JP3989662B2 - 液晶装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶装置に関するものであって、特にアクティブマトリクス基板の入出力端子の接続不良を防止する手段に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、パーソナルコンピューターのディスプレイ等に、大容量のマトリクス液晶装置が使用されている。中でも高画質、大容量の液晶表示装置として、画素電極と信号配線との間にスイッチ作用を有する薄膜素子を導入したアクティブマトリクス方式の液晶表示装置が主流となっている。これらのアクティブマトリクス方式の液晶表示装置のアクティブマトリクス基板には、画素スイッチング素子、あるいは駆動回路を構成するスイッチング素子として薄膜トランジスタ( Thin Film Transistor: 以下、TFTと略記する)が用いられている。また、アクティブマトリクス基板においてTFTの耐電圧の向上あるいはオフリーク電流の低減を図るには、TFTをオフセットゲート構造あるいはLDD構造とする技術が多用されている。
【0003】
アクティブマトリクス基板には上記TFTの他に、TFTと信号電流をやり取りするための入出力端子が設けられている。入出力端子にはフレキシブルプリント基板( Frexible Print Cercuit :以下、FPCと略記する )が接続され、外部の機器と信号のやりとりを行うようになっている。図8にFPCの概略を示す。図8(a)はFPCの外観を示す図で、直線上に並べられた金属導線42の周囲を絶縁性の合成樹脂層41でくるんであり、全体として平板状で可撓性に富むように構成されている。図8(b)はFPC末端部の断面構造を示している。FPC9の末端の接続部では、金属導線42の下面の合成樹脂層41が剥離され接着剤44に銅等の金属粒子43を分散させた接着テープ45が貼り付けてある。
【0004】
このように構成されたFPCをアクティブマトリクス基板2に実装した状態を示したのが図9である。図9(a)はアクティブマトリクス基板2の入出力端子部の断面図であり、絶縁基板2の上に入出力端子81が配置されている。このような構造の入出力端子81にFPC9を接続した状態を断面で示したのが図9(b)である。アクティブマトリクス基板2上の所定の入出力端子位置にFPC9の金属導線42を重ね合わせ、加熱圧接するとFPC9の接着剤44が横にはみ出し、アクティブマトリクス基板2上の入出力端子81とFPC9の金属導線42とが金属粒子43を介して接触する。充分な数の金属粒子43が完全に接触していれば、入出力端子81とFPC9の金属導線42との間の接触抵抗は低くなり、良好な接合が果たせることとなる。ところがこの間に絶縁物の屑等が入ると接触抵抗が高くなったり、絶縁不良を招く結果となる。端子間に透明絶縁膜がないと、金属粒子により端子間がショートする。
【0005】
一方、このような液晶表示装置では液晶分子を特定方向に配向させる必要があり、基板上にデータ線、信号線やTFTを形成した後、基板表面に特定方向の整列性を有する被着物又は溝を設けて、液晶分子の長軸方向を物理的に規制する手段が採られている。この手段の主なものにはポリイミド樹脂等の配向性のある皮膜を塗布したり、さらにはこの配向膜の表面に特定方向のキズを付けて配向性をもたせる手段が採用されている。配向膜にキズを付けて方向性を付与する手段としては、斜め蒸着法、ラビング法などがある。斜め蒸着法は生産効率が低く、画像のコントラストも充分でないなどの欠点を有するため、ラビング法が広く使用されている。通常、ラビング法はポリイミド樹脂等の配向膜の上を布で擦るこすりラビング法や、直径が10〜20μmの刷毛のついた回転するブラシで擦る回転ラビング法が実用化されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ラビング処理は所定の表示領域に配向膜を塗布した後、基板全面にわたってラビング処理を施すのが一般的である。しかも、ラビング処理は基板1枚毎に処理すのではなく、何枚かの基板が連続した基板母材の全面を同時に処理する方法が採られている。ラビング処理終了後に基板母材はいくつかの基板単体に切断され、次の実装工程に廻わされる。この切断工程でも透明絶縁基板や配向膜、層間絶縁膜、平坦化膜等の絶縁物からなる切屑が発生する。
