KR100734109B1 - 지그 장치 및 이를 포함하는 증착장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 지그 장치 및 이를 포함하는 증착장치에 관한 것으로서, 증착이 이루어지는 다수의 증착 대상물을 각각 수납하도록 구성되며, 각각의 한 끝에 체결돌기가 구성되는 다수의 컵; 상기 다수의 컵을 각각 고정지지하도록, 상기 다수의 컵 각각의 상기 체결돌기와 체결되도록 체결공이 형성된 하부 지지판; 상기 하부 지지판과 소정간격 이격되어 상기 다수의 컵 각각을 고정하도록 고정공이 형성된 상부 지지판; 및 상기 하부 지지판을 관통지지하며 회전가능하도록 구성되는 축;을 포함하여 이루어져, 진공 증착 공정 시에 증착 대상물의 안정한 장착을 조력하여 균일한 증착이 가능하고, 증착 대상물의 다량증착이 가능하도록 하며, 증착 대상물의 회전시에 발생되는 상호접촉의 문제를 해결하고, 바이어스 전압의 균일한 분배를 통하여 공정의 안정화를 도모할 수 있다.
증착장치, 지그, 공구

Description

지그 장치 및 이를 포함하는 증착장치{Jig apparatus and the deposition system having it}
도 1은 종래의 지그 장치를 포함하는 증착장치를 나타낸 개략도,
도 2는 종래의 지그 장치를 나타낸 분해사시도,
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 지그 장치를 포함하는 증착장치를 나타낸 개략도,
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 지그 장치를 나타낸 분해사시도,
도 5는 도 4의 지그 장치를 나타낸 측면도,
도 6은 도 4의 지그 장치를 나타낸 평면도,
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 지그 장치를 나타낸 평면도,
도 8은 도 7의 분해 사시도.
도 9는 본 발명의 더욱 바람직한 실시예에 따른 지그 장치를 포함하는 증착장치를 나타낸 개략도,
도 10은 본 발명의 더욱 바람직한 실시예에 따른 지그 장치를 나타낸 분해사시도,
도 11은 도 10의 지그 장치를 나타낸 측면도,
도 12는 도 10의 다른 실시예에 따른 지그 장치를 나타낸 분해사시도.
♣ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ♣
2, 3...증착장치, 200, 300...지그 장치,
201, 301...컵, 205, 305...하부 지지판,
207, 307...축, 309...상부 지지판,
S... 증착 대상물.
본 발명은 지그 장치 및 이를 포함하는 증착장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는, 진공 증착 공정 시에 공구류 등과 같은 증착 대상물의 안정한 장착을 조력하여 균일한 증착이 가능하고, 증착 대상물의 다량증착이 가능하도록 하며 바이어스 전압의 균일한 분배를 통하여 공정의 안정화를 도모하도록 하는 지그 장치 및 이를 포함하는 증착장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조공정, LCD 제조공정 및 공구 제조공정 등과 같은 공정에서 요구되는 특수한 목적을 위하여 진공증착이 수행된다.
이때, 증착이 이루어지는 증착 대상물, 즉 기판은 소위 기판 홀더 또는 지그(jig)에 의하여 지지되는데, 이의 형상은 증착 대상물의 형상에 따라 다양하다.
특히, 공구류, 그 중에서도 펀치(punch)류, 드릴, 앤드 밀(end mill), 탭(tap) 리머(reamer) 등의 절삭 공구류나 의료용구와 같은 의료용 기기 등에 증착을 수행할 시에는, 그 기본적인 형상이 원통형으로 형성되므로, 이에 형성되는 증착막 을 균일하게 형성하는데 있어 많은 어려움이 있다.
또한, 이러한 증착 대상물의 증착에 있어서는, 1 회의 증착공정 수행 시에 다량의 증착 대상물을 지그에 장착하여 증착 공정을 수행하므로, 얼마나 많은 증착 대상물을 장착할 수 있느냐가 생산 수율의 문제에 있어서 중요한 관건이다.
이하, 공구류나 의료용 기기와 같은 증착 대상물의 증착에 사용되는 종래의 지그 장치와 이를 포함하는 증착장치를 설명한다.
도 1은 종래의 지그 장치를 포함하는 증착장치를 나타낸 개략도이며, 도 2는 종래의 지그 장치를 나타낸 분해사시도이다.
