JP2001166493A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数の識別コードを所定の位置に短時間で露
光することができ、しかも装置全体がコンパクトな露光
装置を提供することである。 【解決手段】 感光材が塗布された基板５０に基板識別
コード５０ａやパネル識別コード５１ａを露光するため
の複数の露光ユニット９-1〜９-3をそれぞれ移動可能に
配設せしめると共に基板周辺部を露光するための周辺露
光ユニット２４-1、２４-2を移動可能に配設せしめた構
成にしてある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は基板上に識別コード
を露光する露光装置望ましくは液晶製造工程などで使用
されるガラス基板等の基板のプロセス毎の履歴管理や品
質管理を行うために使用する複数の識別コードを露光す
る露光装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、液晶パネルの製造工程おいては
ガラス基板に所定の樹脂が塗布されると、パターン露光
装置によって回路パターンが、識別露光装置によって基
板識別コードやパネル識別コード等が、周辺露光装置に
よって基板周辺部分の不要レジスト部分がそれぞれ露光
され、該露光が済むと現像装置によって現像されてい
る。

【０００３】そして、所定の処理が済んだ１枚のガラス
基板から１枚もしくは複数枚の液晶パネルが製作されて
いる。

【０００４】該ガラス基板５０には図４に示されるよう
な基板を識別するための基板識別コード５０ａがマーキ
ングされプロセス毎および製造ライン全体の歩留まりを
向上させるための履歴管理や品質管理等に利用されてい
る。また、１枚のガラス基板５０から複数の液晶パネル
５１に分割された後も識別可能なように、液晶パネル５
１の配列番号等を付加したパネル識別コード５１ａがマ
ーキングされていると共に切断位置を判別するための切
断位置識別コード５０ｂがマーキングされ複数の液晶パ
ネル５１に切断するのに利用されている。

【０００５】該基板識別コード５０ａ、切断位置識別コ
ード５０ｂ、パネル識別コード５１ａ等はガラス基板５
０の周囲部にマーキングされている場合が多い。

【０００６】該基板識別コード５０ａ、切断位置識別コ
ード５０ｂ、パネル識別コード５１ａのマーキングは１
実施例であり、呼び名や数量等が変わることはいうまで
もない。

【０００７】基板識別コード５０ａ、切断位置識別コー
ド５０ｂ、パネル識別コード５１ａ等の識別コードの露
光は露光ユニットが固定された状態で、ガラス基板が保
持されたステージをＮＣ制御によって移動させることに
より、ガラス基板上の所定位置に識別コードを露光する
露光装置が使用されている。

【０００８】また、ガラス基板５０上の周辺部分５２の
不要レジスト部分を露光する周辺露光装置は、上述の露
光装置とは別の露光装置またはそれぞれを組み合わせた
ものを使用し、露光ユニットが固定された状態で、ガラ
ス基板が保持されたステージをＮＣ制御によって移動さ
せることにより、ガラス基板上の所定位置に識別コード
を露光するようになっている。

【０００９】そのため、複数の露光装置を使用すると共
に、複数の識別コードを露光するためにステージの移動
と露光動作を繰り返している。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】上述のような露光装置
ではガラス基板が大型化し、１枚のガラス基板から複数
枚の液晶パネルを製作するようになると、パネル識別コ
ードの数が増えて該識別コードを露光するのに時間がか
かるという問題を生じると共に、露光ユニットが固定さ
れ、ガラス基板を保持したステージを移動させる構成で
は、ステージの移動範囲が大きくなるため、装置全体が
大きくなるという問題があった。

【００１１】そこで、基準となる固定の露光ユニット３
０と移動可能な露光ユニット３１を設け、ガラス基板を
保持したステージを移動させて露光する露光装置、露光
ユニットを装着するためのスライダーとガイドレールが
一つのユニットとして形成されたユニット３２を複数設
け、ガラス基板を載置たステージを移動させて露光する
露光装置の開発を試みた。

【００１２】この様な露光装置では従来の露光装置より
作業効率は幾分向上するが、各露光ユニットの移動範囲
（Ｌ１、Ｌ２）が図５、図６に示されるように制限があ
るため、希望する作業効率を得ることができなかった。

