KR100689131B1 - 표시 장치 - Google Patents

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이노우에가즈히로
야마다쯔또무
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산요덴키가부시키가이샤
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Abstract

배향막의 두께가 변동되는 것에 기인하는 표시 품위의 저하를 억제하는 것이 가능한 표시 장치를 제공한다. 이 표시 장치는, 반사 영역과 투과 영역을 갖는 표시 영역을 포함하는 표시 장치로서, 유리 기판의 반사 영역에 대응하는 영역 상에 형성된 오목 형상의 절연막과, 볼록 형상의 절연막을 피복하도록 형성된 배향막을 구비하고 있다. 그리고, 볼록 형상의 절연막이 형성되어 있지 않은 오목부는, 각 화소간에서 연속하도록 형성되어 있다.
반사 영역, 투과 영역, 절연막, 배향막, 대향 기판

Description

표시 장치{DISPLAY DEVICE}
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 반투과형 액정 표시 장치의 구조를 도시한 평면도.
도 2는 도 1에 도시한 제1 실시예에 따른 표시 장치의 100-100선을 따라 취한 단면도.
도 3은 도 1에 도시한 제1 실시예에 따른 표시 장치의 볼록 형상의 절연막의 평면 형상을 도시한 모식도.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치의 제조 프로세스를 설명하기 위한 단면도.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치의 제조 프로세스를 설명하기 위한 단면도.
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치의 제조 프로세스를 설명하기 위한 도면.
도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 표시 장치의 제조 프로세스를 설명하기 위한 단면도.
도 8은 제1 실시예의 변형예에 따른 표시 장치의 구조를 도시한 평면도.
도 9는 도 8에 도시한 제1 실시예의 변형예에 따른 표시 장치의 150-150선을 따라 취한 단면도.
도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 반투과형 액정 표시 장치의 구조를 도시한 단면도.
도 11은 제2 실시예의 제1 변형예에 따른 표시 장치의 구조를 도시한 단면도.
도 12는 제2 실시예의 제2 변형예에 따른 표시 장치의 구조를 도시한 단면도.
도 13은 본 발명의 제3 실시예에 따른 표시 장치의 구조를 도시한 평면도.
도 14는 본 발명의 제4 실시예에 따른 반투과형 액정 표시 장치의 구조를 도시한 평면도.
도 15는 도 14에 도시한 제4 실시예에 따른 표시 장치의 200-200선을 따라 취한 단면도.
도 16은 본 발명의 제4 실시예에 따른 표시 장치의 제조 프로세스를 설명하기 위한 단면도.
도 17은 본 발명의 제4 실시예에 따른 표시 장치의 제조 프로세스를 설명하기 위한 단면도.
도 18은 본 발명의 제4 실시예에 따른 표시 장치의 제조 프로세스를 설명하기 위한 단면도.
도 19는 본 발명의 제5 실시예에 따른 반투과형 액정 표시 장치의 구조를 도시한 평면도.
도 20은 도 19에 도시한 제5 실시예에 따른 표시 장치의 250-250선을 따라 취한 단면도.
도 21은 본 발명의 변형예에 따른 표시 장치의 볼록 형상의 절연막의 평면 형상을 도시한 모식도.
도 22는 본 발명의 변형예에 따른 표시 장치의 볼록 형상의 절연막의 평면 형상을 도시한 모식도.
도 23은 본 발명의 변형예에 따른 표시 장치의 볼록 형상의 절연막의 평면 형상을 도시한 모식도.
도 24는 본 발명의 변형예에 따른 표시 장치의 볼록 형상의 절연막의 평면 형상을 도시한 모식도.
도 25는 종래의 볼록 형상의 절연막을 갖는 반투과형 액정 표시 장치의 구조를 도시한 평면도.
도 26은 도 25에 도시한 종래의 표시 장치의 300-300선을 따라 취한 단면도.
도 27은 도 25에 도시한 종래의 표시 장치의 볼록 형상의 절연막의 평면 형상을 도시한 모식도.
도 28은 도 27의 350-350선을 따라 취한 단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 유리 기판
2, 3 : 반도체층
4 : 게이트 절연막
5 : 게이트 전극
5a : 게이트선
6 : 보조 용량 전극
6a : 보조 용량선
7 : 층간 절연막
7a, 7b, 7c : 컨택트홀
90a : 반사 영역
90b : 투과 영역
본 발명은, 표시 장치에 관한 것으로, 특히, 반사 영역과 투과 영역을 갖는 표시 영역을 포함하는 표시 장치에 관한 것이다.
종래, 반투과형 액정 표시 장치에서, 반사 영역에 대응하는 영역에, 볼록 형상의 절연막을 형성함으로써, 투과 영역에 입사한 광이 액정층을 통과하는 거리(광로 길이)와, 반사 영역에 입사한 광이 액정층을 통과하는 거리(광로 길이)를 동일하게 한 구조가 제안되어 있다. 이것은 예를 들면, 일본 특개2002-98951호 공보에 개시되어 있다.
도 25는 종래의 볼록 형상의 절연막을 갖는 반투과형 액정 표시 장치의 구조를 도시한 평면도이다. 도 26은 도 25에 도시한 종래의 반투과형 액정 표시 장치 의 300-300선을 따라 취한 단면도이다. 도 27은 도 25에 도시한 종래의 반투과형 액정 표시 장치의 볼록 형상의 절연막의 평면 형상을 도시한 모식도이다. 우선, 도 25∼도 27을 참조하여, 종래의 반투과형 액정 표시 장치의 구조에 대하여 설명한다.
종래의 반투과형 액정 표시 장치에서는, 도 26에 도시한 바와 같이, 반사 영역(390a)과 투과 영역(390b)을 포함하고 있다. 반사 영역(390a)에 대응하는 유리 기판(301) 상의 소정 영역에는, 박막 트랜지스터(TFT: Thin Film Transistor)를 구성하는 반도체층(302)과, 보조 용량 전극으로서 기능하는 반도체층(303)이 형성되어 있다. 반도체층(302)은, 도 25에 도시한 바와 같이, 평면적으로 볼 때, コ자 형상으로 형성되어 있다. 그리고, 도 26에 도시한 바와 같이, コ자 형상의 반도체층(302)에는, 2개의 소스 영역(302a)과, 2개의 드레인 영역(302b)과, 2개의 채널 영역(302c)이 형성되어 있다. 소스 영역(302a)과 드레인 영역(302b)은, 각각의 채널 영역(302c)이 사이에 끼도록 배치되어 있다.
또한, 반도체층(302)의 2개의 채널 영역(302c) 상에는, 게이트 절연막(304)를 개재하여, 2개의 게이트 전극(305)가 형성되어 있다. 그리고, 한쪽의 게이트 전극(305)과, 한쪽의 소스 영역(302a)과, 한쪽의 드레인 영역(302b)과 한쪽의 채널 영역(302c)과, 게이트 절연막(304)에 의해, 한쪽의 박막 트랜지스터(TFT)가 구성되어 있다. 또한, 다른쪽의 게이트 전극(305)과, 다른쪽의 소스 영역(302a)과, 다른쪽의 드레인 영역(302b)과, 다른쪽의 채널 영역(302c)과, 게이트 절연막(304)에 의해, 다른쪽의 TFT가 구성되어 있다. 또한, 반도체층(303) 상에는, 게이트 절연막(304)을 개재하여, 보조 용량 전극(306)이 형성되어 있다. 그리고, 반도체층(303)과, 게이트 절연막(304)과, 보조 용량 전극(306)에 의해, 보조 용량이 구성되어 있다.
또한, 도 25에 도시한 바와 같이, 2개의 게이트 전극(305)에는, 게이트 전극(305)과 동일한 층으로 이루어짐과 함께, 소정 방향으로 연장되는 게이트선(305a)이 접속되어 있다. 또한, 보조 용량 전극(306)에는, 보조 용량 전극(306)과 동일한 층으로 이루어짐과 함께, 게이트선(305a)에 평행한 방향으로 연장되는 보조 용량선(306a)이 접속되어 있다.
그리고, 도 26에 도시한 바와 같이, TFT 및 보조 용량을 피복하도록, 층간 절연막(307)이 형성되어 있다. 또한, 층간 절연막(307) 및 게이트 절연막(304)의 소스 영역(302a), 드레인 영역(302b) 및 반도체층(303)에 대응하는 영역에는, 각각, 컨택트홀(307a, 307b, 307c)이 형성되어 있다. 그리고, 컨택트홀(307a)을 통해, 소스 영역(302a)에 전기적으로 접속하도록, 소스 전극(308)이 형성되어 있다. 또한, 소스 전극(308)의 일부(308a)는, 컨택트홀(307c)을 통해, 반도체층(303)에 전기적으로 접속하도록 형성되어 있다. 그리고, 컨택트홀(307b)을 통해, 드레인 영역(302b)에 전기적으로 접속하도록, 드레인 전극(309)이 형성되어 있다. 이 드레인 전극(309)에는, 도 25에 도시한 바와 같이, 드레인 전극(309)과 동일한 층으로 이루어짐과 함께, 게이트선(305a)과 직교하는 방향으로 연장되는 드레인선(309a)이 접속되어 있다.
