KR100688831B1 - 광픽업의 렌즈홀더조립체 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 렌즈홀더조립체(100)는 실리콘기판(110), 렌즈지지체(120), 유리판(130), 회절부재(140) 및 비구면렌즈(150)를 포함한다. 실리콘기판(110)은 습식식각에 의해 그 중앙에 경사진 단면을 갖는 결합구(111)가 형성되고, 렌즈지지체(120)는 실리콘기판(110)의 결합구(111)에 성형되며 그 중앙에 대물렌즈(160)이 탑재되는 탑재구(121)와 광빔이 진행하는 관통구(122)가 형성되며, 유리판(130)은 광빔을 통과시킴과 동시에 결합구(111)를 봉하도록 실리콘기판(110)의 하면에 부착되고, 회절부재(140)는 유리판(130)의 하면에 부착되며, 비구면렌즈(150)는 렌즈지지체(120)에 형성된 관통구(122)에 의해 노출되는 유리판(130)의 상면에 형성된다.
광픽업, 렌즈홀더조립체, 렌즈지지체, 습식식각, 대물렌즈, 열경화성폴리머, 회절부재, 비구면렌즈, 유리판

Description

광픽업의 렌즈홀더조립체 및 그 제조방법{Lens holder assembly of an optical pick up and Manufacturing method thereof}
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 광픽업의 렌즈홀더조립체의 개략적인 단면도;
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광픽업의 렌즈홀더조립체의 개략적인 단면도;
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 광픽업의 렌즈홀더조립체의 개략적인 단면도;
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 광픽업의 렌즈홀더조립체의 개략적인 단면도;
도 5는 도 1의 렌즈홀더조립체의 제조과정을 나타내는 개략도;
도 6은 도 3의 렌즈홀더조립체의 제조과정을 나타내는 개략도;
도 7은 실리콘모기판이나 유리모기판 다수의 결합구나 결합홈이 형성된 상태를 나타내는 개략도;
도 8은 종래기술의 광픽업의 렌즈홀더조립체의 개략적인 단면도; 및
도 9는 도 8의 렌즈홀더조립체의 제조과정을 나타내는 개략도이다.
〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉
100, 200, 300, 400 : 렌즈홀더조립체
101, 301 : 실리콘모기판, 유리모기판 110, 210 : 실리콘기판
111, 211 : 결합구 120, 220, 320, 420 : 렌즈지지체
121, 221, 321, 421 : 탑재구 122, 222, 322, 422 : 관통구
130, 230 : 유리판 140, 240, 330, 430 : 회절부재
150, 340 : 비구면렌즈 160, 260, 360, 460 : 대물렌즈
본 발명은 광픽업에 관한 것으로, 보다 상세하게는 습식식각을 이용하여 제조가 용이하며 대량생산이 가능한 광픽업의 렌즈홀더조립체 및 그 제조방법에 관한 것이다.
광픽업은 광정보기록매체인 CD, DVD 또는 BD 등의 광디스크에 광빔을 조사하고 광디스크에서 반사되는 반사광을 수광함으로써 광디스크의 기록면에 정보를 기록하거나 기록된 정보를 판독하는 장치이다.
광픽업은 광원에서 나오는 광빔을 광디스크에 집광하기 위한 수단으로 대물렌즈를 구비하며, 대물렌즈는 렌즈홀더에 탑재된 상태로 액츄에이터에 의해 광축방향, 트래킹방향 또는 틸팅방향으로 구동된다.
렌즈홀더는 그 상면에 대물렌즈를 탑재하고 그 하면에 유리판을 부착하여 하나의 조립체형태로 사용되며, 유리판의 하면에는 색수차를 보정하기 위한 회절판이 일체로 부착되기도 한다.
이와 같은 렌즈홀더조립체(70)는, 도 8에 도시된 바와 같이, 렌즈지지체(71), 유리판(72) 및 회절판(73)으로 구성된다.
