KR100685837B1 - 플렉서블 평판표시장치의 제조방법 - Google Patents

플렉서블 평판표시장치의 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100685837B1
KR100685837B1 KR1020050112429A KR20050112429A KR100685837B1 KR 100685837 B1 KR100685837 B1 KR 100685837B1 KR 1020050112429 A KR1020050112429 A KR 1020050112429A KR 20050112429 A KR20050112429 A KR 20050112429A KR 100685837 B1 KR100685837 B1 KR 100685837B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
scan
flat panel
conductive substrate
panel display
pad
Prior art date
Application number
KR1020050112429A
Other languages
English (en)
Inventor
신현수
모연곤
정재경
권세열
Original Assignee
삼성에스디아이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성에스디아이 주식회사 filed Critical 삼성에스디아이 주식회사
Priority to KR1020050112429A priority Critical patent/KR100685837B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100685837B1 publication Critical patent/KR100685837B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
    • H01J9/241—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases the vessel being for a flat panel display
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36—Removing material
    • B23K26/38—Removing material by boring or cutting
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J11/20—Constructional details
    • H01J11/34—Vessels, containers or parts thereof, e.g. substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00—Printed circuits
    • H05K1/02—Details
    • H05K1/14—Structural association of two or more printed circuits
    • H05K1/147—Structural association of two or more printed circuits at least one of the printed circuits being bent or folded, e.g. by using a flexible printed circuit

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)

Abstract

본 발명은 도전성기판을 이용하는 플렉서블 평판표시장치에 있어서, 패널을 분리하기 위한 레이저 커팅시, 메탈 쇼트를 방지할 수 있는 플렉서블 평판표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명은 도전성기판 상에 다수의 스캔라인, 테이터라인으로 정의되는 다수의 화소영역과 각 화소영역에 박막트랜지스터 및 화소전극이 형성되어 있으며, 상기 데이터라인 및 스캔라인의 끝부분에 패드부 및 쇼팅바를 구비하는 평판표시장치에 있어서, 상기 스캔 및 데이터 패드부의 스크라이빙 라인을 레이저로 커팅하는 단계; 상기 스캔 및 데이터 패드부의 도전성 기판에 접촉하며, 상기 패드부의 측부에 돌출되어 있는 메탈층을 식각하는 단계;를 특징으로 한다.
평판표시장치, 패드