【００１３】また、ガラス基板を保持したステージを移
動させているため、装置全体が大きくなるという問題を
解決することができなかった。

【００１４】また、基板周辺部の不要レジスト部分を露
光するための周辺露光装置と識別コードを露光する露光
装置を準備しなければならないという問題がある。

【００１５】本発明は複数の識別コードを所定の位置に
短時間で露光することができ、しかも装置全体がコンパ
クトな露光装置を提供することを目的とするものであ
る。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明の露光装置は請求
項１に記載のように感光材が塗布された基板上に識別コ
ードを露光するための複数の露光ユニットをそれぞれ移
動可能に配設せしめたことを特徴とするものである。

【００１７】また、本発明の露光装置は請求項２に記載
のように基板上に周辺露光するための周辺露光ユニット
を移動可能に配設せしめた構成にすることができる。

【００１８】本発明の露光装置は請求項３に記載のよう
に基板を液晶用のガラス基板にすることができる。

【００１９】また、本発明の露光装置は請求項４に記載
のような周辺露光ユニットが、固定ガイドレールまたは
移動ガイドレールの少なくとも一方のガイドレールに設
けられている構成にすることができる。

【００２０】本発明の露光装置は請求項５に記載のよう
に基板を載置するステージと、前記ステージの上方に位
置するように設置された一対のガイドレールと、前記ガ
イドレールに沿って移動可能な複数個のスライダーと、
各スライダーに装着された識別コードを露光するための
露光ユニットとを備えていることを特徴とするものであ
る。

【００２１】また、本発明の露光装置は請求項６に記載
のようなガイドレールを一定方向に延びる推進用界磁マ
グネットを有する固定子と磁気情報着磁部材により形成
し、前記ガイドレールに装着されたスライダーを電機子
コイルを有する可動子と磁気情報着磁部に対向するよう
に可動子上に設けられた磁気ヘッドとにより形成せしめ
た構成、請求項７に記載のような露光ユニット装着用ス
ライダーが移動自在に装着されている移動ガイドレール
を、該移動ガイドレールと水平方向に交差するように配
設された固定ガイドレールに移動自在に装着されている
スライダーに一体的に連結せしめた構成にすることがで
きる。

【００２２】

【発明の実施の形態】図１は本発明の露光装置の構成を
示す概略斜視図であって露光装置は、ベース（図示せ
ず）に形成されたガイドレールに沿って移動自在に設置
され、ガラス基板５０を水平な状態で保持するステージ
１と、該ステージ１の上方に位置するようベース（図示
せず）に設置され、基板識別コード５０ａや切断位置識
別コード５０やパネル識別コード５１ａのすべて又はい
ずれかを露光する露光機構２と基板周辺部の不要レジス
ト部分を露光する周辺露光機構３とを備えた構成になっ
ている。

【００２３】ステージ１はガラス基板を保持する面が平
坦な構成、減圧源に連結される減圧吸着用孔が穿設され
た構成、支持用ピンが突設された構成のものを使用する
か、ガラス基板の側部を把持する機構を有する構成のも
のを使用し、ガラス基板５０を水平な状態または垂直な
状態で保持する。

【００２４】また、ステージ１は水平方向の前後方向
（Ｙ方向）と左右方向（Ｘ方向）または垂直方向の上下
方向（Ｚ方向）と左右方向（Ｘ方向）に移動可能な構
成、回転可能な構成、垂直方向に昇降可能な構成にする
ことができる。

【００２５】ステージ１に供給されたガラス基板５０の
位置がずれている場合は、位置ずれ量を測定してステー
ジ１を回転させるか、前後方向（Ｙ方向）と左右方向
（Ｘ方向）に移動させて位置ずれを調整する。また、ス
テージ１に例えばＬ字状の位置合わせガイドを設け、該
位置合わせガイドにガラス基板５０を押し付けて位置合
わせを行うことができる。

