KR100716293B1 - 기판반송장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판반송장치에 관한 것으로서, 기판을 지지하는 플레이트를 갖는 기판지지부; 소정의 기판반송방향으로 연장되어 기판지지부를 이동 가능하도록 지지하는 레일부; 및 레일부를 따라 기판지지부를 이동하여 기판을 반송하는 구동부를 포함한다. 이에 의해 기판의 균일성을 확보하도록 기판을 안정적으로 반송할 수 있다.
기판반송장치, 액정표시장치, 균일성, 기판 처짐, 이동식 기판반송지지

Description

기판반송장치{SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS}
도 1은 종래의 기판반송장치를 나타내는 개략도이고,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판반송장치를 나타내는 개략도이고,
도 3은 도 2의 주요부를 나타내는 주요도이고,
도 4a는 도 2의 반송롤러부가 반송위치에 위치한 상태를 나타내는 개략도이고,
도 4b는 도 2의 반송롤러부가 철회위치에 위치한 상태를 나타내는 개략도이고,
도 5a 내지 도 5e는 도 2의 기판반송장치의 작동을 설명하는 개략도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 : 기판반송장치 10 : 기판
30 : 레일부 40 : 구동부
50 : 처리부 60 : 인입부
70 : 반출부 200 : 기판지지부
210 : 플레이트 212 : 롤러구
220 : 로딩부 222 : 반송롤러부
224 : 반송롤러 226 : 힌지부
228 : 작동부 230 : 케이싱부
본 발명은 기판반송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 균일성을 확보하도록 기판을 안정적으로 반송할 수 있는 기판반송장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치는 박막트랜지스터가 형성되어 있는 박막트랜지스터 기판, 컬러필터층이 형성되어 있는 컬러필터 기판 및 양 기판 사이에 개재된 액정층을 갖는 액정패널을 구비한다. 액정패널은 비발광소자이기 때문에 액정패널에 빛을 조사하는 백라이트 유닛이 위치할 수 있다. 백라이트 유닛에서 조사된 빛의 투과량은 액정층의 배열상태에 따라 조절된다. 또한 액정표시장치는 액정패널의 각 화소를 구동하기 위해서 구동회로와, 구동회로로부터 구동신호를 받아 표시영역내의 데이터선과 게이트선에 전압을 인가하는 데이터 드라이버와 게이트 드라이버를 구비한다.
일반적으로 박막트랜지스터 기판, 컬러필터 기판 등을 제조하기 위해 약액 처리, 세정, 건조, 검사 등과 같은 일련의 기판 처리를 수행하게 된다. 이러한 처리 과정에서 기판의 안정적이고 원활한 반송은 필수적이다.
도 1은 종래의 기판반송장치를 나타낸 개략도이다. 도시된 바와 같이, 기판반송장치(101)는 반송롤러(120), 롤러지지부(130) 및 프레임부(140)를 구비하고 있다. 반송롤러(120)는 기판반송방향(a)을 따라 소정 간격으로 이격되도록 배열되어 있다. 반송롤러(120)는 롤러지지부(130)에 의해 지지되어 있으며, 롤러지지부(130)는 프레임부(140)에 의해 지지되어 있다.
기판(110)은 반송롤러(120)의 회전력에 의해 기판반송방향(a)으로 반송된다. 기판(110)은 기판반송장치(101)에 투입되어 반송롤러(120)에 의해 반송되는 상태에서 소정의 기판 처리를 수행하는 처리부(150)에 의해 처리된다. 처리부(150)는 기판에 대해 세정, 검사 기타 다른 처리를 할 수 있다. 이러한 기판반송장치는 한국특허출원 제2003-84273호에 자세하게 개시되어 있다.
그런데 이러한 기판반송장치(101)는 복수의 반송롤러(120)가 서로 협력하여 기판(110)을 반송 지지하기 때문에 기판(110)의 지지가 불균일하여 기판 반송이 불안정할 수 있다. 기판(110)에서 반송롤러(120)에 의해 지지되는 부분과 지지되지 않는 부분이 발생하기 때문에 기판(110)의 국부적인 처짐이 발생할 수 있다.