【0007】
ところがラビング処理の際に、刷毛によって削り取られた配向膜のカスや基板を切断する際に発生する切屑等の絶縁物が、アクティブマトリクス基板の入出力端子部に運ばれ、実装する際にFPCの金属導線42との間に介在して接続抵抗の増大や接続不良をもたらす結果を招くことがある。また、入出力端子部周辺の引廻し配線パターンは露出していて何ら保護手段が施されておらず、基板を実装する際にラビング処理の際に発生した配向膜のカスや切断工程で発生する切屑等の絶縁物が、入出力端子部周辺の引廻し配線パターンを傷つけ、製品不良の原因となるといった問題があった。
本発明は実装に際し、これら入出力端子部周辺の引廻し配線パターンを保護するとともに、入出力端子部での接続不良を防止する手段を提供しようとするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記欠点を解消するためになされたものであって、アクティブマトリクス基板の入出力端子部周辺に透明樹脂膜を設け、実装工程において引廻し配線パターンを保護する手段を採用した。また、透明樹脂膜を入出力端子部周囲を取り囲むように設けて、基板母材の切断工程やラビング工程で発生する絶縁物の屑を透明樹脂膜で捕捉して、入出力端子とFPCとの接続不良を防止する手段を採用した。また、入出力端子部周囲に設ける透明樹脂膜と入出力端子の間に窪みを設け絶縁物の屑をこの窪みで捕捉する手段を採用した。
入出力端子部周囲にこのような透明樹脂膜を設けることにより、実装工程において入出力端子部周辺の引廻し配線を保護し、入出力端子とFPCとの接続不良を防止できる効果を発揮する。
【0009】
さらに、本発明の液晶装置の製造方法では、入出力端子や入出力端子部周囲の透明樹脂膜を、アクティブマトリクス基板のTFT形成と同時に形成する手段を採用した。この製造方法によれば特段の工程を増やすことなく、入出力端子や透明樹脂膜を形成できるので生産能率を落とすことなく製造可能となる。
本発明によるアクティブマトリクス基板を使用した電子機器は、入出力端子部における接続不良が無く、信頼性の高いものとなる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
まず、本発明の対象となる液晶装置の液晶表示パネルの構造について説明する
図10は、電気光学装置の構成を模式的に示すブロック図である。
図10に示すように、電気光学装置用のアクティブマトリクス基板2上には、データ線90および走査線91が形成されている。走査線91には各画素において画素電極に接続する画素用TFT10のゲートが接続し、データ線90には画素用TFT10のソースが接続している。各画素には画素用TFT10を介して画像信号が入力される液晶セル94が存在する。データ線90に対しては、シフトレジスタ48、レベルシフタ85、ビデオライン87、アナログスイッチ86を備えるデータ線駆動回路60がアクティブマトリクス基板2上に形成されている。走査線91に対しては、シフトレジスタ88およびレベルシフタ89を備える走査線駆動回路70がアクティブマトリクス基板2上に形成されている。
【0011】
このような走査線駆動回路70およびデータ線駆動回路60は、N型の駆動回路用TFTおよびP型の駆動回路用TFTによって構成される。これらのTFTにはLDD構造が採用されている。
各画素には容量線92とゲート電極との間に保持容量40(容量素子)が形成される場合があり、この保持容量40は、液晶セル94での電荷の保持特性を高める機能を有している。なお、保持容量40は前段の走査線91との間に形成されることもある。
【0012】
このように構成したアクティブマトリクス基板2は、図11および図12に示すようにして電気光学装置を構成する。
図11および図12はそれぞれ、電気光学装置の平面図およびそのH−H′線における断面図である。