또한, 도 26에 도시한 바와 같이, 층간 절연막(307) 상의 소정 영역에는, 소 스 전극(308) 및 드레인 전극(309)을 피복하도록, 볼록 형상의 절연막(311)이 형성되어 있다. 볼록 형상의 절연막(311)의 소스 전극(308)에 대응하는 영역에는, 컨택트홀(311a)이 형성되어 있다. 그리고, 볼록 형상의 절연막(311)의 측면과, 절연막(311)이 형성되어 있지 않은 층간 절연막(307)의 상면에 의해, 오목부(312)가 형성되어 있다. 또한, 볼록 형상의 절연막(311)은, 반사 영역(390a)에 대응하도록 형성되며, 오목부(312)는 투과 영역(390b)에 대응하도록 형성되어 있다.
또한, 도 27에 도시한 바와 같이, 볼록 형상의 절연막(311)은, 표시 영역(390c) 내의 게이트선(305a) 및 드레인선(309a)에 의해 둘러싸인 각 화소 영역에서 오목부(312)를 둘러싸도록 형성되어 있다. 이 때문에, 오목부(312)는, 각 화소간에서 분리하도록 형성되어 있다.
또한, 도 26에 도시한 바와 같이, 볼록 형상의 절연막(311)의 상면 상에는, 컨택트홀(311a)을 통해 소스 전극(308)에 전기적으로 접속하도록, 반사 전극(313)이 형성되어 있다. 이 반사 전극(313)은, 도 25에 도시한 바와 같이, 평면적으로 볼 때, TFT, 보조 용량, 게이트선(305a) 및 보조 용량선(306a)을 피복하도록 형성되어 있다. 그리고, 도 26에 도시한 바와 같이, 오목부(312)의 내면 상 및 반사 전극(313)의 표면 상에는, 투명 전극(314)이 형성되어 있다. 이 투명 전극(314)과 반사 전극(313)에 의해, 화소 전극이 구성되어 있다. 그리고, 화소 전극을 구성하는 투명 전극(314) 상에는, 폴리이미드로 이루어지는 배향막(315)이 형성되어 있다.
그리고, 유리 기판(301)과 대향하는 위치에는, 유리 기판(대향 기판)(316)이 설치되어 있다. 유리 기판(316) 상에는, 적(R), 녹(G) 및 청(l3)의 각 색을 나타내는 컬러 필터(317)가 형성되어 있다. 컬러 필터(317) 상에는, 투명 전극(318)이 형성되어 있다. 투명 전극(318) 상에는, 폴리이미드로 이루어지는 배향막(319)이 형성되어 있다. 또한, 유리 기판(301)의 이면 상 및 유리 기판(대향 기판)(316)의 이면 상에는, 각각, 타원 편광막(321)이 형성되어 있다.
종래의 반투과형 액정 표시 장치에서는, 도 27에 도시한 바와 같이, 투과 영역(390b)(오목부(312))을 둘러싸도록 볼록 형상의 절연막(311)이 형성되어 있기 때문에, 볼록 형상의 절연막(311) 및 오목부(312)의 요철 형상이 반영된 투명 전극(314) 상에, 폴리이미드로 이루어지는 배향막(315)을 형성할 때에, 폴리이미드가 각 화소의 오목부(312)에 대응하는 오목 형상 영역에 고인다. 이 경우, 각 화소의 오목부(312)에 대응하는 오목 형상 영역에 고인 폴리이미드의 양이 불균일하게 되기 쉽기 때문에, 예를 들면, 도 28에 도시한 바와 같이, 일부의 화소의 오목부(312)에 대응하는 오목 형상 영역(312a)에만 배향막(315)을 구성하는 폴리이미드가 지나치게 고인 경우가 있다고 하는 문제점이 있었다. 이와 같이, 일부의 화소의 오목부(312)에 대응하는 오목 형상 영역(312a)에만 배향막(315)을 구성하는 폴리이미드가 지나치게 고이면, 각 화소의 배향막(315)의 두께에 변동이 발생한다고 하는 문제점이 발생한다. 그 결과, 배향막(315)의 두께가 변동되는 것에 기인하여, 표시 품위가 저하된다고 하는 문제점이 있다.
본 발명은, 배향막의 두께가 변동되는 것에 기인하는 표시 품위의 저하를 억 제하는 것이 가능한 표시 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 제1 국면에 따른 표시 장치는, 반사 영역과 투과 영역을 갖는 표시 영역을 포함하는 표시 장치로서, 기판 상의 반사 영역에 대응하는 영역에 형성된 볼록 형상의 절연막을 갖는 볼록 형상의 영역과, 볼록 형상의 절연막을 피복하도록 형성된 배향막을 구비하고, 볼록 형상의 절연막이 형성되어 있지 않은 오목 형상의 영역은, 인접하는 화소간에서 연속하도록 형성되어 있다.
이 제1 국면에 따른 표시 장치에서는, 볼록 형상의 절연막 및 오목 형상의 영역을 피복하도록 배향막을 형성할 때에, 인접하는 화소간에서, 오목 형상의 영역을 따라 배향막을 구성하는 재료를 유동시킬 수 있다. 이에 의해, 일부의 화소의 오목 형상의 영역에만 배향막을 구성하는 재료가 지나치게 고이는 것을 억제할 수 있으므로, 오목 형상의 영역에 형성되는 배향막이 복수의 화소에서 평균화되어, 배향막의 두께를 각 화소에서 실질적으로 균일하게 할 수 있다. 그 결과, 오목 형상의 영역에 형성되는 배향막의 두께가 변동되는 것에 기인하는 표시 품위의 저하를 억제할 수 있다.
본 발명의 제2 국면에 따른 표시 장치는, 반사 영역과 투과 영역을 갖는 표시 영역을 포함하고, 복수의 화소로 이루어지는 표시 장치로서, 기판 상의 반사 영역에 대응하는 영역에 볼록 형상의 절연막이 형성된 볼록 형상의 영역과, 볼록 형상의 절연막이 형성되어 있지 않은 오목 형상의 영역과, 볼록 형상의 영역 및 오목 형상의 영역에 공통적으로 형성된 배향막을 구비하고, 오목 형상의 영역은, 인접하는 화소간에서 연속하도록 형성되어 있다.
이 제2 국면에 따른 표시 장치에서는, 볼록 형상의 절연막 및 오목 형상의 영역에 공통적으로 배향막을 형성할 때에, 복수의 인접하는 화소간에서, 오목 형상의 영역을 따라 배향막을 구성하는 재료를 유동시킬 수 있다. 이에 의해, 일부의 화소의 오목 형상의 영역에만 배향막을 구성하는 재료가 지나치게 고이는 것을 억제할 수 있으므로, 오목 형상의 영역에 형성되는 배향막이 복수의 화소에서 평균화되어, 배향막의 두께를 각 화소에서 실질적으로 균일하게 할 수 있다. 그 결과, 복수의 화소로 이루어지는 표시 장치에서, 오목 형상의 영역에 형성되는 배향막의 두께가 변동되는 것에 기인하는 표시 품위의 저하를 억제할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예를 도면에 기초하여 설명한다.
(제1 실시예)
도 1∼도 3을 참조하면, 이 제1 실시예에 따른 반투과형 액정 표시 장치는, 1화소 내에, 반사 영역(90a)과 투과 영역(90b)의 2개의 영역을 갖고 있다. 그리고, 반사 영역(90a)에는, 반사 전극(13)이 형성되어 있음과 함께, 투과 영역(90b)에는, 반사 전극(13)이 형성되어 있지 않다. 이에 의해, 반사 영역(90a)에서는, 도 2의 화살표 A 방향의 광을 반사시킴으로써 화상이 표시된다. 그 한편, 투과 영역(90b)에서는, 도 2의 화살표 B 방향의 광을 투과시킴으로써 화상이 표시된다.
제1 실시예의 상세한 구조로서는, 도 2에 도시한 바와 같이, SiNx막 및 SiO2 막으로 이루어지는 버퍼층(1a)을 구비한 유리 기판(1) 상의 반사 영역(90a)에 대응하는 영역에, TFT를 구성하는 비단결정 실리콘 또는 비정질 실리콘으로 이루어지는 반도체층(2)과, 보조 용량 전극으로서 기능하는 비단결정 실리콘 또는 비정질 실리콘으로 이루어지는 반도체층(3)이 형성되어 있다. 또한, 유리 기판(1)은, 본 발명의 「기판」의 일례이다. 반도체층(2)은, 도 1에 도시한 바와 같이, 평면적으로 볼 때, コ자 형상으로 형성되어 있다. 그리고, 도 2에 도시한 바와 같이, コ자 형상의 반도체층(2)에는, 2개의 소스 영역(2a)과, 2개의 드레인 영역(2b)과, 2개의 채널 영역(2c)이 형성되어 있다. 소스 영역(2a)과 드레인 영역(2b)은 각각의 채널 영역(2c)을 협지하도록 배치되어 있다.
