KR100680862B1

KR100680862B1 - 노광장치

Info

Publication number: KR100680862B1
Application number: KR1020000070953A
Authority: KR
Inventors: 다하라다카노리; 모리마사키; 우에하라유키히로
Original assignee: 토레이 엔지니어링 컴퍼니, 리미티드
Priority date: 1999-12-10
Filing date: 2000-11-27
Publication date: 2007-02-09
Also published as: TWI232355B; JP2001166493A; KR20010061970A; JP3091460B1

Abstract

복수의 식별코드를 소정 위치에 단시간에 노광할 수 있고, 장치 전체가 콤팩트한 노광장치를 제공하는 것이다.

감광재가 도포된 기판(50)에 기판식별코드(50a)나 패널식별코드(51a)를 노광하기 위한 복수의 노광유니트(9-1~9-3)를 각각 이동가능하게 배열 설치함과 더불어 기판 주변부를 노광하기 위한 주변노광유니트(24-1,24-2)를 이동가능하게 배열 설치한 구성으로 된다.

Description

노광장치{EXPOSURE DEVICE}

도 1은 본 발명의 노광장치 구성의 1실시예를 나타낸 개략적인 사시도,

도 2는 도 1에서 노광유니트를 상세하게 나타낸 개략 단면도,

도 3은 본 발명의 노광장치에서 노광유니트의 이동범위를 나타낸 개략도,

도 4는 본 발명의 노광장치에 의해서 노광되는 유리기판의 1실시예를 나타낸 개략도,

도 5는 종래 노광장치에서 노광유니트의 이동범위를 나타낸 개략도,

도 6은 종래 다른 노광장치에서 노광유니트의 이동범위를 나타낸 개략도이다

<참조부호의 설명>

1 - 스테이지, 2 - 노광기구, 3 - 주변노광기구,

4,4-1,4-2 - 고정가이드레일,

5,5-1,5-2,6,8-1,8-2,8-3,22,22-1,22-2 - 슬라이더,

6 - 이동가이드레일, 7-1,7-2 연결부재,

9,9-1,9-2,9-3,24,24-1,24-2 - 노광유니트,

10,10-1,10-2,10-3 - 핀트조절수단,

11,11-1,11-2,11-3 - 광원수단,

12,12-1,12-2,12-3 - 라이트가이드,

13 - 케이스, 14 - 콘덴서렌즈, 15 - 필터, 16,18 - 편광판,

17 - 레티클, 19 - 빔스플리터, 20 - 투영렌즈, 21 - CCD카메라,

23 - 가동테이블, 50 - 유리기판, 51 - 액정패널, 50a - 기판식별코드,

50b - 절단위치식별코드, 51a - 패널식별코드, 52- 주변노광부분.

본 발명은 기판상에 식별코드를 노광하는 노광장치, 바람직하게는 액정제조공정 등에서 사용되는 유리기판 등의 기판의 프로세스마다 이력관리나 품질관리를 행하기 위해 사용되는 복수의 식별코드를 노광하는 노광장치에 관한 것이다.

일반적으로, 액정패널의 제조공정에서는 유리기판에 소정의 수지가 도포되면, 패턴노광장치에 의해서 회로패턴이, 식별노광장치에 의해서 기판식별코드나 패널식별 코드 등이, 주변노광장치에 의해서 기판 주변부분의 불필요 레지스트부분이 각각 노광되며, 이 노광이 완료되면 현상장치에 의해서 현상된다.

이에 따라, 소정 처리가 완료된 1매의 유리기판으로부터 1매 혹은 복수 매의 액정패널이 제작된다.

이러한 유리기판(50)에는 도 4에 나타낸 바와 같은 기판을 식별하기 위한 기판 식별코드(50a)가 마킹되어 매 프로세스 및 제조라인 전체의 수율을 향상시키기 위한 이력관리나 품질관리 등에 이용된다. 또한, 1매의 유리기판(50)으로부터 복수의 액정패널(51)로 분할된 후에도 식별가능하도록 액정패널(51)의 배열번호 등을 부가한 패널식별코드(51a)가 마킹됨과 더불어 절단위치를 판별하기 위한 절단위치식별코드(50b)가 마킹되어 복수의 액정패널(51)로 절단하는 것에 이용된다.