특히 처리부(150)에 의해 처리되는 영역에서는 처리부(150)와 기판(110)과의 간격이 일정하게 유지되어야 하는데, 이러한 기판(110)의 국부적인 처짐은 처리부(150)와 기판(110)과의 간격을 변화시켜 기판 처리의 균일성을 저하시킬 수 있다. 또한 처리부(150)에 의해 처리되는 과정에서 기판(110)의 반송속도는 일정하게 유지되어야 하는데, 기판반송장치(101)는 반송롤러(120)와 기판(110)과의 마찰력에 의해 기판(110)을 반송하기 때문에 슬립이 발생하는 경우 기판(110)의 반송 속도를 일정하게 유지하기 어렵게 될 수 있다. 이에 따라 기판(110)의 품질이 저하될 수 있다.
따라서 본 발명의 목적은 기판의 균일성을 확보하도록 기판을 안정적으로 반송할 수 있는 기판반송장치를 제공하는 것이다.
상기 목적은 본 발명에 따라, 기판반송장치에 있어서, 기판을 지지하는 플레이트를 갖는 기판지지부; 소정의 기판반송방향으로 연장되어 상기 기판지지부를 이동 가능하도록 지지하는 레일부; 및 상기 레일부를 따라 상기 기판지지부를 이동하여 상기 기판을 반송하는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치에 의해 달성된다.
상기 기판지지부는 상기 기판을 상기 플레이트에 로딩하거나 언로딩하는 로딩부를 더 포함할 수 있다.
상기 플레이트에는 롤러구가 형성되며, 상기 로딩부는, 상기 롤러구를 통해 상기 플레이트의 판면으로부터 돌출되어 상기 기판을 상기 기판반송방향으로 반송 지지하는 반송위치와 상기 반송위치로부터 철회된 철회위치 간을 변위 가능한 반송롤러부; 및 상기 반송롤러부가 상기 반송위치와 상기 철회위치 간을 변위하도록 상기 플레이트 및 상기 반송롤러부 중 적어도 하나를 이동시키는 작동부를 포함할 수 있다.
상기 작동부는 상기 구동부가 상기 기판지지부를 이동할 때 상기 반송롤러부를 상기 철회위치에 위치시키고 상기 구동부가 상기 기판지지부를 이동하지 않을 때 상기 반송롤러부를 상기 반송위치에 위치시킬 수 있다.
상기 기판지지부는 상기 반송롤러부를 회동 가능하게 지지하는 케이싱부를 더 포함하며, 상기 반송롤러부는 상기 반송위치와 상기 철회위치 간을 회동할 수 있다.
상기 반송롤러부는 중간부가 힌지부에 의해 상기 케이싱부에 회전 가능하게 지지되고 일단부가 상기 기판을 반송 지지하는 반송롤러를 구비하며, 상기 작동부는 상기 반송롤러부의 타단부를 이동시켜 상기 반송롤러부를 상기 반송위치와 상기 철회위치 간을 회동시킬 수 있다.
상기 목적은 본 발명에 따라, 기판을 처리하는 처리부에 상기 기판을 인입하는 인입부와 상기 처리부로부터 상기 기판을 반출하는 반출부 사이에 개재하여 상기 기판을 반송하는 기판반송유니트에 있어서, 상기 기판을 지지하며 롤러구가 형성된 플레이트를 갖는 케이싱부; 상기 케이싱부에 수용되며 상기 롤러구를 통해 상기 플레이트의 판면으로부터 돌출되어 상기 기판을 상기 인입부에서 상기 반출부 방향으로 반송 지지하는 반송위치와 상기 반송위치로부터 철회된 철회위치 간을 변위 가능한 반송롤러부; 상기 반송롤러부를 상기 반송위치와 상기 철회위치 간을 변위하도록 상기 플레이트 및 상기 반송롤러부 중 적어도 하나를 이동시키는 작동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송유니트에 의해 달성된다.
상기 케이싱부를 상기 인입부에서 상기 반출부로 이동하도록 배치된 레일부와, 상기 케이싱부를 상기 레일부를 따라 이동하는 구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 작동부는 상기 반송롤러부를 상기 반송위치에 위치시켜 상기 인입부로부터 상기 기판을 상기 플레이트에 로딩하거나 상기 플레이트에 적재된 기판을 상기 반출부로 언로딩할 수 있다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 여러 실시예에 있어 동일한 구성요소에는 동일한 참조번호를 부여한다. 동일한 구성요소에 대하여는 제1실시예에서 대표적으로 설명하며 다른 실시예에서는 설명하지 않을 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판반송장치를 나타내는 개략도이고, 도 3은 도 2의 주요부를 나타내는 주요도이고, 도 4a는 도 2의 반송롤러부가 반송위치에 위치한 상태를 나타내는 개략도이고, 도 4b는 도 2의 반송롤러부가 철회위치에 위치한 상태를 나타내는 개략도이다. 도시된 바와 같이, 기판반송장치(1)는 기판지지부(200), 레일부(30) 및 구동부(40)를 구비하고 있다. 기판지지부(200)는 기판(10)을 지지하는 플레이트(210)를 구비하고 있다. 레일부(30)는 기판반송방향(A)으로 연장되어 기판지지부(200)를 이동 가능하도록 지지한다. 구동부(40)는 레일부(30)를 따라 기판지지부(200)를 이동하여 기판(10)을 반송한다.