또한, 반도체층(2)의 2개의 채널 영역(2c) 상에는, 각각, SiNx막과 SiO2막의 적층막으로 이루어지는 게이트 절연막(4)을 개재하여, Mo로 이루어지는 게이트 전극(5)이 형성되어 있다. 그리고, 한쪽의 게이트 전극(5)과, 한쪽의 소스 영역(2a)과, 한쪽의 드레인 영역(2b)과, 한쪽의 채널 영역(2c)과, 게이트 절연막(4)에 의해, 한쪽의 TFT가 구성되어 있다. 또한, 다른쪽의 게이트 전극(5)과, 다른쪽의 소스 영역(2a)과, 다른쪽의 드레인 영역(2b)과, 다른쪽의 채널 영역(2c)과, 게이트 절연막(4)에 의해, 다른쪽의 TFT가 구성되어 있다. 또한, 반도체층(3) 상에는, 게이트 절연막(4)을 개재하여, Mo로 이루어지는 보조 용량 전극(6)이 형성되어 있다. 그리고, 반도체층(3)과, 게이트 절연막(4)과, 보조 용량 전극(6)에 의해, 보조 용량이 구성되어 있다.
또한, 도 1에 도시한 바와 같이, 2개의 게이트 전극(5)에는, 게이트 전극(5)과 동일한 층으로 이루어짐과 함께, 소정 방향으로 연장되는 게이트선(5a)이 접속되어 있다. 또한, 보조 용량 전극(6)에는, 보조 용량 전극(6)과 동일한 층으로 이루어짐과 함께, 게이트선(5a)에 평행한 방향으로 연장되는 보조 용량선(6a)이 접속되어 있다.
그리고, 도 2에 도시한 바와 같이, TFT 및 보조 용량을 피복하도록, 층간 절연막(7)이 형성되어 있다. 또한, 층간 절연막(7) 및 게이트 절연막(4)의 소스 영역(2a), 드레인 영역(2b) 및 반도체층(3)에 대응하는 영역에는, 각각, 컨택트홀(7a, 7b, 7c)이 형성되어 있다. 그리고, 컨택트홀(7a)을 통해, 소스 영역(2a)에 전기적으로 접속하도록, 소스 전극(8)이 형성되어 있다. 또한, 소스 전극(8)의 일부(8a)는, 컨택트홀(7c)을 통해, 반도체층(3)에 전기적으로 접속하도록 형성되어 있다. 그리고, 컨택트홀(7b)을 통해, 드레인 영역(2b)에 전기적으로 접속하도록, 드레인 전극(9)이 형성되어 있다. 소스 전극(8) 및 드레인 전극(9)은, 각각, 하층으로부터 상층을 향하여, Mo층과 Al층과 Mo층으로 이루어진다. 또한, 드레인 전극(9)에는, 도 1에 도시한 바와 같이, 드레인 전극(9)과 동일한 층으로 이루어짐과 함께, 게이트선(5a)과 직교하는 방향으로 연장되는 드레인선(9a)이 접속되어 있다.
또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 층간 절연막(7) 상의 소정 영역에는, 소스 전극(8) 및 드레인 전극(9)을 피복하도록, 약 2㎛∼약 3㎛의 두께를 갖는 감광성의 아크릴 수지 등의 수지 재료로 이루어지는 볼록 형상의 절연막(11)이 형성되어 있 다. 또한, 제1 실시예에서는, 볼록 형상의 절연막(11)의 두께는 약 2.2㎛로 하였다. 볼록 형상의 절연막(11)의 소스 전극(8)에 대응하는 영역에는, 컨택트홀(11a)이 형성되어 있다. 그리고, 볼록 형상의 절연막(11)의 측면과, 절연막(11)이 형성되어 있지 않은 층간 절연막(7)의 상면에 의해, 오목부(12)가 구성되어 있다. 또한, 볼록 형상의 절연막(11)은, 반사 영역(90a)에 대응하도록 형성되며, 오목부(12)는 투과 영역(90b)에 대응하도록 형성되어 있다. 또한, 오목부(12)는, 본 발명의 「오목 형상 영역」의 일례이다.
여기서, 제1 실시예에서는, 도 3에 도시한 바와 같이, 각 화소의 투과 영역(90b)에 대응하는 오목부(12)가, 행 방향으로 인접하는 화소간에서 일정한 폭 W를 유지한 상태 그대로 연속하도록 형성되어 있다. 또한, 오목부(12)는, 표시 영역(90c)의 외측에까지, 게이트선(5a)이 연장되는 방향을 따라 형성되어 있다. 즉, 오목부(12)의 양방의 단부(12a)는, 표시 영역(90c)의 외측에 배치되어 있다.
또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 볼록 형상의 절연막(11)의 상면 상에는, 컨택트홀(11a)을 통해 소스 전극(8)에 전기적으로 접속하도록, Al로 이루어지는 반사 전극(13)이 형성되어 있다. 이 반사 전극(13)은, 도 1에 도시한 바와 같이, 평면적으로 볼 때, TFT, 보조 용량, 게이트선(5a) 및 보조 용량선(6a)을 피복하도록 형성되어 있다. 그리고, 도 2에 도시한 바와 같이, 오목부(12)의 내면 상 및 반사 전극(13)의 표면 상에는, 약 100㎚∼약 150㎚의 두께를 가짐과 함께, IZO(Indium Zinc Oxide) 또는 ITO(Indium Tin Oxide) 등으로 이루어지는 투명 전극(14)이 형성되어 있다. 또한, 제1 실시예에서는, 투명 전극(14)의 두께는 약 100㎚로 하였다. 이 투명 전극(14)과 반사 전극(13)에 의해, 화소 전극이 구성되어 있다. 그리고, 화소 전극을 구성하는 투명 전극(14) 상에는, 약 20㎚∼약 100㎚의 두께를 갖는 폴리이미드로 이루어지는 배향막(15)이 형성되어 있다. 이 배향막(15)은, 도 1 및 도 3의 화살표 C 방향으로 러빙 처리(배향 처리)되어 있다. 또한, 제1 실시예에서는, 배향막(15)의 두께는 약 30㎚로 하였다.
그리고, 유리 기판(1)과 대향하는 위치에는, 도 2에 도시한 바와 같이, 유리 기판(대향 기판)(16)이 설치되어 있다. 유리 기판(16) 상에는, 약 1.5㎛∼약2.5㎛의 두께를 가짐과 함께, 적(R), 녹(G) 및 청(B)의 각 색을 나타내는 컬러 필터(17)가 형성되어 있다. 또한, 제1 실시예에서는, 컬러 필터(17)의 두께는 약 1.8㎛로 하였다. 컬러 필터(17) 상에는, 약 100㎚∼약 150㎚의 두께를 가짐과 함께, IZO 또는 ITO 등으로 이루어지는 투명 전극(18)이 형성되어 있다. 또한, 제1 실시예에서는, 투명 전극(18)의 두께는 약 100㎚로 하였다. 투명 전극(18) 상에는, 약 20㎚∼약 100㎚의 두께를 갖는 폴리이미드로 이루어지는 배향막(19)이 형성되어 있다. 또한, 제1 실시예에서는, 배향막(19)의 두께는 약 30㎚로 하였다. 이 배향막(19)은, 도 1 및 도 3의 화살표 D 방향으로 러빙 처리(배향 처리)되어 있다.
그리고, 배향막(15)과 배향막(19) 사이에는, 액정층(20)이 충전되어 있다. 또한, 층간 절연막(7) 상의 반사 영역(90a)에 대응하는 영역에 약 2㎛∼약 3㎛의 두께를 갖는 절연막(211)을 패터닝함으로써 얻어진 볼록 형상의 절연막(11)이 형성된 반사 영역(90a)에서의 액정층(20)의 두께는, 볼록 형상의 절연막(11)이 형성되어 있지 않은 투과 영역(90b)에서의 액정층(20)의 두께의 1/2로 된다. 또한, 제1 실시예에서는, 볼록 형상의 절연막(11)의 두께를 약 2.2㎛로 하였다. 이에 의해, 반사 영역(90a)에 입사한 광이 액정층(20)을 통과하는 거리(광로 길이)와, 투과 영역(90b)에 입사한 광이 액정층(20)을 통과하는 거리(광로 길이)를 동일하게 할 수 있다. 즉, 반사 영역(90a)에서는 광이 2회 액정층(20)을 통과하는 데 대하여, 투과 영역(90b)에서는 광이 1회만 액정층(20)을 통과하기 때문에, 반사 영역(90a)의 액정층(20)의 두께를, 투과 영역(90b)의 액정층(20)의 두께의 1/2로 함으로써, 반사 영역(90a)과 투과 영역(90b)의 광의 광로 길이가 동일하게 된다. 이에 의해, 투과 표시의 경우와 반사 표시의 경우와의 사이의 표시 품위 변동을 저감하는 것이 가능하게 된다. 또한, 유리 기판(1)의 이면 상 및 유리 기판(대향 기판)(16)의 이면 상에는, 각각, 약 0.4㎜∼0.8㎜ 두께를 갖는 타원 편광막(21)이 형성되어 있다. 또한, 제1 실시예에서는, 타원 편광막(21)의 두께는 약 0.5㎜로 하였다.