これらの図において、電気光学装置1は、前記のアクティブマトリクス基板2と、石英基板や高耐熱ガラス基板などの透明な絶縁基板300に対向電極71および表示領域を見切りするためのマトリクス状の遮光膜98が形成された対向基板3と、これらの基板間に封入、挟持されている液晶6とから概略構成されている。アクティブマトリクス基板2と対向基板3とはギャップ材含有のシール材を用いたシール層80によって所定の間隙を介して貼り合わされ、これらの基板間に液晶6が封入されている。シール層80には、エポキシ樹脂や各種の紫外線硬化樹脂などを用いることができる。また、ギャップ材としては、約2μm〜約10μmの無機あるいは有機質のファイバー若しくは球を用いることができる。
【0013】
対向基板3はアクティブマトリクス基板2よりも小さく、アクティブマトリクス基板2の周辺部分は、対向基板3の外周縁よりはみ出た状態に貼り合わされる。従って、アクティブマトリクス基板2の走査線駆動回路70およびデータ線駆動回路60は、対向基板3の外側に位置している。走査線駆動回路70およびデータ線駆動回路60は、引廻し配線75を介して入出力端子81に接続されている。また、アクティブマトリクス基板2上の入出力端子81も対向基板3の外側に位置しているので、入出力端子81にはフレキシブルプリント基板9を配線接続することができる。ここで、シール層80は部分的に途切れているので、この途切れ部分によって、液晶注入口83が構成されている。このため、対向基板3とアクティブマトリクス基板2とを貼り合わせた後、シール層80の内側領域を減圧状態にすれば、液晶注入口83から液晶6を減圧注入でき、液晶6を封入した後、液晶注入口83を封止剤82で塞げばよい。
【0014】
本発明では図11及び図12に示すアクティブマトリクス基板2の入出力端子81および引廻し配線75の周辺部を透明樹脂膜で覆って保護することとした。透明樹脂膜に使用する透明樹脂はアクリル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂等透明で絶縁性のものであれば特に制限はない。アクティブマトリクス基板の薄膜トランジスタ製造の際に使用する平坦化膜あるいは層間絶縁膜として使用するものがそのまま利用できる。
【0015】
本発明の入出力端子81および引廻し配線75の周辺部を拡大した平面図を図1に示す。図1においてアクティブマトリクス基板2の一端部に入出力端子81が配置され、入出力端子81から引廻し配線75が走査線駆動回路およびデータ線駆動回路へと伸びている。透明樹脂膜403は図1において引廻し配線75の周辺部のみ(すなわち、図1の28部)でも良いし、入出力端子81周辺(すなわち、図1の29部)を含めても良い。前者の場合は実装工程で主として引廻し配線75を保護することができる。後者の場合はさらに入出力端子81とFPCとの接続不良を防止する効果を奏する。
【0016】
図2に図1の線A−A’に沿った断面構造の一例を示す。図2で酸化シリコンの絶縁膜14の上に引廻し配線75が構成されている。この引廻し配線75の間を埋めているのが透明樹脂膜403である。図2に示すように、透明樹脂膜403の厚さは引廻し配線75の高さよりも厚くする。図1の平面図で示されるように、引廻し配線75が透明樹脂膜403で覆われていれば、引廻し配線75を保護することができる。
【0017】
図3に図1の線B−B’に沿った断面構造の一例を示す。図3で酸化シリコンの絶縁膜14の上に入出力端子81が第1の導電膜81aと第2の導電膜81bの2層構造で構成されている。この入出力端子81の間を埋めているのが透明樹脂膜403である。図3に示すように、透明樹脂膜403の厚さは入出力端子81の高さよりも厚くする。そしてこの透明樹脂膜403の入出力端子81上部を除去して開口部84を設け、この開口部84の内面をITO( Indium Tin Oxide )膜4で覆って入出力端子81としてある。この際、透明樹脂膜403の開口部84はエッチングにより上部ほど広くなって摺鉢状をなす。
【0018】
ここで、第1の導電膜81aをTFTのゲート電極と同じ材料に、第2の導電膜81bをソース・ドレイン電極と同じ材料にすれば、TFT形成時に同時に入出力端子も形成できるので、製造上極めて都合がよい。
入出力端子周辺部をこのように構成することにより、配向膜のラビング工程や基板の切断工程で発生する絶縁物の屑を、透明樹脂膜403の側壁で捕捉するので入出力端子81の底部には絶縁物の屑は到達せず、FPCとの接続を阻害することはない。また、実装工程でFPCの接着剤が端子間にはみ出し、接着剤に含まれていた金属粒子によりショートすることもない。