렌즈지지체(71)는 합성수지로 성형되며, 중앙에 대물렌즈(74)가 탑재되는 탑재구(71a)와 광빔이 진행하는 경로인 관통구(71b)가 일체로 형성된다.
유리판(72)은 렌즈지지체(71)의 하면에 부착되어 렌즈지지체(71)를 지지하며, 투명하여 광빔이 투과할 수 있다.
회절판(73)은 광축에 수직하게 유리판(72)의 하면에 부착되며 광빔의 색수차를 보정한다.
도 9에 도시된 바와 같이, 상술한 구성을 갖는 종래의 렌즈홀더조립체(70)는 다음과 순서로 제조된다.
먼저, 금형의 암틀(1)에 소정량의 합성수지(2)를 주입한다.
다음, 암틀(1)에 수틀(3)을 결합하고 합성수지(2)에 열과 압력을 인가하여 렌즈지지체(71)를 성형한 후 냉각한다.
다음, 렌즈지지체(71)를 금형으로부터 탈형한다. 이때, 렌즈지지체(71)에는 대물렌즈가 탑재되는 탑재구(71a)와 광빔이 진행하는 관통구(71b)가 일체로 형성된다.
다음, 렌즈지지체(71)의 하면에 유리판(72)을 부착한다.
다음, 유리판(72)의 하면에 회절판(73)을 부착하고 탑재구(71a)에 밀착되도록 렌즈지지체(71)에 대물렌즈(74)를 탑재하여 본딩한다.
상술한 구성을 갖는 종래의 렌즈홀더조립체(70)는 금형을 사용하여 렌즈지지체(71)를 대량생산할 수 있다.
그러나, 렌즈지지체(71)가 합성수지로 성형되기 때문에 외부충격에 쉽게 손상되거나 외부열에 의해 형상이 뒤틀리는 문제가 있다.
또한, 렌즈지지체(71)는 대량생산할 수 있으나, 각 렌즈지지체(71)에 유리판(72)을 부착하는 공정, 유리판(72)에 회절판(73)을 부착하는 공정 및 대물렌즈(74)를 렌즈지지체(71)에 탑재하는 공정들이 개별 렌즈지지체(71)별로 이루어지기 때문에 공정에 시간이 많이 소요된다.
또한, 합성수지로 성형된 렌즈지지체(71)에 접착제 등의 접착수단을 사용하여 유리판(73)을 부착하기 때문에 렌즈지지체(71)가 녹는 등의 이유로 유리판(73)이 렌즈지지체(71)에 장시간 강하게 부착되기 곤란하다.
본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안한 것으로, 본 발명의 목적은 렌즈지지체를 실리콘기판이나 유리기판으로 제조함으로써 외부충격이나 외부열에 렌즈지지체가 잘 견딜 수 있는 렌즈홀더조립체 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 웨이퍼 크기의 실리콘모기판이나 유리모기판을 습식식각하여 다수의 결합구나 결합홈을 동시에 형성하고, 유리판을 부착하거나, 회절부재를 부착하는 공정을 실리콘모기판이나 유리모기판에 동시에 진행함으로써 제조가 용이하고 대량생산이 가능한 렌즈홀더조립체 및 그 제조방법을 제공하는 것이 다.
본 발명의 또 다른 목적은 실리콘기판이나 유리기판에 열경화성폴리머를 금형하여 렌즈지지체와 비구면렌즈를 일체로 성형하여 2개의 렌즈를 구비함으로써 다양한 수차를 보다 우수하게 보정할 수 있는 렌즈홀더조립체 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 습식식각에 의해 소정 크기의 결합구가 형성되는 실리콘기판부재와, 실리콘기판부재의 결합구에 형성되는 대물렌즈를 탑재하기 위한 렌즈지지체와, 결합구를 밀봉하도록 실리콘기판부재의 하면에 부착되며 광빔을 투과시키는 투명부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 광픽업의 렌즈홀더조립체를 제공한다.