이러한 기판식별코드(50a)와 절단위치식별코드(50b), 패널식별코드(51a) 등은 유리기판(50)의 주변부에 마킹되는 경우가 많다.

이러한 기판식별코드(50a)와 절단위치식별코드(50b) 및 패널식별코드(51a)의 마킹은 하나의 실시예로, 그 명칭이나 개수 등이 변화되는 것은 말할 필요도 없다.

기판식별코드(50a)와 절단위치식별코드(50b) 및 패널식별코드(51a) 등의 식별코드의 노광에는, 노광유니트가 고정된 상태에서 유리기판이 유지된 스테이지를 NC제어에 의해 이동시키는 것에 의해서 유리기판상의 소정 위치에 식별코드를 노광하는 노광장치가 사용된다.

또한, 유리기판(50)상의 주변부분(52)의 불필요 레지스트부분을 노광하는 주변노광장치는 상기 노광장치와는 별도의 노광장치 또는 각각을 조합시킨 것을 사용하고, 노광유니트가 고정된 상태에서 유리기판이 유지된 스테이지를 NC제어에 의해서 이동시키는 것에 의해 유리기판상의 소정 위치에 식별코드를 노광하도록 된다.

이에 따라, 복수의 노광장치를 사용하고, 더불어 복수의 식별코드를 노광하기 위한 스테이지의 이동과 노광동작을 반복하게 된다.

상기와 같은 노광장치에서는 유리기판이 대형화하여 1매의 유리기판으로부터 복수 매의 액정패널을 제작하도록 하면 패널식별코드의 수가 증가하여 이 식별코드를 노광하는데 시간이 걸리는 문제가 발생되고, 동시에 노광유니트가 고정되고 유리기판을 유지한 스테이지를 이동시키는 구성에서는 스테이지의 이동범위가 크게 되기 때문에 장치 전체가 크게 되는 문제가 있었다.

여기서, 기준이 되는 고정 노광유니트(30)와 이동가능한 노광유니트(31)를 설치하고 유리기판을 유지한 스테이지를 이동시켜서 노광하는 노광장치, 노광유니트를 장착하기 위한 슬라이더와 가이드레일이 하나의 유니트로 형성된 유니트(32)를 복수 설치하며 유리기판을 탑재한 스테이지를 이동시켜서 노광하는 노광장치의 개발을 시도되었다.

이와 같은 노광장치에서는 종래의 노광장치보다 작업효율은 다소 향상되지만, 각 노광유니트의 이동범위(L1,L2)가 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이 제한되기 때문에 희망하는 작업효율을 얻을 수 없었다.

또한, 유리기판을 유지한 스테이지를 이동시키기 위해서, 장치 전체가 크게 되는 문제를 해결할 수 없었다.

또한, 기판 주변부의 불필요 레지스트부분을 노광하기 위한 주변노광장치와 식별코드를 노광하는 노광장치를 준비하지 않으면 안되는 문제가 있다.

본 발명은 복수의 식별코드를 소정 위치에 단시간에 노광할 수 있고, 게다가 장치 전체가 콤팩트한 노광장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 노광장치는 청구항 제1항에 기재된 바와 같이 감광재가 도포된 기판상에 식별코드를 노광하기 위한 복수의 노광유니트를 각각 이동가능하게 배열 설치시킨 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 노광장치는 청구항 제2항에 기재된 바와 같이 기판상에 주변 노광하기 위한 주변노광유니트를 이동가능하게 배열 설치한 구성으로 할 수 있다.

본 발명의 청구항 제3항에 기재된 바와 같이 기판을 액정용의 유리기판으로 할 수 있다.

또한, 본 발명의 노광장치는 청구항 제4항에 기재된 바와 같은 주변 노광유니트가 고정가이드레일 또는 이동가이드레일 중 적어도 한쪽의 가이드레일에 설치된 구성으로 할 수 있다.

