KR100674660B1 - 포토레지스트 코팅의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 (a) 근 적외선 영역의 방사선을 흡수하면서 코팅을 가열하는 하나 이상의 성분을 함유한 레지스트 조성물로 기판을 코팅하는 단계; 및 (b) 레지스트 조성물 또는 그로부터 유도되어 방법 중에 함유되는 조성물을 방법의 진행 중에 근 적외선 영역의 방사선에 의해 한 번 이상 열 처리하는 단계를 포함하는 레지스트 코팅의 제조 방법에 관한 것이다.

레지스트 코팅, 근 적외선, 레지스트 조성물, 기판, 열 처리

Description

포토레지스트 코팅의 제조 방법{PRODUCTION OF PHOTORESIST COATING}

본 발명은 레지스트 코팅의 제조 방법 및 그 방법을 1차 레지스트 코팅 또는 납땜 차단 레지스트 코팅의 제조에 사용하거나 다층 리드 프레임의 연속 조립에 사용하는 방법에 관한 것이다.

레지스트 코팅은 현대의 리드 프레임을 제조할 경우에 없어서는 안될 도구이다. 특히, 그러한 레지스트 코팅은 소위 1차 레지스트와 납땜 차단 레지스트로 구별된다.

1차 레지스트는 기판 상에 소정의 형태로 패터닝되어 예컨대 기판으로서의 구리 부착 적층물이 그 정해진 지점으로부터 구리를 제거해야 하는 에칭 처리될 경우에 그 기판의 특정의 부분을 일시적인 기간 동안 기판이 특정의 처리의 영향으로부터 보호되어야 하는 코팅이다. 통상, 1차 레지스트는 그러한 처리의 종료 후에 기판으로부터 완전히 제거된다. 1차 레지스트 코팅을 소정의 형태로 패터닝하는 것은 특히 기판 상의 레지스트 재료의 폐쇄 층을 그 소정의 형태대로 빛에 노출시킴으로써 이루어지는데, 그러한 노출에 의해 레지스트 재료는 빛이 조사된 부위에서 화학적으로 변하게 된다. 이어서, 빛이 조사되거나 조사되지 않은 레지스트 코팅의 구역을 적절한 현상액에 의해 용해하여 그 아래에 놓인 기판을 노출시킨다. 특정의 레지스트 유형의 경우, 예컨대 화학적으로 강화된 레지스트의 경우에는 소정의 형태대로 빛에 노출된 레지스트 코팅을 현상 전에 먼저 장시간 가열하여 빛이 조사된 재료와 빛이 조사되지 않은 재료의 충분한 용해도 차가 얻어지도록 할 필요가 있다.

납땜 차단 레지스트는 리드 프레임을 땜납으로 최종 처리하는 중에 인쇄 회로와 땜납과의 접촉이 요망되는 지점을 제외하고는 최종적으로 패터닝되어 완비된 리드 프레임의 전 표면을 사실상 덮는 코팅으로서, 통상 그러한 처리의 종료 후에 더 이상 제거되지 않게 된다. 납땜 차단 레지스트는 특히 환경 영향에 대한 보호 코팅으로서, 그리고 인쇄 회로의 개개의 도전 경로를 전기적으로 서로에 절연시키기 위해 리드 프레임 상에 남겨진다. 흔히, 납땜 차단 레지스트는 1차 레지스트에서와 마찬가지로 소정의 형태대로의 빛에의 노출, 경우에 따른 가열, 및 현상에 의해 레지스트 코팅을 패터닝하는데 사용되는 광 경화성 성분계 이외에도, 코팅의 패터닝 후에야 비로소 열에 의해 경화되어 코팅의 보호 특성을 향상시키는 열 경화성 수지 성분계를 함유한다.

특히, 납땜 차단 레지스트 조성물은 그 우수한 전기 절연 특성 때문에 다층 리드 프레임을 연속적으로 조립하는데도 사용된다. 그 경우, 제1 인쇄 회로는 절연 층으로서의 포토레지스트 코팅으로 코팅된다. 그러한 포토레지스트 코팅은 추후에 제1 인쇄 회로가 절연 층 상에 부착되는 추가의 인쇄 회로와의 전기 접속을 필요로 하는 지점에서 절연 층에 구멍이 형성되도록 하는 형식으로 소정의 형태대로의 빛에의 노출, 경우에 따른 가열, 및 현상에 의해 패터닝 된다. 이어서, 필요 하다면 패터닝된 수지 층을 열 경화시킨다. 절연 레지스트 층에 있는 구멍을 예컨대 구리 도금에 의해 전기 전도성이 있도록 만든 후에 공지의 형식으로 절연 층 상에 제2 인쇄 회로를 부착한다. 필요에 따라서는, 전술된 과정을 수 차례 반복하여 다층 리드 프레임을 얻게 된다.