【0019】
図4に本発明の入出力端子周辺部のもう一つの実施の態様を示す。この実施の態様では先に図3の実施の態様で示した透明樹脂膜の構造において、入出力端子81用の導電膜81a、81bの近傍をオーバーエッチングして窪み406を設けたものである。もちろん窪み406の表面もITO膜4で覆って一体となった入出力端子81とする。このように入出力端子81用金属パターン周辺に窪み406を設けることにより、配向膜のラビング工程や基板の切断工程で発生する絶縁物の屑を窪み406に落とし込んで確実に捕捉できるので、FPCとの接続の際に接触不良を起こしたり、接触抵抗が増加することは無くなる効果を有する。
【0020】
次に、本発明の入出力端子周辺部の透明樹脂膜の製造方法について説明する。本発明ではアクティブマトリクス基板2のTFTの製造工程に合わせて入出力端子および透明樹脂膜を形成するのが良い。工程順に図を使用して説明する。 本発明の実施の形態の一つである3種類のTFTを具備したアクティブマトリクス基板の例を挙げて説明する。たとえば、図10に示す電気光学装置ではLDD構造を有するN型の画素スイッチング用TFT、LDD構造を有するN型の駆動回路用TFTおよびセルフアライン構造を有するP型の駆動回路用TFTの3種類のTFTが使用されている。
本発明のアクティブマトリクス基板2は、たとえば、以下の方法により製造できる。なお、以下の説明において、不純物濃度はいずれも、活性化アニール後の不純物濃度で表してある。
【0021】
まず、図5(a)に示すように、石英基板やガラス基板などの絶縁基板200の表面に、シリコン酸化膜からなる下地保護膜201を形成する。次に、ICVD法、プラズマCVD法などを用いてアモルファスシリコン膜202を形成した後、レーザアニール法または急速加熱法により結晶粒を成長させてポリシリコン膜とする。
【0022】
次に、図5(b)に示すように、ポリシリコン膜をフォトリソグラフィ法によってパターニングして、画素用TFT、N型の駆動回路用TFTおよびP型の駆動回路用TFTの各形成領域に島状のシリコン膜10a、20aおよび30aを残す。
【0023】
次に、TEOS−CVD法、ICVD法、プラズマCVD法、熱酸化法などにより、シリコン膜の全面に厚さが約300オングストローム〜約2000オングストロームのシリコン酸化膜からなる絶縁膜14を形成する(第1のゲート絶縁膜形成工程)。ここで、熱酸化法を利用して絶縁膜14を形成する際には、シリコン膜10a、20a、30aの結晶化も行い、これらのシリコン膜をポリシリコン膜とすることができる。
チャネルドープを行う場合には、たとえば、このタイミングで約1×1012cm-2のドーズ量でボロンイオンを打ち込む。その結果、シリコン膜10a、20a、30aは、不純物濃度が約1×1017cm-3の低濃度P型のシリコン膜となる。
【0024】
次に、図5(c)に示すように、絶縁膜14の全表面に、ドープドシリコン、シリサイド膜やアルミニウム膜、クロム膜、タンタル膜などの金属膜などといったゲート電極形成用導電膜150を形成する。ゲート電極形成用導電膜150の厚さはおおむね2000オングストローム程度である。次に、ゲート電極形成用導電膜150の表面にパターニング用マスク551を形成し、この状態でパターニングを行なって、図5(d)に示すように、駆動回路用TFTの側にゲート電極35を形成する(第1のゲート電極形成工程)。この際に、N型の画素用TFTおよびN型の駆動回路用TFTの側では、ゲート電極形成用導電膜150がパターニング用マスク551で覆われているので、ゲート電極形成用導電膜150はパターニングされることはない。又、入出力端子形成領域もパターニングされることはない。
【0025】
次に、図5(e)に示すように、P型の駆動回路用TFTの側のゲート電極35、およびN型の画素用TFTおよびN型の駆動回路用TFTの側に残したゲート電極形成用導電膜150をマスクとして、ボロンイオン(第2導電型/P型)を約1×1015cm-2ドーズ量(高濃度)でイオン注入する(高濃度第2導電型不純物導入工程)。その結果、不純物濃度が1×1020cm-3の高濃度のソース・ドレイン領域31、32がゲート電極35に対してセルフアライン的に形成される。ここで、ゲート電極35で覆われていた部分がチャネル形成領域33となる。