【００２６】露光機構２はベース（図示せず）に水平方
向に所定の間隔を有するようにブラケット（図示せず）
によって水平な状態で支持された固定ガイドレール４-
1、４-2と、該固定ガイドレール４-1、４-2に左右方向
（Ｘ方向）に移動自在に取り付けられたスライダー５-
1、５-2と、該スライダー５-1、５-2に連結部材７-1、
７-2によって取り付けられた移動ガイドレール６と、該
移動ガイドレール６に前後方向（Ｙ方向）に移動自在に
取り付けられたスライダー８-1、８-2、８-3と、該スラ
イダー８-1、８-2、８-3にピント調節手段１０-1、１０
-2、１０-3によって垂直方向（Ｚ方向）に移動可能に取
り付けられた露光ユニット９-1、９-2、９-3と、該露光
ユニット９-1、９-2、９-3に光ファイバー等のライトガ
イド１２-1、１２-2、１２-3によって連結された紫外線
の光源手段１１-1、１１-2、１１-3とにより構成されて
いる。

【００２７】固定ガイドレール４に移動自在に装着され
るスライダー５と移動ガイドレール６のユニット部材の
数はパネル識別コード５１ａの個数によって適宜設定
し、それぞれのユニット部材が所定の位置に移動させる
ようにすることができる。

【００２８】また、移動ガイドレール６に移動自在に装
着されるスライダー８の個数もパネル識別コードの個数
によって適宜設定し、それぞれのスライダー８が所定の
位置に移動させるようにすることができる。

【００２９】上述の固定ガイドレール４（４-1、４-2）
と移動ガイドレール６は一定方向に延びる推進用界磁マ
グネット（長手方向に沿ってＮ極とＳ極が等ピッチに交
互に着磁するマグネット）を有する固定子と磁気情報着
磁部材（エンコーダチャート）とにより形成されたもの
を使用し、スライダー５（５-1、５-2）とスライダー８
（８-1、８-2、８-3）は電機子コイルを有する可動子と
磁気情報着磁部に対向するように可動子上に設けられた
磁気情報（位置検出、速度制御等のエンコーダ情報）の
形成、消去、読み取りが可能な磁気ヘッドとにより形成
されたものを使用する。

【００３０】スライダー５、８は上述のようなリニアモ
ータ機構による移動に代えてねじ軸と該螺子軸に螺着さ
れたナットとを備えたねじ送り機構（ピント調節機構１
０と同様の構成）によって移動させることができ、これ
等の移動機構に限定されないことはいうまでもない。

【００３１】露光ユニット９は図２に示されるように端
部にライトガイド１２の接続部を有し、ピント調節手段
１０に取り付けられるケース１３内に光線をほぼ平行な
状態にするためのコンデンサレンズ１４、不必要な波長
の光線を減衰させるためのフイルター１５、所定の光線
を透過させる入射光側の偏光板１６、任意の文字や図形
を表示させるためのレチクル１７、所定の光線を透過さ
せる出射光側の偏光板１８、ハーフミラー、プリズム等
のビームスプリッタ１９、投影レンズ２０等が収納され
た構成になっている。

【００３２】該露光ユニット９にはビームスプリッタ１
９からの画像を取り込むＣＣＤカメラ２１が設けられて
おり、ガラス基板５０またはステージ１の表面から反射
した光が投影レンズ２０から入射し、ビームスプリッタ
１９にて角度が変更されてＣＣＤカメラ２１に取り込ま
れ、その画像がテレビ（図示せず）に表示される。該Ｃ
ＣＤカメラ２１から制御装置（図示せず）に画像データ
が送られるようにして予め設定されているデータと対比
してピントの調節、レチクルの位置調節等が行われる。

【００３３】また、テレビに表示された画像を作業者が
見て手動操作にてピントの調節、レチクルの位置調節等
を行うことができる。

【００３４】ピントの確認、露光位置の確認、ピントの
調節、レチクルの位置調節等の必要がない場合はＣＣＤ
カメラ２１を省略することができる。

【００３５】該露光ユニット９は該構成に限定されず、
ライトガイド１２によって伝送された光線の照射範囲を
制限するためのマスクを設けた構成、紫外線の光源手段
１１を露光ユニット９に一体的に設けた構成することが
できる。

【００３６】ピント調節手段１０（１０-1、１０-2、１
０-3）は、スライダー８に形成されたガイドに沿って垂
直方向に移動する露光ユニット９のケースを取り付ける
ための可動部材と、駆動用のパルスモータが端部に連結
され、ブラケットによってスライダー８（８-1、８-2、
８-3）に垂直な状態で回転自在に取り付けられたねじ軸
と、該ねじ軸に螺着されていると共に露光ユニット取付
用部材に取り付けられたナットとにより構成されてい
る。