종래의 지그 장치(200)를 포함하는 증착장치(2)은, 증착 대상물(S)에 증착이 이루어지도록 고정지지하는 지그 장치(200)와, 증착 대상물(S)에 증착이 이루어지도록 하는 증착원(220), 이 증착원(220) 및 지그 장치(200)를 그 내부에 수납하는 챔버(240)와, 챔버(240) 내를 진공상태로 이루도록 구성되는 진공배기계(260)로 이루어진다.
증착장치(2)은 먼저 지그 장치(200)에 증착 대상물(S)이 장착된 뒤, 진공배기계(260)를 통하여 그 내부에 진공상태가 형성된다. 이후, 증착원(220)을 통하여 증착이 이루어지는데 이때, 증착 대상물(S)의 균일한 증착을 위하여 지그 장치(200)가 회전된다. 여기서, 이러한 회전이 이루어지는 증착장치(2)은 방향성 증착이 가능한 물리기상증착장치이다.
종래의 지그 장치(200)는, 증착 챔버 내에서 증착이 이루어지는 다수의 증착 대상물(S)을 각각 수납하는 다수의 컵(201)과 이 다수의 컵(201)을 고정지지하도록 구성되는 하부 지지판(205)으로 이루어지며, 다수의 컵(201)은 하부 지지판(201)에 체결수단(203)으로써 고정지지된다.
하부 지지판(205)은 축(207)에 의하여 지지되며, 축(207)에 의하여 회전이 가능하도록 구성된다. 이 축(207)은 별도의 회전수단(미도시)에 의하여 회전되어 증착공정 시 증착 대상물(S)에 균일 증착이 이루어지도록 한다.
이러한 종래의 지그 장치(200)에서는, 하부 지지판(205)에 의하여 증착 대상물(S)을 수납하는 다수의 컵(201)이 지지되므로, 축(207)에 의한 하부 지지판(205) 회전 시 진동이 발생되었다.
이 축(207)의 회전에 의한 진동으로 인하여 체결수단(203)이 해제되어 제품 불량을 야기하거나, 증착막의 불균일을 초래하여 최종 제품 품질을 하락시키며, 지그 장치(200)에 가해지는 바이어스 전압의 불균일을 초래하여 공정의 불안정과 제품 수율 및 품질을 저하시키는 문제점이 있었다.
또한 이러한 진동으로 인하여, 증착 대상물(S)의 전장이 증가할수록 더욱 심해져 증착 대상물(S)과 증착 대상물(S) 간의 접촉이 발생되거나, 접촉에 의한 꼬임이 발생되어 전체 증착공정이 중단되는 문제점이 발생되었다.
더욱이, D의 지름을 가지는 컵(201) 각각은, 체결수단(203) 자체의 용적때문에 하부 지지판(205)에 2D의 간격을 두고 배치되어, 1 회의 증착 시 하나의 하부 지지판(205)으로서 증착시킬 수 있는 증착 대상물(S)의 갯수에는 어느 정도 한계가 있었다.
따라서, 본 발명은 전술한 종래의 문제점들을 해결하기 위해 발명된 발명으로, 진공 증착 공정 시에 증착 대상물의 안정한 장착을 조력하여 균일한 증착이 가능하고, 증착 대상물의 다량증착이 가능하도록 하며, 증착 대상물의 회전시에 발생되는 상호접촉의 문제를 해결하고, 바이어스 전압의 균일한 분배를 통하여 공정의 안정화를 도모하도록 하는 지그 장치 및 이를 포함하는 증착장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 공구류 등과 같은 증착 대상물의 용이한 장착을 통하여 증착 공정이 신속하도록 하고, 증착 대상물의 증착이 요구되는 부위의 노출면적을 극대화하여 전면적에 가까운 증착이 가능한 지그 장치 및 이를 포함하는 증착장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 지그 장치는, 증착이 이루어지는 다수의 증착 대상물을 각각 수납하도록 구성되며, 각각의 한 끝에 체결돌기가 구성되는 다수의 컵; 상기 다수의 컵을 각각 고정지지하도록, 상기 다수의 컵 각각의 상기 체결돌기와 체결되도록 체결공이 형성된 하부 지지판; 상기 하부 지지판과 소정간격 이격되어 상기 다수의 컵 각각을 고정하도록 고정공이 형성된 상부 지지판; 및 상기 하부 지지판을 관통지지하며 회전가능하도록 구성되는 축;을 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기 컵은 D의 지름을 가지며, 상기 하부 지지판의 상기 체결공 및 상기 상부 지지판의 상기 고정공 간의 간격은 D/2이다.