전술된 바와 같이 포토레지스트를 사용할 경우에 예컨대 포토 패터닝 단계와 같은 "열에 의하지 않는" 방법 단계는 상대적으로 신속하게, 예컨대 수초 이내에 진행되는 반면에, 열 처리 단계는 매우 큰 시간 소요를 필요로 한다. 그러한 열 처리 단계에는 예컨대 기판 상의 레지스트 코팅을 예비 건조시키는 단계, 즉 레지스트 조성물을 기판 상에 도포하기 위한 캐리어로서 흔히 사용되는 용제를 제거하는 단계가 속하는데, 일반적으로 그러한 단계는 통상의 순환 공기 오븐에서 20∼30분을 요하게 된다. 경우에 따라서는, 전술된 바와 같이 빛이 조사된 레지스트 코팅을 현상 전에 중간 가열하는데도 유사한 시간 소요가 필요하게 된다. 그러나, 납땜 차단 레지스트 코팅의 최종적인 열 경화는 통상 훨씬 더 시간 집약적인데, 일반적으로 약 150 ℃의 온도 범위에서 1시간 이상 코팅을 처리하는 것이 필요하다. 현재 리드 프레임 기술에서 통상적인 바와 같은 컨베이어 벨트 설비는 리드 프레임 제조 시에 열 처리 단계에 드는 시간 소요를 겉보기에 개선할 수는 있겠지만, 그렇게 하려면 주어진 컨베이어 벨트 속도에서 리드 프레임이 충분히 긴 시간 동안 오븐 속에 체류하여 열 처리의 완료를 가져오는 것을 보장하기 위해 매우 대형의 오븐 및/또는 컨베이어 벨트 적재물의 안내를 위한 값비싼 설비를 필요로 한다.

EP-A-0 115 354의 예 1은 최종적으로 패터닝된 납땜 차단 레지스트 코팅을 적외선에 의해 최종 경화시키는 것을 이미 개시하고 있지만, 사용된 적외선의 파장에 관해 정확히 기재하고 있지는 않다. 리드 프레임이 적외선 광원을 통과하는 속도에 관한 기술로부터 알 수 있는 바와 같이, 통상의 리드 프레임의 최종 경화에는 적어도 6분 이상이 걸린다.

[발명이 이루고자 하는 기술적 과제]

본 발명은 통상의 레지스트 조성물이 그 중에 함유된 극성 성분으로 인해 근(近) 적외선 영역의 방사선을 매우 양호하게 흡수한다는 놀라운 인식에 의거한 것으로, 그러한 조성물은 전술된 열 처리 단계가 수초 이내, 전형적으로 1∼60초, 그리고 종종 10초 이내에 실행될 수 있을 정도로 매우 강력하게 가열되게 된다. 그 경우, 예컨대 예비 건조 시에 용제가 함입되거나 열 경화 시에 취성이 커지는 것과 같은 사용 기술상의 단점이 생기지 않는다는 것도 역시 놀라운 점이다. 또한, 근 적외선을 납땜 차단 레지스트 층의 최종 경화에 사용하면, 일반적으로 경화도가 현저히 개선된다.

따라서, 본 발명의 요지는

(a) 코팅 가열시 근 적외선 영역의 방사선을 흡수하는 하나 이상의 성분을 함유한 레지스트 조성물로 기판을 코팅하는 단계; 및

(b) 레지스트 조성물 또는 그로부터 유도되어 방법 중에 함유되는 조성물을 방법의 진행 중에 근 적외선 영역의 방사선에 의해 한 번 이상 열 처리하는 단계를 포함하는 레지스트 코팅의 제조 방법을 제공하는 것이다.

본 출원 명세서에서, '근 적외선 영역의 방사선'이란 특히 파장이 760∼1,400 ㎚인 방사선을 의미한다. 그러한 방사선에 의거한 가열 시스템은 오래 전부터 공지된 것으로서, 예컨대 미국의 "Research Inc." 또는 독일의 "INDUSTRIESERVIS"에 의해 시판되고 있지만, 지금까지 레지스트 기술 및 전기 리드 프레임의 제조에 사용된 적은 아직 없었다. 본 발명에 따라 사용되는 방사선은 실질적으로 파장이 760∼999 ㎚이 방사선을 포함하는 것이 바람직하다.

