KR200412089Y1 - 지그 장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 지그 장치에 관한 것으로서, 모서리부에 증착이 이루어지는 인서트재를 증착 대상물로서 고정지지하는 지그 장치에 있어서, 상기 증착 대상물의 모서리부 이외의 영역을 악력으로써 지지하도록 구성되는 다수의 고정수단; 상기 다수의 고정수단이 현수되도록 구비되는 다수 개의 걸이가 그 외연방향으로 구비되는 회전부; 및 상기 회전부를 관통지지하며 이를 회전가능하도록 구비되는 축;을 포함하여 이루어져, 진공 증착 공정 시에 공구류 등과 같은 증착 대상물의 용이한 장착을 통하여 증착 공정이 신속하도록 하고, 증착 대상물의 증착이 요구되는 부위의 노출면적을 극대화하여 전면적에 가까운 증착이 가능하다.

증착 시스템, 지그, 공구

Description

지그 장치{Jig apparatus}

도 1은 종래의 지그 장치를 포함하는 증착 시스템을 나타낸 개략도,

도 2는 종래의 지그 장치를 나타낸 분해사시도,

도 3은 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 지그 장치를 나타낸 사시도,

도 4a 및 도 4b는 도 3의 고정수단을 나타낸 도면,

도 5는 본 고안의 더욱 바람직한 실시예에 따른 지그 장치를 나타낸 사시도,

도 6은 본 고안의 다른 실시예에 따른 지그 장치를 나타낸 사시도,

도 7은 도 6의 고정수단을 나타낸 도면.

♣ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ♣

2...증착 시스템, 200, 400, 500...지그 장치,

201...컵, 205...하부 지지판,

207, 407, 507...축, 401, 501...회전부,

403, 503...걸이, 405...자전수단,

405a, 405b, 505...고정수단, 411...자전편,

S... 증착 대상물.

본 고안은 지그 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는, 진공 증착 공정 시에 공구류 등과 같은 증착 대상물의 용이한 장착을 통하여 증착 공정이 신속하도록 하고, 증착 대상물의 노출면적을 극대화하여 전면적에 가까운 증착이 가능하도록 하는 지그 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조공정, LCD 제조공정 및 공구 제조공정 등과 같은 공정에서 요구되는 특수한 목적을 위하여 진공증착이 수행된다.

이때, 증착이 이루어지는 증착 대상물, 즉 기판은 소위 기판 홀더 또는 지그(jig)에 의하여 지지되는데, 이의 형상은 증착 대상물의 형상에 따라 다양하다.

특히, 공구류, 그 중에서도 펀치(punch)류, 드릴, 앤드 밀(end mill), 탭(tap) 리머(reamer) 등의 절삭 공구류나 의료용구와 같은 의료용 기기 등에 증착을 수행할 시에는, 그 기본적인 형상이 원통형으로 형성되므로, 이에 형성되는 증착막을 균일하게 형성하는데 있어 많은 어려움이 있고, 인서트(insert)와 같이 그 모서리 즉, 에지(edge)부에 주로 증착이 요구되는 증착 대상물에 있어서는 증착 공정 시 이를 고정하는 지그 장치가 요구된다.

이하, 공구류나 의료용 기기와 같은 증착 대상물의 증착에 사용되는 종래의 지그 장치를 설명한다.

도 1은 종래의 지그 장치를 포함하는 증착 시스템을 나타낸 개략도이며, 도 2는 종래의 지그 장치를 나타낸 분해사시도이다.

종래의 지그 장치(200)를 포함하는 증착 시스템(2)은, 증착 대상물(S)에 증 착이 이루어지도록 고정지지하는 지그 장치(200)와, 증착 대상물(S)에 증착이 이루어지도록 하는 증착원(220), 이 증착원(220) 및 지그 장치(200)를 그 내부에 수납하는 챔버(240)와, 챔버(240) 내를 진공상태로 이루도록 구성되는 진공배기계(260)로 이루어진다.