또한, 상기 상부 지지판 및 상기 하부 지지판을 상호 체결고정하도록 체결부재가 더 포함되는 것이 바람직하다.
이때, 상기 컵의 한 끝에 구성된 상기 체결돌기에는, 상기 컵의 전장방향에 대하여 수직방향으로 소정의 돌출부가 구비되며, 상기 하부 지지판의 상기 체결공은 상기 체결돌기의 상기 돌출부와 부합되도록 홈이 형성될 수 있다.
더욱이, 상기 축은, 상기 상부 지지판까지 관통지지하도록 연장구성되며, 상기 축에는 축방향으로 돌기가 형성되고, 상기 하부 지지판 및 상기 상부 지지판에는 상기 돌기와 부합되도록 요(凹)홈을 가지는 축 결합공이 형성될 수 있으며, 상기 상부 지지판 및 상기 하부 지지판에는, 상기 고정공 및 상기 축 결합공 이외의 영역에 보조공이 형성될 수도 있다.
또한, 상기 상부 지지판 또는 상기 하부 지지판에는, 상기 고정공 이외의 영역에 보조공이 형성될 수 있다.
바람직하게는, 상기 축에는 상기 하부 지지판의 직경에 대응하여 고정 로드가 더 구성되며, 상기 고정 로드에는 상기 축에 의한 상기 하부 지지판의 회전에 대응하여, 상기 다수의 컵에 연차적으로 접촉하여 이의 자전이 이루어지도록 자전편이 형성되며, 더욱 바람직하게는, 상기 다수의 컵 각각의 어느 한 부위에는 상기 고정 로드의 상기 자전편에 감응하도록 거치가 형성된다.
본 발명에 따른 지그 장치를 포함하는 증착장치는, 그 내부에 소정의 개폐가능 공간이 형성된 챔버; 상기 챔버 내에 수납되는 본 발명에 따른 지그 장치; 및 상기 지그 장치의 상기 증착 대상물에 증착물질을 공급하도록 상기 챔버 내부에 장착구성되는 증착원;을 포함하여 이루어진다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 지그 장치 및 이를 포함하는 증착장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 지그 장치를 포함하는 증착장치를 나타낸 개략도이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 지그 장치(300)를 포함하는 증착장치(3)는, 그 내부에 소정의 개폐가능 공간이 형성된 챔버(340); 챔버(340) 내에 수납되는 지그 장치(300); 및 지그 장치(300)의 증착 대상물(S)에 증착물질을 공급하도록 챔버(340) 내부에 장착구성되는 증착원(360);을 포함하여 이루어진다.
증착장치(3)는, 지그 장치(300)에 증착 대상물(S)이 장착된 뒤, 진공배기계(360)를 통하여 그 내부에 진공상태가 형성된다. 이후, 증착원(320)을 통하여 증착이 이루어지는데 이때, 증착 대상물(S)의 균일한 증착을 위하여 지그 장치(300)가 회전된다.
여기서, 증착장치(3)는 방향성 증착이 가능한 물리기상증착장치이며, 통상적인 진공배기계(360)가 챔버(340)의 진공배기를 위하여 구성되고, 증착원(320)에 전력을 공급하기 위한 전력원(미도시) 또한 구비된다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 지그 장치를 나타낸 분해사시도이고, 도 5는 도 4의 지그 장치를 나타낸 측면도이며, 도 6은 도 4의 지그 장치를 나 타낸 평면도이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 지그 장치(300)는, 증착이 이루어지는 다수의 증착 대상물(S)을 각각 수납하도록 구성되며, 각각의 한 끝에 체결돌기(302)가 구성되는 다수의 컵(301); 다수의 컵(301)을 각각 고정지지하도록, 다수의 컵(301) 각각의 체결돌기(302)와 체결되도록 체결공(304)이 형성된 하부 지지판(305); 하부 지지판(305)과 소정간격 이격되어 다수의 컵(301) 각각을 고정하도록 고정공(308)이 형성된 상부 지지판(309); 및 하부 지지판(305)을 관통지지하며 회전가능하도록 구성되는 축(307);을 포함하여 이루어진다.
증착 대상물(S)은 증착이 이루어지는 부위가 노출된 채로 컵(301)에 수납되며, 증착 대상물(S)이 수납되는 컵(301)의 타단에는 소정의 체결돌기(302)가 형성된다.