근 적외선용의 방사기는 그 아래를 통과하는 컨베이어 벨트의 전 폭을 조사하도록 설치되는 것이 바람직한데, 그러한 컨베이어 벨트 상에서는 레지스트 코팅을 구비한 기판, 예컨대 리드 프레임이 전진 이동된다. 경우에 따라서는, 다수의 방사기가 서로 나란히 설치되어야 한다. 방사기와 컨베이어 벨트간의 간격 및 방사기를 구동하는 전류 출력은 다른 방법 파라미터, 특히 특정의 레지스트 조성물, 열 처리되는 레지스트 층의 두께, 및 얻고자 하는 열 반응에 적합한 온도에 의존하여 최적화되는 것이 좋은데, 그것은 당업자라면 간단한 약간의 시험에 의해 가능하게 될 것이다.

본 발명에 따른 방법에 사용될 수 있는 레지스트 조성물 또는 그 성분의 유형에 대한 특별한 한정이 있는 것은 아니다. 그러나, 본 발명에 따른 방법의 이점이 그 효력을 발휘하려면, 레지스트 조성물의 사용에는 하나 이상의 열에 의한 방법 단계가 수반되어야 한다. 또한, 레지스트 조성물은 코팅 가열시 근 적외선 영역의 방사선을 흡수하는 것이 보장되어야 한다. 그러한 이유로, 레지스트 조성물은 근 적외선 영역의 방사선에 의해 여기되어 열 진동할 수 있는 극성 기능 기를 동반한 바람직한 성분을 함유해야 한다. 그것은 사실상 리드 프레임 기술에 통상적인 모든 레지스트 조성물에 해당되는 것이다. 그러나, 본 발명에 따른 방법에 사용하려는 조성물은 특별히 아크릴(메타크릴) 기 또는 에폭시 기를 동반한 하나 이상의 가교 결합성 화합물을 함유한다.

일반적으로, 본 발명에 따른 방법에 사용되는 레지스트 조성물은 하나 이상의 감광 성분계를 함유한다. 여기에서, "감광"이란 본 출원의 목적과 관련하여 자외선 및/또는 가시 광선에 감응하는 것을 의미한다.

감광 성분계는 예컨대 양화로 작용하는 화학적으로 강화된 성분계, 즉 소정의 형태대로 코팅을 빛에 노출시키고 빛이 조사된 부분에서 레지스트 층에 열처리를 실행한 후에 빛이 조사되지 않은 부분에서보다 현상액 중에서 보다 더 잘 용해되는 성분계일 수 있다. 그러한 유형의 감광 성분계에 의거한 양화 레지스트는 예컨대 EP-A-0 568 827에 개시되어 있다. EP-A-0 295 211에는 다른 유형의 양화 레지스트가 개시되어 있는데, 그것을 사용할 경우에 본 발명에 따른 방법에도 역시 상당한 시간상의 이점을 가져오게 되고, 특히 그러한 유형의 양화 레지스트는 다층 리드 프레임을 연속적으로 조립하는데도 적합하다. 그러한 양화 레지스트에서는 조성물 중에 함유되어 조성물을 열 가교 결합시키는 촉매가 빛의 조사에 의해 비활성화되고 나서 소정의 형태대로 빛에 노출된 레지스트 코팅을 열 경화시키므로, 빛에 노출되지 않은 레지스트 코팅의 구역만이 경화되어 현상 후에 레지스트 층에 양화의 모형이 떠지게 된다. 종래에 약 15∼30분을 필요로 하던 그에 필요한 열 경화 단계도 역시 근 적외선 영역의 방사선을 사용함으로써 수초로 단축될 수 있게 된다.

