 수 있는 이점이 있다.
본 발명은 이상에서 살펴본 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기한 실시 예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.
따라서, 본 발명의 플렉서블 평판표시장치의 제조방법은 도전성기판을 이용함으로써, 레이저 커팅시 발생하는 쇼트현상을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (3)

  1. 도전성기판 상에 다수의 스캔라인, 테이터라인으로 정의되는 다수의 화소영역과 각 화소영역에 박막트랜지스터 및 화소전극이 형성되어 있으며, 상기 데이터라인 및 스캔라인의 끝부분에 패드부 및 쇼팅바를 구비하는 평판표시장치에 있어서,
    스크라이빙 라인보다 소자 안쪽으로 위치하는 상기 스캔 및 데이터 패드부의 메탈층을 레이저를 조사하여 상기 쇼팅바와 전기적으로 절연하는 단계;
    상기 스크라이빙 라인을 레이저로 커팅하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 평판표시장치의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 스캔 패드부의 메탈층은 게이트 전극금속, 반사막 및 화소전극금속인 것을 특징으로 하는 플렉서블 평판표시장치의 제조방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 데이터 패드부의 메탈층은 소스 또는 드레인 전극금속, 반사막 및 화소전극금속인 것을 특징으로 하는 플렉서블 평판표시장치의 제조방법.
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