KR100726882B1

KR100726882B1 - 블레이드형 프로브

Info

Publication number: KR100726882B1
Application number: KR1020060110562A
Authority: KR
Inventors: 이광원
Original assignee: 주식회사 코디에스
Priority date: 2006-11-09
Filing date: 2006-11-09
Publication date: 2007-06-14

Abstract

본 발명은 반도체 또는 디스플레이 패널을 검사하는 블레이드형 프로브에 관한 것으로서, 본 발명에 의한 블레이드형(Blade Type) 프로브는 판상의 몸체; 및 상기 몸체의 단부에 형성된 팁부;를 포함하여 이루어지며, 특히, 오버드라이브(OD)의 접촉간섭을 방지하기 위하여 상기 팁부가 형성된 부위의 상부에는 홈이 형성된다.

본 발명에 따르면, 팁부 두께를 달리함으로써 접촉시 오버드라이브(OD)값을 조절할 수 있고, 몸체에 홈을 형성함으로써 오버드라이브의 접촉간섭을 방지할 수 있는 효과도 있다. 또한 몸체에 연장부를 구비함으로써 팁부의 파손을 방지할 수 있는 효과도 있다.

반도체. 평판 디스플레이 패널. 프로브. 블레이드. 팁부. 검사.

Description

블레이드형 프로브{Blade type prove}

도 1은 종래 프로브 유닛의 구성을 나타낸 것이다.

도 2는 도 1에 도시된 블레이드형 프로브를 나타낸 것이다.

도 3은 본 발명에 의한 블레이드형 프로브를 나타낸 것이다.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**

1: 블레이드형 프로브 10: 몸체

11: 홈 12: 연장부

20, 30: 팁부

본 발명은 반도체 또는 디스플레이 패널을 검사하는 블레이드형 프로브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 접촉시 오버드라이브(OD)값을 조절할 수 있고, 팁부의 파손을 방지할 수 있는 블레이드형 프로브에 관한 것이다.

LCD(Liquid Crystal Display) 생산공정을 예로 들면, 크게 LCD 패널을 제작하는 셀(Cell)공정과, 드라이버(Driver), 백라이트(Back Light), 도광판, 편광판을 셀공정에서 생산된 LCD 패널과 조립하여 완제품을 만드는 모듈(Module)조립공정으로 대별된다. 이때,상기 셀공정을 거쳐 생산된 LCD 패널은 제조 공정상 발생할 수 있는 결함(예를 들어 점결함, 선결함, 얼룩결함 등)의 유무를 검사하는 출화검사과정을 거치게 되는데 이때 사용되는 것이 LCD 검사용 프로브 유닛이다.

이러한 종래의 LCD 검사용 프로브 유닛은 도 1에 도시된 바와 같이, LCD패널을 테스트 하기 위한 소정의 신호를 발생시키는 신호발생기로부터 각각 LCD 패널의 X, Y측으로 신호를 분리 전달하는 Source/Gate PCB(100)와, 상기 Source/Gate PCB(100)와 FPC(200)를 전기적으로 연결시키는 AIC(110)와, 프로브블록(400) 및 TCP블록(300)의 상하 유동에 유동적으로 대처하며 Source/Gate PCB(100)가 발생시킨 소정의 신호를 TCP블록(300)으로 전달하는 FPC(200)와, 상기 소정의 전기적 신호를 프로브들의 입력단에 전달하는 TCP블록(300)과, LCD 패널(600)의 전극(610)과 접촉하여 테스트를 위한 전기적신호를 인가하는 프로브의 집합체인 프로브블록(400)과, 상기 프로브블록(400) 과 상기 TCP블록(300)을 결합하고 상기 프로브블록(400)의 프로브가 적당한 물리적 압력으로 LCD 패널의 전극과 접촉하도록 상기 프로브블록(400) 및 상기 TCP블록(300)을 상하로 이동 및 고정시키는 조절장치를 포함하여 구성된다.

상기 Source/Gate PCB(100)의 하단에는 상기 FPC(200)의 입력단을 고정연결시키는 가이드커버(120)를 더 포함하며, 상기 TCP블록(300)은 테스트 신호를 프로 브 입력단에 전달하기 위하여 TAB IC(Tape Automated Bonding Integrated Circuit)(310)를 사용한다.

또한 도 2를 참조하여, 종래 블레이드형 프로브(410)를 설명한다.