본 발명의 노광장치는 청구항 제5항에 기재된 바와 같이, 기판을 탑재한 스테이지와, 이 스테이지의 상방에 위치하도록 설치된 한쌍의 가이드레일과, 상기 가이드레일을 따라서 이동가능한 복수개의 슬라이더와, 각 슬라이더에 장착된 식별코드를 노광하기 위한 노광유니트를 갖춘 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 노광장치는 청구항 제6항에 기재된 바와 같은 가이드레일이 일정방향으로 연장되는 추진용 계자마그네트를 갖는 고정자와 자기정보착자부에 의해 형성되고, 상기 가이드레일에 장착된 슬라이더를 전기자코일을 갖는 가동자와 자기정보착자부에 대향하도록 가동자상에 설치된 자기헤드에 의해 형성시킨 구성과, 제7항에 기재된 바와 같은 노광유니트장착용 슬라이더가 이동이 자유롭게 장착된 이동가이드레일을 이 이동가이드레일과 수평방향으로 교차하도록 배열 설치된 고정가이드레일에 이동이 자유롭게 장착시킨 슬라이더와 일체로 연결시킨 구성으로 할 수 있다.

(발명의 실시형태)

도 1은 본 발명의 노광장치의 구성을 나타낸 개략적인 사시도로, 노광장치는 베이스(도시생략)에 형성된 가이드레일을 따라서 이동이 자유롭게 설치되고 유리기판(50)을 수평한 상태로 유지하는 스테이지(1)와, 이 스테이지(1)의 상방에 위치하도록 베이스(도시생략)에 설치되며 기판식별코드(50a)나 절단위치식별코드(50b)나 패널식별코드(51a)의 전체 또는 어느 하나를 노광하는 노광기구(2)와, 기판 주변부의 불필요 레지스트부분을 노광하는 주변노광기구(3)를 갖춘 구성으로 이루어진다.

스테이지(1)는 유리기판을 유지하는 면이 평탄한 구성, 감압원에 연결된 감압흡착용 구멍이 돌출 설치된 구성, 지지용 핀이 돌출 설치된 구성의 것을 사용하지만, 유리기판의 측부를 파지하는 기구를 갖는 구성도 사용되어, 유리기판(50)을 수평한 상태 또는 수직한 상태로 유지한다.

또한, 스테이지(1)는 수평방향의 전후방향(Y방향)과 좌우방향(X방향) 또는 수직방향의 상하방향(Z)과 좌우방향(X방향)으로 이동가능한 구성, 회전 가능한 구성, 수직방향으로 상승가능한 구성으로 할 수 있다.

스테이지(1)에 공급된 유리기판(50)의 위치가 어긋난 경우, 위치의 어긋난 정도를 측정하여 스테이지(1)를 회전시키던지, 전후방향(Y방향)과 좌우방향(X방향)으로 이동시켜서 위치의 어긋남을 조정한다. 또한, 스테이지(1)에, 예컨대 L자형상의 위치 맞춤 가이드를 설치하고, 이 위치 맞춤 가이드에 유리기판(50)을 눌러 붙여 위치 맞춤을 행할 수 있다.

노광기구(2)는 베이스(도시생략)에 수평방향으로 소정 간격을 갖도록 브래킷(도시생략)에 의해서 수평한 상태로 지지된 고정가이드레일(4-1,4-2)과, 이 고정가이드레일(4-1,4-2)에 좌우방향(X방향)으로 이동이 자유롭게 설치된 슬라이더(5-1,5-2)와, 이 슬라이더(5-1,5-2)에 연결부재(7-1,7-2)에 의해서 설치된 이동가이드레일(6)과, 이 이동가이드레일(6)에 전후방향(Y방향)으로 이동이 자유롭게 설치된 슬라이더(8-1,8-2,8-3)와, 이 슬라이더(8-1,8-2,8-3)에 핀트조절수단(10-1,10-2,10-3)에 의해서 수직방향(Z방향)으로 이동가능하게 설치된 노광유니트(9-1,9-2,9-3)와, 이 노광유니트(9-1,9-2,9-3)에 광섬유 등의 라이트가이드(12-1,12-2,12-3)에 의해서 연결된 자외선의 광원수단(11-1,11-2,11-3)에 의해 구성된다.