컵(301)은, 컵(301)의 체결돌기(302)가 하부 지지판(305)의 체결공(304)과 결합되어, 하부 지지판(305)에 고정지지된다. 하부 지지판(305)에는 그 외연에 인접한 부분에 다수의 체결공(304)이 형성되며, 각각의 체결공(304)은 컵(301)의 체결돌기(302)와 결합되어 컵(301)을 고정한다.
체결수단이 미구비된 상태로 컵(301)이 하부 지지판(305)에 지지되므로, 하부 지지판(305)은 더 많은 컵(301)을 지지할 수 있으며, 즉, D의 지름을 가지는 컵(301)에 대하여 D/2의 상호간격을 가지는 체결공(304)이 더 많이 형성되어 이로써 더 많은 컵(301)을 지지할 수 있으며, 이로서 1 회의 증착 공정에 대하여 다량의 증착 대상물(S)의 증착이 가능해진다.
하부 지지판(305)은 축(307)에 의하여 지지되며, 축(307)에 의하여 회전이 가능하도록 구성된다. 이 축(307)은 별도의 회전수단(미도시)에 의하여 회전되어 증착공정 시 증착 대상물(S)에 균일 증착이 이루어지도록 한다. 하부 지지판(305)이 축(307)에 견고히 고정되도록 하기 위하여, 하부 지지판(305)은 축(307)에 관통지지되며 별도의 체결기구가 구비될 수 있다.
상부 지지판(309)은 하부 지지판(305)과 소정간격 이격되어 배치되며, 컵(301)이 관통되는 고정공(308)이 형성된다. 이 고정공(308)은, 하부 지지판(305)의 체결공(304) 하나에 컵(301) 하나가 고정지지되고, 컵(301) 하나가 하나의 고정공(308)을 관통하여 고정되므로, 하부 지지판(305)의 체결공(304)과 동일한 갯수로 형성된다. 이 상부 지지판(309)에 의하여 축(307)의 회전 시 발생되는 진동이 컵(301)에 미치는 영향을 감소시켜줄 수 있다.
바람직하게는, 상부 지지판(309)과 하부 지지판(305)과의 상호 간격을 유지하기 위하여, 이의 상호간격을 확보하여 주도록 체결부재(303)가 더 포함될 수 있다. 이 체결부재(303)는 하부 지지판(305)에 의하여 지지되는 컵(301)의 다른 한 부위를 고정하도록 이에 적합한 높이를 가진다.
이와 같은 지그 장치(300)는, 진공 증착 공정 시에 회전되면서 노출되는 전면적이 증착되는 증착 대상물(S)의 안정한 장착이 가능하도록 하여 균일한 증착이 가능하도록 하고, 종래에 비하여 2 배 이상의 다량증착을 할 수 있으며, 축(307)에 의한 회전 시 발생되는 진동이 컵(301)에 미치는 영향이 감소되므로, 바이어스 전압의 균일한 분배를 통하여 공정의 안정화가 가능하다.
축(307)의 회전 시 발생되는 진동이 컵(301)에 미치는 영향을 더욱 감소시켜주기 위해서는, 축(307)이 상부 지지판(309)까지 관통지지하도록 연장구성되며, 축(307)에는 축 방향으로 돌기가 형성되고 상부 지지판(309) 및 하부 지지판(305)에 이 돌기와 부합되도록 요(凹)홈, 이른바 키(Key)형 홈을 가지는 축 결합공이 형성될 수 있다. 이의 상세한 설명 및 첨부도면은 차후 서술될 본 발명의 더욱 바람직한 실시예에서 설명될 것이다.
도 7은 본 발명의 더욱 바람직한 실시예에 따른 지그 장치를 나타낸 평면도이고, 도 8은 도 7의 분해 사시도이다.
본 발명의 더욱 바람직한 실시예에 따른 지그 장치(300)는, 상부 지지판(309)에 고정공(308) 이외의 영역에 보조공(313)이 형성된다. 이 보조공(313)은 상부 지지판(309)의 중량을 감소시키기 위한 것으로서, 스테인리스와 같은 재질로 구성되는 상부 지지판(309)의 챔버 내에서의 탈가스(out-gassing)를 저감시킬 수 있고, 이의 가열이 필요한 증착 공정의 경우 가열시간을 절감할 수 있으며, 챔버 내의 반응가스의 흐름을 원활하게 할 수 있다. 이 보조공(313)의 형상은 요구되는 공정의 특성 및 증착 공정의 종류에 따라 임의로 설계할 수 있다.
