JP6106266B2 - 球形部品にコーティングを施すための方法およびテーブルアセンブリ - Google Patents
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Description
110…真空チャンバ
114…チャンバ側壁
118…スパッタリングターゲット
122…マグネトロン
126…磁石
134…磁力線
150…揺動部材
154…駆動部材
158…スティンガ
162…長手方向中央軸線
170…歯車
174…太陽歯車
180…ハウジング
184…穴
190…支持部材
194…内側部分
198…支持アーム
200…第1移動部材
204…側部
208…外縁部
212…ヒンジ部材
216…第1面
220,222…格納バウンダリ
230,232…縁部
234…底部
240…スピンドル
244…ピース
248…支持ピン
252…穴
256…ブッシュ
260…プラットホーム
264…支持ブラケット
268…回転エレメント
272…回転軸線
280…第2面
284…カムエレメント
288…ファスナ
292…カム面
294…棚部
296…球形部品
300…第2移動部材
316…第1面
320…格納バウンダリ
330…スタッド
P…周囲長
D…直径
Claims (14)
- 所定の表面積を有する球形部品をコーティングプロセスによってコーティングする方法であって、
移動部材の第1面に設けられた格納バウンダリ内に前記球形部品を位置決めする工程と、
前記移動部材をチャンバ内に位置決めする工程と、
前記チャンバ内の圧力を1気圧未満まで減圧する工程と、
長手方向軸線を中心として前記移動部材を旋回させる工程と、
前記移動部材の第2面に連結される、カムエレメントおよび回転エレメントのうちの一方と、揺動部材に連結される、前記カムエレメントおよび前記回転エレメントのうちの他方と、を使用して、前記移動部材を前記長手方向軸線の方向に揺動させる工程と、
前記コーティングプロセスを開始する工程と
を備え、
前記カムエレメントは、前記回転エレメントに接触し、
前記揺動および旋回によって、前記球形部品の各々の前記表面積全体が前記コーティングプロセスに曝されるように、前記球形部品が前記格納バウンダリ内で移動される
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
i)前記格納バウンダリが、周囲長Pを形成し、
前記球形部品を前記格納バウンダリ内に位置決めする工程が、直径Dを有するN個の球形部品を、前記格納バウンダリ内に、N×DがP以下となるように位置決めする工程を備えることと、
ii)前記移動部材が所定の表面を形成し、
前記格納バウンダリが、前記表面と直交する高さHを有する縁部を形成し、
前記球形部品を前記格納バウンダリ内に位置決めする工程が、直径Dを有するN個の球形部品を前記格納バウンダリ内に位置決めする工程を備え、
前記直径Dが、4H以上であることと
のうちの一方を満たす
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
i)前記コーティングプロセスが、蒸着プロセスであることと、
ii)前記コーティングプロセスが、反応性スパッタリングプロセスであることと、
iii)前記コーティングプロセスが、閉磁場アンバランスドマグネトロンスパッタリングプロセスであることと、
iv)前記コーティングプロセスには、物理蒸着プロセスおよび化学蒸着プロセスが含まれることと
のうちのいずれかを満たす
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記旋回および揺動中に、前記球形部品は、前記移動部材と電気的に接触した状態に維持される
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記移動部材は外縁部を備え、
前記球形部品を前記格納バウンダリ内に位置決めする工程は、前記球形部品を、2つ以上の移動部材に設けられた複数の前記格納バウンダリ内に位置決めする工程を備え、
前記長手方向軸線を中心として前記移動部材を旋回させる工程は、前記長手方向軸線を中心として前記2つ以上の移動部材を旋回させる工程を備え、