고정가이드레일(4)에 이동이 자유롭게 장착된 슬라이더(5)와 이동가이드레일(6)의 유니트부재의 수는 패널식별코드(51a)의 개수에 의해서 적절히 설정되고, 각각의 유니트부재가 소정 위치로 이동되도록 할 수 있다.

또한, 이동가이드레일(6)에 이동이 자유롭게 장착된 슬라이더(8)의 개수도 패널식별코드의 개수에 의해서 적절히 설정되고, 각각의 슬라이더(8)가 소정 위치로 이동되도록 할 수 있다.

상기 고정가이드레일(4,4-1,4-2)과 이동가이드레일(6)은 일정 방향으로 연장되는 추진용 계자마그네트(길이방향을 따라서 N극과 S극의 자석을 동일한 피치로 교대로 설치한 마그네트)를 갖는 고정자와 자기정보착자부재(엔코더챠트)에 의해 형성된 것을 사용하고, 슬라이더(5,5-1,5-2)와 슬라이더(8,8-1,8-2,8-3)는 전기자 코일을 갖는 가동자와 자기정보착자부에 대향하도록 가동자상에 설치된 자기정보( 위치검출, 속도제어 등의 엔코더정보)의 형성, 소거, 판독이 가능한 자기헤더에 의해 형성된 것을 사용한다.

슬라이더(5,8)는 상기된 바와 같은 선형모터기구에 의한 이동을 대신하여 나사축과 이 나사축에 나사 부착된 너트를 갖춘 나사 이송기구(핀트조절기구(10)와 동일한 구성)에 의해서 이동시킬 수 있는데, 이러한 이동기구에 한정되지 않는 것은 말할 필요도 없다.

노광유니트(9)는 도 2에 나타낸 바와 같이 단부에 슬라이드가이드(12)의 접속부를 갖고 핀트조절수단(10)에 설치되는 케이스(13)내로 광선을 거의 평행한 상태로 하기 위한 콘덴서렌즈(14)와, 불필요한 파장의 광선을 감쇄시키기 위한 필터(15), 소정의 광선을 투과시키는 입사광측의 편광판(16), 임의 문자나 도형을 표시하기 위한 레티클(17), 소정의 광선을 투과시킨 출사광측의 편광판(18), 하프미러, 프리즘 등의 빔스플리터(19), 투영렌즈(20) 등이 수납된 구성으로 된다.

이러한 노광유니트(9)에는 빔스플리터(19)로부터의 화상을 받아들이는 CCD카메라(21)가 설치되어, 유리기판(50) 혹은 스테이지(1)의 표면으로부터 반사된 광이 투영렌즈(20)로부터 입사되고, 빔스플리터(19)에서 각도가 변경되어 CCD카메라(21)로 받아 들여지고, 이 화상이 텔레비젼(도시생략)에 표시된다. 이 CCD카메라(21)로부터 제어장치(도시생략)로 화상데이터가 송신되도록 하여 미리 설정된 데이터와 대비하여 핀트의 조절, 레티클의 위치조절 등이 행해진다.

또한, 텔레비젼에 표시된 화상을 작업자가 보면서 수동조작으로 핀트의 조절, 레티클의 위치조절 등을 행할 수 있다.

핀트의 확인, 노광위치의 확인, 핀트의 조절, 레티클의 위상조절 등의 필요가 없는 경우, CCD카메라(21)를 생략할 수 있다.

이러한 노광유니트(9)는 이러한 구성에 한정되지 않고, 라이트가이드(12)에 의해서 전송된 광선의 조사 범위를 제한하기 위한 마스크를 설치한 구성, 자외선 광원수단(11)을 노광유니트(9)에 일체로 설치한 구성으로 할 수 있다.

핀트조절수단(10,10-1,10-2,10-3)은 슬라이더(8)에 형성된 가이드를 따라서 수직방향으로 이동하는 노광유니트(9)의 케이스를 설치하기 위한 가동부재와, 구동용 펄스모터가 단부에 연결되고 브래킷에 의해서 슬라이더(8,8-1,8-2,8-3)에 수직한 상태에서 회전이 자유롭게 설치된 나사축과, 이 나사축에 나사 부착됨과 동시에 노광유니트 설치용 부재에 설치된 너트에 의해 구성된다.