또한, 축(307)의 회전 시 발생되는 진동이 컵(301)에 미치는 영향을 더욱 감소시켜주기 위하여, 축(307)이 상부 지지판(309)까지 관통지지하도록 연장구성되며, 축(307)에는 축 방향으로 돌기(306)가 형성되고 상부 지지판(309) 및 하부 지지판(305)에 이 돌기(306)와 부합되도록 요(凹)홈, 이른바 키(Key)형 홈을 가지는 축 결합공(311)이 형성될 수 있다.
이러한 특정 방향의 결합이 가능하도록 하는 축 결합공(311)과 돌기(306)가 형성된 축(307)의 결합으로 인하여, 지그 장치(300)의 더욱 견고한 조립이 가능하며, 축(307)의 회전 시에 진동에 의하여 발생되는 영향을 상당히 저감시켜 줄 수 있다.
이와 같은 돌기(306)가 형성된 축(307) 및 축 결합공(311)과 같은 요(凹)홈, 이른바 키(Key)형 홈을 가지는 구조는, 컵(301)과 하부 지지판(305)과의 결합에도 적용될 수 있다.
즉, 컵(301)의 한 끝에 구성된 체결돌기(302)에는, 컵(301)의 전장방향에 대하여 수직방향으로 소정의 돌출부를 구비하고, 하부 지지판(305)의 체결공(304)은 체결돌기(302)의 상기 돌출부와 부합되도록 홈이 형성되도록 구성되어, 축(307)의 회전으로 인하여 발생되는 토크에 의하여 컵(301)이 하부 지지판(305)에 의하여 자전되는 것을 방지할 수 있으며, 이로서 증착 대상물(S) 상에 균일한 증착이 가능하다.
도 9는 본 발명의 더욱 바람직한 실시예에 따른 지그 장치를 포함하는 증착장치를 나타낸 개략도이고, 도 10은 본 발명의 더욱 바람직한 실시예에 따른 지그 장치를 나타낸 분해사시도이며, 도 11은 도 10의 지그 장치를 나타낸 측면도이다.
또한, 도 12는 도 10의 다른 실시예에 따른 지그 장치를 나타낸 분해사시도이다.
증착 대상물(S)의 더욱 균일한 증착 및 전면적에 가까운 증착을 위하여, 도 9 내지 도 12를 참조하면, 축(307)에는 상부 지지판(309) 및 하부 지지판(305)의 직경에 대응하여 고정 로드(310)가 더 구성된다.
이 고정 로드(310)는, 축(307)의 회전구동 시 이와 독립적으로 고정된 상태를 유지하며, 축(307)에 대하여 상부 지지판(309) 및 하부 지지판(305)의 반경만큼 방사방향으로 연장되고 다시 축(307)의 연장방향과 동일한 방향으로, 즉 'L"형상으로 구성된다.
또한, 고정 로드(310)에는 축(307)에 의한 상부 지지판(309) 및 하부 지지판(305)의 회전에 대응하여, 상부 지지판(309) 및 하부 지지판(305)의 회전 시 공전되는 컵(301)에 연차적으로 접촉하여 컵(301)의 연차적 자전이 이루어지도록, 궁극적으로는 컵(301)의 자전에 의하여 이에 수납된 증착 대상물(S)이 자전되도록, 자전편(311)이 형성된다.
즉, 축(307)의 구동회전 및 이에 의한 상부 지지판(309)과 하부 지지판(305)의 회전에 대하여 항시 고정된 고정 로드(310)에는, 컵(301)의 어느 일부와 접촉되도록 자전편(311)이 형성되며, 상부 지지판(309) 및 하부 지지판(305)이 회전될 시에 자전편(311)과 접촉되는 컵(301)의 어느 일부는 이에 연차적으로 접촉되고, 이로 인해 컵(301) 각각에 대하여 상부 지지판(309) 및 하부 지지판(305)의 회전방향 순으로 연차적 자전이 이루어진다.
이 자전편(311)은 고정 로드(310)에 일체형으로 형성될 수 있고, 결합부착되는 형태로 또한 구성될 수 있다.
연차적으로 이루어지는 컵(301)의 자전은 축(307)의 회전에 대하여 반대방향 으로 이루어진다. 즉, 도 11을 참조하면, 축(307)이 시계 반대방향으로 회전할 시에는, 컵(301)의 자전은 시계 방향으로 이루어진다.