플레이트(210)는 금속, 합금, 고강도 플라스틱으로 형성될 수 있으며, 적어도 기판(10)보다 훰강도가 큰 것이 바람직하다. 플레이트(210)는 기판(10)의 전체를 균일하게 지지하여 기판(10)의 일부 영역에서 국부적인 처짐이 발생하지 않도록 한다. 레일부(30)는 기판반송방향(A)으로 상호 평행하게 배치된 두 개의 레일을 구비하고 있다. 레일부(30)는 단일의 레일이나 세 개 이상의 레일을 구비할 수 있다.
레일부(30)는 도 5a 내지 도 5e에 도시된 바와 같이 기판(10)이 처리부(50)에 처리되는 동안 기판(10)을 반송하도록 처리부(50)의 기판 처리 영역에 배치되고, 처리부(50)에 처리되지 않는 기타 영역까지 연장되지 않을 수 있다. 즉, 기판 (10)은 처리부(50)에 인입되는 영역과 처리부(50)로부터 반출되는 영역에서는 인입부(60) 및 반출부(70)와 같이 통상의 반송롤러 식의 반송될 수 있다. 물론 레일부(30)는 처리부(50)에 기판(10)이 처리되지 않는 기타 영역에 설치되어 기판(10)을 반송할 수 있다.
구동부(40)는 레일부(30)와 기판지지부(200) 사이에 개재하여 기판지지부(200)가 레일부(30) 상에서 이동하도록 동력을 공급한다. 구동부(40)는 모터 기타 통상의 전동수단일 수 있다. 구동부(40)는 기판지지부(200)에 지지되어 기판지지부(200)와 일체로 이동하거나 기판지지부(200) 외부에 지지되어 기판지지부(200)와 일체로 이동되지 않을 수 있다. 구동부(40)는 기판지지부(200)를 일정한 이동 속도로 이동시킴으로써 기판(10)이 일정한 반송속도로 반송되도록 한다.
기판반송장치(1)는 기판(10)을 전체적으로 균일하게 지지하는 플레이트(210)에 기판(10)을 적재하여 기판지지부(200)를 이동시킴으로써 기판(10)의 국부적인 처짐이 발생하지 않도록 기판(10)을 반송할 수 있다. 이에 따라 기판반송장치(1)가 처리부(50)에 의해 기판(10)을 처리하는 과정에서 기판(10)을 반송하는 경우 기판(10)과 처리부(50)와의 간격을 일정하게 유지할 수 있다.
또한 기판반송장치(1)는 구동부(40)가 기판지지부(200)를 일정한 이동속도로 이동시켜 기판(10)을 반송시키기 때문에 슬립이 발생하지 않으며 기판(10)의 반송속도를 일정하게 유지할 수 있다. 이에 따라 기판반송장치(1)가 처리부(50)에 의해 처리되고 있는 기판(10)을 반송하는 경우 기판 처리의 균일성을 향상시킬 수 있다.
기판지지부(200)는 기판(10)을 플레이트(210)에 로딩하거나 언로딩하는 로딩 부(220)를 구비하고 있다. 로딩부(220)는 기판지지부(200)가 인입부(도 5의 60) 또는 반출부(도 5의 70)와 같이 다른 장치와 연계하여 기판(10)을 반송할 수 있도록 한다. 로딩부(220)는 다른 장치로부터 기판(10)을 플레이트(210)에 로딩하여 기판지지부(200)가 기판(10)을 지지하게 하거나 플레이트(210)로부터 다른 장치로 기판(10)을 언로딩하여 기판지지부(200)로부터 기판(10)이 배출되게 한다.