나사축과 너트를 대신하여 볼나사축과 볼나사축에 나사 부착된 너트에의해 구성하는 것을 사용할 수 있다.

이러한 핀트조절수단(10)을 설치하지 않고 노광유니트(9)를 직접 슬라이드(8)에 설치한 구성, 노광유니트(9)를 다관절기구에 의해서 슬라이더(8)에 설치한 구성으로 하는 것이 가능하다.

또한, 핀트조절수단(10)을 설치하지 않은 슬라이더(5)를 수직방향으로 이동가능한 구성, 고정가이드레일(4)을 수직방향(Z방향)으로 이동가능한 구성, 스테이지(1)를 수직방향으로 이동가능한 구성으로 될 수 있는 것은 말할 필요도 없다.

주변노광기구(3)는 고정가이드레일(4,4-1,4-2)에 이동이 자유롭게 설치된 슬라이더(22,22-1,22-2)와, 가이드레일과 슬라이더가 세트로 되고 슬라이더(22,22- 1,22-2)상에 설치된 가동테이블(23,23-1,23-2)과 가동테이블(23,23-1,23-2)상에 설치된 노광유니트(24,24-1,24-2)에 의해 구성된다.

슬라이더(22)는 슬라이더(5)와 동일한 구성으로 된다.

도 1에서는 슬라이더(5)와 슬라이더(22)가 독립되도록 기재되어 있지만, 연결된 경우도 있다.

가동테이블(23)의 가이드레일은 고정가이드레일(4) 등과 동일한 구성으로 되고, 슬라이더는 슬라이더(5)와 동일한 구성으로 된다.

노광유니트(24)는 노광유니트(9)와 동일한 부재에 의해 형성되지만, 자외선이 고정가이드레일(4)을 회피하여 조사하도록 구성된다.

또한, 노광유니트(24)는 핀트조절수단(도시생략)에 의해서 수직방향으로 이동되도록 되어있다.

유리기판식별코드(50a)가 주위의 양단부 이외의 위치(대략 중앙부)에 있고 상기 주변노광기구(3)에 의한 노광이 곤란한 경우는, 고정가이드레일(4)에 X방향으로 이동이 자유롭게 설치된 이동가이드레일과, 이 이동가이드레일에 Y방향으로 이동이 자유롭게 설치된 슬라이더와, 핀트조절수단에 의해서 이 슬라이더에 설치된 노광유니트에 의해 구성되는 주변노광기구를 설치하고, 스테이지(1)의 이동조작 등을 없게 하여 효율 좋게 노광될 수 있도록 한다.

상기 각 슬라이더(5,8,22) 등은 위상동기제어 등의 NC제어에 의해서 이동되도록 된다.

상기 광원수단(11)의 자외선의 발광시간, 발광간격, 슬라이더(5,8,22)의 이 동속도, 이동량, 핀트조절수단(10)의 스텝모터의 회전량 등은 입력기능, 기억기능, 비교연산기능, 동작지령기능 등의 기능을 갖춘 콤퓨터 등의 제어장치(도시생략)에 의해서 제어된다.

상기 스테이지(1)에 유리기판(50)을 공급하거나 노광된 유리기판(50)을 꺼내는 조작은 유리기판 이동탑재로보트, 셔틀반송이동탑재기구, 롤러콘베이어 등에 의해서 행하거나, 작업자의 수작업에 의해서 행한다.