본 발명에 따른 방법은 광 경화성 또는 광 가교 결합성 성분계를 함유하는 음화 레지스트에도 사용될 수 있다. "광 경화성" 또는 "광 가교 결합성"도 역시 본 출원에서는 달리 언급되지 않는 한 자외선 및/또는 가시 광선에 의해 경화되거나 가교 결합될 수 있음을 의미하는 것이다. 음화 레지스트에 흔히 사용되는 광 경화성 성분계는 예컨대 라디칼 광 개시제 및 광 중합성 단량체 및/또는 저중합체, 예를 들면 비닐 단량체 또는 아크릴레이트(메타크릴레이트) 단량체 및/또는 디에틸렌글리콜디아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리아크릴레이트 또는 펜타에리트리톨트리아크릴레이트와 같은 가교 결합성 성분으로서의 아크릴레이크(메타크릴레이트) 저중합체를 근간으로 하는 것이다. 그 경우, 광 개시제로서는 라디칼 광 중합 반응을 위한 통상의 모든 개시제가 그에 대해 알려진 통상의 양으로 사용될 수 있다. 원할 경우에는 공개시제(co-initiator)가 추가로 사용될 수 있다. 그러한 유형의 음화 레지스트는 예컨대 미국 특허 US-A-5,045,435에 개시되어 있다. 그러나, 본 발명에 따른 방법은 양이온 광 중합성 레지스트 유형, 예컨대 술포늄 염과 같은 광 개시제로서의 오늄 염 및 분자 당 하나 이상의 에폭시 기를 동반한 화합물을 근간으로 하는 유형에도 적합하다. 일반적으로, 그러한 레지스트 유형도 역시 소정의 형태대로 빛에 노출시키는 단계와 현상 단계와의 사이에 80∼100 ℃ 이상의 온도로 장시간 가열 처리를 받게 되는데, 본 발명에 따라 근 적외선 영역의 방사선을 사용하면 역시 레지스트 층의 가열에 단지 수초만을 필요로 하게 된다.

특히, 광 경화성 성분계 및 열 경화성 성분계를 함유한 레지스트 조성물은 납땜 차단 레지스트를 제조하거나 리드 프레임을 연속적으로 조립하는데 적합하다. 열 경화성 성분계는 예컨대 에폭시 화합물 및 그를 위한 경화제, 특히 디시안디아미드와 같은 잠재성 경화제를 근간으로 하는 것일 수 있는데, 경우에 따라서는 가속제로서의 클로르톨루론의 존재 하에 있을 수 있다. 또한, 무엇보다도 납땜 차단 마스크의 제조에 특히 적합한 레지스트 조성물은 예컨대 EP-A-0 115 354(유기 용제를 근간으로 하는 것) 또는 EP-A-0 493 317(캐리어로서의 물을 근간으로 하는 것)에 개시되어 있다.

기판을 레지스트 조성물로 코팅하는 것은 코팅을 균일하게 부착시킬 수 있는 통상의 방법에 의해 실행될 수 있다. 그러한 코팅 방법의 예를 들면 투척, 브러시 도포, 정전기 분사와 같은 분사, 리버스-롤 코팅, 침지와 라켈 코팅, 및 커튼 주조 방법이 있다. 도포량(층 두께) 및 기판(층 지지체)의 종류는 원하는 적용 분야에 따라 달라진다. 통상, 용제를 제거하기 전의 층의 두께는 약 5∼150 ㎛, 바람직하게는 25∼100 ㎛, 특히 25∼75㎛로 된다.

레지스트 조성물이 예컨대 불활성 유가 용제, 물, 또는 2개 이상의 주지의 성분의 혼합물과 같은 용제를 함유할 경우, 기판을 코팅한 후에 근 적외선 영역의 방사선에 의해 조성물을 레지스트 코팅의 형성 하에 열 처리함으로써 용제를 제거하는 것이 바람직하다. 방사기의 출력 소비량 및 코팅된 기판으로부터의 거리는 기판 상에 레지스트 코팅을 형성하면서 1∼30초, 특히 3∼10초 동안 예비 건조가 실행되도록 조절되는 것이 바람직하다. 본 발명에 따라 예비 건조 시에 근 적외선 영역의 방사선을 사용함으로써 얻어지는 또 다른 시간상의 이점은 짧은 가열 시간 으로 인해 기판이 단지 약 40∼50 ℃만으로 가열되고, 그에 따라 예비 건조의 종료 시에 기판이 통상 100∼140 ℃의 오븐 온도를 수반하게 되는 종래의 예비 건조와는 대조적으로 리드 프레임을 종래와 같이 수분간 냉각시켜 리드 프레임이 장치의 작용에 의한 열 기계적 손상의 위험에 노출되지 않도록 할 필요가 없이 경우에 따라 있을 수 있는 리드 프레임의 제2 측면의 새로운 레지스트 조성물로의 코팅을 즉시로 착수할 수 있게 된다.