증착 시스템(2)은 먼저 지그 장치(200)에 증착 대상물(S)이 장착된 뒤, 진공배기계(260)를 통하여 그 내부에 진공상태가 형성된다. 이후, 증착원(220)을 통하여 증착이 이루어지는데 이때, 증착 대상물(S)의 균일한 증착을 위하여 지그 장치(200)가 회전된다. 여기서, 이러한 회전이 이루어지는 증착 시스템(2)은 방향성 증착이 가능한 물리증착 시스템이다.

종래의 지그 장치(200)는, 증착 챔버 내에서 증착이 이루어지는 다수의 증착 대상물(S)을 각각 수납하는 다수의 컵(201)과 이 다수의 컵(201)을 고정지지하도록 구성되는 하부 지지판(205)으로 이루어지며, 다수의 컵(201)은 하부 지지판(201)에 체결수단(203)으로써 고정지지된다.

하부 지지판(205)은 축(207)에 의하여 지지되며, 축(207)에 의하여 회전이 가능하도록 구성된다. 이 축(207)은 별도의 회전수단(미도시)에 의하여 회전되어 증착공정 시 증착 대상물(S)에 균일 증착이 이루어지도록 한다.

그러나, 이러한 종래의 지그 장치(200)에서는, 증착 대상물(S)이 컵(201)에 수납되어 증착 공정이 수행되므로, 각각의 증착 대상물(S)을 컵(201)에 수납하고, 이 컵(201) 각각을 하부 지지판(205)에 체결고정함으로써 증착 공정의 예비 시간이 다소 소모된다는 불편함이 있었다.

또한, 증착 대상물(S)이 컵(201) 내부에 수납되므로, 전면적의 증착이 요구되는 증착 대상물(S)에 있어서는 그 적용에 한계가 따르며, 공구류 중 인서트(insert)재와 같은 에지(edge)부에 주로 증착이 이루어지는 증착 대상물(S)에 있어서는 상기와 같은 지그 장치(200)의 적용이 불가하고, 이를 위한 전용 지그 장치가 요구되고 있는 실정이다.

따라서, 본 고안은 전술한 종래의 문제점들을 해결하기 위해 고안된 고안으로, 진공 증착 공정 시에 공구류 등과 같은 증착 대상물의 용이한 장착을 통하여 증착 공정이 신속하도록 하고, 증착 대상물의 증착이 요구되는 부위의 노출면적을 극대화하여 전면적에 가까운 증착이 가능하도록 하는 지그 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 고안에 따른 지그 장치는, 증착이 이루어지는 다수의 증착 대상물 각각의 한 끝을 고정하도록 구성되는 다수의 고정수단; 상기 다수의 고정수단이 현수되도록 구비되는 다수 개의 걸이를 그 외연에 구비하는 회전부; 및 상기 회전부를 관통지지하며 이를 회전가능하도록 구비되는 축;을 포함하여 이루어진다.

여기서, 상기 고정수단은 하나의 금속선이 2 회 이상 중첩되어 형성되며, 상기 2 회 이상 중첩되는 하나의 금속선은 삼각형상으로 중첩될 수 있다.

바람직하게는, 상기 축에는 상기 회전부의 직경에 대응하여 고정 로드가 더 구성되며, 상기 고정 로드에는 상기 축에 의한 상기 회전부의 회전에 대응하여, 상기 회전부에 연차적으로 접촉하여 상기 다수의 고정수단의 연차적 자전이 이루어지도록 자전편이 형성되고, 더 바람직하게는, 상기 회전부는 상부 회전판, 하부 회전판 및 다수의 자전수단으로 이루어지며, 상기 자전수단은 상기 자전편과 접촉되도록 구성되고 상기 상부 회전판 및 상기 하부 회전판의 사이에 상기 다수의 고정수단과 대응되도록 다수 개가 구비되며, 이의 자전에 의하여 상기 고정수단 또한 자전되도록 연동구성된다.

본 고안에 따른 지그 장치는, 모서리부에 증착이 이루어지는 인서트재를 증착 대상물로서 고정지지하는 지그 장치에 있어서, 상기 증착 대상물의 모서리부 이외의 영역을 악력으로써 지지하도록 구성되는 다수의 고정수단; 상기 다수의 고정수단이 현수되도록 구비되는 다수 개의 걸이가 그 외연방향으로 구비되는 회전부; 및 상기 회전부를 관통지지하며 이를 회전가능하도록 구비되는 축;을 포함하여 이루어진다.