렌즈홀더조립체는 투명부재의 하면에 광빔의 색수차를 보정하기 위한 회절부재를 구비할 수 있다.
또한, 투명부재는 상면에 결합구로 노출되도록 비구면렌즈를 구비할 수 있다.
또한, 렌즈지지체와 비구면렌즈는 열경화성폴리머로 성형할 수 있다.
또한, 비구면렌즈는 소정의 금형에 의해 렌즈지지체와 일체로 성형할 수 있다.
또한, 투명부재는 상면에 결합구로 노출되도록 광빔의 색수차를 보정하기 위한 회절부재를 구비할 수 있다.
또한, 렌즈지지체와 회절부재는 열경화성폴리머로 성형할 수 있다.
또한, 회절부재는 소정의 금형을 사용하여 렌즈지지체와 일체로 성형할 수 있다.
또한, 본 발명은 습식식각에 의해 소정 크기의 결합홈이 형성되는 유리기판부재와, 유리기판부재의 결합홈에 형성되는 대물렌즈를 탑재하기 위한 렌즈지지체를 포함하는 것을 특징으로 하는 광픽업의 렌즈홀더조립체를 제공한다.
렌즈홀더조립체는 유리기판부재의 하면에 광빔의 색수차를 보정하기 위한 회절부재를 구비할 수 있다.
또한, 유리기판부재는 결합홈의 바닥면에 비구면렌즈를 구비할 수 있다.
또한, 렌즈지지체와 비구면렌즈는 열경화성폴리머로 성형할 수 있다.
또한, 비구면렌즈는 소정의 금형을 사용하여 렌즈지지체와 일체로 성형할 수 있다.
또한, 유리기판부재는 결합홈의 바닥면에 광빔의 색수차를 보정하기 위한 회절부재를 구비할 수 있다.
또한, 렌즈지지체와 회절부재는 열경화성폴리머로 성형할 수 있다.
또한, 회절부재는 소정의 금형을 사용하여 렌즈지지체와 일체로 성형할 수 있다.
또한, 본 발명은 (a) 웨이퍼크기의 실리콘기판모재에 습식식각으로 다수의 결합홈을 형성하는 단계와, (b) 결합홈이 결합구가 되도록 실리콘기판모재의 일부를 절단하는 단계와, (c) 결합구를 봉하도록 원판형모재의 하면에 투명부재를 부착 하는 단계와, (d) 결합구에 열경화성폴리머를 주입하는 단계와, (e) 소정의 금형을 사용하여 열경화성폴리머를 성형하여 렌즈지지체를 형성하는 단계와, (f) 낱개의 렌즈홀더조립체를 형성하기 위하여 실리콘기판부재를 단위별로 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광픽업의 렌즈홀더조립체의 제조방법을 제공한다.
본 제조방법은 (e)단계 이후에 투명부재의 하면에 광빔의 색수차를 보정하기 위한 회절부재를 부착하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, (e)단계에서 결합구로 노출되는 투명부재의 상면에 비구면렌즈를 렌즈지지체와 일체로 형성할 수 있다.
또한, (e)단계에서 결합구로 노출되는 투명부재의 상면에 회절부재를 렌즈지지체와 일체로 형성할 수 있다.
또한, 본 발명은 (a) 웨이퍼크기의 유리기판모재에 습식식각으로 다수의 결합홈을 형성하는 단계와, (b) 결합홈에 열경화성폴리머를 주입하는 단계와, (c) 소정의 금형을 사용하여 열경화성폴리머를 성형하여 렌즈지지체를 형성하는 단계와, (d) 낱개의 렌즈홀더조립체를 형성하기 위하여 실리콘기판부재를 단위별로 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광픽업의 렌즈홀더조립체의 제조방법을 제공한다.
본 제조방법은 (c)단계 이후에 유리기판부재의 하면에 광빔의 색수차를 보정하기 위한 회절부재를 부착하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, (c)단계에서 결합홈의 바닥면에 비구면렌즈를 렌즈지지체와 일체로 형성할 수 있다.