Description

플렉서블 평판표시장치의 제조방법{Method Of Manufacturing Flexible Flat Panel Display Device}
도 1 및 도 2는 종래 플렉서블 평판표시장치의 패드부의 단면도.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 플렉서블 평판표시장치의 평면도.
도 4 내지 도 7은 도 3의 A-A'에 따른 플렉서블 평판표시장치의 단면도.
<도면 주요부호에 대한 부호의 설명>
10 : 도전성 기판 90 : 무기막층
100 : 메탈층 110 : 스크라이빙 라인
120 : 포토 레지스트
본 발명은 플렉서블 평판표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 도전성기판을 이용하는 플렉서블 평판표시장치에 있어서, 패널을 분리하기 위한 레이저 커팅시, 발생하는 쇼트현상을 방지할 수 있는 평판표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
최근 평판표시장치는 박형화와 아울러 플렉서블(Flexsible)한 특성이 요구되고 있다. 이러한 플렉서블한 특성을 위해 종래의 글라스 기판을 사용하던 것과 달리 플라스틱 또는 도전성 기판을 사용하려는 시도가 많이 이루어지고 있다.
종래의 평판표시장치는 유리와 같은 절연물질로 이루어진 기판 상에 소자를 형성하고, 봉지함으로써 패널을 완성한 후 상기 패널을 각각 커팅하여 평판표시장치를 완성하였다.
그러나, 플렉서블한 특성을 살리기 위해 도전성 기판을 사용하는 플렉서블 평판표시장치는 종래 기계적인 방법으로 패널을 커팅하게 되면 기판이 손상되어 사용할 수 없게 된다. 이러한 단점을 보완하게 위해 도전성 기판을 사용하는 플렉서블 평판표시장치는 레이저를 이용하여 패널을 커팅한다.
도 1 및 도 2는 종래 평판표시장치의 패드부의 단면도이다.
도 1을 참조하면, 도전성 기판(1) 상에 무기막층(2)이 형성되어 있고, 상기 무기막층(2) 상에 메탈층(3) 및 상기 메탈층(3)의 끝부분에 쇼팅바(4)가 구비되어 있다.
상기 패널을 스크라이빙 라인(5)을 따라 레이저로 커팅하는 경우에는, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도전성 기판(1) 상에 형성된 패널 외각의 다수의 메탈배선들이 레이저 커팅시 발생하는 고온에 의해 녹아내려 상기 도전성 기판에 붙게 되고, 이러한 현상으로 인해 기판기 회로 사이의 쇼트를 유발하여 소자의 구동에 치명적인 손상을 줄 수 있는 단점이 있다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반단점과 문제점을 해결하기 위한 것으로, 도전성기판을 이용하는 플렉서블 평판표시장치에 있어서, 레이저 커팅시 발생하는 쇼트현상을 방지할 수 있는 플렉서블 평판표시장치의 제조방법을 제공함에 본 발명의 목적이 있다.
본 발명의 상기 목적은 도전성기판 상에 다수의 스캔라인, 테이터라인으로 정의되는 다수의 화소영역과 각 화소영역에 박막트랜지스터 및 화소전극이 형성되어 있으며, 상기 데이터라인 및 스캔라인의 끝부분에 패드부 및 쇼팅바를 구비하는 평판표시장치에 있어서, 상기 스캔 및 데이터 패드부의 스크라이빙 라인을 레이저로 커팅하는 단계; 상기 스캔 및 데이터 패드부의 도전성 기판에 접촉하며, 상기 패드부의 측부에 돌출되어 있는 메탈층을 식각하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 평판표시장치의 제조방법에 의해 달성된다.
본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 보다 명확하게 이해될 것이다. 또한 도면들에 있어서, 층 및 영역의 길이, 두께등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동 일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 플렉서블 평판표시장치의 평면도이다.
도 3을 참조하면, 도전성 기판(10)과, 상기 도전성 기판(10) 상에 형성된 표시패널(20)과, 상기 도전성 기판(10)의 하단에 형성되는 데이터 패드부(30)와, 상기 도전성 기판(10)의 일측 가장자리에 형성되는 스캔 패드부(40)와, 상기 데이터 패드부(30) 상에 형성되는 데이터 패드전극들(50)과, 상기 스캔 패드부(40) 상에 형성되는 스캔 패드전극들(60)을 구비한다.
또한, 도면에는 표시하지 않았지만 상기 도전성 기판(10) 상에 박막 트랜지스터의 전기적 충격을 방지하기 위해 형성되는 정전기방지회로를 구비하고, 소자 내부에 전기가 충전되는 것을 방지하기 위해 각 데이터 패드전극들(50)과 연결되는 데이터 쇼팅바(70)와 각 스캔 패드전극들(60)과 연결되는 스캔 쇼팅바(80)를 구비한다.
도 4 내지 도 7은 도 1의 A-A'선에 따른 본 발명의 평판표시장치의 단면도이다.
도 4를 참조하면, 상기 스캔 패드부(40)는 상기 도전성 기판(10) 상에 버퍼층, 게이트 절연막이 순차적으로 형성된 무기막층(90)과 게이트 전극금속, 반사금속 및 제 1 전극금속이 순차적으로 형성된 메탈층(100)이 형성되어 있다. 상기 메탈층(100)의 외각에는 스캔 쇼팅바(80)가 형성되어 있다. 또한, 각 셀을 분리하기 위한 스크라이빙 라인(110)이 도시되어 있다. 상기 무기막층(90)의 버퍼층, 게이트 절연막은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 또는 이들의 다중층일 수 있다.
또한, 상기 메탈층(100)의 게이트 전극금속 및 반사금속은 Al, Cr, Ta 또는 Mo를 사용할 수 있다. 상기 메탈층(100)의 제 1 전극금속은 ITO 또는 IZO를 사용할 수 있다.
이어서, 도 5를 참조하면, 상기 스크라이빙 라인(110)을 레이저를 사용하여 커팅한다. 이때, 상기 스캔 쇼팅바(80)는 제거되고, 상기 메탈층(100)은 레이저의 고열에 녹아 상기 도전성 기판(10)에 접촉하게 되어, 기판기 회로 사이의 쇼트를 유발하여 소자에 치명적인 손상을 입힐 수 있다.
상기와 같은 문제를 방지하기 위해, 도 6을 참조하면, 상기 도전성 기판(10)에 접촉하며 상기 패드부의 측부로 녹아내린 상기 메탈층(100)을 건식식각 또는 습식식각을 사용하여 제거한다. 본 발명에서는 습식식각중 하나인 포토 리소그래피법을 사용함이 바람직하다.
상기 포토 리소그래피법은 상기 메탈층(100)의 상부에 포토 레지스트(120)를 도포하고, 노광, 현상과정을 거쳐 상기 도전성 기판(10)에 접촉하며, 상기 패드부의 측부로 녹아내린 상기 메탈층(100)을 제거할 수 있다. 이때, 게이트 전극금속, 반사금속 및 제 1 전극금속으로 이루어진 상기 메탈층(100)을 HCL, HNO3 및 FeCl3로 이루어진 식각용액을 사용하여 식각할 수 있다.
이어서, 도 7을 참조하면, 상기 도전성 기판(10)에 접촉하며, 상기 패드부의 측부로 녹아내린 상기 메탈층(100)이 식각된 본 발명의 플렉서블 평판표시장치를 완성한다.
본 실시 예는 스캔 패드부만을 설명하였지만, 데이터 패드부도 상기와 같이 동일한 방법을 사용할 수 있다.
상기와 같이, 도전성 기판을 사용하는 플렉서블 평판표시장치에 있어서, 각 패널을 레이저로 커팅하는 과정에서 발생할 수 있는 쇼트현상을 데이터 패드부의 메탈층 및 스캔 패드부의 메탈층의 일부를 식각함으로써 방지할 수 있는 이점이 있다.
본 발명은 이상에서 살펴본 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기한 실시 예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.
따라서, 본 발명의 플렉서블 평판표시장치의 제조방법은 도전성기판을 이용함으로써, 레이저 커팅시 발생하는 쇼트현상을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (3)