제1 실시예에서는, 상기한 바와 같이, 각 화소의 투과 영역(90b)에 대응하는 오목부(12)를, 동일한 행의 화소간에서 연속하도록 형성한다. 따라서, 오목부(12)를 반영한 오목 형상을 갖는 투명 전극(14) 상에 배향막(15)을 형성할 때에, 각 화소간에서, 오목부(12)에 대응하는 오목 형상 영역을 따라 배향막(15)을 유동시킬 수 있다. 이에 의해, 일부의 화소의 오목부(12)에 대응하는 오목 형상 영역에만 배향막(15)이 지나치게 고이는 것을 억제할 수 있으므로, 오목부(12)에 대응하는 오목 형상 영역에 형성되는 배향막(15)의 두께를 각 화소에서 실질적으로 균일하게 할 수 있다. 그 결과, 오목부(12)에 대응하는 오목 형상 영역에 형성되는 배향막(15)의 두께가 변동되는 것에 기인하는 표시 품위의 저하를 억제할 수 있다.
또한, 제1 실시예에서는, 오목부(12)의 양방의 단부(12a)를, 표시 영역(90c)의 외측에 배치한다. 즉, 오목부(12)의 행 방향의 단부(12a)는, 반사 전극(13) 및 투명 전극(14)에는 중첩되지 않는다. 따라서, 배향막(15)이 고이기 쉬운 오목부(12)에 대응하는 오목 형상 영역의 양방의 단부(12a)가 표시 영역(90c) 내에 배치되지 않기 때문에, 표시 영역(90c) 내의 오목 형상 영역에 위치하는 배향막(15)을 용이하게 균일한 두께로 형성할 수 있다. 이에 의해, 용이하게, 표시 품위의 저하를 보다 억제할 수 있다.
다음으로, 도 1∼도 7을 참조하여, 제1 실시예에 따른 반투과형 액정 표시 장치의 제조 프로세스에 대하여 설명한다.
우선, 도 4에 도시한 바와 같이, SiNx막 및 SiO2막으로 이루어지는 버퍼층(1a)을 구비한 유리 기판(1) 상의 소정 영역에, TFT를 구성하는 비단결정 실리콘 또는 비정질 실리콘으로 이루어지는 반도체층(2)과, 보조 용량 전극으로서 기능하는 비단결정 실리콘 또는 비정질 실리콘으로 이루어지는 반도체층(3)을 형성한다. 반도체층(2)을 형성할 때에는, 도 1에 도시한 바와 같이, 평면적으로 볼 때, コ자 형상으로 형성한다. 또한, 반도체층(2, 3)이 비정질 실리콘으로 이루어지는 경우에는, 결정화시키는 것이 바람직하다. 다음으로, 반도체층(2) 상에, SiNx막과 SiO2막과의 적층막으로 이루어지는 게이트 절연막(4)을 개재하여, Mo로 이루어지는 게이트 전극(5)을 형성한다. 이 후, 게이트 전극(5)을 마스크로 하여, 반도체층(2)에 불순물을 이온 주입함으로써, 각각의 채널 영역(2c)을 사이에 두는 2조의 소스 영역(2a) 및 드레인 영역(2b)을 형성한다. 이에 의해, 2개의 TFT가 형성된다.
또한, 반도체층(3) 상의 게이트 절연막(4)의 영역에, 보조 용량 전극(6)을 형성한다. 이에 의해, 반도체층(3)과, 게이트 절연막(4)과, 보조 용량 전극(6)으로 이루어지는 보조 용량이 형성된다. 또한, 도 1에 도시한 바와 같이, 2개의 게이트 전극(5)과 동일한 층에 의해, 소정 방향으로 연장되는 게이트선(5a)을 형성한다. 또한, 보조 용량 전극(6)과 동일한 층에 의해, 게이트선(5a)에 평행한 방향으로 연장되는 보조 용량선(6a)을 형성한다. 또한, 보조 용량 전극(6) 및 보조 용량선(6a)은, 게이트 전극(5) 및 게이트선(5a)의 패터닝 시에 동시에 형성하는 것이 바람직하다.
다음으로, 도 5에 도시한 바와 같이, 전면을 피복하도록, 층간 절연막(7)을 형성한다. 이 후, 층간 절연막(7) 및 게이트 절연막(4)의 소스 영역(2a), 드레인 영역(2b) 및 반도체층(3)에 대응하는 영역에, 각각, 컨택트홀(7a, 7b, 7c)을 형성한다.
그리고, 컨택트홀(7a)을 통해, 소스 영역(2a)에 전기적으로 접속하도록, 소스 전극(8)을 형성한다. 이 때, 소스 전극(8)의 일부(8a)가, 컨택트홀(7c)을 통해, 반도체층(3)에 전기적으로 접속하도록 형성한다. 또한, 컨택트홀(7b)을 통해, 드레인 영역(2b)에 전기적으로 접속하도록, 드레인 전극(9)을 형성한다. 또한, 도 1에 도시한 바와 같이, 드레인 전극(9)과 동일한 층에 의해, 게이트선(5a)과 직교하는 방향으로 연장되는 드레인선(9a)을 드레인 전극(9)과 동시에 형성한다. 이 후, 전면을 피복하도록, 절연막(11)을 형성한다.
다음으로, 도 6에 도시한 바와 같이, 절연막(11)을 패터닝함으로써, 반사 영역(90a)에 볼록 형상의 절연막(11)을 형성한다. 이 때, 제1 실시예에서는, 도 3에 도시한 바와 같이, 볼록 형상의 절연막(11)이 형성되지 않는 투과 영역(90b)에 위치하는 오목부(12)가 동일한 행의 화소간에서 연속하는 형상으로 되도록, 절연막(11)을 패터닝한다. 또한, 오목부(12)의 양방의 단부(12a)가 표시 영역(90c)의 외측에 배치되도록 절연막(211)을 패터닝한다. 또한, 도 6에 도시한 바와 같이, 절연막(11)의 소스 전극(8)에 대응하는 영역에, 컨택트홀(11a)을 형성한다.
다음으로, 도 7에 도시한 바와 같이, 볼록 형상의 절연막(11)의 상면 상에, 컨택트홀(11a)을 통해 소스 전극(8)에 전기적으로 접속하도록, 반사 전극(13)을 형성한다. 또한, 오목부(12)의 내면 상 및 반사 전극(13)의 표면 상에, IZO 또는 ITO 등으로 이루어지는 투명 전극(14)을 형성한다. 이에 의해, 투명 전극(14)과 반사 전극(13)으로 이루어지는 화소 전극이 형성된다.
이 후, 롤러 전사법 등을 이용하여, 화소 전극을 구성하는 투명 전극(14) 상에, 폴리이미드로 이루어지는 배향막(15)을 형성한다. 이 때, 제1 실시예에서는, 도 3에 도시한 바와 같이, 오목부(12)가 각 화소간에서 연속하도록 형성되어 있기 때문에, 각 화소간에서, 오목부(12)를 따라 배향막(15)을 구성하는 폴리이미드가 유동된다. 이에 의해, 각 화소간에서 오목부(12) 상에 형성되는 배향막(15)의 두께가 균일화된다.
다음으로, 도 2에 도시한 바와 같이, 유리 기판(1)과 대향하도록 설치된 유리 기판(대향 기판)(16) 상에, 컬러 필터(17), 투명 전극(18) 및 배향막(19)을 순차적으로 형성한다. 그 후, 배향막(15)과 배향막(19) 사이에, 액정층(20)을 충전한다. 그리고, 유리 기판(1)의 이면 상 및 유리 기판(대향 기판)(16)의 이면 상에, 타원 편광막(21)을 형성함으로써, 제1 실시예에 따른 반투과형 액정 표시 장치가 형성된다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 이 제1 실시예의 변형예에서는, 상기 제1 실시예의 구조에서, 반사 영역(91a)에 대응하는 볼록 형상의 절연막(31)이, 게이트 전극(5) 및 게이트선(5a)의 상방의 영역에는 형성되어 있지 않은 경우에 대해 설명한다. 즉, 이 제1 실시예의 변형예에서는, 1화소 내에서, 볼록 형상의 절연막(31)이 형성되는 반사 영역(91a)을 사이에 두도록, 2개의 오목부(32)(투과 영역(91b))가 형성되어 있다. 또한, 오목부(32)는, 본 발명의 「오목 형상 영역」의 일례이다.