상기 노광장치의 스테이지(1)에 유리기판(50)이 공급되어 위치 결정되면, 제어장치(도시생략)로부터의 출력신호에 따라서 노광기구(2)의 슬라이더(5)가 X방향의 소정위치로 이동하는 동시에 슬라이더(8-1,8-2,8-3)가 각각 Y방향의 소정 위치로 이동하여 노광유니트(9-1,9-2,9-3)가 패널식별코드(50a)의 노광위치로 이동하면 제어장치(도시생략)로부터의 출력신호에 따라서 핀트조절수단(10)의 펄스모터가 작동하여 노광유니트(9)가 소정의 조사 높이 위치로 이동된다. 그러면, 제어장치(도시생략)로부터의 출력신호에 따라서 광원수단(11-1,11-2,11-3)이 동작하여 소정의 문자, 화상이 형성되도록 자외선이 발광된다. 이 자외선이 유리기판(50)상에 조사되고, 그 반사광이 CCD카메라(21)로 받아들여지면, 패널식별코드(51a)의 핀트 형상, 노광위치가 확인되고, 핀트가 이상한 노광유니트(9)가 있는 경우는 대응하는 핀트조절수단(10)의 펄스모터가 정회전 혹은 역회전하여 노광유니트(9)를 상승시켜서 핀트를 맞추는 것이 행해지고, 노광위치가 이상한 노광유니트(9)가 있는 경우는 대응하는 슬라이더(8)가 이동하여 노광위치의 수정이 행해진다. 이와 같은 조작에 의해서 각 노광유니트(9-1,9-2,9-3)가 세트되면 광원수단(11-1,11-2,11-3)이 작동 하여 패널식별코드(51a), 절단위치식별코드(51b), 기판식별코드(50a) 등의 노광이 행해진다.

상기 슬라이더(5)의 이동개시와 동시 혹은 노광유니트(9)에 의한 노광조작 후에 슬라이더(22)가 X방향의 소정위치(유리기판(50)의 단부)로 이동하는 동시에 가동테이블(23)의 슬라이더가 Y방향으로 이동하여 노광유니트(24-1,24-2)가 유리기판(50)의 주변부의 불필요 레지스트부(52)의 노광위치로 이동된다. 그러면, 제어장치(도시생략)로부터의 출력신호에 따라서 광원수단(도시생략)이 작동되어 소정의 화상이 형성되도록 상기 노광유니트(9)의 경우와 동일하게 핀트를 맞추고, 위치 맞춤 조작이 행해진 후에 주변 불필요 레지스트부(52;유리기판(50)의 양단부)의 노광이 행해진다. 이 유리기판(50)의 양단부의 노광이 행해지면, 스테이지(1)가 90°회전되어 나머지 주변 불필요 레지스트부(52)의 노광이 행해진다.

이러한 주변노광기구(3)의 노광유니트(24-1,24-2)가 노광기구(2)의 노광유니트(9)와 동일하게 X방향과 Y방향으로 이동하도록 구성되는 경우는, 스테이지(1)가 고정된 상태에서 노광유니트(24-1,24-2)가 유리기판(50)의 주변부를 X방향과 Y방향으로 이동하여 노광이 행해진다.

도 4에 나타낸 바와 같은 유리기판(50)에 대해서 3개의 노광유니트(9-1,9-2,9-3)가 설치된 경우는, 1열째의 패널식별코드(51a)가 노광되면 스테이지(1) 혹은 스테이지(5)를 이동시켜 2열, 이어서 3열째의 패널식별코드(51a) 노광이 행해진다.

노광유니트(9)가 전체 패널식별코드(51a)에 대응하여 설치된 경우는 대략 동시에 전체의 노광이 행해진다.

상기 노광유니트(9-1,9-2,9-3)의 이동범위(L1~L3)는 도 3에 나타낸 바와 같이 종래의 노광장치의 이동범위(L1,L2) 보다 넓게 되고, 더불어 노광위치로 신속하게 이동될 수 있으며, 노광시간을 단축할 수 있다.

상기 실시예에서는 액정용의 유리기판의 노광에 대해서 설명했지만, 본 발명의 노광장치는 식별코드의 노광이 필요한 기판이라면 대응할 수 있고, 재질, 형상 등에 대해서 특히 한정되지 않는 것은 말할 필요도 없다.

본 발명의 노광장치는 청구항 제1항에 기재된 바와 같이 감광재가 도포된 기판상에 식별코드를 노광하기 위한 복수의 노광유니트를 각각 이동가능하게 배열 설치한 구성이기 때문에, 유리기판상의 임의 위치에 식별코드를 단시간에 노광할 수 있으며, 장치 전체를 콤팩트하게 할 수 있다.