【００３７】該ねじ軸とナットに代えてボールねじ軸と
ボールねじ軸に螺着されたナットとにより構成するもの
を使用することができる。

【００３８】該ピント調節手段１０を設けずに露光ユニ
ット９を直接スライダー８に取り付けた構成、露光ユニ
ット９を多関節機構によってスライダー８に取り付けた
構成にすることは可能である。

【００３９】また、ピント調節手段１０を設けずスライ
ダー５を垂直方向に移動可能な構成、固定ガイドレール
４を垂直方向（Ｚ方向）に移動可能な構成、ステージ１
を垂直方向に移動可能な構成にできることはいうまでも
ない。

【００４０】周辺露光機構３は固定ガイドレール４（４
-1、４-2）に移動自在に取り付けられたスライダー２２
（２２-1、２２-2）と、ガイドレールとスライダーがセ
ットになっており、スライダー２２（２２-1、２２-2）
上に取り付けられた可動テーブル２３（２３-1、２３-
2）と、可動テーブル２３（２３-1、２３-2）上に取り
付けられた露光ユニット２４（２４-1、２４-2）とによ
り構成されている。

【００４１】スライダー２２はスライダー５と同じ構成
になっている。

【００４２】図１ではスライダー５とスライダー２２が
独立しているように書いてあるが、連結されている場合
もある。

【００４３】可動テーブル２３のガイドレールは固定ガ
イドレール４等と同一の構成になっており、スライダー
はスライダー５と同じ様な構成になっている。

【００４４】露光ユニット２４は露光ユニット９と同じ
様な部材によって形成されているが、紫外線が固定ガイ
ドレール４を回避して照射されるように構成されてい
る。

【００４５】また、露光ユニット２４はピント調節手段
（図示せず）によって垂直方向に移動されるようになっ
ている。

【００４６】ガラス基板識別コード５０ａが周囲の両端
部以外の位置（略中央部）にあり、上述の周辺露光機構
３による露光が困難な場合は、固定ガイドレール４にＸ
方向に移動自在に取り付けられた移動ガイドレールと、
該移動ガイドレールにＹ方向に移動自在に取り付けられ
たスライダーと、ピント調節手段によって該スライダー
に取り付けられた露光ユニットとにより構成する周辺露
光機構を設け、ステージ１の移動操作等を無くして効率
よく露光できるようにする。

【００４７】上述の各スライダー５、８、２２等は位相
同期制御等のＮＣ制御によって移動されるようになって
いる。

【００４８】上述の光源手段１１の紫外線の発光時間、
発光間隔、スライダー５、８、２２の移動速度、移動
量、ピント調節手段１０のステップモータの回転量等は
入力機能、記憶機能、比較演算機能、動作指令機能等の
機能を備えたコンピュータ等の制御装置（図示せず）に
よって制御される。

【００４９】上述のステージ１に対するガラス基板５０
の供給、露光済みガラス基板５０の取り出しは操作はガ
ラス基板移載ロボット、シャトル搬送移載機構、ローラ
コンベア等によって行うか作業者の手作業によって行
う。

【００５０】上述の露光装置のステージ１にガラス基板
５０が供給されて位置決めされると、制御装置（図示せ
ず）からの出力信号に基づいて露光機構２のスライダー
５がＸ方向の所定位置に移動すると共にスライダー８-
1、８-2、８-3がそれぞれＹ方向の所定位置に移動して
露光ユニット９-1、９-2、９-3がパネル識別コード５０
ａの露光位置に移動されると、制御装置（図示せず）か
らの出力信号に基づいてピント調節手段１０のパルスモ
ータが作動して露光ユニット９が所定の照射高さ位置に
移動される。すると、制御装置（図示せず）からの出力
信号に基づいて光源手段１１-1、１１-2、１１-3が作動
して所定の文字、画像が形成されるように紫外線が発光
される。該紫外線がガラス基板５０上に照射され、その
反射光がＣＣＤカメラ２１に取り込まれると、該パネル
識別コード５１ａのピントの状態、露光位置が確認さ
れ、ピントが狂っている露光ユニット９がある場合は対
応するピント調節手段１０のパルスモータが正回転また
は逆回転して露光ユニット９を昇降させてピントを合わ
せが行われ、露光位置が狂っている露光ユニット９があ
る場合は対応するスライダー８が移動して露光位置の修
正が行われる。これ等の操作によって各露光ユニット９
-1、９-2、９-3がセットされると光源手段１１-1、１１
-2、１１-3が作動してパネル識別コード５１ａ、切断位
置識別コード５１ｂ、基板識別コード５０ａ等の露光が
行われる。