예비 건조 중에 용제를 제거하면서 동시에 코팅의 표면을 가스류로 처리하는 것이 매우 바람직한데, 그러한 가스로서는 특히 유동 공기가 사용된다. 코팅을 유동 가스로 처리하는 것은 예컨대 통상의 미풍계에 의해 실행될 수 있다.

본 발명에 따라 근 적외선 영역의 방사선에 의해 예비 건조하여 용제를 제거하는 것은 1차 레지스트 조성물은 물론 납땜 차단 레지스트 조성물에서도 고려되는 것이다.

통상, 조성물로 코팅된 기판은 그 조성물 중에 함유된 용제가 제거된 후에 당해 기술 분야에 통상적인 바와 같이 소정의 형태대로 자외선/가시 광선에 노출되고, 이어서 적절한 현상액에 의해 그 형태를 따라 패터닝된다. 소정의 형태대로 빛에 노출시키는 것은 예비 건조된 레지스트 코팅 상에 놓여지는 것이 바람직한 마스크에 의해, 또는 코팅을 소정의 형태대로 빛에 노출시키도록 코팅 위에서 안내되는 레이저 광선에 의해 실행될 수 있다. 코팅을 빛에 노출시킨 후에 레지스트 층의 빛이 조사된 구역과 빛이 조사되지 않은 구역의 충분한 용해도 차를 얻기 위해 필요로 할 수 있는 가열도 역시 본 발명에 따라 근 적외선 영역의 방사선에 의해 실행되는 것이 바람직하다. 그와 같이 되도록 코팅을 가열하는 것도 역시 통상 수초, 예컨대 1∼30초, 특히 1∼10초의 기간 동안 실행하는 것으로 충분하다. 경우에 따라서는, 빛의 조사 강도 및 시간을 수회의 시험에 의해 최적화시켜 레지스트 중에 있을 수도 있는 추가의 열 경화성 성분계가 그러한 방법 단계 중에 후속 현상 단계에 의한 코팅의 패터닝에 지장을 줄 정도로 반응하게 되지 않도록 한다.

본 발명에 따른 방법을 광 가교 결합성 성분계 이외에도 순수한 열 가교 결합성 성분계를 함유하는 레지스트의 부착에 사용할 경우, 즉 납땜 차단 레지스트의 부착에 사용할 경우, 레지스트 코팅을 빛에 노출시키고 경우에 따라 가열하여 현상함으로써 소정의 형태대로 패터닝한 후에 레지스트 조성물의 열 경화성 성분계를 반응시키게 된다.

레지스트 조성물의 열 경화성 성분계도 역시 근 적외선 영역의 방사선에 의해 경화되는 것이 바람직하다. 그 경우, 본 발명에 따른 방법은 통상의 열 경화 기술이 사용되는 납땜 차단 레지스트 코팅의 제조에 비해 상당한 시간상의 이점을 보이는데, 그것은 약 1시간인 종래의 경화 시간이 5초로, 즉 700배 이상 단축될 수 있기 때문이다.

본 발명에 따른 방법의 특정의 실시예에서는 순수한 열 경화성 성분계를 함유한 레지스트 조성물로 코팅된 기판을 조성물 중에 함유된 용제를 예비 건조에 의해 제거한 후에 근 적외선 영역의 방사선에 의해 소정의 형태대로 경화시키고, 이어서 현상액에 의해 그 형태대로 패터닝하게 된다. 소정의 형태대로 경화시키는 것은 예컨대 근 적외선 영역의 방사선에 대해 감응하지 않는, 즉 예컨대 가열됨이 없이 그 방사선을 반사시키는 마스크에 의해, 예를 들면 금속 마스크에 의해 실행될 수 있다. 본 발명에 따른 방법의 그러한 실시예의 근본적인 이점은 레지스트 조성물이 광 경화성 성분계를 동반할 필요가 없다는데, 즉 순수한 열 경화성 성분계가 레지스트로서 사용될 수 있다는데 있다.

본 발명에 따른 방법은 레지스트, 특히 포토레지스트가 사용되는 곳에서는 어디에서나 사용될 수 있고, 특히 리드 프레임의 제조 시에 1차 레지스트 코팅 및 납땜 차단 레지스트 코팅을 제조하는데, 그리고 다층 리드 프레임을 연속적으로 조립하는데 사용될 수 있다.