도시된 바와 같이, 종래의 블레이드형 프로브(410)는 판상의 몸체(411)와, 상기 몸체(411)의 단부에 형성된 팁부(420,430)로 구성된다.

또한 상기 팁부(420,430)는 산화막 등을 뚫기 위하여 가압작용시 오버드라이브(OD)를 가해야 하는데, 위와 같이 구성된 종래의 프로브(410)는 형성부위(421,431)의 특성상 오버드라이브를 가하기가 용이하지 않다는 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 접촉시 오버드라이브(OD)값을 조절할 수 있고, 팁부의 파손을 방지할 수 있는 블레이드형 프로브를 제공함에 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 반도체 또는 디스플레이 패널을 검사하는 블레이드형(Blade Type) 프로브는 판상의 몸체; 및 상기 몸체의 단부에 형성된 팁부;를 포함하여 이루어지며, 특히, 오버드라이브(OD)의 접촉간섭을 방지하기 위하여 상기 팁부가 형성된 부위의 상부에는 홈이 형성된다.

또한 상기 홈의 상부 측부에는 연장부가 더 형성되는 것이 바람직하다.

또한 상기 팁부는 상기 몸체와 결합된 부위보다 상기 연장부에 접하는 부위가 더 두껍게 형성되는 것이 바람직하다.

또한 상기 팁부는 입력단과 출력단의 기능을 하도록 상기 몸체의 양측 단부에 각각 형성되는 것이 바람직하다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 구체적으로 설명한다.

도 3을 참조하면, 본 발명에 의한 블레이드형 프로브(1)는 판상의 몸체(10)의 양측 단부 각각에 팁부(20,30)가 형성되어 있다. 상기 2개의 팁부(20,30)는 각각 입력단과 출력단이다.

특히, 상기 팁부(20,30)가 형성된 부위의 상부에는 홈(11)이 형성되어 있음을 알 수 있다. 상기 홈(11)은 팁부(20,30)의 가압작용시 오버드라이브의 접촉간섭을 방지하기 위한 것이다.

또한 상기 홈(11)이 형성된 측부에는 연장부(12)가 돌출형성되어 있다. 이는 상기 팁부(20,30)의 오버드라이브에 의한 팁부(20,30)의 휨이나 파손 등을 방지하기 위한 것이다.

또한 상기 팁부(20,30)는 도시된 바와 같이, 몸체(10)에서 가까운 부분의 두께(t1)보다 먼 부분의 두께(t2)가 더 두껍도록 단차지게 형성되어 있다(t1 〉t2). 이와 같이 팁부(20,30)의 두께를 달리함으로써, 오버드라이브값을 조절할 수 있는 것이다.

이하, 본 발명에 의한 프로브(1)의 작용을 설명한다.

도 3을 참조하면, 검사시 피검사체에 상기 팁부(20,30)를 접촉하여 필요에 따라 오버드라이브를 가한다. 이 때, 상기 몸체(10)에 홈(11)이 형성되어 있기 때문에 오버드라이브의 접촉간섭이 방지된다. 한편, 상기 몸체(10)의 측부에는 연장부(12)가 돌출형성되어 있기 때문에 오버드라이브시 팁부(20,30)의 휨이나 부러짐 등은 방지된다(점선참조).

본 발명에 따르면, 팁부 두께를 달리함으로써 접촉시 오버드라이브(OD)값을 조절할 수 있는 효과가 있다.

또한 몸체에 홈을형성함으로써 오버드라이브의 접촉간섭을 방지할 수 있는 효과도 있다.

또한 몸체에 연장부를 구비함으로써 팁부의 파손을 방지할 수 있는 효과도 있다.

Claims

반도체 또는 디스플레이 패널을 검사하는 블레이드형(Blade Type) 프로브에 있어서,

판상의 몸체; 및

상기 몸체의 단부에 형성된 팁부;를 포함하여 이루어지며,

오버드라이브(OD)의 접촉간섭을 방지하기 위하여 상기 팁부가 형성된 부위의 상부에는 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 블레이드형 프로브.
제 1 항에 있어서,

상기 홈의 상부 측부에는 연장부가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 블레이드형 프로브.
제 1 항에 있어서,

상기 팁부는 상기 몸체와 결합된 부위보다 상기 연장부에 접하는 부위가 더 두껍게 형성되는 것을 특징으로 하는 블레이드형 프로브.