또한, (c)단계에서 결합홈의 바닥면에 회절부재를 렌즈지지체와 일체로 형성할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예들에 따른 렌즈홀더조립체 및 그 제조방법에 대하여 상세하게 설명한다.
도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 렌즈홀더조립체(100)는 실리콘기판(110), 렌즈지지체(120), 유리판(130), 회절부재(140) 및 비구면렌즈(150)를 포함한다.
실리콘기판(110)은 실리콘기판부재로 습식식각에 의해 그 중앙에 결합구(111)가 형성되며, 이때 결합구(111)는 실리콘기판(110)이 등방성이기 때문에 경사진 단면을 갖는다.
렌즈지지체(120)는 열경화성폴리머로 형성되며, 실리콘기판(110)의 결합구(111)에 형성된다. 또한, 렌즈지지체(120)는 그 중앙에 광원에서 오는 광빔을 광디스크에 집광하는 대물렌즈(160)를 탑재하기 위한 탑재구(121)와 광빔이 진행하기 위한 관통구(122)가 일체로 형성된다.
유리판(130)은 광빔을 통과시킴과 동시에 결합구(111)를 봉하기 위한 투명부재로 실리콘기판(110)의 하면에 접착제 등의 접착수단에 의해 부착된다.
회절부재(140)는 광빔의 색수차를 보정하기 위한 수단으로 유리판(130)의 하면에 부착된다. 회절부재(140)는 열경화성폴리머를 사용하여 UV엠보싱이나 HOT엠보싱방법으로 제조하기 때문에 유리판(130)에 잘 부착되나, 회절부재(140)가 유리판(130)에 잘 부착되지 않는 경우에는 회절부재(140)와 유리판(130) 사이에 얇은 접 착층을 추가로 형성하여 유리판(130)을 회절부재(140)에 보다 견고하게 부착할 수 있다.
비구면렌즈(150)는 다양한 수차를 보다 잘 보정하기 위한 수단으로, 렌즈지지체(120)에 형성된 관통구(122)에 의해 노출되는 유리판(130)의 상면에 형성된다. 이때, 비구면렌즈(150)는 렌즈지지체(120)와 마찬가지로 열경화성폴리머 등으로 성형하며, 금형을 사용하여 렌즈지지체(120)를 성형할 때 렌즈지지체(120)와 일체로 동시에 성형하는 것이 바람직하다.
도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 렌즈홀더조립체(200)는 실리콘기판(210), 렌즈지지체(220), 유리판(230) 및 회절부재(240)를 포함한다.
실리콘기판(210)은 실리콘기판부재로 습식식각에 의해 그 중앙에 결합구(211)가 형성되며, 이때 결합구(211)는 실리콘기판(210)이 등방성이기 때문에 경사진 단면을 갖는다.
렌즈지지체(220)는 열경화성폴리머로 형성되며, 실리콘기판(210)의 결합구(211)에 형성된다. 또한, 렌즈지지체(220)는 그 중앙에 광원에서 오는 광빔을 광디스크에 집광하는 대물렌즈(260)를 탑재하기 위한 탑재구(221)와 광빔이 진행하기 위한 관통구(222)가 일체로 형성된다.
유리판(230)은 광빔을 통과시킴과 동시에 결합구(211)를 봉하기 위한 투명부재로 실리콘기판(210)의 하면에 접착제 등의 접착수단에 의해 부착된다.
회절부재(240)는 광빔의 색수차를 보정하기 위한 수단으로 렌즈지지체(220) 에 형성된 관통구(222)에 의해 노출되는 유리판(230)의 상면에 형성된다. 이때, 회절부재(240)는 렌즈지지체(220)와 마찬가지로 열경화성폴리머 등으로 성형하며, 금형을 사용하여 렌즈지지체(220)를 성형할 때 렌즈지지체(220)와 일체로 동시에 성형하는 것이 바람직하다.