  1. 도전성기판 상에 다수의 스캔라인, 테이터라인으로 정의되는 다수의 화소영역과 각 화소영역에 박막트랜지스터 및 화소전극이 형성되어 있으며, 상기 데이터라인 및 스캔라인의 끝부분에 패드부 및 쇼팅바를 구비하는 평판표시장치에 있어서,
    상기 스캔 및 데이터 패드부의 스크라이빙 라인을 레이저로 커팅하는 단계;
    상기 스캔 및 데이터 패드부의 도전성 기판에 접촉하며, 상기 패드부의 측부에 돌출되어 있는 메탈층을 식각하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 평판표시장치의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 스캔 패드부의 메탈층은 게이트 전극금속, 반사막 및 화소전극금속인 것을 특징으로 하는 플렉서블 평판표시장치의 제조방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 데이터 패드부의 메탈층은 소스/드레인 전극금속, 반사막 및 화소전극금속인 것을 특징으로 하는 플렉서블 평판표시장치의 제조방법.
KR1020050112429A 2005-11-23 2005-11-23 플렉서블 평판표시장치의 제조방법 KR100685837B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050112429A KR100685837B1 (ko) 2005-11-23 2005-11-23 플렉서블 평판표시장치의 제조방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050112429A KR100685837B1 (ko) 2005-11-23 2005-11-23 플렉서블 평판표시장치의 제조방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100685837B1 true KR100685837B1 (ko) 2007-02-22

Family

ID=38104367

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050112429A KR100685837B1 (ko) 2005-11-23 2005-11-23 플렉서블 평판표시장치의 제조방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100685837B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100770256B1 (ko) * 2005-11-23 2007-10-25 삼성에스디아이 주식회사 플렉서블 평판표시장치의 제조방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11352505A (ja) 1998-06-12 1999-12-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置
KR20000038529A (ko) * 1998-12-04 2000-07-05 윤종용 액정표시기 패널의 제조방법
KR20050070251A (ko) * 2003-12-30 2005-07-07 삼성전자주식회사 유연한 디스플레이 장치의 제조 방법
KR20050113478A (ko) * 2004-05-29 2005-12-02 엘지.필립스 엘시디 주식회사 플렉서블 디스플레이의 제조방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11352505A (ja) 1998-06-12 1999-12-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置
KR20000038529A (ko) * 1998-12-04 2000-07-05 윤종용 액정표시기 패널의 제조방법
KR20050070251A (ko) * 2003-12-30 2005-07-07 삼성전자주식회사 유연한 디스플레이 장치의 제조 방법
KR20050113478A (ko) * 2004-05-29 2005-12-02 엘지.필립스 엘시디 주식회사 플렉서블 디스플레이의 제조방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100770256B1 (ko) * 2005-11-23 2007-10-25 삼성에스디아이 주식회사 플렉서블 평판표시장치의 제조방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106796947B (zh) 具有微盖层的显示装置及其制造方法
CN109375399B (zh) 显示装置
KR100729046B1 (ko) 유기 발광 표시장치의 정전기 방지 구조 및 그 제조 방법
KR101434452B1 (ko) 표시장치용 어레이 기판 및 그의 제조방법
US20090224257A1 (en) Thin film transistor panel and manufacturing method of the same
KR100805589B1 (ko) 평판 표시 장치의 제조 방법
TWI512582B (zh) 觸控面板與觸控顯示面板
JPWO2012011258A1 (ja) 基板及びその製造方法、表示装置
JP2004101674A (ja) 液晶表示装置
KR100770256B1 (ko) 플렉서블 평판표시장치의 제조방법
JP6168777B2 (ja) 表示パネル及び表示装置ならびに当該表示パネルの製造方法
US9465266B2 (en) Liquid crystal display device
JP2004064048A (ja) コンタクトホール形成方法
KR100685837B1 (ko) 플렉서블 평판표시장치의 제조방법
US20200161143A1 (en) Thin film transistor substrate, liquid crystal display panel having the same and method of manufacturing the same
KR20060000983A (ko) 액정표시장치의 패드 구조 및 그 제조방법
JP2005294629A (ja) 表示装置の製造方法
JP2002287662A (ja) アクティブマトリックス基板およびその製造方法
JP2005123438A (ja) 薄膜トランジスタおよび薄膜トランジスタの製造方法、および薄膜トランジスタアレイ、および表示装置、およびセンサー装置
JP4130728B2 (ja) 外部接続端子及びそれを備えた液晶表示装置及びその製造方法
JP2005026690A (ja) 薄膜トランジスタ表示板及びその製造方法
KR20060028519A (ko) 박막트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법
US8021972B1 (en) Method of manufacturing array substrate
KR100382457B1 (ko) 액정표시소자 패드부의 제조방법
KR100558716B1 (ko) 액정표시패널 및 그 제조 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130205

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140129

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150130

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160129

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180201

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190129

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200203

Year of fee payment: 14