구체적으로는, 이 제1 실시예의 변형예에서는, 볼록 형상의 절연막(31)은, 감광성의 아크릴 수지 등의 수지 재료로 이루어짐과 함께, 약 2㎛∼약 3㎛의 두께를 갖는다. 이 제1 실시예의 변형예에서는, 볼록 형상의 절연막(31)의 두께는, 약 2.2㎛으로 한다. 그리고, 도 9에 도시한 바와 같이, 볼록 형상의 절연막(31)의 상면 상에는, 소스 전극(8)에 대응하는 영역에 컨택트홀(33a)을 갖는 반사 전극(33)이 형성되어 있다. 또한, 컨택트홀(31a, 33a)을 통해 소스 전극(8)에 전기적으로 접속함과 함께, 오목부(32)의 내면 상 및 반사 전극(33)의 표면 상을 따라 연장되 도록, 약 100㎚∼약 150㎚의 두께를 갖는 IZO 또는 ITO 등으로 이루어지는 투명 전극(34)이 형성되어 있다. 이 제1 실시예의 변형예에서는, 투명 전극(34)의 두께는 약 100㎚로 하였다. 이 투명 전극(34)과 반사 전극(33)에 의해, 화소 전극이 구성되어 있다. 투명 전극(34) 상에는, 약 20㎚∼약 100㎚의 두께를 갖는 폴리이미드로 이루어지는 배향막(35)이 형성되어 있다. 이 제1 실시예의 변형예에서는, 배향막(35)의 두께는 약 30㎚로 하였다.
이 제1 실시예의 변형예에 따른 반투과형 액정 표시 장치에서는, 투과 영역(90b)에 대응하는 오목부(32)의 형성 영역을 넓힘으로써, 볼록 형상의 절연막(31)의 상면 상에 형성되는 반사 전극(33)의 형성 영역을 작게 하고 있다. 이 때문에, 이 제1 실시예의 변형예에 따른 반투과형 액정 표시 장치는, 상기 제1 실시예의 반사 영역(90a)보다 작은 반사 영역(91a)을 갖고 있음과 함께, 상기 제1 실시예의 투과 영역(90b)보다 큰 투과 영역(91b)을 갖고 있다. 이와 같이, 반사 영역(91a) 및 투과 영역(91b)의 크기를 변경하였다고 해도, 상기 제1 실시예와 마찬가지로, 오목부(32)에 대응하는 오목 형상 영역에 형성되는 배향막(35)의 두께를 균일화할 수 있다.
또한, 도 1과 도 8을 비교하면 명백해지는 바와 같이, 반사 영역(90a)에 TFT 및 보조 용량을 중첩하여 배치할 필요는 없다. 단, 박막 트랜지스터 및 보조 용량은 차광 영역으로 된다. 이 때문에, 박막 트랜지스터 및 보조 용량이 배치된 영역은, 반사 영역으로 하는 것이 바람직하다.
(제2 실시예)
도 10을 참조하면, 이 제2 실시예에서는, TFT측 기판 상에 볼록 형상의 절연막을 형성한 상기 제1 실시예와 달리, 대향 기판 상에 볼록 형상의 절연막을 형성함으로써, 대향 기판측에 오목부를 형성하는 예에 대하여 설명한다.
이 제2 실시예에서는, 소스 전극(8) 및 드레인 전극(9)을 피복하도록, 소스 전극(8)에 대응하는 영역에 컨택트홀(40a)을 갖는 평탄화막(40)이 형성되어 있다. 평탄화막(40)의 반사 영역(90a)에는, 컨택트홀(40a)을 통해 소스 전극(8)에 전기적으로 접속하도록, Al로 이루어지는 반사 전극(43)이 형성되어 있다. 그리고, 반사 전극(43)을 피복하도록, 약 100㎚∼약 150㎚의 두께를 가짐과 함께, IZO 또는 ITO 등으로 이루어지는 투명 전극(44)이 형성되어 있다. 또한, 제2 실시예에서는, 투명 전극(44)의 두께는 약 100㎚로 하였다. 이 투명 전극(44)과 반사 전극(43)에 의해, 화소 전극이 구성되어 있다. 또한, 화소 전극을 구성하는 투명 전극(44) 상에는, 약 20㎚∼약 100㎚의 두께를 갖는 폴리이미드로 이루어지는 배향막(45)이 형성되어 있다. 또한, 제2 실시예에서는, 배향막(45)의 두께는 약 30㎚로 하였다.
그리고, 유리 기판(1)과 대향하는 위치에는, 유리 기판(대향 기판)(16)이 설치되어 있다. 유리 기판(16) 상에는, 볼록 형상의 절연막(41)이 형성되어 있다. 그리고, 볼록 형상의 절연막(41)의 측면과, 절연막(41)이 형성되어 있지 않은 유리 기판(16)의 상면에 의해, 오목부(42)가 구성되어 있다. 이 볼록 형상의 절연막(41) 및 오목부(42)가, 도 2에 도시한 제1 실시예의 볼록 형상의 절연막(11) 및 오목부(12)에 상당하는 것이다. 또한, 오목부(42)는, 본 발명의 「오목 형상 영역」의 일례이다.
여기서, 제2 실시예에서는, 도 3에 도시한 제1 실시예와 마찬가지로, 각 화소의 투과 영역(90b)에 대응하는 오목부(42)가, 행 방향으로 인접하는 화소간에서 일정한 폭을 유지한 상태 그대로 연속하도록 형성되어 있다. 또한, 오목부(42)는, 표시 영역(도시 생략)의 외측에까지, 게이트선(도시 생략)이 연장되는 방향을 따라 형성되어 있다. 즉, 오목부(42)의 양방의 단부(도시 생략)는, 표시 영역의 외측에 배치되어 있다.
또한, 절연막(41)의 상면 상 및 오목부(42)의 내면 상에는, 상기 제1 실시예와 마찬가지인 컬러 필터(47)와, 투명 전극(48)과, 배향막(49)이 형성되어 있다. 그리고, 컬러 필터(47), 투명 전극(48) 및 배향막(49)은, 볼록 형상의 절연막(41) 및 오목부(42)를 반영한 요철 형상으로 형성되어 있다. 그리고, 배향막(45)과 배향막(49) 사이에는 액정층(50)이 충전되어 있다.
제2 실시예에서는, 상기와 같이, 유리 기판(대향 기판)(16)에 형성된 각 화소의 투과 영역(90b)에 대응하는 오목부(42)를, 동일한 행의 화소간에서 연속하도록 형성함으로써, 오목부(42)를 반영한 오목 형상을 갖는 투명 전극(48) 상에 배향막(49)을 형성할 때에, 각 화소간에서, 오목부(42)에 대응하는 오목 형상 영역을 따라 배향막(49)을 유동시킬 수 있다. 이에 의해, 일부의 화소의 오목부(42)에 대응하는 영역에만 배향막(49)이 지나치게 고이는 것을 억제할 수 있으므로, 오목부(42)에 대응하는 오목 형상 영역에 형성되는 배향막(49)의 두께를 각 화소에서 실질적으로 균일하게 할 수 있다. 그 결과, 오목부(42)에 대응하는 오목 형상 영역에 형성되는 배향막(49)의 두께가 변동되는 것에 기인하는 표시 품위의 저하를 억제할 수 있다.
또한, 제2 실시예에서는, 상기한 바와 같이, 컬러 필터(47)를, 볼록 형상의 절연막(41)의 상면 상 및 오목부(42)의 내면 상에 형성함으로써, 오목부(42)의 내면 상에 컬러 필터(47)를 구성하는 재료가 고이기 쉽기 때문에, 용이하게, 볼록 형상의 절연막(41)의 상면 상에 위치하는 컬러 필터(47)의 두께와, 오목부(42)의 내면 상에 위치하는 컬러 필터(47)의 두께를 다르게 할 수 있다. 이에 의해, 용이하게, 1종류의 컬러 필터(47)로 2종류의 색을 표시시킬 수 있다.
도 11을 참조하면, 이 제2 실시예의 제1 변형예에 따른 반투과형 액정 표시 장치는, 유리 기판(대향 기판)(16)과 볼록 형상의 절연막(61) 사이에, 반사 영역(90a)에 대응하는 영역에 개구부(67a)를 갖는 컬러 필터(67)가 형성되어 있다. 그리고, 볼록 형상의 절연막(61)의 측면과, 절연막(61)이 형성되어 있지 않은 컬러 필터(67)의 상면에 의해, 오목부(62)가 구성되어 있다. 절연막(61)은, 약 2㎛∼약 3㎛의 두께를 갖는 감광성의 아크릴 수지 등의 수지 재료로 이루어진다. 이 제2 실시예의 변형예에서는, 볼록 형상의 절연막(61)의 두께는 약 2.2㎛로 하였다. 또한, 오목부(62)는, 본 발명의 「오목 형상 영역」의 일례이다. 또한, 절연막(61)의 상면 상 및 오목부(62)의 내면 상에는, 상기 제2 실시예와 마찬가지인 투명 전극(68)과, 배향막(69)이 형성되어 있다.