도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따른 렌즈홀더조립체(300)는 유리기판(310), 렌즈지지체(320), 회절부재(330) 및 비구면렌즈(340)를 포함한다.
유리기판(310)은 습식식각에 의해 그 중앙에 결합홈(311)이 형성되며, 이때 결합홈(311)은 유리기판(110)이 비등방성이기 때문에 바닥면을 평평하고 측부가 만곡진 단면을 갖는다.
렌즈지지체(320)는 열경화성폴리머로 형성되며, 유리기판(310)의 결합홈(311)에 형성된다. 또한, 렌즈지지체(320)는 그 중앙에 광원에서 오는 광빔을 광디스크에 집광하는 대물렌즈(360)를 탑재하기 위한 탑재구(321)와 광빔이 진행하기 위한 관통구(322)가 일체로 형성된다.
회절부재(330)는 광빔의 색수차를 보정하기 위한 수단으로 유리기판(310)의 하면에 부착된다. 회절부재(330)는 열경화성폴리머를 사용하여 UV엠보싱이나 HOT엠보싱방법으로 제조하기 때문에 유리기판(310)에 잘 부착되나, 회절부재(330)가 유리기판(310)에 잘 부착되지 않는 경우에는 회절부재(330)와 유리기판(310) 사이에 얇은 접착층을 추가로 형성하여 회절부재(330)를 유리기판(310)에 보다 견고하게 부착할 수 있다.
비구면렌즈(340)는 다양한 수차를 보다 잘 보정하기 위한 수단으로, 렌즈지지체(320)에 형성된 관통구(322)에 의해 노출되는 유리기판(310)의 상면에 형성된다. 이때, 비구면렌즈(340)는 렌즈지지체(320)와 마찬가지로 열경화성폴리머 등으로 성형하며, 금형을 사용하여 렌즈지지체(320)를 성형할 때 렌즈지지체(320)와 일체로 동시에 성형하는 것이 바람직하다.
도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따른 렌즈홀더조립체(400)는 유리기판(410), 렌즈지지체(420) 및 회절부재(430)를 포함한다.
유리기판(410)은 유리기판부재로 습식식각에 의해 그 중앙에 결합홈(411)이 형성되며, 이때 결합홈(411)은 유리기판(410)이 비등방성이기 때문에 바닥면이 평평하고 측부가 만곡진 단면을 갖는다.
렌즈지지체(420)는 열경화성폴리머로 형성되며, 유리기판(410)의 결합홈(411)에 형성된다. 또한, 렌즈지지체(420)는 그 중앙에 광원에서 오는 광빔을 광디스크에 집광하는 대물렌즈(460)를 탑재하기 위한 탑재구(421)와 광빔이 진행하기 위한 관통구(422)가 일체로 형성된다.
회절부재(430)는 광빔의 색수차를 보정하기 위한 수단으로 렌즈지지체(420)에 형성된 관통구(422)에 의해 노출되는 유리기판(430)의 상면에 형성된다. 이때, 회절부재(430)는 렌즈지지체(420)와 마찬가지로 열경화성폴리머 등으로 성형하며, 금형을 사용하여 렌즈지지체(420)를 성형할 때 렌즈지지체(420)와 일체로 동시에 성형하는 것이 바람직하다.
다음, 도 5를 참조로 도 1에서 설명한 렌즈홀더조립체(100)의 제조공정에 대 하여 설명한다.
먼저, 도 7과 같은 절단공정에 의해 추후에 낱개의 실리콘기판(110)이 되는 웨이퍼 크기의 실리콘모기판(101) 전체에 소정의 패턴을 갖도록 포토레지스트와 같은 마스크부재(10)를 도포한다.
다음, 실리콘모기판(101)을 Si, Ge, GaAs 또는 GaP 등의 식각용액에 담궈 습식식각하여 렌즈지지체(120)가 형성되는 결합홈(111a)을 형성한다. 이때, 실리콘모기판(101)가 등방성을 갖기 때문에 결합홈(111a)이 바닥면은 평평하며 측부는 만곡진 단면을 갖는다.