바람직하게는, 컵(301)의 자전이 더욱 원활하게 이루어지도록 하기 위하여, 컵(301)의 자전편(311)과 대응되는 부위에는 고정 로드(310)의 자전편(311)에 감응하도록 소정의 요철(凹凸)형상이 형성될 수 있으며, 이 요철형상은 자전편(311)과의 접촉 시간 동안 적절한, 즉 증착 대상물(S)의 증착이 미비한 부위가 노출되도록 하는 만큼의 회전변위를 부여하도록, 거치(鋸齒; 301')로서 형성될 수 있다.
이와 같은 지그 장치(300)는, 진공 증착 공정 시에 회전되면서 노출되는 전면적이 증착되는 증착 대상물(S)의 신속하고 용이한 장착이 가능하도록 하여 생산수율을 향상시킬 수 있고, 증착 대상물(S)의 노출면적을 극대화하여 전체 면적에 가까운 증착이 가능하다.
본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주지해야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야에서 당업자는 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 지그 장치 및 이를 포함하는 증착장치에 의하여, 진공 증착 공정 시에 증착 대상물의 안정한 장착을 조력하여 균일한 증착이 가능하며, 증착 대상물의 회전시에 발생되는 상호접촉의 문제를 해결하고, 증착 대상물의 다량증착이 가능하도록 하며 바이어스 전압의 균일한 분배를 통하여 공정의 안정화를 도모할 수 있다.
또한, 공구류 등과 같은 증착 대상물의 용이한 장착을 통하여 증착 공정이 신속하도록 하고, 증착 대상물의 증착이 요구되는 부위의 노출면적을 극대화하여 전면적에 가까운 증착이 가능하다.

Claims (10)

  1. 증착이 이루어지는 다수의 증착 대상물을 각각 수납하도록 구성되며, 각각의 한 끝에 체결돌기가 구성되는 다수의 컵;
    상기 다수의 컵을 각각 고정지지하도록, 상기 다수의 컵 각각의 상기 체결돌기와 체결되도록 체결공이 형성된 하부 지지판;
    상기 하부 지지판과 이격되어 상기 다수의 컵 각각을 고정하도록 고정공이 형성된 상부 지지판; 및
    상기 하부 지지판을 관통지지하며 회전가능하도록 구성되는 축;
    을 포함하며,
    상기 축은, 상기 상부 지지판까지 관통지지하도록 연장구성되며, 상기 축에는 축방향으로 돌기가 형성되고, 상기 하부 지지판 및 상기 상부 지지판에는 상기 돌기와 부합되도록 요(凹)홈을 가지는 축 결합공이 형성되는 것을 특징으로 하는 지그 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 컵은 D의 지름을 가지며, 상기 하부 지지판의 상기 체결공 및 상기 상부 지지판의 상기 고정공 간의 간격은 D/2인 지그 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 상부 지지판 및 상기 하부 지지판의 간격을 유지하면서 상호 체결고정하도록 체결부재가 더 포함되는 지그 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 컵의 한 끝에 구성된 상기 체결돌기는, 상기 컵의 전장방향에 대하여 수직방향으로 형성된 돌출부를 구비하며, 상기 하부 지지판의 상기 체결공은 상기 체결돌기의 상기 돌출부와 부합되도록 홈이 형성되는 지그 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 상부 지지판 또는 상기 하부 지지판에는, 상기 고정공 이외의 영역에 보조공이 형성되는 지그 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 상부 지지판 및 상기 하부 지지판 중 적어도 하나 이상에는, 상기 고정공 및 상기 축 결합공 이외의 영역에 보조공이 형성되는 지그 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 축에는 상기 하부 지지판의 직경에 대응하여 고정 로드가 더 구성되며,
    상기 고정 로드에는 상기 축에 의한 상기 하부 지지판의 회전에 대응하여, 상기 다수의 컵에 연차적으로 접촉하여 이의 자전이 이루어지도록 자전편이 형성되는 것을 특징으로 하는 지그 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 다수의 컵 각각의 어느 한 부위에는 상기 고정 로드의 상기 자전편에 감응하도록 거치가 형성되는 것을 특징으로 하는 지그 장치.
  9. 그 내부에 공간이 형성된 개폐가능한 챔버;
    상기 챔버 내에 수납되는 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서의 지그 장치; 및
    상기 지그 장치의 상기 증착 대상물에 증착물질을 공급하도록 상기 챔버 내부에 장착구성되는 증착원;
    을 포함하여 이루어지는 지그 장치를 포함하는 증착장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 증착원은 물리기상 증착원인 것을 특징으로 하는 증착장치.
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