여기서, 상기 고정수단은, 하나의 금속선이 일방향이 개구된 형상으로 형성되며, 상기 금속선의 개구된 일방향으로 악력이 작용되도록 원형으로 구성된다.

이하, 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 지그 장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 3은 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 지그 장치를 나타낸 사시도이고, 도 4a 및 도 4b는 도 3의 걸이를 나타낸 도면이다.

본 고안의 바람직한 실시예에 따른 지그 장치(400)는, 증착이 이루어지는 다수의 증착 대상물(S) 각각의 한 끝을 고정하도록 구성되는 다수의 고정수단(405a, 405b); 다수의 고정수단(405a, 405b)이 현수되도록 구비되는 다수 개의 걸이(403)를 그 외연의 연직방향에 구비하는 회전부(401); 및 회전부(401)를 관통지지하며 이를 회전가능하도록 구비되는 축(407);을 포함하여 이루어진다.

증착 대상물(S)은 증착이 이루어지는 부위가 노출되도록 그 한 끝이 고정수단(405a, 405b)에 고정된다. 이 고정수단(405a, 405b)은, 도 4a 및 도 4b와 같이, 하나의 금속선을 2 회 이상 중첩한 형태로 구성된다.

이 고정수단(405a, 405b)은, 증착이 이루어지는 증착 대상물(S)에 따라, 그리고 요구되는 공정 특성에 따라 원형 또는 삼각형으로 형성될 수도 있으며, 이외의 형상 또한 가능하다.

예를 들어 도 4a 및 도 4b의 고정수단(405a, 405b)을 대비하면, 고온의 증착 공정에서는 열팽창에 의하여 고정수단(405a, 405b)의 간격이 커지게 되어 증착 대상물(S)이 이에서 누락될 수 있으므로, 삼각형(도 4b)의 고정수단(405b)이 바람직하다.

증착 대상물(S)이 고정되는 고정수단(405a, 405b)은, 회전부(401)에 구비된 걸이(403)에 현수된다. 즉, 회전부(401)의 걸이(403)는 회전부(401)의 외연에 연직방향으로 다수 개가 구비되며, 이 걸이(403) 각각에는 증착 대상물(S)이 고정된 고정수단(405a, 405b)이 현수되어, 걸이(403)는 고정수단(405a, 405b) 및 증착 대상 물(S)을 현수하게 된다.

고정수단(405a, 405b)에 의하여 고정되고 걸이(403)에 의하여 현수된 증착 대상물(S)은 공구류, 그 중에서도 펀치(punch)류, 드릴, 앤드 밀(end mill), 탭(tap) 리머(reamer) 등의 절삭 공구류나 의료용구와 같은 의료용 기기 등과 같이 길쭉한 형태의 전장을 가지며 이의 전면적 증착이 요구되는 증착 대상물(S)이다.

그 외연에 걸이(403)를 가지는 회전부(401)는 축(407)에 의하여 지지되며, 축(407)에 의하여 회전이 가능하도록 구성된다. 이 축(407)은 별도의 회전수단(미도시)에 의하여 회전되어 증착공정 시 증착 대상물(S)에 균일 증착이 이루어지도록 한다. 회전부(401)가 축(407)에 견고히 고정되도록 하기 위하여, 회전부(401)는 축(407)에 관통지지되며 별도의 체결기구가 구비될 수 있다.

도 5는 본 고안의 더욱 바람직한 실시예에 따른 지그 장치를 나타낸 사시도이다.

회전부(401)는 상부 회전판(401a) 및 하부 회전판(401b)으로 이루어지고 상부 회전판(401a)은 하부 회전판(401b)과 대응되도록 구성되며, 이 또한 축(407)에 의하여 회전이 가능하도록 별도의 체결기구가 구비되어 구성될 수 있고, 이 경우 축(407)에 의하여 상부 회전판(401a) 및 하부 회전판(401b)이 동시에 동축회전하는 것이 바람직하다.