다음, 마스크부재(10)를 제거하고 실리콘기판(110), 보다 상세하게는 실리콘모기판(101)의 하부 일부를 횡방향으로 절단하여 결합홈(111a)이 실리콘기판(110)의 상하면을 관통하는 진정한 결합구(111)가 되도록 한다.
다음, 실리콘기판(110)의 하면에 접착제 등의 소정의 접착수단을 사용하여 유리판(130)을 부착한다. 이때, 유리판(130)은 광빔이 잘 투과되도록 투명한 것이 바람직하다.
다음, 실리콘기판(110)의 결합구(111)에 열경화성폴리머(20)를 넣고 소정모양을 갖는 금형(30)로 가압하고, 열경화성폴리머(20)가 가압된 상태에서 실리콘기판(110)의 아래쪽에서 열경화성폴리머(20)에 열을 인가하여 열경화성폴리머(20)를 경화시켜, 렌즈지지체(111)와 비구면렌즈(150)를 동시에 일체로 형성한다. 이때, 금형(30)이 투명한 경우, 실리콘기판(110)의 위쪽과 아래쪽에서 동시에 열을 인가할 수 있으며, 열경화성폴리머(20)를 경화하는 시간이 줄어들어 제조시간을 줄일 수 있다.
다음, 유리판(130)의 하면에 회절부재(140)를 부착한 후, 렌즈지지체(120)에 대물렌즈(160)를 탑재한다.
마지막으로, 도 7과 같이 실리콘모기판(101)에 형성된 절단선을 따라 실리콘모기판(101)을 절단하여 낱개의 렌즈홀더조립체(100)를 제조한다.
다음, 도 6을 참조로 도 3에서 설명한 렌즈홀더조립체(300)의 제조공정에 대하여 설명한다.
먼저, 도 7과 같은 절단공정에 의해 추후에 낱개의 유리기판(310)이 되는 웨이퍼 크기의 유리모기판(301) 전체에 소정의 패턴을 갖도록 포토레지스트와 같은 마스크부재(10)를 도포한다.
다음, 유리모기판(301)을 Si, Ge, GaAs 또는 GaP 등의 식각용액에 담궈 습식식각하여 렌즈지지체(320)가 형성되는 결합홈(311)을 형성한다. 이때, 유리기판(310)이 비등방성을 갖기 때문에 결합홈(311)이 바닥은 평평하며 측부는 만곡진 단면을 갖는다.
다음, 마스크부재(10)를 제거하고 유리기판(310)의 결합홈(311)에 열경화성폴리머(20)를 넣고 소정모양을 갖는 금형(30)으로 가압하고, 열경화성폴리머(20)가 가압된 상태에서 유리기판(310)의 아래쪽에서 열경화성폴리머(20)에 열을 인가하여 열경화성폴리머(20)를 경화시켜, 렌즈지지체(311)와 비구면렌즈(340)를 동시에 일체로 형성한다. 이때, 금형(30)이 투명한 경우, 유리기판(310)의 위쪽과 아래쪽에서 동시에 열을 인가할 수 있으며, 열경화성폴리머(20)를 경화하는 시간을 줄일 수 있어 제조시간을 줄일 수 있다.
다음, 유리기판(310)의 하면에 회절부재(330)를 접착한 후, 렌즈지지체(320)에 대물렌즈(360)를 탑재한다.
마지막으로, 도 7과 같이 유리모기판(301)에 형성된 절단선을 따라 유리모기판(301)을 절단하여 낱개의 렌즈홀더조립체(300)를 제조한다.