【0026】
次に、図6(a)に示すように、P型の駆動回路用TFTの側を完全に覆い、かつ、N型の画素用TFTおよびN型の駆動回路用TFTの側のゲート電極形成領域を覆うレジストマスクからなるパターニング用マスク552を形成する。この時同時に、入出力端子81の形成領域を覆うレジストマスクからなるパターニングマスク553も形成しておく。
【0027】
次に、図6(b)に示すように、パターニング用マスク552、553を使用してゲート電極形成用導電膜150をパターニングし、N型の画素用TFTおよびN型の駆動回路用TFTのゲート電極15、25と、入出力電極81用の第1の導電膜81aを形成する(第2のゲート電極形成工程、図6(c)参照)。このパターニングの際には、パターニング用マスク552、553で覆われているゲート電極形成用導電膜150に横方向のエッチング(サイドエッチング)が起こる。このため、ゲート電極15、25および入出力端子81の第1の導電膜81aはパターニング用マスク552よりも幅方向および長さ方向のいずれにおいても小さくなる。
この第2のゲート電極形成工程において、ゲート電極形成用導電膜150に積極的にサイドエッチングを進行させるという観点からすれば、第2のゲート電極形成工程では、ウェットエッチング、あるいはプラズマエッチングなどといった等方性を有するエッチング方法が好ましい。
【0028】
次に、パターニング用マスク552、553を残したまま、リンイオン(第1導電型/N型)を1×1015cm-2のドーズ量(高濃度)でイオン注入する(第1の高濃度第1導電型不純物導入工程)。その結果、パターニング用マスク552に対してセルフアライン的に不純物が導入され、10a、20a中に高濃度ソース・ドレイン領域112、122、212、222が形成される。ここで、シリコン膜10a、20bのうち、高濃度のリンが導入されない領域は、ゲート電極15、25で覆われていた領域よりも広い。すなわち、シリコン膜10a、20aのうち、ゲート電極15、25と対向する領域の両側には高濃度ソース・ドレイン領域112、122、212、222との間に高濃度のリンが導入されない領域111,121,211,221が形成される。
【0029】
次に、図6(c)に示すように、パターニング用マスク552及び553を除去し、この状態でリンイオンを1×1013cm-2のドーズ量(低濃度)でイオン注入する(低濃度第1導電型不純物導入工程)。その結果、シリコン膜10a、20aにはゲート電極15、25に対してセルフアライン的に低濃度の不純物が導入され、低濃度ソース・ドレイン領域111、121、211、221が形成される。なお、ゲート電極15、25と重なる領域にはチャネル形成領域13、23が形成される。なお、このとき入出力端子の第1の導電膜81aは形成されている。
【0030】
次に、図6(d)に示すように、ゲート電極15、25、35および入出力端子81の表面側に下層側層間絶縁膜401を形成した後、フォトリソグラフィ法によってパターニングして所定のソース電極位置、ドレイン電極位置、および入出力端子位置にコンタクトホールを形成する。次に、この上からアルミニウム膜、クロム膜やタンタル膜などの金属膜を用いてソース電極16,26,36、ドレイン電極17,27および入出力端子81の第2の導電膜となるソース・ドレイン形成用導電膜160を形成する。ソース・ドレイン形成用導電膜160の厚さはおおむね2000〜3000オングストローム程度である。ソース電極16,26,36、ドレイン電極17,27および入出力端子81の位置の表面にパターニング用マスク554及び555を形成した後、この状態でパターニングを行って、図6(e)に示すソース・ドレイン電極16、17、26、27、36および出力端子の第2の導電膜81bを形成する。
【0031】
次に、図7(a)に示すように、窒化珪素等からなる上層側層間絶縁膜402を形成した後、TFT形成領域では各素子の凹凸の影響を緩和して素子を保護するために透明樹脂膜からなる平坦化膜404を形成する。一方、同時に同じ材料で入出力端子部分にも図7(a)に示すように透明樹脂膜403を形成する。透明樹脂膜403の厚さは1〜2μm程度が良い