이 제2 실시예의 변형예에서는, 컬러 필터(67)를 통해 반사 영역(90a)에 입사한 광의 일부가 컬러 필터(67)를 다시 통과하지 않고 개구부(67a)를 통과하기 때문에, 반사 영역(90a)에 입사한 광이 컬러 필터(67)를 2회 통과하는 것에 기인하는 광 강도의 저하를 억제할 수 있다. 이에 의해, 반사 영역(90a)에 입사한 광의 반사율을 향상시킬 수 있기 때문에, 휘도를 높일 수 있다.
도 12를 참조하면, 이 제2 실시예의 제2 변형예에 따른 반투과형 액정 표시 장치는, 유리 기판(대향 기판)(76)을 에칭함으로써 볼록부(76a)가 형성되어 있다. 그리고, 그 볼록부(76a)와 유리 기판(76)의 볼록부(76a) 이외의 표면에 의해, 오목부(76b)가 구성되어 있다. 또한, 볼록부(76a)는, 본 발명의 「절연막」 및 「절연성의 부분」의 일례이고, 오목부(76b)는, 본 발명의 「오목 형상 영역」의 일례이다. 이 제2 실시예의 제2 변형예에서는, 상기한 바와 같이, 유리 기판(대향 기판)(76)을 에칭함으로써, 볼록부(76a)를 형성한다. 이에 의해, 성막 공정 및 에칭 공정을 이용하여, 유리 기판(76) 상에 볼록 형상의 절연막을 새롭게 형성하는 경우에 비해, 제조 프로세스를 간략화할 수 있다.
(제3 실시예)
도 13을 참조하면, 이 제3 실시예에서는, 상기 제1 실시예의 구조에서, 볼록 형상의 절연막이 형성되어 있지 않은 영역이, 행 방향으로 인접하는 화소간에서 연속하도록, 또한, 열 방향으로 인접하는 화소간의 일부에서 연속하도록, 볼록 형상의 절연막을 아일런드 형상(섬 형상)으로 형성하는 경우에 대해 설명한다.
즉, 이 제3 실시예에서는, 도 13에 도시한 바와 같이, 층간 절연막(7) 상의 드레인선(9a)에 대응하는 영역 이외의 게이트선(5a)에 대응하는 영역에만, 상기 제1 실시예와 마찬가지의 수지 재료로 이루어지는 볼록 형상의 절연막(11b)이 아일런드 형상(섬 형상)으로 형성되어 있다. 이에 의해, 각 화소의 투과 영역(90b)에 대응하는 볼록 형상의 절연막(11b)이 형성되어 있지 않은 영역(12b)은, 행 방향으로 인접하는 화소간에서 연속하도록, 또한, 열 방향으로 인접하는 화소간의 드레인선(9a)에 대응하는 영역에서 연속하도록 형성된다. 또한, 볼록 형상의 절연막(11b)이 형성되어 있지 않은 영역(12b)은, 상기 제1 실시예의 오목부(12)에 상당하는 것이다. 또한, 영역(12b)은, 본 발명의 「오목 형상의 영역」의 일례이다.
제3 실시예에서는, 상기한 바와 같이, 드레인선(9a)에 대응하는 영역 이외의 게이트선(5a)에 대응하는 영역에만, 볼록 형상의 절연막(11b)을 아일런드 형상(섬 형상)으로 형성함으로써, 각 화소의 투과 영역(90b)에 대응하는 볼록 형상의 절연막(11b)이 형성되어 있지 않은 영역(12b)이, 행 방향으로 인접하는 화소간에서 연속하도록, 또한, 열 방향으로 인접하는 화소간의 드레이선(9a)에 대응하는 영역에서 연속하도록 형성되기 때문에, 배향막을 형성할 때에, 행 방향뿐만 아니라, 열 방향으로도 배향막을 유동시킬 수 있다. 이에 의해, 상기 제1 실시예에 비해, 일부의 화소에만 배향막이 지나치게 머무는 것을 보다 억제할 수 있으므로, 배향막의 두께가 변동되는 것에 기인하는 표시 품위의 저하를 보다 억제할 수 있다.
(제4 실시예)
도 14 및 도 15를 참조하면, 이 제4 실시예에 따른 반투과형 액정 표시 장치는, 1화소 내에, 반사 영역(212)이 형성되어 있는 반사 영역(250a)과 반사 영역(212)이 형성되어 있지 않은 투과 영역(250b)과의 2개의 영역을 갖고 있다.
제4 실시예의 상세한 구조로서는, 도 15에 도시한 바와 같이, 상술한 실시예 와 마찬가지로, 버퍼층(201a)을 구비한 유리 기판(201) 상에, 반도체층(202), 게이트 절연막(204) 및 게이트 전극(205)을 구비한 TFT와, 반도체층(203), 게이트 절연막(204) 및 다른쪽의 보조 용량 전극(206)을 구비한 보조 용량이 형성되어 있다. 반도체층(202)에는, 소스 영역(202a)과, 드레인 영역(202b)과, 채널 영역(202c)이 형성되어 있다.
그리고, 도 15에 도시한 바와 같이, TFT 및 보조 용량을 피복하도록, 층간 절연막(207)이 형성되어 있다. 또한, 층간 절연막(207) 및 게이트 절연막(204)의 컨택트홀(207a, 207b)을 통해, 소스 전극(208) 및 드레인 전극(209)이 형성되어 있다. 또한, 소스 전극(208)의 일부(208a)는, 컨택트홀(207c)을 통해, 한쪽의 보조 용량 전극으로서 기능하는 반도체층(203)에 전기적으로 접속하도록 형성되어 있다.
또한, 도 15에 도시한 바와 같이, 소스 전극(208) 및 드레인 전극(209)을 피복하도록, 볼록 형상의 절연막(211)이 형성되어 있다. 그리고, 볼록 형상의 절연막(211) 상에는, 컨택트홀(211a)을 통해 소스 전극(208)에 전기적으로 접속하도록, 반사 전극(212)이 형성되어 있다.
여기서, 제4 실시예에서는, 도 15에 도시한 바와 같이, 드레인 전극(209) 및 드레인선(209a)(도 14 참조)에 대응하는 영역(251a) 이외의 영역(252a)에만, 반사 전극(212)에 확산 구조(212a)를 형성하기 위한 요철부(211b)가 형성되어 있다. 즉, 영역(251a)에는 요철부(211b)가 형성되어 있지 않다. 또한, 요철부(211b)의 볼록부의 상면에 대한 오목부의 저면의 깊이는 약 0.7㎛이다.
제4 실시예에서는, 상기한 바와 같이, 확산 구조(212a)를 갖지 않는 반사 전 극(212)이 형성되는 드레인 전극(209) 및 드레인선(209a)에 대응하는 영역(251a)의 볼록 형상의 절연막(211)의 상면에는, 확산 구조(212a)를 위한 요철부(211b)를 형성할 필요가 없다. 이에 의해, 요철부(211b)의 오목부가 지나치게 커지는 것에 기인하여, 드레인 전극(209) 및 드레인선(209a)과 반사 전극(212)이 접촉하는 것에 의해 단락하는 문제가 발생하지 않는다. 그 결과, 단락 불량을 억제할 수 있으므로, 단락 불량에 기인하는 수율의 저하를 억제할 수 있다. 또한, 영역(252a)의 볼록 형상의 절연막(211)의 상면에서는, 확산 구조(212a)를 갖는 반사 전극(212)을 형성함으로써, 반사 특성을 향상시킬 수 있다. 이와 같이, 제4 실시예에 따른 반투과형 액정 표시 장치에서는, 반사 특성을 향상시키면서, 수율의 저하를 억제할 수 있다.
또한, 제4 실시예에서는, 상기한 바와 같이, 영역(252a)의 볼록 형상의 절연막(211)의 상면에, 요철부(211b)를 형성함으로써, 볼록 형상의 절연막(211) 상에 형성되는 반사 전극(212)의 요철부(211b)에 대응하는 영역이, 요철부(211b)를 반영한 요철 형상으로 되기 때문에, 용이하게, 영역(252a)에, 요철 형상의 확산 구조(212a)를 갖는 반사 전극(212)을 형성할 수 있다.
다음으로, 도 14∼도 18을 참조하여, 제4 실시예에 따른 반투과형 액정 표시 장치의 제조 프로세스에 대하여 설명한다.
도 16에 도시한 바와 같이, 볼록 형상의 절연막(211)의 상방에, 랜덤하게 배치된 구멍이 형성된 영역(230a)을 갖는 포토마스크(230)를 설치한다. 이 후, 포토마스크(230)를 이용하여 볼록 형상의 절연막(211)의 상면의 소정 영역만을 노광(하 프 노광)한 후, 현상함으로써, 도 17에 도시한 바와 같이, 볼록 형상의 절연막(211)의 상면의 소정 영역에 요철부(211b)를 형성한다. 이 때, 제4 실시예에서는, 드레인 전극(209) 및 드레인선(209a)(도 14 참조)에 대응하는 영역(251a) 이외의 영역(252a)에만 요철부(211b)가 형성되도록, 노광 및 현상한다. 이에 의해, 요철부(211b)의 오목부가 너무 깊게 되었다고 해도, 드레인 전극(209) 및 드레인선(209a)(도 1 참조)의 표면이 노출되는 것이 방지된다.