【００５１】上述のスライダー５の移動開始と同時ある
いは露光ユニット９による露光操作後にスライダー２２
がＸ方向の所定位置（ガラス基盤５０の端部）に移動す
ると共に可動テーブル２３のスライダーがＹ方向に移動
して露光ユニット２４-1、２４-2がガラス基盤５０の周
辺部の不要レジスト部５２の露光位置に移動される。す
ると、制御装置（図示せず）からの出力信号に基づいて
光源手段（図示せず）が作動して所定の画像が形成され
るように、上述の露光ユニット９の場合と同様にピント
を合わせ、位置合わせ操作が行われた後に周辺不要レジ
スト部５２（ガラス基盤５０の両端部）の露光が行われ
る。該ガラス基盤５０の両端部の露光が行われると、ス
テージ１が９０°回転して残りの周辺不要レジスト部５
２の露光が行われる。

【００５２】該周辺露光機構３の露光ユニット２４-1、
２４-2が露光機構２の露光ユニット９と同じようにＸ方
向とＹ方向に移動するように構成されている場合は、ス
テージ１が固定された状態で露光ユニット２４-1、２４
-2がガラス基盤５０の周辺部をＸ方向とＹ方向に移動し
て露光が行われる。

【００５３】図４に示されるようなガラス基板５０に対
して三つの露光ユニット９-1、９-2、９-3が設けられて
いる場合は一列目のパネル識別コード５１ａが露光され
ると、ステージ１またはスライダー５を移動させて２列
目、次いで３列目のパネル識別コード５１ａ露光が行わ
れる。

【００５４】該露光ユニット９が全てパネル識別コード
５１ａに対応して設けられている場合は略同時に全ての
露光が行われる。

【００５５】上述の露光ユニット９-1、９-2、９-3の移
動範囲（Ｌ１〜Ｌ3）は図３に示されるように従来の露
光装置の移動範囲（Ｌ１、Ｌ２）より広くなっていると
共に露光位置に速く移動させることができ、露光時間を
短縮することができる。

【００５６】上述の実施例においては液晶用のガラス基
板の露光について説明したが、本発明の露光装置は識別
コードの露光が必要な基板であれば対応することがで
き、材質、形状等について特に限定されないことはいう
までもない。

【００５７】

【発明の効果】本発明の露光装置は請求項１に記載のよ
うに感光材が塗布された基板上に識別コードを露光する
ための複数の露光ユニットをそれぞれ移動可能に配設せ
しめた構成にしているため、ガラス基板上の任意の位置
に識別コードを短時間で露光することができると共に装
置全体をコンパクトにすることができる。

【００５８】本発明の露光装置は請求項２に記載のよう
に基板周辺部の不要レジスト部分を露光するための周辺
露光ユニットを移動可能に配設せしめた構成にすると、
周辺露光するための露光装置を設置する必要がなくなる
と共に識別コードと基板周辺部分を同時に露光すること
ができ作業効率を向上させることができる。

【００５９】本発明の露光装置は請求項３に記載のよう
に基板が液晶用のガラス基板であると、ガラス基板上に
基板識別コード、パネル識別コード等の識別コードを短
時間に露光することができ、請求項４に記載のような周
辺露光ユニットが、固定ガイドレールまたは移動ガイド
レールの少なくとも一方のガイドレールに設けられた構
成にすると、請求項２に基づく効果を確実に奏すること
ができると共に装置全体をコンパクトにすることができ
る。

【００６０】また、本発明の露光装置は請求項５に記載
のように基板を載置するステージと、前記ステージの上
方に位置するように設置された一対のガイドレールと、
前記ガイドレールに沿って移動可能な複数個のスライダ
ーと、各スライダーに装着された識別コードを露光する
ための露光ユニットとを備えているため、請求項１に基
づく効果を確実に奏することができる。