플레이트(210)에는 롤러구(212)가 형성되며, 로딩부(220)는 롤러구(212)를 통해 플레이트(210)의 판면으로부터 돌출되어 기판(10)을 기판반송방향(A)으로 반송 지지하는 반송위치("B")와 반송위치로부터 철회된 철회위치("C") 간을 변위 가능한 반송롤러부(222), 및 반송롤러부(222)가 반송위치("B")와 철회위치("C") 간을 변위하도록 플레이트(210) 및 반송롤러부(222) 중 적어도 하나를 이동시키는 작동부(228)를 구비하고 있다.
반송롤러부(222)는 기판반송방향(A)과 같은 방향으로 기판(10)을 반송하는 반송롤러(224)를 구비하고 있다. 반송롤러(224)는 모터 기타 통상의 전동수단(미도시)에 의해 회전 구동되어 기판(10)을 반송한다. 전동수단(미도시)은 반송롤러부(222)가 반송위치("B")에 위치하는 경우 반송롤러(224)를 회전 구동하고 반송롤러부(222)가 철회위치("C")에 위치하는 경우 반송롤러(224)를 회전 구동하지 않을 수 있다.
반송롤러부(222)가 반송위치("B")에 위치하는 경우 반송롤러(224)는 롤러구(212)를 통해 플레이트(210)의 판면으로부터 돌출되어 플레이트(210)를 대신하여 기판(10)을 지지하게 된다. 이에 따라 반송롤러(224)는 기판(10)을 기판반송방향 (A)으로 반송하여 기판(10)을 플레이트(210)에 로딩하거나 언로딩하게 된다.(도 4a 참조)
반송롤러부(222)가 철회위치("C")에 위치하는 경우 반송롤러(224)는 플레이트(210)의 판면으로부터 돌출되지 않도록 롤러구(212)에 수용되어 플레이트(210)가 기판(10)을 지지하게 된다. 이에 따라 기판(10)은 플레이트(210)에 적재되어 기판지지부(200)와 일체로 이동하게 된다.(도 4b 참조)
여기서 반송롤러부(222)의 반송위치("B") 및 철회위치("C")는 반송롤러부(222)가 플레이트(210)에 대해 갖는 상대적 위치이다. 플레이트(210)가 고정되어 있고 반송롤러부(222)가 이동하여 반송롤러부(222)가 반송위치("B") 및 철회위치("C")에 위치할 수 있으며, 반송롤러부(222)가 고정되어 있고 플레이트(210)가 이동하여 반송롤러부(222)가 반송위치("B") 및 철회위치("C")에 위치할 수 있다. 작동부(228)는 반송롤러부(222) 또는 플레이트(210)를 이동하여 반송롤러부(222)를 변위시키거나 반송롤러부(222)와 플레이트(210)를 모두 이동하여 반송롤러부(222)를 변위시킬 수 있다.
기판지지부(200)는 반송롤러부(222)를 회동 가능하게 지지하는 케이싱부(230)를 구비하고 있다. 케이싱부(230)의 상측에는 플레이트(210)가 마련되어 있으며, 측면에는 반송롤러부(222)의 중간부를 회전 가능하게 지지하는 힌지부(226)가 구비되어 있다. 반송롤러부(222)와 작동부(228)는 케이싱부(230)에 수용되어 케이싱부(230)와 일체로 이동한다.
반송롤러부(222)는 중간부가 힌지부(226)에 의해 케이싱부(230)에 회전 가능 하게 지지되고, 일단부가 기판(10)을 반송 지지하는 반송롤러(224)를 구비하며, 작동부(228)는 반송롤러부(222)의 타단부를 이동시켜 반송롤러부(222)를 반송위치("B")와 철회위치("C") 간을 회동시킨다. 작동부(228)는 타단부를 왕복 이동시킴으로써 반송롤러부(222)가 힌지부(226)를 중심으로 회동하도록 하여 반송롤러부(222)를 반송위치("B") 또는 철회위치("C")에 위치시킬 수 있다. 작동부(228)는 리니어액추에이터 기타 통상의 구동수단일 수 있다.
반송롤러부(222)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 힌지부(226)를 중심으로 회동하여 반송위치("B") 및 철회위치("C") 간을 변위하지만 본 발명에 따른 기판반송장치는 이러한 구성에 한정되지 않는다. 작동부(228)가 플레이트(210)의 판면에 대한 수직방향으로 반송롤러부(222)를 왕복 이동시켜 반송롤러부(222)가 롤러구(212)를 통해 돌출되거나 돌출되지 않도록 할 수 있다. 또는 작동부(228)는 플레이트(210)를 그 판면에 대한 수직방향으로 왕복 이동시켜 반송롤러부(222)가 롤러구(212)를 통해 돌출되거나 돌출되지 않도록 할 수 있다. 이 외에도 반송롤러부(222)와 작동부(228)는 다른 통상의 구성에 의할 수 있다.