다음으로, 도 18에 도시한 바와 같이, 볼록 형상의 절연막(211) 상에, 컨택트홀(211a)을 통해 소스 전극(208)에 전기적으로 접속하도록, 반사 전극(212)을 형성한다. 이 때, 반사 전극(212)에는, 드레인 전극(209) 및 드레인선(209a)(도 1 참조)에 대응하는 영역(251a) 이외의 영역(252a)에만, 볼록 형상의 절연막(211)의 상면의 요철부(211b)를 반영한 요철 형상의 확산 구조(212a)가 형성된다.
다음으로, 볼록 형상의 절연막(211) 및 반사 전극(212)을 피복하도록, 투명 전극(213)을 형성한다. 이 때, 영역(252a)에는, 볼록 형상의 절연막(211)의 상면의 요철부(211b)를 반영한 요철부(213a)가 형성된다. 이에 의해, 투명 전극(213)과 반사 전극(212)으로 이루어지는 화소 전극이 형성된다. 이 후, 롤러 전사법 등을 이용하여, 투명 전극(213) 상에, 배향막(214)을 형성한다. 이 때, 배향막(214)의 드레인 전극(209) 및 드레인선(209a)(도 14 참조)에 대응하는 영역(251a) 이외의 영역(252a)에는, 볼록 형상의 절연막(211)의 상면의 요철부(211b)를 반영한 요철부(214a)가 형성된다.
(제5 실시예)
도 19 및 도 20을 참조하면, 이 제5 실시예에서는, 상기 제4 실시예와 달리, 1화소 내에 반사 영역(260a)만을 갖는 반사형 액정 표시 장치에 본 발명을 적용하는 예에 대하여, 주로 제4 실시예와 다른 부분을 설명한다.
제5 실시예에서는, 상기 제4 실시예와 달리, 반사 영역(260a)만 형성되어 있고, 투과 영역은 형성되어 있지 않다. 이 때문에, 제5 실시예에서는, 볼록 형상의 절연막을 형성함으로써, 반사 영역과 투과 영역에서 액정층의 두께를 다르게 할 필요가 없다. 따라서, 제5 실시예에서는, 상기 제4 실시예와 달리, 실질적으로 평탄한 절연막(241)이 형성되어 있다. 그리고, 절연막(241) 상에는, 컨택트홀(241a)을 통해 소스 전극(208)에 전기적으로 접속하도록, 반사 전극(242)이 화소마다 형성되어 있다.
또한, 제5 실시예에서는, 도 20에 도시한 바와 같이, 실질적으로 평탄한 절연막(241)의 상면의 드레인 전극(209) 및 드레인선(209a)(도 19 참조)에 대응하는 영역(261a) 이외의 영역(262a)에만, 반사 전극(242)에 확산 구조(242a)를 형성하기 위한 요철부(241b)가 형성되어 있다. 이 때문에, 도 19 및 도 20에 도시한 바와 같이, 반사 전극(242)에는, 드레인 전극(209) 및 드레인선(209a)에 대응하는 영역(261a) 이외의 영역(262a)에만, 절연막(241)의 상면의 요철부(241b)를 반영한 요철 형상의 확산 구조(242a)가 형성되어 있다.
그리고, 도 20에 도시한 바와 같이, 반사 전극(242) 상에는, 투명 전극(243)이 형성되어 있다. 이 투명 전극(243)과 반사 전극(242)에 의해, 화소 전극이 구성되어 있다. 그리고, 투명 전극(243) 상에는 배향막(244)이 형성되어 있다. 또 한, 투명 전극(243) 및 배향막(244)의 드레인 전극(209) 및 드레인선(209a)(도 19 참조)에 대응하는 영역(261a) 이외의 영역(262a)에는, 각각, 절연막(241)의 상면의 요철부(241b)를 반영한 요철부(243a, 244a)가 형성되어 있다.
또한, 제5 실시예의 효과는 상기 제4 실시예와 마찬가지이다.
또한, 금회 개시된 실시예는, 모든 점에서 예시로서 제한적인 것이 아니다라고 생각되어야 한다. 본 발명의 범위는, 상기한 실시예의 설명이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 도시되며, 범위 내에서의 모든 변경이 포함된다.
예를 들면, 상기 제1 및 제2 실시예에 한정되는 것이 아니라, 도 21에 도시한 바와 같이, 드레인선(9a)에 평행한 방향을 따라 연장되는 각 화소간에서 연속한 오목부(82)를 형성하도록 해도 된다.
또한, 상기 제1 및 제2 실시예에 한정되는 것이 아니라, 도 22에 도시한 바와 같이, 드레인선(9a)에 대응하는 영역에 위치하는 볼록 형상의 절연막(81a)을, 드레인선(9a)을 따라 양 방향으로 소정량 돌출시킴으로써, 폭이 작은 잘록한 부분을 갖는 연속적인 오목부(82a)를 형성해도 된다. 또한, 도 23에 도시한 바와 같이, 드레인선(9a)에 대응하는 영역에 위치하는 볼록 형상의 절연막(81b)을, 드레인선(9a)을 따라 한쪽 방향으로 소정량 돌출시킴으로써, 폭이 작은 잘록한 부분을 갖는 연속적인 오목부(82b)를 형성해도 된다. 도 22 및 도 23에 도시한 평면 형상을 갖는 볼록 형상의 절연막(81a 또는 81b)을 형성하면, 볼록 형상의 절연막(81a, 81b)의 형성 영역이 커지기 때문에, 그 만큼, 반사 영역을 크게 할 수 있다. 또한, 드레인선(9a)은, 금속(Mo 및 Al)으로 형성되어 있기 때문에, 오목부(82a, 82b) 의 드레인선(9a)에 대응하는 영역은, 차광 영역으로 된다. 이 때문에, 드레인선(9a) 등의 금속층은, 가능한 한 반사 영역으로 하는 것이 바람직하다. 단, 오목부(82a, 82b)의 폭 W1에 대하여, 잘록한 부분의 폭 W2가 너무 크면, 배향막의 유동성이 저하되기 때문에, W2/W1>3/4으로 설정하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제1 및 제2 실시예에 한정되는 것이 아니라, 도 24에 도시한 바와 같이, 게이트선(5a)을 따라 연장되는 오목부(82c)를 2분할함과 함께, 그 분할된 오목부(82c)의 한쪽의 단부(83c)만을, 표시 영역(90c)의 외측에 배치하도록 해도 된다.
또한, 상기 제1∼제3 실시예에 한정되는 것이 아니라, コ자 형상 이외의 형상을 갖는 반도체층에, 소스 영역, 드레인 영역 및 채널 영역이 각 1개씩 형성된 박막 트랜지스터를 형성하도록 해도 된다.
또한, 상기 제4 및 제5 실시예에 한정되는 것이 아니라, 요철 형상 이외의 확산 구조를 이용해도 된다.
또한, 상기 제4 및 제5 실시예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 금속층으로서, 드레인 전극 및 드레인선 이외의 금속층을 적용함과 함께, 그 금속층에 대응하는 영역 이외의 반사 영역에, 확산 구조를 갖는 반사막을 형성하도록 해도 된다.
또한, 상기 제4 및 제5 실시예에 한정되는 것이 아니라, 액티브 매트릭스형의 액정 표시 장치 이외의 액정 표시 장치에도 적용 가능하다. 예를 들면, 액티브 매트릭스형의 액정 표시 장치 이외의 액정 표시 장치로서, 패시브 매트릭스형의 액정 표시 장치나 세그먼트형의 액정 표시 장치 등이 있다. 또한, 액정 표시 장치 이외의 표시 장치에도 적용 가능하다.
또한, 상기 제4 및 제5 실시예에 한정되는 것이 아니라, 석영 및 플라스틱 등으로 이루어지는 투명 기판을 이용하도록 해도 된다. 또한, 버퍼층을 구비하고 있지 않은 유리 기판을 이용해도 된다.
또한, 상기 제4 및 제5 실시예에 한정되는 것이 아니라, 드레인 전극 및 드레인선에 대응하는 영역 외에, 소스 전극에 대응하는 영역에도 확산 구조를 형성하지 않은 구조이어도 된다. 이 경우, 확산 구조를 형성할 때에, 드레인 전극 등과 동일한 층으로 이루어지는 소스 전극이 손상되는 것을 억제할 수 있다.
또한, 상기 제4 및 제5 실시예에 한정되는 것이 아니라, 박막 트랜지스터를 구성하는 반도체층과 보조 용량을 구성하는 반도체층을 직접 접속하도록 해도 된다.