도 2 및 도 4의 렌즈홀더조립체(200,400)는 상술한 도 1의 렌즈홀더조립체(100) 및 도 3의 렌즈홀더조립체(300)와 각각 유사한 공정을 거쳐 제조되기 때문에 이에 대한 설명은 생략한다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조로 본 발명의 렌즈홀더조립체 및 그 제조방법에 대하여 설명하였지만, 본 발명의 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 수정, 변경 및 다양한 변형실시예가 가능함은 당업자에게 명백하다.
본 발명의 광픽업의 렌즈홀더조립체 및 그 제조방법에 따르면, 렌즈홀더조립체의 렌즈지지체를 실리콘기판이나 유리기판으로 제조하기 때문에 렌즈홀더조립체에 인가되는 외부충격이나 외부열에 렌즈지지체가 잘 견딜 수 있어 렌즈홀더조립체를 장시간 사용할 수 있다.
또한, 렌즈홀더조립체는 웨이퍼 크기의 실리콘모기판이나 유리모기판을 습식식각하여 다수의 결합구나 결합홈을 동시에 형성하고, 유리판을 부착하거나, 회절부재를 부착하는 공정을 실리콘모기판이나 유리모기판에 동시에 진행하여 다수의 렌즈홀더조립체를 제조한 후 한 번의 절단공정에 의해 낱개의 렌즈홀더조립체를 제 조하기 때문에 제조가 용이하고 대량생산이 가능하다.
또한, 렌즈홀더조립체는 열경화성폴리머로 렌즈지지체를 성형할 때 비구면렌즈를 동시에 성형할 수 있기 때문에 대물렌즈와 더불어 2개의 렌즈를 구비할 수 있어 다양한 수차를 보다 우수하게 보정할 수 있으며, 2개의 렌즈를 구비하기 때문에 1개의 두꺼운 렌즈를 사용하는 경우에 비하여 렌즈설계에 대한 자유도를 높일 수 있다.

Claims (24)

  1. 습식식각에 의해 소정 크기의 결합구가 형성되는 기판부재;
    상기 기판부재의 결합구에 형성되는 대물렌즈를 탑재하기 위한 렌즈지지체; 및
    상기 결합구를 밀봉하도록 상기 기판부재의 하면에 부착되며 광빔을 투과시키는 투명부재를 포함하며,
    상기 투명부재는 그 하면에 광빔의 색수차를 보정하기 위한 회절부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 렌즈홀더조립체.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 투명부재는 상기 결합구로 노출되는 상면에 비구면렌즈를 구비하는 것을 특징으로 하는 렌즈홀더조립체.
  4. 제3항에 있어서, 상기 렌즈지지체와 상기 비구면렌즈는 열경화성폴리머로 성형되는 것을 특징으로 하는 렌즈홀더조립체.
  5. 제3항에 있어서, 상기 비구면렌즈는 소정의 금형에 의해 상기 렌즈지지체와 일체로 성형되는 것을 특징으로 하는 렌즈홀더조립체.
  6. 제1항에 있어서, 상기 투명부재는 상기 결합구로 노출되는 상면에 광빔의 색수차를 보정하기 위한 회절부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 렌즈홀더조립체.
  7. 제6항에 있어서, 상기 렌즈지지체와 상기 회절부재는 열경화성폴리머로 성형되는 것을 특징으로 하는 렌즈홀더조립체.
  8. 제6항에 있어서, 상기 회절부재는 소정의 금형에 의해 상기 렌즈지지체와 일체로 성형되는 것을 특징으로 하는 렌즈홀더조립체.
  9. 습식식각에 의해 소정 크기의 결합홈이 형성되는 유리기판부재; 및
    상기 유리기판부재의 결합홈에 형성되는 대물렌즈를 탑재하기 위한 렌즈지지체를 포함하며,
    상기 유리기판부재는 그 하면에 광빔의 색수차를 보정하기 위한 회절부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 렌즈홀더조립체.
  10. 삭제
  11. 제9항에 있어서, 상기 유리기판부재는 상기 결합홈의 바닥면에 비구면렌즈를 구비하는 것을 특징으로 하는 렌즈홀더조립체.