작동부(228)는 구동부(40)가 기판지지부(200)를 이동시킬 때 반송롤러부(222)를 철회위치("C")에 위치시키고 구동부(40)가 기판지지부(200)를 이동시키지 않을 때 반송롤러부(222)를 반송위치("B")에 위치시킬 수 있다. 구동부(40)가 레일부(30)를 따라 기판지지부(200)를 이동시키는 중에는 작동부(228)는 반송롤러부(222)를 철회위치("C")에 위치시켜 기판(10)이 플레이트(210)에 안정되게 지지되게 하도록 한다. 이에 따라 기판(10)은 구동부(40)의 구동력에 의해 기판반송방향(A) 으로 반송한다.
기판(10)을 처리부(도 5의 50)에 인입 또는 반출하기 위해 기판지지부(200)가 기판(10)을 인입부(도 5의 60)로부터 로딩하거나 반출부(도 5의 70)로 언로딩하는 과정에서는 안정된 기판 인입 및 반출을 위해 기판지지부(200)가 레일부(30) 상에서 위치 고정되도록 한다. 이에 따라 구동부(40)는 기판지지부(200)를 이동시키지 않는다. 이 때 작동부(228)는 반송롤러부(222)를 반송위치("B")에 위치시켜 기판(10)을 플레이트(210)에 로딩 또는 언로딩한다.
로딩부(220)는 반송롤러부(222) 및 작동부(228)를 구비하고 있으나 기판(10)을 플레이트(210)에 로딩 또는 언로딩할 수 있는 것이면 로봇 아암이나 기타 통상의 다른 수단으로 구성될 수 있다.
이하에서는 도 5a 내지 도 5e를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판반송장치의 작동을 설명한다.
도 5a 내지 도 5e는 도 2의 기판반송장치의 작동을 설명하는 개략도이다. 도시된 바와 같이, 기판반송장치(1)는 기판(10)을 처리하는 처리부(50)에 대응하도록 배치되어 있다. 기판반송장치(1)는 처리부(50)에 기판(10)을 인입하는 인입부(60)와 처리부(50)로부터 기판(10)을 반출하는 반출부(70) 사이에 개재하고 있다. 이에 따라 기판반송장치(1)는 기판(10)이 처리부(50)에 의해 처리되는 상태로 기판(10)을 기판반송방향(A)으로 반송한다. 처리부(50)는 기판(10)을 검사하거나 세정하거나 약액을 도포하여 소정의 기판 처리를 수행한다.
도 5a에 도시된 바와 같이, 기판반송장치(1)는 인입부(60)로부터 기판(10)을 수령한다. 이 때 구동부(40)는 기판지지부(200)의 위치를 고정하여 기판(10)이 안정적으로 플레이트(210)에 로딩될 수 있도록 한다. 작동부(228)는 반송롤러부(222)를 반송위치("B")에 위치시켜 반송롤러(224)가 롤러구(212)를 통해 플레이트(210)의 판면으로부터 돌출되게 한다. 반송롤러(224)는 인입부(60)와 협력하여 기판(10)을 반송하게 한다. 이에 따라 기판(10)은 로딩방향(D)으로 플레이트(210)에 로딩된다. 기판(10)이 인입부(60)로부터 이탈되어 플레이트(210)에 로딩되는 과정에서 기판(10)이 원활하게 반송될 수 있도록 반송롤러부(222)의 반송위치("B")에서 반송롤러(224)는 인입부(60)와 동일 수평면에 위치하는 것이 바람직하다.
도 5b 및 도 5c에 도시된 바와 같이, 기판(10)이 인입부(60)로부터 이탈되어 플레이트(210)에 로딩되면, 작동부(228)는 반송롤러부(222)를 반송위치("B")에서 철회위치("C")로 변위시킨다. 반송롤러(224)는 롤러구(212) 내로 수용되어 기판(10)이 플레이트(210)에 지지된다. 구동부(40)는 기판지지부(200)를 레일부(30) 상에서 기판반송방향(A)으로 이동시킨다. 이에 따라 기판(10)은 일정한 속도로 기판(10)의 국부적 처짐 없이 반송되어 처리부(50)에 의한 기판 처리의 균일성이 향상된다.