前記移動部材を前記長手方向軸線の方向に揺動させる工程は、前記移動部材の各々の前記外縁部の半径方向の最も外側の箇所が、前記長手方向軸線に対して同時に長手方向の異なる位置にあるように、前記2つ以上の移動部材を揺動させる工程を備える
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記移動部材は、連結面を形成し、
i)前記カムエレメントが、前記連結面に対してゼロではない角度で角度付けられたカム面を提供することと、
ii)前記カムエレメントが、前記連結面に対してゼロではない角度で角度付けられたカム面と、前記連結面と平行な表面を形成する棚部と、を提供することと
のうちの一方を満たす
方法。 - 球形部品を減圧下でコーティングするのに使用するためのテーブルアセンブリであって、
所定の表面を形成し、長手方向軸線を中心として旋回するように作動できる移動部材であって、前記表面に格納バウンダリを有する移動部材と、
前記移動部材の旋回時に、前記移動部材に揺動運動を加えるように構成された揺動部材と、
カムエレメントおよび回転エレメントと
を備え、
前記表面は、第1面であり、
前記移動部材は、さらに、第2面を形成し、
前記カムエレメントおよび前記回転エレメントのうちの一方は、前記第2面に連結され、前記カムエレメントおよび前記回転エレメントのうちの他方は、前記揺動部材に連結される
テーブルアセンブリ。 - 請求項7に記載のテーブルアセンブリであって、
更に、前記長手方向軸線を中心として回転する支持部材を備え、
前記移動部材は、前記支持部材に連結され、
前記移動部材は、前記支持部材に、枢動するようにヒンジ連結される
テーブルアセンブリ。 - 請求項8に記載のテーブルアセンブリであって、
更に、前記支持部材の一部に近接して配置される駆動部材であって、前記長手方向軸線を中心として旋回するように構成された駆動部材を備え、
前記駆動部材は、前記長手方向軸線を中心として前記支持部材を回転させる
テーブルアセンブリ。 - 請求項7ないし請求項9のいずれか一項に記載のテーブルアセンブリであって、
更に、前記回転エレメントは、前記カムエレメントに作動可能に接触して、前記揺動部材の回転時に、前記移動部材に揺動運動を加え、
i)前記カムエレメントが、前記回転エレメントに対して、前記第2面に対してゼロではない角度で角度付けられたカム面を提供することと、
ii)前記カムエレメントが、前記回転エレメントに対して、前記第2面に対してゼロではない角度で角度付けられたカム面と、前記第2面と平行な表面を形成する棚部と、を提供することと
のうちの一方を満たす
テーブルアセンブリ。 - 請求項7ないし請求項10のいずれか一項に記載のテーブルアセンブリであって、
前記格納バウンダリは、前記表面の部分として一体的に形成されており、
前記格納バウンダリは、前記移動部材にポケットを形成する
テーブルアセンブリ。 - 請求項7ないし請求項11のいずれか一項に記載のテーブルアセンブリであって、
i)前記格納バウンダリが円を形成することと、
ii)前記格納バウンダリが、実質的に腎曲線形状であることと、
iii)前記格納バウンダリが、前記表面に固定的に取り付けられた表面構成であることと
のうちのいずれかを満たす
テーブルアセンブリ。 - 請求項7ないし請求項12のいずれか一項に記載のテーブルアセンブリであって、
前記移動部材は、複数の移動部材を備え、
前記複数の移動部材の各々は、それぞれ、第1面および反対側の第2面を有し、
前記複数の移動部材の各々は、前記第1面に形成された格納バウンダリを有し、
カムエレメントが、前記第2面および前記揺動部材のうちの一方に連結される
テーブルアセンブリ。 - 請求項7ないし請求項13のいずれか一項に記載のテーブルアセンブリであって、
前記移動部材は、第1移動部材であり、
前記テーブルアセンブリは、更に、前記第1移動部材に連結されるとともに前記長手方向軸線に沿って前記第1移動部材から間隔が隔てられた第2移動部材を備え、
前記第2移動部材は、前記第1移動部材から、約5.08cm(2インチ)以上かつ約15.24cm(6インチ)以下だけ離間される
テーブルアセンブリ。
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