트리스(2-히드록시에틸)이소시아누레이트트리아크릴레이트 28.62 g, 결합제(에폭시 함량 5.26∼5.38 val/㎏의 비스페놀-A-디글리시딜에테르 467 g, 테트라브롬비스페놀 A 333 g, 트리글리시딜이소시아누레이트 200g, 및 2-페닐이미다졸 0.05 g을 EP-A-0 559 607의 실시예 1에 따라 160 ℃로 3시간 가열하고, 이어서 그 때에 얻어진 변환 생성물을 약 150 ℃로 냉각한 후에 메틸에틸케톤 125 g과 혼합함으로써 얻어짐) 27.53 g, 에톡시화된 트리메틸올프로판트리아크릴레이트(Cray Vally/Paris에 의해 시판되는 SR 454)) 3.63 g, Byk 077(Byk Chemie의 포말 제거제) 0.18 g, 및 히드로키논 0.01 g을 45∼50 ℃에서 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트 16.45 g 중에 용해시킴으로써 수지 혼합물을 제조한다. Irgacure 819(산화포스핀계의 광 개시제) 5.02 g과 디시안디아민(극미세한) 0.65 g을 첨가하고, 그 혼합물을 용매로 균질화시킨다. 이어서, 추가의 가열 없이 활석 17.91 g을 첨가한 다. 상온으로 냉각시킨 후에 균질한 혼합물을 분쇄시킨다.

경화제 혼합물을 얻기 위해, 2,4,6-트리머캅토-s-트리아진(일본 Sankyo Kasei Co. Ltd.에 의해 시판되는 ZISNET) 1.56 g과 클로르톨루론 0.11 g을 Dowanol PB 40(DOW에 의해 시판되는 프로필렌글리콜메틸에테르와 프로필렌글리콜부틸에테르와의 혼합물) 27.88 g 중에 교반하면서 용해시킨다. 이어서, 오라졸 블루 0.11 g을 첨가하고 10분간 추가로 교반한다. 상온으로 냉각시킨 후에 텐시드/가교 결합제 FC 431(3M에 의해 시판됨) 0.33 g을 첨가한다.

수지 혼합물 100 g과 경화제 혼합물 26.9 g으로 납땜 차단 조성물을 제조한다. K 컨트롤 코팅기 설비 모델 625 K303에서 구리 부착 적층 판에 조성물을 코팅한다(코팅 설비의 조절: K 202 라켈 세트 로드 번호 9 = 125 마이크로미터; 도포 속도 5 m/min). 상기 코팅된 구리 적층 판을 20분간 공기 중에 방치한 후에 80 ℃에서 30분간 건조시킨다.

이어서, 구리 적층 판을 패터닝된 마스크에 의해 에너지가 1,500 mJ/㎠인 자외선에 노출시킨다. 감마 부티로락톤으로 납땜 차단 마스크를 현상한다.

납땜 차단 코팅을 독일의 Fa. IndustrieSerVis/Bruckmuhl의 근 적외선 노출 장치에 의해 20∼28초 내에 완전히 최종 경화시키는데, 그 경우에 6개의 고출력 할로겐 램프(2 ×2 kW의 외측 램프 및 4 ×1 kW의 내측 램프)가 장착된 수냉식 근 적외선 가열 모듈(120 ㎜ ×250 ㎜)로 이루어진 조사 시스템을 사용하고, 할로겐 램프와 코팅된 구리 적층 판과의 사이의 거리를 12 ㎝로 한다.

납땜 차단 코팅을 시험한 결과 얻어진 특성은 다음과 같다:

연필 경도(미쓰비시 연필): 6H;

DIN 53 151에 따른 격자 단면 표시 값: 1∼2

메틸렌클로라이드 안정성: 시험하려는 구리 적층 판을 실온에서 메틸렌클로라이드 중에 침지시켰을 때에 40분 후에야 비로소 납땜 차단 코팅의 표면에서 기포가 인지됨.

본 발명에 따라 근 적외선 영역의 방사선을 레지스트 코팅에서의 각종의 열 처리에 사용함으로써 그 열 처리 단계가 수초 이내, 전형적으로 1∼60초, 그리고 종종 10초 이내에 실행될 수 있게 되어 현저한 시간상의 이점을 얻게 된다. 그 경우, 예컨대 예비 건조 시에 용제가 함입되거나 열 경화 시에 취성이 커지는 것과 같은 사용 기술상의 단점이 생기지 않는 이점도 얻어진다. 또한, 근 적외선을 납땜 차단 레지스트 층의 최종 경화에 사용하면, 일반적으로 경화도가 현저히 개선된다.