次いでドレイン電極部の上層側層間絶縁膜402及び透明樹脂膜403を、フォトリソグラフィ法によって除去してコンタクトホールを形成する。この際同時に入出力端子部の上層側層間絶縁膜402及び透明樹脂膜403も除去して入出力端子部に開口部84を設ける(図7(b)参照)。
透明樹脂膜403を除去して開口部84をあける際に、オーバーエッチングすると第2の導電膜81bは残り、第2の導電膜81bの周囲のみ深くエッチングされて図4に示すような窪み406が形成される。
この後、ITOのスパッタリング等によりTFT領域にはドレイン電極と接続する画素電極8を形成する。一方、同時に入出力端子部にも開口部84の内壁と第2の導電膜81bの上面にITO膜4を形成して入出力端子を完成させる(図7(c)参照)。
【0032】
この後、TFT領域には配向膜を塗布してラビング処理工程へと移行する。
このようにアクティブマトリクス基板上のTFTの形成に併せて、入出力端子及び入出力端子周辺部の透明樹脂膜を同時に形成すると、特別な工程の追加もなく生産効率を低下させることなく信頼性の高いアクティブマトリクス基板を得ることができる。
【0033】
【発明の効果】
本発明によれば、ラビング処理の際に発生する絶縁物の屑や基板切断工程で 発生する絶縁物の屑から引き廻し配線パターンを保護できるので、配線パターン損傷による製品歩留まりの低下を防止できる。また、絶縁物の屑が入出力端子部に入ることがないので、入出力端子とFPCとの接触不良や接触抵抗の増加が起こらず、安定した品質の液晶装置が得られる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係わる液晶装置の入出力端子周辺を拡大して示す平面図である。
【図2】 図1のA−A’線に沿った断面図である。
【図3】 本発明に係わる液晶装置の入出力端子部の一例を示す断面図である。
【図4】 本発明に係わる液晶装置の入出力端子部の他の一例を示す断面図である。
【図5】 (a)〜(e)は図1に示す液晶装置の入出力端子の製造方法を示す工程断面図である。
【図6】 (a)〜(e)は図1に示す液晶装置の入出力端子の製造方法において、図5に示す工程に続いて行う各工程を示す工程断面図である。
【図7】 (a)〜(c)は図1に示す液晶装置の入出力端子の製造方法において、図6に示す工程に続いて行う各工程を示す工程断面図である。
【図8】 フレキシブルプリント基板を説明する図である。
【図9】 入出力端子とフレキシブルプリント基板との接合状態を示す図である。
【図10】 本発明を適用した電気光学装置用のアクティブマトリクス基板の構成を示すブロック図である。
【図11】 アクティブマトリクス基板の使用例を示す電気光学装置の平面図である。
【図12】 図11のH−H’線に沿った断面図である。
【符号の説明】
1・・・電気光学装置、2・・・アクティブマトリクス基板、3・・・対向基板、4・・・インジウム錫酸化物(ITO)膜、6・・・液晶、8・・・画素電極、9・・・ フレキシブルプリント基板(FPC)、10・・・画素用TFT、14・・・絶縁膜、15,25,35・・・ゲート電極、16,17,26,27,36・・・ソース・ドレイン電極、41・・・合成樹脂層、42・・・金属導線、43・・・金属粒子、44・・・接着剤、45・・・接着テープ、60・・・データ線鼓動回路、70・・・走査線駆動回路、75・・・引廻し配線、80・・・シール層、81・・・入出力端子、81a・・・第1の導電膜、81b・・・第2の導電膜、82・・・封止剤、83・・・液晶注入口、84・・・開口部、90・・・データ線、91・・・走査線、92・・・容量線、94・・・液晶セル、98・・・遮光膜、150・・・ゲート電極形成用導電膜、 160・・・ソース・ドレイン電極形成用導電膜、200・・・絶縁基板、201・・・ 下地保護膜、401・・・下層側層間絶縁膜、402・・・上層側層間絶縁膜、403・・・ 透明樹脂膜、404・・・平坦化膜、406・・・窪み、551,552,553,554・・・パターニング用マスク
Claims (3)
- 基板上にマトリクス状に形成された複数の走査線及び複数のデータ線と、前記走査線及びデータ線に接続された薄膜トランジスタからなるスイッチング手段と、前記スイッチング手段に接続された画素電極とを有する液晶装置であって、