본 발명의 노광장치는 청구항 제2항에 기재된 바와 같이 기판주변부의 불필요 레지스트부분을 노광하기 위해 주변노광유니트를 이동가능하게 배열 설치한 구성으로 하면 주변 노광하기 위한 노광장치를 설치할 필요가 없게 되고, 더불어 식별코드와 기판주변부분을 동시에 노광할 수 있어 작업효율을 향상시킬 수 있다.

본 발명의 노광장치는 청구항 제3항에 기재된 바와 같이 기판이 액정용의 유리기판이면 유리기판상에 기판식별코드, 패널식별코드 등의 식별코드를 단시간에 노광할 수 있고, 청구항 제4항에 기재된 바와 같이 주변노광유니트가 고정가이드레일 혹은 이동가이드레일의 적어도 한쪽의 가이드레일에 설치된 구성으로 하면 청구항 제2항에 따른 효과를 확실히 달성할 수 있고, 장치 전체를 콤팩트하게 할 수 있 다.

또한, 본 발명의 노광장치는 청구항 제5항에 기재된 바와 같이 기판을 탑재하는 스테이지와, 상기 스테이지의 상방에 위치하도록 설치된 한쌍의 가이드레일과, 상기 가이드레일을 따라서 이동가능한 복수개의 슬라이더와, 각 슬라이더에 장착된 식별코드를 노광하기 위한 노광유니트를 구비하기 때문에, 청구항 제1항에 따른 효과를 확실히 달성할 수 있다.

또한, 본 발명의 노광장치는 청구항 제6항에 기재된 바와 같은 가이드레일이 일정방향으로 연장되는 추진용 계자마그네트를 갖는 고정자와 자기정보착자부재에 의해 형성되고, 상기 가이드레일에 장착된 슬라이더를 전기자코일을 갖는 가동자와 자기정보착자부에 대향하도록 가동자상에 설치된 자기헤드에 의해 형성하기 위한 구성으로 하면 노광유니트를 정확하게, 그리고 단시간에 소정 위치로 이동시킬 수 있고, 청구항 제7항에 기재된 바와 같은 노광유니트장착용 슬라이더가 이동이 자유롭게 장착된 이동가이드레일을 이 이동가이드레일과 수평방향으로 교차하도록 배열 설치한 고정가이드레일에 이동이 자유롭게 장착된 슬라이더와 일체로 연결시킨 구성으로 하면 노광유니트를 수평방향의 전후방향과 좌우방향으로 동시에 이동시킬 수 있고, 노광유니트를 단시간에 이동시킬 수 있다.

Claims

감광재가 도포된 기판상에 식별코드를 노광하기 위한 복수의 노광유니트를 각각 이동가능하게 배열 설치한 것을 특징으로 하는 노광장치.
제1항에 있어서, 기판 주변부의 불필요 레지스트부분을 노광하기 위한 주변노광유니트를 이동가능하게 배열 설치한 것을 특징으로 하는 노광장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 기판이 액정용의 유리기판인 것을 특징으로 하는 노광장치.
제2항에 있어서, 주변 노광유니트가 고정가이드레일 또는 이동가이드레일 중 적어도 한쪽의 가이드레일에 설치된 것을 특징으로 하는 노광장치.
기판을 탑재한 스테이지와, 상기 스테이지의 상방에 위치되도록 설치된 한쌍의 가이드레일과, 상기 가이드레일을 따라서 이동가능한 복수개의 슬라이더와, 각 슬라이더에 장착된 식별코드를 노광하기 위한 노광유니트를 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
제5항에 있어서, 가이드레일이 일정방향으로 연장되는 추진용 계자마그네트 를 갖는 고정자와 자기정보착자부재에 의해 형성되고, 상기 가이드레일에 장착된 슬라이드를 전기자코일을 갖는 가동자와 자기정보착자부에 대향하도록 가동자상에 설치된 자기헤드에 의해 형성시킨 것을 특징으로 하는 노광장치.
제5항 또는 제6항에 있어서, 노광유니트장착용 슬라이더가 이동이 자유롭게 장착된 이동가이드레일을, 이 이동가이드레일과 수평방향으로 교차하도록 배열 설치된 고정가이드레일에 이동이 자유롭게 장착된 슬라이더에 일체로 연결시킨 것을 특징으로 하는 노광장치.