  12. 제11항에 있어서, 상기 렌즈지지체와 상기 비구면렌즈는 열경화성폴리머로 성형되는 것을 특징으로 하는 렌즈홀더조립체.
  13. 제11항에 있어서, 상기 비구면렌즈는 소정의 금형에 의해 상기 렌즈지지체와 일체로 성형되는 것을 특징으로 하는 렌즈홀더조립체.
  14. 제9항에 있어서, 상기 유리기판부재는 상기 결합홈의 바닥면에 광빔의 색수차를 보정하기 위한 회절부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 렌즈홀더조립체.
  15. 제14항에 있어서, 상기 렌즈지지체와 상기 회절부재는 열경화성폴리머로 성형되는 것을 특징으로 하는 렌즈홀더조립체.
  16. 제15항에 있어서, 상기 회절부재는 소정의 금형에 의해 상기 렌즈지지체와 일체로 성형되는 것을 특징으로 하는 렌즈홀더조립체.
  17. (a) 웨이퍼크기의 실리콘기판모재에 습식식각으로 다수의 결합홈을 형성하는 단계;
    (b) 상기 결합홈이 결합구가 되도록 상기 실리콘기판모재의 일부를 절단하는 단계;
    (c) 상기 결합구를 봉하도록 상기 원판형모재의 하면에 투명부재를 부착하는 단계;
    (d) 상기 결합구에 열경화성폴리머를 주입하는 단계;
    (e) 소정의 금형을 사용하여 상기 열경화성폴리머를 성형하여 렌즈지지체를 형성하는 단계; 및
    (f) 낱개의 렌즈홀더조립체를 형성하기 위하여 상기 실리콘기판부재를 단위별로 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광픽업의 렌즈홀더조립체의 제조방법.
  18. 제17항에 있어서, 상기 제조방법은 상기 (e)단계 이후에 상기 투명부재의 하면에 광빔의 색수차를 보정하기 위한 회절부재를 부착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 렌즈홀더조립체의 제조방법.
  19. 제18항에 있어서, 상기 제조방법은 상기 (e)단계에서 상기 결합구로 노출되는 상기 투명부재의 상면에 비구면렌즈를 상기 렌즈지지체와 일체로 형성하는 것을 특징으로 하는 렌즈홀더조립체의 제조방법.
  20. 제17항에 있어서, 상기 제조방법은 상기 (e)단계에서 상기 결합구로 노출되는 상기 투명부재의 상면에 회절부재를 상기 렌즈지지체와 일체로 형성하는 것을 특징으로 하는 렌즈홀더조립체의 제조방법.
  21. (a) 웨이퍼크기의 유리기판모재에 습식식각으로 다수의 결합홈을 형성하는 단계;
    (b) 상기 결합홈에 열경화성폴리머를 주입하는 단계;
    (c) 소정의 금형을 사용하여 상기 열경화성폴리머를 성형하여 렌즈지지체를 형성하는 단계; 및
    (d) 낱개의 렌즈홀더조립체를 형성하기 위하여 상기 실리콘기판부재를 단위별로 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광픽업의 렌즈홀더조립체의 제조방법.
  22. 제21항에 있어서, 상기 제조방법은 상기 (c)단계 이후에 상기 유리기판부재의 하면에 광빔의 색수차를 보정하기 위한 회절부재를 부착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 렌즈홀더조립체의 제조방법.
  23. 제22항에 있어서, 상기 제조방법은 상기 (c)단계에서 상기 결합홈의 바닥면에 비구면렌즈를 상기 렌즈지지체와 일체로 형성하는 것을 특징으로 하는 렌즈홀더조립체의 제조방법.
  24. 제21항에 있어서, 상기 제조방법은 상기 (c)단계에서 상기 결합홈의 바닥면에 회절부재를 상기 렌즈지지체와 일체로 형성하는 것을 특징으로 하는 렌즈홀더조립체의 제조방법.
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