증착 대상물(S)의 더욱 균일한 증착을 위하여, 도 5를 참조하면, 축(407)에는 상부 회전판(401a) 및 하부 회전판(401b)의 직경에 대응하여 고정 로드(410)가 더 구성된다.

이 고정 로드(410)는, 축(407)의 회전구동 시 이와 독립적으로 고정된 상태를 유지하며, 축(407)에 대하여 상부 회전판(401a) 및 하부 회전판(401b)의 반경만큼 방사방향으로 연장되고 다시 축(407)의 연장방향과 동일한 방향으로, 즉 'L"형상으로 구성된다.

또한, 고정 로드(410)에는 축(407)에 의한 상부 회전판(401a) 및 하부 회전판(401b)의 회전에 대응하여, 이에 연차적으로 접촉하여 걸이(403)의 연차적 자전이 이루어지도록, 궁극적으로는 걸이(403)의 자전에 의하여 이에 현수된 고정수단(405a, 405b)이 자전되고 이에 고정된 증착 대상물(S)이 자전되도록, 자전편(411)이 형성된다.

즉, 축(407)의 구동회전 및 이에 의한 상부 회전판(401a)과 하부 회전판(401b)의 회전에 대하여 항시 고정된 고정 로드(410)에는, 상부 회전판(401a) 및 하부 회전판(401b)의 어느 일부와 접촉되도록 자전편(411)이 형성되며, 상부 회전판(401a) 및 하부 회전판(401b)이 회전될 시에 자전편(411)과 접촉되는 상부 회전판(401a) 및 하부 회전판(401b)의 어느 일부는 이에 연차적으로 접촉되고, 이로 인해 걸이(403) 각각에 대하여 상부 회전판(401a) 및 하부 회전판(401b)의 회전방향 순으로 연차적 자전이 이루어진다.

이 자전편(411)은 고정 로드(410)에 일체형으로 형성될 수 있고, 결합부착되는 형태로 또한 구성될 수 있다.

연차적으로 이루어지는 걸이(403)의 자전은 축(407)의 회전에 대하여 반대방향으로 이루어진다. 즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 축(407)이 시계 반대방향으로 회전할 시에, 걸이(403)의 자전은 시계 방향으로 이루어진다.

걸이(403)의 자전이 더욱 원활하게 이루어지도록 하기 위하여, 상부 회전판(401a) 및 하부 회전판(401b) 사이에는 이와 독립적으로 자회전이 가능하도록 자전수단(405)이 더 구비될 수 있다.

이 자전수단(405)은 고정 로드(410)의 자전편(411)과 접촉되도록 구성되고, 하나의 걸이(403)에 대하여 하나의 자전수단(405)을 이루며, 자전이 이루어질 시에 증착 대상물(S)을 고정하는 고정수단(405a, 405b)이 현수된 걸이(403) 또한 동시에 자전될 수 있도록 연동구성된다.

더욱 바람직하게는, 이 자전수단(405)에는 자전편(411)과의 접촉 시간 동안 적절한, 즉 증착 대상물(S)의 증착이 미비한 부위가 노출되도록 하는 만큼의 회전변위를 부여하도록, 거치(鋸齒)가 형성될 수 있다.

이와 같은 지그 장치(400)는, 진공 증착 공정 시에 회전되면서 노출되는 전면적이 증착되는 증착 대상물(S)의 신속하고 용이한 장착이 가능하도록 하여 생산수율을 향상시킬 수 있고, 증착 대상물(S)의 노출면적을 극대화하여 전체 면적에 가까운 증착이 가능하다.

이하, 본 고안의 다른 실시예에 따른 지그 장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 6은 본 고안의 다른 실시예에 따른 지그 장치를 나타낸 사시도이고, 도 7은 도 6의 고정수단을 나타낸 도면이다.

본 고안의 다른 실시예에 따른 지그 장치(500)는, 모서리부에 증착이 이루어지는 인서트재를 증착 대상물(S)로서 고정지지하는 지그 장치에 있어서, 증착 대상물(S)의 모서리부 이외의 영역을 악력으로써 지지하도록 구성되는 다수의 고정수단(505); 다수의 고정수단(505)이 현수되도록 구비되는 다수 개의 걸이(503)가 그 외연방향으로 구비되는 회전판(501); 및 회전판(501)을 관통지지하며 이를 회전가능하도록 구비되는 축(507);을 포함하여 이루어진다.