Claims (22)

1. (a) 코팅 가열시 근 적외선 영역의 방사선을 흡수하는 하나 이상의 성분을 함유한 레지스트 조성물로 기판을 코팅하는 단계; 및

   (b) 레지스트 조성물 또는 그로부터 유도되어 방법 중에 함유되는 조성물을 방법의 진행 중에 근 적외선 영역의 방사선에 의해 한 번 이상 열 처리하는 단계를 포함하고,

   (c) 상기 레지스트 조성물은 하나 이상의 감광 성분계를 포함하는 레지스트 코팅의 제조 방법.
2. 제1항에 있어서, 조성물은 용제를 함유하고, 그 용제는 근 적외선 영역의 방사선으로 레지스트 코팅의 형성 하에 조성물을 열 처리함으로써 제거하는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
3. 제2항에 있어서, 용제를 제거하면서 동시에 코팅의 표면을 유동 가스로 처리하는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
4. 제3항에 있어서, 유동 가스는 공기인 것을 특징으로 하는 제조 방법.
5. 제1항에 있어서, 조성물은 불활성 유기 용제, 물, 또는 2개 이상의 상기 성분의 혼합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
6. 삭제
7. 제1항에 있어서, 조성물은 광 경화성 성분계 및 열 경화성 성분계를 함유하는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
8. 제6항에 있어서, 조성물로 코팅된 기판을 조성물 중에 함유된 용제의 제거 후에 자외선/가시 광선으로 소정의 형태대로 빛에 노출시키고, 필요한 경우에는 가열한 후에 현상액에 의해 그 형태대로 패터닝하는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
9. 제8항에 있어서, 소정의 형태대로 빛에 노출시키는 단계와 현상 단계와의 사이에 가열하는 것을 근 적외선 영역의 방사선에 의해 실행하는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
10. 제8항에 있어서, 레지스트 코팅을 소정의 형태대로 패터닝한 후에 레지스트 조성물의 열 경화성 성분계를 경화시키는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
11. 제10항에 있어서, 레지스트 조성물의 열 경화성 성분계를 근 적외선 영역의 방사선에 의해 경화시키는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
12. 제1항에 있어서, 레지스트 조성물로 코팅된 기판을, 조성물 중에 함유된 용제의 제거 후에, 자외선/가시광선으로 소정 형태로 빛에 노출시키고 필요한 경우 가열한 후에 현상액에 의해 그 형태대로 패터닝하는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
13. 제1항에 있어서, 레지스트 조성물은 광 경화성 성분계를 포함하지 않고 또 열경화성 성분계를 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
14. 제1항에 있어서, 레지스트 조성물은 아크릴(메타크릴) 기 또는 에폭시 기를 동반한 하나 이상의 가교 결합성 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
15. 제1항에 있어서, 조성물은 에폭시 화합물계의 열 경화성 성분계를 함유하는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
16. 삭제
17. 제12항에 있어서, 상기 빛에 노출시키고 현상하는 사이에 가열하는 것은 근적외선 영역의 방사선에 의해 실시하는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
18. 제13항에 있어서, 레지스트 조성물로 코팅된 기판을, 조성물 중에 함유된 용제의 제거 후에, 자외선/가시광선으로 소정 형태로 빛에 노출시키고 필요한 경우 가열한 후에 현상액에 의해 그 형태대로 패터닝하는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
19. 제18항에 있어서, 상기 빛에 노출시키고 현상하는 사이에 가열하는 것은 근적외선 영역의 방사선에 의해 실시하는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
20. 제8항에 있어서, 레지스트 코팅을 소정의 형태대로 패터닝한 후에 레지스트 조성물의 열 경화성 성분계를 경화시키는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
21. 제20항에 있어서, 레지스트 조성물의 열경화성 성분계는 근 적외선 영역의 방사선에 의해 경화되는 제조 방법.
22. 제1항 내지 제5항, 제7항 내지 제15항, 제17항 내지 제21항 중 어느 한 항에 따른 방법을 1차 레지스트 코팅 또는 납땜 차단 코팅을 제조하거나 다층 리드 프레임을 연속적으로 조립하는 데 사용하는 방법.