前記薄膜トランジスタの形成領域と当該領域の周辺の入出力端子部の全面を被覆して平坦化する透明樹脂膜を有し、前記透明樹脂膜は、前記入出力端子部の各々の入出力端子上部に開口部を有し、
前記開口部の前記透明樹脂膜の内壁がテーパー状を成しており、
前記開口部内に位置する前記入出力端子の周囲に窪みを有しており、
前記開口部に面する前記透明樹脂膜の内壁及び前記入出力端子の表面にインジウム錫酸化物膜が形成されており、
前記透明樹脂膜は、前記基板上における前記入出力端子の高さよりも厚く形成されており、
前記インジウム錫酸化物膜は、前記入出力端子の表面と、前記入出力端子の周囲の前記窪みと、前記開口部の内壁とにわたって形成され、前記入出力端子とともに前記開口部内の前記入出力端子の周囲に窪みを有する一体の端子を構成している
ことを特徴とする液晶装置。 - 絶縁基板上に薄膜トランジスタと入出力端子とを形成する液晶装置の製造方法において、
前記薄膜トランジスタ及び前記入出力端子が形成された前記絶縁基板上の領域の全面に、前記透明樹脂膜の前記入出力端子上部に開口部を有するとともに当該開口部の内壁が少なくとも一部で前記入出力端子の外側に配置されている透明樹脂膜を形成して、前記薄膜トランジスタと前記入出力端子とが形成された領域を平坦化する第1の工程と、
少なくとも前記開口部内に導電性薄膜を形成する第2の工程と
を有し、
前記第1の工程では、前記透明樹脂膜を、前記入出力端子の高さよりも厚く、前記開口部の内壁がテーパー状を成すように形成し、
前記第2の工程では、前記導電性薄膜を、前記入出力端子の表面と、前記入出力端子と前記開口部の内壁との間の窪みと、前記開口部の内壁とにわたって形成することで、前記導電性薄膜と前記入出力端子とを前記開口部内の前記入出力端子の周囲に窪みを有する一体の端子として構成する
ことを特徴とする液晶装置の製造方法。 - 請求項2に記載の液晶装置の製造方法において、前記入出力端子の形成を前記薄膜トランジスタの形成と同時に行うことを特徴とする液晶装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2001194679A JP2001194679A (ja) | 2001-07-19 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country | Link |
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JP (1) | JP3989662B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3747840B2 (ja) | 2001-11-21 | 2006-02-22 | ソニー株式会社 | プリンター |
JP4007074B2 (ja) | 2002-05-31 | 2007-11-14 | ソニー株式会社 | 表示装置の製造方法 |
JP4517063B2 (ja) * | 2003-05-27 | 2010-08-04 | 日本電気株式会社 | 液晶表示装置 |
WO2006118166A1 (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | 表示装置およびこれを備えた電子機器 |
CN103137557B (zh) * | 2013-02-05 | 2015-02-18 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 阵列基板、显示装置及阵列基板的制造方法 |
-
2000
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Publication number | Publication date |
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JP2001194679A (ja) | 2001-07-19 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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