증착 대상물(S)은 증착이 이루어지는 부위가 노출되도록, 더 자세히는, 인서트재와 같이 모서리부 즉, 에지(edge)부에 주로 증착이 요구되는 증착 대상물(S)은 모서리부 이외의 영역이 고정수단(505)에 의하여 고정된다. 이 고정수단(505)은, 증착이 이루어지는 증착 대상물(S)에 따라, 그리고 요구되는 공정 특성에 따라 원형 또는 삼각형으로 형성될 수도 있으며, 이외의 형상 또한 가능하다.

고정수단(505)은, 도 7을 참조하면, 하나의 금속선을 일방향이 개구된 원형과 같이 형성하여 개구된 일방향에 증착 대상물(S)을 장입하도록 한다. 바람직하게는, 이 고정수단(505)의 개구된 일방향에 악력이 더욱 강하게 작용되도록 원형의 형상으로 이루어져 이에 장입되는 증착 대상물(S)을 견고히 고정하도록 한다.

증착 대상물(S)이 고정되는 고정수단(505)은, 회전판(501)에 구비된 걸이(503)에 현수된다. 즉, 회전판(501)의 걸이(503)는 회전판(501)의 외연에 연직방향으로 다수 개가 구비되며, 이 걸이(503) 각각에는 증착 대상물(S)이 고정된 고정수단(505)이 현수되어, 걸이(503)는 고정수단(505) 및 증착 대상물(S)을 현수하게 된다.

고정수단(505)에 의하여 고정되고 걸이(503)에 의하여 현수된 증착 대상물(S)은 인서트(insert)재와 같이 그 모서리부 즉, 에지부에 주로 증착이 요구되는 육면체, 삼각오면체 혹은 이외의 형상을 가지는 증착 대상물(S)이다.

그 외연에 걸이(503)를 가지는 회전판(501)은 축(507)에 의하여 지지되며, 축(507)에 의하여 회전이 가능하도록 구성된다. 이 축(507)은 별도의 회전수단(미도시)에 의하여 회전되어 증착공정 시 증착 대상물(S)에 균일 증착이 이루어지도록 한다. 회전판(501)이 축(507)에 견고히 고정되도록 하기 위하여, 회전판(501)은 축(507)에 관통지지되며 별도의 체결기구가 구비될 수 있다.

이와 같은 지그 장치(500)는, 진공 증착 공정 시에 회전되면서 노출되는 전면적이 증착되는 증착 대상물(S)의 신속하고 용이한 장착이 가능하도록 하여 생산수율을 향상시킬 수 있고, 증착 대상물(S)의 노출면적을 극대화하여 전체 면적에 가까운 증착이 가능하다.

본 고안의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주지해야 한다. 또한, 본 고안의 기술분야에서 당업자는 본 고안의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 의한 지그 장치에 의하여, 진공 증착 공정 시에 공구류 등과 같은 증착 대상물의 용이한 장착을 통하여 증착 공정이 신속하도록 하고, 증착 대상물의 증착이 요구되는 부위의 노출면적을 극대화하여 전 면적에 가까운 증착이 가능하다.

Claims (2)

1. 모서리부에 증착이 이루어지는 인서트재를 증착 대상물로서 고정지지하는 지그 장치에 있어서,

   상기 증착 대상물의 모서리부 이외의 영역을 악력으로써 지지하도록 구성되는 다수의 고정수단;

   상기 다수의 고정수단이 현수되도록 구비되는 다수 개의 걸이가 그 외연방향으로 구비되는 회전부; 및

   상기 회전부를 관통지지하며 이를 회전가능하도록 구비되는 축;

   을 포함하여 이루어지는 지그 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 고정수단은, 하나의 금속선이 일방향이 개구된 형상으로 형성되며, 상기 금속선의 개구된 일방향으로 악력이 작용되도록 원형으로 구성되는 지그 장치.

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