도 5d 및 도 5e에 도시된 바와 같이, 기판지지부(200)가 반출부(70)에 도달하면 구동부(40)는 기판지지부(200)의 위치를 고정시킨다. 작동부(228)는 반송롤러부(222)를 철회위치("C")에서 반송위치("B")로 변위시킨다. 반송롤러(224)는 롤러구(212)를 통해 플레이트(210)의 판면으로부터 돌출되어 기판(10)을 지지하여 언로딩방향(E)으로 반송한다. 이에 따라 기판(10)은 기판지지부(200)로부터 반출부(70) 로 언로딩된다.
이상에서 볼 수 있듯이 본 발명에 따른 기판반송장치는 처리부에 의해 기판이 처리되는 영역에 레일부를 배치하고 기판을 반송 가능하게 지지하는 기판반송지지부를 레일부 상에서 이동시켜 기판을 인입, 반송 및 반출함으로써 기판이 처리부에 의해 처리되는 과정에서 국부적인 처짐을 방지하고 반송속도가 일정하도록 기판을 안정적으로 반송할 수 있다. 이에 따라 기판의 균일성을 향상시켜 기판의 품질을 향상시킬 수 있다.

Claims (9)

  1. 기판반송장치에 있어서,
    기판을 지지하는 플레이트를 갖는 기판지지부;
    소정의 기판반송방향으로 연장되어 상기 기판지지부를 이동 가능하도록 지지하는 레일부; 및
    상기 레일부를 따라 상기 기판지지부를 이동시켜 상기 기판을 반송하는 구동부를 포함하며,
    상기 기판지지부는 상기 기판을 상기 플레이트에 로딩하거나 언로딩하는 로딩부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 플레이트에는 롤러구가 형성되며,
    상기 로딩부는,
    상기 롤러구를 통해 상기 플레이트의 판면으로부터 돌출되어 상기 기판을 상기 기판반송방향으로 반송 지지하는 반송위치와 상기 반송위치로부터 철회된 철회위치 간을 변위 가능한 반송롤러부; 및
    상기 반송롤러부가 상기 반송위치와 상기 철회위치 간을 변위하도록 상기 플 레이트 및 상기 반송롤러부 중 적어도 하나를 이동시키는 작동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 작동부는 상기 구동부가 상기 기판지지부를 이동시킬 때 상기 반송롤러부를 상기 철회위치에 위치시키고 상기 구동부가 상기 기판지지부를 이동시키지 않을 때 상기 반송롤러부를 상기 반송위치에 위치시키는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 기판지지부는 상기 반송롤러부를 회동 가능하게 지지하는 케이싱부를 더 포함하며,
    상기 반송롤러부는 상기 반송위치와 상기 철회위치 간을 회동하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 반송롤러부는 중간부가 힌지부에 의해 상기 케이싱부에 회전 가능하게 지지되고 일단부가 상기 기판을 반송 지지하는 반송롤러를 구비하며,
    상기 작동부는 상기 반송롤러부의 타단부를 이동시켜 상기 반송롤러부를 상기 반송위치와 상기 철회위치 간을 회동시키는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  7. 기판을 처리하는 처리부에 상기 기판을 인입하는 인입부와 상기 처리부로부터 상기 기판을 반출하는 반출부 사이에 개재하여 상기 기판을 반송하는 기판반송유니트에 있어서,
    상기 기판을 지지하며 롤러구가 형성된 플레이트를 갖는 케이싱부;
    상기 케이싱부에 수용되며 상기 롤러구를 통해 상기 플레이트의 판면으로부터 돌출되어 상기 기판을 상기 인입부에서 상기 반출부 방향으로 반송 지지하는 반송위치와 상기 반송위치로부터 철회된 철회위치 간을 변위 가능한 반송롤러부;
    상기 반송롤러부를 상기 반송위치와 상기 철회위치 간을 변위하도록 상기 플레이트 및 상기 반송롤러부 중 적어도 하나를 이동시키는 작동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송유니트.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 케이싱부를 상기 인입부에서 상기 반출부로 이동하도록 배치된 레일부와, 상기 케이싱부를 상기 레일부를 따라 이동하는 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반송유니트.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 작동부는 상기 반송롤러부를 상기 반송위치에 위치시켜 상기 인입부로부터 상기 기판을 상기 플레이트에 로딩하거나 상기 플레이트에 적재된 기판을 상 기 반출부로 언로딩하는 것을 특징으로 하는 기판반송유니트.
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