또한, 상기 제5 실시예에 한정되는 것이 아니라, 투과 영역을 형성하지 않은 경우에는, 반사 전극만으로 화소 전극을 구성하도록 해도 된다.
본 발명에 따르면, 배향막의 두께가 변동되는 것에 기인하는 표시 품위의 저하를 억제하는 것이 가능한 표시 장치를 제공할 수 있다.

Claims (11)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 반사 영역과 투과 영역을 갖는 표시 영역을 포함하며, 복수의 화소로 이루어지는 표시 장치에 있어서,
    기판 상의 상기 반사 영역에 대응하는 영역에 볼록 형상의 절연막이 형성된 볼록 형상의 영역과,
    상기 볼록 형상의 절연막이 형성되어 있지 않은 오목 형상의 영역과,
    상기 볼록 형상의 영역 및 상기 오목 형상의 영역에 공통적으로 형성된 배향막을 구비하고,
    상기 볼록 형상의 절연막은 2㎛이상의 두께를 가지며,
    상기 오목 형상의 영역은, 인접하는 화소간에서 연속하도록 형성됨과 함께, 상기 오목 형상의 영역의 적어도 한쪽의 단부는, 상기 표시 영역의 외측에 배치되어 있는 표시 장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 반사 영역과 투과 영역을 갖는 표시 영역을 포함하며, 복수의 화소로 이루어지는 표시 장치에 있어서,
    기판 상의 상기 반사 영역에 대응하는 영역에 볼록 형상의 절연막이 형성된 볼록 형상의 영역과,
    상기 볼록 형상의 절연막이 형성되어 있지 않은 오목 형상의 영역과,
    상기 볼록 형상의 영역 및 상기 오목 형상의 영역에 공통적으로 형성된 배향막을 구비하고,
    상기 볼록 형상의 절연막은 2㎛이상의 두께를 가지며,
    상기 오목 형상의 영역은, 인접하는 화소간에서 연속하도록 형성되어 있고,
    상기 기판은, 한쌍의 소스/드레인 영역 및 게이트 전극을 갖는 박막 트랜지스터가 형성되는 측의 기판과, 상기 박막 트랜지스터가 형성되지 않는 측의 대향 기판 중 어느 하나를 포함하는 표시 장치.
  7. 반사 영역과 투과 영역을 갖는 표시 영역을 포함하며, 복수의 화소로 이루어지는 표시 장치에 있어서,
    기판 상의 상기 반사 영역에 대응하는 영역에 볼록 형상의 절연막이 형성된 볼록 형상의 영역과,
    상기 볼록 형상의 절연막이 형성되어 있지 않은 오목 형상의 영역과,
    상기 볼록 형상의 영역 및 상기 오목 형상의 영역에 공통적으로 형성된 배향막을 구비하고,
    상기 볼록 형상의 절연막은 2㎛이상의 두께를 가지며,
    상기 오목 형상의 영역은, 인접하는 화소간에서 연속하도록 형성되어 있고,
    상기 기판은, 상기 박막 트랜지스터가 형성되지 않는 측의 대향 기판이고,
    상기 기판과 상기 배향막 사이에 형성되며, 상기 볼록 형상의 영역 및 상기 오목 형상의 영역 상에 형성된 컬러 필터를 더 구비하는 표시 장치.
  8. 반사 영역과 투과 영역을 갖는 표시 영역을 포함하며, 복수의 화소로 이루어지는 표시 장치에 있어서,
    기판 상의 상기 반사 영역에 대응하는 영역에 볼록 형상의 절연막이 형성된 볼록 형상의 영역과,
    상기 볼록 형상의 절연막이 형성되어 있지 않은 오목 형상의 영역과,
    상기 볼록 형상의 영역 및 상기 오목 형상의 영역에 공통적으로 형성된 배향막을 구비하고,
    상기 오목 형상의 영역은, 인접하는 화소간에서 연속하도록 형성되어 있고,
    상기 기판은, 상기 박막 트랜지스터가 형성되지 않는 측의 대향 기판이고,
    상기 기판과 상기 볼록 형상의 절연막 사이에 형성되며, 상기 반사 영역에 대응하는 영역의 일부에 개구부를 갖는 컬러 필터를 더 구비하는 표시 장치.
  9. 반사 영역과 투과 영역을 갖는 표시 영역을 포함하며, 복수의 화소로 이루어지는 표시 장치에 있어서,
    기판 상의 상기 반사 영역에 대응하는 영역에 볼록 형상의 절연막이 형성된 볼록 형상의 영역과,
    상기 볼록 형상의 절연막이 형성되어 있지 않은 오목 형상의 영역과,
    상기 볼록 형상의 영역 및 상기 오목 형상의 영역에 공통적으로 형성된 배향막을 구비하고,
    상기 오목 형상의 영역은, 인접하는 화소간에서 연속하도록 형성되어 있고,
    상기 기판은, 상기 박막 트랜지스터가 형성되지 않는 측의 대향 기판이고,
    상기 볼록 형상의 절연막은, 상기 기판에 일체적으로 형성된 절연성의 부분을 포함하는 표시 장치.
  10. 반사 영역과 투과 영역을 갖는 표시 영역을 포함하며, 복수의 화소로 이루어지는 표시 장치에 있어서,
    기판 상의 상기 반사 영역에 대응하는 영역에 볼록 형상의 절연막이 형성된 볼록 형상의 영역과,
    상기 볼록 형상의 절연막이 형성되어 있지 않은 오목 형상의 영역과,
    상기 볼록 형상의 영역 및 상기 오목 형상의 영역에 공통적으로 형성된 배향막을 구비하고,
    상기 오목 형상의 영역은, 인접하는 화소간에서 연속하도록 형성되어 있고,
    상기 오목 형상의 영역은, 상기 인접하는 화소 사이에 잘록한 부분을 갖도록, 상기 인접하는 화소간에서 연속하도록 형성되어 있는 표시 장치.
  11. 반사 영역과 투과 영역을 갖는 표시 영역을 포함하며, 복수의 화소로 이루어지는 표시 장치에 있어서,
    기판 상의 상기 반사 영역에 대응하는 영역에 볼록 형상의 절연막이 형성된 볼록 형상의 영역과,
    상기 볼록 형상의 절연막이 형성되어 있지 않은 오목 형상의 영역과,
    상기 볼록 형상의 영역 및 상기 오목 형상의 영역에 공통적으로 형성된 배향막을 구비하고,
    상기 볼록 형상의 절연막은 2㎛이상의 두께를 가지며,
    상기 오목 형상의 영역은, 인접하는 화소간에서 연속하도록 형성되어 있는 표시 장치.
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3953320B2 (ja) 2001-12-28 2007-08-08 三洋電機株式会社 表示装置及びその製造方法
TWI296062B (en) * 2001-12-28 2008-04-21 Sanyo Electric Co Liquid crystal display device
TWI230304B (en) * 2002-03-04 2005-04-01 Sanyo Electric Co Display device with reflecting layer
US7446836B2 (en) * 2004-12-01 2008-11-04 Seiko Epson Corporation Liquid crystal display device with reflective and transmissive regions spanning across adjacent pixels of a pixel row
JP2006171723A (ja) * 2004-12-13 2006-06-29 Samsung Electronics Co Ltd アレイ基板、その製造方法、及びこれを有する液晶表示装置
CN100454560C (zh) * 2006-12-06 2009-01-21 友达光电股份有限公司 像素结构及其制造方法

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW373094B (en) * 1994-11-14 1999-11-01 Hitachi Device Engineering Corp Liquid crystal display device having a uniform liquid crystal layer thickness
US6195140B1 (en) * 1997-07-28 2001-02-27 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display in which at least one pixel includes both a transmissive region and a reflective region
JP3377447B2 (ja) * 1998-03-05 2003-02-17 シャープ株式会社 液晶表示パネル及びその製造方法
KR100394987B1 (ko) * 2000-04-07 2003-08-19 엘지.필립스 엘시디 주식회사 반투과 액정 표시장치
EP1326129A1 (en) * 2000-09-27 2003-07-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Transreflective liquid crystal display
JP3892715B2 (ja) * 2000-12-26 2007-03-14 株式会社東芝 液晶表示装置
KR100397399B1 (ko) * 2001-02-22 2003-09-13 엘지.필립스 엘시디 주식회사 반투과형 액정 표시 장치 및 그의 제조 방법
JP4991052B2 (ja) * 2001-02-28 2012-08-01 株式会社ジャパンディスプレイセントラル 液晶表示パネル
JP4111785B2 (ja) * 2001-09-18 2008-07-02 シャープ株式会社 液晶表示装置
JP3675427B2 (ja) * 2001-09-25 2005-07-27 セイコーエプソン株式会社 半透過・反射型液晶装置、およびそれを用いた電子機器
JP4050119B2 (ja) * 2001-10-02 2008-02-20 シャープ株式会社 液晶表示装置
JP4094278B2 (ja) * 2001-11-20 2008-06-04 日本電気株式会社 半透過型アクティブマトリクス型液晶表示装置及びその製造方法

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