【００６１】また、本発明の露光装置は請求項６に記載
のようなガイドレールを一定方向に延びる推進用界磁マ
グネットを有する固定子と磁気情報着磁部材により形成
し、前記ガイドレールに装着されたスライダーを電機子
コイルを有する可動子と磁気情報着磁部に対向するよう
に可動子上に設けられた磁気ヘッドとにより形成せしめ
た構成にすると、露光ユニットを正確に且つ短時間で所
定の位置に移動させることができ、請求項７に記載のよ
うな露光ユニット装着用スライダーが移動自在に装着さ
れている移動ガイドレールを、該移動ガイドレールと水
平方向に交差するように配設された固定ガイドレールに
移動自在に装着されているスライダーに一体的に連結せ
しめた構成にすると、露光ユニットを水平方向の前後方
向と左右方向に同時に移動させることができ、露光ユニ
ットを短時間で移動させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の露光装置の構成の１実施例を示す概略
斜視図である。

【図２】図１における露光ユニットの詳細を示す概略断
面図である。

【図３】本発明の露光装置における露光ユニットの移動
範囲を示す概略図である。

【図４】本発明の露光装置によって露光されるガラス基
板の１実施例を示す概略図である。

【図５】従来の露光装置における露光ユニットの移動範
囲を示す概略図である。

【図６】従来の他の露光装置における露光ユニットの移
動範囲を示す概略図である。

【符号の説明】

１ ステージ ２ 露光機構 ３ 周辺露光機構 ４、４-1、４-2 固定ガイドレール ５、５-1、５-2、８、８-1、８-2、８-3、２２、２２-
1、２２-2 スライダー ６ 移動ガイドレール ７-1、７-2 連結部材 ９、９-1、９-2、９-3、２４、２４-1、２４-2 露光ユ
ニット １０、１０-1、１０-2、１０-3 ピント調節手段 １１、１１-1、１１-2、１１-3 光源手段 １２、１２-1、１２-2、１２-3 ライトガイド １３ ケース １４ コンデンサレンズ １５ フイルタ １６、１８ 偏光板 １７ レチクル １９ ビームスプリッタ ２０ 投影レンズ ２１ ＣＣＤカメラ ２３ 可動テーブル ５０ ガラス基板 ５１ 液晶パネル ５０ａ 基板識別コード ５０ｂ 切断位置識別コード ５１ａ パネル識別コード ５２ 周辺露光部分

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H097 AA04 AA08 BA10 BB10 CA03 CA08 LA12

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 感光材が塗布された基板上に識別コード
   を露光するための複数の露光ユニットをそれぞれ移動可
   能に配設せしめたことを特徴とする露光装置。
2. 【請求項２】 基板周辺部の不要レジスト部分を露光す
   るための周辺露光ユニットを移動可能に配設せしめたこ
   とを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
3. 【請求項３】 基板が液晶用のガラス基板であることを
   特徴とする請求項１または請求項２に記載の露光装置。
4. 【請求項４】 周辺露光ユニットが、固定ガイドレール
   または移動ガイドレールの少なくとも一方のガイドレー
   ルに設けられていることを特徴とする請求項２に記載の
   露光装置。
5. 【請求項５】 基板を載置するステージと、前記ステー
   ジの上方に位置するように設置された一対のガイドレー
   ルと、前記ガイドレールに沿って移動可能な複数個のス
   ライダーと、各スライダーに装着された識別コードを露
   光するための露光ユニットとを備えていることを特徴と
   する露光装置。
6. 【請求項６】 ガイドレールを一定方向に延びる推進用
   界磁マグネットを有する固定子と磁気情報着磁部材によ
   り形成し、前記ガイドレールに装着されたスライダーを
   電機子コイルを有する可動子と磁気情報着磁部に対向す
   るように可動子上に設けられた磁気ヘッドとにより形成
   せしめたことを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
7. 【請求項７】 露光ユニット装着用スライダーが移動自
   在に装着されている移動ガイドレールを、該移動ガイド
   レールと水平方向に交差するように配設された固定ガイ
   ドレールに移動自在に装着されているスライダーに一体
   的に連結せしめたことを特徴とする請求項５又は請求項
   ６に記載の露光装置。